JPS5834488B2 - ヒカリジユウゴウセイソセイブツ - Google Patents

ヒカリジユウゴウセイソセイブツ

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JPS5834488B2
JPS5834488B2 JP48014805A JP1480573A JPS5834488B2 JP S5834488 B2 JPS5834488 B2 JP S5834488B2 JP 48014805 A JP48014805 A JP 48014805A JP 1480573 A JP1480573 A JP 1480573A JP S5834488 B2 JPS5834488 B2 JP S5834488B2
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F20/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F20/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
    • C08F20/10Esters
    • C08F20/20Esters of polyhydric alcohols or polyhydric phenols, e.g. 2-hydroxyethyl (meth)acrylate or glycerol mono-(meth)acrylate
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は印刷レリーフ用あるいはフォトレジスト用光重
合性組成物に関するものである。
光増感剤の存在下に活性光線を作用させ、付加重合可能
なエチレン性不飽和化合物を硬化させ、三次元不溶化さ
せることによって印刷用あるいはフォトレジスト用レリ
ーフ像を得ることはよく知られている。
これらは通常付加重合可能なエチレン性不飽和化合物と
有機線状高分子重合体からなり、室温で固形状あるいは
ゲル状として適当な支持体の上に塗布されている。
本発明は付加重合可能なエチレン性不飽和化合物として
一般式 (ただし、R1t R2t R3は水素あるいはメチル
基を表わす。
nは1,2あるいは3を表わす。Aは炭素数4から10
の環状酸無水物の残基を表わす。
Bは−R4−あルイは−R4NHCOOR5COCNH
R,−を表わし、R4は炭素数4から13のアルキレン
基、シクロアルキレン基あるいはアリーレン基を、R6
は炭素数2から8のアルキレン基あるいは炭素数2から
4のオキシアルキレン基の重合体を表わす。
)で表わされるジビニルウレタン化合物(n=1゜2.
3のものを各々単独で用いてもよいし、それらの混合物
を用いてもよい)を使用することを特徴とする光重合性
組成物に関するものである。
本発明は該ジビニルウレタン化合物と側鎖に酸価30以
上のカルボン酸基を有する有機高分子重合体と、それに
少量の光増感剤からなる室温で固体状あるいはゲル状の
光重合性組成物で、主としてレリーフ高さ0.2 mm
以上の凸版用印刷板の製造に適するものであるが、この
他しリーフ高さ1μから10μのフォトレジスト用感光
層としても有用である。
これらの場合、側鎖に酸価30以上のカルボン酸基を有
する有機高分子重合体は未露光部を弱アルカリ水あるい
は水に可溶である有機溶媒を含む弱アルカリ水で溶出さ
せる(以下単に現像とよぶ。
)ために使用するのであって、通常のごとく結合剤とし
て用いるのではないので、該ジビニルウレタン化合物よ
り少ない量で用いられる。
この様に硬化剤である該ジビニルウレタン化合物*本を
大量に使用できるのは、該ジビニルウレタン化合物が室
温で粘稠な液体あるいは固体であるためで、硬化剤を大
量に用いることによって、今まで長時間の現像によって
硬化部分が現像液によって膨潤溶出するという欠点をな
くすことが出来、その上再現性に富んだ鋭いレリーフ像
を得ることが出来る。
該ジビニルウレタン化合物の含有量が全体の固形分の8
0重重量板上になると、弱アルカリ水による現像は難か
しくなる。
一方該ジビニルウレタン化合物の含有量が全体の固形分
の50重重量風下になると、感光速度は著しく低下し、
また長時間の現像によって、硬化した画線部が膨潤溶出
してくる。
該ジビニルウレタン化合物の一般式中、Aは炭素数4か
ら10の環状酸無水物の残基を表わし、この様な環状酸
無水物の代表例としては無水フタル酸、無水テトラヒド
ロフタル酸、無水へキサヒドロフタル酸、無水コハク酸
、無水マレイン酸等があり、R4としてはジイソシアネ
ート化合物ノ残基を表わし、この様なものにたとえば、
等で表わされる構造式のものがあり、R5としては、た
とえば−CH2CH2−、(−CH2+4゜(−CH2
+6.−CH2CH2(−OCH,OH2+l。
−CH2CH2CH2CH2て0CH2CH2CH2C
H2+。
等で表わされる構造式のものがある。
ただしl2本1mおよびnはすべて1から10を表わす
該ジビニルウレタン化合物は、一般式 (ただしR1、R2、R3、nおよびAは前記と同じ)
で表わされるモノヒドロキシ化合物と1分子に2個のイ
ソシアネート基を有するジイソシアネート化合物を、必
要とするならば適当な触媒の存在下に反応させて得るこ
とが出来る。
ただし該ジビニルウレタン化合物において、R4として
隣接するウレタン基に直接芳香族環が直結したジビニル
ウレタン化合物、特に1個の芳香族環に2個のウレタン
基が直結したジビニルウレタン化合物は、このもの自身
が光重合開始剤の感光領域である紫外部に吸収を有し、
このものを使用した感光板では感光層の下層部が硬化不
足となり、サイドエツチングが起るため、レリーフ高さ
1μ〜10μのフォトレジスト用として使用する場合に
はさしつかえないが、レリーフ高さ0.2 mm以上の
凸版用印刷板の製造に用いる場合には、R4が隣接する
ウレタン基と共鳴構造をとらないものから製造したジビ
ニルウレタン化合物を用いることが好ましく、このもの
は、感光性に優れ、サイドエツチングのない良好なレリ
ーフ像を得ることが出来る。
本発明に使用する該ジビニルウレタン化合物と相溶性が
あり、かつ側鎖に酸価30以上のカルボン酸基を有する
有機高分子重合体としては、セルロースアセテートフタ
レート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレー
ト、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートへ
キサヒドロフタレート等の側鎖にカルボン酸基を有する
酸性セルロース誘導体、ポリビニルアルコール誘導体に
環状酸無水物を反応させた側鎖にカルボン酸基を有する
酸性ポリビニルアルコール誘導体、アクリル酸共重合体
、メタクリル酸共重合体、イタコン**上の凸版用印刷
板の製造に適したものとしては、特に酸価100以上の
カルボン酸基を有するものが、現像時における現像性を
容易にさせるので好ましい。
また本発明に使用する増感剤としては公知のものはすべ
て含まれるが、特に熱的に安定なものが選ばれる。
たとえばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインエチルエーテル等のペンツインアルキルエーテル
、2−エチルアンスラキノン、2−t−ブチルアンスラ
キノン等のアンスラキノン誘導体、ベンジル、4.4’
−オキシジベンジル、パイアセチル等のバイカルボニル
化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、キサントン
、2−クロルキサントン、トリアセチルベンゼン、アン
スロン等のカルボニル化合物やその他9フェニルアクリ
ジン、3−メチル−2−ベンゾイルメチレンナフト(1
,2−α〕チアゾール等がある。
これらの光増感剤は感光層の膜厚によって選択され、1
種あるいは2種以上の組合せで使用される。
また該光重合性組成物の現像液としては2〜0.1重量
部の水酸化ナトリウム、水酸化カリ、モノエタノールア
ミン、ジェタノールアミン、トリエタノールアミン、ア
ンモニア水等のアルカリ水溶液が使用されるが、このも
の単独では現像性は余り良好ではないので、これらのも
のに0.1〜10重量多の水に可溶な有機溶媒や界面活
性剤を加えることによって現像性を高めることが出来る
本発明を更に詳細に説明するため、以下実施例をもって
説明する。
実施例中における部および優はすべて重量部および重量
φを表わす。
酸共重合体、クロトン酸共重合体や低級アルコールで部
分エステル化した無水マレイン酸共重合体等がある。
これらの中でもレリーフ高さ0.2 mm以実施例 1 構造式 (n二1が60優とn−2が40係の混合物で、平均重
合度n 1.4である) で表わされるヒドロキシエチル・フタリル・メタクリレ
ート(OH価141.平均分子量398)398g(1
,0モル)、キシリレンジイソシアネ−)94g(0,
5モル)、触媒として安息香酸1.5gと重合禁止剤と
して2,6−ジーt−ブチルクレゾール0.25gを加
えて80℃、7時間、空気吹込下反応させ残存イソシア
ネート価5.2のジビニルウレタン化合物(I)を得た
このジビニルウレタン化合物(■)60部に、ヒドロキ
シプロピルメチルセルロース水素フタレートであるHP
−55(商品名:信越化学工業隙製、酸価127)30
部、低級アルコールで部分エステル化したスチレン−無
水マレイン酸共重合体であるスチライトCM−2L(商
品名二大同工業は製)10部、増感剤としてベンゾイン
エチルエーテル1部、熱重合防止剤として4,4′−チ
オビス(3−メfルー6−1−ブチルフェノール)傘*
0.05部と溶媒としてアセトン40部とメタノール1
7部を加えて溶解後、40℃、■昼夜放置して脱泡した
脱泡した感光液をナイフコーターを用いて100μのポ
リエステルフィルム上に乾燥膜厚0.6mrnとなるよ
う塗布し、室温1日間、50℃熱風1日間乾燥させた。
乾燥したシートを0.3山の厚さの砂目立てしたアルミ
板に80℃でラミネートした。
ラミネートした感光板から100μのポリエステルフィ
ルムを取り除いた後、文字を有する写真ネガフィルムを
密着させ、20WのケミカルランプFL−20BL(東
芝製)を66rI1間隔に並べである真空プリンターで
10分間露光した。
露光後0.5優のイソプロピルアルコールと0.2係の
水酸化ナトリウムを含む弱アルカリ水で未露光部を溶出
させ鮮明なレリーフ像を得た。
実施例 2 構造式 (n=1が60%とn = 2が40%の混合物で、平
均重合度n=1.4である) で表わされるヒドロキシエチル・フタリル・アクリレー
ト(OH価147、平均分子量384)384.9(1
,0モル)、キシリレンジイソシアネート94g(0,
5モル)、と重合禁止剤とじて2゜6−ジーt−ブチル
クレゾール0.25gを加えて80°C,8時間、空気
吹込み下反応させ残存イソシアネート価4.7のジビニ
ルウレタン化合物(II)を得た。
このジビニルウレタン化合物(II)60部に、実施例
1のヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート4
0部、ベンツインエチルエーテル1部、4.4′−チオ
ビス(3−メチル−6−1−ブチルフェノール)0.0
5部とアセトン40部および**メタノール25部を加
えて溶解後、40℃1昼夜放置して脱泡した。
脱泡した感光液を実施例1と同様にして感光層の膜厚が
0.6 mmである感光板を得た。
感光板から100μのポリエステルフィルムを取り除い
た後、文字を有する写真ネガフィルムを密着させ、20
WのケミカルランプFL−208L(東芝製商品名)を
6C1rL間隔で並べである真空プリンターで、7分間
露光した。
露光後0.5饅ベンジルアルコールと0.5%水酸化ナ
トリウムを含む弱アルカリ水現像液で現像して、鮮明な
レリーフ像を得た。
実施例 3 ジエチレンクリコール53g(0,5モル)にキシリレ
ンジイソシアネート197g(1,05モル)を加えて
80℃、2時間反応後、構造式 (n−1が60係とn=2が40係の混合物で、平均重
合度n=1.4である) で表わされるヒドロキシエチル・テトラヒドロフタリル
・アクリレート(OH価146.平均分子量390)3
90g(1,0モル)と重合禁七剤として2,6−ジー
t−ブチルクレゾール0.3CB?を加えて80℃、8
時間空気吹込下反応させ、残存インシアネート価4.8
のジビニルウレタン化合物(III)を得た。
このジビニルウレタン化合物(IID60部にセルロー
ス・アセテート・水素・ツクレートであるCAP(商品
名:和光純薬焦製、フタル酸含有量32重量% ) 4
0音医増感剤としてベンゾインエチルエーテル1部、熱
重合防止剤として4,4′−チオビス(3−メチル−6
−1−ブチルフェノール)0.05部、画像着色剤とし
てメチレンプル=0.025部と溶媒としてアセトン4
0部とメタ**ノール30部を加えて溶解後、40℃、
■昼夜放置して脱泡した。
脱泡した溶液を実施例1と同様ニL、 テ0.3 mm
の厚さの砂目立てしたアルミ板ニ感光層の膜厚が0.6
amになる様感光板を作製した。
この感光板を実施例1と同様の露光装置を用いて7分間
露光し、その後0.5俤のトリエタノールアミン水溶液
で現像した。
硬化した画線部は硬くてしかもフレキシプリティに富ん
でいた。
実施例 4 構造式 (n−1が60優とn二2が40係の混合物で、平均重
合度n=1.4である) で表わされるヒドロキシエチル・フタリル・アクリレー
ト(OH価147、平均分子量384)384g(1,
0モル)、トルエンジイソシアネート87g(0,5モ
ル)と重合禁止剤として2,6−ジーt−ブチルクレゾ
ール0.25gを加えて80℃、2時間空気吹込下反応
させた後、触媒としてトリエチルアミン1.5gを加え
て6時間そのまま反応を続は残在イソシアネート価3,
6のジビニルウレタン化合物(IV)を得た。
このジビニルウレタン化合物(IV)7g、ポリ(メタ
クリル酸メチル/メククリル酸=9/1重量)共重合体
(極限粘度0.115 、30℃、メチルエチルケトン
溶媒)3g、増感剤として3−メチル−2−ベンゾイル
メチレンナフト〔1,2−α〕チアゾー/l/ 0.1
g(!: 溶媒としてメチルセロソルブアセテート9
0gを加えて感光液を調合した。
この感光液を0.3 inの厚さの砂目立した後、シリ
ケート処理したアルミ板に塗布し、1000C,2分間
乾燥させ、一方平米当り2.52gの塗布重量を有する
平版印刷用感光板を得た。
この感光板に文字を有すルネカフィルムを密着させ、1
ooV、3Aのカーボンアーク灯、70cIrLの距離
から3分間露光した。
露光後0.5 %のベンジルアルコール、1%(7)ケ
イ酸ソーダと1係の活面活性剤であるモノゲンY−10
0(第一工業薬品は製商品名)を含む弱アルカリ水で現
像して再現性に富んだ平版印刷板を得た。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 イ)一般式 (ただし、R1y R2v R3は水素あるいはメチル
    基を表わす。 nは1,2あるいは3を表わす。Aは炭素数4から10
    の環状酸無水物の残基を表わす。 Bは−R4−あるいは−R,NHCOOR500CNH
    R4−を表わし、R4は炭素数4から13のアルキレン
    基、シクロアルキレン基あるいはアリーレン基を、R5
    は炭素数2から8のアルキレン基あるいは炭素数2から
    4のオキシアルキレン基の重合体を表わす。 )で表わされるジビニルウレタン化合物(n = i
    。 2.3のものの各々単独、または混合物)80〜5o重
    量%、口)該ジビニルウレタン化合物と相溶性があり、
    かつ側鎖に酸価30以上のカルボン酸基を有する有機高
    分子重合体20〜50重量多と、ノ\)活性光線により
    エチレン性不飽和化合物**の光重合を開始する光増感
    剤0.01−10重量幅からなる光重合性組成物。
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