JPH09251031A - ３軸加速度計校正用治具 - Google Patents
３軸加速度計校正用治具Info
- Publication number
- JPH09251031A JPH09251031A JP8057561A JP5756196A JPH09251031A JP H09251031 A JPH09251031 A JP H09251031A JP 8057561 A JP8057561 A JP 8057561A JP 5756196 A JP5756196 A JP 5756196A JP H09251031 A JPH09251031 A JP H09251031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- accelerometer
- acceleration
- calibration
- sensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各軸の感度調整を行う毎に、３軸加速度計を
校正用治具に固定し直さなければならない。 【解決手段】 重力加速度Ｇを利用して３軸加速度計４
の感度校正を行う場合に３軸加速度計４を固定する校正
用治具であって、重力加速度方向と直交する平面１ａに
対して、角度がｔａｎ-1（２1/2）（約５４．７４°）
となる取付面２ｂを備え、この取付面２ｂに３軸加速度
計４のＸ方向受感軸とＹ方向受感軸に等しい重力加速度
が作用するように３軸加速度計４を取付ける。
校正用治具に固定し直さなければならない。 【解決手段】 重力加速度Ｇを利用して３軸加速度計４
の感度校正を行う場合に３軸加速度計４を固定する校正
用治具であって、重力加速度方向と直交する平面１ａに
対して、角度がｔａｎ-1（２1/2）（約５４．７４°）
となる取付面２ｂを備え、この取付面２ｂに３軸加速度
計４のＸ方向受感軸とＹ方向受感軸に等しい重力加速度
が作用するように３軸加速度計４を取付ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、互いに直交する受
感軸を有する３軸加速度計の感度校正に際して用いる３
軸加速度計校正用治具に関する。
感軸を有する３軸加速度計の感度校正に際して用いる３
軸加速度計校正用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の３軸加速度計校正用治具として
は、直交３軸（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の加速度計、例えばサーボ
加速度計の感度校正を重力加速度を利用して行う場合
に、受感軸方向を重力加速度方向に一致させるため、各
受感軸毎に加速度計を固定し直す校正用治具が知られて
いる。また、圧電形加速度計の感度校正を加振装置を利
用して行う場合にも、受感軸方向を加速度方向に一致さ
せるため、各受感軸毎に加速度計を固定し直す校正用治
具が知られている。
は、直交３軸（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の加速度計、例えばサーボ
加速度計の感度校正を重力加速度を利用して行う場合
に、受感軸方向を重力加速度方向に一致させるため、各
受感軸毎に加速度計を固定し直す校正用治具が知られて
いる。また、圧電形加速度計の感度校正を加振装置を利
用して行う場合にも、受感軸方向を加速度方向に一致さ
せるため、各受感軸毎に加速度計を固定し直す校正用治
具が知られている。
【０００３】即ち、３軸の感度校正を行うのに、先ずＺ
軸加速度センサの受感軸に加速度方向が一致するように
加速度計を校正用治具に固定させて所定の感度になるよ
うに感度調整を行い、次いでＸ軸加速度センサの受感軸
に加速度方向が一致するように加速度計を校正用治具に
固定させて所定の感度になるように感度調整を行い、更
にＺ軸加速度センサの受感軸に加速度方向が一致するよ
うに加速度計を校正用治具に固定させて所定の感度にな
るように感度調整を行う。
軸加速度センサの受感軸に加速度方向が一致するように
加速度計を校正用治具に固定させて所定の感度になるよ
うに感度調整を行い、次いでＸ軸加速度センサの受感軸
に加速度方向が一致するように加速度計を校正用治具に
固定させて所定の感度になるように感度調整を行い、更
にＺ軸加速度センサの受感軸に加速度方向が一致するよ
うに加速度計を校正用治具に固定させて所定の感度にな
るように感度調整を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の３軸加速度計校
正用治具においては、各軸の感度調整を行う毎に、加速
度計を固定し直さなければならず、校正用治具への加速
度の取付作業が煩雑であり、感度校正を迅速に行うのが
困難であった。
正用治具においては、各軸の感度調整を行う毎に、加速
度計を固定し直さなければならず、校正用治具への加速
度の取付作業が煩雑であり、感度校正を迅速に行うのが
困難であった。
【０００５】本発明は、従来の技術が有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、１回の校正用治具への取付作業で３軸加速度計
の感度校正が行える３軸加速度計校正用治具を提供しよ
うとするものである。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、１回の校正用治具への取付作業で３軸加速度計
の感度校正が行える３軸加速度計校正用治具を提供しよ
うとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく請
求項１の発明は、重力加速度を利用して３軸加速度計の
感度校正を行う場合に前記３軸加速度計を固定する校正
用治具であって、重力加速度方向と直交する平面に対し
て、角度がｔａｎ-1（２1/2）となる取付面を備え、こ
の取付面に前記３軸加速度計のＸ方向受感軸とＹ方向受
感軸に等しい重力加速度が作用するように前記３軸加速
度計を取付けるものである。
求項１の発明は、重力加速度を利用して３軸加速度計の
感度校正を行う場合に前記３軸加速度計を固定する校正
用治具であって、重力加速度方向と直交する平面に対し
て、角度がｔａｎ-1（２1/2）となる取付面を備え、こ
の取付面に前記３軸加速度計のＸ方向受感軸とＹ方向受
感軸に等しい重力加速度が作用するように前記３軸加速
度計を取付けるものである。
【０００７】請求項２の発明は、加振装置を利用して３
軸加速度計の感度校正を行う場合に前記３軸加速度計を
固定する校正用治具であって、加速度方向と直交する平
面に対して、角度がｔａｎ-1（２1/2）となる取付面を
備え、この取付面に前記３軸加速度計のＸ方向受感軸と
Ｙ方向受感軸に等しい加速度が作用するように前記３軸
加速度計を取付けるものである。
軸加速度計の感度校正を行う場合に前記３軸加速度計を
固定する校正用治具であって、加速度方向と直交する平
面に対して、角度がｔａｎ-1（２1/2）となる取付面を
備え、この取付面に前記３軸加速度計のＸ方向受感軸と
Ｙ方向受感軸に等しい加速度が作用するように前記３軸
加速度計を取付けるものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は請求項１の発
明に係る３軸加速度計校正用治具の斜視図、図２は３軸
加速度計の構成説明図、図３は請求項１の発明に係る３
軸加速度計校正用治具の作用説明図、図４は３軸加速度
計の校正装置の概要ブロック図、図５は請求項２の発明
に係る３軸加速度計校正用治具の斜視図、図６は請求項
２の発明に係る３軸加速度計校正用治具の作用説明図で
ある。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は請求項１の発
明に係る３軸加速度計校正用治具の斜視図、図２は３軸
加速度計の構成説明図、図３は請求項１の発明に係る３
軸加速度計校正用治具の作用説明図、図４は３軸加速度
計の校正装置の概要ブロック図、図５は請求項２の発明
に係る３軸加速度計校正用治具の斜視図、図６は請求項
２の発明に係る３軸加速度計校正用治具の作用説明図で
ある。
【０００９】請求項１の発明に係る３軸加速度計校正用
治具は、図１に示すように、金属製の基台１と、基台１
の上面１ａに載置するブロック２からなり、基台１には
上面１ａに重力加速度方向と直交する水平面を形成させ
るための調整ねじ１ｂが設けられている。なお、３は基
台１の上面１ａが水平面になるのを確認する水準器であ
る。
治具は、図１に示すように、金属製の基台１と、基台１
の上面１ａに載置するブロック２からなり、基台１には
上面１ａに重力加速度方向と直交する水平面を形成させ
るための調整ねじ１ｂが設けられている。なお、３は基
台１の上面１ａが水平面になるのを確認する水準器であ
る。
【００１０】ブロック２は、金属材料（例えば、アルミ
ニウム）で直角三角柱に形成され、直角三角柱の上面２
ａ及び底面である直角三角形の各頂角の角度は、夫々９
０°、ｔａｎ-1（２-1/2）で約３５．２６°、ｔａｎ-1
（２1/2）で約５４．７４°となっている。なお、各頂
角の角度を上述のように設定した理由については後述す
る。
ニウム）で直角三角柱に形成され、直角三角柱の上面２
ａ及び底面である直角三角形の各頂角の角度は、夫々９
０°、ｔａｎ-1（２-1/2）で約３５．２６°、ｔａｎ-1
（２1/2）で約５４．７４°となっている。なお、各頂
角の角度を上述のように設定した理由については後述す
る。
【００１１】そして、３５．２６°の頂角が対向する直
角三角柱の側面を基台１の上面１ａに接して、ブロック
２は基台１の上面１ａに載置されている。また、９０°
の頂角が対向する直角三角柱の側面である取付面２ｂに
は、３軸加速度計４を位置決め固定する３本のピン２ｃ
が垂直に突設されている。従って、取付面２ｂは、重力
加速度方向に対して約３５．２６°、基台１の上面１ａ
に対して約５４．７４°の平面を形成することになる。
角三角柱の側面を基台１の上面１ａに接して、ブロック
２は基台１の上面１ａに載置されている。また、９０°
の頂角が対向する直角三角柱の側面である取付面２ｂに
は、３軸加速度計４を位置決め固定する３本のピン２ｃ
が垂直に突設されている。従って、取付面２ｂは、重力
加速度方向に対して約３５．２６°、基台１の上面１ａ
に対して約５４．７４°の平面を形成することになる。
【００１２】３軸加速度計４は、図２に示すように、受
感軸を互いに直交させてＸ軸加速度センサ５、Ｙ軸加速
度センサ６、Ｚ軸加速度センサ７を円盤状のベース８の
上面８ａに配設し、ベース８の上面８ａに円柱状のケー
ス９を被せて構成され、重力加速度（ＤＣ領域）におい
ても感度を有するサーボ加速度計である。なお、３軸加
速度計４としては、ＤＣ領域の感度を有する、例えばス
トレインゲージ式加速度計でもよい。
感軸を互いに直交させてＸ軸加速度センサ５、Ｙ軸加速
度センサ６、Ｚ軸加速度センサ７を円盤状のベース８の
上面８ａに配設し、ベース８の上面８ａに円柱状のケー
ス９を被せて構成され、重力加速度（ＤＣ領域）におい
ても感度を有するサーボ加速度計である。なお、３軸加
速度計４としては、ＤＣ領域の感度を有する、例えばス
トレインゲージ式加速度計でもよい。
【００１３】Ｘ軸加速度センサ５及びＹ軸加速度センサ
６は、それらの受感軸がベース８の上面８ａと平行に配
設され、Ｚ軸加速度センサ７は、その受感軸がベース８
の上面８ａと垂直に配設されている。また、ベース８の
フランジ部８ｂには、ピン２ｃを嵌合してベース８の底
面８ｃをブロック２の取付面２ｂに密着させてブロック
２に固定する取付孔８ｄが形成されている。
６は、それらの受感軸がベース８の上面８ａと平行に配
設され、Ｚ軸加速度センサ７は、その受感軸がベース８
の上面８ａと垂直に配設されている。また、ベース８の
フランジ部８ｂには、ピン２ｃを嵌合してベース８の底
面８ｃをブロック２の取付面２ｂに密着させてブロック
２に固定する取付孔８ｄが形成されている。
【００１４】３軸加速度計４をブロック２の取付面２ｂ
に固定すると、Ｘ軸加速度センサ５及びＹ軸加速度セン
サ６は、それらの受感軸が取付面２ｂに対して平行にな
り、Ｚ軸加速度センサ７は、その受感軸が取付面２ｂに
対して垂直になる。
に固定すると、Ｘ軸加速度センサ５及びＹ軸加速度セン
サ６は、それらの受感軸が取付面２ｂに対して平行にな
り、Ｚ軸加速度センサ７は、その受感軸が取付面２ｂに
対して垂直になる。
【００１５】以上のように構成した請求項１の発明に係
る３軸加速度計校正用治具の作用について説明する。図
１に示すように、ピン２ｃを取付孔８ｄに嵌合して３軸
加速度計４をブロック２に固定する。この時、図３
（ａ）に示すように、重力加速度Ｇとブロック２の取付
面２ｂとなす角度をθとする。すると、重力加速度Ｇの
ブロック２の取付面２ｂに平行な成分はＧ・ｃｏｓθ、
垂直な成分はＧ・ｓｉｎθとなる。
る３軸加速度計校正用治具の作用について説明する。図
１に示すように、ピン２ｃを取付孔８ｄに嵌合して３軸
加速度計４をブロック２に固定する。この時、図３
（ａ）に示すように、重力加速度Ｇとブロック２の取付
面２ｂとなす角度をθとする。すると、重力加速度Ｇの
ブロック２の取付面２ｂに平行な成分はＧ・ｃｏｓθ、
垂直な成分はＧ・ｓｉｎθとなる。
【００１６】そして、図３（ｂ）に示すように、重力加
速度Ｇの成分であるＧ・ｃｏｓθの方向が、３軸加速度
計４のＸ方向受感軸５ａとＹ方向受感軸６ａのなす角
（９０°）を２等分する軸Ｈに一致するように、３軸加
速度計４がブロック２の取付面２ｂに固定される。
速度Ｇの成分であるＧ・ｃｏｓθの方向が、３軸加速度
計４のＸ方向受感軸５ａとＹ方向受感軸６ａのなす角
（９０°）を２等分する軸Ｈに一致するように、３軸加
速度計４がブロック２の取付面２ｂに固定される。
【００１７】従って、Ｚ方向受感軸７ａには、取付面２
ｂに垂直な成分であるＧ・ｓｉｎθが作用し、Ｘ方向受
感軸５ａ及びＹ方向受感軸６ａには、Ｇ・ｃｏｓθ・ｃ
ｏｓ４５°が作用する。ここで、Ｘ・Ｙ・Ｚの各受感軸
５ａ，６ａ，７ａに同等な加速度を与えるための角度θ
を求める。
ｂに垂直な成分であるＧ・ｓｉｎθが作用し、Ｘ方向受
感軸５ａ及びＹ方向受感軸６ａには、Ｇ・ｃｏｓθ・ｃ
ｏｓ４５°が作用する。ここで、Ｘ・Ｙ・Ｚの各受感軸
５ａ，６ａ，７ａに同等な加速度を与えるための角度θ
を求める。
【００１８】即ち、図３に示すように、Ｘ方向受感軸５
ａ及びＹ方向受感軸６ａに作用する重力加速度Ｇの成分
であるＧ・ｃｏｓθ・ｃｏｓ４５°と、Ｚ方向受感軸７
ａに作用する重力加速度Ｇの成分であるＧ・ｓｉｎθが
等しくなる角度θを求めればよい。従って、Ｇ・ｃｏｓ
θ・ｃｏｓ４５°＝Ｇ・ｓｉｎθより、
ａ及びＹ方向受感軸６ａに作用する重力加速度Ｇの成分
であるＧ・ｃｏｓθ・ｃｏｓ４５°と、Ｚ方向受感軸７
ａに作用する重力加速度Ｇの成分であるＧ・ｓｉｎθが
等しくなる角度θを求めればよい。従って、Ｇ・ｃｏｓ
θ・ｃｏｓ４５°＝Ｇ・ｓｉｎθより、
【００１９】θ＝ｔａｎ-1（２-1/2）、となり、約３
５．２６°となる。
５．２６°となる。
【００２０】また、基台１の上面１ａとブロック２の取
付面２ｂとなす角度をα（９０°−θ）とすると、
付面２ｂとなす角度をα（９０°−θ）とすると、
【００２１】α＝ｔａｎ-1（２1/2）、となり、約５
４．７４°となる。
４．７４°となる。
【００２２】以上のような角度θ（約３５．２６°），
α（約５４．７４°）を有するブロック２を備えた３軸
加速度計校正用治具を用いて重力加速度Ｇを利用するこ
とにより、３軸加速度計４の感度校正を行う。すると、
Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７には、夫々重
力加速度Ｇによる同一の加速度成分（重力加速度Ｇの約
５７．７％）が作用する。
α（約５４．７４°）を有するブロック２を備えた３軸
加速度計校正用治具を用いて重力加速度Ｇを利用するこ
とにより、３軸加速度計４の感度校正を行う。すると、
Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７には、夫々重
力加速度Ｇによる同一の加速度成分（重力加速度Ｇの約
５７．７％）が作用する。
【００２３】従って、図４に示すような３軸加速度計校
正装置で、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７の
出力電圧が同一の値（約５６５Ｇａｌ）を表示するよう
に増幅器８や表示器９などのゲイン等を調整すれば、各
軸加速度センサ５，６，７の感度校正が、３軸加速度計
４を校正用治具に１回だけ取付けることにより実施でき
る。
正装置で、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７の
出力電圧が同一の値（約５６５Ｇａｌ）を表示するよう
に増幅器８や表示器９などのゲイン等を調整すれば、各
軸加速度センサ５，６，７の感度校正が、３軸加速度計
４を校正用治具に１回だけ取付けることにより実施でき
る。
【００２４】請求項２の発明に係る３軸加速度計校正用
治具は、図５に示すように、金属製の基台１１と、基台
１１の上面１１ａに載置するブロック１２からなり、基
台１１には加振装置の加振台１３に固定する固定用ねじ
１４が設けられている。なお、Ａは加振装置による加振
方向を示すと共に、加速度の大きさを表す。
治具は、図５に示すように、金属製の基台１１と、基台
１１の上面１１ａに載置するブロック１２からなり、基
台１１には加振装置の加振台１３に固定する固定用ねじ
１４が設けられている。なお、Ａは加振装置による加振
方向を示すと共に、加速度の大きさを表す。
【００２５】ブロック１２は、金属材料（例えば、アル
ミニウム）で直角三角柱に形成され、直角三角柱の上面
１２ａ及び底面である直角三角形の各頂角の角度は、夫
々９０°、ｔａｎ-1（２1/2）で約５４．７４°、ｔａ
ｎ-1（２-1/2）で約３５．２６°となっている。なお、
各頂角の角度を上述のように設定した理由については後
述する。
ミニウム）で直角三角柱に形成され、直角三角柱の上面
１２ａ及び底面である直角三角形の各頂角の角度は、夫
々９０°、ｔａｎ-1（２1/2）で約５４．７４°、ｔａ
ｎ-1（２-1/2）で約３５．２６°となっている。なお、
各頂角の角度を上述のように設定した理由については後
述する。
【００２６】そして、５４．７４°の頂角が対向する直
角三角柱の側面を基台１１の上面１１ａに接して、ブロ
ック１２は基台１１の上面１１ａに載置されている。ま
た、９０°の頂角が対向する直角三角柱の側面である取
付面１２ｂには、３軸加速度計１４を位置決め固定する
３本のピン１２ｃが垂直に突設されている。従って、取
付面１２ｂは、基台１１の上面１１ａ、即ち加振方向に
対して約３５．２６°の平面を形成することになる。
角三角柱の側面を基台１１の上面１１ａに接して、ブロ
ック１２は基台１１の上面１１ａに載置されている。ま
た、９０°の頂角が対向する直角三角柱の側面である取
付面１２ｂには、３軸加速度計１４を位置決め固定する
３本のピン１２ｃが垂直に突設されている。従って、取
付面１２ｂは、基台１１の上面１１ａ、即ち加振方向に
対して約３５．２６°の平面を形成することになる。
【００２７】感度校正の対象となる３軸加速度計１４
は、図２に示す重力加速度（ＤＣ領域）においても感度
を有するサーボ加速度計や、重力加速度（ＤＣ領域）に
おける感度を有さない圧電式加速度計などである。
は、図２に示す重力加速度（ＤＣ領域）においても感度
を有するサーボ加速度計や、重力加速度（ＤＣ領域）に
おける感度を有さない圧電式加速度計などである。
【００２８】以上のように構成した請求項２の発明に係
る３軸加速度計校正用治具の作用について説明する。図
５に示すように、ピン１２ｃを取付孔１８ｄに嵌合して
３軸加速度計１４をブロック１２に固定する。この時、
図６（ａ）に示すように、加速度Ａとブロック１２の取
付面１２ｂとなす角度をβとする。すると、加速度Ａの
ブロック１２の取付面１２ｂに平行な成分はＡ・ｃｏｓ
β、垂直な成分はＡ・ｓｉｎβとなる。
る３軸加速度計校正用治具の作用について説明する。図
５に示すように、ピン１２ｃを取付孔１８ｄに嵌合して
３軸加速度計１４をブロック１２に固定する。この時、
図６（ａ）に示すように、加速度Ａとブロック１２の取
付面１２ｂとなす角度をβとする。すると、加速度Ａの
ブロック１２の取付面１２ｂに平行な成分はＡ・ｃｏｓ
β、垂直な成分はＡ・ｓｉｎβとなる。
【００２９】そして、図６（ｂ）に示すように、加速度
Ａの成分であるＡ・ｃｏｓβの方向が、３軸加速度計１
４のＸ方向受感軸５ａとＹ方向受感軸６ａのなす角（９
０°）を２等分する軸Ｈに一致するように、３軸加速度
計１４がブロック１２の取付面１２ｂに固定される。
Ａの成分であるＡ・ｃｏｓβの方向が、３軸加速度計１
４のＸ方向受感軸５ａとＹ方向受感軸６ａのなす角（９
０°）を２等分する軸Ｈに一致するように、３軸加速度
計１４がブロック１２の取付面１２ｂに固定される。
【００３０】従って、Ｚ方向受感軸７ａには、取付面１
２ｂに垂直な成分であるＡ・ｓｉｎβが作用し、Ｘ方向
受感軸５ａ及びＹ方向受感軸６ａには、Ａ・ｃｏｓβ・
ｃｏｓ４５°が作用する。ここで、Ｘ・Ｙ・Ｚの各受感
軸５ａ，６ａ，７ａに同等な加速度を与えるための角度
βを求める。
２ｂに垂直な成分であるＡ・ｓｉｎβが作用し、Ｘ方向
受感軸５ａ及びＹ方向受感軸６ａには、Ａ・ｃｏｓβ・
ｃｏｓ４５°が作用する。ここで、Ｘ・Ｙ・Ｚの各受感
軸５ａ，６ａ，７ａに同等な加速度を与えるための角度
βを求める。
【００３１】即ち、図６に示すように、Ｘ方向受感軸５
ａ及びＹ方向受感軸６ａに作用する加速度Ａの成分であ
るＡ・ｃｏｓβ・ｃｏｓ４５°と、Ｚ方向受感軸７ａに
作用する加速度Ａの成分であるＡ・ｓｉｎβが等しくな
る角度βを求めればよい。従って、Ａ・ｃｏｓβ・ｃｏ
ｓ４５°＝Ａ・ｓｉｎβより、
ａ及びＹ方向受感軸６ａに作用する加速度Ａの成分であ
るＡ・ｃｏｓβ・ｃｏｓ４５°と、Ｚ方向受感軸７ａに
作用する加速度Ａの成分であるＡ・ｓｉｎβが等しくな
る角度βを求めればよい。従って、Ａ・ｃｏｓβ・ｃｏ
ｓ４５°＝Ａ・ｓｉｎβより、
【００３２】β＝ｔａｎ-1（２-1/2）、となり、約３
５．２６°となる。
５．２６°となる。
【００３３】以上のような角度β（約３５．２６°）を
有するブロック１２を備えた３軸加速度計校正用治具を
用いて加振装置を利用することにより３軸加速度計１４
の感度校正を行う。すると、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度セ
ンサ５，６，７には、夫々加速度Ａによる同一の加速度
成分（加速度Ａの約５７．７％）が作用する。
有するブロック１２を備えた３軸加速度計校正用治具を
用いて加振装置を利用することにより３軸加速度計１４
の感度校正を行う。すると、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度セ
ンサ５，６，７には、夫々加速度Ａによる同一の加速度
成分（加速度Ａの約５７．７％）が作用する。
【００３４】従って、図４に示すような校正装置で、Ｘ
・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７の出力電圧が同
一の値を表示するように増幅器８や表示器９などのゲイ
ン等を調整すれば、各軸加速度センサ５，６，７の感度
校正が、３軸加速度計１４を校正用治具に１回だけ取付
けることにより実施できる。
・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７の出力電圧が同
一の値を表示するように増幅器８や表示器９などのゲイ
ン等を調整すれば、各軸加速度センサ５，６，７の感度
校正が、３軸加速度計１４を校正用治具に１回だけ取付
けることにより実施できる。
【００３５】なお、図５には水平方向の加振装置を示し
たが、加速度方向に対して角度が、約３５．２６°とな
る取付面を有する校正用治具を用いれば、垂直方向の加
振装置であってもよい。
たが、加速度方向に対して角度が、約３５．２６°とな
る取付面を有する校正用治具を用いれば、垂直方向の加
振装置であってもよい。
【００３６】また、図５に示す加振装置の加振方向Ａが
重力加速度方向と直交するように設定されていれば、即
ち取付面１２ｂが加振加速度方向と直交する平面に対し
て、ｔａｎ-1（２1/2）（約５４．７４°）の角度を形
成していれば、ＤＣ領域においても感度を有するサーボ
加速度計の重力加速度Ｇを利用した感度校正を行うと、
次のような重力加速度Ｇの成分が各軸加速度センサ５，
６，７に作用する。
重力加速度方向と直交するように設定されていれば、即
ち取付面１２ｂが加振加速度方向と直交する平面に対し
て、ｔａｎ-1（２1/2）（約５４．７４°）の角度を形
成していれば、ＤＣ領域においても感度を有するサーボ
加速度計の重力加速度Ｇを利用した感度校正を行うと、
次のような重力加速度Ｇの成分が各軸加速度センサ５，
６，７に作用する。
【００３７】重力加速度Ｇを９８０Ｇａｌとすると、Ｚ
軸加速度センサ７に作用する重力加速度Ｇの成分は、９
８０×ｓｉｎ（５４．７４°）＝８００となり、Ｘ軸加
速度センサ５とＹ軸加速度センサ６に作用する重力加速
度Ｇの成分は、９８０×ｃｏｓ（５４．７４°）×ｃｏ
ｓ（４５°）＝４００となる。即ち、Ｘ軸加速度センサ
５とＹ軸加速度センサ６には、４００Ｇａｌ、Ｚ軸加速
度センサ７には、８００Ｇａｌという切りのよい重力加
速度Ｇの成分が作用することになる。
軸加速度センサ７に作用する重力加速度Ｇの成分は、９
８０×ｓｉｎ（５４．７４°）＝８００となり、Ｘ軸加
速度センサ５とＹ軸加速度センサ６に作用する重力加速
度Ｇの成分は、９８０×ｃｏｓ（５４．７４°）×ｃｏ
ｓ（４５°）＝４００となる。即ち、Ｘ軸加速度センサ
５とＹ軸加速度センサ６には、４００Ｇａｌ、Ｚ軸加速
度センサ７には、８００Ｇａｌという切りのよい重力加
速度Ｇの成分が作用することになる。
【００３８】従って、重力加速度Ｇ及び加振装置の加速
度Ａを利用した感度校正が、３軸加速度計１４の校正用
治具への取付作業を１回だけ行うことにより実施するこ
とができる。
度Ａを利用した感度校正が、３軸加速度計１４の校正用
治具への取付作業を１回だけ行うことにより実施するこ
とができる。
【００３９】重力加速度Ｇを利用して３軸加速度計４の
感度校正を行う場合でも、加振装置を利用して３軸加速
度計１４の感度校正を行う場合でも、加速度方向に対し
て角度が、ｔａｎ-1（２-1/2）（約３５．２６°）とな
る取付面に、前記の如く３軸加速度計４，１４を固定す
れば、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７に同一
の加速度成分（重力加速度Ｇ又は加速度Ａの約５７．７
％）が作用する。
感度校正を行う場合でも、加振装置を利用して３軸加速
度計１４の感度校正を行う場合でも、加速度方向に対し
て角度が、ｔａｎ-1（２-1/2）（約３５．２６°）とな
る取付面に、前記の如く３軸加速度計４，１４を固定す
れば、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，６，７に同一
の加速度成分（重力加速度Ｇ又は加速度Ａの約５７．７
％）が作用する。
【００４０】また、重力加速度Ｇを利用して３軸加速度
計４の感度校正を行う場合でも、加振装置を利用して３
軸加速度計１４の感度校正を行う場合でも、ブロック
２，１２は、同一の形状に形成することができるので、
基台１の上面１ａ又は加振台１３への載置又は固定の仕
方により共用化することができる。
計４の感度校正を行う場合でも、加振装置を利用して３
軸加速度計１４の感度校正を行う場合でも、ブロック
２，１２は、同一の形状に形成することができるので、
基台１の上面１ａ又は加振台１３への載置又は固定の仕
方により共用化することができる。
【００４１】即ち、直角三角形であるブロック２，１２
の上面２ａ，１２ａの３５．２６°の頂角が対向する側
面を基台１の上面１ａに接して、ブロック２を基台１の
上面１ａに載置すれば、重力加速度Ｇを利用した３軸加
速度計４の感度校正が行える。一方、５４．７４°の頂
角が対向する側面を加振台１３に接して、ブロック２を
加振台１３に固定すれば、加振装置を利用した３軸加速
度計１４の感度校正が行える。
の上面２ａ，１２ａの３５．２６°の頂角が対向する側
面を基台１の上面１ａに接して、ブロック２を基台１の
上面１ａに載置すれば、重力加速度Ｇを利用した３軸加
速度計４の感度校正が行える。一方、５４．７４°の頂
角が対向する側面を加振台１３に接して、ブロック２を
加振台１３に固定すれば、加振装置を利用した３軸加速
度計１４の感度校正が行える。
【００４２】また、図１に示す３軸加速度計校正用治具
を用いて３軸加速度計４の感度校正を行う場合に、垂直
方向の加振装置に校正用治具を固定して重力加速度方向
に加振すれば、３軸加速度計４の校正用治具への取付作
業を１回だけ行うことにより、重力加速度Ｇ及び加振装
置の加速度を利用した感度校正を行うことができる。
を用いて３軸加速度計４の感度校正を行う場合に、垂直
方向の加振装置に校正用治具を固定して重力加速度方向
に加振すれば、３軸加速度計４の校正用治具への取付作
業を１回だけ行うことにより、重力加速度Ｇ及び加振装
置の加速度を利用した感度校正を行うことができる。
【００４３】また、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸加速度センサ５，
６，７の感度校正が、既に各軸単独で行われている３軸
加速度計４，１４の場合には、本発明に係る３軸加速度
計校正用治具を用いて感度校正を行うことにより、各軸
加速度センサ５，６，７の組付精度を知ることが可能に
なる。
６，７の感度校正が、既に各軸単独で行われている３軸
加速度計４，１４の場合には、本発明に係る３軸加速度
計校正用治具を用いて感度校正を行うことにより、各軸
加速度センサ５，６，７の組付精度を知ることが可能に
なる。
【００４４】また、Ｘ・Ｙ・Ｚの各軸に極性のある加速
度センサを使用すれば、各加速度センサの出力信号の位
相関係から加速度センサの取付状態のチェックを行え
る。
度センサを使用すれば、各加速度センサの出力信号の位
相関係から加速度センサの取付状態のチェックを行え
る。
【００４５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、３
軸加速度計を校正用治具の取付面に固定すれば、３軸加
速度計の感度校正を３軸同時に行うことができるので、
３軸加速度計の校正用治具への取付作業が１回で済み、
３軸加速度計の感度校正の迅速化が図れる。
軸加速度計を校正用治具の取付面に固定すれば、３軸加
速度計の感度校正を３軸同時に行うことができるので、
３軸加速度計の校正用治具への取付作業が１回で済み、
３軸加速度計の感度校正の迅速化が図れる。
【図１】請求項１の発明に係る３軸加速度計校正用治具
の斜視図
の斜視図
【図２】３軸加速度計の構成説明図、（ａ）は加速度セ
ンサの配置図、（ｂ）は３軸加速度計の側面図
ンサの配置図、（ｂ）は３軸加速度計の側面図
【図３】請求項１の発明に係る３軸加速度計校正用治具
の作用説明図、（ａ）は３軸加速度計の取付面に垂直及
び平行な重力加速度成分を示す図、（ｂ）は３軸加速度
計の取付面に平行な重力加速度成分のＸ・Ｙ軸への分解
状態を示す図
の作用説明図、（ａ）は３軸加速度計の取付面に垂直及
び平行な重力加速度成分を示す図、（ｂ）は３軸加速度
計の取付面に平行な重力加速度成分のＸ・Ｙ軸への分解
状態を示す図
【図４】３軸加速度計の校正装置の概要ブロック図
【図５】請求項２の発明に係る３軸加速度計校正用治具
の斜視図
の斜視図
【図６】請求項２の発明に係る３軸加速度計校正用治具
の作用説明図、（ａ）は３軸加速度計の取付面に垂直及
び平行な加速度成分を示す図、（ｂ）は３軸加速度計の
取付面に平行な加速度成分のＸ・Ｙ軸への分解状態を示
す図
の作用説明図、（ａ）は３軸加速度計の取付面に垂直及
び平行な加速度成分を示す図、（ｂ）は３軸加速度計の
取付面に平行な加速度成分のＸ・Ｙ軸への分解状態を示
す図
１，１１…基台、１ａ，１１ａ…基台の上面、２，１２
…ブロック、２ａ，１２ａ…ブロックの上面、２ｂ，１
２ｂ…取付面、３…水準器、４，１４…３軸加速度計、
５…Ｘ軸加速度センサ、５ａ…Ｘ方向受感軸、６…Ｙ軸
加速度センサ、６ａ…Ｙ方向受感軸、７…Ｚ軸加速度セ
ンサ、７ａ…Ｚ方向受感軸、１３…加振台、１４…固定
用ねじ。
…ブロック、２ａ，１２ａ…ブロックの上面、２ｂ，１
２ｂ…取付面、３…水準器、４，１４…３軸加速度計、
５…Ｘ軸加速度センサ、５ａ…Ｘ方向受感軸、６…Ｙ軸
加速度センサ、６ａ…Ｙ方向受感軸、７…Ｚ軸加速度セ
ンサ、７ａ…Ｚ方向受感軸、１３…加振台、１４…固定
用ねじ。
Claims (2)
- 【請求項１】 重力加速度を利用して３軸加速度計の感
度校正を行う場合に前記３軸加速度計を固定する校正用
治具であって、重力加速度方向と直交する平面に対し
て、角度がｔａｎ-1（２1/2）となる取付面を備え、こ
の取付面に前記３軸加速度計のＸ方向受感軸とＹ方向受
感軸に等しい重力加速度が作用するように前記３軸加速
度計を取付けることを特徴とする３軸加速度計校正用治
具。 - 【請求項２】 加振装置を利用して３軸加速度計の感度
校正を行う場合に前記３軸加速度計を固定する校正用治
具であって、加速度方向と直交する平面に対して、角度
がｔａｎ-1（２1/2）となる取付面を備え、この取付面
に前記３軸加速度計のＸ方向受感軸とＹ方向受感軸に等
しい加速度が作用するように前記３軸加速度計を取付け
ることを特徴とする３軸加速度計校正用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08057561A JP3111017B2 (ja) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | ３軸加速度計校正用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08057561A JP3111017B2 (ja) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | ３軸加速度計校正用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09251031A true JPH09251031A (ja) | 1997-09-22 |
| JP3111017B2 JP3111017B2 (ja) | 2000-11-20 |
Family
ID=13059251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08057561A Expired - Fee Related JP3111017B2 (ja) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | ３軸加速度計校正用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3111017B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100764526B1 (ko) * | 2002-07-10 | 2007-10-09 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 교정 기능을 갖는 가속도 검출 장치 |
| US20110029275A1 (en) * | 2009-07-30 | 2011-02-03 | Research In Motion Limited | Method and system for testing and calibrating an accelerometer of an electronic device |
| TWI404932B (zh) * | 2009-07-15 | 2013-08-11 | Univ Southern Taiwan Tech | 三軸加速度計之核心控制模組 |
| CN103884870A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-25 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 提高加速度计校准精度的方法和装置 |
| EP2933608A1 (en) | 2014-04-16 | 2015-10-21 | Fuji Electric Co., Ltd. | Sensitivity inspection system and sensitivity inspection method |
| CN106556716A (zh) * | 2015-09-30 | 2017-04-05 | 航天科工惯性技术有限公司 | 一种加速度计力矩器稳定化处理方法 |
| CN106645798A (zh) * | 2015-11-02 | 2017-05-10 | 航天科工惯性技术有限公司 | 加速度计标度因数稳定性的检测方法 |
| CN106841678A (zh) * | 2015-12-04 | 2017-06-13 | 航天科工惯性技术有限公司 | 加速度计表芯稳定化处理方法 |
| CN108152535A (zh) * | 2017-11-14 | 2018-06-12 | 歌尔科技有限公司 | 一种加速度计校准方法及装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153754A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Denso Corp | 多軸半導体加速度センサの検査方法 |
-
1996
- 1996-03-14 JP JP08057561A patent/JP3111017B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100764526B1 (ko) * | 2002-07-10 | 2007-10-09 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 교정 기능을 갖는 가속도 검출 장치 |
| TWI404932B (zh) * | 2009-07-15 | 2013-08-11 | Univ Southern Taiwan Tech | 三軸加速度計之核心控制模組 |
| US20110029275A1 (en) * | 2009-07-30 | 2011-02-03 | Research In Motion Limited | Method and system for testing and calibrating an accelerometer of an electronic device |
| US8626471B2 (en) * | 2009-07-30 | 2014-01-07 | Blackberry Limited | Method and system for testing and calibrating an accelerometer of an electronic device |
| US8909498B2 (en) | 2009-07-30 | 2014-12-09 | Blackberry Limited | Method and system for testing and calibrating an accelerometer of an electronic device |
| CN103884870B (zh) * | 2014-03-13 | 2016-08-24 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 提高加速度计校准精度的方法和装置 |
| CN103884870A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-25 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 提高加速度计校准精度的方法和装置 |
| EP2933608A1 (en) | 2014-04-16 | 2015-10-21 | Fuji Electric Co., Ltd. | Sensitivity inspection system and sensitivity inspection method |
| CN106556716A (zh) * | 2015-09-30 | 2017-04-05 | 航天科工惯性技术有限公司 | 一种加速度计力矩器稳定化处理方法 |
| CN106556716B (zh) * | 2015-09-30 | 2019-06-25 | 航天科工惯性技术有限公司 | 一种加速度计力矩器稳定化处理方法 |
| CN106645798A (zh) * | 2015-11-02 | 2017-05-10 | 航天科工惯性技术有限公司 | 加速度计标度因数稳定性的检测方法 |
| CN106645798B (zh) * | 2015-11-02 | 2019-12-13 | 航天科工惯性技术有限公司 | 加速度计标度因数稳定性的检测方法 |
| CN106841678A (zh) * | 2015-12-04 | 2017-06-13 | 航天科工惯性技术有限公司 | 加速度计表芯稳定化处理方法 |
| CN108152535A (zh) * | 2017-11-14 | 2018-06-12 | 歌尔科技有限公司 | 一种加速度计校准方法及装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3111017B2 (ja) | 2000-11-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4659841B2 (ja) | センサユニット | |
| US6155115A (en) | Vibratory angular rate sensor | |
| TWI225154B (en) | Acceleration measuring apparatus with calibration function | |
| US6796177B2 (en) | Gyroscopic apparatus and electronic apparatus including same | |
| JPH08240611A (ja) | ３軸加速度計の校正装置 | |
| US9315376B2 (en) | Planar structure for a triaxial gyrometer | |
| JPH10177033A (ja) | 加速度測定装置 | |
| JP2005315826A (ja) | 多軸センサを有する力センサ装置における応力検出方法及び、この方法を用いる力センサ装置。 | |
| JPH09251031A (ja) | ３軸加速度計校正用治具 | |
| US6598455B1 (en) | Non-inertial calibration of vibratory gyroscopes | |
| JPH11101816A (ja) | 角加速度センサ及び角加速度検出方法 | |
| EP0405152B1 (en) | Method for adjusting a spinning piezoelectric beam of a dual-axis angular rate sensor | |
| US20200363446A1 (en) | Robust z-axis acceleration sensor | |
| JP3070424B2 (ja) | 加速度センサの取付構造 | |
| JP2535077B2 (ja) | 音叉型振動ジャイロおよび角速度入力軸合わせ用治具 | |
| JP3412450B2 (ja) | 主軸方向慣性モーメント測定方法及びその装置 | |
| US20240003936A1 (en) | Physical Quantity Sensor And Inertial Measurement Unit | |
| JPH06265569A (ja) | 加速度センサユニット | |
| JPH06160166A (ja) | 振動計 | |
| JPH075193A (ja) | 多軸加速度検出装置 | |
| US20240003935A1 (en) | Physical Quantity Sensor And Inertial Measurement Unit | |
| US20230243656A1 (en) | Method for manufacturing multi-axial inertial force sensor | |
| CN110044383B (zh) | 三轴微型传感器高低温测试装置及其测试方法 | |
| JP2822662B2 (ja) | 半導体加速度検出装置の測定方法 | |
| JP2023080591A (ja) | 物理量センサー、慣性計測装置及び製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090914 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |