TWI226111B - Semiconductor packaging structure - Google Patents

Semiconductor packaging structure Download PDF

Info

Publication number
TWI226111B
TWI226111B TW092131150A TW92131150A TWI226111B TW I226111 B TWI226111 B TW I226111B TW 092131150 A TW092131150 A TW 092131150A TW 92131150 A TW92131150 A TW 92131150A TW I226111 B TWI226111 B TW I226111B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
bumps
package structure
semiconductor package
width
item
Prior art date
Application number
TW092131150A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200516740A (en
Inventor
Pai-Sheng Cheng
Original Assignee
Himax Tech Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Himax Tech Inc filed Critical Himax Tech Inc
Priority to TW092131150A priority Critical patent/TWI226111B/zh
Priority to US10/978,327 priority patent/US7061078B2/en
Priority to JP2004324221A priority patent/JP4007428B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of TWI226111B publication Critical patent/TWI226111B/zh
Publication of TW200516740A publication Critical patent/TW200516740A/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49572Lead-frames or other flat leads consisting of thin flexible metallic tape with or without a film carrier
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01013Aluminum [Al]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01015Phosphorus [P]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01079Gold [Au]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/0132Binary Alloys
    • H01L2924/01322Eutectic Alloys, i.e. obtained by a liquid transforming into two solid phases
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/0132Binary Alloys
    • H01L2924/01327Intermediate phases, i.e. intermetallics compounds

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

1226111
五、發明說明(1) 【發明所屬之技術領域】 於 本發明是有關於一 一種具有内引腳及凸 種半導體封裝結構, 塊之半導體封裝結構 且特別是有關 【先前技術】 在封裝晶片成為膠帶載具式封裝結構(tape (chip - -c:;) r i k壬 其特點係利用一有機底材所構成之膠片 V )來取代傳統導線架(lead fr讀) ate) ’以作為安置晶片之基底。並透過 " 動1亍結法(taPe automated bonding,TAB )於連 上成批操作,α進行封裝製程,使得每—晶片被 女装在每一膠片載具上。 、請參照第1目,其繪示乃傳統之半導體封裝結構的俯 視圖在第1圖中,半導體封裝結構1 〇例如是一膠帶載具 式封裝結構,半導體封裝結構10係包括一膠片載具(t^pe carrier) 12及一晶片14。晶片14具有相連之一主動表面 14a、晶片側面141)、14c、14d及14e。主動表面14a上具有 數個輸出 / 輸入(inpUt/output,1/〇)銲墊(Ai pads ),且此些輸出/輸入銲墊上覆蓋有數個第一金凸塊 (gold bump ) 18及數個第二金凸塊20。此些第一金凸塊 1 8及此些第二金凸塊2 〇係交錯排列,且對於接鄰於個別晶 片側面14b、14c、14d或14e之此些第一金凸塊18及此些第 一金凸塊20而言,此些第一金凸塊18較此些第二金凸塊2〇
TW1239F 倚景).ptd
五、發明說明(2) 更送離個別接鄰之晶片側面Η b、1 4 c、1 4 d或1 4 e。 膠片載具12具有一底材15、置晶穴16、數個第一内引 ,(^1^!'1“(1)22及數個第二内引腳24。需要注意的 是,若半導體封裝結構丨〇為薄膜黏晶式封裝結構時,膠片 載具12上並不需要有置晶穴16的設計,晶片14係置於膠片 載八12上 置曰曰八16用以容納晶片14,此些第一内引腳22 係與此些第二内引腳24交錯排列。第一内引腳22及第二内 引腳24之末端係暴露於置晶穴丨6之開口中,用以分別和第 金凸塊1 8及第二金凸塊2 〇銲接。晶片1 4得以配置於膠片 載具12中,且晶片14可以藉由第一内引腳22及第二内引腳 2 4與外界電路電性連接。 需要注意的是,待晶片1 4植入置晶穴1 6後,可執行内 引腳銲結法(inner lead bonding,ILB )將第一凸塊ι8 及第二凸塊20分別與第一内引腳22及第二内引腳24銲接。 請參照第2圖,其繪示乃第1圖之部分之半導體封裝結 構的放大示意圖。舉例來說,在第2圖中,若第一金凸塊 18之寬度係與第二金凸塊2〇之寬度相等,而第一内引腳。 及第二内引腳24皆為等寬長條狀。第一内引腳22之寬度係 與第二内引腳24之寬度相等,且第一金凸塊18之寬度係大 於第一内引腳2 2之寬度。相鄰之第一金凸塊18及第二金凸 塊20之間的間距(pitch )為a,而第一金凸塊18及第二金 凸塊20的寬度(width )皆為B。第一内引腳22及第二内引 腳24的寬度皆為c ’且相鄰之第一内引腳22及第二金凸塊 20之間的間隔(gap )為D。例如a、b及c之值分別為37、 第6頁 TW1239F 倚景).ptd 1226111
(_)時’D之值則為9微米(㈣)。 金凸塊18及第二金凸塊2〇分別和第_内引腳^ 腳24之末端對位準確並銲結時,相鄰之 内 二金凸塊20間的間隔為9微米(am)。 當第-金凸塊1 8及第二金凸塊2 〇分別一内 二内引腳24之末端對位偏移而銲結時,由於 為均勻等覓的帶狀結構,加上相鄰之第一内引 金凸塊20間的間隔很小,導致第一内引腳22將 =二金凸塊2G電性連接,造成嚴重的短路現' 導體封裝結構1 0的電性品質甚矩。
36及20微米 說,當第一 及第二内引 引腳22及第 然而, 引腳22及第 一内引腳22 腳22及第二 會與鄰近之 象,影響半 【發明内容】 有鑑於此,本發明的目的就是在提供一種半導體封裝 結構。其第一内引腳中鄰近於第一凸塊之部分結構之寬度 小於第一内引腳之末端之寬度的設計,可以減少第一内引 腳於晶片和載具對位偏移時與第二凸塊產生電性連接的機 會,而防止短路現象之產生,並維持半導體封裝結構的電 性品質。 根據本發明的目的’提出一種半導體封裝結構,至少 包括一晶片及一載具。晶片具有相連之一主動表面及一晶 片側面’主動表面上具有數個第一凸塊(bump )及數個第 二凸塊,第一凸塊及第二凸塊係交錯排列,且此些第一凸 塊較此些第二凸塊更遠離晶片側面。載具具有一底材及數 個第一内引腳(inner lead ),第一内引腳具有相連之一 瞧
Hfi TW1239F 倚景).ptd 第7頁 部之寬度係 一凸塊銲接 鄰兩第二凸 數個第一凸 錯排列,且此些第一凸塊較 末端銲接部 配置於載具 塊之間之部 五、發明說明(4) 本體部及一太# />θ ^ ^ .螭鲜接部,本體 之I度。末端銲接部 於載具上,且久士用以與第 4日4备丄各本體部位於相 T據本發明的再一目的, 至少包括一晶片只 -晶片側面,载具。晶 ^動表面上具有 U —凸塊及第二凸塊係交 ^第一凸塊遠離晶片側面。 」:’各第_内引腳具有一 以與第-凸塊銲接,使得晶片 一内引腳之位於相鄰兩第二凸 小於各末端銲接部的寬度。 ^為讓本發明之上述目的、 僅,下文特舉一較佳實施例, 明如下: 小於末端銲接部 ’使得晶片配置 塊之間。 提出一種半導體封裝結構, 片具有相連之一主動表面及 塊及數個第二凸 載具具有一底材及數個第一 。末端銲接部用 上。其中,各第 分結構的寬度係 特徵、和優點能更明顯易 並配合所附圖式,作詳細說 【實施方式】 實施例一 请參照第3 Α圖,其繪示乃依照本發明之實施例一之半 裝部分俯視圖。在第3A圖中,半導體封裝結 構310係一膠帶載具式封裝結構(tape carrier package,TCP),半導體封裝結構31()至少包括一載具 (carrier ) 312及一晶片314。晶片314具有相連之一主動 表面3143及晶片側面3141),主動表面31“上具有數個第一 1226111 五、發明說明(5) 凸塊(bump ) 318及數個第二凸塊3 20,此些第一凸塊318 係與此些第二凸塊3 2 0交錯排列,且此些第一凸塊3 1 8較此 些第二凸塊320遠離晶片側面314b。載具312具有一底材 315、一置晶穴316、數個第一内引腳(inner lead)322 及數個第二内引腳324,置晶穴316用以容納晶片314,第 一内引腳322係與第二内引腳324交錯排列。 本發明之特徵在於,第一内引腳322具有相連之一本 體部322a及一末端銲接部322b,且本體部322a的寬度係小 於末端銲接部32 2b的寬度。此些第一内引腳3 22之末端銲 接部322b及此些第二内引腳324之末端係暴露於置晶穴316 之開口中,用以分別和此些第一凸塊31 8及此些第二凸塊 320銲接。晶片314得以配置於載具312之置晶穴316中,且 第一内引腳322之本體部322a位於相鄰兩個第二凸塊320之 間。其中,晶片314可以藉由第一内引腳322及第二内引腳 324與外界電路電性連接。 此外,第一凸塊318之寬度係可大於第一内引腳322之 末端銲接部322b的寬度,第二凸塊320之寬度係可大於第 二内引腳324之末端的寬度。第二内引腳324可為等寬長條 狀’其寬度並與第一内引腳322之末端銲接部322b的寬度 相等’以達較佳之實施效果,但其並非作為限定實施例一 之實施方式。 睛再參考第3 A圖’舉例來說,若相鄰之第一凸塊31 8 及第二凸塊320之間的間距(pi tch )為μ,而第一凸塊31 8 及第一凸塊320的寬度(width)皆為Ν。第一内引腳322之 1226111 五、發明說明(6) 末端銲接部322b及第二内引腳324的寬度皆為〇, 内 =2之本體部322a的寬度為p,且相鄰之第一内引腳犯 ,本體部322a及第二凸塊32〇之間的間隔(gap)為χ。例 口、N、〇及P之值分別為37、36、2〇及8微米(_)時, 之一值則為15微米(心)。也就是說,當第一凸塊318及 一 一凸塊320分別和第一内引腳322之末端銲接部322&及第 一内引腳324之末端對位準確並銲結時,相鄰之第一内引 腳322之本體部322a及第二凸塊32〇之間的間隔為15微米 ("m ),比第2圖之傳統上相鄰之第一内引腳22及第二凸 塊20之間的間隔還要大。需要注意的是,本發明之第一内 引腳322的末端銲接部322b的寬度設計,是要來配合與第 一凸塊318之電性連接的效果及共金結構的強度。 、所以,本發明便將第一内引腳322中與第一凸塊接 觸=外之結構寬度縮小,即將末端銲接部322b以外之結構 的寬度設計比末端銲接部322b之寬度還要小,以增加相鄰 之第二内引腳322及第二凸塊320之間的間隔。如此一來, 可以減少第一内引腳322於晶片314及載具312對位偏移時 與鄰近之第二凸塊32〇產生電性連接的機會,而防止短路 現象之產生’並維持半導體封裝結構31〇的電性品質。 實施例二 、請參照第3B圖,其繪示乃依照本發明之實施例二之半 導體封/裝結構的部分俯視圖。在第3β圖中,半導體封裝結 構350係’專膜黏晶式(chip on f i lm,COF )封裝結構,
第10頁 Μ TW1239F 倚景).ptd 1226111 五、發明說明(7) 灵細*例二之半導體封裝結構3 5 〇與實施例一之半導體封裝 結構310不同之處在於,半導體封裝結構35〇之載具352不 具有置晶穴之設計,但仍具有一底材365、數個第一内引 腳322及數個第二内引腳324。所以,晶片314係可直接配 置於載具3 52上。至於半導體封裝結構3 5〇與實施例一之半 導體封裝結構3 1 0之相同處在此不再贅述。 實施例三 明參照第4 A圖’其繪示乃依照本發明之實施例三之半 導體封裝結構的部分俯視圖。在第4A圖中,半導體封裝結 構410係一膠帶載具式封裝結構,其至少包括一載具412及 一晶片41 4。晶片41 4具有相連之一主動表面4 j “及晶片側 面414b,主動表面414a上具有數個第一凸塊418及數個第 二凸塊420,此些第一凸塊418係與此些第二凸塊42〇交錯 排列,且第二凸塊420係位於第一凸塊418和晶片侧面4Hb 之間。載具412具有一底材415、一置晶穴416、數個第一 内引腳422及數個第二内引腳424,置晶穴416用以容納晶 片414,此些第一内引腳422係與此些第二内引腳424交錯 排列。 本發明之特徵在於,第一内引腳422具有一延伸部 422a、一本體部422b及一末端銲接部422〇,本體部42讣係 連接延伸部422a及末端銲接部422c。本體部422b之寬度係 小於末端銲接部422c之寬度,而延伸部422a之寬度係大於 本體部422b之寬度,延伸部422&之寬度係與末端銲接部
1226111
422c之寬度相等。第一内引腳a?之太# a -向hi α. 1聊4ΖΖ之末、銲接部422c及第 一内引腳424之末端係暴露於置晶穴416之開口中用以分 第一凸塊418及第二凸塊420銲接。晶片414得以配 t於載具412之置晶穴416中,且第一内引腳m之本體部 42 2b位於相鄰兩個第二凸塊42〇之間。其中,晶片414可以 藉由第一内引腳422及第二内引腳424與外界電路電性連 接0 此外,第一凸塊418之寬度係可大於第一内引腳422之 末端銲接部422c的寬度,第二凸塊420之寬度係可大於第 二内引腳424之末端的寬度。第二内引腳424可為等寬長條 狀’其寬度並與第一内引腳422之末端銲接部422c的寬度 相等,以達較佳之實施效果,但其並非作為限定實施例三 之實施方式。其中,相鄰之第一内引腳422之本體部422b 及第二凸塊420之間的間隔比第2圖之傳統上相鄰之第一内 引腳22及第二凸塊20之間的間隔還要大。需要注意的是, 本發明之第一内引腳422的末端銲接部422c的寬度設計, 是要來配合與第一凸塊41 8之電性連接的效果及共金結構 的強度。 所以,本發明便將第一内引腳422中與第二凸塊420鄰 近之部分結構的寬度縮小,以減少第一内引腳422於晶片 414和載具412對位偏移時與鄰近之第二凸塊420產生電性 連接的機會,而防止短路現象之產生’並維持半導體封裝 結構410的電性品質。
TW1239F(奇景).ptd 第 12 頁
五、發明說明(9) 一施 ^ 請參照第4β圖,其繪示乃依照本發明之實施例四之半 ^體封裝結構的部分俯視圖。在第4β圖中,半導體封裝結 ^45 0係一薄膜黏晶式封裝結構,實施例四之半導體封裝 二構4 5 〇與貫施例二之半導體封裝結構4 1 〇不同之處在於, :導體封裝結構450之載具452不具有置晶穴之設計,但仍 具有一底材465。所以,晶片4丨4係可直接配置於載具452 上。至於半導體封裝結構45 〇與實施例三之半導體封裝結 構4 1 〇之相同處在此不再贅述。 j熟悉此技藝者亦可以明瞭本發明之技術並不侷限在 、例如,此些第一凸塊可以是數個金凸塊、數個錫錯凸 2或數個無鉛凸塊,此些第二凸塊亦可以是數個金凸塊、 凸塊或數個無鉛凸&。此外,晶片及載具係以自 =膠片銲結法(tape automated bonding,TAB )銲接在 一起’底材例如是聚醯亞胺(p〇lyimide,pi)。 本發明上述實施例所揭露之半導體封裝結構,其 内引腳中鄰近於第一凸塊之部分結構之寬度小於第_ :2末端之寬度的設計,可以減少第一内引腳於晶片和載 蹊偏:時與第二凸塊產生電性連接的機會,而防止短 路現^之產生,並維持半導體封裝結構的電性品質。 缺使t所述,雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上, :發明艮定本發明’任何熟習此技藝者,在不脫離 本發明之保護範圍當視後附之中請專利 =此
Η TW1239F 倚景).ptd
第13頁 1226111 五、發明說明(ίο) 準。
TW1239F 倚景).ptd 第14頁 圖式簡單說明 [圖式簡單說明】 第1圖繪示乃傳統之半導體封萝6士 第?阆笙八 〇構的俯視圖0 系z圖緣不乃第1圖之部分之丰道 意圖。 导體封裝結構的放大示 之半導體封裝結 第3 A圖繪示乃依照本發明之實施 構的部分俯視圖。 第3 B圖,其繪示乃依照本發明之眘 裝έ士说 貫施例二之半導# 4十 衣結構的部分俯視圖 < 干等骽封 第4Α圖繪示乃依照本發明之實施例三 構的部分俯視圖。 《牛導體封裝結 第4Β圖繪示乃依照本發明之實施例四之 構的部分俯視圖。 篮對裝… 圖式標號說明 曰曰片側面 10、310、350、410、450 :半導體封裝結構 12 :膠片載具 1 4 、31 4、41 4 :晶片 14a、314a、414a ··主動表面 14b 、 14c 、14d 、14e 、 314b 、 414b 15、315、365、415、465 :底材 1 6、3 1 6、41 6 :置晶穴 18 :第一金凸塊 20 :第二金凸塊 22、322、422 :第一内引腳
TW1239F 倚景).ptd 第15頁 1226111 圖式簡單說明 24 、324、424 ··第二内引腳 312、362、412、462 :載具 318、418 :第一凸塊 320、420 ··第二凸塊 322a、422b :本體部 322b、422c :末端銲接部 4 2 2 a :延伸部
TW1239F(奇景).ptd 第16頁

Claims (1)

1226111 ’、申睛專利範圍 1 · 一種半導體封裝結構,至少包括: 一晶片,具有相連之一主動表面及一晶片側面,該主 動表面上具有複數個第一凸塊(bump )及複數個第二凸 塊’遠些第一凸塊及該些第二凸塊係交錯排列,且該些第 凸塊較該些第二凸塊更遠離該晶片侧面;以及 一載具,具有一底材及複數個第一内引腳(inner lead) ’各該第一内引腳具有相連之一本體部及一末端銲 接1 ’該本體部之寬度係小於該末端銲接部之寬度,該些 f端焊接部用以與該些第一凸塊銲接,使得該晶片配置於 4載具上,且各該本體部位於相鄰兩該第二凸塊之間。 2·如申請專利範圍第1項所述之半導體封裝結構,其 中各該第一凸塊之寬度係大於各該第一内引腳之該末端銲 接部的寬度。 )上、如申請專利範圍第1項所述之半導體封裝結構,其 居載具更具有複數個第二内引腳,該些第二内引腳係與 "亥些第一内引腳交錯排列,該些第二内引腳之末端用以與 該些第二凸塊銲接。 /、 4·如申請專利範圍第3項所述之半導體封裝結構,其 中各該第二内引腳為等寬長條狀。 、 ^如申請專利範圍第4項所述之半導體封裝結構,其 中各该第二内弓丨腳之寬度係與各該第一内引腳之該末端銲 接部的寬度相等。 二6·如申請專利範圍第1項所述之半導體封裝結構,其 中該些第一凸塊為複數個第一金凸塊,該些第二凸塊為複
TW1239F 倚 g:).ptd 1226111 六、申請專利範圍 數個第二金凸塊。 7·如申請專利範圍第1項所述之半導體封裝結構該, 其中該第一内引腳具有與本體部連接之一延伸部,該延伸 部之寬度係大於該本體部之寬度。 8. 如申請專利範圍第1項所述之半導體封裝結構,其 中該晶片及該載具係以自動膠片銲結法(tape aut〇mated bonding 5 TAB )銲接在一起。 9. 如申請專利範圍第1項所述之半導體封裝結構,其 中該半導體封裝結構係—膠帶載具式封裝結構(tape carrier package , TCP ) 〇 10·如申請專利範圍第1項所述之半導體封裝結構, 其中該半導體封裝結構係一薄膜黏晶式(ch n film, COF )封裝結構。 一種半導體封装結構,至少包括: 曰曰片’具有相連之一主動表面及一晶片側面,該主 動表面上具有複數個第一凸塊及複數個第二凸塊,該些第 一凸塊及該些第二凸塊係交錯排列,且該些第一凸塊較該 些第一凸塊遠離該晶片側面;以及 ’具’具有一底材及複數個第一内引腳,各該第一 内引腳^有一末端銲接部,該些末端銲接部用以與該些第 一凸塊1于接,使得該晶片配置於該載具上,其中,各該第 ^内之位於相鄰兩該第二凸塊之間之部分結構的寬度 係小於各該太被 ^ 禾鳊鋅接部的寬度。 •如申請專利範圍第1 1項所述之半導體封裝結構,
1226111 :、申請專利範圍 其中各該第一凸塊之寬度係大於各該末端銲接部的寬度。 13 ·、如申請專利範圍第丨丨項所述之半導體封裝結構, 其 >中該,具更具有複數個第二内引腳,該些第二内引腳係 與該些第一内引腳交錯排列,該些第二内引腳之末端用以 與該些第二凸塊銲接。 1 4·:如申請專利範圍第丨3項所述之半導體封裝結構, 其中各該第二内引腳為等寬長條狀。 I Φ ^ 申-請專利範圍第1 4項所述之半導體封裝結構, 等。^弟二内引腳之寬度係與各該末端銲接部的寬度相 苴中3此Ϊ申請專利範圍第11項所述之半導體封裝結構, 複數個第二金凸塊。 ^二弟一凸塊為 其中利範圍第11項所述之半導體封裝結構, ,該載具係以自動膠片銲結法銲接在一起。 立中該半導利範圍第11項所述之半導體封裝結構, 彳:ϊ 構係一膠帶載具式封震結構。 盆中該半導體ϊ ϊ ΐ範圍第11項所述之半導體封裝結構’ ί D亥丰導體封裝結構係一薄膜黏晶式封裝結構。
TW092131150A 2003-11-06 2003-11-06 Semiconductor packaging structure TWI226111B (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW092131150A TWI226111B (en) 2003-11-06 2003-11-06 Semiconductor packaging structure
US10/978,327 US7061078B2 (en) 2003-11-06 2004-11-01 Semiconductor package
JP2004324221A JP4007428B2 (ja) 2003-11-06 2004-11-08 半導体パッケージ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW092131150A TWI226111B (en) 2003-11-06 2003-11-06 Semiconductor packaging structure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI226111B true TWI226111B (en) 2005-01-01
TW200516740A TW200516740A (en) 2005-05-16

