JPH07313994A - 超純水の製造方法 - Google Patents

超純水の製造方法

Info

Publication number
JPH07313994A
JPH07313994A JP6108217A JP10821794A JPH07313994A JP H07313994 A JPH07313994 A JP H07313994A JP 6108217 A JP6108217 A JP 6108217A JP 10821794 A JP10821794 A JP 10821794A JP H07313994 A JPH07313994 A JP H07313994A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
biological treatment
recovered
ultrapure water
treated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6108217A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3417052B2 (ja
Inventor
Masayoshi Oinuma
正芳 老沼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurita Water Industries Ltd
Original Assignee
Kurita Water Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurita Water Industries Ltd filed Critical Kurita Water Industries Ltd
Priority to JP10821794A priority Critical patent/JP3417052B2/ja
Publication of JPH07313994A publication Critical patent/JPH07313994A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3417052B2 publication Critical patent/JP3417052B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02WCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W10/00Technologies for wastewater treatment
    • Y02W10/10Biological treatment of water, waste water, or sewage

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Activated Sludge Processes (AREA)
  • Physical Water Treatments (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体洗浄回収水と工業用水とを原水として
超純水を製造する方法において、回収水中のNH4 +によ
る尿素の分解阻害を防止する。 【構成】 工業用水と、超純水による半導体洗浄回収水
とを混合することなく別々に生物処理した後混合し、一
次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水する。 【効果】 工業用水系生物処理装置では、安定して尿素
分解が可能となり、一方、回収水系生物処理装置では安
定してアルコール、ケトン類の分解が可能となる。回収
水系生物処理装置の処理水中に含有されるNH4 +や、工
業用水系生物処理装置の処理水中に含有されるCa2+
Na+ ,K+ ,Cl- といったイオン類は、後段の一次
純水製造装置のイオン交換純水装置又は逆浸透膜分離装
置により効率良く除去され、超純水システムとして安定
した処理水質を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超純水の製造方法に係
り、特に半導体工場より排出される使用済超純水(以下
「回収水」と称する。)を回収して、工業用水と共に、
再度超純水を製造する回収系超純水製造システムにおい
て、被処理水中に存在する難除去性有機物である尿素の
分解を効率良く行うことを目的とした超純水の製造方法
に関する。
【0002】
【従来の技術及び先行技術】市水、地下水、その他の工
業用水を原水として超純水を製造する方法において、原
水中の尿素を除去するために、本出願人は、原水を直接
生物処理し、生物処理水を一次純水製造装置及び二次純
水製造装置で処理する技術を見出し、先に特許出願した
