TWI222935B - Film forming apparatus and method of driving same, device manufacturing method, device manufacturing apparatus, and device - Google Patents

Description

1222935 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種製膜 製造方法及裝置的製造裝置 【先前技術】 隨著電腦或可攜型資訊 發達而使得電子裝置或液晶 用增加。例如此種液晶顯示 來進行彩色化之彩色濾光片 藉由以既定圖案而供應R ( 油墨至該基板所形成。作爲 式，係例如採用噴墨方式之 在採用噴墨方式之狀態 對於基板，噴出及供應既定 墨之手段，係大多採用利用 件係例如在日本特開昭6 3 -層積電極和壓電材料而成爲 壓電元件之變形所產生之壓 孔（壓力產生室）內之油墨 在此種噴墨頭，於可噴 因此，不容易噴出高黏度之 例如日本特開平5 - 281562 連通於壓力室之油墨槽來設 裝置及其驅動方法，和裝置的 ，以及裝置。 終端裝置所代表之電子機器之 顯示裝置等之電光學裝置之使 裝置係使用用以對於顯示圖像 。該彩色濾光片係具有基板， 紅）、G (綠）和B (藍）之 對於此種基板而供應油墨之方 製膜裝置。 下，於製膜裝置，由噴墨頭而 蓮:之油墨，但是，作爲噴出油 壓電元件者。作爲此種壓電元 _ 295269號公報，提議交互地 三明治狀者，具有：藉由利用 力波而噴出充滿於噴墨頭之空 之構造。 出之油墨黏度，有限度存在， 油墨。因此，在向來，提供： 號公報所示之在透過供應口而 置加熱器（發熱體）之技術或 (2) (2)1222935 例如日本特開平9 一 164702號公報所示之在噴墨頭及油墨 槽兩者而埋入加熱器之技術；由於使用這些技術而使得高 黏度油墨進行低黏度化至能夠噴出之黏度爲止，因此，可 以使用向來不容易製膜之工業製品。 但是，在前述習知技術，對於包含低沸點溶劑或樹脂 成分之高乾燥性之油墨或者是對於由於加熱而使得特性變 質之油墨，正如前面敘述，無法採用所謂藉由加熱而進行 低黏度化之方法，會有所謂無法改善稱爲噴出困難之狀況 之問題發生。 本發明係有鑒於前述事情而完成的；其目的係提供一 種可以使得局黏度液狀體一直維持在低黏度而進行穩定之 液滴噴出之製膜裝置及其驅動方法，和裝置的製造方法及 裝置的製造裝置，以及裝置。 【發明內容】 〔發明之要旨〕 本發明之第1形態係賦予振動至液狀體而噴出液滴之 製膜裝置的驅動方法，藉由噴出前述液滴之第1訊號和不 噴出前述液滴並且對於前述液狀體來賦予使得該液狀體成 爲低黏度之偏離速度之第2訊號而控制前述振動。 如果藉由本形態之製膜裝置的驅動方法的話，則由於 在液狀體，賦予藉由不噴出成爲液滴之第2訊號所造成之 振動，因此，即使是液狀體成爲高黏度並且無法進行加熱 ，也能夠穩定地進行噴出。 -5- (3) (3)1222935 此外，前述所謂偏離速度（也表示爲「歪斜速度」） 係在成爲黏度7?之定義、偏離速度成爲U、剪斷應力成爲 r時，表示以？7 = r / U所示之歪斜之時間變化比例。 前述第2訊號係最好是在發訊前述第1訊號前，來進 行發訊，或者是在發訊前述第1訊號後，來進行發訊。 藉此而一直賦予振動至液狀體，因此’能夠，一直穩定 地噴出液狀體。 此外，前述第2訊號係可以在發訊前述第1訊號後而 一直到再度發訊前述第1訊號爲止之間’進行至少一次發 訊。 藉此而一直賦予振動至液狀體’因此’能夠一直穩定 地噴出液狀體。 此外，前述第2訊號係最好是在發訊前述第1訊號後 而一直到再度發訊前述第1訊號爲止之時間間隔更加短於 既定時間之狀態下，不進行發訊。在該狀態下’液狀體係 成爲承受由於第1訊號所造成之振動影響之狀態’因此’ 並不需要賦予藉由第2訊號所造成之振動’不消耗無用之 肯b量。 此外，前述液狀體係最好是非牛頓性之擬塑性流體。 在該狀態下，非牛頓性之擬塑性流體係藉由賦予振動而使 得偏離速度變大，結果，黏度變小’因此’即使是高黏度 之液狀體，也能夠不進行加熱，使得黏度變小而提高液狀 體之流動性。 本發明之第2形態係具有藉由液滴噴出裝置而噴出液 -6 - (4) (4)1222935 滴來製膜於基板上之製膜作業之裝置的製造方法，使用前 述製膜裝置的驅動方法而進行前述製膜作業。 如果藉由本形態之裝置的製造方法的話，則即使是液 狀體成爲高黏度並且無法進行加熱，也能夠穩定地進行噴 出，因此，能夠以所要求之噴出特性而製膜於基板上。 本發明之第3形態係藉由具有賦予振動至液狀體之壓 力產生室之液滴噴出裝置而噴出液滴之製膜裝置；在前述 壓力產生室，具備壓力產生手段；具有藉由噴出前述液滴 之第1訊號和不噴出前述液滴並且對於前述液狀體來賦予 使得該液狀體成爲低黏度之偏離速度之第2訊號而控制前 述壓力產生手段來賦予振動至前述液狀體的控制裝置。 如果藉由本形態之製膜裝置的話，則控制製膜裝置而 對於液狀體賦予藉由不噴出成爲液滴之第2訊號所造成之 振動，因此，即使是液狀體成爲高黏度並且無法進行加熱 ，也能夠穩定地進行噴出。 在該狀態下，前述液狀體係最好是非牛頓性之擬塑性 流體。非牛頓性之擬塑性流體係藉由賦予振動而使得偏離 速度變大，結果，黏度變小，因此，即使是高黏度之液狀 體，也能夠不進行加熱，使得黏度變小而提高液狀體之流 動性。 此外，前述壓力產生手段係最好是賦予振動至前述壓 力產生室而噴出前述液滴之壓電元件。 可以藉此而不需要另外設置用以賦予振動至液狀體之 機構，能夠造成裝置之小型化和低價格化。 (5) (5)1222935 此外，前述壓力產生手段係可以具有：在前述液狀體 產生氣泡而噴出前述液滴之氣泡產生裝置以及控制前述氣 泡產生裝置之驅動而伸縮前述產生之氣泡之控制裝置。 在該狀態下，也不需要另外設置用以賦予振動至液狀 體之機構，能夠造成裝置之小型化和低價格化。 本發明之第4形態係具有藉著由液滴噴出裝置所噴出 之液滴而製膜於基板上之製膜裝置之裝置的製造裝置；作 爲前述製膜裝置係使用前述製膜裝置。如果藉由本形態的 話，則即使是液狀體成爲高黏度並且無法進行加熱，也能 夠穩定地進行噴出，因此，能夠以所要求之噴出特性而製 膜於基板上。 本發明之第5形態係一種裝置，藉由前述裝置的製造 裝置而進行製造。如果藉由本形態的話，則能夠得到以穩 定噴出之液滴而形成膜之高品質之裝置。 【實施方式】 〔理想之實施形態〕 (第1實施形態） 以下，參照第1圖至第9圖而說明本發明之製膜裝置 及其驅動方法以及裝置的製造方法和裝置的製造裝置以及 裝置之實施形態。 在此，就使得本發明之製膜裝置，適用於例如使用作 爲液狀體之油墨而用以製造對於液晶裝置所採用之彩色濾 光片等之濾光片製造裝置，來進行說明。此外，可以使用 -8- (6) (6)1222935 在本發明之液體係包含液狀體。也就是說，所謂液狀體係 除了前述液體以外，也指例如包含金屬等之微粒之液狀體 〇 第1圖係構成濾光片製造裝置（裝置的製造裝置）之 製膜裝置（噴墨裝置）10之槪略外觀立體圖。該濾光片 製造裝置係具備幾乎具有同樣構造之3座製膜裝置1〇, 各個製膜裝置10係成爲噴出R (紅）、〇(綠）和：6(藍 )之各種顏色油墨至濾光片積板之構造。 製膜裝置10係具有：基底12、第1移動手段14、第 2移動手段16、並未圖示之電子天平（重量測定手段）、 構成液滴噴出裝置之噴墨頭（頭頂）2 0、頂蓋單元22、 淸潔單元24等。第1移動手段14、電子天平、頂蓋單元 22、淸潔單元24及第2移動手段16係分別設置在基底 12上。 弟1移動手段14係最好是直接設置在基底12上，並 且，該第1移動手段14係沿著Y軸方向而進行定位。