JPH10249340A - 純水の製造方法 - Google Patents
純水の製造方法Info
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- JPH10249340A JPH10249340A JP9054684A JP5468497A JPH10249340A JP H10249340 A JPH10249340 A JP H10249340A JP 9054684 A JP9054684 A JP 9054684A JP 5468497 A JP5468497 A JP 5468497A JP H10249340 A JPH10249340 A JP H10249340A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被処理水に酸を添加して脱気処理した後、多
段に直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を
製造する方法において、ＲＯ膜分離装置の入口水のｐＨ
変動を抑え、ＲＯ処理に好適なｐＨ条件を安定に維持す
ることにより、高水質の純水を製造する。 【解決手段】 脱気処理２後の水を活性炭３と接触さ
せ、活性炭接触後の水を多段に直列配置したＲＯ膜分離
装置４〜６に順次通水する。 【効果】 脱気処理水を活性炭処理することでｐＨを安
定させ、多段ＲＯ処理の給水を容易に最適ｐＨ条件に調
整することにより、高純度の純水を安定に製造する。
段に直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を
製造する方法において、ＲＯ膜分離装置の入口水のｐＨ
変動を抑え、ＲＯ処理に好適なｐＨ条件を安定に維持す
ることにより、高水質の純水を製造する。 【解決手段】 脱気処理２後の水を活性炭３と接触さ
せ、活性炭接触後の水を多段に直列配置したＲＯ膜分離
装置４〜６に順次通水する。 【効果】 脱気処理水を活性炭処理することでｐＨを安
定させ、多段ＲＯ処理の給水を容易に最適ｐＨ条件に調
整することにより、高純度の純水を安定に製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は純水の製造方法に係
り、特に、被処理水に酸を添加して脱気処理した後、多
段に直列配置した逆浸透（ＲＯ）膜分離装置に順次通水
して純水を製造する方法において、ＲＯ膜分離装置の入
口水のｐＨ変動を抑え、ＲＯ膜分離処理に好適なｐＨ条
件を安定に維持することにより、高水質の純水を製造す
る方法に関する。
り、特に、被処理水に酸を添加して脱気処理した後、多
段に直列配置した逆浸透（ＲＯ）膜分離装置に順次通水
して純水を製造する方法において、ＲＯ膜分離装置の入
口水のｐＨ変動を抑え、ＲＯ膜分離処理に好適なｐＨ条
件を安定に維持することにより、高水質の純水を製造す
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、市水、井水、工水、回収水、その
他の水から純水（一次純水）を製造する方法として、こ
れらの水を必要に応じて前処理（除濁、除塩素）した
後、酸を添加して脱炭酸処理し、脱炭酸処理水を２段に
直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水処理（２段ＲＯ
処理）する方法がある。
他の水から純水（一次純水）を製造する方法として、こ
れらの水を必要に応じて前処理（除濁、除塩素）した
後、酸を添加して脱炭酸処理し、脱炭酸処理水を２段に
直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水処理（２段ＲＯ
処理）する方法がある。
【０００３】また、このような２段ＲＯ処理において、
処理水質の改善を図るために、ＲＯ膜分離装置の給水に
水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等のアルカリを注入し、
ＲＯ膜分離装置に供給される水中に残留する炭酸（ＣＯ
2 ）をイオン化（ＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- ）してＲＯ処理す
る方法が提案されている。
処理水質の改善を図るために、ＲＯ膜分離装置の給水に
水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等のアルカリを注入し、
ＲＯ膜分離装置に供給される水中に残留する炭酸（ＣＯ
2 ）をイオン化（ＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- ）してＲＯ処理す
る方法が提案されている。
【０００４】例えば、特公平６−４９１９１号公報に
は、原水に酸を添加した後、脱炭酸塔で脱炭酸処理し、
脱炭酸処理水にアルカリを添加した後、２段ＲＯ処理す
る方法が記載され、また、特公平８−２９３１５号公報
には、原水に酸を添加した後、脱気装置で脱炭酸処理
し、脱気処理水にアルカリを添加した後、２段ＲＯ処理
する方法が記載されている。
は、原水に酸を添加した後、脱炭酸塔で脱炭酸処理し、
脱炭酸処理水にアルカリを添加した後、２段ＲＯ処理す
る方法が記載され、また、特公平８−２９３１５号公報
には、原水に酸を添加した後、脱気装置で脱炭酸処理
し、脱気処理水にアルカリを添加した後、２段ＲＯ処理
する方法が記載されている。
【０００５】なお、このようにして得られる２段ＲＯ処
理水は、必要に応じてイオン交換処理を施して、更に純
度を高める。
理水は、必要に応じてイオン交換処理を施して、更に純
度を高める。
【０００６】また、水の純度をより一層高めるために３
段に直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水処理（３段
ＲＯ処理）する方法も公知であり、例えば、特開平５−
２２０４７９号公報には、第１段目のＲＯ膜として負荷
電膜を用い、第１段目のＲＯ処理水（第１段目のＲＯ膜
分離装置の透過水）にアルカリを添加した後、第２段目
のＲＯ膜分離装置及び第３段目のＲＯ膜分離装置に順次
通水し、第２，３段目のＲＯ膜分離装置の濃縮水を前段
のＲＯ膜分離装置に返送する方法が記載されている。更
に、特開平７−１６５６５号公報には、３段ＲＯ処理に
おいて、２段目のＲＯ膜分離装置の濃縮水のｐＨに基い
て２段目のＲＯ膜分離装置の給水にアルカリを添加する
方法が記載されている。
段に直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水処理（３段
ＲＯ処理）する方法も公知であり、例えば、特開平５−
２２０４７９号公報には、第１段目のＲＯ膜として負荷
電膜を用い、第１段目のＲＯ処理水（第１段目のＲＯ膜
分離装置の透過水）にアルカリを添加した後、第２段目
のＲＯ膜分離装置及び第３段目のＲＯ膜分離装置に順次
通水し、第２，３段目のＲＯ膜分離装置の濃縮水を前段
のＲＯ膜分離装置に返送する方法が記載されている。更
に、特開平７−１６５６５号公報には、３段ＲＯ処理に
おいて、２段目のＲＯ膜分離装置の濃縮水のｐＨに基い
て２段目のＲＯ膜分離装置の給水にアルカリを添加する
方法が記載されている。
【０００７】なお、従来、超純水製造工程において、活
性炭処理を採用する場合があるが、従来の活性炭処理工
程は、ＴＯＣの吸着除去や塩素の除去を目的とするもの
であり、脱炭酸処理後のＲＯ膜分離装置への給水のｐＨ
調整を目的としたものはない。
性炭処理を採用する場合があるが、従来の活性炭処理工
程は、ＴＯＣの吸着除去や塩素の除去を目的とするもの
であり、脱炭酸処理後のＲＯ膜分離装置への給水のｐＨ
調整を目的としたものはない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方法のう
ち、特公平６−４９１９１号公報及び同８−２９３１５
号公報に開示される方法では、酸添加後の水のｐＨ幅を
小さく押えても、脱炭酸処理後のｐＨは酸添加後のｐＨ
幅の５倍以上の変動を示す。
ち、特公平６−４９１９１号公報及び同８−２９３１５
号公報に開示される方法では、酸添加後の水のｐＨ幅を
小さく押えても、脱炭酸処理後のｐＨは酸添加後のｐＨ
幅の５倍以上の変動を示す。
【０００９】例えば、図２は、水に硫酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）
を添加した後、膜脱気装置で脱気処理した場合の膜脱気
装置入口水（酸添加後の水）のｐＨ変動と膜脱気装置出
口水（脱気処理後の水）のｐＨ変動を示すグラフである
が、膜脱気装置入口水のｐＨを４．８〜４．９の範囲に
抑えても、膜脱気装置出口水のｐＨは５．３〜５．８と
大きく変動していることがわかる。
を添加した後、膜脱気装置で脱気処理した場合の膜脱気
装置入口水（酸添加後の水）のｐＨ変動と膜脱気装置出
口水（脱気処理後の水）のｐＨ変動を示すグラフである
が、膜脱気装置入口水のｐＨを４．８〜４．９の範囲に
抑えても、膜脱気装置出口水のｐＨは５．３〜５．８と
大きく変動していることがわかる。
【００１０】このように酸添加後のｐＨ幅が±０．０５
であっても、脱気処理後のｐＨ幅は±０．２５にもなる
のは、膜脱気装置の入口水のｐＨ条件のわずかな変化に
より、脱気膜におけるＣＯ2 除去性能が異なるものとな
り、脱気処理後のｐＨが大きく変動することによる。
であっても、脱気処理後のｐＨ幅は±０．２５にもなる
のは、膜脱気装置の入口水のｐＨ条件のわずかな変化に
より、脱気膜におけるＣＯ2 除去性能が異なるものとな
り、脱気処理後のｐＨが大きく変動することによる。
【００１１】以上のように、酸添加後脱炭酸処理する方
法では、脱炭酸処理水のｐＨ幅が大きいことから、ＲＯ
処理に際してアルカリを添加した場合、ｐＨ幅を例えば
±０．０５というように小さくすることは極めて困難で
あり、ＲＯ膜分離装置の給水はｐＨ変動の大きいものと
なる。
法では、脱炭酸処理水のｐＨ幅が大きいことから、ＲＯ
処理に際してアルカリを添加した場合、ｐＨ幅を例えば
±０．０５というように小さくすることは極めて困難で
あり、ＲＯ膜分離装置の給水はｐＨ変動の大きいものと
なる。
【００１２】特に、特開平５−２２０４７９号公報に記
載される３段ＲＯ処理のように、後段のＲＯ処理の濃縮
水を前段のＲＯ膜分離装置に返送する方法を採用した場
合には、当該ＲＯ膜分離装置の入口水のｐＨを一定に制
御することは極めて困難なものとなる。なお、この方法
のように、低圧の後段のＲＯ処理の濃縮水を高圧の前段
のＲＯ膜分離装置に戻すためには、更に、この返送のた
めのブースターポンプ等の高圧ポンプが必要となり、コ
スト高騰につながる。
載される３段ＲＯ処理のように、後段のＲＯ処理の濃縮
水を前段のＲＯ膜分離装置に返送する方法を採用した場
合には、当該ＲＯ膜分離装置の入口水のｐＨを一定に制
御することは極めて困難なものとなる。なお、この方法
のように、低圧の後段のＲＯ処理の濃縮水を高圧の前段
のＲＯ膜分離装置に戻すためには、更に、この返送のた
めのブースターポンプ等の高圧ポンプが必要となり、コ
スト高騰につながる。
【００１３】また、特開平７−１６５６５号公報に記載
されるように、ＲＯ膜分離装置の濃縮水のｐＨに基いて
アルカリ添加量を制御する方法では、ＲＯ膜分離装置に
おける滞留時間に相当する時間のタイムラグが生じる。
このため、水質変動に対応してｐＨを制御することが難
しい。
されるように、ＲＯ膜分離装置の濃縮水のｐＨに基いて
アルカリ添加量を制御する方法では、ＲＯ膜分離装置に
おける滞留時間に相当する時間のタイムラグが生じる。
このため、水質変動に対応してｐＨを制御することが難
しい。
【００１４】ところで、ＲＯ膜分離装置による処理にお
いては、その給水の水質に応じて最適なｐＨ条件が存在
し、高水質のＲＯ処理水を得るためには、ＲＯ膜分離装
置の給水をその最適ｐＨ条件に調整する必要がある。
いては、その給水の水質に応じて最適なｐＨ条件が存在
し、高水質のＲＯ処理水を得るためには、ＲＯ膜分離装
置の給水をその最適ｐＨ条件に調整する必要がある。
【００１５】しかしながら、従来においては、上述の如
く、ＲＯ膜分離装置の給水のｐＨを最適ｐＨ条件に調整
することが難しく、このため、良好な水質の処理水を安
定に得ることができなかった。
く、ＲＯ膜分離装置の給水のｐＨを最適ｐＨ条件に調整
することが難しく、このため、良好な水質の処理水を安
定に得ることができなかった。
【００１６】本発明は上記従来の問題点を解決し、被処
理水に酸を添加して脱気処理した後、多段に直列配置し
たＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を製造する方法に
おいて、ＲＯ膜分離装置の入口水のｐＨ変動を抑え、Ｒ
Ｏ処理に好適なｐＨ条件を安定に維持することにより、
高水質の純水を製造する方法を提供することを目的とす
る。
理水に酸を添加して脱気処理した後、多段に直列配置し
たＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を製造する方法に
おいて、ＲＯ膜分離装置の入口水のｐＨ変動を抑え、Ｒ
Ｏ処理に好適なｐＨ条件を安定に維持することにより、
高水質の純水を製造する方法を提供することを目的とす
る。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明の純水の製造方法
は、被処理水に酸を添加して脱気処理した後、多段に直
列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を製造す
る方法において、脱気処理後の水を活性炭と接触させ、
該活性炭接触後の水を多段に直列配置したＲＯ膜分離装
置に順次通水することを特徴とする。
は、被処理水に酸を添加して脱気処理した後、多段に直
列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を製造す
る方法において、脱気処理後の水を活性炭と接触させ、
該活性炭接触後の水を多段に直列配置したＲＯ膜分離装
置に順次通水することを特徴とする。
【００１８】脱気処理水を活性炭で処理して得られる水
のｐＨは、脱気処理水より若干高く、小さいｐＨ幅で安
定している。この活性炭処理水のｐＨ幅が小さく安定す
るのは、活性炭処理における撹拌、滞留、加圧効果等の
物理的作用によるものが主であり、一部にイオンの吸脱
着による化学的安定作用があると考えられる。また、活
性炭処理水のｐＨが脱気処理水のｐＨより高いのは、活
性炭には、炭酸（ＣＯ2 ）をイオン化（ＨＣＯ3 -，ＣＯ
3 2- ）する触媒的な化学作用があるためと考えられる。
このような物理、化学的なｐＨ安定化作用は、本発明に
係る研究によってはじめて明らかになったものである。
活性炭のほかに濾過砂のようなものを用いても物理的作
用は期待できるが、上記のような化学的作用は期待でき
ないため、ｐＨ安定効果は落ちるものである。
のｐＨは、脱気処理水より若干高く、小さいｐＨ幅で安
定している。この活性炭処理水のｐＨ幅が小さく安定す
るのは、活性炭処理における撹拌、滞留、加圧効果等の
物理的作用によるものが主であり、一部にイオンの吸脱
着による化学的安定作用があると考えられる。また、活
性炭処理水のｐＨが脱気処理水のｐＨより高いのは、活
性炭には、炭酸（ＣＯ2 ）をイオン化（ＨＣＯ3 -，ＣＯ
3 2- ）する触媒的な化学作用があるためと考えられる。
このような物理、化学的なｐＨ安定化作用は、本発明に
係る研究によってはじめて明らかになったものである。
活性炭のほかに濾過砂のようなものを用いても物理的作
用は期待できるが、上記のような化学的作用は期待でき
ないため、ｐＨ安定効果は落ちるものである。
【００１９】本発明では、このように脱気処理水を活性
炭処理することでｐＨを安定させ、多段ＲＯ処理の給水
を容易に最適ｐＨ条件に調整することにより、高純度の
純水を安定に製造する。
炭処理することでｐＨを安定させ、多段ＲＯ処理の給水
を容易に最適ｐＨ条件に調整することにより、高純度の
純水を安定に製造する。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００２１】図１は本発明の純水の製造方法の実施の形
態を示す系統図である。
態を示す系統図である。
【００２２】図示の方法は、脱気処理水を３段に直列配
置したＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を製造するも
のであり、まず、市水、工水、井水、回収水（半導体製
造工程等排出される使用済超純水）等に必要に応じて凝
集沈殿、浮上、濾過、活性炭吸着などの前処理を施して
得られる原水を、原水タンク１からポンプＰ−１で抜き
出し、酸を添加した後、脱気装置２で脱気処理する。な
お、ここで添加される酸としては硫酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）、
塩酸（ＨＣｌ）等が好適であり、その添加量は原水中の
炭酸イオン、重炭酸イオンを炭酸の形態に変換するよう
なｐＨとなるような量であり、処理温度にもよるが、通
常、脱気装置２に導入される水のｐＨが５以下、好まし
くは５〜４以下、より好ましくは５〜４．５となる量と
するのが好ましい。ｐＨ４より低くすると、後述するよ
うにＲＯ処理に好適なｐＨに調整するアルカリ剤が多く
なり、好ましくない。従って、酸添加後、撹拌機Ｍ−１
で十分に混合均一化した水のｐＨをｐＨ計Ｈ−１で計測
し、このｐＨ計Ｈ−１に連動する薬注ポンプＰ−２によ
り、上記ｐＨ範囲となるように酸添加量を制御する。制
御方法としては、比例制御、またはＰＩＤ制御などのコ
ントローラにより制御する。
置したＲＯ膜分離装置に順次通水して純水を製造するも
のであり、まず、市水、工水、井水、回収水（半導体製
造工程等排出される使用済超純水）等に必要に応じて凝
集沈殿、浮上、濾過、活性炭吸着などの前処理を施して
得られる原水を、原水タンク１からポンプＰ−１で抜き
出し、酸を添加した後、脱気装置２で脱気処理する。な
