JPH07313994A - 超純水の製造方法 - Google Patents
超純水の製造方法Info
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Abstract
超純水を製造する方法において、回収水中のNH4 +によ
る尿素の分解阻害を防止する。 【構成】 工業用水と、超純水による半導体洗浄回収水
とを混合することなく別々に生物処理した後混合し、一
次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水する。 【効果】 工業用水系生物処理装置では、安定して尿素
分解が可能となり、一方、回収水系生物処理装置では安
定してアルコール、ケトン類の分解が可能となる。回収
水系生物処理装置の処理水中に含有されるNH4 +や、工
業用水系生物処理装置の処理水中に含有されるCa2+,
Na+ ,K+ ,Cl- といったイオン類は、後段の一次
純水製造装置のイオン交換純水装置又は逆浸透膜分離装
置により効率良く除去され、超純水システムとして安定
した処理水質を得ることができる。
Description
り、特に半導体工場より排出される使用済超純水(以下
「回収水」と称する。)を回収して、工業用水と共に、
再度超純水を製造する回収系超純水製造システムにおい
て、被処理水中に存在する難除去性有機物である尿素の
分解を効率良く行うことを目的とした超純水の製造方法
に関する。
業用水を原水として超純水を製造する方法において、原
水中の尿素を除去するために、本出願人は、原水を直接
生物処理し、生物処理水を一次純水製造装置及び二次純
水製造装置で処理する技術を見出し、先に特許出願した
(特願平4−225681号)。
る回収系超純水製造システムにおいて、回収水中に含有
されるイソプロピルアルコール(2PA)、メタノール
(MeOH)、ケトン類といった有機物をも尿素と共に
分解するために、工業用水と回収水を混合して生物処理
し、生物処理水を一次純水製造装置及び二次純水製造装
置に通水する方法を提案した(特願平5−22312
号)。
12号の方法では、アルコール、ケトン類といった易生
物分解性有機物のみが含有される回収水であれば、尿
素、アルコール及びケトン類を効率的に同時処理するこ
とが可能である。
記易生物分解性有機物の他にアンモニウムイオン(NH
4 Cl,NH4 F,NH4 OH由来のNH4 +)が多量に
含有されている場合がある。
では、工業用水中の尿素(NH2 −CO−NH2 )は炭
素(C)源としてではなく、窒素(N)源として生物反
応に寄与しているため、NH4 +が多量に含有される回収
水を工業用水に混合して生物処理を行った場合、NH4 +
も尿素と同様N源として利用されることから、NH4 +が
尿素の分解を阻害し、尿素の分解効率が低下するという
問題がある。
に含有されるNH4 +と工業用水中の尿素とからなるN源
に見合ったC源を生物処理装置に注入して生物処理する
方法が考えられる。しかし、この方法では、 注入するC源が多量となり、不経済である。 注入するC源が多量となり、資化される菌体量が多
量となることから、後処理における菌体分離に多大な負
荷がかかり、トラブルを起こし易い。 といった問題がある。
なく、半導体洗浄回収水と工業用水とを原水として超純
水を製造する方法において、回収水中のNH4 +による尿
素分解阻害を防止して、工業用水中に存在する尿素を効
率的に分解し、高純度超純水を効率的に製造する方法を
提供することを目的とする。
法は、工業用水と、超純水による半導体洗浄回収水とを
混合することなく別々に生物処理した後混合し、一次純
水製造装置及び二次純水製造装置に通水することを特徴
とする。
別々に生物処理するため、工業用水系生物処理装置で
は、安定して尿素分解が可能となり、一方、回収水系生
物処理装置では安定してアルコール、ケトン類の分解が
可能となる。
含有されるNH4 +や、工業用水系生物処理装置の処理水
中に含有されるCa2+,Na+ ,K+ ,Cl- といった
イオン類は、後段の一次純水製造装置のイオン交換純水
装置又は逆浸透(RO)膜分離装置により効率良く除去
され、超純水システムとして安定した処理水質を得るこ
とができる。
て詳細に説明する。
好適な超純水製造装置の一例を示す系統図である。
理装置Aとして工業用水用生物処理装置1Aと回収水用
生物処理装置1Bとを並列配置し、その後段にメンブレ
ンフィルター、即ち限外濾過(UF)又は精密濾過(M
F)膜分離装置2を、一次純水製造装置Bとして第1逆
浸透(RO)膜分離装置3と第2逆浸透(RO)膜分離
装置4と混床式イオン交換装置5を、また、二次純水製
造装置Cとして(タンク6と)低圧紫外線酸化装置7
と、混床式イオン交換装置8とUF膜分離装置9を設
け、この順で直列に設置したものである。20Aは工業
用水の導入配管、20Bは回収水の導入配管を示す。
は、まず工業用水用生物処理装置1Aに導入されて生物
処理され、尿素等の有機物が分解除去される。一方、回
収水は、回収水用生物処理装置1Bに導入されて生物処
理され、アルコール、ケトン類等の易生物分解性有機物
が分解除去される。
1Bから流出する菌体の除去のためにUF又はMF膜分
離装置2に導入され、膜分離される。
理水は、次いで一次純水製造装置Bにおいて、まず、第
1RO膜分離装置3及び第2RO膜分離装置4にて2段
RO膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置5でイ
オン交換される。
次純水製造装置Cにて、タンク6を経て低圧紫外線酸化
装置7に導入され、含有されるTOCがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置8で除去される。この混床式イオ
ン交換装置8の処理水は更にUF膜分離装置で膜分離処
理され、超純水が得られる。
純水製造装置Bがイオン交換純水装置10とRO膜分離
装置11で構成されること以外は図1(a)に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
ては、工業用水及び回収水を各々別々に生物処理装置で
処理する前処理装置を設けたこと以外は、基本的に従来
の超純水製造装置と同様の構成とすることができ、一次
純水製造装置及び二次純水製造装置におけるRO膜分離
装置やイオン交換純水装置等の各装置単位の組み合せや
構成は従来のものをそのまま採用することができる。
施に好適な装置の一例であって、本発明方法はその要旨
を超えない限り、何ら図示のものに限定されるものでは
ない。例えば、工業用水の生物処理水と回収水の生物処
理水との混合は、別途混合槽を設けて行なうこともでき
る。しかしながら、通常の場合、配管への直接供給で十
分である。また、各生物処理装置の前段又は後段に凝集
沈殿装置や凝集濾過装置を設けても良い。
理装置から流出する菌体の除去手段としては、メンブレ
ンフィルターの他、砂濾過装置等を用いても良い。この
菌体除去手段は、各生物処理装置毎に設けても良い。
の生物処理水と回収水の生物処理水とを混合して処理す
るものであれば良く、その混合比率には特に制限はない
が、通常の場合、工業用水に対して回収水を40〜80
体積%となるように各々生物処理した後混合するのが好
ましい。
本発明をより詳細に説明する。
及び回収水の処理を行った。なお、用いた生物処理装置
は、いずれも充填材としてクラレコールKW20/40
を充填した上向流式生物処理装置であり、工業用水用生
物処理装置の滞留時間(HRT)は30分、回収水用生
物処理装置の滞留時間(HRT)は15分とし、後段に
はUF膜分離装置を設けた。また、処理に供した工業用
水と回収水との体積比は2:1とした。
木市水(平成5年8月3日〜平成5年9月20日)。 回収水:超純水にIPA,MeOH,アセトンをそれぞ
れ0.5ppm溶解し、更にNH4 +を10ppm溶解し
て製造した合成回収水。
用いたと同様の生物処理装置で滞留時間(HRT)は3
0分とした。)したこと以外は同様に処理を行い、得ら
れた超純水の尿素濃度を表1に示した。
の製造方法によれば、回収水中のNH4 +による分解阻害
を受けることなく、工業用水中の尿素を効率的に処理
し、高純度の超純水を得ることができる。
造方法によれば、尿素を含有する市水、地下水等の工業
用水と回収水とから超純水を製造するに当り、 工業用水中の難除去性有機物である尿素を効率良く
分解することができる。 回収水中のアルコール、ケトンといった易生物分解
性有機物を効率良く分解することができる。 といった効果が奏され、極めて純度の高い超純水を効率
的に製造することが可能とされる。
水製造装置の一例を示す系統図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 工業用水と、超純水による半導体洗浄回
収水とを混合することなく別々に生物処理した後混合
し、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水する
ことを特徴とする超純水の製造方法。
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JP10821794A JP3417052B2 (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 超純水の製造方法 |
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JPH07313994A true JPH07313994A (ja) | 1995-12-05 |
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ID=14479007
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JP10821794A Expired - Fee Related JP3417052B2 (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 超純水の製造方法 |
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- 1994-05-23 JP JP10821794A patent/JP3417052B2/ja not_active Expired - Fee Related
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