相 對於此，第2移動手段1 6係使用支柱1 6 A、1 6 A而對於 基底12進行豎立及安裝，此外，第2移動手段16係安裝 於基底12之後部12A。第2移動手段16之X軸方向係正 交於第1移動手段14之Y軸方向之方向。Y軸係沿著基 底1 2之前部1 2B和後部1 2 A方向之軸。相對於此，X軸 係沿著基底1 2之左右方向之軸而分別成爲水平。 第1移動手段1 4係具有導軌4 0、4 0，第1移動手段 1 4係可以採用例如線性馬達。該線性馬達形式之第1移 -9- (7) (7)1222935 動手段14之滑件42係可以沿著導軌40而移動於Y軸方 向’來進行定位。 滑件42係具備β軸用之馬達44。該馬達44係例如 直接驅動馬達，馬達44之轉子係固定於座台46。可以藉 此而通電於馬達4 4，以便於使得轉子和座台4 6，沿著0 方向’來指示（旋轉推測）座台46。 座台46係對於基板48進行定位及保持。此外，座台 46係具有吸附保持手段5 0，可以藉由啓動吸附保持手段 50而通過座台46之孔46Α，將基板48吸附及保持在座 台46上。在座台46，噴墨頭（液滴噴出裝置）20係拋打 油墨’或者是設置用以進行試打（預備噴出）之預備噴出 區域5 2。 第2移動手段16係具有固定在支柱16Α、16Α之柱 1 6 Β，該柱1 6 Β係具有線性馬達形式之第2移動手段1 6。 滑件60係可以沿著導軌62 Α而移動於X軸方向，進行定 位，滑件6 0係具備作爲油墨噴出手段之噴墨頭2 〇。 噴墨頭2 0係具有作爲搖動定位手段之馬達6 2、6 4 ' 6 6、6 8。如果啓動馬達6 2的話，噴墨頭2 0係可以沿著Z 軸而進行上下動作，來進行定位。該Z軸係對於X軸和 Y軸而分別進行正交之方向（上下方向）。在啓動馬達 64時，噴墨頭20係可以沿著Y軸周圍之々方向而進行搖 動及定位。在啓動馬達66時，噴墨頭20係可以沿著X 軸周圍之T方向而進行搖動及定位。在啓動馬達68，噴 墨頭2 〇係可以沿著Z周圍之α方向而進行搖動及定位。 -10- (8) (8)1222935 像這樣，第1圖之噴墨頭20係可以在滑件60而進行 直線移動及定位於Z軸方向，能夠沿著α、Θ、r而進行 搖動及定位，噴墨頭20之油墨噴出面20P係可以對於座 台4 6側之基板4 8而正確地控制位置或姿勢。此外，在噴 墨頭20之油墨噴出面20P，設置分別噴出油墨之複數個 (例如1 20個）之作爲開口部之噴嘴。 在此，就噴墨頭20之構造例而言’參照第2A圖及 第2B圖，來進行說明。噴墨頭20係使用例如壓電元件（ 壓電元件、壓力產生手段）之頭頂，正如第2A圖所示， 在頂頭本體90之油墨噴出面20P，形成複數個噴嘴91。 對於這些噴嘴9 1而分別設置壓電元件92。 正如第2B圖所示，壓電元件92係對應於噴嘴91和 油墨室（壓力產生室）9 3而進行配置’構成爲例如在位 處於1對電極（並未圖示）間而進行通電時，這個進行彎 曲而突出於外側。藉由對於該壓電元件9 2施加既定電壓 ，而使得壓電元件92伸縮於第2B圖中之水平方向上，以 便於加壓油墨，由噴嘴91而噴出既定量之液滴（油墨滴 )。此外，作爲噴墨頭2 0之噴墨方式係可以是使用前述 壓電元件9 2之壓電噴射形式以外之方式、例如利用熱膨 脹之熱感應噴墨形式等。 在第3圖，簡單地顯示關於噴墨頭20之驅動控制系 統及油墨供應系統。對於噴墨頭20，積存於油墨槽25之 油墨係透過油墨通路2 6而進行供應。此外’爲了對於設 置在噴墨頭20之壓電元件92，噴出既定量之油墨’因此 -11 - (9) (9)1222935 ，在控制裝置28之控制下而適合於油墨之種類、溫度之 驅動電壓係成爲第4圖所示之噴出波形（第1訊號）W1 ，由噴墨頭驅動裝置2 7開始而分別施加至每一個噴嘴9 1 。此外，控制裝置2 8係藉由控制驅動裝置2 7而使得第4 圖所示之微振動波形（第2訊號）W2，也成爲驅動波形 ，施加至壓電元件92。 第4圖係顯示噴出波形W 1和噴墨頭2 0對應於該噴 出波形W 1之各個波形部（訊號要素）之驅動動作之槪略 圖。 設定噴出波形W 1，而藉由在正斜率之波形部a 1，擴 大油墨室9 3，增大容積，使得相當於增大之容積分之油 墨，流入至油墨室93內，並且，利用在負斜率之波形部 a2，施加該施加電壓 Vh，以便於縮小油墨室，加壓油墨 ，而由噴嘴91，來噴出既定量之油墨。 第5圖係顯示微振動波形W2和噴墨頭20對應於該 微振動波形W2之各個波形部之驅動動作之槪略圖。 設定微振動波形W2，而藉由在正斜率之波形部b 1， 擴大油墨室93，在負斜率之波形部b3，施加該施加電壓 V1，以便於縮小•加壓油墨室93，但是，施加電壓V1成 爲不由噴嘴91來噴出油墨之大小。也就是說，成爲錯由 將微振動波形W2之電壓施加至壓電元件92而對於噴嘴 面進行微振動來重複地離開•接近凹凸透鏡之構造。 一般流體係區分成爲黏度不依存於偏離速度之牛頓性 流體和藉由偏離速度而改變黏度之非牛頓性流體，此外， -12- (10) (10)1222935 非牛頓性流體係藉由改變黏度之傾向而區分成爲膨脹流體 和擬塑性流體（擬似塑性流體）。在第7圖，顯示各個流 體之偏離速度（歪斜速度）和黏度間之關係。正如該圖所 示，牛頓性流體係即使是偏離速度變大，也使得黏度幾乎 成爲一定’在非牛頓性流體中，膨脹流體係具有隨著偏離 速度變大而使得黏度也變大之性質。另一方面，在非牛頓 性流體中，擬塑性流體係具有隨著偏離速度變大而使得黏 度也變小之性質。 因此，在非牛頓性而使用擬塑性流體油墨之狀態下， 可以藉由賦予微振動至噴墨頭20，而使得油墨之偏離速 度變大，黏度變小。因此，正如前面敘述，可以降低高黏 度油墨之黏度，所以，能夠提高油墨之流動性，容易進行 排出。 接著，就噴墨頭20之驅動’使用第6圖而進行說明 〇 例如在溫度控制於4 0 °C之油墨由油墨槽2 5開始透過 送液管26而塡充於噴墨頭20時，正如前面敘述，由驅動 裝置27，施加第4圖及第5圖所示之驅動波形之驅動電 壓，對應於各個噴嘴9 1之壓電元件9 2係以既定之間隔、 週期而進行驅動。 第6圖係顯示藉由施加驅動電壓至噴墨頭2 0之驅動 中之任意之壓電元件92所造成之一連串之驅動波形之變 遷之圖。 在區間B，顯示進行第1次油墨噴出之噴出波形W 1 -13- (11) (11)1222935 ’區間A係顯示第1次油墨噴出前之待機區間（待機時 間tA )。在區間A，施加驅動電壓而形成複數次（在圖中 成爲2次）之微振動波形W2。此外，在區間D，顯示進 行第2次油墨噴出之噴出波形w 1，區間C係顯示區間B 和區間D之2次油墨噴出間之待機區間（待機時間tc ) 。在區間C，相同於區間A，施加驅動電壓而形成複數次 (在圖中成爲2次）之微振動波形W2。此外，待機時間 U和待機時間tc係相互比較於微振動波形W2之發訊時間 t2而具有充分長之既定時間T。像這樣，在區間A和區間 C’在不由噴嘴91而噴出油墨之範圍內，在噴墨頭20內 之油墨’賦予振動，因此，在非牛頓性而使用擬塑性流體 油墨之狀態下，正如前面敘述，可以使得油墨之偏離速度 變大，黏度變小。此外，微振動波形W2係在同一區間， 並無限定成爲複數次之形成，當然也可以是1次形成。 此外，在區間F，顯示進行連續於第2次油墨噴出之 第3次油墨噴出之噴出波形W 1，區間E係顯示區間D和 區間F之2次油墨噴出間之待機區間（待機時間tE )。待 機時間tE係成爲更加短於前述既定時間T之時間，因此 ’在區間E，並無施加形成微振動波形W 2之驅動電壓。 在該狀態下，形成噴出波形W1之區間D和區間F係相互 地接近，因此，在區間E，噴墨頭20內之油墨係承受區 間D和區間F之噴出用之振動影響。