お、ここで添加される酸としては硫酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）、
塩酸（ＨＣｌ）等が好適であり、その添加量は原水中の
炭酸イオン、重炭酸イオンを炭酸の形態に変換するよう
なｐＨとなるような量であり、処理温度にもよるが、通
常、脱気装置２に導入される水のｐＨが５以下、好まし
くは５〜４以下、より好ましくは５〜４．５となる量と
するのが好ましい。ｐＨ４より低くすると、後述するよ
うにＲＯ処理に好適なｐＨに調整するアルカリ剤が多く
なり、好ましくない。従って、酸添加後、撹拌機Ｍ−１
で十分に混合均一化した水のｐＨをｐＨ計Ｈ−１で計測
し、このｐＨ計Ｈ−１に連動する薬注ポンプＰ−２によ
り、上記ｐＨ範囲となるように酸添加量を制御する。制
御方法としては、比例制御、またはＰＩＤ制御などのコ
ントローラにより制御する。
【００２３】脱気装置２としては、気体分離膜の一方の
側に給水し、他方の透過側を減圧して水中のガス成分を
除去する膜脱気装置、気液接触充填材に散水し、ガスを
真空ポンプで吸引する真空脱気装置等を使用することが
できる。脱気装置２では、原水中の炭酸が炭酸ガスとし
て水から分離、除去される。脱気（脱炭酸）された水の
ｐＨは、多少上昇する。この上昇度は脱炭酸量に関係
し、脱炭酸量の変化により脱気装置２からの流出水のｐ
Ｈは変動する。なお、この脱気処理により、水中の溶存
酸素も除去される。
側に給水し、他方の透過側を減圧して水中のガス成分を
除去する膜脱気装置、気液接触充填材に散水し、ガスを
真空ポンプで吸引する真空脱気装置等を使用することが
できる。脱気装置２では、原水中の炭酸が炭酸ガスとし
て水から分離、除去される。脱気（脱炭酸）された水の
ｐＨは、多少上昇する。この上昇度は脱炭酸量に関係
し、脱炭酸量の変化により脱気装置２からの流出水のｐ
Ｈは変動する。なお、この脱気処理により、水中の溶存
酸素も除去される。
【００２４】脱気装置２の流出水は次いで活性炭塔３に
通水される。この活性炭塔３としては、粒状活性炭の充
填層を形成したものを使用し、下降流又は上向流で通水
する。通水条件には特に制限はないが、通水流速として
はＳＶ＝１０〜３０ｈｒ-1が適当である。
通水される。この活性炭塔３としては、粒状活性炭の充
填層を形成したものを使用し、下降流又は上向流で通水
する。通水条件には特に制限はないが、通水流速として
はＳＶ＝１０〜３０ｈｒ-1が適当である。
【００２５】一般に、活性炭の充填層内には、微生物等
が繁殖して目詰りし、１週間〜数カ月程度で逆洗した
り、活性炭を取り替えたりする必要があるが、本発明で
は脱気処理により微生物の増殖に必要な溶存酸素が除去
された水が導入されるため、活性炭塔内の微生物繁殖の
問題がなく、目詰り等のトラブルも殆どない。このた
め、活性炭の取り替えの必要はなく、また、逆洗頻度も
著しく少なくて足り、年に数回の逆洗で十分な機能を得
ることができる。
が繁殖して目詰りし、１週間〜数カ月程度で逆洗した
り、活性炭を取り替えたりする必要があるが、本発明で
は脱気処理により微生物の増殖に必要な溶存酸素が除去
された水が導入されるため、活性炭塔内の微生物繁殖の
問題がなく、目詰り等のトラブルも殆どない。このた
め、活性炭の取り替えの必要はなく、また、逆洗頻度も
著しく少なくて足り、年に数回の逆洗で十分な機能を得
ることができる。
【００２６】この活性炭塔３に通水することにより得ら
れる活性炭処理水のｐＨは、脱気処理水のｐＨよりも若
干高い値で、極めて小さい変動幅で安定する。
れる活性炭処理水のｐＨは、脱気処理水のｐＨよりも若
干高い値で、極めて小さい変動幅で安定する。
【００２７】例えば、脱気装置２の入口水のｐＨが４．
８〜４．９の場合、前述の如く、脱気装置２の出口水の
ｐＨは脱気処理の程度の差により、ｐＨ５．３〜５．８
と大きく変動するが、これを活性炭塔３に通水して得ら
れる活性炭塔３の出口水はｐＨ６．０〜６．１程度と、
ｐＨ変動幅は極めて小さく、ｐＨ値が安定する。
８〜４．９の場合、前述の如く、脱気装置２の出口水の
ｐＨは脱気処理の程度の差により、ｐＨ５．３〜５．８
と大きく変動するが、これを活性炭塔３に通水して得ら
れる活性炭塔３の出口水はｐＨ６．０〜６．１程度と、
ｐＨ変動幅は極めて小さく、ｐＨ値が安定する。
【００２８】活性炭塔３の流出水は、必要により酸又は
アルカリを添加してＲＯ処理に好適なｐＨ値に調整した
後、第１段目のＲＯ膜分離装置（以下「第１ＲＯ装置」
と称す。）４、第２段目のＲＯ膜分離装置（以下「第２
ＲＯ装置」と称す。）５、第３段目のＲＯ膜分離装置
（以下「第３ＲＯ装置」と称す。）６に順次通水して純
水を得る。
アルカリを添加してＲＯ処理に好適なｐＨ値に調整した
後、第１段目のＲＯ膜分離装置（以下「第１ＲＯ装置」
と称す。）４、第２段目のＲＯ膜分離装置（以下「第２
ＲＯ装置」と称す。）５、第３段目のＲＯ膜分離装置
（以下「第３ＲＯ装置」と称す。）６に順次通水して純
水を得る。
【００２９】ところで、ＲＯ処理に当り、ＲＯ処理の給
水のｐＨは得られる処理水（透過水）の水質に大きく影
響し、ＲＯ処理に好適なｐＨ値が存在する。また、この
好適なｐＨ値は原水水質（主に全炭酸濃度）によって異
なる。
水のｐＨは得られる処理水（透過水）の水質に大きく影
響し、ＲＯ処理に好適なｐＨ値が存在する。また、この
好適なｐＨ値は原水水質（主に全炭酸濃度）によって異
なる。
【００３０】例えば、図３，４は、３段ＲＯ処理の給水
と得られる処理水（第３ＲＯ装置の透過水）の比抵抗と
の関係を示すグラフであり、図３は全炭酸濃度が１４ｐ
ｐｍの原水（水道水単独）を脱気処理した後３段ＲＯ処
理する場合を示し、図４は全炭酸濃度が４．３ｐｐｍの
原水（水道水：回収水＝３：７）を脱気処理した後３段
ＲＯ処理する場合を示すものであるが、これらのグラフ
から、３段ＲＯ処理の給水のｐＨは、原水の全炭酸濃度
が１４ｐｐｍの場合はｐＨ７．１程度が好ましく、原水
の全炭酸濃度が４．３ｐｐｍの場合は、ｐＨ６．０〜
６．１程度が好ましいことがわかる。このように、原水
の全炭酸濃度に応じて、ＲＯ処理の最適ｐＨ値が異なる
ものとなり、全炭酸濃度が高い程最適ｐＨ値が高くなる
が、これは、原水の全炭酸濃度に対応して脱気処理後の
全炭酸濃度も高くなり、その分、炭酸のイオン化に必要
なアルカリ量が増えるためである。アルカリ添加量を最
適ｐＨ値より多くすると逆にアルカリ負荷が大となり生
産水比抵抗は低下してくるため、最適ｐＨ範囲が存在す
る。
と得られる処理水（第３ＲＯ装置の透過水）の比抵抗と
の関係を示すグラフであり、図３は全炭酸濃度が１４ｐ
ｐｍの原水（水道水単独）を脱気処理した後３段ＲＯ処
理する場合を示し、図４は全炭酸濃度が４．３ｐｐｍの
原水（水道水：回収水＝３：７）を脱気処理した後３段
ＲＯ処理する場合を示すものであるが、これらのグラフ
から、３段ＲＯ処理の給水のｐＨは、原水の全炭酸濃度
が１４ｐｐｍの場合はｐＨ７．１程度が好ましく、原水
の全炭酸濃度が４．３ｐｐｍの場合は、ｐＨ６．０〜
６．１程度が好ましいことがわかる。このように、原水
の全炭酸濃度に応じて、ＲＯ処理の最適ｐＨ値が異なる
ものとなり、全炭酸濃度が高い程最適ｐＨ値が高くなる
が、これは、原水の全炭酸濃度に対応して脱気処理後の
全炭酸濃度も高くなり、その分、炭酸のイオン化に必要
なアルカリ量が増えるためである。アルカリ添加量を最
適ｐＨ値より多くすると逆にアルカリ負荷が大となり生
産水比抵抗は低下してくるため、最適ｐＨ範囲が存在す
る。
【００３１】このようなことから、ＲＯ処理の給水は、
その原水の水質に応じて最適ｐＨ値に調整する必要があ
る。この場合、最適ｐＨは原水の水質により、一概に特
定できないので、装置運転開始に先立ち、最終処理水
（純水）に要求される純度とＲＯ処理の給水のｐＨとの
関係を、給水ｐＨを変化させることにより確認し、最適
ｐＨ値を予め設定しておくのが好ましい。
その原水の水質に応じて最適ｐＨ値に調整する必要があ
る。この場合、最適ｐＨは原水の水質により、一概に特
定できないので、装置運転開始に先立ち、最終処理水
（純水）に要求される純度とＲＯ処理の給水のｐＨとの
関係を、給水ｐＨを変化させることにより確認し、最適
ｐＨ値を予め設定しておくのが好ましい。
【００３２】このＲＯ処理の給水のｐＨ調整は、狭いｐ
Ｈ範囲で制御できる程、得られる処理水の純度が高いも
のとなるが、本発明では、活性炭処理によりｐＨ値が安
定した水をＲＯ処理の給水とするため、ｐＨ調整により
狭いｐＨ範囲に容易に制御することができる。
Ｈ範囲で制御できる程、得られる処理水の純度が高いも
のとなるが、本発明では、活性炭処理によりｐＨ値が安
定した水をＲＯ処理の給水とするため、ｐＨ調整により
狭いｐＨ範囲に容易に制御することができる。
【００３３】前述の如く、脱気処理水を活性炭処理して
得られる水のｐＨは約６．０〜６．１であるため、図４
に示す如く、原水の全炭酸濃度が４．３ｐｐｍの場合に
は特にｐＨ調整することなくＲＯ処理することができ
る。
得られる水のｐＨは約６．０〜６．１であるため、図４
に示す如く、原水の全炭酸濃度が４．３ｐｐｍの場合に
は特にｐＨ調整することなくＲＯ処理することができ
る。
【００３４】また、図３に示す如く、原水の全炭酸濃度
が比較的多い場合には、一般にアルカリを添加してｐＨ
を高める必要があり、逆に原水の全炭酸濃度が比較的少
ない場合には、一般に酸を添加してｐＨを下げる必要が
ある。
が比較的多い場合には、一般にアルカリを添加してｐＨ
を高める必要があり、逆に原水の全炭酸濃度が比較的少
ない場合には、一般に酸を添加してｐＨを下げる必要が
ある。
【００３５】ここで、アルカリとしては、水酸化ナトリ
ウム（ＮａＯＨ）等を用いることができ、また、酸とし
ては、ＨＣｌ，Ｈ2 ＳＯ4 等を用いることができる。
ウム（ＮａＯＨ）等を用いることができ、また、酸とし
ては、ＨＣｌ，Ｈ2 ＳＯ4 等を用いることができる。
【００３６】図１においては、活性炭塔３の流出水に必
要に応じて酸又はアルカリを添加後、撹拌機Ｍ−２で十
分に混合均一化した水のｐＨをｐＨ計Ｈ−２で計測し、
このｐＨ計Ｈ−１に連動するポンプＰ−３，Ｐ−４によ
り、好適ｐＨ値となるように制御する。
要に応じて酸又はアルカリを添加後、撹拌機Ｍ−２で十
分に混合均一化した水のｐＨをｐＨ計Ｈ−２で計測し、
このｐＨ計Ｈ−１に連動するポンプＰ−３，Ｐ−４によ
り、好適ｐＨ値となるように制御する。
【００３７】ｐＨ調整後の水は、高圧ポンプＰ−５で加
圧して第１ＲＯ装置４に供給する。この第１ＲＯ装置４
の給水圧力は、原水の塩類濃度にもよるが、通常の場
合、５〜７．５ｋｇ／ｃｍ2 とすると、原水中の塩類，
ＴＯＣの殆どを排除することができる。この第１ＲＯ装
置４の濃縮水は系外へ排出し、透過水は、第１ＲＯ装置
４に給水される活性炭塔３の流出水と同様に、ｐＨ計Ｈ
−３とこれに連動するポンプＰ−６，Ｐ−７により必要
に応じて酸又はアルカリを添加した後撹拌機Ｍ−３で混
合し、再度ｐＨ調整した後、第２ＲＯ装置５に供給す
る。第２ＲＯ装置５では第２ＲＯ装置４の透過水中に微
量残留する塩類が除去され、一次純水となる。特に、こ
の第２ＲＯ装置５では残留アニオンを効果的に除去で
き、アニオンは殆ど残らない。
圧して第１ＲＯ装置４に供給する。この第１ＲＯ装置４
の給水圧力は、原水の塩類濃度にもよるが、通常の場
合、５〜７．５ｋｇ／ｃｍ2 とすると、原水中の塩類，
ＴＯＣの殆どを排除することができる。この第１ＲＯ装
置４の濃縮水は系外へ排出し、透過水は、第１ＲＯ装置
４に給水される活性炭塔３の流出水と同様に、ｐＨ計Ｈ
−３とこれに連動するポンプＰ−６，Ｐ−７により必要
に応じて酸又はアルカリを添加した後撹拌機Ｍ−３で混
合し、再度ｐＨ調整した後、第２ＲＯ装置５に供給す
る。第２ＲＯ装置５では第２ＲＯ装置４の透過水中に微
量残留する塩類が除去され、一次純水となる。特に、こ
の第２ＲＯ装置５では残留アニオンを効果的に除去で
き、アニオンは殆ど残らない。
【００３８】第２ＲＯ装置５の透過水は更に第３ＲＯ装
置６に供給し、極微量残留するイオンが除去された透過
水を、高純度の一次純水として取り出す。
置６に供給し、極微量残留するイオンが除去された透過
水を、高純度の一次純水として取り出す。
【００３９】この一次純水は、イオン交換装置又は、サ
ブシステム（二次純水装置）に送られ、更に高度処理さ
れ、得られた超純水は、半導体製造工程や医薬品製造工
程等に供給される。
ブシステム（二次純水装置）に送られ、更に高度処理さ
れ、得られた超純水は、半導体製造工程や医薬品製造工
程等に供給される。
【００４０】一方、第２ＲＯ装置５及び第３ＲＯ装置６
の濃縮水は、第１ＲＯ装置４でＲＯ処理された透過水か
ら得られる比較的良好な水質の水であるため、水回収率
の向上の面から、これを前段工程に戻して再処理する。
この場合、この濃縮水をＲＯ処理のｐＨ調整後の工程に
戻すとｐＨ変動の恐れがあり、また、高圧ポンプＲ５の
下流側に戻すには、前述の如く、別途ポンプを必要とす
るため、この高圧ポンプ及びｐＨ調整位置よりも前段に
戻すのが好ましい。濃縮水の好適な返送先としては、酸
添加前の原水ラインや活性炭塔３の前後が考えられる
が、特に、図示の如く、活性炭塔３の入口側に返送する
のが好ましい。即ち、原水ラインに返送した場合には、
脱気装置２の被処理水が増え不経済である。活性炭塔３
の出口側に返送した場合にはこのような問題はないが、
活性炭塔３の入口側に返送し、活性炭処理することによ
り、活性炭処理によるｐＨ安定化作用でｐＨ変動幅が小
さく抑えられ、極めて有利である。
の濃縮水は、第１ＲＯ装置４でＲＯ処理された透過水か
ら得られる比較的良好な水質の水であるため、水回収率
の向上の面から、これを前段工程に戻して再処理する。
この場合、この濃縮水をＲＯ処理のｐＨ調整後の工程に
戻すとｐＨ変動の恐れがあり、また、高圧ポンプＲ５の
下流側に戻すには、前述の如く、別途ポンプを必要とす
るため、この高圧ポンプ及びｐＨ調整位置よりも前段に
戻すのが好ましい。濃縮水の好適な返送先としては、酸
添加前の原水ラインや活性炭塔３の前後が考えられる
が、特に、図示の如く、活性炭塔３の入口側に返送する
のが好ましい。即ち、原水ラインに返送した場合には、
脱気装置２の被処理水が増え不経済である。活性炭塔３
の出口側に返送した場合にはこのような問題はないが、
活性炭塔３の入口側に返送し、活性炭処理することによ
り、活性炭処理によるｐＨ安定化作用でｐＨ変動幅が小
さく抑えられ、極めて有利である。
【００４１】なお、図１では、ＲＯ処理のｐＨ調整を第
１ＲＯ装置４の入口側と第２ＲＯ装置５の入口側の双方
で行うが、このｐＨ調整は、第１ＲＯ装置４の入口側の
み、或いは、第２ＲＯ装置５の入口側のみで行っても良
い。
１ＲＯ装置４の入口側と第２ＲＯ装置５の入口側の双方
で行うが、このｐＨ調整は、第１ＲＯ装置４の入口側の
み、或いは、第２ＲＯ装置５の入口側のみで行っても良
い。
【００４２】第１ＲＯ装置４の入口側でｐＨ調整する
と、原水中の塩類の大部分を除去する第１ＲＯ装置４が
最適条件となるため、効率的な処理を行える。また、第
２ＲＯ装置５の入口側でｐＨ調整すると、この水は、第
１ＲＯ装置４で塩類の大部分が除去されているため、水
中のイオンの影響を受けることなく容易にｐＨ調整する
ことができ、ｐＨ調整のための酸又はアルカリが少量で
足りるという利点がある。
と、原水中の塩類の大部分を除去する第１ＲＯ装置４が
最適条件となるため、効率的な処理を行える。また、第
２ＲＯ装置５の入口側でｐＨ調整すると、この水は、第
１ＲＯ装置４で塩類の大部分が除去されているため、水
中のイオンの影響を受けることなく容易にｐＨ調整する
ことができ、ｐＨ調整のための酸又はアルカリが少量で
足りるという利点がある。
【００４３】図１の如く、第１ＲＯ装置４の入口側と第
２ＲＯ装置５の入口側の両方でｐＨ調整した場合には、
上記効果を共に得ることができる上に、一方のｐＨ調整
手段にトラブルが発生した場合でも、他方のｐＨ調整手
段でこれを補って、水質を安定化することができる。
２ＲＯ装置５の入口側の両方でｐＨ調整した場合には、
上記効果を共に得ることができる上に、一方のｐＨ調整
手段にトラブルが発生した場合でも、他方のｐＨ調整手
段でこれを補って、水質を安定化することができる。
【００４４】本発明において、ＲＯ処理のＲＯ膜として
は、各ＲＯ装置共に、脱塩率の高いＲＯ膜、特に脱塩率
９９．５％以上のＲＯ膜を使用するのが好ましい。
は、各ＲＯ装置共に、脱塩率の高いＲＯ膜、特に脱塩率
９９．５％以上のＲＯ膜を使用するのが好ましい。
【００４５】特に、図１に示す如く、３段ＲＯ処理する
場合、第３ＲＯ装置６に流入する第２ＲＯ装置５の透過
水は、既に２段階のＲＯ処理を経ることで、十分に純度
が高められたものである。このように純度の高い第２Ｒ
Ｏ装置５の透過水をＲＯ処理する第３ＲＯ装置６のＲＯ
膜としては、低塩類濃度域における脱塩率の高いＲＯ膜
を用いるのが好ましい。このようなＲＯ膜であれば、２
段ＲＯ処理により既にイオン濃度が相当に低減された第
２ＲＯ装置の透過水中のイオンを極低濃度にまで除去し
て、著しく高水質の処理水を得ることができる。
場合、第３ＲＯ装置６に流入する第２ＲＯ装置５の透過
水は、既に２段階のＲＯ処理を経ることで、十分に純度
が高められたものである。このように純度の高い第２Ｒ
Ｏ装置５の透過水をＲＯ処理する第３ＲＯ装置６のＲＯ
膜としては、低塩類濃度域における脱塩率の高いＲＯ膜
を用いるのが好ましい。このようなＲＯ膜であれば、２
段ＲＯ処理により既にイオン濃度が相当に低減された第
２ＲＯ装置の透過水中のイオンを極低濃度にまで除去し
て、著しく高水質の処理水を得ることができる。
【００４６】とりわけ、この第３段ＲＯ装置６のＲＯ膜
としては、正に荷電したＲＯ膜を使用するのが好まし
い。
としては、正に荷電したＲＯ膜を使用するのが好まし
い。
【００４７】即ち、前述の如く、第１ＲＯ装置４では原
水中の塩類、ＴＯＣの殆どが除去され、第２ＲＯ装置５
では特に残留アニオンが除去される。従って、第３ＲＯ
装置６では、カチオンを反発してカチオンを効果的に除
去する正荷電膜を用い、特に残留カチオンを効率的に除
去するのが好ましい。
水中の塩類、ＴＯＣの殆どが除去され、第２ＲＯ装置５
では特に残留アニオンが除去される。従って、第３ＲＯ
装置６では、カチオンを反発してカチオンを効果的に除
去する正荷電膜を用い、特に残留カチオンを効率的に除
去するのが好ましい。
【００４８】なお、通常のＲＯ膜は負荷電膜が一般的で
あり、アニオン除去効果が高い。
あり、アニオン除去効果が高い。
【００４９】本発明において３段ＲＯ処理を行う場合、
第１ＲＯ装置及び第２ＲＯ装置のＲＯ膜としては、日東
電工株式会社製「ＥＳ２０」、東レ株式会社製「ＳＵ９
１０」等の負荷電膜を用いるのが好ましい。また、第３
ＲＯ装置のＲＯ膜としては、塩類濃度１〜１０ｐｐｍと
いうような低塩類濃度域における脱塩率が９９％以上の
ＲＯ膜、例えば、日東電工社製「ＮＴＲ−７１９Ｈ
Ｆ」，「ＥＳ１０Ｃ」（共にＮａＣｌ濃度１〜１０ｐｐ
ｍでのＮａＣｌ阻止率９９％以上）等の正荷電膜を用い
るのが好ましい。
第１ＲＯ装置及び第２ＲＯ装置のＲＯ膜としては、日東
電工株式会社製「ＥＳ２０」、東レ株式会社製「ＳＵ９
１０」等の負荷電膜を用いるのが好ましい。また、第３
ＲＯ装置のＲＯ膜としては、塩類濃度１〜１０ｐｐｍと
いうような低塩類濃度域における脱塩率が９９％以上の
ＲＯ膜、例えば、日東電工社製「ＮＴＲ−７１９Ｈ
Ｆ」，「ＥＳ１０Ｃ」（共にＮａＣｌ濃度１〜１０ｐｐ
ｍでのＮａＣｌ阻止率９９％以上）等の正荷電膜を用い
るのが好ましい。
【００５０】なお、図１には、３段ＲＯ処理を行う例を
示したが、本発明ではＲＯ処理は２段以上の多段であれ
ば良く、２段ＲＯ処理であっても良い。
示したが、本発明ではＲＯ処理は２段以上の多段であれ
ば良く、２段ＲＯ処理であっても良い。
【００５１】しかし、３段ＲＯ処理を行うことにより、
一層の高純度化が図れ、従来の一次純水装置で用いられ
ているイオン交換装置を省略することができるため、好
ましくは３段ＲＯ処理とする。
一層の高純度化が図れ、従来の一次純水装置で用いられ
ているイオン交換装置を省略することができるため、好
ましくは３段ＲＯ処理とする。
【００５２】即ち、イオン交換装置を必要とする場合に
は、イオン交換樹脂の再生のための操作や薬剤、再生廃
液の処理が必要となり、装置や操作が複雑となる上に、
コストが高騰する。従って、３段ＲＯ処理を採用してイ
オン交換装置を省略するのが有利である。
は、イオン交換樹脂の再生のための操作や薬剤、再生廃
液の処理が必要となり、装置や操作が複雑となる上に、
コストが高騰する。従って、３段ＲＯ処理を採用してイ
オン交換装置を省略するのが有利である。
【００５３】ただし、３段ＲＯ処理を採用した場合で
も、より高純度の純水が必要とされる場合には、小容量
の非再生型イオン交換装置で処理した後、サブシステム
に送るようにしても良い。
も、より高純度の純水が必要とされる場合には、小容量
の非再生型イオン交換装置で処理した後、サブシステム
に送るようにしても良い。
【００５４】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００５５】実施例１ 図１に示す方法に従って、水道水と半導体工場の回収水
とを水道水：回収水＝３：７で混合した水（全炭酸濃度
４．３ｐｐｍ）を原水として処理を行った。この水の３
段ＲＯ処理の好適ｐＨ値は、図４に示す如く、約ｐＨ
６．０〜６．１である。
とを水道水：回収水＝３：７で混合した水（全炭酸濃度
４．３ｐｐｍ）を原水として処理を行った。この水の３
段ＲＯ処理の好適ｐＨ値は、図４に示す如く、約ｐＨ
６．０〜６．１である。
【００５６】まず、原水に酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）を添加して
ｐＨ４．７〜４．８にした後、膜脱気装置（大日本イン
キ工業社製「ＳＥＰＡＲＥＬ ＥＦ０４０Ｐ」）２に通
水し、真空ポンプ（リーチャリー社製「ＶＣＥ−４
０」）で吸引した。その後、活性炭（ＣＷ１０／３２）
塔３にＳＶ＝２０ｈｒ-1で通水した。
ｐＨ４．７〜４．８にした後、膜脱気装置（大日本イン
キ工業社製「ＳＥＰＡＲＥＬ ＥＦ０４０Ｐ」）２に通
水し、真空ポンプ（リーチャリー社製「ＶＣＥ−４
０」）で吸引した。その後、活性炭（ＣＷ１０／３２）
塔３にＳＶ＝２０ｈｒ-1で通水した。
【００５７】活性炭塔３の出口水のｐＨは６．０〜６．
１であったので、この水をｐＨ調整することなくそのま
ま、高圧ポンプＰ−５で運転圧１５ｋｇ／ｃｍ2 で３段
ＲＯ処理した。用いたＲＯ膜は、第１ＲＯ装置４及び第
２ＲＯ装置５では日東電工社製ポリアクリルアミドＲＯ
膜「ＥＳ−２０」（４インチ）であり、第３ＲＯ装置６
では日東電工社製ポリアクリルアミドＲＯ膜「ＥＳ１０
Ｃ」である。
１であったので、この水をｐＨ調整することなくそのま
ま、高圧ポンプＰ−５で運転圧１５ｋｇ／ｃｍ2 で３段
ＲＯ処理した。用いたＲＯ膜は、第１ＲＯ装置４及び第
２ＲＯ装置５では日東電工社製ポリアクリルアミドＲＯ
膜「ＥＳ−２０」（４インチ）であり、第３ＲＯ装置６
では日東電工社製ポリアクリルアミドＲＯ膜「ＥＳ１０
Ｃ」である。
【００５８】その結果、第３ＲＯ装置の透過水として、
比抵抗１６〜１７ＭΩ／ｃｍの高純度の純水を安定に得
ることができた。
比抵抗１６〜１７ＭΩ／ｃｍの高純度の純水を安定に得
ることができた。
【００５９】なお、この実施例における原水タンク１の
出口水のｐＨ，活性炭塔３の出口水のｐＨ及び得られた
純水の比抵抗の経時変化を図５に示す。
出口水のｐＨ，活性炭塔３の出口水のｐＨ及び得られた
純水の比抵抗の経時変化を図５に示す。
【００６０】比較例１ 実施例１において、脱気処理水を活性炭塔に通水せずに
直接ｐＨ調整して３段ＲＯ処理したこと以外は同様にし
て処理を行った。
直接ｐＨ調整して３段ＲＯ処理したこと以外は同様にし
て処理を行った。
【００６１】その結果、脱気処理水のｐＨは５．２〜
５．８の範囲で大きく変動し、この脱気処理水にＮａＯ
Ｈを添加してｐＨ６．０〜６．１に調整したものの、３
段ＲＯ処理の給水のｐＨは結果的にｐＨ５．９〜６．５
の間で変動したため、得られた純水の比抵抗は６〜１６
ＭΩ／ｃｍとなった。
５．８の範囲で大きく変動し、この脱気処理水にＮａＯ
Ｈを添加してｐＨ６．０〜６．１に調整したものの、３
段ＲＯ処理の給水のｐＨは結果的にｐＨ５．９〜６．５
の間で変動したため、得られた純水の比抵抗は６〜１６
ＭΩ／ｃｍとなった。
【００６２】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の純水の製造
方法によれば、被処理水に酸を添加して脱気処理した
後、多段に直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水して
純水を製造する方法において、ＲＯ膜分離装置の入口水
のｐＨ変動を抑え、ＲＯ処理に好適なｐＨ条件を安定に
維持することにより、高水質の純水を製造することがで
きる。
方法によれば、被処理水に酸を添加して脱気処理した
後、多段に直列配置したＲＯ膜分離装置に順次通水して
純水を製造する方法において、ＲＯ膜分離装置の入口水
のｐＨ変動を抑え、ＲＯ処理に好適なｐＨ条件を安定に
維持することにより、高水質の純水を製造することがで
きる。
【図１】本発明の純水の製造方法の実施の形態を示す系
統図である。
統図である。
【図２】膜脱気装置の入口水と出口水のｐＨ変動を示す
グラフである。
グラフである。
【図３】３段ＲＯ処理の給水のｐＨと得られる処理水の
比抵抗との関係を示すグラフである。
比抵抗との関係を示すグラフである。
【図４】３段ＲＯ処理の給水のｐＨと得られる処理水の
比抵抗との関係を示すグラフである。
比抵抗との関係を示すグラフである。
【図５】実施例１における原水タンク１の出口水のｐ
Ｈ，活性炭塔３の出口水のｐＨ及び得られた純水の低抵
抗の経時変化を示すグラフである。
Ｈ，活性炭塔３の出口水のｐＨ及び得られた純水の低抵
抗の経時変化を示すグラフである。
１ 原水タンク ２ 脱気装置 ３ 活性炭塔 ４ 第１ＲＯ装置 ５ 第２ＲＯ装置 ６ 第３ＲＯ装置 Ｐ−１，Ｐ−２，Ｐ−３，Ｐ−４，Ｐ−６，Ｐ−７ ポ
ンプ Ｐ−５ 高圧ポンプ Ｍ−１，Ｍ−２，Ｍ−３ 撹拌機 Ｈ−１，Ｈ−２，Ｈ−３ ｐＨ計
ンプ Ｐ−５ 高圧ポンプ Ｍ−１，Ｍ−２，Ｍ−３ 撹拌機 Ｈ−１，Ｈ−２，Ｈ−３ ｐＨ計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 1/20 Ｃ０２Ｆ 1/20 Ａ 1/28 1/28 Ｄ 9/00 ５０２ 9/00 ５０２Ｆ ５０２Ｈ ５０２Ｚ ５０３ ５０３Ｂ ５０４ ５０４Ｂ
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理水に酸を添加して脱気処理した
後、多段に直列配置した逆浸透膜分離装置に順次通水し
て純水を製造する方法において、 脱気処理後の水を活性炭と接触させ、該活性炭接触後の
水を多段に直列配置した前記逆浸透膜分離装置に順次通
水することを特徴とする純水の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05468497A JP4208270B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 純水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05468497A JP4208270B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 純水の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005368977A Division JP2006122908A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 純水の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249340A true JPH10249340A (ja) | 1998-09-22 |
| JP4208270B2 JP4208270B2 (ja) | 2009-01-14 |
Family
ID=12977631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05468497A Expired - Fee Related JP4208270B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 純水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4208270B2 (ja) |
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| JP2002336887A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
| JP2002336886A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
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| CN106401582A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-02-15 | 吉林大学 | 一种集成仿生一体式半透膜脱气器 |
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-
1997
- 1997-03-10 JP JP05468497A patent/JP4208270B2/ja not_active Expired - Fee Related
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