CN1784285A - 放电加工装置 - Google Patents

Abstract

在利用在电极(120)和被加工物(2)之间产生的放电，对被加工物(2)进行加工的放电加工装置(100)中，放电加工装置(100)的加工量计算部(70)根据电极(120)的使用经历，对为了加工被加工物(2)而输入的输入加工量进行修正，放电加工装置(100)的振荡控制部(40)根据修正后的输入加工量控制被加工物(2)的加工处理。由此，可以与电极(120)的使用经历无关，以正确的加工量进行被加工物(2)的加工。

Description

放电加工装置

技术领域

本发明涉及利用脉冲放电加工被加工物的放电加工装置。

背景技术

脉冲放电加工是为了加工被加工物而在放电加工装置的电极与被加工物之间施加加工电压，利用此时产生的脉冲放电能量实施对被加工物的加工。

利用放电加工装置的被加工物的放电加工，因电极的状态等，加工精度和被加工物的去除量会发生变化。因此，为了进行正确的加工，必须正确地检测电极的状态等再进行加工。

为了进行正确的加工，有以下技术：即，以一次的有效放电脉冲的放电加工量恒定为前提，计算被加工物的加工量，根据计算出的加工量进行加工控制。

专利文献1中记载的三维放电加工装置具有：计数电路，其检测加工时的脉冲放电，对检测放电数进行累加；以及信号变换电路，其将按照XY平面加工位置中的加工形状的加工深度信号变换成与加工电源的设定能量对应的脉冲数的信号。并且，在由计数电路得到的检测放电数和由信号变换电路得到的脉冲数一致时，停止固定管状电极的伺服头的伺服进给。

此外，为了有效地加工被加工物，有以下技术：即，识别对加工有效的放电脉冲和不是这样的放电脉冲，根据对加工有效的放电脉冲数进行加工控制。

专利文献2中记载的放电加工装置，仅对加工间隙的电流/电压/阻抗中的至少一个交流成分或高频成分进行整流，通过使整流后的成分进行滤波来检测放电状态。

专利文献1

特开平5-345229号公报

专利文献2

特开平5-293714号公报

但是，一次有效放电脉冲的被加工物的去除量，因加工被加工物的电极的加工表面状态、电极和被加工物的相对面积的变化、放电脉冲的状况等而不同。因此，如果如上述现有技术那样，以一次的有效放电脉冲形成的放电加工量恒定为前提，检测放电加工量，则不能检测正确的放电加工量。由此，因为上述现有技术以一次有效放电脉冲形成的被加工物的去除量恒定来进行加工处理的控制，所以存在被加工物的加工量产生误差的问题。

本发明是鉴于上述问题进行的发明，目的是提供以下的放电加工装置，即，使为了进行放电加工而设定的被加工物的去除量对应于电极的状态等而进行修正，根据修正后的去除量进行加工处理的控制。

发明内容

在本发明涉及的放电加工装置中，利用在加工电极和被加工物之间产生的放电加工上述被加工物，其特征在于，具有：修正部，其根据上述加工电极的使用经历，对为了加工上述被加工物而输入的输入加工量进行修正；以及控制部，其根据修正后的上述输入加工量，控制上述被加工物的加工处理。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1涉及的放电加工装置的结构的图，图2是表示实施方式1涉及的加工量计算部的功能的功能框图，图3是表示实施方式1涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图，图4是表示电极的累积加工量与每一次脉冲的加工量的关系的图，图5是表示在利用加工量计算部修正指令加工量的情况下的、电极的累积加工量与每一次脉冲的加工量的关系的图，图6是表示实施方式2涉及的加工量计算部的功能的功能框图，图7是表示实施方式2涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图，图8是表示电极的形状的图，图9是表示加工处理时的电极和被加工物的剖面的剖面图，图10是表示电极和被加工物的相对面积与每一次脉冲的加工量的关系的图，图11是表示电极和被加工物的相对面积与每一次脉冲的加工量的关系的图，图12是表示实施方式3涉及的放电加工装置的结构的图，图13是表示实施方式3涉及的加工量计算部的功能的功能框图，图14是表示实施方式3涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图，图15是表示实施方式4涉及的加工量计算部的功能的功能框图，图16是表示实施方式4涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图，图17是表示粗加工用的电气条件和精加工用的电气条件的图，图18是表示上次粗加工的加工量与下次(本次)的粗加工的加工量的关系的图。

具体实施方式

下面，根据附图对本发明涉及的放电加工装置的实施方式进行详细说明。此外，本发明并不限定于本实施方式。

实施方式1.

按照图1～图5对本发明的实施方式1进行说明。图1是表示本发明的实施方式1涉及的放电加工装置的结构的图。放电加工装置100由加工控制部110和电极120构成。

电极120是对被加工物130进行放电加工的部件，例如由韧铜等构成。通过对在用加工液充满的加工槽内的电极120和被加工物130施加规定的电压，在电极120和被加工物130的间隙产生脉冲放电，对被加工物130进行加工。被加工物130例如由镍合金和铁(SKH51)组成。

加工控制部110根据由电极120的到此为止的加工量的合计值(下面称为累积加工量S)，控制电极120。加工控制部110由脉冲振荡部30、振荡控制部(控制部)40、放电脉冲检测部50、加工脉冲数计算部60、加工量计算部(修正部)70构成。

脉冲振荡部30在电极120和被加工物130的极间施加电压，使电极120和被加工物130的极间产生规定的脉冲放电。振荡控制部40根据来自于加工脉冲数计算部60的指示信息，控制脉冲振荡部30。

放电脉冲检测部50检测在电极120和被加工物130的间隙中产成的有效放电脉冲。放电脉冲检测部50通过将在加工间隙中产生的电压波形的高频成分整流后积分，将高频成分的大小作为电平进行检测。然后，将高频成分分布在积分输出大的一方的情况(稳定加工时)的放电脉冲判断为有效放电脉冲。当放电脉冲检测部50检测到有效放电脉冲时，将脉冲的检测信号送到加工脉冲数计算部60。

加工量计算部70根据由电极120进行加工处理的累积加工量S，计算被加工物130的加工所需的加工量，由计算出的加工量计算被加工物130的加工所需的放电脉冲数并送到加工脉冲数计算部60。

加工脉冲数计算部60对从放电脉冲检测部50送来的有效放电脉冲的检测信号进行计数，当有效放电脉冲的脉冲数达到从加工量计算部70送来的放电脉冲数时，将用于使脉冲振荡部30停止的指示信息发送给振荡控制部40。

图2是表示实施方式1涉及的加工量计算部的功能的功能框图。如图2所示，加工量计算部70由信息存储部71、累积加工量计算部72、修正值计算部73、运算处理部74、输入部75构成。

输入部75在进行被加工物130的放电加工时，将对被加工物130所需的加工量作为指令加工量A输入。信息存储部(记忆部)71存储输入到输入部75的被加工物130的指令加工量A。

累积加工量计算部72在被加工物130的加工结束后，根据从信息存储部71送来的指令加工量A，计算电极120的累积加工量S(更新)并存储。电极120的累积加工量S在将电极130更换成新的电极时复位。

修正值计算部73根据从累积加工量计算部72送来的累积加工量S，对在信息存储部71中存储的指令加工量A进行规定的修正，作为修正加工量B1发送到运算处理部74。运算处理部74将从修正计算部73送来的修正加工量B1变换成在加工中所需的有效放电脉冲数(下面称为指令有效放电脉冲数)N1。

图3是表示实施方式1涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图。放电加工装置100的使用者将对加工被加工物130所需的加工量作为指令加工量A输入到输入部75(步骤S100)。输入到输入部75的指令加工量A被送到修正值计算部73。此外，在累积加工量计算部72中预先存储的累积加工量S被送到修正值计算部73。

在这里，对加工计算部70中的加工量的修正处理进行说明。图4是表示电极的累积加工量与每一次脉冲的加工量的关系的图。在图4中，纵轴表示以每一次有效放电脉冲的加工量(下面称为每一次脉冲的加工量)为恒定进行计算的情况下的加工量(计算值)与实际的加工量(实测值)的误差。在这里的计算值表示根据电极120成为以下状态的电极120的每一次脉冲的加工量M1计算出的加工量，该状态为用旧到一定程度后稳定了的状态。此外，横轴表示累积加工量S。累积加工量S的意思是，利用电极120加工被加工物130后的总加工重量。

如图4所示，当由新品状态(累积加工量S＝0)的电极120进行被加工物130的加工时，由于随累积加工量S的增加，每一次放电脉冲的加工量增加，所以随累积加工量S的增加，实际的加工量增加。然后，实际的加工量逐渐收敛，与计算值大体相同。

例如，表示了累积加工量为500mg时，与计算值的误差值约为-10，表示实际的加工量比预想的加工量(计算值)少10％进行加工。

这样，电极120从新品状态随着进行放电加工处理，每一次脉冲的加工量发生变化。因此，在本实施方式1中，根据电极120进行的加工处理的累积加工量S，修正指令加工量A，根据修正加工量B1控制加工处理。

返回到图3，修正值计算部73根据累积加工量S进行指令加工量A的修正。在本实施方式1中，为了与累积加工量S无关地、实际以指令加工量A加工被加工物130，根据图4所示的试验结果修正指令加工量A，计算修正加工量B1。例如在S＜500mg的情况下，在这里根据(1)式计算修正加工量B1。

B1＝(0.75+0.20×S/500)×A  ···(1)

