TWI225154B - Acceleration measuring apparatus with calibration function - Google Patents

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TWI225154B
TWI225154B TW092116167A TW92116167A TWI225154B TW I225154 B TWI225154 B TW I225154B TW 092116167 A TW092116167 A TW 092116167A TW 92116167 A TW92116167 A TW 92116167A TW I225154 B TWI225154 B TW I225154B
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Description

1225154 (1) 玖、發明說明 【發明之技術領域】 本發明，是有關··汽車 '飛機、產業機器、照像機、 攜帶末端機器、醫療機器、時鐘、玩具、遊戲機器等等所 使用的檢測其搖動、傾斜、移動距離、移動方向用的加速 度檢測裝置。
【先前技術】 檢測搖動、傾斜、移動距離、移動方向的方法多是使 用加速度檢測器。加速度檢測器是將藉由加速度所產生的 力量變換成電壓等的電値後加以檢測。但是，感受部因爲 具有因製造品質參差不一等而變化的特性，所以就這樣使 用。在此，有需要將檢測器放置於已知的加速度狀態，再 加以校正成與加速度成比例輸出。
爲了檢測垂直座標的3軸即X、y、z的各軸方向的加 速度用而使加速度檢測器具有X軸方向檢測器、y軸方向 檢測器、z軸方向檢測器。校正加速度檢測器的靈敏度 時，其X軸、y軸、z軸是需要先各別位在配合重力加速 度方向的位置，再進行各軸方向的檢測器校正。將加速度 檢測器那樣地配合3個位置的方式來校正各軸方向的檢測 器麻煩加以改善的校正方法是已揭示於日本專利3 1〗1 0 1 7 號。該專利的校正方法，是藉由使加速度檢測器安裝在加 上了 X軸方向檢測器、y軸方向檢測器、z軸方向檢測器 的重力加速度的各成分的大小成爲相同的夾具上，就可以 -4 - (2) (2)1225154 同時校正各x軸方向檢測器、y軸方向檢測器、z軸方向 檢測器的靈敏度。在其方法中，雖是可以同時校正靈敏度 即施加1 G的加速度時的輸出，但是無法進行在無重力狀 態下即零點的校正。 近年來，因爲微機器製造技術的進展，可檢測1 G以 下的加速度的電容量型及半導體壓電電阻型的高靈敏度品 已普及化。高靈敏度品不只是可檢測搖動且多使用於傾斜 等的傾斜檢測或移動距離、移動方向的檢測，而必須進行 零點輸出層級的校正。 進一步，因爲加速度檢測器的輸出小並需要將其輸出 透過放大器進行放大。也需要放大後的輸出的靈敏度及零 點的校正。且，記憶校正參數、校正計算式的同時，使用 那些參數及校正計算式進行資料處理的處理裝置也組裝於 加速度檢測裝置中。在此，不只是檢測器單獨的輸出，放 大後的輸出，進一步處理裝置的輸出也有校正的需要。 【發明內容】 在此本發明的目的，是提供一種可以同時校正靈敏度 及在無加速度狀態下的零點的加速度檢測裝置。 本發明的其他目的，是提供一種具有可供處理加速度 檢測器及檢測器輸出用的資料處理裝置，且可以校正資料 處理裝置的輸出的加速度檢測裝置。 本發明的其他目的，是提供一種可校正計算包含環境 溫度所產生的輸出的變化的加速度檢測裝置。 -5- (3)1225154 本發明的目的不只是加速度檢測裝置，從以下的發明 的說明可知，也包含加速度的校正方法。
本發明的加速度檢測裝置，其特徵爲，具有：各別檢 測相互垂直的至少2軸方向的加速度成分，並依據各檢測 結果進行輸出的加速度檢測器；及將加速度檢測器保持於 對於重力加速度的方向相互不同的角度的至少2個不同位 置的保持手段；及先依據由在前述各位置保持有加速度檢 測器時的重力加速度所產生的加速度檢測器的前述至少2 軸方向成分的各輸出而求得校正參數後，使用其校正參數 校正檢測得的前述加速度檢測器的輸出，再送出校正輸出 之演算處理電路。