Family

ID=34546458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW092131150A TWI226111B (en) 2003-11-06 2003-11-06 Semiconductor packaging structure

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7061078B2 (zh)
JP (1) JP4007428B2 (zh)
TW (1) TWI226111B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109671693A (zh) * 2017-10-16 2019-04-23 矽创电子股份有限公司 电路引脚结构

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100632257B1 (ko) * 2004-11-09 2006-10-11 삼성전자주식회사 액정 디스플레이 구동용 탭 패키지의 배선 패턴 구조
JP2006196528A (ja) * 2005-01-11 2006-07-27 Seiko Epson Corp 半導体装置
TWI296857B (en) * 2005-08-19 2008-05-11 Chipmos Technologies Inc Flexible substrate for package
CN100442495C (zh) * 2005-10-12 2008-12-10 南茂科技股份有限公司 用于封装的可挠性基板
US8164168B2 (en) 2006-06-30 2012-04-24 Oki Semiconductor Co., Ltd. Semiconductor package
US20120236230A1 (en) * 2009-11-20 2012-09-20 Sharp Kabushiki Kaisha Device substrate and method for manufacturing same
JP2011238770A (ja) * 2010-05-11 2011-11-24 Fujitsu Semiconductor Ltd リードフレーム、半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP6001917B2 (ja) * 2012-05-16 2016-10-05 シャープ株式会社 半導体装置
US9893227B2 (en) 2013-05-24 2018-02-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Enhanced deep ultraviolet photodetector and method thereof
US9379271B2 (en) 2013-05-24 2016-06-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Variable range photodetector and method thereof
CN105246248B (zh) * 2015-10-30 2018-04-27 环维电子(上海)有限公司 电路板
CN105486333B (zh) * 2015-11-19 2018-08-24 业成光电(深圳)有限公司 改善窄线距接合垫压合错位之感测器结构
KR20210020274A (ko) 2019-08-14 2021-02-24 삼성전자주식회사 반도체 장치
TWI711347B (zh) * 2019-12-31 2020-11-21 頎邦科技股份有限公司 覆晶接合結構及其線路基板

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09129686A (ja) * 1995-11-06 1997-05-16 Toshiba Microelectron Corp テープキャリヤ及びその実装構造
JP4271435B2 (ja) * 2002-12-09 2009-06-03 シャープ株式会社 半導体装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109671693A (zh) * 2017-10-16 2019-04-23 矽创电子股份有限公司 电路引脚结构
TWI749268B (zh) * 2017-10-16 2021-12-11 矽創電子股份有限公司 晶片封裝結構及其電路引腳結構
US11217508B2 (en) 2017-10-16 2022-01-04 Sitronix Technology Corp. Lead structure of circuit with increased gaps between adjacent leads

Also Published As

Publication number Publication date
JP4007428B2 (ja) 2007-11-14
JP2005167221A (ja) 2005-06-23
US20050098884A1 (en) 2005-05-12
US7061078B2 (en) 2006-06-13
TW200516740A (en) 2005-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI226111B (en) Semiconductor packaging structure
US7368806B2 (en) Flip chip package with anti-floating structure
JP3798220B2 (ja) 半導体装置およびそれを用いる液晶モジュール
US20100015760A1 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP2011142185A (ja) 半導体装置
JP2005117036A (ja) テープ配線基板とそれを利用した半導体チップパッケージ
US7893550B2 (en) Semiconductor package comprising alignment members
JPH11111771A (ja) 配線基板の接続方法、キャリア基板および配線基板
TW200901410A (en) A carrier for bonding a semiconductor chip onto and a method of contacting a semiconductor chip to a carrier
CN100442495C (zh) 用于封装的可挠性基板
TWI634823B (zh) 電子裝置
JPH10256318A (ja) 半導体装置、その製造方法及びその実装方法、これを実装した回路基板並びにフレキシブル基板及びその製造方法
US20220115303A1 (en) Semiconductor package with improved board level reliability
JPH0322544A (ja) 半導体装置
JPH07226418A (ja) チップキャリア半導体装置及びその製造方法
JP2008270446A (ja) 積層型半導体装置とその製造方法
JPH06252326A (ja) 多端子部品、配線基板、多端子部品の実装構造
TW200807668A (en) Pluggable tape type IC package
TWM582231U (zh) 噴墨晶片封裝結構
JP2002076068A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH03248543A (ja) フィルムキャリアテープ
TWI236743B (en) Flip chip package and process thereof
JPH06132353A (ja) 半導体装置
TW202038350A (zh) 噴墨晶片封裝結構
JP2002270760A (ja) 電子部品、そのアセンブリ及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees