JP2006130367A - 有機物含有水からの水の回収装置および回収方法 - Google Patents
有機物含有水からの水の回収装置および回収方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】有機物含有水を生物処理した後、該生物処理水をろ過することで得られるろ過水のpHをアルカリに調整した後、逆浸透膜装置を通水して得られた透過水を処理水として回収することを特徴とする有機物含有水からの水の回収方法および回収装置。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施態様に係る有機物含有水からの水の回収装置が組み込まれた、半導体製造設備における水の循環システム全体を示している。図1において、1は河川水、地下水および工業用水を前処理する前処理系、2は1次純水系、3は2次純水系を表している。1次純水系2を経て2次純水系3で作られた超純水は、半導体製造設備における各ユースポイント4に供給され、例えば半導体の洗浄等に使用される。半導体製造で使用された超純水は、半導体の製造に使用された有機薬品などの不純物を含んだ排水(有機物含有水)となり、排水配管5を介して有機物含有水からの水の回収装置6に送られる。該回収装置6により有機物等の不純物が除去された透過水は供給配管16を介して、再び1次純水系2に供給される。このようにして、半導体製造設備における水の循環システムが構成されている。
図2に示す装置により、原水として表1に示す水質の電子部品部材類製造工程排水(有機物含有水)の処理を行った。この際、RO膜手段15への供給水はNaOHによりpH=9に調整した。RO膜手段15におけるRO膜の処理流束の経時的変化を図3に示した。
図2に示す装置により、原水として表1に示す水質の電子部品部材類製造工程排水(有機物含有水)の処理を行った。この際、RO膜手段15への供給水はNaOHによりpH=10に調整した。RO膜手段15におけるRO膜の処理流束の経時的変化を図3に示した。
図2に示す装置により、原水として表1に示す水質の電子部品部材類製造工程排水(有機物含有水)の処理を行った。この際、RO膜手段15への供給水はNaOHによりpH=11に調整した。RO膜手段15におけるRO膜の処理流束の経時的変化を図3に示した。
図2に示す装置により、原水として表1に示す水質の電子部品部材類製造工程排水(有機物含有水)の処理を行った。この際、RO膜手段15への供給水はNaOHによりpH=11に調整した。また、pH調整手段によるNaOHの添加は、1時間連続で行い、その後11時間は添加を行わない周期を繰り返した。RO膜手段15におけるRO膜の処理流束の経時的変化を図4に示した。比較のためNaOHの添加を連続的に行った実施例3のデータを図4に併記した。
図2に示す装置により、原水として表1に示す水質の電子部品部材類製造工程排水(有機物含有水)の処理を行った。この際、RO膜手段15への供給水にはpH調整を行なわなかった。RO膜手段15におけるRO膜の処理流束の経時的変化を図3に示した。
2 1次純水系
3 2次純水系
4 ユースポイント
5 排水配管
6 有機物含有水からの水の回収装置
8 生物処理手段
9 第1中間槽
10 ろ過手段
11 第2中間槽
12 活性炭塔
13 pH調整手段
14 安全フィルタ
15 RO膜手段
16 供給配管
Claims (14)
- 有機物含有水を生物処理した後、生物処理水をろ過することで得られるろ過水のpHをアルカリに調整した後、逆浸透膜装置を通水して得られた透過水を処理水として回収することを特徴とする有機物含有水からの水の回収方法。
- 前記ろ過が砂ろ過及び/または活性炭ろ過のいずれかである、請求項1の有機物含有水からの水の回収方法。
- 前記ろ過水に連続的にアルカリを添加し、ろ過水のpHを9以上に調整する、請求項1または2の有機物含有水からの水の回収方法。
- 前記ろ過水に間欠的にアルカリを添加し、ろ過水のpHを9以上に調整する、請求項1または2の有機物含有水からの水の回収方法。
- 前記有機物含有水に排水を用いる、請求項1ないし4のいずれかに記載の有機物含有水からの水の回収方法。
- 前記排水が電子部品部材類製造工程の排水である、請求項5の有機物含有水からの水の回収方法。
- 前記排水に含まれる全有機炭素が10mg/L以上である、請求項1ないし6のいずれかに記載の有機物含有水からの水の回収方法。
- 有機物含有水を生物処理する生物処理手段と、生物処理水をろ過するろ過手段と、ろ過水のpHをアルカリに調整するpH調整手段と、アルカリに調整されたろ過水を透過させ透過水を得る逆浸透膜手段とを有する有機物含有水からの水の回収装置。
- 前記ろ過手段が、砂ろ過手段及び/または活性炭ろ過手段のいずれかからなる、請求項8の有機物含有水からの水の回収装置。
- 前記pH調整手段が、ろ過水に連続的にアルカリを添加しpHを9以上に調整する手段からなる、請求項8または9の有機物含有水からの水の回収装置。
- 前記pH調整手段が、ろ過水に間欠的にアルカリを添加しpHを9以上に調整する手段からなる、請求項8または9の有機物含有水からの水の回収装置。
- 前記有機物含有水が排水からなる、請求項8ないし11のいずれかに記載の有機物含有水からの水の回収装置。
- 前記排水が電子部品部材類製造工程の排水からなる、請求項12の有機物含有水からの水の回収装置。
- 前記排水に含まれる全有機炭素が10mg/L以上である、請求項8ないし13のいずれかに記載の有機物含有水からの水の回収装置。
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