如上述加速度檢測裝置，其中，前述加速度檢測器是 各別檢測相互垂直的3軸方向的加速度的成分，並依據檢 測得的成分各別輸出，且前述保持手段，是將前述加速度 檢測器保持於對於重力加速度的方向相互不同角度的2個 位置較佳。 前述校正參數，是在前述3軸的各方向的每單位加速 度的加速度檢測器輸出（以下稱「靈敏度」）及零加速度的 加速度檢測器輸出（以下稱「零點輸出」）較佳。 前述演算處理電路，是進一步具有容納前述校正參數 的記憶體，先將求得的校正參數容納於其記憶體後，將前 述3軸的各加速度成分所產生的前述加速度檢測器輸出使 用前述容納的校正參數進行校正，再送出校正輸出。 前述加速度檢測裝置中，前述保持手段保持前述加速 -6 - (4) (4)1225154 度檢測器的2個不同的位置之中的1個位置，是使前述加 速度檢測器的前述相互垂直的3軸之中的1軸與重力加速 度的方向一致，同時其他位置的前述加速度檢測器對於重 力加速度的方向具有一定角度較佳。 前述演算處理電路，是使用前述校正參數的前述3軸 方向的各靈敏度及零點輸出，並藉由以下的計算式求得前 述3軸方向的各檢測加速度成分的前述加速度檢測器輸出 的校正輸出較佳； 校正輸出=(各檢測加速度成分的輸出-零點輸出）/靈敏度。 前述加速度檢測裝置是進一步具有測量環境溫度的手 段’且前述演算處理電路，是先依據由在前述各方位保持 前述加速度檢測器的狀態下的重力加速度所產生的前述加 速度檢測器所測得的前述3軸的各方向的輸出成分而求得 校正參數的溫度係數後，將前述加速度檢測器的輸出，使 用從前述校正參數的溫度係數所求得的環境溫度的校正參 數進行校正，再送出校正輸出較佳。 前述校正參數的溫度係數，是在前述3軸的各方向的 每單位加速度的加速度檢測器所輸出的溫度係數（以下稱 「靈敏度的溫度係數」）及零加速度的加速度檢測器所輸 出的溫度係數（以下稱「零點輸出的溫度係數」）較佳。 加速度檢測裝置中，前述演算處理電路，是更具有容 納前述校正參數的溫度係數的記憶體，將已求得的校正參 -7- (5)1225154 數的溫度係數容納於其記憶體，將前述3軸的所測得的各 加速度成分的前述加速度檢測器的輸出，使用從容納於前 述記憶體的前述校正參數的溫度係數所求得的其環境溫度 的校正參數進行校正，再送出校正輸出較佳。
前述保持手段保持前述加速度檢測器的2個不同的位 置之中的1個位置，是使前述加速度檢測器的前述相互垂 直的3軸之中的1軸與重力加速度的方向一致，同時其他 位置的前述加速度檢測器對於重力加速度的方向具有一定 角度較佳。 前述演算處理電路，是使用前述校正參數的前述3軸 方向的從各靈敏度的溫度係數及零點輸出的溫度係數所求 得的其環境溫度的靈敏度及零點輸出，並藉由以下的計算 式求得前述3軸方向的各檢測加速度成分的前述加速度檢 測器輸出的校正輸出較佳；
校正輸出=(各檢測加速度成分的輸出-零點輸出）/靈敏度。 【實施方式】 實施例1 以下使用圖面詳細說明本發明的加速度檢測裝置。第 1圖是顯示本發明的加速度檢測裝置1 〇的立體圖，第2 圖是顯示本發明的加速度檢測裝置1的處理電路的塊體 圖。 加速度檢測裝置]是設在印刷電路基板2 0上，且 -8- (6) (6)1225154 由：加速度檢測器1 Ο、及其放大輸出的放大器3、及將類 比訊號變換成數位的A/D轉換器、及保存校正參數的記 憶體、及進行校正演算處理的微處理器5測量、及測量環 境溫度的溫度檢測器6所構成。第2圖的微處理器5是在 其內部持有記憶體5 a。爲了說明容易，對於同一零件、 部位係使用相同符號。 加速度檢測器1 〇是使用密封於陶瓷包裝的半導體壓 電電阻型3軸加速度檢測器。第3圖是顯示實裝於包裝內 的半導體壓電電阻型3軸加速度檢測器1 〇的模式圖。第 3圖A是顯示檢測器的立體圖，第3圖B是顯示壓電電阻 元件的配置的加速度檢測器1 0的平面圖（配線圖案，接觸 子等是無圖示）。檢測器1 〇是將矽作爲母材，在其中央是 由：錘1 1、及收容其錘的框1 2、及將錘1 1及框1 2架設 在4方向的樑1 6、1 7、1 8、1 9所構成。 錘11是藉由外力移動而使樑16、17、18、19變形發 生應力的構造。樑1 6及1 7沿著垂直座標的X軸延伸，樑 1 8及1 9沿著y軸延伸，在垂直於檢測器的上面假設是垂 直座標z軸。設有供檢測樑1 6上X軸方向的加速度用的 壓電電阻兀件3 1及3 2、供檢測棟1 7上X軸方向的加速 度用的壓電電阻元件3 3及3 4。