JP3483482B2 - フッ素含有水の処理方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素含有水の処
理方法に関する。本発明は、特に、電子部品等の製造プ
ロセスから排出されるフッ素含有排水からフッ素を除去
するための処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年の環境、特に水質に関する国の法律
すなわち水質汚濁防止法や地方自治体の条例で各種化学
物質の排出基準が定められ、排水中の汚染物質の濃度を
基準値以下にするよう義務づけられており、完全な排水
処理が要求されている。そのうちフッ素は、その濃度が
高い排水が流出すると生態系のバランスを狂わせること
が知られており、フッ素除去の排水処理設備は産業上極
めて重要である。

【０００３】従来のフッ素除去のための排水処理におい
ては、例えば特開平５−２５３５７６に記載されている
ように、炭酸カルシウムを充填した充填塔にフッ素含有
水を通水し、フッ素をフッ化カルシウムとして固定して
いた。すなわち、図１に示すように、炭酸カルシウムを
充填した充填塔１９に原水槽１から送水ポンプ２により
フッ素含有水を通水し、この塔内でフッ素をフッ化カル
シウムとしていた。しかし、充填塔内でのカルシウム化
合物の固化や図２に示すような通水液の片流れすなわち
通水液の流路が充填塔内で部分的に偏って形成され、固
定されてしまうという現象により、カルシウムが全量反
応することなく、当量分が反応する以前に破過するとい
うような処理不全が頻発していた。また、カルシウム化
合物微粒子が処理水中に流出するため、計器類や後段の
処理設備に悪影響を及ぼすという問題もあった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従って、上
記の如き従来技術の問題点を解決し、カルシウム化合物
の固化や通水液の片流れを生じず、かつ、処理水中にカ
ルシウム化合物微粒子を流出させることなく、極めて効
率的にフッ素含有水を処理することのできる方法を提供
しようとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、電子部品等の製造プロセスから排出される
フッ素含有排水の原水であるフッ素含有水を炭酸カルシ
ウムと接触させ、フッ素含有水原水中のフッ素を炭酸カ
ルシウムと反応させてフッ化カルシウムとして固定する
ことによりフッ素含有水原水を処理する方法において、
フッ素含有水原水に粒状の炭酸カルシウムを直接添加
し、炭酸カルシウムが添加されたこの原水をそのまま分
離膜装置を介して循環させながら、フッ素が除去された
処理水を前記分離膜装置により取り出し、かつ、この循
環系にフッ素含有水原水を供給して、前記炭酸カルシウ
ムをフッ化カルシウムに転化することを特徴とするフッ
素含有水原水の処理方法を提供する。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照しながら、本
発明の好ましい態様について説明する。図３は、本発明
に係るフッ素含有水の処理方法の一実施態様を示す系統
図である。粒状の炭酸カルシウムは、フッ素含有水であ
る原水に添加されて、循環槽３、分離膜装置５及び循環
配管１３に存在し、循環している。この状態で、原水槽
１から送水ポンプ２により循環槽３に原水が送水され、
循環ポンプ４により循環槽３、分離膜装置５及び循環配
管１３からなる循環系を循環される間に、この循環系を
循環している炭酸カルシウムと反応せしめられ、清澄な
処理水は分離膜装置５から処理水槽９に送水され、送水
ポンプ１０により処理水として放流される。この場合、
原水の送水および処理水の放流は、フッ素と炭酸カルシ
ウムの反応の進行によって系が破過するまで行われる。
分離膜装置５としては、例えば、図４に示すように、ポ
リエステルの織布を約１２mmの直径の円筒４２にし（図
４（イ））、かかる円筒３本を内径約３５mmのＰＶＣ製
の筒４３内に装填した（図４（ロ））クロスフロー式の
装置４３（図４（ハ））を用いることができる。

【０００７】かかる本発明の方法によれば、炭酸カルシ
ウムとフッ素との反応は、図中の循環槽３、分離膜装置
５及び循環配管１３で構成される循環系内において行わ
れ、カルシウム化合物は分離膜装置を通過後もそのまま
被処理水とともに循環され、清澄な処理水のみが分離膜
を通過して処理水槽に送水されるのでカルシウム化合物
の固化や水の片流れによる処理不全の問題の生じる余地
はなく、また処理水へのカルシウム化合物微粒子の流出
も大幅に低減される。さらに、本発明の方法において
は、凝集剤等を使用する必要がなく、そのため処理の間
に高純度のフッ化カルシウムが生成するので、このフッ
化カルシウムをフッ酸の製造原料等の高純度のフッ化カ
ルシウムを必要とする用途におけるフッ素源として利用
することができる図３に示した如き装置構成において、
系の破過を招くことなく、フッ素含有水の処理を連続的
に行う場合には、図５に示すように、原水槽１から送水
ポンプ２により循環槽３に原水を連続的に供給し、循環
槽３、分離膜装置５及び循環配管１３で構成される循環
系内でフッ素と炭酸カルシウムとを反応せしめ、清澄な
処理水を分離膜装置５から処理水槽９に送水し、送水ポ
ンプ１０により処理水として処理水を連続的に放流する
一方で、炭酸カルシウム貯槽２１から炭酸カルシウム供
給ポンプ２０により炭酸カルシウムを循環槽３に連続的
に供給し、かつ、フッ化カルシウム抜き出しポンプ２２
により循環槽３からフッ化カルシウムをフッ化カルシウ
ム貯槽２３に連続的に抜き出すことによって実施可能で
ある。

