JPH06328070A - 半導体洗浄排水からの純水回収方法 - Google Patents
半導体洗浄排水からの純水回収方法Info
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- JPH06328070A JPH06328070A JP5125845A JP12584593A JPH06328070A JP H06328070 A JPH06328070 A JP H06328070A JP 5125845 A JP5125845 A JP 5125845A JP 12584593 A JP12584593 A JP 12584593A JP H06328070 A JPH06328070 A JP H06328070A
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Abstract
装置により半導体洗浄排水を処理して高純度純水を効率
的に回収する。 【構成】 半導体洗浄排水をpH6〜9に調整したのち
生物処理、除濁後、pH4〜7に調整したのち第1RO
膜分離装置6で処理し、透過水をpH7〜9に調整した
のち第2RO膜分離装置8で処理する。 【効果】 第1RO膜分離処理をpH4〜7の微ないし
弱酸性で行うことにより、NH4 +を含むイオン、その他
生物処理後更に残留する有機物の大部分を除去する。そ
の後、第2(更には第3)RO膜分離処理をpH7〜9
の弱アルカリ性で行うことにより、水中のCO2 をHC
O3 -としてRO膜の脱塩機能により効率的に除去する。
装置設備の大型化、装置設置スペースの増大、造水コス
トの高騰をひきおこすことなく、高水質の純水を安定か
つ安価に、効率的に得る。
Description
水回収方法に係り、特に、半導体洗浄排水を逆浸透膜
(RO膜)分離装置で処理して、高純度純水を回収する
方法に関する。
回収する方法としては、イオン交換処理により脱イオン
処理した後、有機物をRO膜分離装置及び紫外線酸化装
置で除去、分解する方法が一般に行われている。
排水からの純水回収方法では、 半導体洗浄排水が濃厚である場合には、イオン交換
設備が膨大となり、設備スペースや設備費が嵩む。 イオン交換樹脂の再生に要する設備(再生水槽、排
水槽)が多大であると共に、再生に手間がかかる。ま
た、再生薬剤も多量に必要とする。 イオン交換処理を前段に配した場合、RO膜の脱塩
機能の有効利用が図れない。 有機物によるスライム障害が頻繁に起こる。 といった問題点がある。
ン交換処理を施すことなく、RO膜分離装置により半導
体洗浄排水を処理して高純度純水を効率的に回収する方
法を提供することを目的とする。
からの純水回収方法は、半導体洗浄排水をpH6〜9に
調整したのち生物処理し、得られた生物処理水を除濁後
pH4〜7に調整したのち第1の逆浸透膜分離装置(以
下「第1RO膜分離装置」と称す。)で処理し、得られ
た透過水をpH7〜9に調整したのち第2の逆浸透膜分
離装置(以下「第2RO膜分離装置」と称す。)で処理
し、得られた透過水を回収することを特徴とする。
排水からの純水回収方法を詳細に説明する。図1は本発
明の半導体洗浄排水からの純水回収方法の一実施例方法
を示す系統図である。
担体とする流動床式生物濾過装置、3は第1中間槽、4
はUF(限外濾過)膜分離装置、5は第2中間槽、6は
第1RO膜分離装置、7は第3中間槽、8は第2RO膜
分離装置、9は第3RO膜分離装置(第3のRO膜分離
装置)である。また、P1 ,P2 ,P3 ,P4 はポン
プ、11〜27の各符号は配管を示す。
浄排水(原水)を配管11、原水槽1及び配管12を経
て流動床式生物濾過装置2に導入して生物処理するが、
この生物処理に当り、流動床式生物濾過装置2の給水に
必要に応じて配管13よりNaOH等のアルカリを添加
してpHを6〜9に調整する。
配管15を経てUF膜分離装置4(本実施例においては
波板状のスペーサを有するスパイラル型UF膜分離装
置)に供給して除濁処理する。
より抜き出し、一方、透過水は配管17、第2中間槽5
及び配管18を経て第1RO膜分離装置に導入してRO
膜分離処理するが、この第1RO膜分離処理に当り、第
1RO膜分離装置6の給水に配管19よりHCl等の酸
を添加して、給水のpHを4〜7、好ましくはpH6〜
7に調整する。
H4〜7、好ましくはpH6〜7の微ないし弱酸性条件
下にて、給水中のNH4 +を含むイオンや生物処理後なお
残留する有機物の大部分が除去される。
より抜き出し、透過水は配管21、第3中間槽7及び配
管22を経て第2RO膜分離装置8に導入してRO膜分
離処理するが、この第2RO膜分離処理に当り、第2R
O膜分離装置8の給水に配管23よりNaOH等のアル
カリを添加して、給水のpHを7〜9、好ましくは7.
5〜8.5に調整する。この第2RO膜分離装置8の濃
縮水は配管24より抜き出し、透過水は配管25より第
3RO膜分離装置9に導入し、更にRO膜分離処理す
る。この第3RO膜分離装置9の濃縮水は配管26より
第3中間槽7に返送する一方、透過水は処理水(純水)
として配管27より回収してユースポイントへ送る。
ける弱アルカリ条件下のRO膜分離処理により、給水中
のCO2 がHCO3 -として効率的に除去され、著しく高
純度の純水が得られる。
であって本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示の
ものに限定されるものではない。例えば、RO膜分離装
置は必ずしも3段に設ける必要はなく、2段であっても
良い。また、除濁のためのUF膜分離装置はRO膜分離
装置であっても良い。更に、生物処理装置についても何
ら制限はない。
F,HF,H2 SO4 等)や溶媒、界面活性剤、レジス
ト剤等の有機物が含有されている。本発明の半導体洗浄
排水からの純水回収方法においては、半導体洗浄排水を
pH6〜9に中和して生物処理した後、得られた生物処
理水を2段、好ましくは3段RO膜分離処理するが、こ
のRO膜分離処理に当り、pHを適宜調整することによ
り高純度純水を得る。
れるが、このNH4 +は、図2に示す如く、pHによりN
H4 +→NH3 又はNH3 →NH4 +に形態変化する。ま
た、生物処理水中には、有機物の分解により生成したC
O2 が存在するが、このCO2もまた、図3に示す如
く、pHによりCO2 (H2 CO3 )→HCO3 -→CO
3 2- 或いはCO3 2- →HCO3 -→CO2 (H2 CO3 )
に形態変化する。
pH4〜7.5、好ましくはpH6〜7の微ないし弱酸
性で行うことにより、NH4 +を含むイオン、その他生物
処理後更に残留する有機物の大部分を除去する。その
後、第2(更には第3)RO膜分離処理をpH7.5〜
9.0の弱アルカリ性で行うことにより、水中のCO2
をHCO3 -としてRO膜の脱塩機能により効率的に除去
する。
説明する。
導体洗浄排水の処理を行なった。なお、RO膜として
は、第1,第2及び第3RO膜分離装置共に、PA系合
成高分子膜を用いた。また、原水はNaOHによりpH
6〜9に調整して生物処理に供し、生物処理水はHCl
によりpH6〜7に調整して第1RO膜分離処理に供
し、更に、第1RO膜分離処理の透過水はNaOHによ
りpH7.0〜9に調整して第2,第3RO膜分離処理
に供した。
装置の透過水及び第3RO膜分離装置の透過水(処理
水)の水質を表1に示す。
処理水の比抵抗との関係を図4に示す。
ば、TOC=10ppm,導電率=3000μS/cm
程度の半導体洗浄排水から、イオン交換処理を要するこ
となく、RO膜分離処理により、TOC<20ppbで
比抵抗=7MΩcm程度の高純度純水を得ることができ
ることがわかる。
排水からの純水回収方法によれば、半導体洗浄排水から
純水を回収するに当り、イオン交換処理を要することな
く、RO膜分離処理により、比抵抗3MΩcm以上の高
純度純水を効率的に得ることができる。このため、装置
設備の大型化、装置設置スペースの増大、造水コストの
高騰をひきおこすことなく、高水質の純水を安定かつ安
価に、効率的に得ることが可能とされる。
比べて、イニシャルコストは約3/4、ランニングコス
トはほぼ同等、装置設置スペースは約1/2となり、大
幅な改善が図れる。
通常の超純水製造システムのサブシステム(紫外線殺菌
装置、混床式イオン交換装置及びUF膜分離装置からな
るシステム)を設けることにより、16Mb対応の超純
水の回収も可能となり、工業的に極めて有利である。
一実施例方法を説明する系統図である。
示すグラフである。
の関係(JIS K−1010−1992)を示すグラ
フである。
抵抗との関係を示すグラフである。
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体洗浄排水をpH6〜9に調整した
のち生物処理し、得られた生物処理水を除濁後pH4〜
7に調整したのち第1の逆浸透膜分離装置で処理し、得
られた透過水をpH7〜9に調整したのち第2の逆浸透
膜分離装置で処理し、得られた透過水を回収することを
特徴とする半導体洗浄排水からの純水回収方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12584593A JP3376639B2 (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 半導体洗浄排水からの純水回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12584593A JP3376639B2 (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 半導体洗浄排水からの純水回収方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06328070A true JPH06328070A (ja) | 1994-11-29 |
JP3376639B2 JP3376639B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=14920372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12584593A Expired - Lifetime JP3376639B2 (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 半導体洗浄排水からの純水回収方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3376639B2 (ja) |
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- 1993-05-27 JP JP12584593A patent/JP3376639B2/ja not_active Expired - Lifetime
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