也就是說，例如在 藉由區間D之噴出波形W 1所造成之振動沒有完全衰減時 ，藉由接著之區間F之下一個噴出波形W 1所造成之液滴 •14- (12) (12)1222935 噴出係開始進行，因此，可以在油墨，於此時，一直賦予 振動，對於油墨，賦予所要求之偏離速度，使得黏度變小 〇 另一方面，淸潔單元24係可以在濾光片製造作業中 或待機時，呈定期或隨時地進行噴墨頭2 0之噴嘴等之淸 潔。頂蓋單元2 2係爲了不乾燥噴墨頭2 0之噴嘴內之油墨 ，因此，在不製造濾光片或待機時，使得該油墨噴出面 2 0P不接觸到外氣。該淸潔單元24係具有：在吸附襯墊 及控制裝置28之控制下、使得該吸附襯墊對於噴墨頭20 而移動於抵接位置和離開位置間之移動手段（參照第3圖 )。在吸附襯墊，連接由吸引幫浦等之所構成之吸引手段 2 9，透過吸附襯墊所吸引之油墨係排出至廢液槽3 0。 回復到第1圖，電子天平係爲了測定及管理由噴墨頭 2 0之噴嘴所噴出之油墨滴之1滴重量，因此，例如由噴 墨頭20之噴嘴，承受5 000滴份之油墨滴。電子天平係可 以藉由該5 000滴之油墨滴重量除以500 0而幾乎正確地測 定油墨滴之1滴重量。可以根據該油墨滴之測定量而控制 由噴墨頭20所噴出之油墨滴量，成爲最適當。 接著，就製膜處理作業而進行說明。 作業者係在由座台4 6之前端側開始而將基板4 8供應 至第1移動手段14之座台46上之時，該基板48係對於 座台4 6，進行吸附保持及定位。接著，啓動馬達4 4，設 定基板4 8之端面並聯於Y軸方向。 接著，噴墨頭2 0係沿著X軸方向而進行移動，定位 -15- (13) (13)1222935 於電子天平之上部。接著’進行指定滴數（指定之油墨滴 數）之噴出。藉此而使得電子天平’例如正如前面敘述， 計測5 0 0 0滴之油墨重量’計算油墨滴之每1滴重量。接 著，判斷油墨滴之每1滴重量是否進入至預先決定之適當 範圍，如果是適當範圍外的話，則進行施加電壓對於壓電 元件9 2之調整等，適當地收納油墨滴之每1滴重量。 在油墨滴之每1滴重量變得適當之狀態下’基板4 8 係藉由第1移動手段14而沿著Y軸方向，適當地進行移 動及定位，同時，噴墨頭2 0係藉由第2移動手段1 6而沿 著X軸方向，適當地進行移動及定位。接著，噴墨頭20 係在對於預備噴出區域52而由全部噴嘴來預備噴出油墨 後，對於基板4 8而相對移動於Y軸方向（在實際上、基 板48對於噴墨頭20而移動於Y方向），對於基板48上 之既定區域，由既定之噴嘴開始，以既定幅寬而噴出油墨 。在噴墨頭2 0和基板4 8間之1次相對移動結束時，噴墨 頭20係對於基板48，以既定量而階梯移動於X軸方向， 然後，在基板4 8對於噴墨頭2 0而進行移動之間，噴出油 墨。接著，可以藉由重複地進行複數次之該動作而在製膜 區域整體，噴出油墨，進行製膜。 接著，參照第8圖及第9圖，就藉由製膜處理而製造 彩色濾光片之例子，來進行說明。 基板48係使用成爲透明基板並且具有適當之機械強 度同時光透過性高。作爲基板4 8係可以適用例如透明玻 璃基板、丙烯玻璃、塑膠基板、塑膠薄膜及這些之表面處 -16- (14) (14)1222935 理品等。 例如正如第9圖所示，由提高生產性之觀點來看的話 ，則在長方形形狀之基板4 8上，呈矩陣狀地形成複數個 彩色濾光片區域1〇5。這些彩色濾光片區域105係可以藉 由在後面，切斷玻璃4 8而使用作爲適合於液晶顯示裝置 之彩色濾光片。 在彩色濾光片區域1 〇 5，例如正如第9圖所示，以既 定之圖案而形成及配置，R (紅）油墨和G (綠）油墨及 B (藍）油墨。作爲該形成圖案係正如圖示，除了向來習 知之線條型以外，還有鑲嵌型或三角洲型等。特別是在藉 由傾斜頭頂2 0而在像素部之配列間距來對應噴嘴間隔之 狀態下，於線條型，能夠一次噴出之噴嘴數目係變多，因 此，具有效果。 第8A圖〜第8F圖係顯示對於基板48而形成彩色濾 光片區域105之作業之某一例子。 在第8A圖，對於透明基板48之某一邊之面，形成 黑色矩陣110。在成爲彩色濾光片基礎之基板48上，藉 由旋轉塗敷等之方法而以既定厚度（例如2 // m左右）， 來塗敷無光透過性之樹脂（最好是黑色），藉由光微影法 等之方法而呈矩陣狀地設置黑色矩陣1 1 0。藉由黑色矩陣 1 1 〇之格子所包圍之最小顯示要素係成爲濾光片元件，例 如成爲X軸方向之幅寬30//m、Y軸方向之長度lOOvm 左右之大小之窗。 在形成黑色矩陣1 1 0後，例如藉由利用加熱器而賦予 -17- (15) (15)1222935 熱，以便於燒結基板4 8上之樹脂。 正如第8 B圖所示，油墨滴9 9係供應至濾光片元件 1 1 2。油墨滴9 9之量係考量加熱作業之油墨體積減少之充 分量。 在第8 C圖之加熱作業，在對於彩色濾光片上之全部 濾光片元件1 1 2而塡充油墨滴99時，使用加熱器而進行 加熱處理。基板48係加熱至既定溫度（例如70 °C左右） 。在蒸發油墨之溶媒時，油墨體積係減少。在體積減少變 得激烈之狀態下，一直到得到充分之油墨膜厚度來作爲彩 色濾光片爲止，重複地進行油墨噴出作業和加熱作業。藉 由該處理而蒸發油墨之溶媒，最後僅殘留油墨之固態成分 而進行膜化。 在第8D圖之保護膜形成作業，爲了完全地乾燥油墨 滴99 ’因此，以既定溫度而進行既定時間之加熱。在乾 燥結束時’爲了進行形成油墨膜之彩色濾光片之基板4 8 之保護和濾光片表面之平坦化，因此，形成保護膜1 20。 在該保護膜1 20之形成，例如可以採用旋轉塗敷法、滾筒 塗敷法、開裂法等之方法。 在第8E圖之透明電極形成作業，使用濺鍍法或真空 蒸鍍法等之方式，涵蓋保護膜120之整個面而形成透明電 極 1 3 0 〇 在第8 F圖之圖案化作業，透明電極1 3 0係還在對應 於濾光片元件1 1 2開口部之像素電極，進行圖案化。此外 ，在液晶驅動來使用TFT ( Thin Film Transistor (薄膜電 (16) (16)1222935 晶體））之狀態下，該圖案化係變得無用。 此外，在前述製膜處理之間，最好是定期或隨時地使 用淸潔單元24而摩擦噴墨頭20之油墨噴出面20P。 正如以上敘述，在本實施形態，特別是在使用擬塑性 流體油墨之狀態下，可以不加熱油墨而使得油墨之黏度變 小，因此，即使是高黏度油墨或無法加熱之油墨、甚至高 乾燥性之油墨，也能夠由頭頂而穩定地進行噴出，能夠以 所要求之噴出特性而製膜於基板上。結果，藉著由噴墨頭 20所噴出之油墨而製造之裝置係能夠以所要求之形狀、 大小而進行製膜，維持品質。 此外，在本實施形態，於不進行油墨噴出之待機時間 內，來進行對於油墨之振動賦予，因此，可以一直維持噴 墨頭2 0內之油墨在低黏度。此外，也兼用在由噴墨頭2 0 噴出油墨時之所驅動之壓電元件92，來作爲形成不噴出 油墨之微振動波形W2之壓力產生手段，因此，不需要另 外設置振動賦予裝置，能夠造成裝置之小型化及低價格化 。此外，並無設置油墨加熱手段，因此，並無一直到達既 定溫度爲止之待機時間，具有良好之量產性，並且，不需 要在壓力產生手段，施加高電壓，所以，可以使得壓力產 生手段^成爲長壽命。 (第2實施形態） 以下，就作爲本發明之第2實施形態而將第1實施形 態之製膜裝置適用於EL (電場發光）顯示裝置的製造裝 -19- (17) (17)1222935 置之狀態，使用第1 0圖至第1 9圖，來進行說明。 EL顯示裝置係成爲：具有藉由陰極和陽極而夾住包 含螢光性之無機及有機化合物之薄膜之構造，藉由在前述 薄膜’植入電子及正孔（孔洞），進行再結合而生成激發 子（exiton )，利用在該激發子鈍化時之光釋出（螢光· 磷光）而進行發光之元件。能夠藉由以使用於此種E L顯 示元件之螢光性材料中之呈現紅、綠及藍色之各種發光色 之材料、也就是形成發光層形成材料及正孔植入/電子輸 送層之材料，作爲油墨，分別使用本發明之裝置的製造裝 置，在TFT或FED等之元件基板上，進行圖案化，而製 造自發光全色EL裝置。 在該狀態下’例如相同於前述彩色濾光片之黑色矩陣 而使用樹脂阻劑，形成劃分於每一個波峰胞之間隔壁，同 時，在成爲下層之層表面，容易附著所噴出之液滴，並且 ’防止彈開間隔壁所噴出之液滴而相互混合於相鄰接之劃 分之液滴’因此，作爲液滴噴出之前作業，係對於基板而 進fr電紫、uv處理、偶合等之表面處理。然而接著，經 過以形成正孔植入/輸送層之材料作爲液滴而進行供應及 製膜之正孔植入/輸送層形成作業和同樣形成發光層之發 光層形成作業，來進行製造。 第1 〇圖係有機EL顯示裝置之顯示區域（以下、僅 稱爲顯不裝置206)之要部剖面圖。 該顯示裝置206係藉由電路元件部207、發光元件部 2 0 8和陰極2 09層積於基板210上之狀態而槪略構成。 (18) (18)1222935 在該顯示裝置206，由發光元件部2〇8而發出至基板 2 1 0側之光係透過電路元件部2 0 7和基板2 1 0而射出至觀 察者側，同時，由發光元件部2 0 8而發出至基板2 1 0相反 側之光係在藉由陰極2 0 9而進行反射後’透過電路元件部 2 07和基板210而射出至觀察者側。 在電路元件部2 0 7和基板2 1 0間’形成由氧化矽膜所 構成之底層保護膜211，在該底層保護膜211上（發光元 件部2 0 8側），形成由多結晶矽所構成之島狀半導體膜 212。在該半導體膜212之左右區域，分別藉由打入高濃 度陽離子而形成源極區域212a和汲極區域212b。接著， 並無打入陽離子之中央部係成爲通道區域212c。 此外，在電路元件部2 0 7，形成覆蓋底層保護膜2 1 1 和半導體膜2 1 2之透明閘極絕緣膜2 1 3，在對應於該閘極 絕緣膜213上之半導體膜212之通道區域212c之位置， 形成例如由 Al、Mo、Ta、Ti、W等之所構成之閘極電極 2 1 4。在該閘極電極2 1 4和閘極絕緣膜2 1 3上，形成透明 之第1層間絕緣膜2 1 5 a和第2層間絕緣膜2 1 5 b。此外， 貫通第1、第2層間絕緣膜215a、215b而形成分別連通 於半導體膜212之源極區域212a、汲極區域212b之接觸 孑 L 2 16a、216 b ° 接著，在第2層間絕緣膜215b上，由ITO等之所構 成之透明像素電極2 1 7係圖案化成爲既定形狀所形成，該 像素電極217係通過接觸孔216a而連接於源極區域212a -21 - (19) (19)1222935 此外，在第1層間絕緣膜2 1 5 a上，配置電源線2 1 8 ，該電源線218係通過接觸孔216b而連接於汲極區域 2 1 2b ° 像這樣，在電路元件部207 ’分別形成連接於各個像 素電極217之驅動用薄膜電晶體219。 前述發光元件部2 0 8係藉由層積於複數個像素電極 217上之各個之功能層220以及劃分具備於各個像素電極 217和功能層220間之各個功能層220之庫部221而槪略 構成。 藉由這些像素電極217、功能層220以及配置於功能 層2 20上之陰極209而構成發光元件。此外，像素電極 2 1 7係圖案化成爲平面俯視槪略矩形狀所形成，在各個像 素電極2 1 7間，形成庫部2 2 1。 庫部221係藉由例如利用SiO、Si02、Ti02等之無機 材料所形成之無機物庫層22 1 a (第1庫層）以及層積於 該無機物庫層22 1 a上並且利用丙烯樹脂、聚醯亞胺樹脂 等之耐熱性和耐溶媒性良好之阻劑所形成之剖面台形狀之 有機物庫層221b (第2庫層）而構成。該庫部221之一 部分係以搭上於像素電極2 1 7周邊部上之狀態而形成。 接著，在各個庫部221之間，形成對於像素電極217 而朝向上方來逐漸擴開之開口部222。 前述功能層220係藉由在開口部222內、以層積狀態 而形成於像素電極217上之正孔植入/輸送層220a以及 形成於該正孔植入/輸送層220a上之發光層220b所構成 (20) (20)1222935 。此外，還可以形成鄰接於該發光層2 2 0 b而具有其他功 能之其他功能層。例如也可以形成電子輸送層。 正孔植入/輸送層2 2 0 a係具有：由像素電極2 1 7側 而輸送正孔來植入至發光層220b之功能。該正孔植入/ 輸送層220a係藉由噴出包含正孔植入/輸送層形成材料 之第1組成物（相當於本發明液材之一種）而形成。作爲 正孔植入/輸送層形成材料，係使用例如聚亞乙二氧基噻 吩等之聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等之混合物。 發光層220b係發光成爲紅色（R)、綠色（g)或藍 色（B)之其中一種，藉由噴出包含發光層形成材料（發 光材料）之第2組成物（相當於本發明液材之一種）而形 成。作爲發光層形成材料，係可以使用例如（聚）對苯亞 乙烯基衍生物、聚亞苯基衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯咔 唑、聚噻吩衍生物、紫蘇烯系色素、季豆素系色素、若月 明系色素、或者是在這些高分子材料添加紅熒烯、紫蘇烯 9，10—二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、季豆素 吖啶等。 此外，作爲第2組成物之溶媒（非極性溶媒）係最好 是對於正孔植入/輸送層220a而成爲非溶性者，例如可 以使用環己基苯、二氫化苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯 等。可以藉由將此種非極性溶媒使用在發光層2 2 〇 b之第 2組成物而不再溶解正孔植入/輸送層220a，形成發光層 220b ° 接著’構成在發光層22 0b，由正孔植入/輸送層 (21) (21)1222935 220a所植入之正孔和由陰極209所植入之電子係在發光 層，進行再結合及發光。 陰極209係以覆蓋發光元件部20 8整個面之狀態而形 成，和像素電極2 1 7成爲配對，發揮在功能層220流動電 流之功能。此外，在該陰極209之上部，配置並未圖示之 密封構件。 接著，參照第1 1圖〜第1 9圖而說明本實施形態之顯 示裝置206之製造作業。 該顯示裝置2 0 6係正如第1 1圖所示，經過庫部形成 作業（S 1 )、表面處理作業（S 2 )、正孔植入/輸送層形 成作業（S3 )、發光層形成作業（S4 )和對向電極形成作 業（S 5 )而製造。此外，製造作業係並非限定在例舉者， 也有配合需要而刪除其他作業之狀態或者是追加之狀態發 生。 首先，在庫部形成作業（S 1 )，正如第1 2圖所示， 在第2層間絕緣膜215b上，形成無機物庫層221a。該無 機物庫層221a係在形成位置而形成無機物層後，藉由利 用光微影技術等而對於該無機物層進行圖案化，以便於形 成無機物庫層22 1a。此時，無機物庫層22 1a之一部分係 形成重疊於像素電極217之周邊部。 如果形成無機物庫層2 2 1 a的話，則正如第1 3圖所不 ，在無機物庫層221a上，形成有機物庫層221b。該有機 物庫層2 2 1 b係也相同於無機物庫層2 2 1 a，藉由光微影技 術等而進行圖案化所形成。 -24- (22) (22)1222935 像這樣而形成庫部221。此外，隨著這個而在各個庫 部2 2 1間，對於像素電極2 1 7而形成開口於上方之開口部 222 °該開口部222係規定像素區域（相當於本發明液材 區域之一種）。 在表面處理作業（S2 )，進行親液化處理及疏液化處 理。施行親液化處理之區域係無機物庫層2 2 1 a之第1層 積部22 la’及像素電極217之電極面217a，這些區域係例 如藉由以氧作爲處理氣體之電漿處理而表面處理成爲親液 性。該電漿處理係也兼具成爲像素電極217之ITO之洗淨 等。 此外，疏液化處理係施加在有機物庫層2 2 1 b之壁面 221s及有機物庫層221b之上面221t，例如藉由以四氟甲 烷作爲處理氣體之電漿處理而使得表面進行氟化處理（處 理成爲疏液性）。 