JPH08197070A - フッ素含有水の処理方法 - Google Patents
フッ素含有水の処理方法Info
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- JPH08197070A JPH08197070A JP886495A JP886495A JPH08197070A JP H08197070 A JPH08197070 A JP H08197070A JP 886495 A JP886495 A JP 886495A JP 886495 A JP886495 A JP 886495A JP H08197070 A JPH08197070 A JP H08197070A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 第一工程においてフッ素含有水にカルシウム
化合物を加えた後、第二工程において非重合性アルミニ
ウム化合物を加えて、第三工程で固液分離して処理水を
得ると共に、分離汚泥を第一工程に返送するフッ素含有
水の処理方法において、得られる汚泥の脱水性を改善す
る。 【構成】 アルミニウム化合物として非重合性アルミニ
ウム化合物を添加する。 【効果】 非重合性アルミニウム化合物によれば、従来
のポリ塩化アルミニウムにおけるゲル化による晶析阻害
をひき起こすことなく、高濃度で脱水性の良い汚泥が得
られる。
化合物を加えた後、第二工程において非重合性アルミニ
ウム化合物を加えて、第三工程で固液分離して処理水を
得ると共に、分離汚泥を第一工程に返送するフッ素含有
水の処理方法において、得られる汚泥の脱水性を改善す
る。 【構成】 アルミニウム化合物として非重合性アルミニ
ウム化合物を添加する。 【効果】 非重合性アルミニウム化合物によれば、従来
のポリ塩化アルミニウムにおけるゲル化による晶析阻害
をひき起こすことなく、高濃度で脱水性の良い汚泥が得
られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素含有水の処理方法
に係り、特に第一工程においてフッ素含有水にカルシウ
ム化合物を加えた後、第二工程においてアルミニウム化
合物を加えて、第三工程で固液分離して処理水を得ると
共に、分離汚泥を第一工程に返送するフッ素含有水の処
理方法において、アルミニウム化合物として非重合性ア
ルミニウム化合物を用いることにより、脱水性の良い汚
泥を得る方法に関する。
に係り、特に第一工程においてフッ素含有水にカルシウ
ム化合物を加えた後、第二工程においてアルミニウム化
合物を加えて、第三工程で固液分離して処理水を得ると
共に、分離汚泥を第一工程に返送するフッ素含有水の処
理方法において、アルミニウム化合物として非重合性ア
ルミニウム化合物を用いることにより、脱水性の良い汚
泥を得る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造排水や排煙脱硫排水などのフ
ッ素含有排水は、カルシウム化合物を添加して、フッ素
を難溶性フッ化カルシウムとして固定した後固液分離す
ることにより処理されているが、この方法では排水中の
共存塩類等の影響を受けるために、処理水フッ素濃度は
２０〜４０ｍｇ／ｌ程度にしか低減することはできな
い。このため、更に高次処理として、 カルシウム化合物を添加して固液分離して得られる
処理水に、アルミニウム化合物として硫酸バンド等の水
溶性アルミニウム化合物を添加し水酸化アルミニウムを
生成させてフッ素を共沈する二段沈殿法（特開昭５１−
３２０６０号公報）。
ッ素含有排水は、カルシウム化合物を添加して、フッ素
を難溶性フッ化カルシウムとして固定した後固液分離す
ることにより処理されているが、この方法では排水中の
共存塩類等の影響を受けるために、処理水フッ素濃度は
２０〜４０ｍｇ／ｌ程度にしか低減することはできな
い。このため、更に高次処理として、 カルシウム化合物を添加して固液分離して得られる
処理水に、アルミニウム化合物として硫酸バンド等の水
溶性アルミニウム化合物を添加し水酸化アルミニウムを
生成させてフッ素を共沈する二段沈殿法（特開昭５１−
３２０６０号公報）。
【０００３】 第１反応槽でカルシウム化合物を添加
した後、第２反応槽でアルミニウム化合物としてポリ塩
化アルミニウムを添加し、その後固液分離する単段沈殿
法（特開昭５１−９６１６６号公報）。
した後、第２反応槽でアルミニウム化合物としてポリ塩
化アルミニウムを添加し、その後固液分離する単段沈殿
法（特開昭５１−９６１６６号公報）。
【０００４】が適用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来法のうち、二
段沈殿法は、単段沈殿法に比べて少ないアルミニウム化
合物添加量にて良好な処理水を得ることができるが、脱
水性の悪い汚泥が多量に発生する上に、沈殿槽を２槽必
要とすることから、設備費が高くつき、また、設備設置
面積が大きいといった欠点がある。
段沈殿法は、単段沈殿法に比べて少ないアルミニウム化
合物添加量にて良好な処理水を得ることができるが、脱
水性の悪い汚泥が多量に発生する上に、沈殿槽を２槽必
要とすることから、設備費が高くつき、また、設備設置
面積が大きいといった欠点がある。
【０００６】一方、単段沈殿法であれば沈殿槽は一槽で
良く、設備費や設備設置面積の面からは有利であるが、
単段沈殿法では二段沈殿法よりも更に難脱水性の汚泥が
多量に発生し、このため、汚泥脱水処理設備の規模が大
きくなり、また、脱水ケーキ発生量も多く、その処分に
多大の費用を要するという欠点がある。
良く、設備費や設備設置面積の面からは有利であるが、
単段沈殿法では二段沈殿法よりも更に難脱水性の汚泥が
多量に発生し、このため、汚泥脱水処理設備の規模が大
きくなり、また、脱水ケーキ発生量も多く、その処分に
多大の費用を要するという欠点がある。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決し、フッ
素含有水を単段沈殿法により処理して放流可能な処理水
を得るに当り、発生する汚泥の脱水性を改善し、脱水が
容易な汚泥を得ることができるフッ素含有水の処理方法
を提供することを目的とする。
素含有水を単段沈殿法により処理して放流可能な処理水
を得るに当り、発生する汚泥の脱水性を改善し、脱水が
容易な汚泥を得ることができるフッ素含有水の処理方法
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のフッ素含有水の
処理方法は、フッ素含有水にカルシウム化合物を加えて
ｐＨ６〜１０とする第一工程と、該第一工程の流出水に
非重合性アルミニウム化合物を加えてｐＨを６〜８とす
る第二工程と、該第二工程の流出水を固液分離する第三
工程とを備え、該第三工程で得られた固形物を前記第一
工程に返送することを特徴とする。
処理方法は、フッ素含有水にカルシウム化合物を加えて
ｐＨ６〜１０とする第一工程と、該第一工程の流出水に
非重合性アルミニウム化合物を加えてｐＨを６〜８とす
る第二工程と、該第二工程の流出水を固液分離する第三
工程とを備え、該第三工程で得られた固形物を前記第一
工程に返送することを特徴とする。
【０００９】
【作用】単段沈殿法において、アルミニウム化合物とし
て非重合性アルミニウム化合物を添加することにより、
高濃度で脱水性の良い汚泥が得られるようになる。
て非重合性アルミニウム化合物を添加することにより、
高濃度で脱水性の良い汚泥が得られるようになる。
【００１０】本発明において、非重合性アルミニウム化
合物により汚泥の脱水性が改善されることの理由の詳細
は明らかではないが、次のように推測される。
合物により汚泥の脱水性が改善されることの理由の詳細
は明らかではないが、次のように推測される。
【００１１】即ち、第一工程でフッ素含有水にカルシウ
ム化合物を加え、第二工程で非重合性アルミニウム化合
物を加え、これを第三工程で固液分離し、得られた汚泥
を第一工程に返送する汚泥循環システムにおける、第一
工程のフッ化カルシウム（ＣａＦ2 ）汚泥と、第二工程
の水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）3 ）汚泥との混合
系では、これらＣａＦ2 とＡｌ（ＯＨ）3 との晶析反応
が進行し難い。即ち、Ａｌ（ＯＨ）3 はＣａＦ2 汚泥を
核として晶析せずにゲル化し、また、ＣａＦ2はＡｌ
（ＯＨ）3 汚泥を核として晶析せずにゲル化し、互いに
悪影響を及ぼし合うことが考えられる。しかしながら、
このような混合系においても、従来の汚泥を循環しない
システムよりは生成汚泥の濃縮性が改善されることか
ら、本発明者らは、汚泥自体によるものではなく、アル
ミニウム化合物として添加するポリ塩化アルミニウムが
晶析を阻害しているために、得られる汚泥の脱水性が悪
いことを予測した。このポリ塩化アルミニウムによる晶
析阻害は、ポリ塩化アルミニウムに含まれるアルミニウ
ム化合物は塩基度４５〜６０％と重合しているものであ
り、反応槽に添加すると瞬時に濁質粒子の表面以外で、
Ａｌ（ＯＨ）3 を生成してゲル化することによると考え
られる。
ム化合物を加え、第二工程で非重合性アルミニウム化合
物を加え、これを第三工程で固液分離し、得られた汚泥
を第一工程に返送する汚泥循環システムにおける、第一
工程のフッ化カルシウム（ＣａＦ2 ）汚泥と、第二工程
の水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）3 ）汚泥との混合
系では、これらＣａＦ2 とＡｌ（ＯＨ）3 との晶析反応
が進行し難い。即ち、Ａｌ（ＯＨ）3 はＣａＦ2 汚泥を
核として晶析せずにゲル化し、また、ＣａＦ2はＡｌ
（ＯＨ）3 汚泥を核として晶析せずにゲル化し、互いに
悪影響を及ぼし合うことが考えられる。しかしながら、
このような混合系においても、従来の汚泥を循環しない
システムよりは生成汚泥の濃縮性が改善されることか
ら、本発明者らは、汚泥自体によるものではなく、アル
ミニウム化合物として添加するポリ塩化アルミニウムが
晶析を阻害しているために、得られる汚泥の脱水性が悪
いことを予測した。このポリ塩化アルミニウムによる晶
析阻害は、ポリ塩化アルミニウムに含まれるアルミニウ
ム化合物は塩基度４５〜６０％と重合しているものであ
り、反応槽に添加すると瞬時に濁質粒子の表面以外で、
Ａｌ（ＯＨ）3 を生成してゲル化することによると考え
られる。
【００１２】本発明においては、脱水性が良く、高濃度
の汚泥が得られることにより、処理水水質も向上する。
の汚泥が得られることにより、処理水水質も向上する。
【００１３】なお、本発明において、非重合性アルミニ
ウム化合物としては、硫酸バンド（Ａｌ2 （ＳＯ4 ）
3 ），アルミン酸ナトリウム（ＮａＡｌＯ2 ）等のアル
ミン酸塩、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ3 ）、水酸化ア
ルミニウム沈殿（Ａｌ（ＯＨ）3 汚泥）の酸溶解物又は
アルカリ溶解物から成る群から選ばれる少くとも１種を
用いるのが好ましい。
ウム化合物としては、硫酸バンド（Ａｌ2 （ＳＯ4 ）
3 ），アルミン酸ナトリウム（ＮａＡｌＯ2 ）等のアル
ミン酸塩、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ3 ）、水酸化ア
ルミニウム沈殿（Ａｌ（ＯＨ）3 汚泥）の酸溶解物又は
アルカリ溶解物から成る群から選ばれる少くとも１種を
用いるのが好ましい。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１５】図１は本発明のフッ素含有水の処理方法の
一実施例方法を示す系統図である。
一実施例方法を示す系統図である。
【００１６】図１中、１は第１反応槽、２は第２反応
槽、３は第３反応槽、４は沈殿槽であり、１１〜２０の
各符号は配管を示す。
槽、３は第３反応槽、４は沈殿槽であり、１１〜２０の
各符号は配管を示す。
【００１７】本実施例においては、原水であるフッ素含
有水を、まず、配管１１より第１反応槽１に導入し、配
管１７からの返送汚泥を添加すると共に、配管１８より
水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等のカルシウム化
合物、更に必要に応じてｐＨ調整のために塩酸（ＨＣ
ｌ）等の酸又はアルカリのｐＨ調整剤を添加することに
より、槽内液をｐＨ６〜１０に調整する。これにより、
原水中のフッ素は、返送汚泥を核としてフッ化カルシウ
ムとして不溶化する。
有水を、まず、配管１１より第１反応槽１に導入し、配
管１７からの返送汚泥を添加すると共に、配管１８より
水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等のカルシウム化
合物、更に必要に応じてｐＨ調整のために塩酸（ＨＣ
ｌ）等の酸又はアルカリのｐＨ調整剤を添加することに
より、槽内液をｐＨ６〜１０に調整する。これにより、
原水中のフッ素は、返送汚泥を核としてフッ化カルシウ
ムとして不溶化する。
【００１８】この第１反応槽１の流出水は次いで配管１
２より第２反応槽２に導入し、配管１９よりＡｌ2 （Ｓ
Ｏ4 ）3 等の非重合性アルミニウム化合物、更に必要に
応じて酸又は水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等のアルカ
リをｐＨ調整剤として添加して、槽内液をｐＨ６〜８に
調整する。なお、この第２反応槽２において、更にＣａ
（ＯＨ）2 等のカルシウム化合物を追加添加しても良
い。
２より第２反応槽２に導入し、配管１９よりＡｌ2 （Ｓ
Ｏ4 ）3 等の非重合性アルミニウム化合物、更に必要に
応じて酸又は水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等のアルカ
リをｐＨ調整剤として添加して、槽内液をｐＨ６〜８に
調整する。なお、この第２反応槽２において、更にＣａ
（ＯＨ）2 等のカルシウム化合物を追加添加しても良
い。
【００１９】次いで、第２反応槽２の流出水は配管１３
より第３反応槽３に導入し、配管２０より凝集助剤を添
加して不溶物を粗大フロック化する。
より第３反応槽３に導入し、配管２０より凝集助剤を添
加して不溶物を粗大フロック化する。
【００２０】第３反応槽３の流出水は、配管１４より沈
殿槽４に導入して固液分離し、分離水は配管１５より処
理水として系外へ排出すると共に、分離汚泥の一部は配
管１７より第１反応槽１に返送する。分離汚泥の残部は
配管１６より系外へ排出して脱水処理する。
殿槽４に導入して固液分離し、分離水は配管１５より処
理水として系外へ排出すると共に、分離汚泥の一部は配
管１７より第１反応槽１に返送する。分離汚泥の残部は
配管１６より系外へ排出して脱水処理する。
【００２１】このような方法において、第１反応槽１に
添加するカルシウム化合物としては、上記Ｃａ（ＯＨ）
2 の他、塩化カルシウム（ＣａＣｌ2 ）、酸化カルシウ
ム（ＣａＯ）等を用いることができ、その添加量は原水
の水質によっても異なるが、通常の場合原水中のフッ素
濃度に対して当量比で１．０〜１０倍程度とされる。
添加するカルシウム化合物としては、上記Ｃａ（ＯＨ）
2 の他、塩化カルシウム（ＣａＣｌ2 ）、酸化カルシウ
ム（ＣａＯ）等を用いることができ、その添加量は原水
の水質によっても異なるが、通常の場合原水中のフッ素
濃度に対して当量比で１．０〜１０倍程度とされる。
【００２２】また、第２反応槽２に添加する非重合性ア
ルミニウム化合物としては、強酸又は強塩基性アルミニ
ウム化合物を用いることができ、上記のＡｌ2 （ＳＯ
4 ）3の他、ＡｌＣｌ3 、ＮａＡｌＯ2 、或いは、Ａｌ
（ＯＨ）3 汚泥の酸（ＨＣｌ等）溶解液やＡｌ（ＯＨ）
3 汚泥のアルカリ（ＮａＯＨやＣａ（ＯＨ）2 等）溶解
液等の１種又は２種以上を用いることができる。
ルミニウム化合物としては、強酸又は強塩基性アルミニ
ウム化合物を用いることができ、上記のＡｌ2 （ＳＯ
4 ）3の他、ＡｌＣｌ3 、ＮａＡｌＯ2 、或いは、Ａｌ
（ＯＨ）3 汚泥の酸（ＨＣｌ等）溶解液やＡｌ（ＯＨ）
3 汚泥のアルカリ（ＮａＯＨやＣａ（ＯＨ）2 等）溶解
液等の１種又は２種以上を用いることができる。
【００２３】これら非重合性アルミニウム化合物の添加
量は原水及び処理水の水質によっても異なるが、通常の
場合原水に対して３０〜１０００ｍｇ／ｌ程度とされ
る。
量は原水及び処理水の水質によっても異なるが、通常の
場合原水に対して３０〜１０００ｍｇ／ｌ程度とされ
る。
【００２４】また、第３反応槽３に添加する凝集助剤と
しては、アニオン系、ノニオン系又はカチオン系の高分
子凝集剤を用いることができ、その添加量は原水の水質
によっても異なるが、通常の場合原水に対して０．２〜
１０ｍｇ／ｌ程度とするのが好ましい。
しては、アニオン系、ノニオン系又はカチオン系の高分
子凝集剤を用いることができ、その添加量は原水の水質
によっても異なるが、通常の場合原水に対して０．２〜
１０ｍｇ／ｌ程度とするのが好ましい。
【００２５】沈殿槽４から得られる分離汚泥のうち、第
１反応槽１に返送する汚泥返送量は、通常の場合、原水
流量に対して０．１〜１０倍程度とされる。この汚泥返
送量は、第１反応槽及び第２反応槽の液滞留時間が１分
以上であり、未反応状態で槽内液が短絡することのない
構造であれば、特に上限は設定されない。
１反応槽１に返送する汚泥返送量は、通常の場合、原水
流量に対して０．１〜１０倍程度とされる。この汚泥返
送量は、第１反応槽及び第２反応槽の液滞留時間が１分
以上であり、未反応状態で槽内液が短絡することのない
構造であれば、特に上限は設定されない。
【００２６】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げ
て、本発明をより詳細に説明する。
て、本発明をより詳細に説明する。
【００２７】実施例１ フッ素濃度１８０ｍｇ／ｌ，ｐＨ２．４，濁度７度の半
導体製造工場総合排水を原水として、図１に示す方法に
従って処理した。原水は流量２０リットル／ｄａｙで連
続通水した。
導体製造工場総合排水を原水として、図１に示す方法に
従って処理した。原水は流量２０リットル／ｄａｙで連
続通水した。
【００２８】なお、第１，第２，第３反応槽１，２，３
の容量は各々５００ｍｌ，沈殿槽４は水面面積１８０ｃ
ｍ2 ，容量４．３リットルとした。また、第１反応槽１
にはｐＨ８．５となるようにＣａ（ＯＨ）2 を注入制御
し、第２反応槽２にはＡｌ2（ＳＯ4 ）3 を４０ｍｇ−
Ａｌ／ｌ−原水添加すると共に、ＮａＯＨを添加してｐ
Ｈ６．０〜７．０に制御した。第３反応槽３にはアニオ
ン系高分子凝集剤を２ｍｇ／ｌ−原水添加した。また、
沈殿槽４の沈降汚泥の一部を第１反応槽１へ５０リット
ル／ｄａｙの流量で返送した。
の容量は各々５００ｍｌ，沈殿槽４は水面面積１８０ｃ
ｍ2 ，容量４．３リットルとした。また、第１反応槽１
にはｐＨ８．５となるようにＣａ（ＯＨ）2 を注入制御
し、第２反応槽２にはＡｌ2（ＳＯ4 ）3 を４０ｍｇ−
Ａｌ／ｌ−原水添加すると共に、ＮａＯＨを添加してｐ
Ｈ６．０〜７．０に制御した。第３反応槽３にはアニオ
ン系高分子凝集剤を２ｍｇ／ｌ−原水添加した。また、
沈殿槽４の沈降汚泥の一部を第１反応槽１へ５０リット
ル／ｄａｙの流量で返送した。
【００２９】この処理において、所定の時間経過後にお
いて、第３反応槽３出口の液を採水して３０分静置した
ときの沈降汚泥濃度と、そのときの処理水（沈澱槽流出
水）のフッ素濃度及びｐＨを測定し、結果を表１に示し
た。
いて、第３反応槽３出口の液を採水して３０分静置した
ときの沈降汚泥濃度と、そのときの処理水（沈澱槽流出
水）のフッ素濃度及びｐＨを測定し、結果を表１に示し
た。
【００３０】また、得られた汚泥を濾過圧力４ｋｇ／ｃ
ｍ2 ，濾過時間４０分のフィルタープレスで脱水処理し
て得られる脱水ケーキ含水率を調べ、結果を表１に併記
した。
ｍ2 ，濾過時間４０分のフィルタープレスで脱水処理し
て得られる脱水ケーキ含水率を調べ、結果を表１に併記
した。
【００３１】比較例１ 実施例１において、第２反応槽２にＡｌ2 （ＳＯ4 ）3
の代りにポリ塩化アルミニウムを４０ｍｇ−Ａｌ／ｌ−
原水添加したこと以外は同様に処理を行ない、同様に沈
降汚泥濃度、処理水フッ素濃度、ｐＨ及び脱水ケーキ含
水率を測定し、結果を表１に示した。
の代りにポリ塩化アルミニウムを４０ｍｇ−Ａｌ／ｌ−
原水添加したこと以外は同様に処理を行ない、同様に沈
降汚泥濃度、処理水フッ素濃度、ｐＨ及び脱水ケーキ含
水率を測定し、結果を表１に示した。
【００３２】
【表１】
【００３３】表１より、比較例１のポリ塩化アルミニウ
ムを用いる方法に比べて、実施例１の本発明方法によれ
ば、高濃度で脱水性の良い汚泥を得ることができ、ま
た、処理水水質も改善されることが明らかである。
ムを用いる方法に比べて、実施例１の本発明方法によれ
ば、高濃度で脱水性の良い汚泥を得ることができ、ま
た、処理水水質も改善されることが明らかである。
【００３４】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のフッ素含有
水の処理方法によれば、第一工程においてフッ素含有水
にカルシウム化合物を加えた後、第二工程において非重
合性アルミニウム化合物を加えて、第三工程で固液分離
して処理水を得ると共に、分離汚泥を第一工程に返送す
ることにより、フッ素濃度が十分に低減され、そのまま
放流可能な処理水を得ると共に、高濃度で容易に脱水可
能な脱水性の良好な汚泥を得ることができる。このた
め、汚泥の脱水設備の小型化、脱水ケーキ排出量の低
減、汚泥処理コストの低減が図れ、工業的に極めて有利
である。
水の処理方法によれば、第一工程においてフッ素含有水
にカルシウム化合物を加えた後、第二工程において非重
合性アルミニウム化合物を加えて、第三工程で固液分離
して処理水を得ると共に、分離汚泥を第一工程に返送す
ることにより、フッ素濃度が十分に低減され、そのまま
放流可能な処理水を得ると共に、高濃度で容易に脱水可
能な脱水性の良好な汚泥を得ることができる。このた
め、汚泥の脱水設備の小型化、脱水ケーキ排出量の低
減、汚泥処理コストの低減が図れ、工業的に極めて有利
である。
【図１】本発明のフッ素含有水の処理方法の一実施例方
法を示す系統図である。
法を示す系統図である。
１ 第１反応槽 ２ 第２反応槽 ３ 第３反応槽 ４ 沈殿槽
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高土居 忠 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 (72)発明者 佐藤 伸 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 (72)発明者 山内 英世 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 フッ素含有水にカルシウム化合物を加え
てｐＨ６〜１０とする第一工程と、該第一工程の流出水
に非重合性アルミニウム化合物を加えてｐＨを６〜８と
する第二工程と、該第二工程の流出水を固液分離する第
三工程とを備え、該第三工程で得られた固形物を前記第
一工程に返送することを特徴とするフッ素含有水の処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP886495A JPH08197070A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | フッ素含有水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP886495A JPH08197070A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | フッ素含有水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08197070A true JPH08197070A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=11704568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP886495A Pending JPH08197070A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | フッ素含有水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08197070A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2771727A1 (fr) * | 1997-11-28 | 1999-06-04 | Sgs Thomson Microelectronics | Defluoruration d'eaux usees |
| US6217765B1 (en) | 1998-08-10 | 2001-04-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Waste water treatment method and waste water treatment equipment capable of treating fluorine waste water containing organic matter, phosphor and hydrogen peroxide |
| JP2001232372A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-28 | Kurita Water Ind Ltd | ホウ素含有水の処理方法 |
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