【０００８】本発明に係る方法の実施に際しては、上記
の如き循環系を２系列または３系列以上連結して処理を
行ってもよい。例えば、図６に示すように、粒状の炭酸
カルシウムは、フッ素含有水である原水に添加されて、
循環槽３、分離膜装置５、循環配管１３及び循環槽６、
分離膜装置８、循環配管１４に存在し、循環している。
この状態で、原水槽１から送水ポンプ２により循環槽３
に原水が送水され、循環ポンプ４により循環槽３、分離
膜装置５及び循環配管１３からなる循環系を循環される
間に、この循環系を循環している炭酸カルシウムと反応
せしめられ、清澄な処理水は分離膜装置５から循環槽６
に送水され、循環ポンプ７により循環槽６、分離膜装置
８及び循環配管１４からなる循環系を循環される間に、
再度この循環系を循環している炭酸カルシウムと反応せ
しめられ、清澄な処理水は分離膜装置８から処理水槽９
に送水され、送水ポンプ１０により処理水として放流さ
れる。ここで、分離膜装置８は、上記した分離膜装置５
と同様の構成を有するものであってよい。

【０００９】また、図７に示す態様では、さらに分離膜
装置８の後にさらに循環槽６が配置され、その後に循環
ポンプ７、分離膜装置８及び循環配管２４からなる循環
系がさらに１系列連結されている。かかる２系列または
３系列以上の循環系を連結した装置においても、図５に
ついて上記したように、炭酸カルシウムの供給系とフッ
化カルシウムの抜き出し系とを適切に配置することによ
り、処理水の水質をほぼ一定に維持しながら、連続処理
を行うことができる。

【００１０】あるいは、図６および図７に示す態様の装
置を用いて、メリーゴーラウンド方式により連続処理を
行うこともできる。例えば、図６に示す装置による処理
において、分離膜装置８からの処理水のフッ素濃度変化
を監視し、破過に至る前に、メリーゴウラウンド切替配
管１６をメリーゴウラウンド切替配管１１に切り換え、
循環槽３、循環ポンプ４、分離膜装置５、循環配管１３
で構成される１段目の循環系中のカルシウム化合物を新
たに用意した炭酸カルシウムと交換し、かつ、メリーゴ
ウラウンド切替配管１８をメリーゴウラウンド切替配管
１２に切り換え、原水の流水順序を循環槽６、循環ポン
プ７、分離膜装置８、循環配管１４で構成される２段目
の循環系から１段目の循環系へと切り換える。このよう
にして、順次に流水順序を切り換えることで、処理水の
フッ素濃度を上昇せしめることなく、連続して処理する
ことが可能となる。図７に示す装置においても、同様に
して順次に流水順序を切り換えることにより、メリーゴ
ーランド方式の運転が可能であるあることは自明であろ
う。

【００１１】以下、実施例により本発明をさらに具体的
に説明する。

【００１２】

【実施例】図６に示す処理系列により、フッ素濃度１０
００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ４．０のフッ素含有水を原水として
用いて処理を行った。処理条件は、次の通りである。 原水槽１及び処理水槽９：２００Ｌ、ポリエチレン
製 送水ポンプ２及び処理水ポンプ１０：３０Ｌ／Ｈ、
マグネットポンプ 循環槽３及び循環槽６：５０Ｌ、ポリエチレン製 循環ポンプ４及び循環ポンプ７：４ｍ³ ／Ｈ、マグ
ネットポンプ 分離膜装置５及び分離膜装置８：クロスフロー式分
離膜装置（図４）、ポリエステル製膜、濾過圧力０．５
〜１．５kg／cm² 、濾過流速１ｍ／sec 、循環水量３．
４ｍ³ ／Ｈ 炭酸カルシウム：粒度分布：０．３〜０．５mm（３
１．６％）、０．２〜０．３mm（３５．８％）、＜０．
２mm（３２．６％） 炭酸カルシウムは、循環槽３、循環ポンプ４、分離膜装
置５、循環配管１３及び循環槽６、循環ポンプ７、分離
膜装置８、循環配管１４を循環している。まず、１段目
の循環系に原水を通水するとガスを発生し、原水中のフ
ッ素がフッ化カルシウムとして固定される反応が起き、
処理されるが、分離膜装置５からの処理水には、微粒子
が混入せず、ＳＳ≦２mg／Ｌという良好な水質が得られ
た。続いて、その処理水を２段目の循環系に通水し、さ
らにフッ素を除去したところ、分離膜装置８からの処理
水は同様に、ＳＳ≦２mg／Ｌという良好な水質を示し、
フッ素濃度も５mg／Ｌと著しく低かった。また、回収さ
れたフッ化カルシウムは高純度のものであった。