在藉由進行該表面處理作業而使用噴墨頭20來形成 功能層220時，可以藉由像素區域而確實地彈合液材，此 外，能夠防止彈合於像素區域之液材由開口部222溢出。 接著，藉由經過以上作業而得到顯示裝置基體2 0 6 ’ (相當於本發明之顯示器基體之一種）。該顯示裝置基體 206’係載置於第1圖所示之製膜裝置1〇之座台46，進行 以下之正孔植入/輸送層形成作業（S3 )和發光層形成作 業（S4 )。 在正孔植入/輸送層形成作業（S3)，由噴墨頭20 而將包含正孔植入/輸送層形成材料之第1組成物，噴出 -25· (23) (23)1222935 至成爲像素區域之開口部222內。然後’進行乾燥處理和 熱處理，在像素電極217上，形成正孔植入/輸送層 220a ° 該正孔植入/輸送層形成作業係經過相同於前述第1 實施形態之彩色濾光片之形成作業之同樣作業而實施。 在液滴之噴出作業，正如第14圖所示’在顯示裝置 基體206’上之像素區域（也就是開口部222內），使得 包含正孔植入/輸送層形成材料之第1組成物，成爲液滴 而打入既定量。即使是在該狀態下，正如前面敘述，也設 定驅動脈衝之波形形狀，因此，可以一直穩定地噴出液滴 〇 然後，藉由進行乾燥作業等而對於噴出後之第1組成 物，進行乾燥處理，蒸發包含於第1組成物之極性溶媒， 正如第15圖所示，在像素電極217之電極面217a上，形 成正孔植入/輸送層220a。 像以上這樣，如果在各個像素區域之每一個來形成正 孔植入/輸送層220a的話，則結束正孔植入/輸送層形 成作業。 接著，就發光層形成作業（S4 )而進行說明。在該發 光層形成作業，正如前面敘述，爲了防止正孔植入/輸送 層 2 20a之再溶解，因此，使用對於正孔植入/輸送層 22 0a成爲非溶性之非極性溶媒，來作爲在發光層形成時 之所使用之第2組成物之溶媒。 但是，在其某一方面，正孔植入/輸送層22 0a係對 (24) (24)1222935 於非極性溶媒之親和性變低，因此，即使是噴出包含非極 性溶媒之第2組成物至正孔植入/輸送層2 2 0 a上，也恐 怕無法密合正孔植入/輸送層220a和發光層220b或者是 無法均勻地塗敷發光層220b。 因此，爲了提高正孔植入/輸送層220a之表面對於 非極性溶媒和發光層形成材料之親和性，因此，最好是在 發光層形成前，進行表面處理（表面改質處理）。該表面 處理係藉由將成爲相同於發光層形成時之所使用之第2組 成物之非極性溶媒之同樣溶媒或類似這個之溶媒之表面改 質材’塗敷在正孔植入/輸送層220a上，乾燥這個而進 行表面處理。 可以藉由施加此種處理而使得正孔植入/輸送層 220a之表面，容易變成親和於非極性溶媒，在後面之作 業，將包含發光層形成材料之第2組成物，均勻地塗敷在 正孔植入/輸送層220a上。 接著，即使是在該發光層形成作業，也經過相同於前 述第1實施形態之彩色濾光片之形成作業之同樣作業而實 施。 也就是說，在液滴噴出作業，正如第16圖所示，含 有對應於各種顏色中之任何一種（在第1 6圖之例子、成 爲藍色（B ))之發光層形成材料之第2組成物，成爲液 滴而打入既定量至像素區域（開口部222 )內。即使是在 該狀態下’正如前面敘述’也設定驅動脈衝之波形形狀’ 因此，可以一直穩定地噴出液滴。 -27- (25) (25)1222935 打入至像素區域內之第2組成物係擴散於正孔植入/ 輸送層220a上而充滿於開口部222內。此外，即使是在 萬一第2組成物脫離於像素區域而彈合於庫部22 1之上面 221 t上之狀態下，該上面221 t係正如前面敘述，施加疏 液處理，因此，第2組成物係容易轉入至開口部22 1內。 然後，藉由進行乾燥作業等而對於噴出後之第2組成 物，進行乾燥處理，蒸發包含於第2組成物之非極性溶媒 ，正如第17圖所示，在正孔植入/輸送層2 2 0a上，形成 發光層220b。在該圖之狀態下，形成對應於藍色（B )之 發光層220b。 接著，正如第1 8圖所示，依序使用相同於前述藍色 (B )之發光層220b之狀態下之同樣作業，形成對應於其 他顏色（紅色（R)及綠色（G))之發光層220b。此外 ，發光層22 0b之形成順序係並非限定在例舉之順序，也 能夠以任何一種順序而形成。例如也可以配合發光層形成 材料而決定形成之順序。 如果在各個像素區域之每一個來形成發光層220b的 話，則結束發光層形成作業。 像以上這樣，在像素電極2 1 7上，形成功能層2 2 0、 也就是正孔植入/輸送層220a及發光層220b。接著，轉 移至對向電極形成作業（S 5 )。 在對向電極形成作業（S5)，正如第19圖所示，在 發光層220b和有機物庫層221b之整個面，例如藉由蒸鍍 法、濺鍍法、CVD法等而形成陰極209 (對向電極）。該 (26) (26)1222935 陰極209係在本實施形態，例如層積鈣層和鋁層而構成。 在該陰極209之上部，適當地設置A1膜、Ag膜或氧 化防止用之Si02、SiN等之保護層。 像這樣，在形成陰極2 0 9後，藉由利用密封構件而密 封該陰極209上部之密封處理或者是施加配線處理等之其 他處理等，以便於得到顯示裝置206。 像這樣所製造之EL裝置係可以利用在段節顯示或全 面同時發光之靜止畫面顯示、例如對於繪畫、文字、標籤 等之所謂低資訊領域之應用、或者是作爲具有點•線•面 形狀之光源。此外，可以藉由在驅動，使用以被動驅動之 顯示元件爲首之TFT等之主動元件，而得到高亮度且響 應性良好之全色顯示裝置。 正如以上，在本實施形態，特別是在使用擬塑性流體 之液狀體來作爲構成正孔植入/輸送層220a及發光層 2 2 0b之液狀體之狀態下，可以不加熱液狀體而使得液狀 體之黏度變小，因此，即使是高黏度之液狀體或無法加熱 之液狀體、甚至是高乾燥性之液狀體，也能夠穩定地由頭 頂噴出，能夠以所要求之噴出特性而製膜於基板上。結果 ，藉著由噴墨頭20所噴出之液狀體而製造之EL裝置係 能夠以所要求之形狀、大小而進行製膜，維持品質。 此外，在本實施形態，在不進行液狀體噴出之待機時 間內，進行對於液狀體之振動賦予，因此，能夠一直維持 噴墨頭20內之液狀體在低黏度。此外，兼用在由噴墨頭 20噴出液狀體時之所驅動之壓電元件92，來作爲形成不 -29- (27) (27)1222935 噴出液狀體之微振動波形W2之壓力產生手段，因此，不 需要另外設置振動賦予裝置，能夠造成裝置之小型化及低 價格化。此外，並無設置液狀體之加熱手段，因此，並無 一直到達既定溫度爲止之待機時間，具有良好之量產性， 並且，不需要在壓力產生手段，施加高電壓，所以，可以 使得壓力產生手段，成爲長壽命。 (第3實施形態） 以下，就第1實施形態之製膜裝置適用於電漿型顯示 裝置（以下、僅表記爲顯示裝置325)之製造裝置而作爲 本發明之第3實施形態之狀態，來進行說明。 第20圖係電漿型顯示裝置之要部分解立體圖。 此外，在同一圖，以切除一部分之狀態而表示顯示裝 置 3 2 5。 該顯示裝置3 2 5係包含：相互進行對向所配置之第1 基板3 26、第2基板3 27、以及形成於這些之間之放電顯 示部328而槪略構成。放電顯示部328係藉由複數個放電 室329所構成。這些複數個放電室329中之紅色放電室 3 2 9 ( R)、綠色放電室329(G)和藍色放電室329(B) 之3個放電室329係成爲組套而進行配置，來構成1個像 素0 在第1基板3 26之上面，以既定間隔而呈條紋狀地形 成位址電極330，形成介電質層331而覆蓋該位址電極 330和第1基板326之上面。在介電質層331上，立設位 (28) (28)1222935 處於各個位址電極3 3 0間並且沿著各個位址電極3 3 0之間 隔壁3 3 2。該間隔壁3 3 2係正如圖示，包含：延在於位址 電極3 3 0之幅寬方向兩側者以及延設在正交於位址電極 330之方向上之並未圖示者。 接著，藉由該間隔壁3 3 2所分隔之區域係成爲放電室 3 29 ° 在放電室329內，配置螢光體333。螢光體333係發 出紅（R )、綠（G )和藍（Β )之任何一種顏色之螢光， 分別在紅色放電室3 29 ( R)之底部，配置紅色螢光體333 (R)，在綠色放電室329(G)之底部，配置綠色螢光體 3 3 3 (G)，在籃色放電室329(B)之底部，配置藍色螢 光體 3 3 3 ( Β )。 在第2基板3 27之圖中下側之面，沿著正交於前述位 址電極3 3 0之方向，以既定間隔而呈條紋狀地形成複數個 顯示電極335。接著，形成介電質層336以及由MgO等 之所構成之保護膜337而覆蓋這些。 第1基板3 26和第2基板3 27係以位址電極3 3 0和顯 示電極3 3 5相互進行正交之狀態，來進行對向及貼合。此 外，前述位址電極330和顯示電極335係連接在並未圖示 之交流電源。 接著，可以藉由通電於各個電極330、335而在放電 顯示部328，使得螢光體333進行激發及發光，進行彩色 顯示。 在本實施形態，可以使用第1圖所示之製膜裝置1 〇 -31 - (29) (29)1222935 而形成前述位址電極330、顯示電極335以及螢光體333 〇 以下，例舉第1基板3 2 6之位址電極3 3 0之形成作業 〇 在該狀態下，該第1基板3 2 6係以載置於台座4 6之 狀態而進行以下之作業。 首先，在液滴噴出作業，使得包含導電膜配線形成用 材料之液狀體，成爲液滴而彈合於位址電極形成區域。該 液狀體係成爲導電膜配線形成用材料，將金屬等之導電性 微粒，分散於分散媒中，成爲擬塑性流體。做爲該導電性 微粒係使用含有金、銀、銅、鈀或鎳等之金屬微粒、或者 是導電性聚合物等。 即使是在該狀態下，正如前面敘述，設定驅動脈衝之 波形形狀，因此，能夠一直穩定地噴出液滴。 然後，藉由對於噴出後之液體材料，進行乾燥處理， 蒸發包含於液狀體之分散媒而形成位址電極330。 但是，在前面敘述，例舉位址電極3 3 0之形成，然而 ，即使是就前述顯示電極335以及螢光體333而言，也可 以藉由經過前述各個作業而形成。 在形成顯示電極3 3 5之狀態下，相同於位址電極3 3 0 之狀態，使得包含導電膜配線形成用材料之液狀體，成爲 液滴而彈合於顯示電·極形成區域。 此外，在形成螢光體3 3 3之狀態下，使得包含對應於 各種顏色（R、G、B )之螢光材料之液狀體，成爲液滴而 -32- (30) (30)1222935 由噴墨頭20噴出，彈合於對應之顏色之放電室3 29內。 像以上這樣，在本實施形態’特別是在使用擬塑性流 體之液狀體來作爲構成位址電極3 3 0或顯示電極3 3 5及螢 光體3 3 3之液狀體之狀態下，可以不加熱液狀體而使得液 狀體之黏度變小，因此，即使是高黏度之液狀體或無法加 熱之液狀體、甚至是高乾燥性之液狀體，也能夠穩定地由 頭頂噴出，能夠以所要求之噴出特性而製膜於基板上。結 果，藉著由噴墨頭20所噴出之液狀體而製造之電漿型裝 置3 2 5係能夠以所要求之形狀、大小而進行製膜，維持品 質。 此外，在本實施形態，在不進行液狀體噴出之待機時 間內，進行對於液狀體之振動賦予，因此，能夠一直維持 噴墨頭20內之液狀體在低黏度。此外，兼用在由噴墨頭 20噴出液狀體時之所驅動之壓電元件92，來作爲形成不 噴出液狀體之微振動波形W2之壓力產生手段，因此，不 需要另外設置振動賦予裝置，能夠造成裝置之小型化及低 價格化。此外，並無設置液狀體之加熱手段，因此’並無 一直到達既定溫度爲止之待機時間，具有良好之量產性， 並且，不需要在壓力產生手段，施加高電壓，所以’可以 使得壓力產生手段，成爲長壽命。 (第4實施形態） 以下，就第1實施形態之製膜裝置適用於例如FED ( 場發射顯示器）等之使用電子釋出元件之圖像形成裝置之 -33- (31) (31)1222935 製造裝置而作爲本發明之第4實施形態之狀態，來進行說 明。 就電子釋出元件之配列而言，可以採用各種。作爲某 一例係在兩端，連接呈並聯配置之許多電子釋出元件之各 個，配置許多個之電子釋出元件之行（稱爲行方向），在 正交於該配線之方向（稱爲列方向），藉由配置於該電子 釋出元件上方之控制電極（也稱爲柵極）而控制及驅動來 自電子釋出元件之電子之梯子狀配置者。除了這個以外， 還另外列舉：在X方向和Y方向，呈行列狀地配置複數 個電子釋出元件，將配置於相同行之複數個電子釋出元件 之電極之某一邊，呈共通地連接於X方向之配線上，將 配置於相同列之複數個電子釋出元件之電極之其他邊，呈 共通地連接於Y方向之配線上。此種係所謂單純矩陣配 置。首先，就單純矩陣配置而言，在以下，詳細地進行敘 述。 一般就電子釋出元件而言，具有3種特性。也就是說 ，來自表面傳導型電子釋出元件之釋出電子係能夠在臨限 値電壓以上，以施加於對向之元件電極間之脈衝狀電壓之 波高値和幅寬而進行控制。另一方面，在臨限値電壓以下 ，幾乎並無釋出。如果藉由該特性的話，即使是在配置許 多電子釋出元件之狀態下，如果適當地施加脈衝狀電壓至 各個元件的話，則也能夠配合輸入訊號而選擇表面傳導型 電子釋出元件，控制電子釋出量。 以下，根據前述原理，就配置複數個電子釋出元件所 -34- (32) (32)1222935 得到之電子源基板而言，使用第2 1圖而進行說明。 在第21圖，圖號471係電子源基板，圖號472係X 方向配線，圖號473係Y方向配線。圖號474係電子釋 出元件，圖號4 7 5係結線。 Μ條之X方向配線472係由Dxl、Dx2、......、Dxm所 構成，可以藉由使用真空蒸鍍法、印刷法、濺鍍法、液滴 噴出法等之所形成之導電性金屬等而構成。配線之材料、 膜厚、幅寬係適當地進行設計。Y方向配線47 3係藉由 Dyl、Dy2、……、Dym之η條配線所構成，相同於X方向 配線472而形成。在這些m條之X方向配線472和η條 之Υ方向配線4 73間，設置並未圖示之層間絕緣膜，呈 電氣地分離兩者（m、η係皆正整數）。並未圖示之層間 絕緣膜係藉由使用真空蒸鍍法、印刷法、濺鍍法等之所形 成之Si02等而構成。例如在形成X方向配線472之基板 4 7 1之整個面或一部分，以所要求之形狀而形成，特別是 適當地設定膜厚、材料、製法而能夠忍耐在X方向配線 4 72和Y方向配線473間之交差部之電位差。X方向配線 4 72和Y方向配線473係分別成爲外部端子而進行拉出。 構成電子釋出元件474之1對之元件電極（並未圖示 )係分別在m條之X方向配線4 7 2和η條之Y方向配線 4 7 3，藉著由導電性金屬等之所構成之結線475而呈電氣 地進行連接。構成配線472和配線473之材料、構成結線 4 7 5之材料以及構成1對之元件電極之材料係可以是該構 成元素之一部分或全部相同、或者是分別成爲不同。這些 -35- (33) (33)U22935 材料係例如藉由元件電極402、403 (參照第2圖）之材 料而適當地進行選擇。在構成元件電極之材料和配線材料 成爲相同之狀態下，連接於元件電極之配線係也可以稱爲 兀件電極。 在X方向配線472，連接施加用以選擇配列於X方向 上之電子釋出元件474之行之掃描訊號之並未圖示之掃描 訊號施加手段。另一方面，在Y方向配線473，連接用以 配合輸入訊號而調變配列於Y方向上之電子釋出元件474 之各列之並未圖示之調變訊號產生手段。施加於各個電子 釋出元件之驅動電壓係供應成爲施加於該元件之掃描訊號 和調變訊號間之電壓差。 在前述構造，可以使用單純之矩陣配線，選擇各個元 件，能夠獨立地進行驅動。 就使用此種單純矩陣配置之電子源所構成之圖像形成 裝置，使用第22圖而進行說明。 第22圖係顯示圖像形成裝置之顯示面板401之某一 例子之示意圖。 在第22圖，圖號471係配置複數個電子釋出元件之 電子源基板，圖號481係固定電子源基板471之背板，圖 號48 6係在玻璃基板4 8 3之內面而形成螢光膜484和金屬 背面485等之面板。圖號482係支持框，在該支持框482 ，使用熔合玻璃等而連接背板4 8 1、面板4 8 6。圖號4 8 8 係外圍器，例如藉由在大氣中或氮氣中，於4 〇 〇〜5 0 0 °C 之溫度範圍，進行1 0分鐘以上之燒結而進行密合所構成 -36- (34) (34)1222935 圖號474係電子釋出元件。圖號472、473係連接於 表面傳導型電子釋出元件之1對元件電極之X方向配線 和 Y方向配線。外圍器4 8 8係正如前面敘述’藉由面板 4 8 6、支持框4 8 2和背板4 8 1所構成。背板4 8 1係主要以 補強基板4 7 1之強度之目的而設置，因此，在基板4 7 1本 身具有充分強度之狀態下，可以不需要其他個體之背板 481。也就是說，可以在基板471 ’直接地密合支持框482 ，藉由面板486、支持框482和基板471而構成外圍器 4 8 8。另一方面，可以藉由在面板4 8 6和背板4 8 1間，設 置稱爲間隔件之並未圖示之支持體，而構成即使是對於大 氣壓也具有充分強度之外圍器488。 螢光膜4 8 4係可以在單色之狀態下，僅藉由螢光體而 構成。在彩色螢光膜之狀態下，可以藉由螢光體之配列而 由稱爲黑色條紋或黑色矩陣等之黑色導電材和螢光體（皆 並未圖示）來構成。設置黑色條紋、黑色矩陣之目的係在 彩色顯示之狀態下，藉由使得成爲必要之三原色螢光體之 各個螢光體間之分別塗敷部變黑而使得混色等，變得不顯 著，抑制由於螢光膜484之外光反射所造成之明亮度之降 低。作爲黑色導電材之材料係除了以通常使用之黑鉛作爲 主成分之材料以外，還可以使用具有導電性並且光透過及 反射少之材料。 在該狀態下，在玻璃基板4 8 3塗敷螢光體之方法，不 依賴單色、彩色，除了沉澱法或印刷法等之塗敷方法以外 -37- (35) (35)1222935 ’還可以採用使用第1實施形態所示之製膜裝置1 〇之噴 墨法。在螢光膜4 84之內面側，通常係設置金屬背面85 。設置金屬背面之目的係成爲：藉由將螢光體之發光中之 對於內面側之光，鏡面反射於面板4 8 6側，而提高亮度； 作用成爲用以施加電子束加速電壓之電極；以及，保護螢 光體而避免受到由於外圍器內之所產生之負離子撞擊而造 成之損傷等。金屬背面係可以藉由在螢光膜製作後，進行 螢光膜之內面側表面之平滑化處理（通常稱爲「成膜」） ，然後，使用真空蒸鍍等而堆積Α1，以便於製作金屬背 面。 在面板4 86，還提高螢光膜484之導電性，因此，可 以在螢光膜4 8 4之外面側，設置透明電極（並未圖示）。 在進行前述密合時，於彩色之狀態下，必須對應於各色螢 光體和電子釋出元件，使得充分之對位係變得不可或缺。 第22圖所示之圖像形成裝置係例如以下所示而進行 製造。 外圍器48 8內係適當地進行加熱，同時，藉由離子幫 浦、吸附幫浦等之不使用油之排氣裝置而通過並未圖示之 排氣管，進行排氣，在成爲1.3xl(T5Pa左右之真空度之 有機物質非常少之氣氛後，進行密封。爲了維持外圍器 488密封後之真空度，因此，也可以進行吸氣處理。這個 係在即將進行外圍器4 8 8密封前或密封後，藉由使用電阻 加熱或高頻加熱等之加熱而加熱配置於外圍器488內之既 定位置之吸氣器（並未圖示），形成蒸鍍膜之處理。吸氣 -38- (36) (36)1222935 器係通常以Ba等作爲主成分，藉由該蒸鍍膜之吸附作用 而維持例如1 . 3 X 1 0 _5 P a以上之真空度。在此，可以適當 地設定電子釋出元件之成形處理以後之作業。 顯示面板401係透過端子D。^至DQxm、端子DQyi至 D。^及高壓端子487而連接於外部之電氣電路。在端子 D。^至D^m，施加用以依序地驅動每1行（η元件）設置 在顯示面板401內之電子源、也就是呈m行η列之行列 狀地進行矩陣配線之電子釋出元件群之掃描訊號。在端子 D〇yl至D。^，施加用以控制藉由前述掃描訊號所選擇之1 行電子釋出元件之各個元件之輸出電子束之調變訊號。在 高壓端子48 7，藉由直流電壓源而供應例如10kV之直流 電壓，但是，這個係用以對於由電子釋出元件所釋出之電 子束來賦予用以激發螢光體之充分能量之加速電壓。 在能夠適用可以得到此種構造之本發明之圖像形成裝 置，藉由在各個電子釋出元件，透過容器外端子i至 DcXm、端子D。^至D。^而施加電壓’以便於產生電子釋 出。透過高壓端子487而對於金屬背面485或透明電極（ 並未圖示）’施加高壓’加速電子束。加速之電子係撞擊 於螢光膜484，產生發光而形成圖像。 像以上這樣，在本實施形態，特別是在使用擬塑性流 體之液狀體來作爲含有構成螢光膜484之螢光體之液狀體 之狀態下’可以不加熱液狀體而使得液狀體之黏度變小’ 因此，即使是高黏度之液狀體或無法加熱之液狀體、甚至 是高乾燥性之液狀體，也能夠穩定地由頭頂噴出’能夠以 -39- (37) (37)1222935 所要求之噴出特性而製膜於基板上。結果，藉著由噴墨頭 20所噴出之液狀體而製造之圖像形成裝置401係能夠以 所要求之形狀、大小而進行製膜，維持品質。 此外，在本實施形態，在不進行液狀體噴出之待機時 間內，進行對於液狀體之振動賦予，因此，能夠一直維持 噴墨頭2 0內之液狀體在低黏度。此外，兼用在由噴墨頭 20噴出液狀體時之所驅動之壓電元件92，來作爲形成不 噴出液狀體之微振動波形W2之壓力產生手段，因此，不 需要另外設置振動賦予裝置，能夠造成裝置之小型化及低 價格化。此外，並無設置液狀體之加熱手段，因此，並無 一直到達既定溫度爲止之待機時間，具有良好之量產性， 並且，不需要在壓力產生手段，施加高電壓，所以，可以 使得壓力產生手段，成爲長壽命。 此外，本發明係並非限定於前述實施形態，可以在不 脫離申請專利範圍之範圍內，進行各種變化。 例如在前述實施形態，作爲壓力產生裝置係成爲藉由 壓電元件之驅動而由頂頭噴出油墨之構造，但是，即使是 成爲在頂頭內設置加熱器（氣泡產生裝置）並且在控制裝 置之控制下、藉由加熱器之加熱所產生之氣泡而噴出油墨 之構造，也可以適用。可以在該狀態下，於不噴出油墨之 待機時間，藉由在不噴出油墨之範圍內，連續地實施加熱 器之驅動•停止，伸縮氣泡，而賦予振動至油墨，能夠得 到相同於使用前述壓電元件之狀態下之同樣之作用•效果 -40- (38) (38)1222935 此外，在前述實施形態以外，也可以將製膜裝置，適 用在例如印字•製膜於用紙等之印表機（繪圖機）。 此外，如果供應金屬材料或絕緣材料至本發明之製膜 裝置的話，則除了前述實施形態以外，也能夠進行金屬配 線或絕緣膜等之直接之微細圖案化，也可以應用在新的高 功能裝置的製作。 此外，在前述實施形態，在便利上，稱爲「噴墨裝置 」及「噴墨頭」，以噴出之噴出物作爲「油墨」而進行說 明，但是，由該噴墨頭所噴出之噴出物係並無限定在所謂 油墨，可以調整成爲由頂頭噴出作爲液滴者，例如可以說 是包含前述EL裝置之材料、金屬材料、絕緣材料或半導 體材料等之各種材料。 此外，圖示之製膜裝置之噴墨頭20係可以噴出R( 紅）、G (綠）和B (藍）內之1種油墨，但是，當然也 可以同時噴出其中之2種或3種油墨。此外，製膜裝置 1 〇之第1移動手段14和第2移動手段1 6係使用線性馬 達，但是，並非限定於此，也可以使用其他種類之馬達或 執行器。 【圖式簡單說明】 第1圖係構成第1實施形態之濾光片製造裝置之製膜 裝置之槪略外觀立體圖。 第2A圖及第2B圖係顯示噴墨頭之構造之圖；第2A 圖係頂頭本體之外觀立體圖，第2B圖係部分擴大圖。 -41 - (39) (39)1222935 第3圖係顯示關於噴墨頭之驅動控制系統及油墨供應 系統之圖。 第4圖係噴出波形圖和該噴出波形對應於各個訊號要 素之油墨室之動作圖。 第5圖係微振動波形圖和該微振動波形對應於各個訊 號要素之油墨室之動作圖。 第6圖係顯示藉由施加驅動電壓至壓力產生手段之驅 動電壓施加之所造成之一連串之驅動波形之變遷之圖。 第7圖係顯示流體之偏離速度和黏度間之關係之圖。 第8A圖〜第8F圖係顯示使用基板而製造彩色濾光 片之順序之某一例子之圖。 第9圖係顯示基板和基板上之彩色濾光片區域之一部 分之圖。 第1 0圖係第2實施形態之顯示裝置之要部剖面圖。 第1 1圖係說明第2實施形態之顯示裝置之製造作業 之流程圖。 第1 2圖係說明無機物庫層之形成之作業圖。 第1 3圖係說明有機物庫層之形成之作業圖。 第1 4圖係說明形成正孔植入/輸送層之過程之作業 圖。 第1 5圖係說明形成正孔植入/輸送層之狀態之作業 圖。 第1 6圖係說明形成藍色發光層之過程之作業圖。 第1 7圖係說明形成藍色發光層之狀態之作業圖。 -42- (40) (40)1222935 第1 8圖係說明形成各色發光層之狀態之作業圖° 第1 9圖係說明陰極形成之作業圖。 - 第20圖係第3實施形態之顯示裝置之要部分解立體 圖。 * 第2 1圖係顯示第4實施形態之單純矩陣配置之電子 源之某一例子之示意圖。 第22圖係顯示第4實施形態之圖像形成裝置之顯示 面板之某一例子之示意圖。 $ 〔圖號說明〕 A :區間 B :區間 C :區間 D :區間 E :區間 F :區間 a 1 :正斜率波形部 # a2 :負斜率波形部 b 1 :正斜率波形部 b3 :負斜率波形部 D〇xi 〜D〇xm · 子 D 〇 y 1 〜D。y η · 而子 T :既定時間 t A :待機時間 -43- (41) (41)1222935 tc :待機時間 tE :待機時間 t2 :發訊時間 v h :施加電壓 V 1 :施加電壓 w 1 :噴出波形（第1訊號） W2 :微振動波形（第2訊號） 10:製膜裝置（噴墨裝置） 12 :基底 12A :後部 12B :前部 1 4 :第1移動手段 1 6 :第2移動手段 1 6 A :支柱 16B ：柱 2 0 :噴墨頭（液滴噴出裝置） 20P :油墨噴出面 22 :頂蓋單元 24 :淸潔單元 2 5 :油墨槽 2 6 :油墨通路 2 7 :噴墨頭驅動裝置 2 8 :控制裝置 29 :吸引手段 -44 (42) (42)1222935 3 〇 :廢液槽 40 :導軌 42 :滑件 44 : 0軸用馬達 46 :座台（台階） 46 A :孔 4 8 :基板 5 0 :吸附保持手段 5 2 :預備噴出區域 60 :滑件 62 :馬達 6 2 A :導軌 64 :馬達 66 :馬達 6 8 :馬達 8 5 :金屬背面 90 :頂頭本體 91 :噴嘴 92 :壓電元件（壓電元件、壓力產生裝置） 93:油墨室（壓力產生室） 9 9 :液滴 105:彩色濾光片區域 1 10 :黑色矩陣 1 1 2 :濾光片元件 -45- (43) (43)1222935 120 :保護膜 1 3 0 :透明電極 206 :顯示裝置 206’ ：顯示裝置本體 2 0 7 :電路元件部 208 :發光元件部 209 :陰極 2 1 0 :基板 2 1 1 :底層保護膜 2 1 2 :島狀半導體膜 2 1 2 a :源極區域 2 1 2 b :汲極區域 2 1 2 c :通道區域 2 1 3 :透明閘極絕緣膜 2 1 4 :閘極電極 2 1 5 a :透明第1層間絕緣膜 2 15b :第2層間絕緣膜 2 1 6 a ·接觸孔 2 1 6 b :接觸孔 2 1 7 :透明像素電極 2 17a：電極面 2 1 8 :電源線 2 1 9 :驅動用薄膜電晶體 2 2 0 :功能層 (44) (44)1222935 220a :正孔植入/輸送層 2 2 0 b :發光層 221 :庫部 221a:無機物庫層（第1庫層） 2 2 1 a ’ ：第1層積部 221b:有機物庫層（第2庫層） 2 2 1 s :壁面 2 2 11 :上面 222 :開口部 3 2 5 :顯示裝置 3 2 6 :第1基板 3 2 7 :第2基板 3 2 8 :放電顯示部 3 29 :放電室 3 29 (B):藍色放電室 329 (G):綠色放電室 3 29 ( R ):紅色放電室 3 3 0 :位址電極 33 1 :介電質層 3 3 2 :間隔壁 3 3 3 :螢光體 3 3 3 (B):藍色螢光體 3 3 3 (G):綠色螢光體 3 3 3 ( R):紅色螢光體 -47- (45) (45)1222935 3 3 5 :顯示電極 3 3 6 :介電質層 3 3 7 :保護膜 4 0 1 :顯示面板 4 0 2 :元件電極 4 0 3 :元件電極 4 7 1 :電子源基板 472 : X方向配線 4 7 3 : Y方向配線 474 :電子釋出元件 4 7 5 :結線 4 8 1 :背板 4 8 2 :支持框 4 8 3 :玻璃基板 484 :螢光膜 4 8 5 :金屬背面 4 8 6 :面板 4 8 7 :高壓端子 4 8 8 :外圍器

Claims (1)

1. (1) (1)1222935 拾、申請專利範圍 1 · 一種製膜裝置的驅動方法，其特徵爲：係賦予振動 至液狀體而噴出液滴之製膜裝置的驅動方法，藉由噴出前 述液滴之第1訊號和不噴出前述液滴並且對於前述液狀體 來賦予使得該液狀體成爲低黏度之偏離速度之第2訊號而 控制前述振動。 2 ·如申請專利範圍第1項所記載之製膜裝置的驅動方 法，其中，前述第2訊號係在發訊前述第1訊號前，進行 發訊。 3 .如申請專利範圍第1項所記載之製膜裝置的驅動方 法，其中，前述第2訊號係在發訊前述第1訊號後，進行 發訊。 4 ·如申請專利範圍第1項所記載之製膜裝置的驅動方 法，其中，前述第2訊號係在發訊前述第丨訊號後而一直 到再度發訊前述第1訊號爲止之間，進行至少一次發訊。 5 ·如申請專利範圍第1項所記載之製膜裝置的驅動方 法，其中，前述第2訊號係在發訊前述第丨訊號後而一直 到再度發訊前述第1訊號爲止之時間間隔更加短於既定時 間之狀態下，不進行發訊。 6 ·如申請專利範圍第1項所記載之製膜裝置的驅動方 法’其中，前述液狀體係非牛頓性之擬塑性流體。 7 . —種裝置的製造方法，其特徵爲··係具有藉由液滴 噴出裝置而噴出液滴來製膜於基板上之製膜作業之裝置的 製造方法，使用如申請專利範圍第1項至第6項中任一項 -49- (2) (2)1222935 所記載之製膜裝置的驅動方法而進行前述製膜作業。 8·—種製膜裝置，其特徵爲：係藉由具有賦予振動至 液狀體之壓力產生室之液滴噴出裝置而噴出液滴之製膜裝 置；在前述壓力產生室，具備壓力產生手段；具有藉由噴 出前述液滴之第1訊號和不噴出前述液滴並且對於前述液 狀體來賦予使得該液狀體成爲低黏度之偏離速度之第2訊 號而控制前述壓力產生手段來賦予振動至前述液狀體的控 制裝置。 9.如申請專利範圍第8項所記載之製膜裝置，其中， 前述液狀體係非牛頓性之擬塑性流體。 1 0 ·如申請專利範圍第8項所記載之製膜裝置，其中 ，前述壓力產生手段係賦予振動至前述壓力產生室而噴出 前述液滴之壓電元件。 1 1 ·如申請專利範圍第8項所記載之製膜裝置，其中 ，前述壓力產生手段係具有：在前述液狀體產生氣泡而噴 出前述液滴之氣泡產生裝置以及控制前述氣泡產生裝置之 驅動而伸縮前述產生之氣泡之控制裝置。 12·—種裝置的製造裝置，其特徵爲：係具有藉著由 液滴噴出裝置所噴出之液滴而製膜於基板上之製膜裝置之 裝置的製造裝置；作爲前述製膜裝置係使用如申請專利範 圍第8項至第1 1項中任一項所記載之製膜裝置。 1 3 . —種裝置，其特徵爲：係藉由如申請專利範圍第 12項所記載之裝置的製造裝置而進行製造。 -50-