設有供檢測樑1 8上y軸 方向的加速度的用的壓電電阻元件4 1及4 2、供檢測樑]9 上y軸方向的加速度的用的壓電電阻元件43及44 ^進一 步，設有供檢測樑]6上z軸方向的加速度的用的壓電電 阻元件5】及5 2 '供檢測樑]7上z軸方向的加速度的用 (7) (7)1225154 的壓電電阻元件53及54。由檢測各軸方向的加速度的4 個的壓電電阻元件構成架橋電路。例如χ軸方向的加速度 施加於錘1 1的話，壓電電阻元件3 1及3 3會受到壓縮應 力’而壓電電阻兀件3 2及3 4會受到延伸應力。外加固定 的電壓例如D C 5 V的電壓至架橋電路的話，且加速度施加 於錘的話’就可獲得來自架橋電路的輸出。 測量加速度檢測器]〇的輸出靈敏度及零點輸出的 話’則獲得顯示於如表1的値。檢測器輸出從表1可知， 因爲其靈敏度値小，所以使用放大器放大約〗〇 〇倍後進行 測量。放大後的靈敏度、零點輸出皆成爲約】〇〇倍。在 此’在本發明中如以下說明，校正放大後的輸出即加速度 檢測裝置1的輸出。 表1 X軸檢測器 y軸檢測器 z軸檢測器 靈敏度(mV/G) 3.5 3.6 4.0 零點輸出(mV) 1.2 •1.0 2.5 '1 1 ---------------- ------ 第4圖是顯示加速度檢測器1 0的垂直座標、及作用 於加速度檢測器]〇的加速度向量a。垂直座標的ζ軸及 加速度向量a之間的角度爲Θ ’，具有z軸及加速度向羹2 的平面的與χ軸所形成的角度爲0。將加速度向量a朝向 下方，是考慮重力的加速度時的便利。往加速度向量a的 + z軸方向的延長是與z軸成爲角度0的話，則成爲θ -10- (8) (8)1225154 =1 8 0。- θ ’。在此將加速度向量a的大小寫成a的話，加 速度向量a的垂直座標的各軸方向成分是成爲如下。 ax = a· sin /9 * * cos 0 =a · sin 0 · cos................... (1) ay = a· sin6>，e sin0=a· sin^ · sin0 .................. (2) a z = a · c o s Θ —-a · e o s Θ ....................................(3) —方面，具備加速度檢測器1 0的加速度檢測裝置1 的輸出是可以由次式所顯示。 輸出=作用的加速度x加速度檢測裝置的靈敏度+ 零加速度輸出...............（4) 在此，加速度檢測裝置的靈敏度是單位大小的加速度 作用時的輸出的大小。零加速度輸出是加速度不作用於加 速度檢測器1 0的狀態下的加速度檢測裝置1的輸出。 將加速度向量a是作用於加速度檢測器1 0時的加速 度檢測裝置1的輸出電壓V由垂直座標的各軸方向成分 (Vx，Vy，Vz)表示的話，從式（4)可將那些成分別顯示如 下表。
Vx=Vxs · ax+VxO=Vxs · a · sin 0 · cos 0+VxO..................(5)
Vy=Vys · ay+VyO=Vy$ · a · sin0 · sin 0+Vy〇..................(6)
Vz=Vzs · az+VzO^-Vzs · a · cos^+VzO...........................(7) -11 - 1225154 Ο) 然而在此，Vxs、Vys及Vzs是靈敏度的各軸方向成 分，VxO ' VyO及VzO是零點加速度輸出電壓。
本發明的加速度檢測裝置1是具有將加速度檢測器 1 〇對於重力加速度方向保持於2個不同的位置的手段。 該2個不同的位置在此實施例中是如第5圖A及第5圖B 所示的位置。如第5圖 A所示的位置中，重力加速度的 方向是垂直座標的-z軸方向，即式（5)〜（7)的0=0°的 話，各式是成爲如下。然而加速度檢測裝置1的輸出電壓 (Vx、Vy、Vz)位在第一位置時，即位於第5圖A的位置 時是表示爲（Vxl、Vyl、Vzl)。
Vx 1 = VxO.......................................... V y 1 = V y 0..........................................
Vzl =-Vzs · . . ................................ 〇)
重力的加速度的大小a爲1 G的話’式（]0 )成爲下 式。 (]0，）
Vzl=-Vzs + VzO 如第5圖B所示 0 =30。 、 0 =45。， 而，加速度檢測裝置 的位置中’重力加速度的方向因爲是 戶斤以式（5)〜（7)是分別成爲如下。然 .的輸出電壓（V X、V y、V z)位於第 -12- (10) (10)1225154 二位置時，即位於第5圖B的位置時可表示爲（Vx2、 Vy2、Vz2)。
Vx2 = Vxs/2/' 2 + VxO...........................(11) V y2 = Vys/2/~ 2 + Vy〇...........................(12)
Vz2 = -/· 3 · Vzs/2 + VzO.....................(13) 測量如第5圖A所示的位置的加速度檢測裝置i的 輸出電壓（Vxl、Vyl、Vzl)的話，分別爲12311^、- 1 0 1 m V、- 1 5 1 m V。且測量如第5圖B所示的位置的加速 度檢測裝置1的輸出電壓（Vx2、Vy2、Vz2)的話，分別爲 2 4 7 mV、26mV、-97mV。從這些的測量値作爲校正參數求 得靈敏度（Vxs、Vys、Vzs)及零點輸出（Vx〇、VyO、VzO) 的話，可獲得顯示於表2的値。 表2 X軸檢測器 y軸檢測器 z軸檢測器 靈敏度(mV/G) 351 359 403 零點輸出(mV) 123 -101 252 先將顯不於表2的校正參數容納於記憶體5 a。測量 作用的加速度時，使用加速度檢測裝置1依據其輸出電 壓，將容納於記憶體5 a的校正參數代入由式（4 )變形的次 式（]4 )，由微處理器5進行校正計算，就可以求得作用的 -13- (11) (11)1225154 加速度。 加速度（校正輸出）=(檢測得的輸出·零點輸出） /靈敏度..................（14) 獲得的校正輸出，是在理論上的輸出：在加速度0G 時爲0，1 G作用時爲1，2 G外加時爲2。實際上作用已知 的加速度並加以確認的結果，檢測誤差是在1 %以內。 實施例2 對於實施例1說明的加速度檢測裝置1的加速度檢測 器10的垂直座標，使重力加速度方向是成爲θ=]0° 、0 = 2 0°的位置的話，使用保持手段保持加速度檢測器1 〇在 成爲Θ =20° 、0 =45°位置的2個不同的位置，而且，在 各位置測量加速度檢測裝置1的輸出電壓（Vx I、Vy 1、 Vzl)及（Vx2、Vy2、Vz2)° 對於實施例1說明的加速度檢測裝置1的加速度檢測 器10的垂直座標，使重力加速度方向是成爲、0 =2 0°的位置的話，使用保持手段保持加速度檢測器1 〇在 成爲0=20° 、0=45°位置的2個不同的位置，而且，在 各位置測量加速度檢測裝置]的輸出電壓（Vx 1 ' Vy I、 Vzl)及（Vx2、Vy2、Vz2) 〇 將 0 =10。 ' 0 =2 0° 時的測量値（Vxl、Vyl、Vzl)、 及（9 = 2 (Γ 、0 = 4 5 °時的測量値（V x 2、V y 2、V z 2 )代入式 -14 - (12)1225154
(5)〜（7)，並算出校正參數即靈敏度（Vxs、Vys、Vzs)及零 點輸出（VxO、VyO、VzO)。先將算出的校正參數的靈敏 度、零點輸出容納於記憶體5 a，依據使用加速度檢測裝 置1藉由獲得的作用加速度所產生的輸出電壓的測量値並 藉由式（1 4)，使用容納於記憶體5a的校正參數並由微處 理器5進行校正計算，就可以求得作用加速度。將已知的 加速度作用於加速度檢測器1 〇時在加速度檢測裝置測量 各加速度成分的輸出電壓，其從測量値使用式（14)求得作 用的加速度的大小。求得的加速度的大小與是已知的加速 度的誤差是在1 %以內。 實施例3 / 加速度檢測器1 〇的靈敏度及零點輸出的環境溫度所 產生的變化分別顯示於第6圖A及第6圖B。加速度檢測 _ ®爲了測量環境溫度而具有溫度檢測器6。
環境溫度-2 〇。C、2 5。C、5 0。C的加速度檢測裝置的 靈敏度及零點輸出是顯示於表3。 表3 靈敏度(mV/G) 零點輸出(mV) 溫度Τ° Γ Vxs(T) Vys(T) Vzs(T) VxO(丁） VyO(T) Vz0(T) 20°C 367 378 404 122 -96 204 25°C 350 360 400 120 »100 250 50°C 344 354 403 ]]9 -102 266 -15- (13) (13)1225154 爲了求得靈敏度的溫度係數及零點輸出的溫度係數， 使用顯示於表3的靈敏度及零點輸出，作成2次係數近似 後’求得靈敏度的溫度係數及零點輸出的溫度係數的結 果，成爲下式。 X軸靈敏度的溫度係數；0.0020Τ2·0.388Τ + 358.5 Υ軸靈敏度的溫度係數；0.0023Τ2-0.411Τ + 368.9 ζ軸靈敏度的溫度係數；0.0030Τ2·0.104Τ + 400.7 X軸零G輸出的溫度係數；〇.〇〇〇〇6Τ2-0.045Τ+Ι21.1 Υ軸零G輸出的溫度係數；〇.〇〇〇ιτ2-0.090Τ-9 7.8 Ζ軸零G輸出的溫度係數；-〇.〇〇55Τ2+].050Τ + 227.2 將這些的溫度係數容納於記憶體5 a並使用由溫度檢 '測器6所測量得的環境溫度，將對應其溫度而求得靈敏度 (T)及零點輸出（τ)，使用測量得的輸出由微處理器5進行 次式的校正計算而求得加速度。 加速度校正輸出=(各檢測得的加速度成分的輸出-零 點輸出（T))/靈敏度（T) -4 0 ° C至8 5 ° C的範圍內，一邊改變環境溫度一邊加 上已知的加速度進行測量的結果，其檢測誤差是在3 %以 內。 如以上說明，本發明的加速度檢測裝置，是藉由在將 對於垂直座標軸的任一軸的重力加速度的角度形成較小的 傾斜角的2個不同的位置，組裝上加速度檢測器，就可進 行靈敏度（I G輸出）及零點輸出的校正，且藉由將輸出由 其校正値修正，即使具有由檢測器及測量電路的製造所起 -16 - (14)1225154 因的特性參差不一是也可以使其輸出與檢測器所受的加速 度成比例。且，藉由獲得溫度依存性高的靈敏度及零點輸 出的校正値，也可以進行檢測器的溫度偏移的修正。 進一步因爲底角度傾斜，是可以由2階段校正，所以 校正用裝置被簡略化，而可以提供便宜且高精度的加速度 檢測裝置。
【圖式簡單說明】 第1圖是由供說明本發明的加速度檢測裝置用的立體 圖。 第2圖是第1圖所示的本發明的加速度檢測裝置的處 理電路的塊體圖。 第3圖是顯示使用本發明的加速度檢測裝置的半導體 壓電電阻型3軸加速度檢測器的一例，第3圖A是顯示 其立體圖，第3圖B是顯示其平面圖。
第4圖是供說明加速度檢測器的垂直座標軸及加速度 向量的位置用的圖。 第5圖A是顯示加速度檢測器及重力加速度的位置 關係爲Θ =0°的說明圖，第5圖B是顯示加速度檢測器及 重力加速度的位置關係爲Θ =30° 、0 =45°的說明圖。 第6圖A，是顯示使用本發明的加速度測量裝置的加 速度檢測器的靈敏度及溫度的關係的圖表，第6圖B是顯 示加速度檢測器的零點輸出的溫度的關係的圖表。 -17- (15)1225154 [主要元件對照表] V輸出電壓 1加速度檢測裝置 3放大器 4 A/D轉換器 5微處理器 5 a記憶體
6溫度檢測器 I 〇加速度檢測器 II 錘 12框 1 6、1 7、1 8、1 9 丰粱 2 0印刷電路基板 3 1壓電電阻元件 3 2 壓電電阻元件
3 3壓電電阻元件 4 1壓電電阻元件 4 3壓電電阻元件 5 1壓電電阻元件 5 3壓電電阻元件 -18-

Claims (1)

1225154 Π) 拾、申請專利範圍 1 · 一種加速度檢測裝置，其特徵爲，具有： 各別檢測相互垂直的至少2軸方向的加速度成分’並 依據各檢測結果進行輸出的加速度檢測器； 及將加速度檢測器保持於對於重力加速度的方向相互 不同的角度的至少2個不同位置的保持手段；
及先依據由在前述各位置保持有加速度檢測器時的重 力加速度所產生的加速度檢測器的前述至少2軸方向成分 的各輸出而求得校正參數後，使用其校正參數校正檢測得 的前述加速度檢測器的輸出，再送出校正輸出之演算處理 電路。 2 ·如申請專利範圍第1項之加速度檢測裝置，其 中，
前述加速度檢測器是各別檢測相互垂直的3軸方向的 加速度的成分，並依據檢測得的成分各別輸出， 前述保持手段，是將前述加速度檢測器保持於對於重 力加速度的方向相互不同角度的2個位置。 3 .如申請專利範圍第2項之加速度檢測裝置，其 中， 前述校正參數，是在前述3軸的各方向的每單位加速 度的加速度檢測器輸出（以下稱「靈敏度」）及零加速度的 加速度檢測器輸出（以下稱「零點輸出」）。 4.如申請專利範圍第3項之加速度檢測裝置，其 中， -19- (2) (2)1225154 前述演算處理電路，是進一步具有容納前述校正參數 的記憶體，先將求得的校正參數容納於其記憶體後，將前 述3軸的各加速度成分所產生的前述加速度檢測器輸出使 用前述容納的校正參數進行校正，再送出校正輸出。 5 ·如申請專利範圍第3項之加速度檢測裝置，其 中， 前述保持手段保持前述加速度檢測器的2個不同的位 置之中的1個位置，是使前述加速度檢測器的前述相互垂 直的3軸之中的1軸與重力加速度的方向一致，同時其他 位置的前述加速度檢測器對於重力加速度的方向具有一定 角度。 6. 如申請專利範圍第3項之加速度檢測裝置，其 中， 前述演算處理電路，是使用前述校正參數的前述3軸 方向的各靈敏度及零點輸出，並藉由以下的計算式求得前 述3軸方向的各檢測加速度成分的前述加速度檢測器輸出 的校正輸出； 校正輸出=(各檢測加速度成分的輸出·零點輸出）/靈敏度。 7. 如申請專利範圍第2項之加速度檢測裝置，其 中， 前述加速度檢測裝置是進一步具有測量環境溫度的手 段， -20- (3)1225154 前述演算處理電路，是先依據由保持前述加速度檢測 器在前述各方位的狀態下的重力加速度所產生的前述加速 度檢測器所測得的前述3軸的各方向的輸出成分而求得校 正參數的溫度係數後，將目U述加速度檢測器的輸出，使用 從前述校正參數的溫度係數所求得的環境溫度的校正參數 進行校正，再送出校正輸出。 8 ·如申請專利範圍第7項之加速度檢測裝置，其
中， 前述校正參數的溫度係數，是在前述3軸的各方向的 每單位加速度的加速度檢測器所輸出的溫度係數（以下稱 「靈敏度的溫度係數」）及零加速度的加速度檢測器所輸 出的溫度係數（以下稱「零點輸出的溫度係數」）。 9 ·如申請專利範圍第8項之加速度檢測裝置，其 中，
前述演算處理電路，是更具有容納前述校正參數的溫 度係數的記憶體，將已求得的校正參數的溫度係數容納於 其記憶體，將前述3軸的所測得的各加速度成分的前述加 速度檢測器的輸出，使用從容納於前述記憶體的前述校正 參數的溫度係數所求得的其環境溫度的校正參數進行校 正’再送出校正輸出。 10·如申請專利範圍第8項之加速度檢測裝置，其 中， 前述保持手段保持前述加速度檢測器的2個不同的位 置之中的]個位置’是使前述加速度檢測器的前述相互垂 -21 - (4) (4)1225154 直的3軸之中的1軸與重力加速度的方向一致，同時其他 位置的前述加速度檢測器對於重力加速度的方向具有一定 角度。 11.如申請專利範圍第8項之加速度檢測裝置，其 中， 前述演算處理電路，是使用前述校正參數的前述3軸 方向的從各靈敏度的溫度係數及零點輸出的溫度係數所求 得的其環境溫度的靈敏度及零點輸出，並藉由以下的計算 式求得前述3軸方向的各檢測加速度成分的前述加速度檢 測器輸出的校正輸出； 校正輸出=(各檢測加速度成分的輸出-零點輸出）/靈敏度。 -22-
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