TWI225573B - Photosensitive composition, photosensitive coating material and fine pattern structure - Google Patents
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1225573 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 發明說明( [發明之技術範圍] 本發明係有關用於各種微光成形加工之感光性組合物及 其之利用。具體言之,係有關水溶性基取代纖維素衍生物 與其他聚合物以特定之比率含有,具備緊貼性與水顯像性 兩者之感光性組合物,與設有其組合物層之塗布品及自其 製作之高精細構造體。 [先前技術] 含光聚合性聚合物與較佳地另含有有機高分子化合物作 爲黏合劑之感光性組合物及含光可溶化性高分子化合物之 感光性組合物,光致抗蝕性爲始,使用於各種微光成形加 工範圍,亦進行對應於各別用途之組成之適合比。 此光聚合性或光可溶化性組合物,塗布於基板上後,於 其塗布層進行圖案影像狀之光照射後,藉由顯像除去不要 部分賦予圖案構造,印刷版及複寫材料以外,以半導體素
子、集積回路、顯像素子等爲始之各種微裝置製品之零 件’或於其製造時作爲抗蝕性使用。 V 現在使用之感光性組合物,由於許多以鹼性之顯像液顯 像’結果於環境保護上不佳,排出驗性之顯像廢液^ .因、 而,對環境之衝擊少之可以水顯像之感光性組合物 求。但可以水顯像之感光性組合物,缺乏與基板之緊貼欧 及塗布層之物理強度,藉由顯像時之物理性、化學性之衝 擊,有易引起剝離與塗布層破壞之缺點,其與圖案 崩跨與產率之降低等有關。因此,可藉水顯像且有高^ 力及物理強度之感光性組合物爲所期望。 ‘、、 -4 私紙張尺度顧巾關^Β^ϋ^(21()χ 297公爱 ---^---U--------裝--- (請先閱讀背面之注意事項Ιϋ寫本頁) · ' •線· 1225573 A7 _ B7___ 五、發明說明(2 ) 尤其,使用感光性組合物作爲直接構造材料,或作爲抗 蝕性,製造具微細且有高度之圖案構造之高精細之構造體 之情形,對於感光性組合物,對於足夠確保構造體之形狀 之物理強度與基板或構造材料之緊貼性特別必要。此種具 高度之高精細之圖案構造體之例子,爲等離子體顯示器之 隔壁構造,其發光素子單元之隔壁,要求達30〜200微米高 度,10〜20微米之厚度,且基底部形狀亦優越之隔壁構 造。作爲用於其製造之感光性組合物,於特開平3 - 2 1245 1 號公報揭示於四烷氧基矽烷等之有加水分解聚合性之有機 基取代無機化合物於具醯胺鍵之非反應性聚合物存在下加 水分解聚合所得之均一地分散於金屬氧化物凝膠之三次元 微細網狀構造體中具醯胺鍵之非反應性聚合物中之有機、 無機複合透明均質體,特開平3 - 56535號公報揭示將具加 水分解聚合性矽烷基之吟唑啉聚合物與四烷氧基矽烷等之 加水分解聚合性矽烷加水分解聚合使凝膠化,形成呤唑啉/ 二氧化矽複合成形體,特開平5 - 85860號公報揭示將具尿 烷鍵結之非反應性聚合物均一地分散於四燒氧基矽燒等之 加水分解性有機基取代無機化合物加水分解聚合所得之有 機、無機氧化物複合鏈之基質中,形成之有機、無機複合 透明均質體等。 然而,對作爲構造材料,或作爲光致抗蝕性材料使用之 感光性組合物,所揭示之此等技術難言充分滿足上述之要 求特性,依然強烈期望「可藉水顯像且於顯像有耐抗物理 衝擊之強度及與基板或構成層有強之緊貼性」。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 ί裝 頁 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1225573 Α7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^勿f待τ,印刷版、複寫材料、微裝置製品之任一 、:鬲精細度,希望提咼實效感度,使光之作用及於 、且口物之木郅,改善圖案之精度,尤其高度大之圖案形狀 <精度’期待藉其使應用範圍更廣。 [發明所欲解決之課題] 因而,本發明可解決之課題爲提供可以水顯像,且具物 理強度與對基板或構成層有高緊貼性,圖案形成能優越之 感2性組合物。又,可提供設有其感光性組合物之塗布層 (塗布品及自其感光性組合物製作之高精細構造體。 [課題之解決手段] 本發明者發現水溶性基取代之纖維素衍生物具作爲黏合 劑之優越特性,提議含有此纖維素衍生物與加水分解聚合 性有機金屬化合物之感光性組合物,對於上述之發明課 題’從當時之知識,著眼於水溶性基取代之纖維素衍生物 之優越黏著力,進行刻意檢討之結果,達成下述之本發 明。本發明之構成如下。 1 ·於至少含疏水性聚合物與水溶性聚合物之加成聚合性化 合物與光聚合起始劑之感光性組合物,其特徵在於疏水性 聚合物爲至少於末端含COOM基(Μ爲Η原子、鹼金屬原 子、鹼土金屬原子或胺基)之聚合物,且與該水溶性聚合物 之含有比(疏水性聚合物/水溶性聚合物)爲〇 〇5〜4·0 (重量 比卜 2 .上述1之感光性組合物,其特徵在於水溶性聚合物爲羥 烷基纖維素。 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項^^寫本頁} 1 骏 訂-· -丨線- 1225573 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7 _五、發明說明(4 ) 3 .上述1或2之感光性組合物其特徵在於疏水性聚合物爲含 COOM基(M爲Η原子、鹼金屬原子、鹼土金屬原子或胺基) 之丙晞酸系聚合物。 4 .上述1〜3項中任一項之感光性組合物,其特徵在於疏水 性聚合物爲具3 0 °C〜200 °C熔點之聚合物。 5 . —種感光性塗布物,其特徵在於將上述1〜4項中任一項 之感光性組合物塗布於撓性支持體上而得。 6. —種形成圖案狀構造體之方法,其特徵在於將上述1〜4 項中任一項之感光性組合物直接於基板上或介以其他之構 成層設置成之光阻膜上,予以圖案狀之曝光後,藉由將水 加壓噴射之顯像,除去未曝光部分。 7 . —種微細圖案構造體,其特徵在於將上述1〜4項中任一 項之感光性組合物之光阻膜設置於基板上後,藉由該抗蝕 性層施以圖案狀之曝光及將水加壓噴射之顯像而形成。 可以水顯像且具備充分之物理強度與緊貼力之適合本發 明目的之感光性組合物之特性之達成,可藉由①以疏水性 聚合物與水溶性聚合物與加成聚合性化合物及光聚合起始 劑爲必須之構成要素,②其疏水性聚合物末端具有羧基, ③疏水性聚合物與水溶性聚合物之構成比調整於上述範 圍。 末端具羧基之聚合物具有優越之緊貼力。又,作爲於支 持體上塗布感光性組合物之塗布物,於以熱签將其附著於 可作圖案之對象物上之用途,疏水性聚合物之熔點以 30〜200°C爲適宜。 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項3寫本頁) 裝 · .線- 1225573 A7
作爲其感光性組合物中 ★ 维音右古洚、Λ ,谷性桌合物,由於羥烷基纖 本素有Ν度I混合性與黏著柯 取入犏丄 耆性,所以較佳,又作爲疏水性 永3物,由於丙烯酸系聚合 命接山丄 J k问物理強度,且可擴大 興構成成分之相互溶解範圍所以較佳。 、 二:本:明之適用形態’可作爲圖案構造體之構成材料 Z作馬其製造用之光致抗純材料㈣,後者之情形, 尤其以糊之形式亦可使用 认扒…t 於此種情形實用上爲將糊塗布 於撓性支持體上之形態。 叩 ^作爲活用本發明特長之顯像方法,爲將水加壓嗜射 (噴務顯現,本發明之組合物可耐噴霧水之強烈衝擊壓, 使形成高精細構造體。 有關本發明感光性組合物之上述之構成,其適用形能, 尤其藉水顯像等之細節,述於下面。 ^ [發明之實施形態] 以下説明實施本發明之具體形態。首先記述感光性 物之成分。 ” [感光性組合物之構成J (疏水性聚合物) 於本發明由於特長爲併用疏水性聚合物與水溶性聚合物 作爲黏合劑,藉由併用可得前述優越之物理性質與水顯像 性。疏水性聚合物之「疏水性」,對於水溶性聚合物爲相 對性之表現’只要能滿足提高對於組合物中之加成聚合性 化合物等之有機成分之混合性,則亦可具有某種程度之親 水性基,具體言之,於末端具羧基之聚合物,具較佳程度 -8- 本紙張尺度適用令國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公爱) 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項
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五、發明說明() 之疏水性。 作爲此種黏合劑,以對於加成聚合性化合物具相溶性之 線狀有機南分子聚合物,可溶於有機溶劑者爲佳。作爲如 此之線狀有機高分于聚合物,可舉側鏈具羧酸之聚合物, 例如1己載於特開昭5 9 - 446 15號、特公昭5 4 · 34327號、特公 昭5 8 _ 12577號、特公昭5 4 - 25957號、特開昭5 9 - 5 3 8 3 6 號、特開昭59-71048號説明書中之甲基丙晞酸共聚物、丙 烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、馬來酸共聚 物、部分S旨化馬來酸共聚物等。 又,亦可使用加成酸酐於具羥基之聚合物者等,於此等 之中,以(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物及(曱基) 丙’歸酸宇g旨/ (甲基)丙晞酸/及與其他之單體之多元共聚物 爲適宜。又,爲使硬化皮膜之強度提高,亦可用醇可溶性 尼龍、丙烯酸酯之聚合物或共聚物及2,2-雙-(4-羥苯基)丙 烷與表氯醇之聚醚等。 此等疏水性聚合物中,亦以至少具羧基之聚合物,尤其 爲丙烯酸系聚合物爲佳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又,自別的觀點,與水溶性纖維素衍生物及組合物中其 他構成成分之親和性佳之疏水性聚合物,溶點爲3 0〜200 °C 之聚合物。 (水溶性基取代纖維素衍生物) (水溶性聚合物) 於本發明組合物中作爲黏合劑使用之水溶性聚合物,爲 具水溶性基之高分子化合物,與疏水性聚合物之混合性 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公~ 1225573 A7 B7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明( 佳’且對於疏水性聚合物爲相對的親水性,爲具有擴大對 感光性組合物中之各種構成成分之混合性之特性之聚人 物。其中可舉至少比疏水性聚合物含較多之水溶性殘基之 丙烯酸系或甲基丙烯酸系聚合物,轉化聚乙晞醇系聚合 物、聚吡咯啶酮系聚合物,聚伸烷二醇系聚合物(伸燒基爲 伸乙基及伸丙基,含共聚物)等,特佳之水溶性聚合物爲以 水溶性基取代之纖維素衍生物。 以此水溶性基取代之纖維素衍生物,除水溶性基以外, 亦可含至少一種低碳烷基或低碳醯基作爲取代基。又,此 等之水溶性基及低碳fe基或低破S&基取代後,亦可再於葡 糖鏈之經基上加成尿院型丙烯酸酯。 作爲於纖維素衍生物上取代之較佳水溶性基,爲1〜4C之 羥烷基、1〜4C之羧烷基、酞酸基、硫酸基及磷酸基,酞酸 基亦可以低破烷基取代,或亦可氫化。 羥烷基及羧烷基之較佳烷基爲甲基、正丙基、異丙基、 丁基。 又,視情況於酞酸基上取代之低碳烷基,爲曱基、正丙 基、異丙基、丁基。 又,上述水溶性基取代纖維素衍生物,除水溶性取代基 外,亦可含之較佳低碳烷基爲曱基、乙基、異丙基、正丙 基等之1〜4C烷基,其中尤以甲基爲佳。 除水溶性取代基外,亦可含之較佳低碳醯基爲乙醯基、 甲醯基及琥珀醯基。 與水溶性基一起視情況於纖維素基上取代之燒基或酿基 -10 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公爱) 發明說明() <量,比葡糖主鏈每個葡糖單位各存在3個之羥基之數目 少,較好每個葡糖單位,爲〇⑽〜丨〇當量,較好〇卜〇 8當 量。淀基之量超過水溶性取代基之當量數之情形,於水溶 性(亦包括對鹼性水系溶媒之溶解性)及混合性之點不佳。 取代基爲低碳烷基之情形,藉由對應之醇與葡糖鏈上之 沒基之醚鍵進行取代,取代基爲低碳醯基之情形,藉由對 應之酸與葡糖鏈上之羥基之酯鍵,與葡糖鏈鍵結。曰 又,作爲一般稱爲羥烷基纖維素之纖維素衍生物之通常 形式,於以此等羥烷基取代之衍生物,羥烷基亦可爲羥烷 基相互藉由醚鍵結形成之聚羥烷基,作爲如此之羥烷^ 代纖維素之較佳實例包括羥乙基、羥乙氧乙基、羥乙氧乙 Μ基等取代之纖維素衍生物及羥丙基、羥丙氧丙基、羥 丙氧丙基等取代之纖維素衍生物。 此寺I羥烷基纖維素之羥烷基之取代率,每丨單位葡糖爲 1·〕〜7.0 s里,較佳爲15〜5 〇當量。於13當量以下,溶解 性,混合性變成不充分,超過7.Gtf,則難以提高取代 度,製造費用變高。 於本發明’作A水落性聚合物以水溶性纖維素衍生物爲 佳^其中以㈣基纖維純佳,尤佳之纖維切生物爲經 丙基纖維素、幾甲基纖維素、經乙基纖維素、㉟乙幾甲基 纖維素、㈣基甲基纖維素、超甲錢酸纖維素、自太酸經 丙基甲基纖維素、乙酸酞酸羥丙基甲基纖維素。 甲基纖維素依習用法自鹼性纖維素與二氣曱烷或硫酸二 甲酉旨合成。μ,藉—定方法使與環氧w 可得經 1225573 A7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 乙基甲基纖維素。 羥乙基纖維素以習用法自纖維素與環氧乙烷合成。 羧甲基纖維素可以習用法將纖維素與一氣乙酸於苛性驗 存在下反應而得。又,硫酸纖維素可依一定方法將纖維素 與一甲基曱醒胺反應而得。其他之纖維素衍生物亦可以同 樣之眾知方法合成。又,亦有市售。 於本發明,可使用加成單官能性或多官能性之聚合性單 體之纖維素衍生物。 作爲特佳之加成聚合性官能基之纖維素衍生物,爲前述 !烷基纖維素或羥烷基、烷基共取代纖維素衍生物之尿烷 丙晞酸酯加成物。其具體實例爲2,4 _伸苯甲基二異氰酸酯 與2-羥基十六基甲基丙晞酸酯之反應生成物,將夂扣伸苯 甲基二異氰酸酯之一方之異氰酸酯與2_羥基乙基甲基丙烯 酸酯反應後,再將殘餘之異氰酸酯基與三乙醇胺反應之反 應生成物加成所成之纖維素衍生物等。 又,亦可使用以多感應性單體爲酯,加成之水溶性纖維 素衍生物。作爲其例有酞酸二烯丙酯、異酞酸二烯丙酯、 馬來酸二烯丙酯、克羅酸二晞丙酯、己二酸二晞丙酯、二 乙醇酸二烯丙酯、氰尿酸酯、二乙二醇雙烯丙基碳酸酯、 2 -羥乙基甲基丙烯酸酯之酞酸酯、晞丙醇之偏苯三酸酯及 對羥基苯甲酸以異丁醯氣酯化,再加成甲基丙晞酸縮水甘 油酯所成之纖維素衍生物等。 作爲上述之以單體或寡聚物取代之較佳纖維素衍生物, 爲每個葡糖基取代當量爲3〜4個之羥丙基纖維素,每個葡 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公爱) ·!& (請先閱讀背面之注意事項再填 填寫本頁) · -1線. 10 五、發明說明() 糖基取代當量爲0.2〜 甲基羥乙基纖維素。 1.0個 < 甲基與2〜3個羥乙基加成所成 特佳之單體取代纖維素爲 羥丙基纖維素之羥基反應。 將2 -甲基丙烯氧基異氰酸酯與 如此4加成早體之水溶性基取代纖維素衍生物,可佔扯 合物中之纖維素衍生物全量之任意比例。 一將如此之葡糖鏈加成於寡聚物及單體之方法,可藉由對 匍糖鏈之祕,加成例如具異氰酸自旨基之乙晞性不飽和化 合物之反應而製作。 於具體之實例’將爲原料之水溶性基取代纖維素衍生物 例如幾丙基纖維素溶於甲基乙基酮,於其中混合三乙胺與 2_曱基丙烯氧乙基異氰酸g旨。於6GX:擾拌2小時反應後, 使用己烷使反應生成物沉澱而取出之方法。 感光性組合物中所占水溶性基取代纖維素衍生物之較佳 量爲全部固形物中之2〜8〇重量%,更佳爲5〜7〇重量%。 (加成聚合性化合物) 含於感光性組合物之加成聚合性化合物,只要爲具有藉 由光聚合性基或光聚合起始劑而加成聚合之基之單體化合 物’則單官能性及多官能性皆可。於此,作爲藉由光聚合 性基或光聚合起始劑而加成聚合之基(以下統稱爲聚合性 基),可舉例如丙烯醯基、曱基丙烯醯基、丙烯醯胺基、烯 丙基、乙烯醚基、乙烯硫醚基、乙烯胺基、縮水甘油基、 乙炔性不飽和基等。 本發明使用之加成聚合性化合物可舉丙烯酸酯類及曱基 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) A7 五、 發明說明( 11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 丙晞酸酯類。具體言之,古夕#、 ^ 有夕彳貝醉之聚丙烯酸酯類及聚甲 基丙烯酸酯類(於此「聚|佴批 / 、 ^ . 办 水」係指二(甲基)丙晞酸酯以上)0 作爲上述多價醇有聚乙-酿 取 ^ —知、聚丙二醇、聚丁二醇、聚琢 己晞化氧、聚苯乙烯化氧、: 來氧乙纟元、聚四氫吱喃、%己 二醇、苯甲二醇、二·( Θ # (々-L乙氧基)苯、甘油、二甘油、 新戊一醇、二甲醇丙燒、:=:甲L> 一 乙烷、季戊四醇、二季戊 四醇、山梨糖醇酐、山梨糖醇、丁二醇、丁三醇、2_ 丁烯-i,4-二醇、2·正丁基_2_乙基-丙二醇、2_ 丁晞-^4-二 醇、3-氯-1,2·丙二醇、Μ-環己二曱醇、3-環己晞-1,卜 二甲醇、莕烷二醇、2,3·二溴_2_ 丁晞q〆·二醇、2,八二 乙基-1,3_丙二醇、ι,5·二羥基_1234_四氫莕、2,^二 曱基-2,5 -己二醇、2,2 -二甲基-丙二醇、2,2_二苯基 -1,3-丙二醇、十二烷二醇、内消旋赤蘚醇、2_乙基 己二醇、2 -乙基-2-(羥曱基丙二醇、2_乙基_2_甲 基-1,3-丙二醇、庚二醇、己二醇、3_己烯_2,5_二醇、羥 宇醇、羥乙基間苯二酚、2_甲基-丨,扣丁二醇、2_甲基-2,4 -戊一醇、壬二醇、辛二醇、戊二醇、丄·苯基_},2·乙 二醇、丙二醇、2,2,4,4-四甲基-1,3 -環丁二醇、 2,3,5,6-四甲基-對二甲苯-以,“,_二醇、1,1,4,4_四苯基 -1,4· 丁 二醇、1,1,4,4_ 四苯基-2- 丁块二醇、 1,2,6 -三羥基己烷、1,1,-聯_ 2 -莕酚、二羥基答、1,i,_亞 甲基二-2 -菩g分、1,2,4 -爷三醇、聯苯紛、2,2,-雙(4_經苯 基)丁坑、1,1_雙(4-¾苯基)5募己坑、雙(超苯基)甲燒、兒 茶酚、4-氣間苯二酚、4-氯間苯二酚、3,4-二羥基氫肉桂 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 寫裝 本 · 頁 訂 線 1225573 A7 五、發明說明( 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 醯胺、氫醌、羥苄醇、甲基氫醌、甲基-2,4,6-三羥苯甲酸 酯、間苯三酚、焦掊酚、間苯二酚、葡糖、π -(1-胺乙基) 對踁基下醇、2-胺基乙基β1,3-丙二醇、2_胺基甲 基-1,3·丙二醇、3_胺基_1,2_丙二醇、Ν-(3-胺丙基)二乙 醇胺、Ν,Ν、雙-(2 -羥乙基)哌畊、2,2 -雙(羥甲基卜 2,2’,2”-腈基三乙醇、2,2_雙(羥甲基)丙醯胺、1,3_雙(羥 甲基)脲、1,2_雙(4 -吡啶基卜L2 -乙二醇、Ν -正丁基二乙 醇胺、二乙醇胺、Ν -乙二醇胺、3_甲巯基-丨^-丙二醇、 3-哌哫基-1,2-丙二醇、2-(2-吡啶基卜込%丙二醇、三乙 醇胺、胺乙基卜對羥芊醇、胺基_4_羥苯基颯等。 此等丙晞酸酯類及曱基丙烯酸酯類中,從容易取得之點最 佳者爲乙二醇二丙晞酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯 醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇 婦酸醋、二乙二醇二曱基丙晞酸酯、三乙二醇二 酸酯、四乙二醇二甲基丙晞酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、 四丙二醇二丙晞酸酯、十二丙二醇二丙烯酸酯、三甲醇丙 烷二丙烯酸酯、三甲醇丙烷三曱基丙烯酸酯、季戊四醇四 丙晞酸醋、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇二丙晞酸酯、 季戊四醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、甘油 二丙晞酸g旨、二甘油二曱基丙晞酸酯、13 -丙二醇二丙埽 酸醋、1,2,4 -丁三醇三曱基丙烯酸酯、14 -環己二醇二丙 稀酸醋、1,5 ·戊二醇二丙晞酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、 加成環氧乙烷之三甲醇丙烷之三丙烯酸酯等。又’作爲具別的聚合性基亦即加成聚合性化合物,可舉 三乙二 曱基丙 甲基丙烯 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) r»裝 訂: -15 1225573 A7 __B7____ ~ 13 "" ~ 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明() 丙晞醯胺類及甲基丙晞醯胺類。作爲具體例可舉亞甲基雙 丙晞醯胺、亞甲基雙甲基丙烯醯胺外,亦可舉乙二胺、二 胺基丙烷、二胺基丁烷、五亞甲基二胺、環己烷、雙(2-胺 丙基)胺、二乙三胺二胺、七亞甲二胺、八亞甲二胺及間位 含異種原子之聚胺、具環之聚胺(例如苯二胺、二曱苯二 胺、/?-(4·胺苯基)乙胺、二胺基苯甲醯胺、二胺基甲苯、 二胺基蒽醌、二胺基苐等)之聚丙烯醯胺及聚曱基丙缔醯 胺。 另外,亦可使用具2個聚合性基之多官能性單體。作爲如 此之加成聚合性化合物,亦可使用如N - /?-輕乙基-卢_ (甲 基丙烯醯胺)乙基丙烯酸酯,N,N_雙(/? -甲基丙晞氧乙基) 丙烯醯胺、曱基丙烯酸烯丙脂等之具有不同之加成聚合性 不飽和鍵2個以上之化合物。 作爲別的具複數聚合性基之單體,可舉以下之晞丙基化 合物、乙晞醚類、乙晞g旨類、苯乙晞化合物、環氧基酉旨 作爲晞丙基化合物有例如g太酸、對g太酸、癸二酸、己一 酸、戊二酸、丙二酸、草酸等之二羧酸之二烯丙基g旨;菌 酉—㈣故、苯二績酸、2,5-二技基-對苯二續酸、-产凡答 二磺酸、莕二磺酸等之二磺酸之二烯丙基酯、二埽丙基碎 胺等。 土瓜 作爲乙烯基醚有前述多價醇之聚乙烯醚,例如乙二醇一 乙烯醚、1,3,5·三- -乙烯氧乙氧基苯、乙缔 氧乙氧基苯、甘油三乙晞醚等。 -16-本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) A7 B7 五、 發明說明( 14 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲乙烯醋類有琥拍酸二乙晞§旨、己二酸二乙烯醋、酉太 酸二乙烯醋、賊酸二乙_、二乙埽苯],3_二績酸酉旨、 —乙晞丁坑· 1,4 _二續酸酯等。 作爲苯乙烯化合物有二乙烯苯、對晞丙基苯乙晞、對異 丙基苯乙烯等。 又,作爲環氧基醋化合物爲具c==c雙鍵及致基之化合物 與:環氧基之化合物伴隨環氧基之開;袤反應之酯反應產生 之單體或其寡聚物,通常單體之分子量約一千以下,寡聚 物之分子量爲數千以下。該環氧基酯可舉分子之兩末端有 C-C雙鍵者,或其2〜7個之寡聚物而兩末端有c = c雙鍵存 在者。 作爲前述具c = c雙鍵及羧基之化合物,可舉丙烯酸、甲 基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸等,其中可舉丙烯 酸、甲基丙晞酸。 作爲前述具環氧基之化合物可舉具1個以上縮水甘油醚 基’較好2個以上之化合物,而作爲戴持縮水甘油酸之 基’通常可舉以1〜20C,較好1〜15C之伸燒基(但伸燒基 之Η原子亦可以羥基、甲基等取代)、_(R〇)n表示之殘基 [R通常爲1〜4C,較好1〜3 C之伸烷基(但伸烷基之Η原子亦 可以甲基取代),η通常表2〜20之整數,較好表2〜15之整 數。但,末端之〇原子爲甘油醚基之〇原子]、雙苯醇Α殘 基等。 又,作爲本發明使用之環氧基酯,使用例如酞酸二縮水 甘油酯之甲基丙晞酸酯等之前述具環氧基化合物,亦可使 -17 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) t· 裝 -丨線· 1225573 A7 B7 五、發明說明() 用縮水甘油酯者。 以下,例示得以使用於本發明之環氧基酯 [化1] 15 CH3 CH?心 9 七七 分 c 卜卜分 C-0:CH) tl · I If 〇 〇H OH 〇 CH?-CH-C-〇-CHrCH-CH?-〇-CH2-CHO-CH2-CH-CH2-〇-C-CH=CH2 II I I I ο 〇 OH CHo OH 〇
ΟΗ?=ΟΗ-〇-〇·€Η2-〇Η-〇Η2·Ό-(ΟΗ2ϋΗΟ)3-〇Η?-〇Η-〇Η2-〇-〇-〇Η=ΟΗ? 'II I I I II
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CH^CH-C-〇-CHrCH-CHr〇-CHrCH-CHr〇-CH2**CH-CHr〇-C-CHCH? II I ! I II 〇 OH OH OH 0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) CH2-CH-CO-CH?-CH-CHr〇-(CH?)5-〇~CH?~CH-CH?-〇-C-CH=CH? 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇
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I OH CH?--CH-C-0-CH?-CH-CH?-0-(CH?CH?0)n-CH?-CH-*CH?-0-C-CHCH? 丨j I I u 〇
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OH CH^CH-C-〇-CHrCH-CH?-〇-(CH?CH2〇)n-CH2-CH-CH?-〇-C-CH^CH? :丨 1 ) n 〇 〇H OH 0 nq -18 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21G X 297公爱) 1225573 A7 ____ B7 五、發明說明(16 ) [化2] CHi CH】 \ 1 /—\ II 1 I V- 於包 ^-CHrCHO^HrCH-CHrO'C-C^CH? f | 1 11 π 1 1 0 OH CHj · CH3 oh 〇 CH】 CH:Or9、OCH「CHK:HrO-CH-CHrC>(5)*{>(5V〇〇lrCH-〇-CH「OfCHr〇-〇CH:CH2 II I I W I X—7 t I II 〇 OH CHj CH) CH3 OH 0
CH3 I CH3 ?H3 CH2=C~C-0~CH2-CH-CHe-0-(^C-(〇)-0-CHrCH-CHr0~C--C=CHa 〇
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[ II OH 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明使用之環氧基酯化合物,除環氧基酯本身外,亦 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 1225573 五 、發明說明( 17 包含其寡聚物,較好2〜4聚物(分子量約1〇〇〇〜2〇〇〇,2 月匕)’此寺寡聚物可以原樣’亦可以藉由甲基 劑稀釋者。 守合 頁 加成聚合性化合物爲得充分感度與硬化皮膜,可舉再夭 加各種反應性聚合物或預聚物。基於以此等聚合物及預聚 物爲主幹聚合物例示,可舉⑴聚尿烷型,例如將2,乙 基甲基丙料UN.曱醇丙_胺與聚乙:醇及2 4_" 苯基異氰酸醋反應者,以二甲苯異氰酸帽乙基酞基甲 基丙烯酸醋尿烷化者,以伸甲苯基_2,4·二異氰酸酷將三甲 醇丙统二晞丙基醚尿燒化者等,⑺聚乙烯醇型例如將& 甲醇丙烯醯胺與聚乙烯醇反應者,⑴聚醯胺型,例如以埽 丙醇將均苯四甲酸二酸肝使成二埽丙基醋,其次以氣化亞 硫醯將剩下之竣基氯化,加成於聚酿胺之化合物,⑷聚丙 烯酸或馬來酸之共聚合物型,例如將晞丙胺與乙婦-益水馬 來酸共聚物反應者,⑴其他,環氧基樹脂型、不飽和 型、矽酮樹脂型等。 具聚合性基之單體亦即加成聚合性化合物,可單獨戈併 用2種以上。添加於其組合物之量,相對於聚合物成分1〇〇 份重量,通常爲10〜300份重量,較好5〇〜25〇份重量。於 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 不滿1〇份重量則硬化速度不充分。又,超過3〇〇份重量則 難以焙燒而不佳。 (光聚合起始劑) 作爲光聚合起始劑’可使用眾知之光聚合起始劑。較佳 之光聚合起始劑,可舉揭示於美國專利第2,367,66〇號説明 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐 1225573 A7 B7 五、 發明說明( 18 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 書之二桂皮多酮腈(匕' シ十一小示° W夂卜7儿卜'二小)化合 物,美國專利第2,367,661號及第2,367,67〇號説明書揭示之 泛-羰基化合物,美國專利第2,448,828號説明書揭示之偶 姻醚,美國專利第2,722,5 12號説明書揭示之以α -烴取代 之芳族偶姻化合物,美國專利第3,046,127及第2,951,758號 説明書揭示之多核苯醌化合物,美國專利第3,549,367號説 明書揭示之三烯丙基咪唑二聚物/對胺苯基酮之組合,特公 昭51-48516號公報揭示之苯並ρ塞哇系化合物/三_甲基·s-二p井化合物’特願昭61-186238號公報揭示之感光性_ § _三 畊化合物,美國專利第4,239,850號説明書揭示之三函甲基 -s-三畊化合物,美國專利第4,212,976號說明書揭示之呤 二吐化合物,美國專利第4,318,791號説明書揭示之乙醯苯 型化合物’美國專利第3,926,643號説明書揭示之嘍噸酮化 合物,美國專利第4,147,552號説明書揭示之香豆素化合物 等,但並非限於這些。作爲特佳之光聚合起始劑有三齒甲 基取代之喝唑衍生物或s-三呼衍生物。例如可舉三氯甲 基-5-(4-氣亞苄曱基)崎二唑及2,4,6_三氯甲基三畊。 其使用量,以相對於加成聚合性化合物之重量比約 0.2〜30%,更佳爲〇5〜20%。 本發明之複合體組合物,按須要可再禾 、文』丹添加W述以外之化 合物。 例如爲提向有機相與無機相之相溶性 1 又於使用含盔機 微粒子之電槳顯示縣壁之構成層或作爲其㈣層之情 形’馬使成分間之結合性提高,可添加自由基聚合性單 21 - 本紙張尺度適用中國國豕標準(CNS)A4規格(210 X 297公爱 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) r«裝 訂, -線- 19 A7 B7 五、發明說明( 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 體。自由基聚合性單體,只要爲可自由基聚合之單體即 可尤其石夕k化合物爲佳。作爲自由基聚合性單體可使用 J 丙烯氧基-2-羥丙基-胺丙基三乙氧基矽烷、 二丙晞乳丙基:甲基甲氧基找、3_丙晞氧丙基甲基雙 (-甲碎乳基)石夕坑,3·丙缔氧基丙基甲基二氣#燒,^丙 =丙基三氣料,3•丙晞氧丙基三甲氧基錢、缔丙基 -氯石夕:k、#丙基二乙氧基碎垸等眾知之碎燒化合物。此 等^匕合物亦有市售,可舉KBM画(商品名;信越化 學工業株式會社製)、KBM 1403 (商品名;信越化學工業株 式曰社製)、KBM 503 (商品名;信越化學工業株式會社 製)、KBM 5102(商品名;信越化學工業株式會社製)、 KBM 5403 (商品名;信越化學工業株式會社製)等。 又,感光性組合物中可添加保存穩定性改良用熱聚合防 止劑。例如氫醌、對曱氧基苯酚、二-第三丁基―對甲酚、 焦掊酚、第三丁基兒茶酚、苯醌、4,4、硫雙(3 _甲基_ 6 _第 二丁基苯酚)、2,2’ -亞曱基(4 -甲基-6 -第三丁苯酚)、2 -疏 基苯並咪峻等有用,通常相對於單體,添加5〇〇〜2〇〇〇 ppM 之程度。通常市售之單體中,添加適量之熱聚合防止劑。 感光性組合物層按須要使用低毒性、塗佈性佳之溶劑, 形成於基板表面上。於此所用之溶劑,可使用3 _甲氧丙酸 甲酉旨、3 -甲氧丙酸乙g旨、3 -甲氧丙酸丙g旨、3_乙氧丙酸甲 酉旨、3 -乙氧丙酸乙g旨、3 -乙氧丙酸丙醋等之燒氧丙酸g旨 類、2·曱氧丙基乙酸酯、2 -乙氧丙基乙酸酯、3 -甲氧丁基 乙酸酯等之烷氧基醇之酯類、乳酸甲酯、乳酸乙酯等之乳 -22 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 填響1J裝 本 . 頁 訂 線 1225573 A7 B7 五、發明說明( 20 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 酸酯類、甲基乙基酮、環己酮、甲基環己酮等之酮類,其 他r - 丁内酯、N -甲基p比咯咬酮、二甲亞颯等。 [高精細構造體之製作] (感光性組合物之製備) 本發明之感光性組合物係將疏水性聚合物、水溶性聚人 物、感光劑、加成聚合性化合物、光聚合起始劑且依須要 其他成分均勻混合形成,亦可將這些溶於前述溶劑而形 成。 ^ 又,組合物中亦含無機微粒粉體之情形,將各成分更加 混合製備組合物,亦可將此等分別爲2成分以上各別混 合,或溶解於溶劑後,混合成一個。 感光性组合物之黏度依所添加之增黏劑、有機溶媒、可 塑劑及沉澱防止劑等之比例適宜調整,其範圍爲2〇〇〜2〇萬 cps(厘泊)。例如以旋轉塗布法進行塗布於玻璃基板之情 形’以200〜5000 cps爲佳。以遮蔽印刷法塗布1次,得膜 厚10〜20微米時,以5萬〜20萬〇1)5爲佳。使用葉片法及台 塗布機法等之情形,以1000〜3〇〇〇〇 cps爲佳。 製備之感光性組合物,於高精細構造體爲材料之基板 上’或其作爲抗蝕膜之材料層上塗布。 (感光性組合物之塗布) 人作爲塗布方法,於流延法、塗膜法、遮蔽印刷法等,或 塗膜法,可適宜選擇桿式塗布機、親式塗布機、台塗布 機、葉片塗布機。將本發明之感光性組合物作爲光致抗蝕 性使用,係將感光性組合物以一定厚度塗膜或塗布於鋅、 -23 各咖 x 297 公爱 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 I· 裝 訂 線 1225573 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7_____ 五、發明說明(21 ) 銅等之金屬表面或樹脂表面,經由負型罩曝光。 本發明組合物以感光性糊之形式使用之情形,係將組合 物塗布於聚乙烯對酞酸酯等之聚酯膜及聚鏈烯膜等之可撓 性支持體;使溶劑揮散,成型爲1微米至i .5毫米厚,做爲 光致抗餘性用糊。塗布方法,適宜地選自上述之各塗布方 法。使用感光製糊之情形,將附有此支持體之糊接著於基 板上之構造體材料層上,於剥離通常支持體之前,予以圖 案曝光,使糊層感光成圖樣。 (對感光性組合物之圖案形成曝光) 對感光性組合物之曝光用光源可舉可見光、近紫外光、 紫外光、電子光、X光、雷射光等,此等之中以紫外光爲 佳’作爲其光源可使用例如低塵水銀燈、高壓水銀燈、超 高壓水銀燈、_素燈、殺菌燈等。此等之中以超高壓水銀 燈爲適宜。曝光條件依塗布厚度而異,使用1〜1〇〇 mW/cm2 之輸出之超高壓水銀燈,進行〇1〜3〇分之曝光。 光聚合反應,依感光性組合物之性質,可於例如〇〜15〇 C車父好室溫〜120 °c之溫度進行。反應時間依反應溫度、光 照射量等而異,可控制於數秒〜數日之範圍,較好5秒〜i 5 分。於不到5秒硬化會不充分。又通常以1 5分完成硬化, 超過此之照射無法期待效果。 通常使用曝光裝置透過罩子進行曝光爲多。所用之罩子 依感光性有機成分種類,選定負型或正型之任一者。 又’亦可無使用光罩,直接使用紅色與藍色之可見光雷 射光’ Ar離子雷射光、uv離子雷射光等描繪之方法。 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) r'裝 . -·線」 -24- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 x 297公釐) 221225573 A7 五、發明說明( 作爲曝光裝置,可使用斯特 。、 洛兄西未逄卜……)曝光機等。又,進行大面二 曝光之情形,將感光性組合物塗布於玻 丁, 後,藉由一面搬送一面進行曝光, 二 〈土板上 機,可做大面積之曝光。小的曝光面積之曝光 (顯像) 、曝感光部分與非感光部分對水或驗性顯像液 之洛卿度差,進行除去非感光部分之顯像。本發明组合物 可以水或鹼性水.溶液顯像。亦即,pH爲6〇〜85之中性 水,或pH爲8.5〜ΐ〇·5之弱鹼性水皆可。 於木發明’藉由將水加壓喷射之喷霧方式之顯像 較佳之樣式之—。此顯像方式,由於加壓噴狀效果強: 及於深處,以水顯像可有效地除去非圖案部分。尤其含水 落性基取代纖維素衍生物感光性組合物,之適宜藉由本 明之加壓噴射以水顯像。 9 " 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一方面,頭像液亦可使用可溶解感光性組合物中之有機 成分之有機溶媒。感光性組合物中存在具羧基等之酸性基 t化合物之情形,可以稀鹼水溶液顯像。於本發明「藉水 顯像」之水亦包含稀鹼水溶液。稀鹼水溶液之情形,作爲 鹼性劑亦可使用如1^〇1^與>^2(:〇3、Ca(〇H)2水溶液等之2 屬驗性水溶液,但使用有機驗性水溶液者,由於燒成時易 於除去驗性成分,所以較佳。 作爲有機鹼,一般可使用胺化合物。具體言之,可舉他 氧化四曱基铵、氫氧化三曱爷铵、一乙醇胺、二乙醇胺 -25 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 1225573 A7 23 ------ 五、發明說明() 等。鹼性水落液 < 鹼性劑之濃度通常爲丨q重量%以下,更 佳局0· 1〜5重τ %。必要以稀鹼水溶液顯像之情形,鹼性濃 度過低則無法除去可溶部分,鹼性濃度過高,則圖案部分 被剝離,又有腐蝕非可溶部分之虞,所以不佳。又,顯像 時之顯像溫度,於20〜50X:進行於工程管理上較佳。 藉由高壓噴射水或鹼性水溶液進行顯像之情形,水或鹼 性水溶液之加壓噴射之噴射角,大大地影響顯像作用。相 對於感光性组合物之面爲垂直之情形,顯像作用最強。一 方面,來自電漿顯示用之隔壁材料之無機微粒之除去,單 是顯像作用強並不充分,非藉由機械性之顯像液之衝擊自 基板除去不要I無機微粒子不可,因此,自垂直方向約 0〜35度、較好0〜20度,相對於進行方向以斜前或斜後方 之角度噴射爲佳。 供喷射水或驗性水溶液之EP加壓力,依噴嘴之形狀而 異。爲本發明較佳實施形態之貓目型噴嘴(斷面爲凹透鏡狀) 之情形,50〜350 kgf/cm2,較好100〜3〇〇kgf/cm2之壓力爲 有效果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 裝--- (請先閱讀背面之注意事項1¾寫本頁) -I線· 又,作爲本發明之經濟之實施形態,t際上㈣連續顯 像步骤,此時使水或鹼性水溶液均等地普及組合物層之寬 的方向地,單獨以扇型之擴大噴射之噴嘴,或向扇I擴大 方向複數配列,於相對於扇面直角方向,將感光性組合物 一面定速移動,取通過水或鹼性水溶液之噴射部分之方 法,進行連續顯像處理較佳。 具有供滿;i上述之噴射壓、衝擊角度、水流擴大形狀等 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 1225573 A7 B7 24 五、發明說明() 之本發明目的之機能,可使用之特佳之顯像裝置,爲超高 壓噴射精密洗淨系統A F系列(旭沙那克(公司))。其中高壓 用以AF5400S爲適宜,低壓用以AF2800II爲適宜。然而, 只要具上述之噴射壓、衝擊角度及水流擴大形狀之裝置, 不限於此機種’可適用於本發明之隔壁形成方法之顯像手 段。 [實施例] 以下使用實施例’具體説明本發明。但本發明並不限於 此0 [實施例1 ] 下述之構成成分 將4.0克甲基丙烯酸苄酯/曱基丙烯酸共聚物[莫耳比 70/3 0,平均分子量Σ W20000、無規聚合物](疏水性聚合 物),17.0克羥丙基纖維素[HPC_L,曰本蘇打(公司)製)(親 水性聚合物),10.0克14EG-A(共榮社化學製之聚乙二醇 系之加成聚合物)’ 10.0克之環氧基酯16〇〇A[共榮社化學製] (加成聚合性化合物),1 · 〇克之4 -[鄰-溴-對]n,N -二(乙氧 羰甲基)胺苯基]·2,6_二(三氣甲基)_s_三畊(光聚合起始劑) 溶於45.0克之正曱基吡咯啶酮,攪拌、得感光性組合物 液。其次,將感光性組合物液塗佈於蘇打玻璃基板上,接 著於100 C乾燥1 0分。自感光性組合物空下3 〇微米之間 隔,使用間距15 0微米、線寬2 0微米之絡製負型罩,以照 度40 mW/cm2之超高壓水銀燈,予以2〇〇 mJ/cm2之曝光。其 後,浸潰於純水中1 0秒,進行噴霧清洗。藉此可形成約2 〇 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 裝--- (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) .線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1225573 A7 B7 五、發明說明( 25 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 微米之線寬之圖案。 [實施例2 ] 將實施例1所得之感光性組合物塗布於厚2 〇微米之聚乙 烯對献酸酯膜,1〇〇。〇乾燥6 0分,得膜狀之感光性塗布 物。其次’置於使感光性塗布物與玻璃基板接觸之處,以 1HTC、2 kgf熱壓。接著,將間距wo微米、線寬2〇微米之 絡製負型罩置於使與聚乙烯對酞酸酯膜接觸,以照度4〇 mW/cm2之超高壓水銀燈予以5〇 mJ/cm2之曝光。其後,自 感光性塗布物剝離聚乙烯對酞酸酯膜。接著,藉由1〇〇 kgf/cm2、18〇 mm/min之高壓水喷霧顯像。藉此可形成約2〇 微米之線寬之圖案。 對實施例1與實施例2,以光學顯像鏡觀察所得之試樣。 形成良好之圖案時評估爲〇,特優者評估爲◎。由於圖案 欠缺、剝離、顯像不佳而使未曝光部不通等,無法形成良 好之圖案之情形,評估爲X。實施例丨與實施例2爲◎之評 估。 0 [實施例3 ] △於實施例3,除了分別製備使甲基丙晞酸苄酯/甲基丙烯 酸共聚物(疏水性聚合物)與羥丙基纖維素(水溶性聚合物) 之添加量之比率(重量比)如表丨所述之疏水性聚合物/水溶 =聚合物之比率(重量比)以外,重覆與實施例2同樣之= 驗0 、 [比較例1 ] 28- ^紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21G χ 297公髮) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) F.裝 261225573 A7 五、發明說明( 於比較例1,除了分別製備使甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯 酸共聚物(疏水性聚合物)與羥丙基纖維素(水溶性聚合物) 之添加量之比率如述於表i之比較例丄之攔中之比率外\ 覆與實施例3同樣之實驗。 (表1) 疏水性聚合物/水溶性聚合物 圖案形成 0 0.05 0.1 0.5 1.0 3.0 4.0 5.0
X 〇 ◎ ◎ ◎ 備註 〇 〇
X # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (註)於表丨備註欄,*記號表疏水性聚合物/水溶性 於本發明之範圍内,#記號爲比較例。 (結果) 疏水性聚合物/水溶性聚合物之比率爲0〇5〜4〇之範圍, 尤其爲0.1〜1.G之範圍時,與作爲比較例進行之此範圍外之 比率之組合物之評估比較,可得少有由於顯像不良之圖案 欠缺、剝離、未曝光部分之除去不佳菩4a、 寺心缺陷乏形狀艮好 之圖案。 實施例4 (感光性組合物之製作) 分別混合下述成分後,將乙基溶纖劑、甲醇(ι/ι)混合溶 媒煉合,作成糊狀之壁材組合物。 氧化鋁粉末(平均尺寸0.1微米) 15份 低熔點玻璃A(平均尺寸1微米,參照表2) 60份 -29 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 比 (請先閱讀背面之注音?事項寫本頁} 裝 . ' ·線· 1225573 A7 B7 27 發明說明() 乙基纖維素 0.5份 葱品醇 4.5份 甲氧丙基乙酸酯 20份 又,於上述壁材之組成,低熔點玻璃A具下述表2之組成 與性質。 (表2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 成分 A Li2〇 3 K20 0 Si02 47 B2O3 21 Bi203 0 BaO 5 ai2o3 3 ZnO 6 Pb〇 10 玻璃轉移溫度Tg(°C) 460 熱軟化溫度Ts(°C) 501 D50平均粒徑(微米) 3.6 線熱膨脹係數X107 (0 〜400〇C) 82 折射率(ng) 1.58 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) ^25573 A7 ---— B7 28 --------五、發明說明() 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次,藉由將此組合物複數次地塗布於3〇公分角之蘇打 玻璃基板,進行塗布使成30微米、15〇及25〇微米之厚度 後,將實施例1所示之感光製組合物於壁材層上,塗布成 2 0微米之厚度構成雙層後,於8(rc乾燥3〇分。 (圖案曝光) 其次,經由光罩進行曝光。光罩中使用間距13〇微米,線 寬30微米之鉻製負型罩。 曝光以50mW/cm2之輸出之超高壓水銀燈,以5〇mJ/cm2 之光量進行紫外線曝光。 (顯像) 顯像係一面將曝光完畢之感光性組合物以5毫米/秒之一 足速度搬运試樣台上,一面使用超高壓噴射精密洗淨系統 AF5400S (旭沙那克(公司)製),一面將擴大成扇狀之薄層 之水喷霧進行噴射於感光製組合物面上。水之噴射以扇狀 之喷霧面對組合物之進行方向爲直角,且對於垂直於組合 物面I面1 0。傾斜之角度向組合物進行方向噴射相當之角 度關係進行。又,其時之噴射壓力以100kgf/cm2進行。 (結果) 切斷所得t隔壁圖案試樣’以掃描型電子顯微鏡觀察斷 面。將可得良好之隔壁圖案者評估爲〇,由於顯像不良(局 部之溶解過度、溶解不足)之圖案欠缺、斷絕、未曝光部分 之除去不佳及溶解殘渣之殘存等而不形成良好之隔壁之情 形評爲X,隔壁圖案特優者及特差者分別評估爲◎、χ X 〇 -31 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 χ 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) rl裂 訂! .線」 1225573 A7 Β7__ 29 ^~" 五、發明說明() 可得隔壁高度爲30微米及150微米者爲◎,25〇微米者亦 可得Ο之結果。 [發明之效果] 本發明至少含疏水性聚合物與水溶性聚合物與加成聚合 性化合物與光聚合起始劑,且疏水性聚合物具有羧基爲端 末基,疏水性聚合物/水溶性聚合物之比率於0 05〜4 〇 (重 量比)之範圍之感光性組合物,可以水顯像,具高緊貼性與 物理強度,因而亦適於高壓水之噴射顯像,又亦適於以构 之形態使用,可適用於南精細之微細構造之製造。 (請先閱讀背面之注意事項|^、寫本頁) :裝 η 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -32 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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Claims (1)
1225573 修正替換本 S年f月曰 第〇89U8048號專利申請案 中文申清專利範圍替換本(93年8月) 申清專利範圍 L :種感光性組合物,至少具有疏水性聚合物與水溶性聚 a物與加成聚合性化合物與光聚合起始劑,其特徵在於 茲疏水性聚合物至少於末端含c〇〇M基(%表]9原子、鹼 土金屬原子或胺基),且與該水溶性聚合物之含量比(疏 水性聚合物/水溶性聚合物)為0.05〜4.〇(重量比)。 2·根據申請專利範圍第1項之感光性組合物,其中該水溶性 聚合物為羥烷基纖維素。 3. 根據申請專利範圍第1或2項之感光性組合物,其中該疏 水性聚合物為於末端含C00M基(%為11原子、鹼金屬原 子、驗土金屬原子或胺基)之丙晞酸系聚合物。 4. 根據申請專利範圍第1項之感光性組合物,其中該疏水性 聚合物具有30t:〜20(TC之熔點。 5· —種感光性塗布物,其特徵在於將申請專利範圍第丨〜4 項中任一項之感光性組合物塗布於撓性支持體上。 6. —種圖案狀構造體之形成方法,其特徵在於將申請專利 聋巳圍第1〜4項中任一項之感光性組合物直接或介以其他 之構成層設成之光阻膜上予以圖案狀之曝光後,藉由將 水加壓噴射之顯像,除去未曝光之部分。 7. —種微細圖案構造體,其特徵在於將申請專利範圍第 1〜4項中任一項之感光性組合物之光阻膜設置後,於該 抗触性層上施以圖案狀之曝光及將水加壓噴射之顯像而 形成。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)
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