(特願平4−225681号)。
【0003】また、回収水を再利用して超純水を製造す
る回収系超純水製造システムにおいて、回収水中に含有
されるイソプロピルアルコール(2PA)、メタノール
(MeOH)、ケトン類といった有機物をも尿素と共に
分解するために、工業用水と回収水を混合して生物処理
し、生物処理水を一次純水製造装置及び二次純水製造装
置に通水する方法を提案した(特願平5−22312
号)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記特願平5−223
12号の方法では、アルコール、ケトン類といった易生
物分解性有機物のみが含有される回収水であれば、尿
素、アルコール及びケトン類を効率的に同時処理するこ
とが可能である。
【0005】しかしながら、通常の半導体工場では、上
記易生物分解性有機物の他にアンモニウムイオン(NH
4 Cl,NH4 F,NH4 OH由来のNH4 +)が多量に
含有されている場合がある。
【0006】一方、尿素分解を目的とした生物処理装置
では、工業用水中の尿素(NH2 −CO−NH2 )は炭
素(C)源としてではなく、窒素(N)源として生物反
応に寄与しているため、NH4 +が多量に含有される回収
水を工業用水に混合して生物処理を行った場合、NH4 +
も尿素と同様N源として利用されることから、NH4 +
尿素の分解を阻害し、尿素の分解効率が低下するという
問題がある。
【0007】この問題を解決する方法として、回収水中
に含有されるNH4 +と工業用水中の尿素とからなるN源
に見合ったC源を生物処理装置に注入して生物処理する
方法が考えられる。しかし、この方法では、 注入するC源が多量となり、不経済である。 注入するC源が多量となり、資化される菌体量が多
量となることから、後処理における菌体分離に多大な負
荷がかかり、トラブルを起こし易い。 といった問題がある。
【0008】本発明はこのような問題を引き起こすこと
なく、半導体洗浄回収水と工業用水とを原水として超純
水を製造する方法において、回収水中のNH4 +による尿
素分解阻害を防止して、工業用水中に存在する尿素を効
率的に分解し、高純度超純水を効率的に製造する方法を
提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の超純水の製造方
法は、工業用水と、超純水による半導体洗浄回収水とを
混合することなく別々に生物処理した後混合し、一次純
水製造装置及び二次純水製造装置に通水することを特徴
とする。
【0010】
【作用】本発明においては、工業用水と回収水とを各々
別々に生物処理するため、工業用水系生物処理装置で
は、安定して尿素分解が可能となり、一方、回収水系生
物処理装置では安定してアルコール、ケトン類の分解が
可能となる。
【0011】また、回収水系生物処理装置の処理水中に
含有されるNH4 +や、工業用水系生物処理装置の処理水
中に含有されるCa2+,Na+ ,K+ ,Cl- といった
イオン類は、後段の一次純水製造装置のイオン交換純水
装置又は逆浸透(RO)膜分離装置により効率良く除去
され、超純水システムとして安定した処理水質を得るこ
とができる。
【0012】
【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
【0013】図1は本発明の超純水の製造方法の実施に
好適な超純水製造装置の一例を示す系統図である。
【0014】図1(a)に示す超純水製造装置は、前処
理装置Aとして工業用水用生物処理装置1Aと回収水用
生物処理装置1Bとを並列配置し、その後段にメンブレ
ンフィルター、即ち限外濾過(UF)又は精密濾過(M
F)膜分離装置2を、一次純水製造装置Bとして第1逆
浸透(RO)膜分離装置3と第2逆浸透(RO)膜分離
装置4と混床式イオン交換装置5を、また、二次純水製
造装置Cとして(タンク6と)低圧紫外線酸化装置7
と、混床式イオン交換装置8とUF膜分離装置9を設
け、この順で直列に設置したものである。20Aは工業
用水の導入配管、20Bは回収水の導入配管を示す。
【0015】即ち、市水、地下水、その他の工業用水
は、まず工業用水用生物処理装置1Aに導入されて生物
処理され、尿素等の有機物が分解除去される。一方、回
収水は、回収水用生物処理装置1Bに導入されて生物処
理され、アルコール、ケトン類等の易生物分解性有機物
が分解除去される。
【0016】各々の生物処理水は各生物処理装置1A,
1Bから流出する菌体の除去のためにUF又はMF膜分
離装置2に導入され、膜分離される。
【0017】このような前処理装置Aで処理された前処
理水は、次いで一次純水製造装置Bにおいて、まず、第
1RO膜分離装置3及び第2RO膜分離装置4にて2段
RO膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置5でイ
オン交換される。
【0018】更に、一次純水製造装置Bの処理水は、二
次純水製造装置Cにて、タンク6を経て低圧紫外線酸化
装置7に導入され、含有されるTOCがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置8で除去される。この混床式イオ
ン交換装置8の処理水は更にUF膜分離装置で膜分離処
理され、超純水が得られる。
【0019】図1(b)に示す超純水製造装置は、一次
純水製造装置Bがイオン交換純水装置10とRO膜分離
装置11で構成されること以外は図1(a)に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
【0020】本発明で使用される超純水製造装置におい
ては、工業用水及び回収水を各々別々に生物処理装置で
処理する前処理装置を設けたこと以外は、基本的に従来
の超純水製造装置と同様の構成とすることができ、一次
純水製造装置及び二次純水製造装置におけるRO膜分離
装置やイオン交換純水装置等の各装置単位の組み合せや
構成は従来のものをそのまま採用することができる。
【0021】なお、図示の超純水製造装置は本発明の実
施に好適な装置の一例であって、本発明方法はその要旨
を超えない限り、何ら図示のものに限定されるものでは
ない。例えば、工業用水の生物処理水と回収水の生物処
理水との混合は、別途混合槽を設けて行なうこともでき
る。しかしながら、通常の場合、配管への直接供給で十
分である。また、各生物処理装置の前段又は後段に凝集
沈殿装置や凝集濾過装置を設けても良い。
【0022】更に、生物処理装置の後段に設ける生物処
理装置から流出する菌体の除去手段としては、メンブレ
ンフィルターの他、砂濾過装置等を用いても良い。この
菌体除去手段は、各生物処理装置毎に設けても良い。
【0023】なお、本発明の方法においては、工業用水
の生物処理水と回収水の生物処理水とを混合して処理す
るものであれば良く、その混合比率には特に制限はない
が、通常の場合、工業用水に対して回収水を40〜80
体積%となるように各々生物処理した後混合するのが好
ましい。
【0024】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げて
本発明をより詳細に説明する。
【0025】実施例1 図1(a)に示す超純水製造装置により、下記工業用水
及び回収水の処理を行った。なお、用いた生物処理装置
は、いずれも充填材としてクラレコールKW20/40
を充填した上向流式生物処理装置であり、工業用水用生
物処理装置の滞留時間(HRT)は30分、回収水用生
物処理装置の滞留時間(HRT)は15分とし、後段に
はUF膜分離装置を設けた。また、処理に供した工業用
水と回収水との体積比は2:1とした。
【0026】得られた超純水の尿素濃度を表1に示す。
【0027】工業用水:尿素濃度30〜50ppbの厚
木市水(平成5年8月3日〜平成5年9月20日)。 回収水:超純水にIPA,MeOH,アセトンをそれぞ
れ0.5ppm溶解し、更にNH4 +を10ppm溶解し
て製造した合成回収水。
【0028】比較例1 工業用水と回収水とを混合した後生物処理(実施例1で
用いたと同様の生物処理装置で滞留時間(HRT)は3
0分とした。)したこと以外は同様に処理を行い、得ら
れた超純水の尿素濃度を表1に示した。
【0029】
【表1】
【0030】表1より明らかなように、本発明の超純水
の製造方法によれば、回収水中のNH4 +による分解阻害
を受けることなく、工業用水中の尿素を効率的に処理
し、高純度の超純水を得ることができる。
【0031】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の超純水の製
造方法によれば、尿素を含有する市水、地下水等の工業
用水と回収水とから超純水を製造するに当り、 工業用水中の難除去性有機物である尿素を効率良く
分解することができる。 回収水中のアルコール、ケトンといった易生物分解
性有機物を効率良く分解することができる。 といった効果が奏され、極めて純度の高い超純水を効率
的に製造することが可能とされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超純水の製造方法の実施に好適な超純
水製造装置の一例を示す系統図である。
【符号の説明】
A 前処理装置 B 一次純水製造装置 C 二次純水製造装置 1A 工業用水用生物処理装置 1B 回収水用生物処理装置 2 UF又はMF膜分離装置 3 第1RO膜分離装置 4 第2RO膜分離装置 5,8 混床式イオン交換装置 6 タンク 7 低圧紫外線酸化装置 9 UF膜分離装置 10 イオン交換純水装置 11 RO膜分離装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C02F 1/44 J 9538−4D