此外，例如在500mg≤S＜1000mg的情况下，在这里根据(2)式计算修正加工量B1。

B1＝(0.95+0.05×S/1000)×A···(2)

此外，例如在S≥1000mg的情况下，在这里根据(3)式计算修正加工量B1。

B1＝A···(3)

在这里，因为累积加工量为0mg时的指令加工量与计算值的误差率平均约为25％，所以在(1)式中使用0.75的值。此外，累积加工量为500mg时的指令加工量与计算值的平均误差率约为5％，所以在(2)式中使用0.95的值。此外，累积加工量大于或等于1000mg的情况下，指令加工量与计算值的误差几乎没有，所以在(3)式中不进行指令加工量的修正。

修正计算部73确认累积加工量S是否满足S＜500mg的条件(步骤S110)。然后，在累积加工量S满足S＜500mg的条件的情况下，根据(1)式计算修正加工量B1(步骤S120)。

在不是S＜500mg的情况下，确认累积加工量S是否满足500mg≤S＜1000mg的条件(步骤S130)。然后，在累积加工量S满足500mg≤S＜1000mg的条件的情况下，根据(2)式计算修正加工量B1(步骤S140)。

在累积加工量不是S＜500mg，也不是500mg≤S＜1000mg的情况下，判断为S≤1000mg，根据(3)式，由指令加工量A计算修正加工量B1(步骤S160)。

通过修正值计算部73计算出的修正加工量B1被送到运算处理部74。运算处理部74将来自于修正值计算部73的修正加工量B1变换成指令有效放电脉冲数N1。指令有效放电脉冲数N1利用修正加工量B1除以一次有效放电脉冲的加工量M1而得到(步骤S170)。

由运算处理部74得到的指令有效放电脉冲数N1被送到加工脉冲数计算部60，开始由放电加工装置100进行的被加工物130的放电加工处理。放电脉冲检测部50检测在电极120和被加工物130的间隙产生的有效放电脉冲，将脉冲的检测信号发送到加工脉冲数计算部60。

加工脉冲数计算部60对从放电脉冲检测部50送来的脉冲的检测信号进行计数，实时地对计数后的有效放电脉冲数与从运算处理部74送来的指令有效放电脉冲数N1进行比较。如果计数后的有效放电脉冲数与从运算处理部74送来的指令有效放电脉冲数N1一致，则加工脉冲数计算部60将振荡结束的指示信息发送给振荡控制部40。如果振荡控制部40收到从加工脉冲数计算部60发送的振荡结束的指示信息，则控制脉冲振荡部30，使脉冲放电停止，结束放电加工处理。

放电加工处理结束后，将存储于信息存储部71的被加工物130的指令加工量A送到累积加工量计算部72。累积加工量计算部72通过将指令加工量A加在已存储的累积加工量S上，计算并存储被加工物130的加工结束后的新的累积加工量S(步骤S180)。

图5是表示在利用加工量计算部修正指令加工量的情况下，电极的累积加工量与每一次脉冲的加工量的关系的一个例子的图。在图5中，纵轴表示以每一次脉冲的加工量为恒定的情况下计算加工量(计算值)与实际的加工量(实测值)的误差。横轴表示累积加工量S。如果对图4和图5进行比较，则可以看出，在累积加工量小于或等于1000mg时，利用加工量计算部70修正指令加工量A的情况下的与计算值的误差率减小。

此外，在本实施方式1中，使用(1)式～(3)式进行指令加工量的修正，但指令加工量的修正不限于使用(1)式～(3)式的修正，也可以使用其他的修正公式等进行指令加工量的修正。

此外，在本实施方式1中，采用由加工重量计算累积加工量的结构，但也可以为累积加工量S利用被加工物130的总加工次数、总加工时间、总加工脉冲数计算的结构。

此外，在本实施方式1中，将指令加工量A修正为修正加工量B1后，计算出指令放电脉冲数N1，但也可以根据累积加工量S修正每一次脉冲的加工量M1，根据指令加工量A和修正后的加工量M1，计算指令放电脉冲数N1。

由本实施方式1，因为对应于电极120的累积加工量进行指令加工量A的修正，所以可以正确地检测由电极120进行的实际的加工量，可以高精度地进行放电加工控制。

实施方式2.

使用图1、图6～图12对本发明的实施方式2进行说明。在此实施方式2中，对应于电极120与被加工物130的相对面积T的变化，进行指令加工量A的修正。

图6是表示实施方式2涉及的加工量计算部的功能的功能框图。在图6的各构成要素中，对实现与图2所示的实施方式1的加工量计算部相同功能的构成要素采用相同的标号，省略了重复的说明。

如图6所示，加工量计算部70由运算处理部74、输入部75、加工量识别部76、加工深度计算部77构成。加工量识别部76根据输入到输入部75中的被加工物130的指令加工量A，确定用于修正每一次脉冲的加工量的修正公式，将与确定的修正公式相关的信息送到运算处理部74。

加工深度计算部77在每种加工条件下，根据指令加工量A计算加工深度H。所谓加工深度H是从加工电极120的底面到被加工物130的上表面的距离。

运算处理部74根据由加工深度计算部73计算出的加工深度H和来自于加工量识别部76的与修正公式相关的信息，计算每一次脉冲的加工量M2，将指令加工量A变换成指令有效放电脉冲数N1。

图7是表示实施方式2涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图。放电加工装置100的使用者将加工被加工物130所需的加工量作为指令加工量A输入到输入部75(步骤S200)。输入到输入部75的指令加工量A被发送到加工量识别部76和加工深度计算部77。

在这里，对电极120和被加工物130的相对面积T与每一次脉冲的加工量的关系进行说明。图8是表示电极的形状的图，图9是表示在加工处理时的电极和被加工物的剖面的剖面图，图10是表示电极和被加工物的相对面积与每一次脉冲的加工量的关系的图。

如图9所示，电极120以相对于被加工物130，进入到被加工物130的内部加工深度H的状态，进行加工处理。此时在与被加工物130的上表面相同平面内的电极120的面积成为相对面积T。

在图10中，横轴表示电极120和被加工物130的相对面积T，纵轴表示每一次脉冲的加工量M2。如图10所示，每一次脉冲的加工量M2相对于相对面积T，被描绘成二次曲线的曲线。

这样，因为在电极120和被加工物130的相对面积T(电极120的形状或加工深度H)变化的情况下，每一次脉冲的加工量M2产生变化，所以实际的加工量与放电脉冲数的关系不是线性的。因此，为了进行高精度的加工，必须计算出与被加工物130的加工量或电极120和被加工物130的相对面积T对应的每一次脉冲的加工量M2，进行放电加工处理。

例如，对修正电极120的指令加工量A的情况进行说明，该电极120的相对面积T与每一次脉冲的加工量M2有图11所示的关系。图11是表示电极和被加工物的相对面积与每一次脉冲的加工量的关系的图。

在这里，对电极120的形状为以下所述的情况进行说明，即，电极120的加工深度在加工深度0mm时相对面积T为25mm²，加工深度4mm时相对面积T为49mm²，加工深度10mm时相对面积T为100mm²。流过电极120和被加工物130之间的每单位时间的电流密度设为例如18.8(A/sec)等的恒定值。

返回到图7，加工深度计算部77根据电极120的形状，计算与指令加工量A对应的加工深度H(步骤S205)。如果设被加工物130的比重为8.0(g/cm³)，则指令加工量A可以如(4)式表示。

∫(5+H/2)²dH＝A/8···(4)

加工深度H可以利用将(4)式整理后的(5)式得到。

H³+30H²+300H＝1.5A···(5)

加工深度H的值可以通过解此(5)式的3次方程式的(6)式得到。

H＝(1000+1.5A)^1/3-10···(6)

因此，如果进行加工量A1162.7mg的加工，则达到加工深度H＝4mm。此外，如果进行加工量A4666.7mg的加工，则达到加工深度H＝10mm。

加工量识别部76根据由指令加工量A计算出的加工深度H，确定用于修正每一次脉冲的加工量的修正公式。可以根据图11的关系，对应于加工深度H，利用例如以下的(7)式、(8)式修正每一次脉冲的加工量P(μg)。

在加工深度H＜4mm时，

P＝15.8+(21.3-15.8)×H···(7)

在加工深度4mm≤H＜10mm时，

P＝21.3+(22.4-21.3)×(H-4)···(8)

由指令加工量A，利用(6)式可以求出加工深度。此外，由此目标加工深度H，利用(9)式、(10)式可以求出指令脉冲数N1。

在指令加工量A为A＜1162.7mg时，

N1＝(比重×相对面积×深度/每一次脉冲的加工量)＝8SH/P＝2000×(H³+40H²+400H)/(5.5H+15.8)···(9)

在指令加工量A为1162.7mg≤A＜4666.7mg时，同样地N1＝8SH/P＝2000×(H³+40H²+400H)/(1.1H+16.9)···(10)

在指令加工量A≥4666.7mg时，由于加工深度H大于或等于10mm，所以不利用电极120进行加工处理。

例如，在利用(7)式和(8)式进行设定，以修正每一次脉冲的加工量的情况下，为了确定修正公式，加工量识别部76要判断指令加工量A是否满足A＜1162.7mg的条件(步骤S210)。

在加工量识别部76判断指令加工量A是A＜1162.7mg的情况下(步骤S210中的YES)，将指令加工量A是“A＜1162.7mg”的情况通知给运算处理部74。

加工量识别部76判断指令加工量A不是A＜1162.7mg的情况下(步骤S210中的NO)，将指令加工量A是“1162.7mg≤A”的情况通知给运算处理部74。

运算处理部74根据通过加工深度计算部73计算出的加工深度H和来自于加工量识别部76的通知，在A＜1162.7mg的情况下，利用(6)式和(9)式计算指令放电加工脉冲数N1(步骤S220)。此外，运算处理部74在1162.7mg≤A＜4666.7mg的情况下，利用(6)式和(10)式计算指令放电加工脉冲数N1(步骤S230)。

利用运算处理部74计算出的指令有效放电脉冲数N1被送到加工脉冲数计算部60。然后，振荡控制部40根据通过放电脉冲检测部50检测出的有效放电脉冲数和来自于运算处理部74的指令有效放电脉冲数N1，控制脉冲振荡部30。

这样，因为根据指令加工量A计算指令放电加工脉冲数N1，所以在被加工物130的上表面高度在每次加工处理中不同的情况下，以及因被加工物130的水平度的变化引起的放电开始位置有变化的情况下，电极120都可以高精度地进行加工处理。

此外，因为可以由指令加工量A求出加工深度H，所以在被加工物130的上表面高度或放电开始位置等的变化少的情况下，也可以根据加工深度H控制加工处理。

此外，在本实施方式2中，使用(4)式～(10)式进行了指令加工量A的修正，但指令加工量A的修正不仅限于利用(4)式～(10)式进行修正，也可以利用其他的修正公式等进行指令加工量A的修正。

这样，由实施方式2，因为根据指令加工量A计算加工深度H，根据加工深度H计算指令有效放电脉冲数N1，所以可以进行与相对面积T对应的正确的加工量的控制。因此，在利用放电加工去除被加工物130的一部分这样的、需要正确的加工精度的加工处理中，也可以高精度地进行加工处理。

实施方式3.

使用图12～图14对本发明的实施方式3进行说明。在此实施方式3中，放电脉冲检测部50在检测有效放电脉冲的同时，也检测后述的准电弧放电脉冲、电弧放电脉冲。并且，根据这些全部的放电脉冲的每一次脉冲的加工量，计算加工中的被加工物130的加工量，进行被加工物130的加工控制。

图12是表示实施方式3涉及的放电加工装置的结构的图，图13是表示实施方式3涉及的加工量计算部的功能的功能框图。图12和图13的各构成要素中，对实现与图1所示的放电加工装置和图2所示的加工量计算部相同功能的构成要素采用相同标号，省略重复的说明。

如图12所示，放电加工装置101的加工控制部111(控制部)，加工量计算部70与振荡控制部40和放电脉冲检测部50连接。此外，放电脉冲检测部50检测有效放电脉冲、准电弧放电脉冲、电弧放电脉冲。

如图13所示，加工量计算部170由输入部75、加工量判断部78、有效放电脉冲数存储部81、准电弧放电脉冲数存储部82、电弧放电脉冲数存储部83、加工量换算部(计算部)79构成。

有效放电脉冲数存储部81对用放电脉冲检测部50检测出的有效放电脉冲，计数从放电脉冲检测部50发送的检测信号，将有效放电脉冲的计数值作为有效放电脉冲数x进行存储。

准电弧放电脉冲数存储部82对用放电脉冲检测部50检测出的准电弧放电脉冲，计数从放电脉冲检测部50发送的检测信号，将准电弧放电脉冲的计数值作为准电弧放电脉冲数y进行存储。

电弧放电脉冲数存储部83对用放电脉冲检测部50检测出的电弧放电脉冲，计数从放电脉冲检测部50发送的检测信号，将电弧放电脉冲的计数值作为电弧放电脉冲数z进行存储。

加工换算部79根据3种的、对每个放电脉冲预先计算出的每一次脉冲的加工量，计算加工中的被加工物130的加工量(后述的加工量Q)。

加工量判断部78将从加工量换算部79送来的加工量Q与从输入部75送来的指令加工量A进行比较，在加工量Q的值大于或等于指令加工量A的值的情况下，将振荡结束的指示信息发送给振荡控制部40。

图14是表示实施方式3涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图。放电加工装置100的使用者将加工被加工物130所需的加工量作为指令加工量A输入到输入部75(步骤S300)。输入到输入部75的指令加工量A被送到加工量判断部78。加工量判断部78保持指令加工量A。当开始被加工物130的加工处理时，放电脉冲检测部50识别检测出的放电脉冲是有效放电脉冲、准电弧放电脉冲、电弧放电脉冲的哪一种(步骤S310)。

对放电脉冲检测部50中的有效放电脉冲、准电弧放电脉冲、电弧放电脉冲的检测方法进行说明。放电脉冲检测部50将检测出的高频成分分布在积分输出大的一方的情况下(稳定加工时)的放电脉冲判断为有效放电脉冲。此外，将高频成分分布在积分输出小的一方的情况下(电弧时)的放电脉冲判断为电弧放电脉冲。此外，将高频成分分布在有效放电脉冲和电弧放电脉冲之间的积分输出的情况下(不稳定时)的放电脉冲判断为准电弧放电脉冲。例如，预先设定为，将高频成分大多分布在积分输出0～0.5V的情况判断为电弧放电脉冲，将高频成分大多分布在积分输出0.5～3V的情况判断为准电弧放电脉冲，将高频成分大多分布在积分输出3～9V的情况判断为有效放电脉冲。

返回到图14，放电脉冲检测部50在检测出有效放电脉冲的情况下，将检测信号发送给有效放电脉冲数存储部81。当有效放电脉冲数存储部81从放电脉冲检测部50接收到检测信号时，存储的有效放电脉冲数x的值递加1(步骤S320)，存储递加后的值。当有效放电脉冲数存储部81递加有效放电脉冲数x的值时，将有效放电脉冲数x的值发送给加工量换算部79。

放电脉冲检测部50在检测出准电弧放电脉冲的情况下，将检测信号发送给准电弧放电脉冲数存储部82。当准电弧放电脉冲数存储部82从放电脉冲检测部50接收到检测信号时，存储的准电弧放电脉冲数y的值递加1(步骤S330)，存储递加后的值。当准电弧放电脉冲数存储部82递加准电弧放电脉冲数y的值时，将准电弧放电脉冲数y的值发送给加工量换算部79。

放电脉冲检测部50在检测出电弧放电脉冲的情况下，将检测信号发送给电弧放电脉冲数存储部83。当电弧放电脉冲数存储部83从放电脉冲检测部50接收到检测信号时，存储的电弧放电脉冲数z的值递加1(步骤S340)，存储递加后的值。当电弧放电脉冲数存储部83递加电弧放电脉冲数z的值时，将电弧放电脉冲数z的值发送给加工量换算部79。

当加工量换算部79从有效放电脉冲数存储部81、准电弧放电脉冲数存储部82、电弧放电脉冲数存储部83中的任何一个接收到放电脉冲数的值时，根据每一次有效放电脉冲的加工量α、每一次准电弧放电脉冲的加工量β、每一次电弧放电脉冲的加工量γ，从(11)式计算出加工量Q，并发送给加工量判断部78(步骤S350)。

Q＝1000×(α·x+β·y+γ·z)···(11)

在这里，对每一次有效放电脉冲的加工量α、每一次准电弧放电脉冲的加工量β、每一次电弧放电脉冲的加工量γ进行说明。如果设加工试验第n次(n为自然数)的脉冲数分别为有效放电脉冲数Xn、准电弧放电脉冲数Yn、电弧放电脉冲数Zn(n为自然数)，设加工试验第n次的总加工量为总加工量Wn，则每一次有效放电脉冲的加工量α、每一次准电弧放电脉冲的加工量β、每一次电弧放电脉冲的加工量γ、有效放电脉冲数Xn、准电弧放电脉冲数Yn、电弧放电脉冲数Zn、总加工量Wn的关系可以用(12)式表示。

$\left(\begin{array}{ccc}X1& Y1& Z1\\ X2& Y2& Z2\\ \·& \·& \·\\ \mathrm{Xn}& \mathrm{Yn}& \mathrm{Zn}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}\mathrm{\α}\\ \mathrm{\β}\\ v\end{array}\right)=\left(\begin{array}{c}W1\\ W2\\ W3\end{array}\right)---\left(12\right)$

因此，预先进行多次加工试验，通过解(12)式，可以得到每一次有效放电脉冲的加工量α、每一次准电弧放电脉冲的加工量β、每一次电弧放电脉冲的加工量γ。得到的每一次有效放电脉冲的加工量α、每一次准电弧放电脉冲的加工量β、每一次电弧放电脉冲的加工量γ预先设定在加工量换算部79中。

加工量换算部79根据每一次有效放电脉冲的加工量α、每一次准电弧放电脉冲的加工量β、每一次电弧放电脉冲的加工量γ、以及有效放电脉冲数x、准电弧放电脉冲数y、电弧放电脉冲数z，计算加工量Q。

加工量判断部78将从输入部75送来的指令加工量A和加工量Q进行比较(步骤S360)。在加工量Q大于或等于指令加工量A的情况下，加工量判断部78向振荡控制部40发送振荡结束的指示信息，以使加工处理结束。然后，通过来自于振荡控制部40的控制，脉冲振荡部30使放电加工处理结束。

这样，由实施方式3，在放电脉冲的输出不稳定的情况下，由于对每种脉冲的脉冲数进行计数而计算加工量Q，所以可以进行精度高的加工处理。

实施方式4.

使用图1、图15和图16对本发明的实施方式4进行说明。在此实施方式4中，进行多次加工处理时，根据前次(第N次)的加工处理中的加工量对本次(第(N+1)次)的加工处理中的加工量的影响，进行指令加工量A的修正。此外，作为一次的加工处理使用多个电气条件。在这里，对变更前的电气条件是粗加工，变更后的电气条件是精加工的情况进行说明。

图15是表示实施方式4涉及的加工量计算部的功能的功能框图。对于图15的各构成要素中，实现与图2所示的实施方式1的加工量计算部相同功能的构成要素采用相同标号，省略了重复的说明。

如图15所示，加工量计算部70由信息存储部(记忆部)71、修正值计算部85、运算处理部74、输入部75构成。信息存储部71存储指令加工量A和本次的紧之前进行的加工处理时的指令加工量C。

修正值计算部85根据从信息存储部71送来的指令加工量C，对本次的指令加工量A进行修正。于是，从指令加工量A得到修正加工量B2。运算处理部74根据来自于修正值计算部85的修正加工量B2和预先设定的精加工用的加工量D，将修正加工量B2变换成指令有效放电脉冲数N2、N3。指令有效放电脉冲数N3是精加工用的放电脉冲数，指令有效放电脉冲数N2是粗加工用的放电脉冲数。

图16是表示实施方式4涉及的放电加工装置的动作顺序的流程图。放电加工装置100的使用者通过输入部75将指令加工量A输入到输入部75中(步骤S400)。被输入到输入部75中的指令加工量A被送到信息存储部85，信息存储部85存储指令加工量A。

在这里，对多次加工处理时，上次的加工处理中的加工量对本次的加工处理的加工量产生的影响进行说明。图17是表示粗加工用的电气条件和精加工的电气条件的图，图18是表示上次的粗加工的加工量和下次(本次)的粗加工的加工量的关系的图。

精加工的有效放电脉冲数预先设定为恒定的次数，例如为42106次。如图18所示，使上次的粗加工的加工量有各种变化，与之相对，将本次的粗加工的加工量为恒定次数，为13595次。如图18所示，在上次的粗加工的加工量(有效放电脉冲数)多的情况下，本次的粗加工的加工量(有效放电脉冲数)表示出变多的倾向。也就是说，由于精加工的有效放电脉冲数总是恒定数，所以如果上次的加工处理中粗加工的有效放电脉冲数相对于精加工的有效放电脉冲数的比例增加，则本次的精加工的加工量就增加。因此，如果不对应于上次的粗加工的加工量而对本次的粗加工的有效放电脉冲数进行修正，就不能高精度地进行加工处理。

在这里，对修正值计算部85以上次的粗加工的加工量与本次的粗加工的加工量具有图18所示关系的条件，修正指令加工量A的情况进行说明。因此，精加工用的加工量D被预先设定为规定值。

返回到图18，修正值计算部80根据从信息存储部85送来的上次的指令加工量C，修正本次的指令加工量A，得到修正加工量B2。修正加工量B2利用例如(13)式计算(步骤S410)。

B2＝(1-0.02×C)×A···(13)

运算处理部74根据从修正值计算部80送来的修正加工量B2和预先设定的精加工用的加工量D，计算精加工用的指令有效放电脉冲数N2和粗加工用的指令有效放电脉冲数N3。指令有效放电脉冲数N2利用(14)式计算，指令有效放电脉冲数N3利用(15)式计算(步骤S420)。在这里，M3为粗加工用的每一次有效放电脉冲的加工量，M4为精加工用的每一次有效放电脉冲的加工量。

N2＝(B-D)/M3···(14)

N3＝D/M4···(15)

通过运算处理部74得到的指令有效放电脉冲数N2、N3被送给加工脉冲数计算部60。脉冲振荡部30根据粗加工用的条件开始被加工物130的放电加工处理。放电脉冲检测部50检测在电极120和被加工物130的间隙中产生的有效放电脉冲，将脉冲的检测信号发送给加工脉冲数计算部60。

加工脉冲数计算部60对从放电脉冲检测部50送来的脉冲的检测信号进行计数，实时地对计数后的有效放电脉冲数和从运算处理部74送来的指令有效放电脉冲数N2进行比较。然后，如果从放电脉冲检测部50送来的有效放电脉冲数和从运算处理部74送来的指令有效放电脉冲数N2一致，则加工脉冲数计算部60将振荡结束的指示命令发送给振荡控制部40，使粗加工用的脉冲放电停止。

然后，脉冲振荡部30根据精加工用的条件开始被加工物130的放电加工处理。放电脉冲检测部50检测在电极120和被加工物130的间隙中产生的有效放电脉冲，将脉冲的检测信号发送给加工脉冲数计算部60。

