JP3464341B2 - 純水製造装置のスライムコントロール方法 - Google Patents
純水製造装置のスライムコントロール方法Info
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- water
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、純水製造装置のス
ライムコントロール方法に関し、複数装置群のスライム
コントロールを簡便に行うことができるようにしたもの
である。
ライムコントロール方法に関し、複数装置群のスライム
コントロールを簡便に行うことができるようにしたもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来より、カン水もしくは淡水またはこ
れらを浄水処理した工業用水もしくは水道水などの用水
を原水とし、逆浸透（ＲＯ）膜分離装置により塩等の溶
存有機物を除去して純水を製造する方法が知られてい
る。この方法は半導体製造に使用する洗浄用超純水の製
造プロセスの基本的な操作として多用されている。そし
て、このようなＲＯ膜分離処理を含む純水処理装置とし
ては、限外濾過（ＵＦ）膜装置および／またはイオン交
換（ＩＥ）樹脂装置と組み合わせたもの、およびこれに
さらに活性炭（ＡＣ）装置を組み合わせたものが知られ
ている。
れらを浄水処理した工業用水もしくは水道水などの用水
を原水とし、逆浸透（ＲＯ）膜分離装置により塩等の溶
存有機物を除去して純水を製造する方法が知られてい
る。この方法は半導体製造に使用する洗浄用超純水の製
造プロセスの基本的な操作として多用されている。そし
て、このようなＲＯ膜分離処理を含む純水処理装置とし
ては、限外濾過（ＵＦ）膜装置および／またはイオン交
換（ＩＥ）樹脂装置と組み合わせたもの、およびこれに
さらに活性炭（ＡＣ）装置を組み合わせたものが知られ
ている。
【０００３】このような純水製造装置では、各装置にお
けるスライム汚染により、差圧上昇、水質低下などの性
能低下を防止するため、薬剤によるスライムコントロー
ルが行われている。例えば、ＵＦ膜の抑菌は、一般に
は、その前段で塩素を添加することにより行われる。ま
た、他の装置に関してもスライムコントロール剤添加に
よるスライム抑制が行われる。
けるスライム汚染により、差圧上昇、水質低下などの性
能低下を防止するため、薬剤によるスライムコントロー
ルが行われている。例えば、ＵＦ膜の抑菌は、一般に
は、その前段で塩素を添加することにより行われる。ま
た、他の装置に関してもスライムコントロール剤添加に
よるスライム抑制が行われる。
【０００４】ところで、ウルトラピュアウォーター（Ｕ
ＬＴＲＡＰＵＲＥ ＷＡＴＥＲ）（ＭＡＲＣＨ １９９
５，１５〜１９頁）には、ポリアクリルアミド材質のＲ
Ｏ膜は、塩素系の薬剤により劣化してしまうことが記載
されている。このため、例えば、前段で残留塩素などが
存在する場合には、ＲＯ膜通水前に、これら残留塩素を
ＮａＨＳＯ3などの薬剤の添加または活性炭処理によっ
て除去する必要がある。したがって、ＵＦ膜およびＲＯ
膜分離装置をこの順で含むシステムでは、ＵＦ膜装置の
前段で塩素を添加してＵＦ膜のスライムコントロールを
行い、ＵＦ膜装置の後、ＮａＨＳＯ3などを添加して塩
素を除去して、さらにＲＯ膜装置の前段で新たに塩素系
でないスライムコントロール剤を添加してスライムコン
トロールを行う必要がある。
ＬＴＲＡＰＵＲＥ ＷＡＴＥＲ）（ＭＡＲＣＨ １９９
５，１５〜１９頁）には、ポリアクリルアミド材質のＲ
Ｏ膜は、塩素系の薬剤により劣化してしまうことが記載
されている。このため、例えば、前段で残留塩素などが
存在する場合には、ＲＯ膜通水前に、これら残留塩素を
ＮａＨＳＯ3などの薬剤の添加または活性炭処理によっ
て除去する必要がある。したがって、ＵＦ膜およびＲＯ
膜分離装置をこの順で含むシステムでは、ＵＦ膜装置の
前段で塩素を添加してＵＦ膜のスライムコントロールを
行い、ＵＦ膜装置の後、ＮａＨＳＯ3などを添加して塩
素を除去して、さらにＲＯ膜装置の前段で新たに塩素系
でないスライムコントロール剤を添加してスライムコン
トロールを行う必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来、純水製造装置に
おける各装置のスライムコントロールを行う場合、各ユ
ニット毎にスライムコントロール剤の添加等が行われて
いたため、複数の薬剤を添加する必要があり、制御が複
雑になるという問題があった。例えばＵＦ膜およびＲＯ
膜装置を含むシステムでは、上述したような複雑な操作
を行う必要がある。また、原水にアンモニア性窒素など
の混入が多いと、ＵＦ膜装置の前段で添加した塩素はク
ロラミンとなり、菌抑制力が低下し、ＵＦ膜装置のスラ
イムコントロールが不十分になるという問題もあった。
おける各装置のスライムコントロールを行う場合、各ユ
ニット毎にスライムコントロール剤の添加等が行われて
いたため、複数の薬剤を添加する必要があり、制御が複
雑になるという問題があった。例えばＵＦ膜およびＲＯ
膜装置を含むシステムでは、上述したような複雑な操作
を行う必要がある。また、原水にアンモニア性窒素など
の混入が多いと、ＵＦ膜装置の前段で添加した塩素はク
ロラミンとなり、菌抑制力が低下し、ＵＦ膜装置のスラ
イムコントロールが不十分になるという問題もあった。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑み、純水製
造装置におけるスライムコントロールを簡便に行うこと
ができる純水製造装置におけるスライムコントロール方
法を提供することを課題とする。
造装置におけるスライムコントロールを簡便に行うこと
ができる純水製造装置におけるスライムコントロール方
法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明は、少なくとも限外濾過装置（ＵＦユニット）による
処理の後、逆浸透膜分離装置（ＲＯユニット）で処理す
る純水製造装置のスライムコントロール方法において、
前記限外濾過装置の前段に５−クロロ−２−メチル−４
−イソチアゾリン−３−オン（ＭＩＴ）を注入すること
を特徴とする純水製造装置のスライムコントロール方法
にある。
明は、少なくとも限外濾過装置（ＵＦユニット）による
処理の後、逆浸透膜分離装置（ＲＯユニット）で処理す
る純水製造装置のスライムコントロール方法において、
前記限外濾過装置の前段に５−クロロ−２−メチル−４
−イソチアゾリン−３−オン（ＭＩＴ）を注入すること
を特徴とする純水製造装置のスライムコントロール方法
にある。
【０００８】ここで、前記複数ユニット群は、例えば、
前記ＵＦユニットおよび前記ＲＯユニットをこの順番に
含むユニット群；前記ＵＦユニット、前記ＲＯユニット
および前記ＩＥユニットをこの順番に含むユニット群；
前記ＵＦユニット、前記ＩＥユニットおよび前記ＲＯユ
ニットをこの順番に含むユニット群；前記ＲＯユニット
および前記ＩＥユニットをこの順番に含むユニット群；
前記ＩＥユニットおよび前記ＲＯユニットをこの順番に
含むユニット群；活性炭装置（ＡＣユニット）、前記Ｒ
Ｏユニットおよび前記ＩＥユニットをこの順番に含むユ
ニット群；前記ＡＣユニット、前記ＩＥユニットおよび
前記ＲＯユニットをこの順番に含むユニット群；前記Ｕ
Ｆユニット、前記ＡＣユニット、前記ＲＯユニットおよ
び前記ＩＥユニットをこの順番に含むユニット群；また
は前記ＵＦユニット、前記ＡＣユニット、前記ＩＥユニ
ットおよび前記ＲＯユニットをこの順番に含むユニット
群である。
前記ＵＦユニットおよび前記ＲＯユニットをこの順番に
含むユニット群；前記ＵＦユニット、前記ＲＯユニット
および前記ＩＥユニットをこの順番に含むユニット群；
前記ＵＦユニット、前記ＩＥユニットおよび前記ＲＯユ
ニットをこの順番に含むユニット群；前記ＲＯユニット
および前記ＩＥユニットをこの順番に含むユニット群；
前記ＩＥユニットおよび前記ＲＯユニットをこの順番に
含むユニット群；活性炭装置（ＡＣユニット）、前記Ｒ
Ｏユニットおよび前記ＩＥユニットをこの順番に含むユ
ニット群；前記ＡＣユニット、前記ＩＥユニットおよび
前記ＲＯユニットをこの順番に含むユニット群；前記Ｕ
Ｆユニット、前記ＡＣユニット、前記ＲＯユニットおよ
び前記ＩＥユニットをこの順番に含むユニット群；また
は前記ＵＦユニット、前記ＡＣユニット、前記ＩＥユニ
ットおよび前記ＲＯユニットをこの順番に含むユニット
群である。
【０００９】また、前記スライムコントロール剤は非酸
化性であればよいが、好ましくは、前記ＵＦユニット、
前記ＲＯユニットまたは前記ＩＥユニットの場合には前
記スライムコントロール剤の除去率が９０％以下、前記
ＡＣユニットの場合には前記スライムコントロール剤の
活性炭飽和吸着量が５０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）
であるものが挙げられる。なお、非酸化性スライムコン
トロール剤は、前記各ユニットを劣化させないもので、
具体的には、５−クロロ−２−メチル−４−イソチアゾ
リン−３−オン（ＭＩＴ）、オルソフタルアルデヒド
（ＯＰＡ）、銀系化合物（硝酸銀など）、ヒドラジン
（Ｎ2Ｈ4）などが例示できる。
化性であればよいが、好ましくは、前記ＵＦユニット、
前記ＲＯユニットまたは前記ＩＥユニットの場合には前
記スライムコントロール剤の除去率が９０％以下、前記
ＡＣユニットの場合には前記スライムコントロール剤の
活性炭飽和吸着量が５０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）
であるものが挙げられる。なお、非酸化性スライムコン
トロール剤は、前記各ユニットを劣化させないもので、
具体的には、５−クロロ−２−メチル−４−イソチアゾ
リン−３−オン（ＭＩＴ）、オルソフタルアルデヒド
（ＯＰＡ）、銀系化合物（硝酸銀など）、ヒドラジン
（Ｎ2Ｈ4）などが例示できる。
【００１０】前記スライムコントロール剤の注入量は、
前記各ユニットの条件を考慮して設定する。
前記各ユニットの条件を考慮して設定する。
【００１１】本発明では、例えば、ＵＦユニットおよび
ＲＯユニットをこの順番に含む純水製造システムの前記
ＵＦユニットの前段で、５−クロロ−２−メチル−４−
イソチアゾリン−３−オン（ＭＩＴ）等を主成分とする
スライムコントロール剤を添加してＵＦ膜の殺菌を行う
と同時にＵＦ膜を透過したスライムコントロール剤によ
りＲＯ膜の殺菌も同時に行うようにする。このように本
発明では、ＭＩＴなどの非酸化性スライムコントロール
剤を装置群の前段に添加することにより各ユニットでの
スライムコントロールを一括して行うことができる。一
方、塩素系の薬剤であるＮａＣｌＯはＲＯ膜の脱塩力を
低下させ、イオン交換樹脂の交換容量等を劣化させる働
きがあるため好ましくないが、本発明方法においては、
必要に応じて上述したＮａＣｌＯ等を非酸化性スライム
コントロール剤と併用してもよい。
ＲＯユニットをこの順番に含む純水製造システムの前記
ＵＦユニットの前段で、５−クロロ−２−メチル−４−
イソチアゾリン−３−オン（ＭＩＴ）等を主成分とする
スライムコントロール剤を添加してＵＦ膜の殺菌を行う
と同時にＵＦ膜を透過したスライムコントロール剤によ
りＲＯ膜の殺菌も同時に行うようにする。このように本
発明では、ＭＩＴなどの非酸化性スライムコントロール
剤を装置群の前段に添加することにより各ユニットでの
スライムコントロールを一括して行うことができる。一
方、塩素系の薬剤であるＮａＣｌＯはＲＯ膜の脱塩力を
低下させ、イオン交換樹脂の交換容量等を劣化させる働
きがあるため好ましくないが、本発明方法においては、
必要に応じて上述したＮａＣｌＯ等を非酸化性スライム
コントロール剤と併用してもよい。
【００１２】このように本発明において複数ユニット群
のスライムコントロールを一括して行う、例えば、ＵＦ
−ＲＯユニットを含む装置では、ＲＯユニットからなる
後段ユニットの殺菌を行わせるためには、ＵＦユニット
からなる前段でスライムコントロール剤が完全に除去さ
れないようにする必要がある。このように、各ユニット
が、ＵＦユニット、ＲＯユニット、ＩＥユニットの場合
には、前記スライムコントロール剤の除去率が９０％以
下とするのが好ましく、ＡＣユニットの場合には、飽和
吸着量が５０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）以下とする
のが好ましい。
のスライムコントロールを一括して行う、例えば、ＵＦ
−ＲＯユニットを含む装置では、ＲＯユニットからなる
後段ユニットの殺菌を行わせるためには、ＵＦユニット
からなる前段でスライムコントロール剤が完全に除去さ
れないようにする必要がある。このように、各ユニット
が、ＵＦユニット、ＲＯユニット、ＩＥユニットの場合
には、前記スライムコントロール剤の除去率が９０％以
下とするのが好ましく、ＡＣユニットの場合には、飽和
吸着量が５０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）以下とする
のが好ましい。
【００１３】例えば、非酸化性スライムコントロール剤
であるＭＩＴは、 一般的には、ＵＦユニットでの除去
率が０％、ＲＯユニットでの除去率が８５％、ＩＥユニ
ットでの除去率が６５％、活性炭飽和吸着量が１０（ｍ
ｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）である。したがって、ＭＩＴ
をスライムコントロール剤の主成分として用いることに
より、上記条件は満たされる。また、ＯＰＡ（オルソフ
タルアルデヒド）は各除去率がＵＦユニット０％、ＲＯ
ユニット９９％、ＩＥユニット９９％、ＡＣユニットの
飽和吸着量が３０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）であ
り、硝酸銀も同様に、ＵＦユニット０％、ＲＯユニット
９５％、ＩＥユニット９９％、ＡＣユニットの飽和吸着
量２．７（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）、ヒドラジン
（Ｎ2Ｈ4）も同様に、ＵＦユニット０％、ＲＯユニット
８０％、ＩＥユニット９９％、ＡＣユニットの飽和吸着
量１０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）であり、それぞれ
ユニットによっては上記条件を満たしている。
であるＭＩＴは、 一般的には、ＵＦユニットでの除去
率が０％、ＲＯユニットでの除去率が８５％、ＩＥユニ
ットでの除去率が６５％、活性炭飽和吸着量が１０（ｍ
ｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）である。したがって、ＭＩＴ
をスライムコントロール剤の主成分として用いることに
より、上記条件は満たされる。また、ＯＰＡ（オルソフ
タルアルデヒド）は各除去率がＵＦユニット０％、ＲＯ
ユニット９９％、ＩＥユニット９９％、ＡＣユニットの
飽和吸着量が３０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）であ
り、硝酸銀も同様に、ＵＦユニット０％、ＲＯユニット
９５％、ＩＥユニット９９％、ＡＣユニットの飽和吸着
量２．７（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）、ヒドラジン
（Ｎ2Ｈ4）も同様に、ＵＦユニット０％、ＲＯユニット
８０％、ＩＥユニット９９％、ＡＣユニットの飽和吸着
量１０（ｍｇ・薬剤）／（ｇ・ＡＣ）であり、それぞれ
ユニットによっては上記条件を満たしている。
【００１４】この薬剤（ＭＩＴ）を用いると、例えば、
ＵＦユニット−ＡＣユニット−ＩＥユニット−ＲＯユニ
ットをこの順番に含む複数ユニットのシステムでは、前
記複数ユニットの前段に注入すれば、前記ＩＥユニット
での除去率を考慮した注入量とするだけで、各ユニット
それぞれの抑菌が同時に可能となる。このように本発明
によれば、薬剤注入を１カ所で行うだけで複数のユニッ
トのスライム制御ができるという利点がある。ここで、
一般にＲＯユニットあるいはＩＥユニットでの薬剤除去
率は、ＵＦユニットあるいはＡＣユニットと比較して大
きいため、各ユニットの処理順番によっては、これを考
慮してスライムコントロール剤の注入量を増やす等の制
御する必要がある。なお、必要に応じて、ＲＯユニット
あるいはＩＥユニットなどの各ユニットの後にさらに薬
剤注入ラインを設けて不足分の薬剤を補給してもよい。
ＵＦユニット−ＡＣユニット−ＩＥユニット−ＲＯユニ
ットをこの順番に含む複数ユニットのシステムでは、前
記複数ユニットの前段に注入すれば、前記ＩＥユニット
での除去率を考慮した注入量とするだけで、各ユニット
それぞれの抑菌が同時に可能となる。このように本発明
によれば、薬剤注入を１カ所で行うだけで複数のユニッ
トのスライム制御ができるという利点がある。ここで、
一般にＲＯユニットあるいはＩＥユニットでの薬剤除去
率は、ＵＦユニットあるいはＡＣユニットと比較して大
きいため、各ユニットの処理順番によっては、これを考
慮してスライムコントロール剤の注入量を増やす等の制
御する必要がある。なお、必要に応じて、ＲＯユニット
あるいはＩＥユニットなどの各ユニットの後にさらに薬
剤注入ラインを設けて不足分の薬剤を補給してもよい。
【００１５】
（実施例１）図１に示すように、本実施例のシステム
は、ＵＦユニット１０およびＲＯユニット２０からな
り、工業用水を５００Ｌ／ｈｒで供給して、ＵＦユニッ
ト１０内の膜面積５ｍ2、分画分子量５０，０００のＵ
Ｆ膜モジュールで処理して４１０Ｌ／ｈｒの生産水（初
期）（回収率８２％）を得、さらに、ＲＯユニット２０
内のＲＯモジュール（４インチ膜、材質ポリアクリルア
ミド；圧力１５ｋｇ／ ｃｍ2）で２７０Ｌ／ｈｒ（初
期）の生産水（回収率６６％）を得るものである。かか
るシステムにおいて、ＵＦユニット１０の前段で、ＭＩ
Ｔを主成分とするスライムコントロール剤を３ｐｐｍ添
加して３ヶ月通水を行った。
は、ＵＦユニット１０およびＲＯユニット２０からな
り、工業用水を５００Ｌ／ｈｒで供給して、ＵＦユニッ
ト１０内の膜面積５ｍ2、分画分子量５０，０００のＵ
Ｆ膜モジュールで処理して４１０Ｌ／ｈｒの生産水（初
期）（回収率８２％）を得、さらに、ＲＯユニット２０
内のＲＯモジュール（４インチ膜、材質ポリアクリルア
ミド；圧力１５ｋｇ／ ｃｍ2）で２７０Ｌ／ｈｒ（初
期）の生産水（回収率６６％）を得るものである。かか
るシステムにおいて、ＵＦユニット１０の前段で、ＭＩ
Ｔを主成分とするスライムコントロール剤を３ｐｐｍ添
加して３ヶ月通水を行った。
【００１６】（実施例２）
図２に示すように実施例１と同様なシステムにおいて、
ＵＦユニット１０の前段で、ＮａＣｌＯを残留塩素とし
て０．５ｐｐｍとなるよう添加し、さらに、ＭＩＴを主
成分とするスライムコントロール剤を３ｐｐｍ添加し、
且つ、ＵＦユニット１０の後段で、ＮａＨＳＯ3を１ｐ
ｐｍ添加して残留塩素を除去するようにし、３ヶ月通水
を行った。
ＵＦユニット１０の前段で、ＮａＣｌＯを残留塩素とし
て０．５ｐｐｍとなるよう添加し、さらに、ＭＩＴを主
成分とするスライムコントロール剤を３ｐｐｍ添加し、
且つ、ＵＦユニット１０の後段で、ＮａＨＳＯ3を１ｐ
ｐｍ添加して残留塩素を除去するようにし、３ヶ月通水
を行った。
【００１７】（比較例１）
図３に示すように実施例１と同様なシステムにおいて、
ＵＦユニット１０の前段で、ＮａＣｌＯを残留塩素とし
て０．５ｐｐｍとなるよう添加し、ＵＦユニット１０の
後段でＮａＨＳＯ3を１ｐｐｍ添加して残留塩素を除去
し、その後、ＭＩＴを主成分とするスライムコントロー
ル剤を３ｐｐｍ添加し、３ヶ月通水を行った。
ＵＦユニット１０の前段で、ＮａＣｌＯを残留塩素とし
て０．５ｐｐｍとなるよう添加し、ＵＦユニット１０の
後段でＮａＨＳＯ3を１ｐｐｍ添加して残留塩素を除去
し、その後、ＭＩＴを主成分とするスライムコントロー
ル剤を３ｐｐｍ添加し、３ヶ月通水を行った。
【００１８】（比較例２）実施例１と同様なシステムで
薬剤を全く入れずに、実施例１と同様に３ヶ月通水を行
った。
薬剤を全く入れずに、実施例１と同様に３ヶ月通水を行
った。
【００１９】（結果）以上の実施例および比較例におい
て３ヶ月通水した後のＵＦユニット１０後の生産水量お
よびＲＯユニット２０後の生産水量を以下に示す。この
結果より、実施例１はスライムコントロール剤を一カ所
で注入しただけにもかかわらず、比較例１と同様な生産
水量が得られ、簡便な作業でスライム制御が良好に行わ
れていることがわかった。また、実施例２のように、ス
ライムコントロール剤とともに、塩素によるスライムコ
ントロールを同時に行っても同様な効果が得られること
が明らかになった。なお、この場合、薬剤の注入をＵＦ
ユニットの前段で一緒に行うことができるので、比較例
１と比較して作業が簡略化されている。
て３ヶ月通水した後のＵＦユニット１０後の生産水量お
よびＲＯユニット２０後の生産水量を以下に示す。この
結果より、実施例１はスライムコントロール剤を一カ所
で注入しただけにもかかわらず、比較例１と同様な生産
水量が得られ、簡便な作業でスライム制御が良好に行わ
れていることがわかった。また、実施例２のように、ス
ライムコントロール剤とともに、塩素によるスライムコ
ントロールを同時に行っても同様な効果が得られること
が明らかになった。なお、この場合、薬剤の注入をＵＦ
ユニットの前段で一緒に行うことができるので、比較例
１と比較して作業が簡略化されている。
【００２０】
ＵＦ生産水量（Ｌ／ｈｒ） ＲＯ生産水量（Ｌ／ｈｒ）
実施例１ ４００ ２５０
実施例２ ４１０ ２５０
比較例１ ４００ ２５０
比較例２ ３００ １３０
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
スライムコントロール剤を複数ユニットの前段で添加す
ることで、同時に各ユニットのスライム汚染を防止で
き、スライム汚染によるユニットの性能低下、例えば、
ＵＦユニットあるいはＲＯユニットの場合には目詰まり
による生産水低下や差圧上昇、ＩＥユニットの場合には
差圧上昇や水質低下、ＡＣユニットの場合には差圧上昇
などを防ぐことができる。また、本発明によれば、薬品
注入装置や操作が簡便になり、薬品使用量が低減でき、
且つ同じ薬剤で複数のユニットのスライム防止ができる
ため、薬剤の有効利用が可能となるという効果を奏す
る。
スライムコントロール剤を複数ユニットの前段で添加す
ることで、同時に各ユニットのスライム汚染を防止で
き、スライム汚染によるユニットの性能低下、例えば、
ＵＦユニットあるいはＲＯユニットの場合には目詰まり
による生産水低下や差圧上昇、ＩＥユニットの場合には
差圧上昇や水質低下、ＡＣユニットの場合には差圧上昇
などを防ぐことができる。また、本発明によれば、薬品
注入装置や操作が簡便になり、薬品使用量が低減でき、
且つ同じ薬剤で複数のユニットのスライム防止ができる
ため、薬剤の有効利用が可能となるという効果を奏す
る。
【図１】実施例１に係る純水製造システムのフローを示
す図である。
す図である。
【図２】実施例２に係る純水製造システムのフローを示
す図である。
す図である。
【図３】比較例１に係る純水製造システムのフローを示
す図である。
す図である。
１０ ＵＦユニット
２０ ＲＯユニット
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｃ０２Ｆ 1/50 ５３２ Ｃ０２Ｆ 1/50 ５３２Ｂ
５４０ ５４０Ｂ
５５０ ５５０Ｂ
５６０ ５６０Ｅ
9/00 ５０２ 9/00 ５０２Ｅ
５０２Ｚ
５０３ ５０３Ｂ
５０４ ５０４Ｂ
(56)参考文献 特開 昭62−110705（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−100998（ＪＰ，Ａ)
「純水・超純水製造法−要素技術と応
用システム」，株式会社幸書房，1985年
３月20日，Ｐ．162−176
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも限外濾過装置による処理の
後、逆浸透膜分離装置で処理する純水製造装置のスライ
ムコントロール方法において、前記限外濾過装置の前段
に５−クロロ−２−メチル−４−イソチアゾリン−３−
オンを注入することを特徴とする純水製造装置のスライ
ムコントロール方法。 - 【請求項２】 請求項１において、前記５−クロロ−２
−メチル−４−イソチアゾリン−３−オンで前記限外濾
過装置及び逆浸透膜分離装置のスライムコントロールを
行うことを特徴とする純水製造装置のスライムコントロ
ール方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11278096A JP3464341B2 (ja) | 1996-05-07 | 1996-05-07 | 純水製造装置のスライムコントロール方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11278096A JP3464341B2 (ja) | 1996-05-07 | 1996-05-07 | 純水製造装置のスライムコントロール方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09294989A JPH09294989A (ja) | 1997-11-18 |
| JP3464341B2 true JP3464341B2 (ja) | 2003-11-10 |
Family
ID=14595320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11278096A Expired - Lifetime JP3464341B2 (ja) | 1996-05-07 | 1996-05-07 | 純水製造装置のスライムコントロール方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3464341B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5055662B2 (ja) * | 2001-05-11 | 2012-10-24 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
| JP5061410B2 (ja) * | 2001-05-11 | 2012-10-31 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
| JP3948337B2 (ja) * | 2001-10-18 | 2007-07-25 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
| JP3969185B2 (ja) * | 2002-05-24 | 2007-09-05 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置 |
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-
1996
- 1996-05-07 JP JP11278096A patent/JP3464341B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
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| 「純水・超純水製造法−要素技術と応用システム」，株式会社幸書房，１９８５年３月２０日，Ｐ．１６２−１７６ |
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