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 工業用水と、超純水による半導体洗浄回
    収水とを混合することなく別々に生物処理した後混合
    し、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水する
    ことを特徴とする超純水の製造方法。
JP10821794A 1994-05-23 1994-05-23 超純水の製造方法 Expired - Fee Related JP3417052B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10821794A JP3417052B2 (ja) 1994-05-23 1994-05-23 超純水の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10821794A JP3417052B2 (ja) 1994-05-23 1994-05-23 超純水の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07313994A true JPH07313994A (ja) 1995-12-05
JP3417052B2 JP3417052B2 (ja) 2003-06-16

Family

ID=14479007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10821794A Expired - Fee Related JP3417052B2 (ja) 1994-05-23 1994-05-23 超純水の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3417052B2 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002336886A (ja) * 2001-05-11 2002-11-26 Kurita Water Ind Ltd 超純水製造装置及び超純水製造方法
JP2002336887A (ja) * 2001-05-11 2002-11-26 Kurita Water Ind Ltd 超純水製造装置及び超純水製造方法
JP2003190979A (ja) * 2001-10-18 2003-07-08 Kurita Water Ind Ltd 超純水製造装置及び超純水製造方法
JP2008229484A (ja) * 2007-03-20 2008-10-02 Kurita Water Ind Ltd 純水製造装置からの濃縮廃水の処理方法および前記濃縮廃水の処理装置。
WO2011108478A1 (ja) * 2010-03-05 2011-09-09 栗田工業株式会社 水処理方法及び超純水製造方法
JP2011183274A (ja) * 2010-03-05 2011-09-22 Kurita Water Ind Ltd 水処理方法及び超純水製造方法
JP2012005918A (ja) * 2010-06-22 2012-01-12 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd 排水処理方法及び排水処理装置
US9085475B2 (en) 2010-10-18 2015-07-21 Kurita Water Industries Ltd. Ultrapure water producing method and apparatus
WO2016042901A1 (ja) * 2014-09-16 2016-03-24 栗田工業株式会社 生物処理方法及び生物処理装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002336887A (ja) * 2001-05-11 2002-11-26 Kurita Water Ind Ltd 超純水製造装置及び超純水製造方法
JP2002336886A (ja) * 2001-05-11 2002-11-26 Kurita Water Ind Ltd 超純水製造装置及び超純水製造方法
JP2003190979A (ja) * 2001-10-18 2003-07-08 Kurita Water Ind Ltd 超純水製造装置及び超純水製造方法
JP2008229484A (ja) * 2007-03-20 2008-10-02 Kurita Water Ind Ltd 純水製造装置からの濃縮廃水の処理方法および前記濃縮廃水の処理装置。
US8916048B2 (en) 2010-03-05 2014-12-23 Kurita Water Industries Ltd. Water treatment method and method for producing ultrapure water
WO2011108478A1 (ja) * 2010-03-05 2011-09-09 栗田工業株式会社 水処理方法及び超純水製造方法
JP2011183274A (ja) * 2010-03-05 2011-09-22 Kurita Water Ind Ltd 水処理方法及び超純水製造方法
CN102781850A (zh) * 2010-03-05 2012-11-14 栗田工业株式会社 水处理方法及超纯水的制造方法
JP2012005918A (ja) * 2010-06-22 2012-01-12 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd 排水処理方法及び排水処理装置
US9085475B2 (en) 2010-10-18 2015-07-21 Kurita Water Industries Ltd. Ultrapure water producing method and apparatus
WO2016042901A1 (ja) * 2014-09-16 2016-03-24 栗田工業株式会社 生物処理方法及び生物処理装置
JP2016059843A (ja) * 2014-09-16 2016-04-25 栗田工業株式会社 生物処理方法及び生物処理装置
CN106470950A (zh) * 2014-09-16 2017-03-01 栗田工业株式会社 生物处理方法及生物处理装置
CN106470950B (zh) * 2014-09-16 2018-06-01 栗田工业株式会社 生物处理方法及生物处理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3417052B2 (ja) 2003-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3468784B2 (ja) 超純水製造装置
JP3426072B2 (ja) 超純水製造装置
KR101563169B1 (ko) 순수 제조장치 및 순수 제조방법
EP1424311B1 (en) Method of multi-stage reverse osmosis treatment
CN106132518B (zh) 使用膜的水处理方法以及水处理装置
JPH0790219B2 (ja) 純水製造装置及び製造方法
US20030106855A1 (en) System and method for removing organic compounds from waste water by oxidation
JP3227863B2 (ja) 超純水の製造方法
JP2007021457A (ja) 排水の処理方法とその処理装置
JP3417052B2 (ja) 超純水の製造方法
US6080315A (en) Process for the partial desalination of water
JP3721871B2 (ja) 超純水の製造方法
JP3376639B2 (ja) 半導体洗浄排水からの純水回収方法
JPH10309588A (ja) 水処理方法、水処理装置及び純水製造装置
JP3221801B2 (ja) 水処理方法
JPH09122690A (ja) 有機態窒素の分解方法及び水処理装置
US20060201882A1 (en) Method and system for treating wastewater containing hydrogen peroxide
KR20230088599A (ko) 반도체 폐수의 재이용 처리수 생산 시스템 및 그 방법
JP2000301005A (ja) イオン交換樹脂再生排液の再利用方法
CN100564288C (zh) 由含有机物的水中回收水的装置及方法
JP2007098268A (ja) 排水の処理方法および装置
JP3992996B2 (ja) 排水処理方法及び装置
JP3387311B2 (ja) 超純水製造装置
JP3259557B2 (ja) 有機物の除去方法
CN112939368A (zh) 一种除盐率高的循环水排污水处理和回用方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080411

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080411

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090411

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090411

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100411

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100411

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120411

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130411

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140411

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees