1227210 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於保存或運送用於製造半導體元件或液晶顯 示元件等之光罩基板時於盒内可確t地定#載置之固定件 ’不會與光罩基板表面接觸地’具有可防止光罩之破損或 因移位而產生靜電之固定件之光罩盒。 【先前技術】 由先前使用於半導體積體電路等之製造步驟之光罩基板 ，關於例如使用於為製造半導體元件或液晶顯示元件等之 暴光頌〜步ΙχΓλ等之光罩基板，其保存或運送時使用收納此 之光罩盒，為防止於光罩基板上附著塵埃者。 即，光罩基板為細微的照相製版品，由於因塵埃的附著 b Τ來重大的抽傷故厭惡會弄辨照相原板之任何污染物， 有極力防止塵埃附著之必要。 又，光罩基板為玻璃基板，於光罩盒内伴隨著運送等時 <衝擊4光罩基板與其固定件之光罩支持體之偏移之摩擦 而產生靜電而有塵埃附著於光罩基板之虞，於照相製版面 附著塵埃，有帶來重大的損傷之虞。 因此’作為將光罩基板載置於盒内之固定件之光罩支持 體有例如’特開平2001-301 877之第7圖及第8圖所示之構成 者。 该固足件之光罩支持體係為，由本體及蓋體内面突出必 要數量的保持枝部以該部分載置光罩基板者，關於該保持 枝部於幹部具有擁有傾斜平面之台板部之保持枝部或於幹 83330 1227210 部具有帽子部之保持枝部被揭示。 【發明内容】 發明所欲解決之課題 如前述於光罩内放人光罩時，該光罩基板之使用上極端 地厭惡光罩本身的^亏染’因此有必要極力避免關於光罩上 下表面之接觸污染。 因此首先關於前述之特開平2〇〇1一3〇1 877所示之幹部有帽 子P之保持枝#為，將該接觸面僅限定為帽子部，以極力 減V接觸面者’惟關於該帽子部無 表面接觸，無法避免該部㈣染。u罩… 由万'以Ί·目子部 < 點支持，將光罩放入光罩盒内運送時 三内部《光罩被搖晃，t由前述保持枝部偏移，不僅會附 著伴隨偏移之污染亦有破損之虞，進一步則該帽子部與光 罩之接觸面之偏移而摩擦產生靜電使盒内之塵埃附著於光 罩表面者。 因此，有對光罩帶來很大的損傷之虞。 其次關於示於特開平讓_301 877之幹部具有擁有傾斜平 面〈台板邵之料枝部，係成於該傾斜平面支持光罩之角 部即棱線，不與光罩之上下表面接觸。 關於該點雖極為有用，惟單僅具有傾斜平面，僅以該面 支持光罩時雖可防止光罩向傾斜之上部方向之偏移，:光 罩卻會簡單地向傾斜之下部方向偏移，又光罩會向傾斜平 面之水平的平面方向即幹部與垂線方向偏移。 例如於特開平2〇〇1_删77之圖5所示之保持枝部之配置 83330 1227210 狀態，於圖面上係會於上下方向偏移纟，示於圖6之情㈣ ，會以光罩之中心部分作為軸心簡單地向旋轉方向偏移？ 將光罩放入光罩盒内運送時，内部之光罩被搖晃，與前 述同樣地由保持枝部偏移，有破損之虞，再者因該傾斜平 面與光罩之接觸面偏移使光罩之棱線部分被摩擦而於光罩 產生靜電使塵埃附著於表面I，有對光罩帶來甚大的損傷 之虞。 再者，為不產生偏移地將光罩以該等之保持枝部支持， 需要於保持枝部施以極高的壓力將光罩以本體與蓋體押住 ，而有因此傷及光罩之虞。 又，亦有由於夾入光罩而於本體與蓋體之間產生間隙之 虞，有助長塵埃侵入盒内的可能性。 如以上於盒内將光罩，不偏移地正確且安全地定置極為 困難。 … 本發明 < 目的為有鑑於所關觀點，將上述問題點解決提 仏-、有將光罩不觸及其上下表面地正確且安全地定置，即 使糸運送時等之衝擊亦可防止光罩之偏移之固定部之光罩 盒。 課題解決之手段 為達成上述目的關於申請專利範圍第丨項之發明為具有 本⑲與關閉本體之開口部的蓋體而為收納光罩之光罩盒， 万、本之内邯之本體開口部方向及裡面方向具有為載置光 罩之傾斜面之固定部，於蓋體關閉時對應該等固定部之蓋 骨豆内邯具有為押住光罩之傾斜面之固定部之光罩盒，本體 83330 1227210 之開口部方向之固定部仓來 '、夺，、<頁斜面向盒中心部漸漸地變 低地配設，本體之裡面方向之固定部係將其傾斜面向盒開 口部万向漸漸地變低地配設，蓋體之開口部方向之固定部 係將其傾斜面向盒裡面方向漸漸地變低地配設，蓋體之裡 面万向（固疋邵係將其傾斜面向盒中心部方向漸漸地變低 地配設、，當關閉蓋體時，本體之固定部與蓋體之開口部方 向（固定邯分別藉由傾斜面將光罩之棱線部分由上下方向 押住的同時可由前後方向押住之光罩盒，藉此發明 述課題。 又關於中請專利範圍第2項之發明之略四角形狀之光罩 盒本體之内部具有4個分別由角部格向中心部方向分別為 載置光罩之具有傾斜面的固定部的同時對應於此於蓋體内 邵具有4個為押住光罩之具有傾斜面的固定部之光罩盒，其 中本體之開口部方向的2個固定部係將其傾斜面向:中: ㈣漸地變低地配設’本體之裡面方向的2個固定部係相對 ’將其傾斜面相互向盒開口部方向漸漸地變低地配設，蓋 體之開口部方向的2個固定部係將其傾斜面向盒裡面方向 漸漸地夂低地配設，蓋體之裡面方向之2個較部係相互面 對將，、L、斜面相互向盒中心部方向漸漸地變低地n 當關閉蓋體時，本體之固定部與蓋體之開口部方向之固定 部藉由分別之傾斜面將光罩之棱線部分由上下方向押住的 同時可由雨後左右方向押住之光罩盒亦可達成。 或者關於申請專利範圍第3項之發明之蓋體之固定部係 ’於其兩端部方向具有固定基部，中央部以傾斜面所成之 83330 -10- 1227210 略橋形狀之固定部之光罩盒亦可。 進一步關於申請專利範圍第4項之發明於蓋體之固定部 之固定部基邯具有大小分別相異之孔，於另一邊蓋體之固 足4配彡又處$又對應如述孔之兩個大小相異之突出部，藉由 夫雨述固足部基邯之孔嵌入突出部可決定固定部之配設處 之位置之光罩盒亦可。 此外關於申請專利範圍第5項之發明之蓋體之固定部利 用有彈性4 PP塊狀共聚體或氨基甲酸酯樹脂之光罩盒亦相 又關於申請專利範圍第6項之發明之本體之固定部之固 定部基部具有大小分別相異之兩個孔
之位置之光罩盒亦可。
片，可於押入光罩時沿著傾斜邊 固定部之傾斜面之光罩盒亦可。 此外如關於申請專利範圍第8頊 之内面開口部側，有較延伸到本1 之I明其具有較由本體
定部之傾斜面之光罩向開口 到本體之開口部方向之固定部 輔助位置決定肋片，可控制光 位置決定肋片可阻止載置於固 邯側偏移之光罩盒亦相同。 83330 1227210 或：如關於申請專利範園第9項之發明具有由蓋體之内 =連接部插入口側，延伸到蓋體之裡面方向之固定部之 %面 < 肋片的同時具有較該傾斜面之高度稍高的肋片， 耩夕力片可阻止載置於固定部之傾斜面之光罩向裡面方向 偏移之光罩盒亦可。 此外如關Μ請專利範圍第1Q項之發明具有由蓋體之内 面（開口邵側’延伸到蓋體之開口方向之固定部之傾斜面 同時有較該頻斜面之高度稍高的肋片，藉由肋片 罩盒亦可。 “面…向開口方向偏移之光 曲進一步如關於申請專利範圍第11項之發明於本體及/或蓋 體之内面之兩侧面’具有於由該側面部分延伸到收納光罩 k光罩之邊緣部分之肋片’可控制光罩之載置處的同時 藉由肋片可阻止截f夕氺署A达、1 、 戰置义先罩向檢万向偏移之光罩盒亦可。 【實施方式】 圖^為顯示關於本發明之光罩之光罩盒之一實施狀態之 圖’以略四角形狀作為基盤之„盒之本m與為覆蓋該本 體之開口部之光罩盒之蓋體2所成。 藉由蓋體2覆蓋本體1，可關閉光罩盒。 該當於將該本體丨藉由蓋體2關閉時之接縫之本體丨之開 口周緣11及蓋體2之開π周緣21分別具有突出壁川、川， 藉由該等相互嵌合而成套合，於關閉時提高密封的程产。 其次將本體i與蓋體2兩者連接，且作為可將兩者開又關自 在地折曲之軸片部分，藉由連接部3連接。 83330 -12- 1227210 該連接邵3，於略U字型之連接部本體3丨之兩端部具有插 入本體1及蓋體2之連接部插入口 12、22之舌片部32，於1；字 型之連接部本體3 1之開口侧之舌片部分別具有接觸片”之 軸片形狀而成。 忒接觸片3 5於分別之舌片邵3 2作為水平狀態時維持u字 型之連接部本體3 1之開口，接觸片35之一側邊之接觸侧面 3 5 1相互成接觸狀態。 因此，可將該接觸片3 5以面向盒内部方向的狀態將連接 部3 4分別心設片邵32分別插入本體}及蓋體2之連接部插 入口 1 2 22使本脱1與蓋體2成關閉之狀態時如前述地舌 片部32成水平狀態，接觸片35之接觸側面351相互成接觸狀 態，可提高該部分之密封度。 其次由如此之狀態開啟蓋體2時U字型之連接部本體31的 部分折曲而可開啟。 與配設如此之連接部3之位置為對向方向之本體1與蓋體 2之開啟邯分具有本體丨及蓋體2之凹部丨3、，於該凹部u 、2 3内具有關閉滑板4。 關閉α板4為藉由本體丨之水平部丨3 〇或突出導通片1 3 1等 控制可動方向的同時藉由關閉滑板4將蓋體2之關閉塊231 等夾入以固疋本體1與蓋體2而可鎖住，相反地藉由將該關 閉滑板4作為可動，解除該夾入而可開啟蓋體2。 如此之關閉滑板4為，配置於向本體1及蓋體2之分別之内 邛方向0又置之凹邵1 3、3 3内者，以配置關閉滑板4之狀態， 將關閉/目板4以不由本體丨及蓋體2之外表面向外部突出之 83330 -13- 1227210 狀態配置。 如以上連接部3及關閉滑板4為分別可位於與本光罩盒之 外周側片大致同-平面上的同時將光罩盒之本體i與蓋體2 之接缝套合時可使之於同一線上。 因—此例如^該部分捲以枯著膠帶時，可使光罩盒之本體ι 與蓋體2之接缝於同一線上’且可將全部當作平面捲之，可 維持極高的密封性，可以極高的機率防止塵埃對盒内的侵 入。 再者亦可因應需要於本體1與蓋體2之接缝配設密封塾。 人，本體1於其内周面之侧面設有肋片丨4，蓋體2亦同 樣地於其内周面之側面設有肋片24。 以此，防止盒的變形，可防止伴隨本體丨及蓋體2之變形 之接缝偏移，可防止兩者之間隙之發生，且可增加本體丨及 蓋體2之強度。 並且’薇肋片14、24之内光罩盒之兩侧邊部分配設之肋 片14、24 ’為防止收納光罩時光罩之橫方向偏移而延伸至 光罩兩側邊的附近。 特別是如示於圖地於蓋體2之盒内部有由蓋體2之内部之 周面之底邵向開口部突出之肋片，與設於蓋體2之外周緣2 j 之突出壁210之間有間隙地立設有定位肋片25。 此為’防止因蓋體2覆蓋時設於本體1之内周緣丨丨之突出壁 110與設於蓋體2之外周緣21之突出壁210套合之偏移者，防 止本體1之内周緣之突出壁110向盒内部方向偏移掉下以防 止套合之偏移。 83330 -14- 1227210 其次，於本體1之内部由略四角形狀之盒之分別的角部稍 向中心部方向4處，分別有固定載置光罩之固定部1 6，於該 部分定位載置光罩，可收納於盒内。 該固定部16具有固定邵基邵1 6 1及與光罩接觸之上面部 之傾斜面1 6 2，藉由於該傾斜面16 2抵接光罩下面侧之侧邊 之角部之棱線部分定位。 此時，固定部1 6之中，位於本體1之凹部1 3侧之兩個固定 部1 6，其傾斜面1 62之傾斜低的端部1 62a在於本體1之内側方 向’南的端部1 6 2 b在於本體1之外側方向，傾斜面1 6 2之傾 斜與本體1之凹部1 3側之側邊平行地將外側方向之端部提 高漸漸地向内侧方向變低地分別配設。 又’於固定部1 6之中，位於本體1之連接部插入口丨2側之 兩個固定部16,其傾斜面162之傾斜低的端部162a在於本體i 之内侧方向，高的在端部162b於蓋體2之外侧方向，傾斜面 162之傾斜與沒有本體1之凹部丨3及連接部插入口丨2之兩侧 邊平行地將外侧方向之端邯提鬲漸漸地向内侧方向變低地 分別配設。 再者，支持該等固定部16之傾斜面162之固定部基部161 ，具有為維持載置光罩應有的高度之特定高度。 因此，於本體1内載置光罩時由本體i之凹部丨3侧之開口 P刀插入光罩時，位於本體J之連接部插入口 12侧之兩個固 定部16之傾斜面162之傾斜，由於本體丨之裡面側高，開口 關低，光罩之插入裡面側之下面侧之侧邊之棱線部分， 藉由痛斜面！ 62押止於特定位置，將光罩押止於載置位置 83330 -15- 1227210 可防止向本體裡面側押人—定以±，可防止光罩插入方向 之偏移。 於此狀態光罩之靠近側即位於本體i之開口部側之端部 下降將光罩載置於固^邵i 6時，位於該本體i之凹部】3側之 :個口定邛1 6之傾斜面! 62之傾斜，由於本體工之兩侧面側 向，本f豊1之内部侧低，為光罩兩側部之下面侧之側邊之角 部之稜線部分將成載置於該傾斜面162，可由料之橫方向 進行押住，可防止對光罩之插人方向橫方向之偏移。 、該等固定部16之傾斜面162並非與光罩之上下面之表面 接觸者’係為接觸所謂稜線部分者，不會因接觸光罩面而 弄骨葬。 又，本體1之裡面方向之兩個固定部16之傾斜面162之傾 斜万向，與本體1之開口方向之兩個固定部16之傾斜面162 之方向，以所謂對向方向兩者面對交叉方向，可將光罩載 置於定位置的同時可防止偏移，且於收納光罩時即使由定 杈置有若干偏移地收納時亦可容易地修正定置到定位置。 再者，固定部1 6之傾斜面i 62以多用於半導體相關之烯烴 類所構成為宜。 又，該等固定部1 6為，於本體1 一體成形配設者之外，例 如由本體具有突出部，對此於固定部基部1 6丨具有將該突出 邵嵌合之孔，藉由將前述突出部嵌合於具有傾斜面162之固 疋部16之固定部基部161之孔嵌著於將本體1者亦可。 例如於固定部基邯1 61具有兩個孔，只要於本體1具有適 合於此之兩個突出部，可容易地控制於配設時之傾斜面162 83330 -16- 1227210 之方向。 又，於位於本體丨之連接部插入部12側之兩個固定部丨石之 間，具有辅助受台肋片151於稍微本體丨中心部方向。 此為，於本體工之開口部方向低，而隨著向裡面變高地傾 …斗之辅助受台肋片151。 、j此為將光罩收納於本體1由開口部方向向本體丨之連 之F插入口 12側之固定部放置時，可控制光罩之裡面方向 、 之4、、泉4分’沿著該輔助受台肋片1 5 1押入本體1之 裡面方向時之方向。 、特々i疋將光罩沿著具有傾斜之辅助受台肋片151押入，則 斤也達到接近固定邵16之傾斜面162之高度附近，就此可 抵接固定部16之傾斜面162。 、匕載置光罩時可圖方便，可確實地定置於定位置。 再者，辅助雙台肋片丨5丨由於開口部側低，將光罩載置於 4處 < 固疋部，則再也不與光罩接觸。 又於本體1之開口部方向具有辅助定位肋片丨52，將光 罩載置於固定部16時，為將光罩引導至定位置者。 、即，將光罩於未達裡面側之定位置之狀態欲將光罩載置 口定4 1 6時’開口部方向之辅助定位肋片1 52將成障礙， 而光罩與去乘於開口部方向之固定部16，將光罩引導致定 釭置時，辅助定位肋片152再也不成障礙，可載置於前述開 口部方向之固定部16。 Q此，辅助疋位肋片】52為，只要是較光罩之定置處配設 於開口部方向者即可。 83330 -17- ^27210 其次，於蓋體2之内部於略田角形狀之盒之由分別之角部稍 微中心方向之4處，亦具有分別固定載置光罩之固定部26。 該等固定部26分別配置於與本體1之固定部丨6對應之部 分，於本體1之固定部16上載置光罩關閉蓋體時，藉由分別 對應於固定部1 6位置之蓋體2之固定部押住者。 該固定部26，由固定部基部261及具有與光罩接觸之面之 傾斜面262所成，關閉蓋體2時光罩上面侧之侧邊之角部之 棱線部分與該蓋體固定部26之傾斜面262抵接，由上方方向 向下方方向押住。 此時’固定邵26之中，位於蓋體2之凹部23侧之兩個固定 P 26其傾斜面262之傾斜之低的端邵262a在於蓋體2之内側 方向，南的端部2 6 2 b在於蓋體2之外侧方向，傾斜面2 6 2之 傾斜與沒有蓋體2之凹部23及連接部插入口 22之兩侧邊平 行地配設。 又’於固定部26内，位於蓋體2之連接不插入口 22侧之兩 個固定部26,其傾斜面262之傾斜之低的端部在於蓋體2 <内侧方向，高的端部262b在於蓋體2之外側方向，傾斜面 2之倾斜沿著盖體2之連接部插入口 22側之侧邊平行地配 設° 再者’支持該等之固定部26之傾斜面262之固定部基部 261 目 ’具有為維持為以定位置押住光罩之高度之特定高度。 、因此，於本體1内載置光罩關閉蓋體2時，盒之裡面侧即 4万、連接部插入口 22側之兩個固定部％，向盒之橫方向之 内心】P条低其傾斜面，光罩插入方向之兩側面之上面侧之兩 83330 -18- 1227210 側邊之角部之板線部分以該傾斜面2 6 2抵接，可由光罩之插 入方向之兩侧方向進行押住。 又，光罩插入罪近侧之盒開口部侧之上面側之侧邊之角 部之棱線部分係，與位於蓋體2之凹部23側之兩個固定部26 之傾斜面262之傾斜抵接者。 該固定部26向蓋體2之中心部方向漸漸地變低，盒開口部 側高而向盒中心方向變低地與盒之兩側平行地將傾斜面 262朝向者，盒之縱方向即於裡面方向將其傾斜面變低，光 罩之插入方向之兩侧面上之上面側之兩側邊之角部之棱線 部分與孩傾斜面262抵接可防止向開口部方向之偏移者。 ，再者，固定部26之傾斜面262以多用於半導體相關之烯烴 類所構成之外，為以彈性押住，以由pp塊狀共聚體所成者 或氨基甲酸酯樹脂等所構成者亦可。 該口足祁26，於固定邵基部261具有傾斜面262之構成之 外，例如以兩端部分作為固定部基部261，其中間部分作為 傾斜面262之橋狀固定部％亦可。 精由具有弹性之構件或/與此一起作成橋狀使之擁有彈性 ’於蓋體2關閉時可1 、 f 了以沣力押住，不僅可防止傷及光罩亦可 圖防止偏移。 又涿等 < 固疋部26，於蓋體2一體成形配設者之外， 立山本l ^有大出邯，對此於固定部基部26 1具有對該突 、人口又孔，藉由於具有傾斜面262之固定部26之固定部 將前述突出部嵌合嵌著於蓋體2者亦可。θ 、兩场α卩具有固定部基部261其分別具有孔，只要 83330 -19- 1227210 蓋體2有適合於此之兩個突出部，可容易地控制於配設時之 傾斜面262之方向。 特別是藉由改變突出部之形狀，長度或大小等及前述2個 孔之形狀，深度或大小等，可將特定之傾斜配合希望之方 向嵌入。 又’位於蓋體2之連接部插入部22側之兩個固定部26之間 ’於稍微蓋體2之連接部插入口 22具有肋片24的同時位於蓋 體凹邵23侧之兩個固定部26之間，於稍微蓋體2之凹部 23侧具有肋片24，合起來該等肋片具有突出部24ι。 族等肋片24及肋片哭出部241，通常雖不與光罩接觸，惟 於使用上當盒受到大的衝擊越過固定部26之彈性的按押之 制服力時，為消除光罩偏移之防備。 x上本骨豆1之固定部1 6與蓋體2之固定部26，分別對 應地配設’ ϋ由由上下夾住將光罩的上下面之角部之棱線 邵分押住定位之光罩收納及防止偏移。
此時，與本體1及蓋體2對向之固定部16與固定部^分另I 將傾斜面朝向交叉方向，菸 乃J猎由先罩<上下面之各棱線部矣 成由四方方向押入。 者万'辅助疋位肋片152或肋片突出部⑷受到更強^ t =可將光罩之偏移抑制在最低限之所謂兩段構造： 止偏移措施。 ^ 万、本1内將光罩足位載置之下將蓋體2關閉 ,_ ^邊〈角邶〈稜線部分，與該蓋體固定部: …、、面262抵接，成由上方方向向下方方向押住，可將 83330 -20- 1227210 罩以靜止狀態定置。 再者藉由於光罩之上下面之各棱線部分於本體丨及蓋體之 相對之固定部16與固定部26分別將其傾斜面朝向交叉方向 由四方方向押住可使光罩不會偏移地收納於光罩盒内。 又因固定部26以彈性押住光罩可進一步抑制光罩之偏移 的同時亦可防止光罩的破損。 又，僅以光罩之角部之棱線部分與各固定部16、％接觸 可不接觸光罩本身地載置。 藉此可防止因盒内之光罩之偏移所產生之靜電，可防止 不必要的粉塵附著於光罩的同時可防止因各固定部之接觸 之光罩表面之污染。 合起來，於光罩之操作之上亦可充分地防止因光罩之偏 移之光罩破損。 再者，為防止光罩盒本身產生靜電的情事而使用塗敷導 電樹脂類之素材的情形，或者使用添加防止帶電效果高的 導電橡膠之壓克力系樹脂者亦可。 精此防止盒本身產生靜電，可防止不必要的塵埃對盒之 附著。 圖2為顯示先前例之一例之圖，本體7與蓋體8以軸片川之 各個翼邵901連接，設於由本體7之開口周緣突出形成之板 <先响（本體侧固定塊7丨與合蓋時與此接合之蓋體侧固定 塊8 1藉由固定滑板9 5扣合之構成。 因此’孫固定滑板95位於蓋體8之上部方向向盒之外部突 出形成者。 83330 -21 - 1227210 於該部分以黏著膠帶捲繞時因固定部9 5之部分隆起，合 產生空隙。 又錯開該部分’僅將靠該固定部之下之部分以黏著膠帶 捲繞時，突出形成之本體侧固定塊71之周邊與蓋體侧固定 塊8 1之間未被黏著膠帶捲繞會留下空隙，因該部分塵埃合 進入盒内部。 又，於本體7具有固定部7 5，雖均具有傾斜面7 5 1，惟該 等全由盒之兩側邊方向漸漸地向内侧之盒中心變低的傾斜 ，於橫方向之移動雖可某種程度的控制，對縱方向之偏移 則係幾近無力者。 再者於盖fa 8具有略棒狀之固定邵85，該固定部85之先端 具有帽子部。 因此’關閉盖體時於光罩之上面表面以該帽子部接觸， 押住光罩者。 此為’會與光罩表面接觸的同時係以帽子部先端部分之 一點押住者，於抑制光罩之偏移上極為脆弱。 再者，於該部分施力過頭時有發生光罩破損等之虞。 圖3為顯示開啟本光罩盒之蓋體2之狀態之圖。 如本圖所示位於本體1之凹部1 3侧之兩個固定部丨6與凹 部13侧之側邊平行地配設，位於本體1之連接部插入口 12側 之兩個固定部16與凹部23及沒有連接部插入口 22之雨側邊 即由盒之開口部方向向裡面方向平行地配設。 再者，位於蓋體2之凹部23側之之兩個固定部26與凹部23 及沒有連接部插入口 22之兩侧邊平行地配設。 83330 •22- 1227210 4万、意把2之連接部插入口22侧之之兩個固定部“與 蓋體2之連接部插人口 22侧之侧邊平行地配設。 因此將蓋體2閉合時，本體！之固定部16及與此對應之蓋 體2之固足部26分別朝向交叉之方向，可將光罩不僅由上下 面進一步可由四方押住。 圖4為顯示本體！之固定部16之一例之圖，由兩個圓筒狀 的腳4以i%接#連接構成之固^部基部i 6 !與傾_面⑹所 成。 於忒傾斜面1 62接光罩之棱線部者。 再者固疋邵基部161之兩個圓筒形狀之腳部有分別寬度 相異之孔。 於本體1設粗細分別相異之兩個突出部，藉由將該突出部 嵌入前述孔，將本固定部丨6配設於本體1。 例如藉由5又如此粗細相異之兩個突出部，可將本固定部 16之安裝方向無誤且簡單地進行。 圖5為顯示蓋體2之固定部26之一例之圖，顯示以兩端部 分作為固疋部基部261，將其中間部分作為傾斜面262之略 橋狀之固定部。 兩端邯分為’不使固定部基部2 6 1開掉地以連接構件連接。 因此，於該傾斜面262接光罩之棱線部。 特別是因於固定部基部261間具有傾斜面262，該傾斜面 2 6 2成擁有彈性，可彈壓光罩。 又於兩個固定部基部261分別具有相異寬度之孔。 介由於蓋體2設粗細分別相異之兩個突出部分，藉由將該 83330 -23 - 1227210 大出部嵌入前述孔可配設本固定件26於蓋體2。 精由作成如此，與前述同樣地，可將本固定部26安裝方 向無誤且簡單地進行。 發明之效果 t Κ罘一之效果：有關於本發明之光罩盒，將本體之具有 侦斜面〈固足部改變盒開口部與裡面方向之傾斜之方向的 同=蓋體之固定部亦具有傾斜面，將蓋體閉合時將兩者之 足》卩之傾斜面會父叉地構成，關於本體則開口部方向之 固疋邵之傾斜面以左右方向傾斜，使裡面方向之固定部之 傾斜面以前後方向，即由裡面方向向開口部方向漸漸地變 低地傾斜，關於蓋體則使開口部方向之固定部之傾斜面由 開口邵方向向裡面方向漸漸地變低地傾斜，使裡面方向之 固定部之傾斜面以左右方向傾斜，使夹入之光罩成除上下 万向外由前後左右方向押住，於收那時之光罩之偏移消失 可防止mm疋件與光罩間產生偏移之摩擦所產生的靜電 ，可防止於光罩附著塵埃。 又因偏移之消失亦有助於防止光罩之破損 2.第2之效果：光罩與本體及蓋體之固定部之傾斜面接觸 者’由於僅以光罩之棱線部分接觸，纟固定部於光罩之上 下面之表面接觸，無弄髒光罩表面之情事。 .第-之A果·藉由將盖體側之固定部作成所謂橋狀， 可以彈性押住光罩，可防止光罩偏移之效果的同時可防止 光罩破損。 可容易地正確且容 4 ·第四之效果：藉由辅助受台肋片 83330 -24- ^27210 易地作光罩裝入時之定位。 5 .第五之效果： 肋片所收納之光罩 止光罩之偏移。 對於藉由辅助定位肋片、肋片突出部 17使於光罩盒施予大的衝擊時亦可 防 又，吓有助於收納光罩時之定位。 【圖式簡單說明】 實施狀態之 圖1為顯示關於本發明
之光罩之光罩盒之一 圖2為顯示.先前之一例之圖。 :為顯示開啟關於本發明之光罩之光罩盒之蓋體之 只她狀怨之圖。 圖4為顯示本體之固定部之一例之圖。 圖5為顯示蓋體之固定部之一例之圖。 【圖式代表符號說明】 1 本體 11 開口周緣 110 突出壁 12 連結部插入口 121 接触片嵌入凹部 13 凹部 130 水平部 131 突出導通片 14 肋片 151 辅助受台肋片 83330 -25- 1227210 152 補助定位肋片 16 固定部 162 傾斜面 2 蓋體 21 開口周緣 210 突出壁 22 連結部插入口 221 接觸片插入凹部 23 凹部 231 關閉塊 24 肋片 241 肋片突出部 25 定位肋片 26 固定部 262 傾斜面 3 連接部 3 1 連接部本體 312 背面部 32 舌片部 321 舌片部孔 35 接觸片 351 接觸側面 352 接觸片突出部 4 關閉滑板 -26- 83330 1227210 40 關閉滑板本體 41 突出導通路嵌入片 42 突出位置控制片 43 螺旋部 83330 27-