加工脉冲数计算部60对从放电脉冲检测部50送来的脉冲的检测信号进行计数，实时地对计数后的有效放电脉冲数和从运算处理部74送来的指令有效放电脉冲数N3进行比较。并且，如果从放电脉冲检测部50送来的有效放电脉冲数和从运算处理部74送来的指令有效放电脉冲数N3一致，则加工脉冲数计算部60将振荡结束的指示命令发送给振荡控制部40，使精加工用的脉冲放电停止，结束放电加工处理。

被加工物130的放电加工处理结束后，将存储于信息存储部71中的被加工物130的指令加工量A送到信息存储部85。信息存储部85将已存储的上次的指令加工量C变更为指令加工量A的值后进行存储(步骤S430)。

此外，在本实施方式4中，采用以下结构，即，使精加工用的加工量D恒定，根据上次的粗加工用的加工量修正指令加工量A的，但也可以采用根据粗加工用的加工量和精加工用的加工量的比例，修正指令加工量A的结构。

这样，由实施方式4，由于以减少上次的粗加工的加工量对本次的粗加工的加工量的影响的方式修正指令加工量A，所以在为了进行被加工物130的正确的加工处理而必须在多种加工电气条件下进行加工的情况下，也可以高精度地进行加工处理。

此外，放电加工装置也可以为全部具备实施方式1～4中说明的放电加工装置的构成要素的结构。这种情况下，例如加工量换算部79根据有效放电脉冲的每一次脉冲的加工量分别相当于多少准电弧放电脉冲数和电弧放电脉冲数，将通过有效放电脉冲数存储部81、准电弧放电脉冲数存储部82、电弧放电脉冲数存储部83检测出的放电脉冲换算成有效放电脉冲。然后，根据累积加工量S、相对面积T、上次的指令加工量C，修正指令加工量A，在通过加工量换算部79换算后的有效放电脉冲数达到被修正后的指令加工量的时候，结束加工处理。

如以上说明所述，由本发明，因为根据电极120的使用经历修正指令加工量A，根据修正加工量B1进行被加工物2的加工处理，所以起到以下效果，即，可以与因电极120的使用经历而变化的实际的加工量无关，高精度地对被加工物2进行加工处理。

工业实用性

如上所述，本发明涉及的放电加工装置适用于可以以设定的加工量正确地进行加工的放电加工装置。

Claims (8)

1.一种放电加工装置，其利用在加工电极与被加工物之间产生的放电，对上述被加工物进行加工，其特征在于，具有：

修正部，其根据上述加工电极的使用经历，对为了加工上述被加工物而输入的输入加工量进行修正；以及

控制部，其根据修正后的上述输入加工量，控制上述被加工物的加工处理。

2.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，

上述修正部具有计算上述加工电极进行加工处理的累积加工量的累积加工量计算部，根据上述累积加工量对上述输入加工量进行修正。

3.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，

上述修正部具有存储部，其在一轮的加工处理是将由多个加工条件所构成的加工处理进行多次加工处理的情况下，将上述加工电极进行上次加工处理时的与加工量相关的信息作为上次加工量信息进行存储，

根据在上述存储部中存储的上述上次加工量信息，修正上述输入加工量。

4.根据权利要求3所述的放电加工装置，其特征在于，

上述上次加工量信息为一次加工处理的加工量与包括在一次加工处理中的规定的加工条件的加工量的比例。

5.根据权利要求3所述的放电加工装置，其特征在于，

上述上次加工量信息为包括在一次加工处理中的规定的加工条件的加工量。

6.一种放电加工装置，其利用在加工电极和被加工物之间产生的放电，对上述被加工物进行加工，其特征在于，具有：

修正部，其根据上述加工电极的形状和上述加工电极加工上述被加工物时的加工深度，对为了加工上述被加工物而输入的输入加工量进行修正；以及

控制部，其根据修正后的上述输入加工量，控制上述被加工物的加工处理。

7.根据权利要求6所述的放电加工装置，其特征在于，

上述修正部根据上述输入加工量和上述加工电极的形状，计算上述加工深度。

8.一种放电加工装置，其利用在加工电极和被加工物之间产生的放电，对上述被加工物进行加工，其特征在于，具有：

放电脉冲检测部，其识别放电脉冲的高频成分的大小，针对每个放电脉冲，检测其属于多个种类的放电脉冲中的哪一种；

计算部，其根据与上述多种放电脉冲分别对应的每一次脉冲的加工量和上述检测的各自的放电脉冲数，计算加工中的被加工物的加工量；以及

控制部，其根据为了加工上述被加工物而输入的输入加工量和通过上述计算部计算出的上述被加工物的加工量，对上述被加工物的加工处理进行控制。

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