【００１３】なお、この例において、原水の処理を連続
して行う場合、メリーゴウラウンド方式により、分離膜
装置８からの処理水のフッ素濃度変化の傾向により、循
環槽３、循環ポンプ４、分離膜装置５、循環配管１３で
構成される１段目の循環系中のカルシウム化合物を新た
に用意した炭酸カルシウムと交換し、原水の流水順序を
循環槽６、循環ポンプ７、分離膜装置８、循環配管１４
で構成される２段目の循環系から１段目の循環系に切り
換えることで処理水のフッ素濃度上昇もなく、連続して
処理が可能であった。すなわち、２系列を直列に接続し
た循環系をメリーゴーランド方式で処理することによ
り、原水のフッ素を連続的に安定して除去することがで
きる。

【００１４】また、図５について説明したようにして、
循環しているカルシウム化合物を定量的に抜き出すと同
時に新しい炭酸カルシウムを連続的に補充することによ
り、メリーゴーランド方式でなくても、原水のフッ素を
連続的に安定して除去することができる。ここで、処理
に用いる炭酸カルシウムは、いかなる粒径及び粒度分布
のものであってもよい。また、分離膜としては、通常の
分離膜のほか、精密濾過（ＭＦ）膜や限外濾過（ＵＦ）
膜等を用いることもできる。

【００１５】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明に係るフ
ッ素含有水の処理方法によれば、処理水に微粒子を含ま
ず、安定的にフッ素を除去することができる。従って、
フッ酸などを使用し、フッ素含有水を排出する産業及び
自然環境保護に寄与するところが大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のフッ素含有水の処理方法を示す系統図。

【図２】従来のフッ素含有水の処理方法における通水液
の片流れ現象を示す模式図。

【図３】本発明のフッ素含有水の処理方法の一実施態様
を示す系統図。

【図４】本発明のフッ素含有水の処理方法に用いる分離
膜装置の一態様を示す図。

【図５】本発明のフッ素含有水の処理方法の他の実施態
様を示す系統図。

【図６】本発明のフッ素含有水の処理方法のさらに他の
実施態様を示す系統図。

【図７】本発明のフッ素含有水の処理方法のさらに他の
実施態様を示す系統図。

【符号の説明】

１…原水槽 ２…送水ポンプ ３、６…循環槽 ４、７…循環ポンプ ５、８…分離膜装置膜 ９…処理水槽 １０…処理水ポンプ １１、１２、１５、１６、１７、１８、２５…メリーゴ
ーランド切替配管 １３、１４、２４…循環配管 ２０…炭酸カルシウム供給ポンプ ２１…炭酸カルシウム貯槽 ２２…フッ化カルシウムド抜き出しポンプ ２３…フッ化カルシウムド貯槽

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｇ 1/02 Ｃ２３Ｇ 1/02 1/36 1/36 3/00 3/00 Ｂ (56)参考文献 特開 平５−253576（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−371292（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−118897（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−864（ＪＰ，Ａ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品等の製造プロセスから排出され
   るフッ素含有排水の原水であるフッ素含有水を炭酸カル
   シウムと接触させ、フッ素含有水原水中のフッ素を炭酸
   カルシウムと反応させてフッ化カルシウムとして固定す
   ることによりフッ素含有水原水を処理する方法におい
   て、 フッ素含有水原水に粒状の炭酸カルシウムを直接添加
   し、炭酸カルシウムが添加されたこの原水をそのまま分
   離膜装置を介して循環させながら、フッ素が除去された
   処理水を前記分離膜装置により取り出し、かつ、この循
   環系にフッ素含有水原水を供給して、前記炭酸カルシウ
   ムをフッ化カルシウムに転化することを特徴とするフッ
   素含有水原水の処理方法。
2. 【請求項２】 前記分離膜装置がクロスフロー式の分離
   膜装置である、請求項１記載の方法。
3. 【請求項３】 前記転化されたフッ化カルシウムがフッ
   素源として再利用される、請求項１記載の方法。