JP2000015257A - 高純度水の製造装置および方法 - Google Patents
高純度水の製造装置および方法Info
- Publication number
- JP2000015257A JP2000015257A JP10190711A JP19071198A JP2000015257A JP 2000015257 A JP2000015257 A JP 2000015257A JP 10190711 A JP10190711 A JP 10190711A JP 19071198 A JP19071198 A JP 19071198A JP 2000015257 A JP2000015257 A JP 2000015257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- reverse osmosis
- permeate
- osmosis membrane
- membrane device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A20/00—Water conservation; Efficient water supply; Efficient water use
- Y02A20/124—Water desalination
- Y02A20/131—Reverse-osmosis
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水回収率を高くして大量の高純度水を回収す
るとともに、有機物を効率よく除去して有機物濃度の低
い高純度水を低コストで得ることが可能な高純度水の製
造装置、および方法を提供する。 【解決手段】 原水２に酸４を注入してｐＨ６以下に調
整して脱気装置１で脱気し、脱気水１１を第１ＲＯ装置
６で脱塩し、第１の透過液１３をｐＨ８．５以上に調整
して第２ＲＯ装置８で脱塩し、第２の透過液１５を脱イ
オン装置９に脱イオンして高純度水１６を製造する。第
２の濃縮液１９を第１酸化処理装置２１でＵＶ酸化して
第１ＲＯ装置６に戻し、第１の濃縮液２３を第３ＲＯ装
置２６で脱塩し、その第３の透過液を第２酸化処理装置
２７でＵＶ酸化して第１ＲＯ装置６に戻す。
るとともに、有機物を効率よく除去して有機物濃度の低
い高純度水を低コストで得ることが可能な高純度水の製
造装置、および方法を提供する。 【解決手段】 原水２に酸４を注入してｐＨ６以下に調
整して脱気装置１で脱気し、脱気水１１を第１ＲＯ装置
６で脱塩し、第１の透過液１３をｐＨ８．５以上に調整
して第２ＲＯ装置８で脱塩し、第２の透過液１５を脱イ
オン装置９に脱イオンして高純度水１６を製造する。第
２の濃縮液１９を第１酸化処理装置２１でＵＶ酸化して
第１ＲＯ装置６に戻し、第１の濃縮液２３を第３ＲＯ装
置２６で脱塩し、その第３の透過液を第２酸化処理装置
２７でＵＶ酸化して第１ＲＯ装置６に戻す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は純水、超純水等の高
純度水を得るための高純度水の製造方法および装置に関
し、特に２段式の逆浸透膜（以下、ＲＯという場合があ
る）装置を用いる高純度水の製造装置および方法に関す
るものである。
純度水を得るための高純度水の製造方法および装置に関
し、特に２段式の逆浸透膜（以下、ＲＯという場合があ
る）装置を用いる高純度水の製造装置および方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程等において使用する超純
水の製造工程においては、原水中の塩類、ガス、懸濁物
等を除去して高純度水を得るために、脱気装置と２段式
ＲＯ装置を組合せた装置が使用されている（例えば特開
昭６１−４５９１号、特開昭６２−４２７８７号）。こ
のような装置では、原水を酸性にして重炭酸イオン等を
ガス化させて脱気装置で脱気したのち脱気水を第１のＲ
Ｏ装置で脱塩し、その脱塩水をアルカリ性にして第２の
ＲＯ装置で脱塩して高純度水を得ている。
水の製造工程においては、原水中の塩類、ガス、懸濁物
等を除去して高純度水を得るために、脱気装置と２段式
ＲＯ装置を組合せた装置が使用されている（例えば特開
昭６１−４５９１号、特開昭６２−４２７８７号）。こ
のような装置では、原水を酸性にして重炭酸イオン等を
ガス化させて脱気装置で脱気したのち脱気水を第１のＲ
Ｏ装置で脱塩し、その脱塩水をアルカリ性にして第２の
ＲＯ装置で脱塩して高純度水を得ている。
【０００３】第１のＲＯ装置では９０〜９５％程度の脱
塩率として、酸性下で除去可能な成分を含む大部分の塩
分を除去し、第２のＲＯ装置ではアルカリ性下で除去可
能な成分を含む残部の塩分が除去される。特に酸性ない
し中性下では除去困難な残留する炭酸ガスやシリカはア
ルカリ性とすることによりイオン化して除去される。
塩率として、酸性下で除去可能な成分を含む大部分の塩
分を除去し、第２のＲＯ装置ではアルカリ性下で除去可
能な成分を含む残部の塩分が除去される。特に酸性ない
し中性下では除去困難な残留する炭酸ガスやシリカはア
ルカリ性とすることによりイオン化して除去される。
【０００４】このような装置では、ＲＯ装置の目詰まり
を防止するために、原水に対する高度の前処理が行われ
るので、水回収率を高くして処理コストを低くする必要
があり、このために第２のＲＯ装置の濃縮水を第１のＲ
Ｏ装置の原水と混合して循環処理を行っている。第１の
ＲＯ装置の濃縮液は高塩分濃度であるため、通常はその
まま系外に排出されている。
を防止するために、原水に対する高度の前処理が行われ
るので、水回収率を高くして処理コストを低くする必要
があり、このために第２のＲＯ装置の濃縮水を第１のＲ
Ｏ装置の原水と混合して循環処理を行っている。第１の
ＲＯ装置の濃縮液は高塩分濃度であるため、通常はその
まま系外に排出されている。
【０００５】このように第２のＲＯ装置の濃縮液を第１
のＲＯ装置に循環して処理を行うと、第２のＲＯ装置の
濃縮液に含まれる塩分の多くは除去されるが、ＲＯ装置
で除去困難な低分子の有機物は除去されないで脱塩水側
に移行し、第２のＲＯ装置の脱塩水のＴＯＣ濃度が高く
なるという問題点があった。
のＲＯ装置に循環して処理を行うと、第２のＲＯ装置の
濃縮液に含まれる塩分の多くは除去されるが、ＲＯ装置
で除去困難な低分子の有機物は除去されないで脱塩水側
に移行し、第２のＲＯ装置の脱塩水のＴＯＣ濃度が高く
なるという問題点があった。
【０００６】このような第２のＲＯ装置の脱塩水に含ま
れるＴＯＣ（有機物）はイオン交換等によっても除去が
困難であり、超純水を得るためには後続のサブシステム
においてＵＶ（紫外線）酸化、オゾン酸化等により分解
する方法がとられている。しかし低濃度の有機物を含む
大量の脱塩水を処理するため、エネルギーの使用効率が
悪いという問題点があった。
れるＴＯＣ（有機物）はイオン交換等によっても除去が
困難であり、超純水を得るためには後続のサブシステム
においてＵＶ（紫外線）酸化、オゾン酸化等により分解
する方法がとられている。しかし低濃度の有機物を含む
大量の脱塩水を処理するため、エネルギーの使用効率が
悪いという問題点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、水回
収率を高くして大量の高純度水を回収するとともに、有
機物を効率よく除去して有機物濃度の低い高純度水を低
コストで得ることが可能な高純度水の製造装置、および
方法を提供することである。
収率を高くして大量の高純度水を回収するとともに、有
機物を効率よく除去して有機物濃度の低い高純度水を低
コストで得ることが可能な高純度水の製造装置、および
方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は次の高純度水の
製造装置、および方法である。 （１） 原水をｐＨ６以下に調整する第１のｐＨ調整装
置、ｐＨ調整された原水を脱気する脱気装置、脱気水を
脱塩する第１の逆浸透膜装置、第１の逆浸透膜装置から
得られる第１の透過液をｐＨ８．５以上に調整する第２
のｐＨ調整装置、ｐＨ調整された第１の透過液を脱塩し
て高純度水を得る第２の逆浸透膜装置、および第２の逆
浸透膜装置から得られる第２の濃縮液を酸化処理して、
第１の逆浸透膜装置に供給する第１の酸化処理装置を含
む高純度水の製造装置。 （２） 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の濃縮液
を脱塩し、得られる第３の透過液を第１の逆浸透膜装置
に供給する第３の逆浸透膜装置を含む上記（１）記載の
装置。 （３） 第３の透過液を酸化処理する第２の酸化処理装
置を含む上記（２）記載の装置。 （４） 原水をｐＨ６以下に調整して脱気し、脱気水を
第１の逆浸透膜装置で脱塩し、第１の逆浸透膜装置から
得られる第１の透過液をｐＨ８．５以上に調整し、ｐＨ
調整して第１の透過液を第２の逆浸透膜装置で脱塩して
高純度水を得、第２の逆浸透膜装置の濃縮液を酸化処理
して第１の逆浸透膜装置に供給する高純度水の製造方
法。 （５） 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の濃縮液
を第３の逆浸透膜装置で脱塩し、得られる第３の透過液
を第１の逆浸透膜装置に供給する上記（４）記載の方
法。 （６） 第３の透過液を酸化処理して第１の逆浸透膜装
置に供給する上記（５）記載の方法。
製造装置、および方法である。 （１） 原水をｐＨ６以下に調整する第１のｐＨ調整装
置、ｐＨ調整された原水を脱気する脱気装置、脱気水を
脱塩する第１の逆浸透膜装置、第１の逆浸透膜装置から
得られる第１の透過液をｐＨ８．５以上に調整する第２
のｐＨ調整装置、ｐＨ調整された第１の透過液を脱塩し
て高純度水を得る第２の逆浸透膜装置、および第２の逆
浸透膜装置から得られる第２の濃縮液を酸化処理して、
第１の逆浸透膜装置に供給する第１の酸化処理装置を含
む高純度水の製造装置。 （２） 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の濃縮液
を脱塩し、得られる第３の透過液を第１の逆浸透膜装置
に供給する第３の逆浸透膜装置を含む上記（１）記載の
装置。 （３） 第３の透過液を酸化処理する第２の酸化処理装
置を含む上記（２）記載の装置。 （４） 原水をｐＨ６以下に調整して脱気し、脱気水を
第１の逆浸透膜装置で脱塩し、第１の逆浸透膜装置から
得られる第１の透過液をｐＨ８．５以上に調整し、ｐＨ
調整して第１の透過液を第２の逆浸透膜装置で脱塩して
高純度水を得、第２の逆浸透膜装置の濃縮液を酸化処理
して第１の逆浸透膜装置に供給する高純度水の製造方
法。 （５） 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の濃縮液
を第３の逆浸透膜装置で脱塩し、得られる第３の透過液
を第１の逆浸透膜装置に供給する上記（４）記載の方
法。 （６） 第３の透過液を酸化処理して第１の逆浸透膜装
置に供給する上記（５）記載の方法。
【０００９】本発明で製造する高純度水は、純水、超純
水などの不純物含量の低い高純度の水である。２段式Ｒ
Ｏ装置で得られる透過液は通常は純水に分類される程度
の純度であるが、これをさらにイオン交換その他の処理
工程を含むサブシステムで処理することにより、さらに
純度の高い超純水が得られる。このような高純度水は半
導体製造用、医療用など、任意の用途に用いられるもの
が含まれる。
水などの不純物含量の低い高純度の水である。２段式Ｒ
Ｏ装置で得られる透過液は通常は純水に分類される程度
の純度であるが、これをさらにイオン交換その他の処理
工程を含むサブシステムで処理することにより、さらに
純度の高い超純水が得られる。このような高純度水は半
導体製造用、医療用など、任意の用途に用いられるもの
が含まれる。
【００１０】本発明において処理に供する原水として
は、水道水、工業用水、地下水、河川水、湖沼水など一
般に純水製造の原水として用いられているものがそのま
ま使用できるが、全イオン５０〜２００ｍｇ／ｌの水質
のものが好ましい。このような原水はその性状に応じて
凝集沈酸、濾過等の前処理を行って本発明の処理に供す
ることができる。
は、水道水、工業用水、地下水、河川水、湖沼水など一
般に純水製造の原水として用いられているものがそのま
ま使用できるが、全イオン５０〜２００ｍｇ／ｌの水質
のものが好ましい。このような原水はその性状に応じて
凝集沈酸、濾過等の前処理を行って本発明の処理に供す
ることができる。
【００１１】上記のような原水は通常炭酸ガス、酸素等
の気体が含まれているので、本発明では脱気装置により
脱気を行うが、このとき原水に酸を添加し、またはＨ形
のカチオン交換樹脂層に通してｐＨ６以下、好ましくは
ｐＨ４〜６に調整する。酸としては塩酸、硫酸などの鉱
酸が用いられる。カチオン交換樹脂としては強酸型でも
弱酸型でもよい。上記のｐＨに調整することにより、原
水中の炭酸イオン、重炭酸イオンは炭酸ガスとして遊離
する。
の気体が含まれているので、本発明では脱気装置により
脱気を行うが、このとき原水に酸を添加し、またはＨ形
のカチオン交換樹脂層に通してｐＨ６以下、好ましくは
ｐＨ４〜６に調整する。酸としては塩酸、硫酸などの鉱
酸が用いられる。カチオン交換樹脂としては強酸型でも
弱酸型でもよい。上記のｐＨに調整することにより、原
水中の炭酸イオン、重炭酸イオンは炭酸ガスとして遊離
する。
【００１２】脱気装置はこのような炭酸ガスのほか酸素
等の他の気体を除去する装置である。このような脱気装
置としては、充填材を充填し窒素等のガスと向流接触さ
せる脱気装置、真空脱気装置、膜脱気装置などがあげら
れるが、膜脱気装置が好ましい。膜脱気装置は撥水性膜
を通して加圧または減圧下にガスを透過させて除去する
装置である。撥水膜としてはポリプロピレン等の材質か
らなる平膜、スパイラル状膜、チューブラー膜、中空糸
膜など従来から用いられているものが用いられる。
等の他の気体を除去する装置である。このような脱気装
置としては、充填材を充填し窒素等のガスと向流接触さ
せる脱気装置、真空脱気装置、膜脱気装置などがあげら
れるが、膜脱気装置が好ましい。膜脱気装置は撥水性膜
を通して加圧または減圧下にガスを透過させて除去する
装置である。撥水膜としてはポリプロピレン等の材質か
らなる平膜、スパイラル状膜、チューブラー膜、中空糸
膜など従来から用いられているものが用いられる。
【００１３】第１、第２および第３のＲＯ装置はＲＯを
有し、脱気した原水、透過液または濃縮液を加圧下に供
給して膜分離により脱塩を行う装置であり、従来から脱
塩のためのＲＯ装置として用いられているものがそのま
ま使用できる。ＲＯとしてはポリアミド、ポリスルホ
ン、酢酸セルロース等の平膜、スパイラル状膜、チュー
ブラー膜、中空糸膜など従来から用いられているものが
用いられる。
有し、脱気した原水、透過液または濃縮液を加圧下に供
給して膜分離により脱塩を行う装置であり、従来から脱
塩のためのＲＯ装置として用いられているものがそのま
ま使用できる。ＲＯとしてはポリアミド、ポリスルホ
ン、酢酸セルロース等の平膜、スパイラル状膜、チュー
ブラー膜、中空糸膜など従来から用いられているものが
用いられる。
【００１４】第１のＲＯ装置と第２のＲＯ装置は第１の
ＲＯ装置の第１の透過液をｐＨ８．５以上、好ましくは
ｐＨ９〜１１に調整し、第２のＲＯ装置に供給して脱塩
を行うように接続される。ｐＨ調整は水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム等のアルカリを、添加して行う。上
記ｐＨ範囲に調整することにより、第１の透過液中のシ
リカをケイ酸イオンとしてイオン化するとともに、残留
する炭酸ガスを炭酸イオンとしてイオン化する。
ＲＯ装置の第１の透過液をｐＨ８．５以上、好ましくは
ｐＨ９〜１１に調整し、第２のＲＯ装置に供給して脱塩
を行うように接続される。ｐＨ調整は水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム等のアルカリを、添加して行う。上
記ｐＨ範囲に調整することにより、第１の透過液中のシ
リカをケイ酸イオンとしてイオン化するとともに、残留
する炭酸ガスを炭酸イオンとしてイオン化する。
【００１５】第２のＲＯ装置ではこのようなｐＨ調整さ
れた第１の透過液を加圧下に供給して膜分離により脱塩
し、高純度水を得る。上記のｐＨ調整によりイオン化し
たケイ酸イオンおよび炭酸イオンもここで除去される。
処理水の純度は向上する。
れた第１の透過液を加圧下に供給して膜分離により脱塩
し、高純度水を得る。上記のｐＨ調整によりイオン化し
たケイ酸イオンおよび炭酸イオンもここで除去される。
処理水の純度は向上する。
【００１６】第２のＲＯ装置の濃縮液は従来はそのまま
第１のＲＯ装置に供給されていたが、本発明では第１の
酸化処理装置で酸化処理して第１のＲＯ装置に供給する
ように構成される。第１の酸化処理装置としては紫外線
酸化（ＵＶｏｘ）、オゾン酸化、過酸化水素酸化、紫外
線照射オゾン酸化など従来より純水または超純水製造系
に使用されているものをそのまま使用できる。
第１のＲＯ装置に供給されていたが、本発明では第１の
酸化処理装置で酸化処理して第１のＲＯ装置に供給する
ように構成される。第１の酸化処理装置としては紫外線
酸化（ＵＶｏｘ）、オゾン酸化、過酸化水素酸化、紫外
線照射オゾン酸化など従来より純水または超純水製造系
に使用されているものをそのまま使用できる。
【００１７】第１のＲＯ処理装置の第１の濃縮液は第３
のＲＯ装置に供給して脱塩を行い、得られる第３の透過
液をそのまままたは第２の酸化処理装置により酸化処理
して第１のＲＯ装置に供給するように構成される第２の
酸化処理装置も前記第１の酸化処理と同様のものが使用
できる。
のＲＯ装置に供給して脱塩を行い、得られる第３の透過
液をそのまままたは第２の酸化処理装置により酸化処理
して第１のＲＯ装置に供給するように構成される第２の
酸化処理装置も前記第１の酸化処理と同様のものが使用
できる。
【００１８】上記の装置による高純度水の製造は以下の
ようにして行われる。まず原水を第１のｐＨ調整装置に
おいて、ｐＨ６以下、好ましくは４〜６に調整したのち
脱気装置において脱気を行う。ｐＨ調整により原水中の
炭酸イオン、重炭酸イオンから炭酸ガスが遊離し、除去
される。真空脱気、膜脱気等を行う場合には酸素その他
のガスも除去される。
ようにして行われる。まず原水を第１のｐＨ調整装置に
おいて、ｐＨ６以下、好ましくは４〜６に調整したのち
脱気装置において脱気を行う。ｐＨ調整により原水中の
炭酸イオン、重炭酸イオンから炭酸ガスが遊離し、除去
される。真空脱気、膜脱気等を行う場合には酸素その他
のガスも除去される。
【００１９】脱気水はそのまま第１のＲＯ装置に加圧下
に供給して脱塩を行う。このとき酸性のまま脱塩を行う
ことにより、カルシウム等のスケール化を防止しながら
脱塩を行い、しかも酸性条件で除去可能な塩類等の不純
物を除去する。これにより脱塩された第１の透過液は透
過液室側に透過し、濃縮された第１の濃縮液は濃縮液室
側に残留する。第１のＲＯ装置におけるＮａＣｌ除去率
は９５％以上、水回収率は７０％以上とするのが好まし
い。
に供給して脱塩を行う。このとき酸性のまま脱塩を行う
ことにより、カルシウム等のスケール化を防止しながら
脱塩を行い、しかも酸性条件で除去可能な塩類等の不純
物を除去する。これにより脱塩された第１の透過液は透
過液室側に透過し、濃縮された第１の濃縮液は濃縮液室
側に残留する。第１のＲＯ装置におけるＮａＣｌ除去率
は９５％以上、水回収率は７０％以上とするのが好まし
い。
【００２０】第１の透過液は第２のｐＨ調整装置でｐＨ
８．５以上、好ましくはｐＨ９〜１１に調整して第２の
ＲＯ装置に加圧下に供給して脱塩を行う。ｐＨ調整によ
りシリカおよび残留する炭酸ガスはイオン化して除去さ
れるほか、アルカリ性条件で除去可能な不純物が除去さ
れ、高純度の第２の透過液が透過液室側に通過し、濃縮
された第２の濃縮液は濃縮液室側に残留する。第２のＲ
Ｏ装置のＮａＣｌ除去率は９８％以上、水回収率は８０
％以上とするのが好ましい。
８．５以上、好ましくはｐＨ９〜１１に調整して第２の
ＲＯ装置に加圧下に供給して脱塩を行う。ｐＨ調整によ
りシリカおよび残留する炭酸ガスはイオン化して除去さ
れるほか、アルカリ性条件で除去可能な不純物が除去さ
れ、高純度の第２の透過液が透過液室側に通過し、濃縮
された第２の濃縮液は濃縮液室側に残留する。第２のＲ
Ｏ装置のＮａＣｌ除去率は９８％以上、水回収率は８０
％以上とするのが好ましい。
【００２１】第２の透過液はそのまま純水として採取
し、利用できるほか、超純水製造用１次純水として、後
続の脱イオン装置で脱イオンして超純水を製造すること
ができる。脱イオン装置としては再生式混床イオン交換
装置、非再生式混床イオン交換装置、電気再生式連続純
水装置などが用いられる。さらに必要により殺菌装置、
限外濾過装置等の他の処理装置による処理を組合せても
よい。
し、利用できるほか、超純水製造用１次純水として、後
続の脱イオン装置で脱イオンして超純水を製造すること
ができる。脱イオン装置としては再生式混床イオン交換
装置、非再生式混床イオン交換装置、電気再生式連続純
水装置などが用いられる。さらに必要により殺菌装置、
限外濾過装置等の他の処理装置による処理を組合せても
よい。
【００２２】第２の濃縮液は第１の酸化処理装置におい
て紫外線酸化等の酸化処理を行うことにより有機物を酸
化分解して、第１のＲＯ装置に供給する。酸化処理によ
り有機物は一部は炭酸ガスと水に分解されるほか、一部
は低分子化してイオン性となり、第１および第２のＲＯ
装置で除去される。これにより第２の透過液に漏出する
有機物量は少なくなる。この場合従来の第２の透過液を
酸化処理する場合に比べて第２の濃縮液を酸化処理する
方が処理対象液の容量が小さいので、処理効率が高く処
理コストは低くなる。
て紫外線酸化等の酸化処理を行うことにより有機物を酸
化分解して、第１のＲＯ装置に供給する。酸化処理によ
り有機物は一部は炭酸ガスと水に分解されるほか、一部
は低分子化してイオン性となり、第１および第２のＲＯ
装置で除去される。これにより第２の透過液に漏出する
有機物量は少なくなる。この場合従来の第２の透過液を
酸化処理する場合に比べて第２の濃縮液を酸化処理する
方が処理対象液の容量が小さいので、処理効率が高く処
理コストは低くなる。
【００２３】第１の濃縮液は従来はそのまま排棄されて
いたが、これを第３のＲＯ装置で脱塩すると、得られる
第３の透過液は塩分濃度が低くなるため、第１のＲＯ装
置に原料水として供給することができ、これにより水利
用率は高くなる。この場合第１の濃縮液をｐＨ６以下、
好ましくはｐＨ４．５〜５．５として脱塩すると、スケ
ール化が防止されるので好ましい。またｐＨ８．５以
上、好ましくはｐＨ９〜１１として脱塩すると、シリカ
および炭酸ガスがイオン化して除去されるので好まし
い。
いたが、これを第３のＲＯ装置で脱塩すると、得られる
第３の透過液は塩分濃度が低くなるため、第１のＲＯ装
置に原料水として供給することができ、これにより水利
用率は高くなる。この場合第１の濃縮液をｐＨ６以下、
好ましくはｐＨ４．５〜５．５として脱塩すると、スケ
ール化が防止されるので好ましい。またｐＨ８．５以
上、好ましくはｐＨ９〜１１として脱塩すると、シリカ
および炭酸ガスがイオン化して除去されるので好まし
い。
【００２４】第３の透過液は第２の酸化処理装置で酸化
処理して第１のＲＯ装置に供給すると、第３の透過液中
の有機物が分解されて第１および第２のＲＯ装置で除去
されるため、第２の透過液の有機物濃度を高めることが
ないので好ましい。第３のＲＯ装置の濃縮液はそのまま
排棄することができる。
処理して第１のＲＯ装置に供給すると、第３の透過液中
の有機物が分解されて第１および第２のＲＯ装置で除去
されるため、第２の透過液の有機物濃度を高めることが
ないので好ましい。第３のＲＯ装置の濃縮液はそのまま
排棄することができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、第１のＲＯ装置で脱塩
した第１の透過液を第２のＲＯ装置で脱塩し、第２のＲ
Ｏ装置から得られる第２の濃縮液を酸化処理して第１の
ＲＯ装置に返送して脱塩するようにしたので、水回収率
を高くして大量の高純度水を回収するとともに、有機物
を効率よく除去して有機物濃度の低い高純度水を低コス
トで得ることができる。
した第１の透過液を第２のＲＯ装置で脱塩し、第２のＲ
Ｏ装置から得られる第２の濃縮液を酸化処理して第１の
ＲＯ装置に返送して脱塩するようにしたので、水回収率
を高くして大量の高純度水を回収するとともに、有機物
を効率よく除去して有機物濃度の低い高純度水を低コス
トで得ることができる。
【００２６】また第１のＲＯ装置から得られる第１の濃
縮液を第３のＲＯ装置で脱塩した第３の透過液を第１の
ＲＯ装置に返送して脱塩することにより、水回収率をさ
らに高めることができる。そしてこの場合第３の透過液
を酸化処理して返送することにより、第２の透過液の有
機物濃度を低くすることができる。
縮液を第３のＲＯ装置で脱塩した第３の透過液を第１の
ＲＯ装置に返送して脱塩することにより、水回収率をさ
らに高めることができる。そしてこの場合第３の透過液
を酸化処理して返送することにより、第２の透過液の有
機物濃度を低くすることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
により説明する。図１および図２はそれぞれ別の実施形
態の高純度水の製造装置を示すフロー図である。
により説明する。図１および図２はそれぞれ別の実施形
態の高純度水の製造装置を示すフロー図である。
【００２８】図１および図２において、１は脱気装置で
あって膜脱気装置からなり、原水路２から原水を導入す
る過程で、第１ｐＨ調整装置３から酸注入路４を通して
酸を注入してｐＨ６以下に調整した原水を脱気するよう
に構成されている。脱気装置１から第１調整槽５、第１
ＲＯ装置６、第２調整槽７、第２ＲＯ装置８、脱イオン
装置９がライン１１〜１５によりシリーズに接続され、
脱イオン装置９に処理液路１６が接続している。第２調
整槽７には第２ｐＨ調整装置１７からアルカリ注入路１
８が連絡している。また第２ＲＯ濃縮水路３５から分岐
した第２濃縮液路１９が第１酸化処理装置２１に連絡
し、第１酸化処理装置２１からライン２２が第１調整槽
５に連絡している。
あって膜脱気装置からなり、原水路２から原水を導入す
る過程で、第１ｐＨ調整装置３から酸注入路４を通して
酸を注入してｐＨ６以下に調整した原水を脱気するよう
に構成されている。脱気装置１から第１調整槽５、第１
ＲＯ装置６、第２調整槽７、第２ＲＯ装置８、脱イオン
装置９がライン１１〜１５によりシリーズに接続され、
脱イオン装置９に処理液路１６が接続している。第２調
整槽７には第２ｐＨ調整装置１７からアルカリ注入路１
８が連絡している。また第２ＲＯ濃縮水路３５から分岐
した第２濃縮液路１９が第１酸化処理装置２１に連絡
し、第１酸化処理装置２１からライン２２が第１調整槽
５に連絡している。
【００２９】図１では第１ＲＯ濃縮水路３４から分岐し
た第１濃縮液路２３が系外に連絡しているが、図２では
第１濃縮液路２３は第３調整槽２５に連絡し、第３調整
槽２５から第３ＲＯ装置２６および第２酸化処理装置２
７がライン２８、２９によりシリーズに連絡し、さらに
ライン３０が第１調整槽５に連絡している。第３調整槽
２５には第３ｐＨ調整装置３１から薬注路３２が連絡し
ている。
た第１濃縮液路２３が系外に連絡しているが、図２では
第１濃縮液路２３は第３調整槽２５に連絡し、第３調整
槽２５から第３ＲＯ装置２６および第２酸化処理装置２
７がライン２８、２９によりシリーズに連絡し、さらに
ライン３０が第１調整槽５に連絡している。第３調整槽
２５には第３ｐＨ調整装置３１から薬注路３２が連絡し
ている。
【００３０】第１、第２および第３ＲＯ装置６、８、２
６はそれぞれＲＯ６ａ、８ａ、２６ａにより濃縮液室６
ｂ、８ｂ、２６ｂと透過液室６ｃ、８ｃ、２６ｃに区画
され、濃縮液室６ｂ、８ｂ、２６ｂからライン３４、３
５、３６が第１、第２、第３調整槽５、７、２５に連絡
している。第３ＲＯ濃縮水路３６から分岐した第３濃縮
液路３３は系外に連絡している。第１および第２酸化処
理装置としては紫外線酸化装置が用いられている。
６はそれぞれＲＯ６ａ、８ａ、２６ａにより濃縮液室６
ｂ、８ｂ、２６ｂと透過液室６ｃ、８ｃ、２６ｃに区画
され、濃縮液室６ｂ、８ｂ、２６ｂからライン３４、３
５、３６が第１、第２、第３調整槽５、７、２５に連絡
している。第３ＲＯ濃縮水路３６から分岐した第３濃縮
液路３３は系外に連絡している。第１および第２酸化処
理装置としては紫外線酸化装置が用いられている。
【００３１】図１の装置による処理方法は、原水路から
原水を供給する過程で第１ｐＨ調整装置３により酸注入
路４から酸を注入してｐＨ６以下、好ましくは４〜６に
調整し、脱気装置１において脱気し、炭酸ガス、酸素そ
の他の気体を除去する。
原水を供給する過程で第１ｐＨ調整装置３により酸注入
路４から酸を注入してｐＨ６以下、好ましくは４〜６に
調整し、脱気装置１において脱気し、炭酸ガス、酸素そ
の他の気体を除去する。
【００３２】脱気水はライン１１から第１調整槽５を経
てライン１２から加圧下に第１ＲＯ装置６に供給して脱
塩する。第１の濃縮液はライン３４から第１調整槽５に
循環し、第１の透過液はライン１３から第２調整槽７に
導入し、ここで第２ｐＨ調整装置１７からアルカリ注入
路１８を通してアルカリを注入してｐＨ８．５以上好ま
しくはｐＨ９〜１１に調整する。そしてライン１４から
加圧下に第２ＲＯ装置８に供給して脱塩する。第２の濃
縮液はライン３５から第２調整槽７に循環し、第２の透
過液はライン１５から脱イオン装置９で脱イオンして処
理液路１６から超純水を取り出す。
てライン１２から加圧下に第１ＲＯ装置６に供給して脱
塩する。第１の濃縮液はライン３４から第１調整槽５に
循環し、第１の透過液はライン１３から第２調整槽７に
導入し、ここで第２ｐＨ調整装置１７からアルカリ注入
路１８を通してアルカリを注入してｐＨ８．５以上好ま
しくはｐＨ９〜１１に調整する。そしてライン１４から
加圧下に第２ＲＯ装置８に供給して脱塩する。第２の濃
縮液はライン３５から第２調整槽７に循環し、第２の透
過液はライン１５から脱イオン装置９で脱イオンして処
理液路１６から超純水を取り出す。
【００３３】上記の操作を繰り返して第１および第２の
濃縮液が所定濃度となるように第１濃縮液路２３から系
外に排出し、第２の濃縮液は第２濃縮液路１９から第１
酸化処理装置２１に導入し、ここで紫外線酸化により有
機物を分解しライン２２から第１調整槽５に返送し、こ
こで新たに供給された脱気水と混合して、第１ＲＯ装置
６に供給して脱塩を行う。第２調整槽７にも新たに第１
の透過液を導入して前記と同様に脱塩を行う。
濃縮液が所定濃度となるように第１濃縮液路２３から系
外に排出し、第２の濃縮液は第２濃縮液路１９から第１
酸化処理装置２１に導入し、ここで紫外線酸化により有
機物を分解しライン２２から第１調整槽５に返送し、こ
こで新たに供給された脱気水と混合して、第１ＲＯ装置
６に供給して脱塩を行う。第２調整槽７にも新たに第１
の透過液を導入して前記と同様に脱塩を行う。
【００３４】図２の装置では上記のような処理に加え
て、第１濃縮液路２３から抜き出した第１の濃縮液を第
３調整槽２５に導入する。ここで第３ｐＨ調整装置３１
から薬注路３２を通して酸またはアルカリを注入してｐ
Ｈ６以下、または８．５以上に調整する。そしてライン
２８から加圧下に第３ＲＯ装置２６に供給して脱塩を行
う。第３濃縮液はライン３６から第３調整槽２５に循環
し、第３透過液はライン２９から第２酸化処理装置２７
に供給して紫外線酸化処理を行い、ライン３０から第１
調整槽５に返送する。第３濃縮液が所定濃度になるよう
に第３濃縮液路３３から系外に排出する。
て、第１濃縮液路２３から抜き出した第１の濃縮液を第
３調整槽２５に導入する。ここで第３ｐＨ調整装置３１
から薬注路３２を通して酸またはアルカリを注入してｐ
Ｈ６以下、または８．５以上に調整する。そしてライン
２８から加圧下に第３ＲＯ装置２６に供給して脱塩を行
う。第３濃縮液はライン３６から第３調整槽２５に循環
し、第３透過液はライン２９から第２酸化処理装置２７
に供給して紫外線酸化処理を行い、ライン３０から第１
調整槽５に返送する。第３濃縮液が所定濃度になるよう
に第３濃縮液路３３から系外に排出する。
【００３５】第１酸化処理装置２１における酸化処理
は、１８０ｎｍ以上の紫外線を用い０．０５〜０．３Ｋ
ＷＨ／ｍ3、好ましくは０．１〜０．２ＫＷＨ／ｍ3で処
理し、第２酸化処理装置２７における酸化処理は１８０
ｎｍ以上の紫外線を用い、０．０５〜０．５ＫＷＨ／ｍ
3、好ましくは０．２〜０．３ＫＷＨ／ｍ3で処理するの
が好ましい。これらの濃縮液は混合して上記範囲の紫外
線照射により処理することもできる。
は、１８０ｎｍ以上の紫外線を用い０．０５〜０．３Ｋ
ＷＨ／ｍ3、好ましくは０．１〜０．２ＫＷＨ／ｍ3で処
理し、第２酸化処理装置２７における酸化処理は１８０
ｎｍ以上の紫外線を用い、０．０５〜０．５ＫＷＨ／ｍ
3、好ましくは０．２〜０．３ＫＷＨ／ｍ3で処理するの
が好ましい。これらの濃縮液は混合して上記範囲の紫外
線照射により処理することもできる。
【００３６】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００３７】実施例１ 水道水に塩酸を添加してｐＨ４．５に調整し、脱気膜式
脱気装置に通水して脱気した。脱気膜はポリプロピレン
中空糸型（ヘキスト社製、Ｌｉｑｕｉ−Ｃｅｌ、商標）
４インチ１本で、真空度４０Ｔｏｒｒ、Ｎ2量１Ｎ ｌ
ｉｔｅｒ／ｍｉｎで処理した。第１のＲＯ装置としてポ
リアミド製スパイラル型のＲＯ（日東電工（株）製、Ｎ
ＴＲ−７５９ＨＲ、商標）８インチ３本で、圧力２７ｋ
ｇ／ｃｍ2、水回収率８０％で脱塩を行った。第１の透
過液に水酸化ナトリウムでｐＨ１０に調整後、上記と同
じＲＯ膜３本を用いる第２ＲＯ装置に通水し、圧力１３
ｋｇ／ｃｍ2、水回収率９０％で脱塩した。第２の濃縮
液０．２ｍ3／ｈｒを０．１５ＫＷＨ／ｍ3で紫外線酸化
処理し、第１ＲＯ装置入口に戻した。上記の処理を行っ
たときの第２ＲＯ装置の処理水と得られる第２透過液の
全イオンは１〜２ｍｇ／ｌ、ＴＯＣは６〜７μｇ／ｌで
あった。
脱気装置に通水して脱気した。脱気膜はポリプロピレン
中空糸型（ヘキスト社製、Ｌｉｑｕｉ−Ｃｅｌ、商標）
４インチ１本で、真空度４０Ｔｏｒｒ、Ｎ2量１Ｎ ｌ
ｉｔｅｒ／ｍｉｎで処理した。第１のＲＯ装置としてポ
リアミド製スパイラル型のＲＯ（日東電工（株）製、Ｎ
ＴＲ−７５９ＨＲ、商標）８インチ３本で、圧力２７ｋ
ｇ／ｃｍ2、水回収率８０％で脱塩を行った。第１の透
過液に水酸化ナトリウムでｐＨ１０に調整後、上記と同
じＲＯ膜３本を用いる第２ＲＯ装置に通水し、圧力１３
ｋｇ／ｃｍ2、水回収率９０％で脱塩した。第２の濃縮
液０．２ｍ3／ｈｒを０．１５ＫＷＨ／ｍ3で紫外線酸化
処理し、第１ＲＯ装置入口に戻した。上記の処理を行っ
たときの第２ＲＯ装置の処理水と得られる第２透過液の
全イオンは１〜２ｍｇ／ｌ、ＴＯＣは６〜７μｇ／ｌで
あった。
【００３８】比較例１ 実施例１において、第２濃縮液を酸化処理しないで第１
ＲＯ装置に戻したときの第２透過液のＴＯＣは１０〜１
１μｇ／ｌであった。
ＲＯ装置に戻したときの第２透過液のＴＯＣは１０〜１
１μｇ／ｌであった。
【００３９】比較例２ 比較例２において、第２透過液を紫外線酸化処理してＴ
ＯＣ６〜７μｇ／ｌにしたときのエネルギー消費量は
０．０６ＫＷＨ／ｍ3であった。この値と被処理液量を
乗じた値は（０．０６ＫＷＨ／ｍ3×１．８ｍ3／Ｈ＝
０．１１ＫＷ）実施例１の値（０．１５ＫＷＨ／ｍ3×
０．２ｍ3／Ｈ＝０．０３ＫＷ）よりも大きく、実施例
の方がエネルギー消費量が小さいことがわかる。
ＯＣ６〜７μｇ／ｌにしたときのエネルギー消費量は
０．０６ＫＷＨ／ｍ3であった。この値と被処理液量を
乗じた値は（０．０６ＫＷＨ／ｍ3×１．８ｍ3／Ｈ＝
０．１１ＫＷ）実施例１の値（０．１５ＫＷＨ／ｍ3×
０．２ｍ3／Ｈ＝０．０３ＫＷ）よりも大きく、実施例
の方がエネルギー消費量が小さいことがわかる。
【００４０】実施例２ 実施例１において、第１ＲＯ装置から得られる第１濃縮
液（０．５ｍ3／ｈｒ）をさらに第３ＲＯ膜（日東電工
（株）製ＮＴＲ−７５９ＨＲ、商標）４インチ１本を有
する第３ＲＯ装置により水回収率は５０％で脱塩し、第
３の透過液を０．３ＫＷＨ／ｍ3で紫外線酸化処理し第
１ＲＯ装置の入口に戻した。濃縮水はｐＨ調整して排出
した。このときの第２透過液のＴＯＣは６〜７μｇ／ｌ
であった。
液（０．５ｍ3／ｈｒ）をさらに第３ＲＯ膜（日東電工
（株）製ＮＴＲ−７５９ＨＲ、商標）４インチ１本を有
する第３ＲＯ装置により水回収率は５０％で脱塩し、第
３の透過液を０．３ＫＷＨ／ｍ3で紫外線酸化処理し第
１ＲＯ装置の入口に戻した。濃縮水はｐＨ調整して排出
した。このときの第２透過液のＴＯＣは６〜７μｇ／ｌ
であった。
【００４１】実施例３ 実施例２において第３の透過液を酸化処理しないで第１
のＲＯ装置に戻した。第２の透過液のＴＯＣは１３〜１
５μｇ／ｌであった。
のＲＯ装置に戻した。第２の透過液のＴＯＣは１３〜１
５μｇ／ｌであった。
【００４２】比較例３ 実施例３において第２の濃縮液を酸化処理しないで第１
ＲＯ装置に戻した。第２の透過液のＴＯＣは２１〜２３
μｇ／ｌであった。
ＲＯ装置に戻した。第２の透過液のＴＯＣは２１〜２３
μｇ／ｌであった。
【００４３】比較例４ 実施例２において、第２の濃縮液を酸化処理しないで第
１ＲＯ装置に戻し、第２透過液を紫外線酸化してＴＯＣ
６〜７μｇ／ｌにしたときのエネルギー消費量は０．１
２ＫＷＨ／ｍ3であった。この値と被処理液量を乗じた
値（０．１２ＫＷＨ／ｍ3×１．８ｍ3／Ｈ＋０．３ＫＷ
Ｈ／ｍ3×０．２５ｍ3／Ｈ＝０．２９１ＫＷ）は実施例
２の値（０．１５ＫＷ／ｍ3×０．２ｍ3／Ｈ＋０．３Ｋ
Ｗ／ｍ3×０．２５ｍ3／Ｈ＝０．１０５ＫＷ）より大き
く、エネルギー効率が悪いことがわかる。
１ＲＯ装置に戻し、第２透過液を紫外線酸化してＴＯＣ
６〜７μｇ／ｌにしたときのエネルギー消費量は０．１
２ＫＷＨ／ｍ3であった。この値と被処理液量を乗じた
値（０．１２ＫＷＨ／ｍ3×１．８ｍ3／Ｈ＋０．３ＫＷ
Ｈ／ｍ3×０．２５ｍ3／Ｈ＝０．２９１ＫＷ）は実施例
２の値（０．１５ＫＷ／ｍ3×０．２ｍ3／Ｈ＋０．３Ｋ
Ｗ／ｍ3×０．２５ｍ3／Ｈ＝０．１０５ＫＷ）より大き
く、エネルギー効率が悪いことがわかる。
【００４４】比較例５ 実施例３において第２の濃縮液を酸化処理しないで第１
ＲＯ装置に戻し、第２透過液を紫外線酸化してＴＯＣ６
〜７μｇ／ｌにしたときのエネルギー消費量は０．１８
ＫＷ／ｍ3であった。この値と被処理液量を乗じた値
（０．１８ＫＷ／ｍ3×１．８ｍ3／Ｈ＝０．３２４Ｋ
Ｗ）は実施例２の値より大きい。
ＲＯ装置に戻し、第２透過液を紫外線酸化してＴＯＣ６
〜７μｇ／ｌにしたときのエネルギー消費量は０．１８
ＫＷ／ｍ3であった。この値と被処理液量を乗じた値
（０．１８ＫＷ／ｍ3×１．８ｍ3／Ｈ＝０．３２４Ｋ
Ｗ）は実施例２の値より大きい。
【図１】実施形態の高純度水製造装置のフロー図であ
る。
る。
【図２】別の実施形態の高純度水製造装置のフロー図で
ある。
ある。
１ 脱気装置 ２ 原水路 ３ 第１ｐＨ調整装置 ４ 酸注入路 ５ 第１調整槽 ６ 第１ＲＯ装置 ７ 第２調整槽 ８ 第２ＲＯ装置 ９ 脱イオン装置 １１〜１５、２２、２８〜３０、３４〜３６ ライン １６ 処理液路 １７ 第２ｐＨ調整装置 １８ アルカリ注入路 １９ 第２濃縮液路 ２１ 第１酸化処理装置 ２３ 第１濃縮液路 ２５ 第３調整槽 ２６ 第３ＲＯ装置 ２７ 第２酸化処理装置 ３１ 第３ｐＨ調整装置 ３２ 薬注路 ３３ 第３濃縮液路 ３４ 第１ＲＯ濃縮水路 ３５ 第２ＲＯ濃縮水路 ３６ 第３ＲＯ濃縮水路
Claims (6)
- 【請求項１】 原水をｐＨ６以下に調整する第１のｐＨ
調整装置、 ｐＨ調整された原水を脱気する脱気装置、 脱気水を脱塩する第１の逆浸透膜装置、 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の透過液をｐＨ
８．５以上に調整する第２のｐＨ調整装置、 ｐＨ調整された第１の透過液を脱塩して高純度水を得る
第２の逆浸透膜装置、および第２の逆浸透膜装置から得
られる第２の濃縮液を酸化処理して、第１の逆浸透膜装
置に供給する第１の酸化処理装置を含む高純度水の製造
装置。 - 【請求項２】 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の
濃縮液を脱塩し、得られる第３の透過液を第１の逆浸透
膜装置に供給する第３の逆浸透膜装置を含む請求項１記
載の装置。 - 【請求項３】 第３の透過液を酸化処理する第２の酸化
処理装置を含む請求項２記載の装置。 - 【請求項４】 原水をｐＨ６以下に調整して脱気し、 脱気水を第１の逆浸透膜装置で脱塩し、 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の透過液をｐＨ
８．５以上に調整し、 ｐＨ調整して第１の透過液を第２の逆浸透膜装置で脱塩
して高純度水を得、 第２の逆浸透膜装置の濃縮液を酸化処理して第１の逆浸
透膜装置に供給する高純度水の製造方法。 - 【請求項５】 第１の逆浸透膜装置から得られる第１の
濃縮液を第３の逆浸透膜装置で脱塩し、得られる第３の
透過液を第１の逆浸透膜装置に供給する請求項４記載の
方法。 - 【請求項６】 第３の透過液を酸化処理して第１の逆浸
透膜装置に供給する請求項５記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10190711A JP2000015257A (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 高純度水の製造装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10190711A JP2000015257A (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 高純度水の製造装置および方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007196681A Division JP2007307561A (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 高純度水の製造装置および方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000015257A true JP2000015257A (ja) | 2000-01-18 |
Family
ID=16262568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10190711A Pending JP2000015257A (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 高純度水の製造装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000015257A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004000919A (ja) * | 2002-04-05 | 2004-01-08 | Kurita Water Ind Ltd | 脱塩水製造装置 |
| JP2005524520A (ja) * | 2002-05-02 | 2005-08-18 | シティ、オブ、ロング、ビーチ | ２段階ナノ濾過海水脱塩システム |
| WO2006009185A1 (ja) * | 2004-07-16 | 2006-01-26 | Kurita Water Industries Ltd. | シリカ除去装置及びシリカ除去方法 |
| JP2008542002A (ja) * | 2005-05-25 | 2008-11-27 | マードック ユニバーシティ | 脱塩のための改善された方法 |
| JP2012183487A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Miura Co Ltd | 水処理方法及び水処理システム |
| WO2013153587A1 (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-17 | Ｊｆｅエンジニアリング株式会社 | 坑井からの随伴水処理方法および装置 |
| WO2015001884A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| WO2015002014A1 (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-08 | 栗田工業株式会社 | カチオン界面活性剤含有排水の処理方法及び処理装置 |
| JP5968524B2 (ja) * | 2013-04-25 | 2016-08-10 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| JP6420011B1 (ja) * | 2018-04-18 | 2018-11-07 | 日本ウォーターシステム株式会社 | 水処理装置 |
| CN111346513A (zh) * | 2018-12-20 | 2020-06-30 | 国家能源投资集团有限责任公司 | 含盐水的反渗透处理方法和反渗透系统 |
| KR102192071B1 (ko) * | 2020-01-06 | 2020-12-17 | 비케이이엔지 주식회사 | 전기탈이온장치를 이용한 폐수 처리수 재이용 순수생산방법 |
-
1998
- 1998-07-06 JP JP10190711A patent/JP2000015257A/ja active Pending
Cited By (45)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004000919A (ja) * | 2002-04-05 | 2004-01-08 | Kurita Water Ind Ltd | 脱塩水製造装置 |
| JP4599803B2 (ja) * | 2002-04-05 | 2010-12-15 | 栗田工業株式会社 | 脱塩水製造装置 |
| JP2005524520A (ja) * | 2002-05-02 | 2005-08-18 | シティ、オブ、ロング、ビーチ | ２段階ナノ濾過海水脱塩システム |
| JP4808399B2 (ja) * | 2002-05-02 | 2011-11-02 | シティ、オブ、ロング、ビーチ | ２段階ナノ濾過海水脱塩システム |
| US8366924B2 (en) | 2002-05-02 | 2013-02-05 | City Of Long Beach | Two stage nanofiltration seawater desalination system |
| WO2006009185A1 (ja) * | 2004-07-16 | 2006-01-26 | Kurita Water Industries Ltd. | シリカ除去装置及びシリカ除去方法 |
| JP2008542002A (ja) * | 2005-05-25 | 2008-11-27 | マードック ユニバーシティ | 脱塩のための改善された方法 |
| JP2012183487A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Miura Co Ltd | 水処理方法及び水処理システム |
| WO2013153587A1 (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-17 | Ｊｆｅエンジニアリング株式会社 | 坑井からの随伴水処理方法および装置 |
| US10392283B2 (en) | 2012-04-11 | 2019-08-27 | Jfe Engineering Corporation | Method and apparatus for treating accompanied water from a well |
| JPWO2013153587A1 (ja) * | 2012-04-11 | 2015-12-17 | Ｊｆｅエンジニアリング株式会社 | 坑井からの随伴水処理方法および装置 |
| JP5968524B2 (ja) * | 2013-04-25 | 2016-08-10 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| TWI593636B (zh) * | 2013-07-02 | 2017-08-01 | Kurita Water Ind Ltd | Drainage treatment method and processing device containing cationic surfactant |
| WO2015002014A1 (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-08 | 栗田工業株式会社 | カチオン界面活性剤含有排水の処理方法及び処理装置 |
| CN105358489A (zh) * | 2013-07-02 | 2016-02-24 | 栗田工业株式会社 | 含有阳离子表面活性剂的废水的处理方法及处理装置 |
| JP2015009230A (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-19 | 栗田工業株式会社 | カチオン界面活性剤含有排水の処理方法及び処理装置 |
| EP3002257A4 (en) * | 2013-07-05 | 2016-06-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | WATER TREATMENT METHOD AND WATER TREATMENT SYSTEM |
| AU2014285449B2 (en) * | 2013-07-05 | 2016-11-24 | Mitsubishi Heavy Industries Engineering, Ltd. | Water treatment method, and water treatment system |
| WO2015001886A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| CN105358492A (zh) * | 2013-07-05 | 2016-02-24 | 三菱重工业株式会社 | 水处理方法以及水处理系统 |
| CN105377772A (zh) * | 2013-07-05 | 2016-03-02 | 三菱重工业株式会社 | 水处理方法以及水处理系统 |
| EP3002257A1 (en) * | 2013-07-05 | 2016-04-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Water treatment method, and water treatment system |
| WO2015001885A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| EP3002259A4 (en) * | 2013-07-05 | 2016-08-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | WATER PROCESSING METHOD AND WATER PROCESSING SYSTEM |
| EP3002258A4 (en) * | 2013-07-05 | 2016-08-03 | WATER PROCESSING METHOD AND WATER PROCESSING SYSTEM | |
| WO2015001888A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| EP3002256A4 (en) * | 2013-07-05 | 2016-08-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | WATER TREATMENT METHOD AND WATER TREATMENT SYSTEM |
| JP6005283B2 (ja) * | 2013-07-05 | 2016-10-12 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| JP6005284B2 (ja) * | 2013-07-05 | 2016-10-12 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| JP6005282B2 (ja) * | 2013-07-05 | 2016-10-12 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| AU2014285448B2 (en) * | 2013-07-05 | 2016-11-24 | Mitsubishi Heavy Industries Engineering, Ltd. | Water treatment method, and water treatment system |
| CN105339313A (zh) * | 2013-07-05 | 2016-02-17 | 三菱重工业株式会社 | 水处理方法以及水处理系统 |
| WO2015001889A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| US9914653B2 (en) | 2013-07-05 | 2018-03-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Water treatment process and water treatment system |
| US9914652B2 (en) | 2013-07-05 | 2018-03-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Water treatment process and water treatment system |
| US9950936B2 (en) | 2013-07-05 | 2018-04-24 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Water treatment process and water treatment system |
| US9969629B2 (en) | 2013-07-05 | 2018-05-15 | Mitsubishi Heavy Industries, Inc. | Water treatment process and water treatment system |
| US10029929B2 (en) | 2013-07-05 | 2018-07-24 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Water treatment process and water treatment system |
| WO2015001884A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
| US10160671B2 (en) | 2013-07-05 | 2018-12-25 | Mitsubishi Heavy Industries Engineering, Ltd. | Water treatment process and water treatment system |
| JP6420011B1 (ja) * | 2018-04-18 | 2018-11-07 | 日本ウォーターシステム株式会社 | 水処理装置 |
| JP2019188269A (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-31 | 日本ウォーターシステム株式会社 | 水処理装置 |
| CN111346513A (zh) * | 2018-12-20 | 2020-06-30 | 国家能源投资集团有限责任公司 | 含盐水的反渗透处理方法和反渗透系统 |
| CN111346513B (zh) * | 2018-12-20 | 2022-04-12 | 国家能源投资集团有限责任公司 | 含盐水的反渗透处理方法和反渗透系统 |
| KR102192071B1 (ko) * | 2020-01-06 | 2020-12-17 | 비케이이엔지 주식회사 | 전기탈이온장치를 이용한 폐수 처리수 재이용 순수생산방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3180348B2 (ja) | 純水の製造方法 | |
| JP3575271B2 (ja) | 純水の製造方法 | |
| JP2009028695A (ja) | 純水製造装置及び純水製造方法 | |
| JP2009172462A (ja) | 水質改質装置、及び水処理システム、並びに排水の再利用システム | |
| JP2007307561A (ja) | 高純度水の製造装置および方法 | |
| JP2000015257A (ja) | 高純度水の製造装置および方法 | |
| JP2004283710A (ja) | 純水製造装置 | |
| JP2004033976A (ja) | 脱イオン水の製造方法及び装置 | |
| JP2004000919A (ja) | 脱塩水製造装置 | |
| JPH10272495A (ja) | 高濃度の塩類を含有する有機性廃水の処理方法 | |
| JP3137831B2 (ja) | 膜処理装置 | |
| WO2021131360A1 (ja) | 純水製造方法、純水製造システム、超純水製造方法及び超純水製造システム | |
| JP2000051665A (ja) | 脱塩方法 | |
| JPH0829315B2 (ja) | 脱塩水製造装置 | |
| JP2000317457A (ja) | 純水の製造方法 | |
| JP2000189760A (ja) | 純水製造装置 | |
| WO2021215099A1 (ja) | 排水処理方法、超純水製造方法及び排水処理装置 | |
| JP2001191080A (ja) | 電気脱イオン装置及びそれを用いた電気脱イオン化処理方法 | |
| JP2001170630A (ja) | 純水製造装置 | |
| JP2002355683A (ja) | 超純水製造方法及び超純水製造装置 | |
| JP3081079B2 (ja) | 脱炭酸装置、及び同装置を組込んだ純水製造装置 | |
| JP4403622B2 (ja) | 電気脱塩処理方法及び電気脱塩処理装置 | |
| WO2020184044A1 (ja) | 純水製造装置および純水の製造方法 | |
| JP3901107B2 (ja) | 電気脱イオン装置及びその運転方法 | |
| JP2002001069A (ja) | 純水製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050316 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070511 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070529 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070727 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090602 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091027 |