TWI222428B - Treatment process for fluorine-containing water - Google Patents

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(發明說明驗明:發贿屬之技術領域 '先前技術、內容、實施方式及圖式簡單說明） 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 發明領域 本發明係、關於-種含氟水之處理方法。本發明 特別係關於由電子部件等生產過程排放含氟廢水中 5 去除氟之處理方法。 半導體製造、化學肥料生產、陶t、商用紹等 產業使用氟化氫或包括可產生氟化氫之生產步驟， 因此廢水含氟。本發明建立—種由加強環保措施及 有效利用近年來普„源觀點看來，處理含氟水之 10 有效技術。 【先前3 相關技術之說明 近年來透過國豕的環保法令特別水質例如水污 染防治法案以及透過區域及當地公告已經建立多種 15化學物質的排放標準’其規定廢水中污染物質濃度 需低於指定及標準冑，且|求整體廢水之水處理。 氟為種當於向濃度存在於排放廢水時已知可擾亂 生態平衡之物質，因此由產業觀點看來去除氟之廢 水處理場相當重要。 10 習知去除氟之廢水處理例如述於日本專利公開 案第5-253576號涉及將含氟水導入填充以碳酸鈣之柱 而固定氟為氟化鈣。特別如第丨圖所示，含氟水藉輸 送泵2由水槽1被導入填充以碳酸鈣之柱19，及氟於 柱内部轉成氟化鈣。但因鈣化合物於填充柱之固 0續次頁（發明麵頁不敷麵時，謙記纖用續頁） 6〆 1222428 發明說明_頁 圖所示於 玖、發明說明 化現象，以及水之槽道流現象，亦即如第2 填充柱形成部份不平衡且出現水流槽道，並未反鹿 鈣之總量，故常發生處理功能異常，因而於等量反 應前達到突破。此外，細粒鈣化合物流入處理水中 5 ，對儀器及後期處理設備造成不良影響。 此外因氟化氫係於半導體製造、化學肥料生產 、陶瓷、商用鋁及其他產業之生產步驟使用或產生 ，故也排放含氟廢水。 通书採用凝結;殿積藉此使含氟廢水與I弓鹽如氫 10 氧化鈣（Ca(0H)2)反應生產不可溶氟化鈣（CaF2) ，其固定氟，然後藉重力分開固體與液體部份。 第3圖顯示此種習知例（例如參考日本專利公開 案第8-197070號）。含氟廢水儲存於水槽51。於第一 反應槽52中’添加鈣鹽6〇如氫氧化鈣而於？11 6_1〇下 15 生產氟化劈。添加過量#5鹽而減少廢水之氟含量， 第二反應槽53中，包含鋁、鐵或其他化合物之無機 黏結劑61添加至其中促進不可溶氟化鈣的產生。酸 或鹼添加至pH調節槽54而進一步促進κρΗ 6_8之氟 化_的產生’然後包含聚丙烯醯胺部份水解產物之 20 有機凝結劑62添加至凝結槽55而增加產物的澱積。 然後處理後之廢水導入澱積槽56及於槽内藉重力完 成固/液分離。 為了促進於第一反應槽52及第二反應槽53之結 晶，通常採用一種方法其中沈積淤渣75經導管13送 0續次頁（翻翻頁不敷使卿，請註記雌臟頁） 7少 1222428 發明說明續頁 槽56分離 玖、發明說明 返第一反應槽52作為結晶核。部份於澱積 的淤渣被送返，同時其餘淤渣輸送至淤渣貯槽57及 藉脫水機58脫水，脫水後之餅59當作產業廢料處理 〇 5 因上清液水含有於最初階段生產之不可溶氟化 舞，故其輸送至稍後階段處理裝置。於澱積槽56未 沈積之不可溶氟化鈣經填充以沙等之過濾柱68而由 儲存槽67清除。又為了清除廢水之剩餘氟，廢水於 填充以吸附劑之吸附柱70處理，吸附劑例如散布有 1〇 金屬離子如錘之樹脂其與氟離子形成螯合化合物或 活性鋁氧。排放係於pH調整槽71κρΗ調整後進行俾 便符合排放標準。第3圖中，69為經過濾之水槽，其 係作為過濾處理水緩衝器及用於水品質監控，72為 儲存槽，其係作為經過pH調整處理之水緩衝以及用 15 於監控水品質。 如此藉習知凝結澱積處理含氟廢水需要添加過 量鈣鹽及添加大量凝結劑，如此提高處理成本。改 良凝結方法中，其中澱積槽之部分沈積淤渣返回第 一反應槽且用作結晶核，凝結劑為可抑制結晶化之 20因子。由第一反應槽載運之氟化鈣與鋁及其他添加 至第二反應槽作為無機凝結劑之化合物反應，如此 引起膠凝及結晶化的進行。結果，雖然使用不含凝 結劑處理氟化㈣淨較為有效。但因氟㈣未沈積 於澱積槽故需添加凝結劑。 0續次頁（翻說類不酸觸，請_並使職頁） 1222428 玫、發明說明 發明說明續頁 於固體不溶性氟化鈣產物藉重力澱積於液體分 碣糸、先中無法防止不溶性氟化#5流入上清液水（ 通吊20-50毫克/升），如此需要後期階段之過濾設備 。沙濾等用於後期階段過濾設備，但要求定期洗滌 5 操作。 此外於下述處理藉此使鈣鹽及凝結劑添加至含 氟廢水及不可溶氟化鈣鹽藉重力分離時，較多殘餘 氟保留於廢水，而需於吸附柱處理。 此外由習知處理設備排放之淤渣之脫水性質不 10 良，原因為添加凝結劑及處理脫水餅要求成本遠更 南。若淤渣之氟化鈣純度高，則可有效用於提供補 充4貝值，例如作為氟化氫生產材料；但因於渣含有 凝結劑成分及廢水含有雜質如二氧化矽，故無法達 到95%左右之咼純度，因此即使可有效利用，唯一選 15 擇之補充價值低者例如膠黏劑之增量劑。 澱積步驟期間，固/液分離係藉重力殿積完成， 故需大容積澱積且需大空間。 L發明内容3 發明概述 20 因此本發明之目的係經由提供一種方法解決前 述先前技術之第一問題，該方法允許極有效的處理 含氟水而未造成鈣化合物固化或通過水之槽道流動 現象，且不會造成該化合物之細粒流入處理水。 為了達到此目的’本發明提供一種處理含氣水 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁） 9 發明說明續頁 含氟水中 玖、發明說明 之方法’係經由含氟水接觸碳酸鈣而反應 之氟與碳酸鈣及固定為氟化鈣，該方法包含添加碳 酸鈣粒子至含氟水，及循環該混合物通過分離膜裝 置，同時經由分離膜裝置抽取出氟經去除的處理水 ，及將含氟水供給循環系統用於將碳酸鈣轉成氟化 根據本發明為了解決前述先前技術之第二問題 ，固/液分離係藉過濾、離心、蒸氣冷凝、漂浮等完 成，而非仰賴含氟水之氟與鈣鹽反應生產之氟化鈣 藉重力澱積，及部份濃縮淤渣返回反應槽且用作結 晶核來降低含氟水之氟濃度。 如此本發明之另一目的係於處理含氟水之方法 中，為了完成使用較廉價變動成本處理，涉及未使 用無機或有機凝結劑，以及降低所得氟化鈣餅之水 含篁，係透過較高程度達到有效利用之更寬廣之用 途範圍及減少所需空間。 為了達成本目的，本發明提供一種處理含氟水 之方法，係經由含氟水與鈣鹽於反應槽接觸而反應 含氟水中之氟與鈣鹽且固定為氟化鈣，然後完成固/ 液分離及去除處理後之水，同時將藉固/液分離濃縮 之。P刀；^查返回反應槽，該方法包含利用選自過遽 、/辰縮、蒸氣冷凝及漂浮分離手段完成固/液分離。 根據本叙明無須使用有機或無機凝結劑來處理 含氟水。 _次頁（翻說類不麵時，纖記雌纖頁） 發明說明#；!； 玖、發明說明 圖式之簡單說明 用於與第 第1圖為I知含氟水處理方法之系統圖 一發明比較。 第2圖為經由第1圖所示習知含氟水處理方法水 通過之槽道化流動現象之示意圖。 第3圖為習知處理方法之示意系統圖用於與第二 發明比較。 第4圖為系統圖顯示根據第一發明之含氣水處理 方法之具體例。 • () 5(b)及5(c)圖為根據第一發明用 於含氟水處理方法之分離膜裝置之具體例之略圖。 图為系統圖顯示根據第一發明處理含氟水方 法之另一具體例。 、、第7圖為系統圖顯示根據第-發明處理含氟水方 法之又另一具體例。 第8圖為系統圖顯示根據第-發明處理含氟水方 法之又另一具體例。 第9圖根據第二發明之處理方法之示意系統圖。 第1〇圖為線圖顯示參考實例㈣結果。 第U圖為線圖顯示參考實例2的結果。 (㈧12 ( b)及12 ( c)圖為用於實例2之 k濾裝置之示意圖。 第13圖為線圖顯示實例2的結果。 第14圖為用於實 0續次頁(發明說_不敷使用卜、，慮裝置之不思圖。 敷賴時，請註記並使臟頁） 1222428 玖、發明說明 發明說明續頁 第15圖為第14圖之裝置之部分放大視圖。 【實施方式3 較佳具體例之說明 現在參照附圖說明本發明之較佳具體例。 5 第4圖為系統圖顯示根據本發明之含氟水處理方 法之具體例。碳酸鈣粒子添加至含氟水作為起始水 ’且存在於循環槽3，分離膜裝置5及循環導管13之 循環中。起始水藉輸送泵2由起始水槽丨輸送至循環 槽3，同時利用循環泵4循環通過由循環槽3 ,分離膜 10 裝置5及擔％導管13組成之循環系統，起始水與循環 通過循環系統之碳酸鈣反應，處理後之清澈水由分 離膜裝置5輸送至處理後之水槽9，於此處藉輸送泵 1 〇排放作為處理後之水。此處起始水之輸送及處理 後水之排放連續至糸統藉氟與碳酸約間之反應進行 15 突破為止。分離膜裝置5例如第5 (a) _ (C)圖所示 為交叉流動型裝置43 (第5 (c)圖）含有聚酯纖物 製作成圓筒52，直徑約12厘米（第5 (a)圖），3根 於PVC管43之圓柱具有内部直徑約35毫米（第5 (b) 圖）。 20 根據本發明方法，碳酸#5與氟之反應係於循環 槽3，分離膜裝置5及循環導管13組成之循環系統進 行，此處如示例說明，#5化合物連同恰通過分離膜 裝置之待處理水與其循環，處理後之澄清水單獨通 過分離膜且被輸送至處理後水槽；結果不可能由於 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁） 12 玖、發明說明 發明說明續頁 舞化合物固化及水之槽道流出現處理不完全之問題 以及可大為減少4弓化合物細粒流入處理水。此外 ’本發明方法無須使用凝結劑，因此處理過程可生 產高純度氟化鈣，故氟化鈣可用作氟來源用於需要 高純度氟化鈣之用途，例如生產氟酸。 當含氟水之處理係於具有第4圖所示結構之裝置 連續進行時不會導致系統的突破，因此可以下述方 式完成，起始水由起始水槽丨藉輸送泵2連續供給循 環槽3 ’如第6圖所示，氟及碳酸鈣與包含循環槽3， 分離膜裝置5及循環導管13，及處理後之澄清水由分 離膜裝置5輪送至處理後水槽9，及處理後之水藉輸 送泵10連續排放作為處理後之水，同時碳酸鈣由碳 酸鈣儲存槽21藉碳酸鈣供給泵2〇連續供給循環槽3， 氟化鈣由循環槽3藉氟化鈣抽取泵22連續抽取入氟化 鈣儲存槽23。 進行此種本發明方法時，處理可於一連串2、3 或多個循環系統進行，例如前述。例如如第7圖所示 ，碳酸鈣粒子可添加至含氟起始水，且存在於及循 環於循環槽3，分離膜裝置5 ,循環導管13及存在於 循環槽6，分離膜裝置8及循環導管14。此種情況下 ，起始水由起始水槽1藉輸送泵2輸送至循環槽3，同 時於循環槽3，分離膜裝置5及循環導管13組成之循 %系統藉循環泵4循環，起始水與循環系統内循環的 石反馱鈣反應，及經處理之澄清水由分離膜裝置5輸送 _次頁(發麵類不敷使觸，註記並使麵頁） 1222428 玖、發明說明 發明說明續頁 至循環6;又當其餘循環槽6,分離膜裝置 管14組成之循環系統藉循環泵7循環時，其再度與於 此種循環系統循環之碳酸鈣反應，經處理之澄清水 由分離膜裝置8輸送至處理後水槽9，及藉輸送聚 5 排放作為處理後之水。此處分離膜裝置8具有前述分 離膜裝置5之相同構造。 第8圖所示具體例中，循環槽6也座落於分離膜 裝置8後方，如此接著為另一循環系統，其係由循環 泵7，分離膜裝置8及循環導管24組成，且進一步連 1〇 結成一串。 即使使用由2、3或多循環系統串聯連結之裝置 ,仍可藉由以第6圖所示方式適當配置碳酸鈣供給系 統及氟化鈣抽取系統而完成連續處理，同時概略維 持處理後水之水質穩定。 15 另外第7及8圖所示裝置具體例可用於循環方式 連續處理。舉例言之，第7圖所示裝置處理中，監控 來自分離臈裝置8之處理後之水之氟濃度變化，於達 到突破前循環開關導管16切換成循環開關導管u， 於由循環槽3，循環泵4，分離膜裝置5及循環導管13 20 組成之第一階段循環系統之鈣化合物以新鮮製備之 碳酸鈣替代，此時循環開關導管18被切換至循環開 關導管12，起始水之流動指令由循環槽6 ,循環泵7 ，分離膜裝置8及循環導管14組成的第二階段循環系 統切換至第一階段循環系統。藉此方式連續切換流 0續次頁（翻說明頁不敷使臟，註記雌臟頁） 14 1222428 玫、發明說明 發明說目®胃 動指令’可完成連續處理而未增高處理後-- 度。顯然第8圖所示裝置中，流動指令可以相同方式 連續切換而允許以循環方式工作。 現在進一步說明第二發明之較佳具體例。 5 後文說明係有關含氟廢水作為含氟水之處理實 例。 第9圖為根據第二發明之方法之示意系統圖。含 氟廢水儲存於起始水槽76。反應槽77中添加鈣鹽％ 之氫氧化鈣，含氟廢水之pH調整至4_1〇而產生氟化 1〇 鈣。PH調整槽78中，藉加酸87或鹼88至促進氟化鈣 結晶的濃度而調整pH，及然後廢水於濃縮裝置79進 行固/液分離，濃縮後之淤渣轉運至淤渣儲存槽81及 使用脫水機82脫水。部份濃縮的淤渣經導管料送返 反應槽77且利用作為反應槽77之氟化鈣結晶用核。 15 此處結晶作用可被有效促進，促進方式係經由儲存 送返的淤渣8結晶作用可被有效促進，促進方式係經 由儲存送返的淤渣85及含氟廢水92於儲存槽9〇，添 加#5鹽91 ’生長氟化舞晶體作為結晶用核，及將晶 體送返反應槽77;此種方法於含氟廢水89之氟離子 20 濃度低時特別有效。鈣鹽91之添加量較佳略高於含 氟廢水92之氟離子當量，例如約ι·2當量，載入儲存 槽90之含氟廢水92較佳佔含氟廢水89總量之2〇%。又 返回之淤渣量較佳佔產生之淤渣總量至約1〇-4〇0/()。 於返回淤渣之低氟離子濃度或淤渣濃度之例， 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁） 15 1222428 玖、發明說明 發明說明續頁 含氟廢水89可添加至儲存槽9〇。 使用之濃縮裝置79為可進行由反應槽77排放出 之含氟化鈣廢水之固/液分離功能之裝置，且係基於 過濾、濃縮、蒸氣冷凝或漂浮等方式分離。當固/液 5 分離係藉重力澱積完成時，氟化鈣晶體必須具有大 比重’需要添加凝結劑，但基於過濾、離心、蒸氣 冷凝或漂浮等濃縮手段可達成分離而未使晶體生長 ，因此凝結劑的添加變成無此需要。 藉過遽進行固/液分離手段之一例為膜分離方法 10 。使用之膜為超濾（UF )膜、微濾（MF )膜，粗濾 器等。 現在將舉例說明本發明之進一步細節。 實例1 具有氟濃度1000毫克/升及ρΗ4·0之含氟廢水使 15 用第7圖所示處理系統系列處理作為起始水。處理條 件如下。 ① 起始水槽1及處理水槽9 : 200升，聚乙烯材料 ② 輸送泵2及處理水泵1〇 : 30升/小時，磁鐵泵 ③ 循環槽3及循環槽6 : 50升，聚乙烯材料 20 ④循環泵4及循環栗7 : 4立方米/小時，磁鐵泵 ⑤分離膜裝置5及分離膜裝置8:交叉流型分離 膜裝置（第5(a) -5(c)圖）聚酯膜，過濾壓〇.% 1.5千克/平方厘米，過濾流速1米/秒，循環容積34立 方米/小時 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁） 16 玖、發明說明 發明說明續頁 ⑥碳酸鈣：粒徑分佈0 3-0.5毫米31.6% )、0.2-〇·3毫米（35.8%)、<0.2毫米 32.6%)。 酸鈣循環通過循環槽3、循環泵4、分離膜裝置5 及循環導管13及循環槽6、循環泵7、分離膜裝置8及 循環導管14。首先，處理方式係經由使起始水通過 第一階段循環系統產生氣體，及引發反應藉此使水 内之氟被固定為氟化鈣，獲得滿意的水質SS$2毫克/ 升’得自分離膜裝置5之處理水未含細粒。其次當處 理水通過第二階段循環系統用於進一步去除氟時， 知*自分離膜裝置8之處理水也具有滿意的水質SSS2 亳克/升，及氟濃度極低為5毫克/升。回收之氟化鈣 也具有南純度。 於本實例為了連續處理起始水，使用循環系統 因此基於來自分離膜裝置8之處理後之水中氟濃度的 變化，由循環槽3、循環泵4、分離膜裝置5及循環導 官13組成之第一階段循環系統内之鈣化合物以新鮮 製備碳酸鈣替代，起始水之流動指令由第二階段循 %系統（由循環槽6、循環泵7、分離膜裝置8及循環 導管14組成）切換至第一階段循環系統允許連續處 理而不會提高處理水之氟濃度。換言之，處理係使 用包含兩個系統以循環方式串聯連結組成的循環系 統完成，因此可連續穩定去除起始水中之氣。 又如第（a)至第5 (c)圖說明’新鮮碳酸鈣可 連續供給，而循環鈣化合物被定量抽取出。如此即 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁） 1222428 玖、發明說明 發明說明續頁 使未使用循環系統仍可允許起始水中之貌連續穩定 地去除。 此處處理用之碳酸鈣可具有任何粒徑大小及粒 瓜刀佈。使用之分離膜可為共通分離膜或微據（Μρ 5 )或超濾、（UF)膜。 如前文說明，根據第一發明之含氟水處理方法 允β午穩疋清除氟而處理後之水未含細粒。因此提供 使用氟酸與排放含氟水產業之一大貢獻，且可用於 保護天然環境。 10 參考例1 以下述方式進行參考例1來驗證本發明之效果。 廢水模式製備成含有200毫克/升、1〇〇毫克/升、 50毫克/升及20毫克/升氟離子，添加氫氧化鈣（ Ca(OH)2)時，測量廢水中之氟離子殘量濃度。此時 15 使用氫氧化鈉（NaOH)將PH調整至6-8之範圍。結 果示於第10圖。 根據第10圖，含高氟離子濃度2〇〇毫克/升、1〇〇 笔克/升之廢水即使僅添加小量鈣鹽也顯示氟離子濃 度即刻下降，指示氟離子與添加鈣鹽產生之鈣離子 20 間有效反應而沈澱不溶性氟化鈣（CaF2)。它方面， 可藉含低氟離子濃度50毫克/升、2〇毫克/升之廢水可 未添加過量鈣鹽而獲得廢水氟離子濃度之不再降低 〇 雖然其機轉細節尚未完全明瞭，但推定如後。 0續次頁(翻晒頁不敷使鱗，請註記並使職頁） 18 &、發明說明 翻麵續頁 換言之，當氟離子濃度高時，即使僅微量飼離子， 不可溶氟化1¾沈殿，沈㈣氟化㈣成結晶用核用 於結晶至殘餘I離子濃度低為止。相反地，相信當 氟離子濃度低時’初結晶化被延遲，故即使過量添 加鈣鹽，氟離子仍保留於廢水。 參考例2 發明人進行參考例2來確證前述觀察。 於含氟離子濃度20毫克/升及鈣離子濃度32〇毫 克/升之廢水模式中緩慢添加含氟化約溶液，該溶液 製備成含500毫克/升氟濃度及毫克/升鈣濃度。此 時PH使用氫氧化鈣（Na〇H)調整至心8之範圍。結 果顯示於第11圖。 根據第11圖，當氟離子濃度為20亳克/升時，於 參考例1條件下，廢水中之氟離子濃度並未減低，但 微i添加氟化舞作為結晶核，氟離子變成不可溶之 氟化鈣，結果導致廢水之殘餘氟離子降低。 又藉由比較第10圖及第11圖可知，根據先前技 術氟離子濃度降至5毫克/升需要殘餘鈣離子濃度為 100毫克/升（第10圖），但根據本發明方法，殘餘鈣 離子》辰度僅20¾克/升（第11圖），顯示本發明可使用 較低量鈣鹽。 前述參考例1及參考例2僅驗證本發明原理，而 絕非表示本發明使用之設計或作業條件限制。 實例2 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁) 發明說明續頁 玖、發明說明 使用例如第9圖所示裝置。本實例係有關根據本 發明之含氟水處理方法，但示例說明之方法絕非囿 限本發明。 5 本實例中，固/液分離係使用粗濾器過濾完成。 粗據器使用聚酯，聚乙烯基氣，聚乙稀醇，聚丙婦 +等製成的纖維，其具有化學抗性，可忍受工作溫 度加熱，及具有可忍受使用的機械強度。使用的粗 濾器為纖物（加捻纖維纖物），具有基於廢水氟離子 /辰度，其他離子濃度及其他物質性質選用之 10纖維直徑。 及 使用此型粗濾、器時，具有特定粒徑之不可溶氟 化鈣通過纖物結果導致粗濾器粒子主要進行慣量衝 擊，較、細的粒子主要藉擴散及過筛黏著於纖維，形 成纖維間之粒子架橋。藉此方式形成之第一黏著層 15具有無數彎曲孔徑，具有比料粗濾器更大的孔隙 度。較精細粒子係由此種第一黏著層收集。又也驗 證藉由過濾粒子，該等粒子之粒徑比第一黏著層生 成階段正常產生的不可溶氟化舞粒徑，可改良孔隙 度，獲得通過粗濾器之更大通量。此處所述大粒子 2〇 可為對隨後洗滌不會造成不良影響之碳酸鈣或二氧 化粒子。 因藉此方式根據本發明可極為有效完成氟化鈣 的去除，故無須第3圖所示後期階段過濾設備。根據 本發明也可獲彳于咼純度氟化舞作為處理於渣，原因 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁） 20 一 1222428 發明說明續頁 要高純度 玖、發明說明 為未使用K劑故，如此於潰可再用於需 氣化4弓之用途，例如作為氣酸之生產材料。 筒形或扁平粗濾器可用作濃縮裝置79之過濾柱 結構。 5 為了驗證過濾性能，使用之濃縮裝置79為第12 (a)至12 (c)圖所示之任一者，亦即過濾裝置％ ( 第12 (c)圖）具有聚酯纖物製備成圓筒”直徑為約 12厘米（第12 (a))圖，其中3根圓筒係於PVC管94 具有内部直徑約35亳米（第12 (b)圖）。 10 用於處理，提供之含氟廢水含有400亳克/升氟 離子。循環操作始於100克氫氧化鈣添加至6〇升廢水 〇 第13圖顯示通量變化及藉洗滌之通量回復。如 第13圖可見，循環操作傾向於降低通量。如此促成 15 不可溶氟化鈣堆積於粗濾器表面上，增加壓力損失 。通量之回復可藉洗滌清除堆積於粗濾器表面上之 氟化妈獲得證實。本實例中，使用氫氯酸洗滌，但 只要該方法不清除氟化鈣則無須限於氫氯酸洗滌。 實例3 使用第14及15圖之裝置作為濃縮裝置79之過濾 裝置進行實例3。本實例中，各自具有孔徑〇.丨微米_ 100微米之微濾膜用於過濾裝置。由支架97夾持微 濾膜96組成之板98等距離隔開，當經過處理之廢水 通過其中時由底部通氣冒泡以防過量氟化鈣堆積於 0續次頁（發明說明頁不敷使用時，請註記並使用續頁） 21 發明說明_；1； 可藉化學洗條或物理清除 之離心分離裝置、蒸氣冷凝 同濃縮襞置79之多種構造仍 玖、發明說明 膜表面。當通量降低時 堆積物而回復通量。 即使使用眾所周知 裝置及漂浮裝置具有如 可獲得類似效果。 如前述，根據 處理劑用量減少， 空間需求減少以及 更有效利用等優點。 第二發明之含氟水處理方法實現 淤渣容積減低，設備較為簡單， 藉由回收高品冑氣化每而對氟作 L圓式簡單明】 發明比較 第1圖為習知含款水處理方法之系統圖用於與第 示習知含氟水處理方法水 意圖。 第2圖為經由第1圖所 通過之槽道化流動現象之示 系統圖用於與第二 第3圖為習知處理方法之示意 發明比較。 發明之含氟水處理 第4圖為糸統圖顯示根據第一 方法之具體例。 第5U)、5(b)及5(c)圖為根據第一發明用 於含氟水處理方法之分離膜裝置之具體例之略圖。 第6圖為系統圖顯示根據第一發明處理含敦水方 法之另一具體例。 第7圖為系統圖顯示根據第一發明處理含氟水方 法之又另一具體例。 0續次頁(發明說明頁不敷使用時，請註記並使纖頁） 22 ^ 坎、發明說明 第8圖為系統圖顯示根據第一 法之又另一具體例。 第9圖根據第二發明之處理方法之示意系統圖。 第10圖為線圖顯示參考實例丨的結果。 第11圖為線圖顯示參考實例2的結果。 第12 ( a)、12 ( b)及12 ( c)圖為用於實例2之 過濾裝置之示意圖。 第13圖為線圖顯示實例2的結果。 第14圖為用於實例3之過濾裝置之示意圖。 10 發明說明_頁 發明處理含氟水方 第15圖為第14圖之裝置之部分放大視圖。 15 20 【圖式之主要元件代表符號表】 1 · · ·水槽 57…淤渣貯槽 2…輸送泵 58...脫水機 3…循環槽 59…脫水餅 4···循環泵 60···約鹽 5···分離膜裝置 61·.·無機凝結劑 6…循環槽 62...有機凝結劑 7·.·循環泵 67...儲存槽 8·.·分離骐農置 6 8...過遽柱 9··.處理水水槽 69.·.過濾水水槽 10…輸送策 70...吸附柱 13…循環導管 71···ρΗ調節槽 14…循環導管 72...儲存槽 續人頁（發職明私數便觸，謙記纖臓頁) 1222428 玖、發明說明 19."柱 20.. .碳酸鈣供給泵 21.. .碳酸鈣儲存槽 22.. .氟化鈣抽取泵 5 23…氟化鈣儲存槽 24.. .循環導管 43.. .交叉流型裝置 51…水槽 52…第一反應槽，圓筒 10 53…第二反應槽 54···ρΗ調整槽 55.. .凝結槽 5 6…殿積槽 90.. .儲存槽 15 92…含氟廢水 94.. .PVC 管 96.. .微渡膜 98…板 發明說明 7 5...沈積的於渣 76.. .起始水槽 77.. .反應槽 78··· pH調節槽 79.. .濃縮裝置 81…淤渣儲存槽 82.. .脫水機 84.. .導管 8 5...返回的於渣 86…鈣鹽 87. ·.酸 88. "鹼 89.. .含氟廢水 91…鈣鹽 93…圓筒 95…過濾裝置 97.. .支架 24

Claims (1)

1222428 申請專利範圍 公告t i•-種處理含氟水之方法’該方法實質上包括下列步驟： 將該含氟水與i鹽於一反應槽中接觸，以使該 含氟水中之氟與賴鹽反應，且固定成氣化約， 完成固/液分離及去除處理水，該固/液分離係利 5 選自過濾、離心、、蒸氣冷凝及漂浮分離之手段完成 ，以及

將部份由該固/液分離濃縮的淤渣送返回該反應槽 ’同時添加该約鹽至該於渣； 其中該含氟水係於無有機或無機凝結劑存在下接 10 觸反應槽之鈣鹽。 2. 如申明專利範圍第1項之方法，其中於反應後而於固/ 液分離前調整pH。 3. 如申凊專利範圍第1項之方法，其中該返回淤渣之量 係佔產生的淤渣總量之約1〇-4〇0/〇。 15

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