TWI221317B - Removing method of material, reproducing method of substrate, manufacturing method of display device and electronic machine having a display device manufactured by the manufacturing method - Google Patents

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1221317 A7 B7 五、發明説明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於材料之去除方法、基材之再生方法、顯 示裝置之製造方法及具備藉由該製造方法而所製造出之顯 示裝置的電子機器’尤其關於剝離構成在基材上之彩色濾 光片或EL發光圖案而予以去除，而作爲用以再次使用基材 之方法的合適製造技術。 【先行技術】 一般而言，在各種顯示裝置中，爲了可以彩色顯示， 設置有彩色濾光片。彩色濾光片是在玻璃或塑膠等所構成 之基板上，利用所謂的條紋配列、三角配列、馬賽克配列 等之規定配列，配列R(紅）、G(綠）、B(藍）之各色像點狀的 濾光元件者。 再者，顯示裝置以液晶裝置或EL(電激發光）裝置等之 光電裝置之典型例而言，則有在由玻璃或塑膠等所構成之 基板上，使光學狀態獨立而配列可控制顯示像點者。作爲 該顯示像點之配列態樣，是以例如配列成縱橫之格子（像點 矩陣）狀爲一般。 於可彩色顯示之顯示裝置中，通常形成對應於例如上 述R、G、B之各色的顯示像點，藉由對應於全色之例如3 個顯示像點而構成1個畫素（像素）。然後，藉由各控制1個 晝素內所包含之多數顯示像點之灰階而執行彩色顯示。 於上述之顯示裝置之製造工程中，則有依據將感光性 樹脂塗布在基板上，並對該感光性樹脂施予曝光處理及顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :裝· 訂 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 -5- 1221317 A7 B7 五、發明説明（2 ) 像處理，而形成格子狀之隔牆（堤）後，在藉由該隔牆所區劃 之區域上，使由例如噴頭等噴出之液滴予以彈著，並藉由 乾燥而構成顯示要素（即是，上述之彩色濾光片之濾光元件 或顯示像點等）之情形。於該方法中，因不需要藉由微影成 像法等在每色上圖案製作顯示要素，故有可以效率佳地製 造使用於行動電話或攜帶型資訊終端機等之攜帶型電子機 器的小型顯示裝置，又也可以容易製造使用於投影機等之 高精細的顯示裝置之優點。 【發明所欲解決之課題】 但是，於上述製造工程中，因必須形成作爲在基板上 多數配列顯示要素之顯示素材的基材（彩色瀘光基板、液晶 面板、EL面板等），故有發生顯示要素脫落、或塵埃等之異 物混入於顯示要素內等之不良的情形。於以往，雖然是廢 棄如此發生不良之當作顯示素材的基材，但是在廢棄物增 加之今日，則有難以處分，引起環境污染之問題， 在此，在如上述般當作顯示素材之基材發生不良之 時，可想像的有例如利用酸溶解基板上之隔牆和顯示要 素，或藉由電漿灰化等予以分解，而完全除去基板上之構 成要素，並洗淨基板再次導入至上述隔牆之形成工程的作 爲顯不要素之基材的剝離再生方法。若彩色該方法，則可 利用基板。 然而，於該剝離再生方法中，因分解除去了基板上之 所有構成要素，故必須使用再生之基板而從製造工程之最 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

、1T 線 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 -6 - 1221317 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7 __五、發明説明（3) 初重新製造，故則有無法提昇製造效率，僅有基板被再利 用，再生的優點較少之問題。 在此，本發明是用以解決上述問題點而所創作出者， 該課題是提供可以有效地再利用當作將顯示要素導入藉由 隔牆所區劃之區域上而所構成之顯示素材的基材之方法， 以及使用該方法之顯示裝置之製造方法。 【用以解決課題之手段】 爲了解決上述課題，本發明之材料去除方法，是用以 去除被配置在藉由形成在基材上之隔牆而所區劃出之區域 之材料的材料之去除方法，其特徵爲：在上述基材上殘留 上述隔牆，而除去上述材料。 若依據該發明，當材料上有脫落或不完成之情形’或 者異物混入材料之情形等，依據取除材料，另外使隔牆殘 存，因可在藉由殘留在基材上之隔牆所區劃的區域上，再 次僅配置材料，故不需要在基材上重新製作新的隔牆’故 可以比以往提高生產效率，亦可以更降低浪費的廢棄物。 於本發明中，上述隔牆是藉由對放射線感應性素材施 予放射線照射處理（曝光）及顯像處理而所形成’上述材 料是藉由可使用於上述顯像處理之顯像物質而被剝離或溶 解爲最佳。 若依據該發明，依據使可使用於隔壁形成工程中之顯 像處理的顯像物質適用於基材上之材料（例如使材料浸漬在 顯像液中）而予以剝離’因藉由該顯像物質而使隔牆幾乎無 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再. I裝 頁 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） 1221317 A7 B7 五、發明説明（4) 受到損傷’故可使隔牆殘存原樣而僅剝離或溶解材料。 在此’放射線感應素材是指被構成在放射線照射處理 中，藉由照射紫外線、X線、電子線等之各種放射線而予 以變性’並且依據之後的顯像處理，除去被照射到之部分 或無被照射到之部分者。再者，可使用於顯像處理之顯像 物貪是指藉由適用於施有放射線照射處理之放射線感應性 素材，而可形成上述隔牆，例如顯像液。因此，於隔牆之 形成工程中，並不限定於現實上所使用者。 ，於本發明中，當上述材料被剝離或溶解之時，對上 述材料施加振動或應力爲最佳。 若依據本發明，藉由對材料施加振動或應力，使得容 易剝離或溶解材料。更具體而言，實施如以其他構件擦拭 材料，或透過顯像物質（顯像液）施加超音波，或以淋浴狀或 高壓噴出顯像液等之處理。此時，即使在適用顯示物質（浸 漬於顯像液）之前施加振動或應力亦可，但是以在使材料至 少適用顯像物質（附著顯像液）之狀態下，施加振動或應力爲 更佳。 於本發明中，上述材料是藉由導入液狀材料至由上述 隔牆所區劃出之區域而所形成爲最佳。 若依據該發明，依據將液狀材料導入至藉由隔壁所區 劃成之區域，而將材料配置在該區域內之時，使得隔牆予 以殘存並僅去除材料變成容易。於此時，藉由使液狀材料 在液滴狀態下自液滴噴出頭予以噴出’而彈著於上述區域 內，而可以容易配置材料。可以使用噴頭當作液滴噴出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、訂 線 經濟部智慧財產局W工消費合作社印製 -8- 1221317 A7 B7 五、發明説明（5) 頭。 在本發明中，上述材料是在被固化之前的狀態下被去 除爲最佳。 若依據該發明，如上述般將液狀材料導入至區域內之 時，雖然必須使液狀材料予以乾燥，或予以硬化而固化， 但是於本發明中，因液狀材料在固化之前的狀態下被去 除’故可降低影響隔牆的損傷度，可更容易去除顯示要 素。在此’材料被固化前之狀態是指液狀材料被保持原樣 液狀之時’或者雖然被施有暫時乾燥或預烘烤（暫時燒結）處 理，但並未完全固化，之後，必須實施自然乾燥或烘烤處 理（主燒結）的狀態。 於本發明中，上述材料是構成彩色濾光片之濾光元件 爲最佳。 上述材料之濾光元件雖然有因區域內之材料脫落、材 料之過多或不足、異物混入等而發生不良之可能，但是若 依據本發明，因可以僅去除濾光元件而再次構成彩色濾光 片，故可使彩色濾光片或具有該彩色濾光片之各種物品的 生產效率提昇，並且亦可提升彩色濾光片之品質。 於本發明中，上述材料是EL發光體爲最佳。 若依據該發明，藉由材料爲EL發光部，因可以僅除去 EL發光部而再次構成EL發光裝置，故可提升EL發光裝置 或具有該EL發光裝置之各種物品的生產效率，而且可以使 EL發光裝置之顯示品質提昇。在此，於EL發光部是由電 洞注入層和EL發光層之2層構成之時，或者由電洞注入 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -9- 1221317 A7 B7 五、發明説明（6) 層'EL發光層及電子注入層之3層構成之時，即使完全去 除該些2層或3層亦可，即使僅去除該些中之上層亦可。 接著’本發明之基材之再生方法，是於去除形成在基 材_h之材料後，再次於該基材上形成材料的基材之再生方 法’其特徵爲：於去除上述材料之工程中，採用上述中之 任一所記載之材料之去除方法。 若依據該發明，藉由使隔牆予以殘存而僅去除材料 後’再形成材料，則因不需要在基材上重新形成隔牆，故 可以刪減工時，可以降低全體之製造成本。 接著’本發明之顯示裝置之製造方法，其特徵爲：具 備有於基材上形成隔牆之工程；導入顯示要素於藉由上述 隔牆所區劃出之區域，而形成基材之工程；檢查上述基材 之工程；於上述顯示要素發現不良之時，於上述基材上殘 留上述隔牆，而去除上述顯示要素之工程；和於去除上述 顯示要素之後，再次於藉由上述隔牆所區劃出之區域上， 導入顯示要素而形成上述基材之工程。 若依據該發明，於顯示裝置之製造過程中，於基材之 顯示要素發生不良之時，藉由使隔牆殘存而去除顯示要 素’僅在藉由殘留在基材上之隔牆所區劃出之區域上再次 導入顯示要素，因不需要重新形成隔牆，可形成基材，故 可提升生產效率。 於本發明中，於形成上述隔牆之工程中，藉由對放射 線感應性素材施予放射線照射及顯像處理，形成上述隔 牆’於去除上述顯示要素之工程中，上述顯示要素是藉由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 1221317 A7 B7 五、發明説明（7) 可使用於上述顯像處理的顯像物質而被剝離或者溶解爲最 佳。 若依據該發明，依據使可使用於隔壁形成工程中之顯 像處理的顯像物質適用於基材上之材料（例如使材料浸漬在 顯像液中）而予以剝離，因藉由該顯像物質而使隔牆幾乎無 受_損傷，故可使隔牆殘存原樣而僅剝離或溶解顯示要 素。 於本發明中，當上述顯示要素被剝離或溶解之時，對 上述顯示要素施加振動或應力爲最佳。 若依據本發明，藉由對材料施加振動或應力，使得容 易剝離或溶解顯示要素。更具體而言，實施如以其他構件 擦拭顯示要素，或透過顯像物質（顯像液）施加超音波，或以 淋浴狀或高壓噴出顯像液等之處理。此時，即使在適用顯 示物質（浸漬於顯像液）之前施加振動或應力亦可，但是以在 使顯示要素至少作用顯像物質（附著顯像液）之狀態下，施加 振動或應力爲更佳。 於本發明中，於導入上述顯示要素，而形成基材之工 程中，作爲上述顯示要素之液狀材料是被導入至藉由上述 隔牆而所區劃出的區域上爲最佳。 若依據該發明，依據將液狀材料導入至藉由隔壁所區 劃成之區域，而將顯示要素配置在該區域內之時，使得隔 牆予以殘存並僅去除顯示要素變成容易。於此時，藉由使 液狀材料在液滴狀態下自液滴噴出頭予以噴出，而彈著於 上述區域內，而可以容易配置顯示要素。可以使用噴頭當 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 -11 -

五、發明説明（8 ) 作液滴噴出頭。 於本發明中，當在上述顯示要素未發現不良時，則具 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 有固化上述顯示要素之工程’於去除上述顯示要素之工程 中’上述顯示要素是在被固化之前的狀態下被去除爲最 佳。 若依據該發明，依據於顯示要素未發現不良時，完全 使顯示要素固化，則對顯示要素具有不良之基材，不需要 執行浪費之處理，並且於去除顯示要素之工程中，因顯示 要素成爲完全固化之前的狀態，故可容易去除顯示要素， 依此，難以使隔牆受損。 於本發明中，上述顯示要素是構成彩色濾光片之濾光 兀件爲最佳。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 上述材料之濾光元件雖然有因區域內之材料脫落、材 料之過多或不足、異物混入等而發生不良之可能，但是若 依據本發明，因可以僅去除濾光元件而再次構成彩色濾光 片’故可使彩色濾光片或具有該彩色濾光片之各種物品的 生產效率提昇，並且亦可提升彩色濾光片之品質。此時， 作爲顯示裝置若具有彩色濾光片之顯示裝置，則不限任何 者’例如有意晶裝置或EL裝置等之光電裝置之情形。 於本發明中，上述顯示要素爲EL發光體爲最佳。 若依據該發明，藉由材料爲EL發光部，因可以僅除去 EL發光部而再次構成EL發光裝置，故可提升EL發光裝置 或具有該EL發光裝置之各種物品的生產效率，而且可以使 EL發光裝置之顯示品質提昇。在此，於EL發光部是由電 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210乂297公釐） -12- 1221317 A7 ____ _B7_ 五、發明説明（9) 洞注入層和EL發光層之2層構成之時，或者由電洞注入 層、EL發光層及電子注入層之3層構成之時，即使完全去 除該些2層或3層亦可，即使僅去除該些中之上層亦可。 接著’本發明之電子機器是屬於搭載有顯示裝置之電 子機器，其特徵爲包含有藉由上述中之任一所記載之製造 方法所製造出的顯示裝置。 【發明之實施形態】 接著，參照附件圖面針對作爲本發明所涉及之顯示素 材的基材之再生方法及顯示裝置之製造方法之實施形態予 以詳細說明。作爲本發明之顯示素材的基材，基本上是在 基材上形成隔牆，在藉由隔牆所區劃出之區域上配置顯示 要素者。在此，作爲基材即使爲單純基板亦可，或是在基 板上形成電極或其他層者亦可。再者，作爲顯示要素，即 使爲彩色濾光片之濾光元件亦可，構成配列在顯示裝置之 顯示像點之全部或是一部分者亦可。以下，針對當作顯示 素材之基材或是顯示裝置爲EL發光面板之實施形態，再者 針對具備有當作基材之彩色濾光片的顯示裝置（電裝置）之實 施形態，依序說明。 (彩色濾光基板之再生方法及製造方法） 首先，針對當作本發明所涉及之顯示素材之基材的再 生方法之實施形態予以說明。第1圖是表示當作本發明所 涉及之顯示素材之彩色濾光基板之製造工程的工程剖面圖（a) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線 經濟部智慧財產局2貝工消費合作社印製 -13- 1221317 Μ Β7 五、發明説明（1C) 〜（g)。再者，第3圖是表示上述製造工程之槪略程序的槪 略流程圖。以下參照該些第1圖及第3圖，針對彩色光片 之製造工程予以說明。 首先，如第1圖（a)所示般，在以具有透光性之玻璃或 塑膠等所構成之基板12之表面上，藉由旋轉塗布、延展塗 布；滾筒塗布等之各種方法，塗布放射線感應性素材6 A(第 3圖所示之步驟S3 1)。作爲放射線感應性素材6A，是以樹 脂組成物爲最佳。塗布後之上述素材6A之厚度通常爲0.1 〜10// m，最佳爲 0.5 〜3.0// m。 上述樹脂組成物是可以使用例如（I )含有黏合樹脂、多 官能性單體、光聚合引發劑等之藉由放射線之照射而硬化 的放射線感應性樹脂組成物，或（Π )含有黏合樹脂、藉 由放射線之照射而發生酸的化合物、依據藉由放射線之照 射而發生的作用，取得架橋之架橋性化合物等之藉由放射 線之照射而硬化的放射線感應性樹脂組成物。該些樹脂組 成物通常於使用之時，混合溶媒而調製成液狀組成物，但 是該溶媒即使高沸點或低沸點亦可。作爲本發明之素材6A 是如日本特開平1 0-86456號公報所記載般，爲含有：（a)六 氟丙烯和不飽合羧酸（無水物）和其他可共聚合之乙烯性不飽 合單體的共聚合體，（b)藉由放射線之照射而發生酸的化合 物，（〇依據藉由放射線之照射而所發生酸作用而取得架橋 的架橋性化合物，（d)除了上述（a)之外的含氟有機化合物， (e)溶解上述（a)〜（d)成分而取得之溶媒的組成物爲最佳。 接著，經由規定之圖案掩模照射放射線（曝光）於上述素 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 -14- 1221317 A7 B7 五、發明説明（1l) 材6A上（第3圖之步驟S3 2)。於本說明書中，所指之放射 線雖然是包含可視光、紫外線、X線、電子線等，但是以 波長在190〜45 Onm之範圍內的放射線（光）爲最佳。 之後，藉由顯示上述素材6A(第3圖之步驟S33)，而 形成第1圖（b)所示之隔牆（堤）6B。該隔牆6B是成對應於上 述圖案掩模之形狀（正圖案或負圖案）。作爲隔牆6B之形 狀，是區劃成可在平面上使正方形狀之濾光元件配列成縱 橫的格子狀爲最佳。作爲使用於顯像素材6A之顯像液，是 使用鹼性顯像液。作爲該鹼性顯像液例如爲碳酸鈉、氫氧 化鈉、氫氧化鉀、矽化鈉、矽酸鈉、氨水、乙胺、丙胺、 二乙胺、二丙胺、甲基二乙胺、二乙基甲胺、三乙醇胺、 羥化四甲銨、膽碱、卩比略、哌U定、二氮雜雙環十一燒（1,8_ diazabicyclo(5、4、0)-7-undecene)、二氮雜雙環壬院（1,5-diazabicyclo(4、3、0)-5-nonane)等之水溶液爲最佳。亦可 以適量添加例如甲醇、乙醇等之水溶性有機溶媒等或界面 活性劑等。並且，藉由鹼性顯像液顯像後’通常執行水 洗。 之後，如第1圖（c)所示般，上述隔牆6B是在200 °C左 右烘烤（燒結）而成爲隔牆6C(第3圖之步驟S34)。燒結溫度 是因應上述素材6A而適當調整。再者，依據素材6A不 同，也有不需要烘烤處理之情形。並且，於本實施形態 中，隔牆6C因是由遮光性素材所構成，故成爲兼有當作區 劃各區域7之如同文字所述的隔牆之機能’和當作遮光區 域7以外之部分的遮光層之機能。原本即使僅構成具有當 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) r裝· 訂 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -15- 1221317 A7 _B7__ 五、發明説明（ 作隔牆之機能亦可。此時，即使與隔牆不同，另外形成以 金屬等所構成之遮光層亦可。 接著，導入濾光元件材料13(圖示例中爲13R(紅色著 色材）、13G(綠色著色材）、13B(藍色著色材）至依據如上述 般所形成之隔牆6C而區劃出之各區域7上。作爲導入濾光 元#材料1 3至各區域7之方法，雖然可以使用適當方法 (例如，使用放射線感應性之著色材的微影成像法或氣相生 長法等），但是尤其以藉由混合溶媒等當作液狀材料而形成 濾光元件材料1 3，並且將該液狀材料導入至上述區域7爲 最佳。更具體而言，即是於本實施形態中，藉由使用後述 之液滴噴出頭（噴頭）噴出液滴，而使液狀材料以液滴8之形 態彈著於區域7內而執行導入材料。 作爲濾光元件材料1 3，可以使用對丙烯酸樹脂等之基 材（最佳爲樹脂素材）分散顏料、染料；其他之著色材者。再 者，爲了形成液狀材料，除了上述基材和著色材之外，混 合適當之溶媒，例如有機溶媒爲最佳。 上述濾光元件材料13是以液狀材料被導入，之後，依 據執行在乾燥或低溫（例如60°C )下之燒結的預烘烤（暫時燒 結），而暫時固化或暫時硬化。例如，執行濾光元件材料 13R之導入（第1圖（d)及第3圖之步驟S3 5)，之後，進行濾 光元件材料13R之預烘烤而形成濾光元件3R(第3圖之步 驟S3 6)，接著，執行濾光元件材料13G之導入（第1圖（e) 及第3圖之步驟S3 7)，進行濾光元件材料13G之預烘烤而 形成濾光元件3G(第3圖之步驟S3 8)，並且，執行濾光元 本紙張尺度適财關家縣（CNS ) A4規格（21GX297公釐) —---- -16- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1221317 A 7 B7 五、發明説明（id 件13B之導入（第1圖（f)及第3圖之步驟S3 9)，之後，執行 濾光元件13B之預烘烤而形成濾光元件3 B(第3圖之步驟 S40)。如此一來，所有顏色之濾光元件材料被導入至各區 域7上，藉由爲暫時被固化或暫時被硬化之顯示要素的濾 光元件3(3R、3G、3B)被形成，而形成顯示素材（彩色濾光 基板）。 接著，檢查如上述般所構成之顯示素材的彩色濾光片 (第3圖之步驟S41)。該檢查是例如以肉眼或是顯微鏡等， 觀察爲上述隔牆6C及顯示要素之濾光元件3。此時，即使 執行攝影彩色濾光基板，並根據該攝影畫像自動檢查亦 可。依據該檢查，當在爲顯示要素之濾光元件3上發現缺 陷之時，則將該彩色濾光基板移至以下所說明之基體再生 工程。 在此，濾光元件3之缺陷是指欠缺濾光元件3之時（所 謂像點脫落）；雖然形成有濾光元件3，但是被配置在區域 7內之材料的量（體積）太多或太少等之不合適之時：雖然形 成有濾光元件3，但是有混入或附著塵埃等之異物之時。 於上述檢查中，當在當作顯示素材之基材上，發現缺 陷之時，則在例如200°C左右之溫度執行烘烤（燒結）處理， 使當作顯示素材之基材的濾光元件3(3R、3G、3B)完全固 化或硬化（第3圖之步驟S42)。該烘烤處理之溫度是依據濾 光元件材料1 3之組成等而可以適當決定。再者，並不特另[J 高溫加熱，即使僅是在與一般不同之環境（氮氣中或乾燥空 氣中）等，予以乾燥或衰化亦可。再者，在此所指之「完 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 1221317 A7 B7 五、發明説明（14) 全」是顯示素材最終完全到達可使用之狀態之意，並不一 疋疋：自灑光兀件3完全失去流動性，或是，完全喪失液體 成分之意。最後，如第1圖（g)所示般，在上述濾光元件3 上形成透明之保護膜1 4。 並且，於上述製程中，雖然在導入所有的濾光元件 3(3R、3G、3B)之時點上執行顯示素材（彩色濾光基板）之檢 查’但是並不一定限定於如此之態樣。例如，即使僅將濾 光元件材料13R導入至區域7之後，馬上僅針對濾光元件 3R執行檢查等，一部分之濾光元件，或者在僅執行一部分 暫時固化或暫時硬化時之濾光元件材料i 3之導入的狀態 下，執行該形成或導入之檢查亦可。此時，即使執行一部 分之檢查而在此發現缺陷之時，馬上移至後述之基體再生 工程亦可，或是即使於執行所有之檢查後，移至基體再生 工程亦可。 接著，於上述顯示素材之檢查中，針對於發現顯示要 素之濾光元件3之缺陷（不良）時所執行之基體再生工程，參 照第2圖及第4圖予以說明。第2圖是基體再生工程之工 程剖面圖（a)〜（e)，第4圖是表示基體再生工程之槪略程序 之槪略流程圖。 於該基體再生工程中，首先，將第2圖（a)所示之彩色 濾光基板如第2圖（b)所示般，浸漬於顯像液E中（第4圖所 示之步驟S 5 1 )。作爲該顯像液E，是可以使用可用於用以 形成上述隔牆6之顯像處理之上述顯像液，尤其是上述鹼 性溶液。該顯像液E雖然亦可使用用以形成上述隔牆6B之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 訂 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 -18- 經濟部智慈財產局g(工消費合作社印製 1221317 A7 _B7_ 五、發明説明（id 顯像液本體，但是即使不是該顯像液本體亦可。例如，於 錫成上述隔牆6B之工程中，雖然使用碳酸鈉，但是於該基 體再生工程中所使用之顯像液E是亦可使用氫氧化水溶 液。 於該顯像液E之浸漬工程中，依據使用超音波洗淨 槽，對顯示要素之濾光元件3施加超音振動，或者藉由布 或海綿輕輕地擦拭，或者淋浴狀地噴出顯像液E，或者以高 壓噴出顯像液E，來施加物理性振動或應力爲最佳。 此時，雖然在顯像液E接觸於顯示要素之濾光元件3 的狀態（浸漬狀態）下’施加上述振動或應力爲最佳’但是作 爲具體態樣，是即使一旦從顯像液E取出爲顯示素材之彩 色濾光基板後施加振動或應力，再次浸漬於顯像液E中亦 可。即使不完全如此，僅將顯示素材浸漬在顯像液E中亦 可〇 如此地將顯示素材之彩色濾光基板浸漬至顯像液E 中，依據因應其所需施加振動或應力，如第2圖（c)及第4 圖之步驟52所示般，剝離爲顯示要素之濾光元件3(3 R、 3G、3B)。此時，藉由濾光元件3之一部分溶解於顯像液E 中，使得容易自基板12或隔牆6C剝離。另外，因顯像液 E爲期隔牆6C本身圖案製造時所使用的顯像液，故形成在 基板1 2上之隔牆6C幾乎不會受到損傷，而原樣殘存著。 尤其，於本實施形態之時，隔牆6C因是在該形成工程中被 顯像之後，於第3圖之步驟s 3 4中被燒結，故通常完全不 會受顯像液E之影響。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-19- 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 1221317 A7 B7 五、發明説明（16) 之後，如第2圖（d)般執行水洗（第4圖之步驟S53)，之 後，依據予以乾燥（第4圖之步驟S54)，如第2圖（e)所示 般，在基板12上僅殘存隔牆6C之基體再生。之後，藉由 目視或顯微鏡觀察如此所構成之基體，來執行基體之檢查 (第4圖之步驟S 5 5)。在此，針對該基體存有基板或隔牆 6CT之損傷（脫落、剝離、刮痕）等之不良時，該基體則被廢 棄處理（第4圖之步驟S5 6)，當無發現不良時，該基體則返 回至第3圖所示之步驟S3 5，即是彩色濾光片之描劃工程。 對於如此再生的上述基體，原樣地施予第3圖所示之 步驟S35之後的各處理，與上述相同，形成顯示素材（彩色 濾光基板）。 於上述說明之實施形態中，於基體再生工程中，因在 殘留形成在基板1 2之隔牆6C之狀態下，僅去除濾光元件 3，故於基體再生後，不需要自隔牆形成工程重新處理，因 可以將再生之基體馬上導入至濾光元件之形成工程中，故 可以提高生產效率，亦可以大大地有助於降低製造成本。 再者，於本實施形態之彩色濾光基板之製造方法中， 藉由後述之液滴噴出裝置，因藉由材料噴出而形成R、G、 B之各色的濾光元件3 R、3 G、3 B，故必須要經過如使用微 影成像法之方法般的複雜工程，也不會浪費材料。 (EL發光面板之再生方法及製造方法） 接著，參照第5圖至第8圖，針對當作本發明所涉及 之基材的再生方法及顯示裝置之製造方法之實施形態予以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-20- 1221317 A7 ___B7 五、發明説明（17) 請 先 閱 讀 背 5 意 事 項 再 填 馬 本 頁 說明。於第5圖中’表示當作顯示裝置之LE發光面板之基 體之再生方法的工程剖面圖（a)〜（e)。再者，第7圖是做顯 示裝置之EL發光面板之製造程序的槪略流程圖。第8圖是 表示當作顯示素材之EL發光面板之基體之槪略再生處理程 序的槪略流程圖。 於製造該EL發光面板之時，在以透光性之玻璃或塑膠 等所構成之基板1 2上，形成例如第5圖（a)所示之第1電極 201。EL發光面板爲被動矩陣型.之時，第1電極是形成帶 狀，再者，在基板12上形成無圖示之如TFD元件或TFT 元件等之主動元件而構成主動元件之時，第1電極是獨立 形成在每顯示像點上。作爲該些構造之形成方法，可以使 用例如微影成像法、真空蒸鍍法、濺鍍法、溶膠塗裝法 等。作爲第1電極201之材料是可以使用lTO(Indium-Tin Oxide)、氧化錫、氧化銦和氧化鋅之複合氧化物。 經濟部智慧財產局Β(工消費合作社印製 接著，與上述彩色濾光基板之情形相同以同樣方法塗 布放射線感應性素材6A(第7圖所示之步驟S61)。然後， 以和上述相同之方法，執行放射線照射（曝光）處理（第7圖 之步驟S62)及顯像處理（第7圖之步驟S63)，如第5圖（b) 所示般，形成隔牆（堤）6B。 該堤6B是形成格子狀，被形成可區隔形成於各顯示像 點之第1電極201之間，即是，可構成對應於顯示像點之 EL發光部形成區域7。再者，與上述彩色濾光基板相同之 情形相同，以具有遮光機能爲最佳。於此時，可以提昇對 比度、防止發光材料之混色、防止畫素漢化素之間的漏 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -21 - 1221317 A7 B7 五、發明説明（id 光。作爲隔牆6B之材料基本上可以採用上述彩色濾光基板 之隔牆所採用之各種素材。但是，於此時，尤其以對後述 EL發光材料之溶媒具有耐久性者爲最佳，並且，藉由氫氟 碳氣電漿處理而可以四氟乙烯化，例如丙烯酸樹脂、環氧 樹脂、感光性聚醯亞胺等之有機材料爲最佳。 接著，在塗布當作機能性液狀體之電洞注入層用材料 之前，對基板1 2執行氧氣和氫氟碳氣電漿處理。依此，聚 醯亞胺表面被防水化，ITO表面是被親水化，可以控制用 以微細圖案製作液滴的基板側之浸濕性。作爲發生電漿之 裝置，即使爲在真空中發生電漿的裝置，或在大氣中發生 電漿的裝置皆同樣可以使用。再者，與該製程不同，或者 代替該製程，以200t左右對上述隔牆6B施予烘烤（燒結） 處理（第7圖之步驟S64)。依此，形成隔牆6C。 接著，如第5圖（e)所示般，以液滴8之形態噴出電洞 注入層用材料202A，並彈著至區域7(第7圖之步驟S65)。 該電洞注入層用材料202A是藉由溶媒等將當作電洞注入層 之素材予以液狀化者。 之後，進入烘烤處理，在真空（ltorr)中，以室溫20分 鐘之條件除去溶媒，然後如第5圖（d)所示般，形成電洞注 入層2〇2(第7圖之步驟S66)。於上述條件中，電洞注入層 202之膜後爲40nm。 接著’如第5圖（d)所示般，與上述同樣將當作爲機能 性液狀體之EL發光材料的R發光層用材料，以液滴導入至 各區域7內之電洞注入層202上（第7圖之步驟S67)。然 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 1221317 A7 — —______B7 五、發明説明（id 後，塗布該些發光層用材料之後，進入烘烤處理，在真空 (lt〇rr)中，以室溫20分鐘等條件除去溶媒（第7圖之步驟 S68)。藉由上述條件而所形成之R發光層203r之膜厚爲 5 0 n m 〇 並且’與上述同樣將當作爲機能性液狀體之EL發光材 料的G發光層用材料，以液滴8導入至各區域7內之電洞 注入層202上（第7圖之步驟S6 9)。然後，塗布該些發光層 用材料之後，進入烘烤處理，在真空（ltorr)中，以室溫20 分鐘等條件除去溶媒（第7圖之步驟S70)。藉由上述條件而 所形成之G發光層203G之膜厚爲50nm。 接著，與上述同樣將當作爲機能性液狀體之EL發光材 料的B色發光層203B，以液滴8之狀態導入至區域7。於 圖示例中，僅在上述R色發光層或G色發光層之無形成B 色像點之區域7上，形成B色發光層203 B(第7圖之步驟 S71)。然後，之後，然後，進入烘烤處理，在真空（ltorr) 中，以室溫20分鐘等條件除去溶媒（第7圖之步驟S 72)。 作爲上述R色發光層203R、G色發光層203G及B色 發光層203 B之配列態樣，是可以因應所需要之顯示性能， 適當使用如條紋配列、三角配列、馬賽克配列等之眾知的 圖案。 並且，與上述圖示例不同，於上述步驟71中，即使除 了 B色像點之外，在R色發色發光層203R或G色發光層 2 03 G之所形成的像點上，將B色發光層203B重疊於上述 R色發光層203R或G色發光層203 G之上面而予以形成亦 紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 -23- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1221317 A7 B7 五、發明説明（y 可。依此’可以確實地防止上下電極間之短路。此時，利 用調整B色發光層203B之膜厚，使得B色發光層203B是 在R色發光層203R及G色發光層203G之疊層構造中，作 爲電子輸送而作用，不在B色上發光。作爲上述般之B色 發光層203 B之形成方法，是可以採用一般旋轉塗層法而作 爲濕式法，或者亦可以採用與R色發光層203R及G色發 光層2 0 3 G之形成法相同的方法。 並且，即使於形成上述各色發光層之前，對電洞注入 層執行氧氣和氫氟碳氣電漿之連續電漿處理亦可。依此， 在電洞注入層220上形成氟化物層，藉由離子化電位變 高，則可以增加電洞注入效率，提供發光效率高的有機.EL 裝置。 接著，針對如上述般在各顯示像點上形成電洞注入層 2〇2及R色發光層2 03R、G色發光層203G或是B色發光 層203 B之EL發光面板，執行目視或依據顯微鏡等之觀察 或者藉由畫像處理等之檢查（第7圖之步驟S73)。然後，依 據該檢查在各顯示像點內之EL發光部（藉由電洞注入層 202，和R色發光層203R、G色發光層203G或是B色發光 層203B之疊層體所構成）上，發現不良（像點脫落、疊層構 造不良、發光部之材料過多、塵埃等之異物混入等）時，例 如，藉由在氮環境中以l5〇°C，4小時之熱處理，使各發光 層共役化。 之後，如第5圖（f)所示般，依據形成對向電極213， 製造作爲目標的EL面板。對向電極2 1 3其爲面電極之時， 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — h .----衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -24- 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 1221317 A7 B7 五、發明説明（21) 則可以以Mg、Ag、Al、Li等作爲材料，使用如蒸鍍法、 濺鍍法等之成膜法而可以形成。再者，對向電極2 1 3爲條 紋狀電極之時’可以例如以Mg、Ag、Al、Li等當作材 料，使用如蒸鍍法、濺鍍法等之成膜法而形成。再者，對 向電極2 1 3爲條紋電極之時，可以使用如微影成像法等之 圖案製造手法來形成所成膜的電極層。最後，如第5圖（g) 所示般，藉由適當材料（樹脂模製材料、無機絕緣膜等）而所 形成。 另外，針對在上述第7圖之步驟S 7 3所執行之檢查 中，發現顯示要素之EL發光部不良之時，所執行之第6圖 及第8圖所示之基體再生工程予以說明。第6圖（a)所示之 EL發光面板是藉由在第7圖之步驟S73中所執行的檢查， 而於被配置在區域7內之EL發光部上發現不良者，該EL 發光面板是如第6圖（b)所示般，被浸漬在顯像液E中（第8 圖之步驟S8 1)。該顯像液E是與先前之實施形態相同，爲 可在第7圖之步驟S 73中所執行之顯像處理中使用的顯像 液。因此，可以使用先前實施形態中所記載之各種顯像 液。再者，並不限定於第7圖之步驟SW中所使用之顯像 液本身之點，也和先前之實施形態相同。 並且，於該工程中，與先前實施形態相同，對EL發光 部施加振動或應力。即使針對施加振動或應力的態樣，亦 完全與先前之實施形態相同。 當如上述般，如第6圖（c)所示般，依據顯像液E自區 域7剝離EL發光部，即是電洞注入層202及EL發光層 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-25- 1221317 A7 B7 五、發明説明（22> 203 R、203G、203 B(第7圖之步驟S82)。之後，僅有基板 12和隔牆6C所形成之基體，是如第6圖（d)所示般，被水 洗（第7圖之步驟S83)，如第6圖（e)般地被乾燥（第7圖之 步驟S 8 4)。 之後’上述基體是藉由目視或顯微鏡之觀察，或者依 據晝像處理等之自動檢查而被檢查（第7圖之步驟S85)。然 後，於基板12或隔牆6C上發現損傷之時，鵝廢棄基體（第 7圖之步驟S86)，當無發現損傷時，基體則被導入至上述 第7圖所示之步驟S65。 若依據以上所說明之EL面板之製造方法，因在基體再 生工程中，殘留被形成在基板1 2上之隔牆6C之狀態下， 僅去除EL發光部（電洞注入層202及EL發光層203R、 203 G、203 B) ’故不需要於基體再生後自隔牆形成工程重新 處理，因可以將所再生之基體馬上導入至EL發光部之形成 工程，故可以提高生產效率，亦可以大大地助於降低製造 成本。 再者，於本實施形態之EL面板之製造方法中，因依據 使用後述之液滴噴出裝置，由噴出材料而形成R、G、B之 各色的EL發光部，故也不需經過如使用微影成像法般之複 雜工程，也不會浪費材料。 (液滴噴出裝置之構成例） 接著，針對可以使用於上述各實施形態之液滴噴出裝 置之構成予以說明。第9圖是表示液滴噴出裝置之全體構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 -26- 1221317 A7 ___B7 五、發明説明（ 成的槪略斜視圖，第1 0圖是部分表示液滴噴出裝置之主要 部的部分斜視圖。 液ί筒噴出裝置1 0是如第9圖所示般，具備有：作爲液 滴噴出頭之一例的具有使用於如印表機之噴頭2 2的噴頭元 件26、控制噴頭22之位置的噴頭位置控制裝置1 7、控制 基板1 2之位置的基板位置控制裝置1 8、相對於基板1 2而 在掃描方向X上掃描移動噴頭22的作爲掃描驅動手段之掃 描驅動裝置1 9、和相對於基板1 2而在與掃描方向交叉（正 交）之輸送方向Υ上輸送噴頭22的輸送驅動裝置21、將基 板21供給至液滴噴出裝置1 6內之規定作業位置的基板供 給裝置23，和操控該液滴噴出裝置1 6之全體控制的控制裝 置24 0 上述噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、掃 描驅動裝置19、輸送驅動裝置21之各裝置是被設置在基座 9上。再者，該些各裝置是依其所需而藉由殼蓋14覆蓋。 噴頭22是如第11圖所示般，具有配列多數噴嘴而所 構成之噴嘴列28。噴嘴列27之數量爲例如ISO，噴嘴27 之孔徑爲例如28 // m ’噴嘴27之間距爲例如1 4 1 // m。第 11圖所示之基準方向S是表示噴頭22之標準掃描方向，配 列方向T爲表示噴嘴列28之噴嘴27的配列方向。 噴頭22是如第12圖（a)及（b)所示般，具有由不銹鋼所 構成之噴嘴平板29，和與此相向的振動板3 1，和互相接合 該些之多數隔開構件3 2。於噴嘴平板29和振動板3 1之 間，藉由隔開構件32形成有多數材料室33和液體囤積槽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財/i^Jg (工消費合作社印紫 -27 - 1221317 Α7 五、發明説明（24) 34° 5亥些材料室33和液體囤積槽是透過通路38而互相貫 通。 ·-----衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於振動板3 1之適當位置上形成有材料供給孔36。於該 材料供給孔3 6上連接有材料供給裝置3 7。材料供給裝置 3 7是將由R、G、Β中之一色例如r色之濾光元件材料所構 成之材料Μ供給至材料供給孔3 6。如此被供給之材料Μ， 是充滿於液體囤積槽34,並通過通路38而充滿於材料室 中。 於噴嘴平板2 9上設置有用以自材料室3 3 μ噴射狀地噴 出材料Μ的噴嘴27。再者，面臨著振動板31之材料室33 之面的背面上，對應著該材料室33設置有材料加壓體39。 該材料加壓體39是如第12圖（b)所示般，具有壓電元件41 以及挾持此之一對電極42a及42b。壓電元件41是藉由對 電極42a及42b通電而彎曲變形成向箭號c所示之外側突 出，依此增大材料室33之容積。如此一來，相當於增大容 積份的材料Μ自液體囤積槽34通過通路3 8而流至材料室 33 ° 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之後，當解除對壓電元件4 1之通電時，該壓電元件4 J 和振動板31同時返回原來之形狀，依此，因材料室3 3也 返回原來之容積’故在材料室33之內部的材料M之壓力上 升’材料Μ則從噴嘴27成爲液滴8噴出。並且，於噴嘴 2 7之周邊部上爲了防止液滴8噴射彎曲或噴嘴2 7之孔阻 塞，設置有由NU四氟乙烯共析電鍍層所構成之防材料層 43 ° 尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -28 - 1221317 A7 B7 經濟部智1財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 接著，參照第10圖，針對被配置在上述噴頭22之周 圍的噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、掃描驅 動裝置1 9、輸送驅動裝置2 1及其他手段予以說明。噴頭位 .置控制裝置17是具有在平面（水平面）內使安裝於噴頭元件 26之噴頭22旋轉的α馬達44，和使噴頭22在與輸送方向 Υ平行的軸線上擺動旋轉的y3馬達，和使噴頭22在與掃描 方向X平行的軸線上擺動旋轉的T馬達4 7，和使噴頭2 2 朝向上下方向平行移動的Z馬達48。 再者，基板位置控制裝置1 8是具有載乘基板1 2的作 業台49，和在平面（水平面）內使該作業台49旋轉之0馬達 51。再者，掃描驅動裝置19是具有向掃描方向X延伸之X 導軌5 2，和內藏有例如脈衝驅動之線性馬達的X游標5 3。 該X游標53是藉由例如內藏線性馬達之動作，而沿著X導 軌52向掃描方向X平行移動。 並且，輸送驅動裝置19是具有向輸送方向Y延伸的Y 導軌54，和例如內藏脈衝驅動之線性馬達的X游標56。Y 導軌56是藉由例如內藏線性馬達之動作，而沿著Y導軌 54向輸送方向Y平行移動。 在X游標5 3或Y游標5 6內，被脈衝驅動之線性馬達 是可以藉由供給至該馬達之脈衝訊號而精密執行輸出軸之 旋轉角度控制。因此，可以高精細地控制被支持在X游標 53之噴頭22之掃描方向X上之位置或作業台49之輸送方 向Y上之位置等。並且，噴頭22或作業台49之位置控制 不限於使用脈衝馬達的位置控制’可以藉由使用伺服馬達 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 1221317 A7 B7 五、發明説明（d 之反饋控制或其他之任意方法而予以實現。 在上述作業台49上，設置有用以限制基板12之平面 位置的定位銷_ 5 0a、5 0b。基板12是在藉由後述之基板供給 裝置2 3將掃描方向X側及輸送方向Y側之端面抵接於定位 銷5 0a、5 0b之狀態下，被定位保持。於作業台49上，設 置有用以固定以如此之定位狀態所保持之基板1 2的例如空 氣吸著（真空吸著）等之眾知的固定手段爲最佳。 於本實施形態之液滴噴出裝置16中，如第10圖所示 般，在作業台49之上方配置有多數組（圖示例中爲2組）之 攝影裝置91R、91L及92R、92L。在此，攝影裝置91R、 91L及92R、92L是在第10圖中僅表示鏡頭，其他部分及 其支撐構造則省略。 作爲該些觀察手段之攝影裝置是可以使用CCD等，並 且如第9圖中針對該些攝影裝置省略圖示。 第9圖所示之基板供給裝置23是具備有收容基板12 之基板收容部5 7，和搬運基板1 2的機械手臂等之基板裝載 機構58。基板裝載機構58是具有基台59、對基台59升降 移動的升降軸6 1、以升降軸爲中心而旋轉之第1支架62、 對第1支架62旋轉之第2支架63和設置在第2支架63之 前端下面的吸著墊片64。 該吸著墊片64是被成可藉由空氣吸著（真空吸著）等而 吸著保持基板1 2。 再者，如第9圖所示般，在上述噴頭22之掃描軌跡 下，輸送驅動裝置21之一方的旁邊位置上，配置有封蓋裝 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項存填寫本覓)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -30- 1221317 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（27) 置76及淸洗裝置77。並且，於封蓋裝置21之另一方的旁 邊位置上配置有電子秤78。在此，封蓋裝置76是噴頭22 在待機狀悲時爲了防止噴嘴2 7 (參照第1 1圖）乾燥的裝置。 淸洗裝置77是用以洗淨噴頭22的裝置。電子秤78是對每 噴嘴測定自噴頭22內之各噴嘴27所噴出之油墨液滴8的 重i。並且，在噴頭22之附近上安裝有與噴頭一體移動之 噴頭用照相機8 1。 第9圖所示之控制裝置24是具備有收容處理裝置之電 腦本體部66，和鍵盤等之輸入裝置67，和CRT等之顯示裝 置68。於電腦本體部66上，具備有弟13圖所示之CPU(中 央處理元件）69，和記憶各種資訊之記憶體的資訊紀錄媒體 7卜 上述噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、掃 描驅動裝置19、輸送驅動裝置 21，及驅動噴頭22內之壓 電元件41(參照第12圖（b))噴頭電路72之各機器，是如第 1 3圖所示般，透過輸入輸出界面73及匯流排而連接於 CPU69。再者，基板供給裝置23、輸入裝置67、顯示裝置 68、封蓋裝置76、淸洗裝置77及電子秤78也與上述相同 透過輸入輸出界面73及匯流排74而連接於CPU69。 當作資訊紀錄媒體71之記憶體是包含有如RAM(隨機 存取記憶體）、ROM(唯讀記憶體）等之半導體記憶體，或者 如硬碟、CD-ROM讀取裝置、光碟型記錄媒體等之外部記 憶裝置的槪念，在機能上，被設定成記憶著記述液滴噴出 裝置1 6動作之控制程序之程式軟體的記憶區域’或用以將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-31 - 1221317 經濟部智慧財產^¾工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（ 依據噴頭22之材料的基板1 2內噴出位置當作座標資料而 予以記憶的記憶區域，或用以記憶基板1 2朝向第1 0圖所 示之輸送方向的輸送移動量的記憶區域，或作爲CPU69用 之作業區域或暫時性檔案而發揮機能的區域，或其他之各 種記憶區域。 CPU69是依循資訊記憶媒體7 1之記憶體內所記憶之程 式軟體，而執行用以將材料噴出至基板12之表面規定位置 上者。作爲具體機能實現部，是如第1 3圖所示般，具有執 行用以實現淸洗處理之演算的淸洗演算部，和用以實現封 蓋處理之封蓋演算部，和執行用以實現使用電子秤78之重 量測定演算的重量測定部及用以藉由噴出液滴使材料彈著 於基板12之表面上，並利用規定之圖案予以描畫的描晝演 算部。 上述描畫演算部上是具有用以將噴頭22設置在描畫的 初期位置上的描畫開始位置演算部，和演算用以將噴頭掃 描以規定速度移動至掃描方向X之控制的掃描控制演算 部，和演算用以使基板1 2僅以規定之輸送移動量移動至輸 送方向Y之控制的輸送控制演算部，和執行用以使噴頭22 內之多數噴嘴27中之任一者予以動作而控制是否噴出材料 之演算的噴嘴噴出控制演算部等之各種機能演算部。 並且，於上述實施形態中，雖然藉由使用CPU69之程 式軟體實現上述機能，但是於藉由不使用CPU之電子電路 而可以實現上述各機能之時，即使使用如此之電子電路亦 可。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

-32- 1221317 A7 B7 五、發明説明（g 接著’根據第1 4圖所示之流程圖說明由上述構成所構 成之液滴噴出裝置16之動作。當藉由操作裝置導入電源而 使液'滴噴出裝置1 6動作時，首先在步驟s 1中實現初期設 定。具體而言，被設定成事先決定噴頭元件26或基板供給 裝置23或控制裝置24等之初期狀態。 接著’當來到重量測定時機（步驟S2)時，則藉由掃描 驅動裝置19將第1〇圖所不之噴頭兀件26移動至第9圖所 示之電子秤7 8的位置上（步驟S 3 )。然後，使用電子秤7 8 測定自噴嘴27所噴出之材料的重量（步驟S 4)。並且，配合 如此所測定之噴嘴27之材料噴出特性，調節施加於各噴嘴 27之壓電元件41的電壓（步驟S5)。 之後’若來到淸洗時機（步驟S6)時，則藉由掃描驅動 裝置19將噴頭元件26移動至淸洗裝置77之位置上（步驟 S7)，藉由該淸洗裝置77淸洗噴頭22(步驟S8)。 當無來到重量測定時機或淸洗時機之時，或者完成重 量測定或淸洗之時，在步驟9中，使第9圖所示之基板供 給裝置3動作而將基板1 2供給至作業台49。具體而言，即 是藉由吸著墊片吸著保持基板收容部57內之基板1 2，並使 升降軸61、第1支架62及第2支架63移動而將基板12搬 運至作業台49，並且推壓於事先在作業台49之適當位置上 所設置之定位銷50a、50b (參照第10圖）。並且，爲了防止 作業台49上之基板12位置偏離，以藉由空氣吸著（真空吸 著）等之手段，將基板12固定於作業台49爲最佳。 接著，依據第10圖所示之攝影裝置91R、91L 一面觀 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慈財產笱員工消費合作杜印製 -33- 1221317 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 A7 _____B7_五、發明説明（3〇) 察基板1 2，一面以微小角度單位使0馬達5 1之輸出軸予以 旋轉，使的作業台49在平面（水平面）內旋轉，而將基板予 以定位（步驟S10)。更具體而言，即是藉由第10圖所示之 攝影裝置91R、91L及92R、92L各攝影形成在基板12之 左右各兩端上之校準標號，並且依據該些校準標號之攝影 位置演算求取基板12之平面姿勢，並因應該平面姿勢而旋 轉作業台49調整角度（9。 之後，依據第9圖所示之噴頭用照相機8 1 —面觀察基 板1 2，一面藉由演算依據噴頭22開始描晝之位置而予以決 定（步驟SU)。然後，適當地使掃描驅動裝置19及輸送驅 動裝置21動作，而將噴頭22移動至掃描開始位置上（步驟 S 12) 〇 此時，噴頭22即使成爲第11圖所示之基準方向S與 掃描方向X —致之姿勢亦可，或者構成基準方向S以規定 角度對掃描方向傾斜之姿勢亦可。該規定角度是爲了當噴 嘴27之間距和在基板12之表面上應使材料予以彈著之位 置的間距不同之情形較多，將噴頭22移動至掃描方向X之 時，可使被配列於配列方向T之噴嘴27之間距的輸送方向 Y之尺寸成分與基板12之輸送方向Y之彈著位置之間距成 爲幾何學性相等而所做的措施。 當噴頭22在第14圖所示之步驟S12中被置放在描畫 開始位置時，在步驟S 1 3中，噴頭22是以一定速度直線性 地掃描移動至掃描方向X。於該掃描中’材料液滴自噴頭 22之噴嘴連續地被噴出至基板12之表面上。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） -34- 1221317 A7 B7 五、發明説明（31) 並且，此時材料之液滴噴出量，即使被設定成可藉由 一次掃描而在可抵補噴頭之噴出範圍內噴出全量亦可，但 是即使例如構成藉由一次掃描而噴出原本應噴出之量的數 分之一（例如4分之一）之材料，並多數次掃描噴頭22之 時，設定成其掃描範圍與輸送方向Y互相部分性重疊，並 且橇成在所有區域中執行數次（例如4次）材料之噴出亦可。 噴頭22當對基板完成1行份的掃描（步驟S 14)時，則 反轉移動而回到初期位置（步驟S15)，以規定量（僅有被設 定的輸送量）移動至輸送方向Y上（步驟S 16)。此時，再次 以步驟S13掃描，而噴出材料，之後，重複執行上述之動 作，在多數行上執行掃描。在此，即使當結束1行份之掃 描時’原樣地以規疋星移動至輸送方向上，並予以反轉， 驅動成可交互地使掃描方向反轉而成爲相反方向掃描亦 可 〇 在此，當針對如後述般在基板1 2內形成多數彩色濾光 片之情形予以說明時，則是當完成對基板1 2內之彩色濾光 區域一列份噴出所有油墨（步驟S 17)時，噴頭22則是以規 定量移動至輸送方向Y，並再次與上述相同重複步驟S13 至S 1 6之動作。然後，最後當完成對基板1 2上之全列的彩 色濾光區域噴出材料（步驟S1 8)時，則在步驟S20中依據基 板供給裝置23或另外的搬運機構，將處理後之基板12排 出至外部。之後，在操作裝置沒有作業結束之指令下，則 重複執行如上述般之供給基板1 2和噴出材料作業。 當自操作裝置有作業結束之指令時（步驟S21)，CPU69 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 k 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -35- 1221317 A7 B7 五、發明説明（32) 則是在第9圖中將噴頭22搬運至封蓋裝置76之位置上。 藉由該封蓋裝置76對噴頭施予封蓋處理（步驟S22) (顯示裝置（光電裝置）之製造方法） 接著，針對本發明所涉及之顯示裝置（光電裝置）之製造 方法的實施形態予以說明。第1 5圖是表示當作本發明所涉 及乏顯示裝置（光電裝置）之製造方法之一例的液晶裝置之製 造方法之實施形態。再者，第16圖是表示當作藉由該製造 方法而所製造出之顯示裝置（光電裝置）之一例的液晶裝置之 實施形態。並且，第1 7圖是表示沿著第1 6圖之K - K線 之液晶裝置之剖面構造。首先，針對液晶裝置之一例的構 造參照第1 6圖及第1 7圖予以說明。並且，該液晶裝置之 一例，爲以單純矩陣方向執行全彩色顯示之半透過反射型 的液晶裝置。 如第16圖所不般，液晶裝置101是在液晶面板1〇2上 安裝作爲半導體晶片而所構成的液晶驅動用1C 1 03 a及液晶 驅動用IC103b，並將當作配線連接要素之FPC(撓性印刷電 路）1 04連接於液晶面板1〇2者。液晶裝置1〇1是藉由在液 晶面板1 02之背面設置照明裝置1 〇6當作背光而所構成。 液晶面板102是依據藉由密封材料108貼合第丨基板 l〇7a和第2基板l〇7b而所形成。密封材料108是例如藉由 網版印刷等將環氧樹脂環狀地附著於第1基板1 07a或第2 基板l〇7b之內側表面上而所形成。再者，於密封材料108 之內部上，如第1 7圖所示般，藉由導電性材料以分散狀態 包含有被形成球狀或圓筒狀之島通材料109。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 1221317 A7 B7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（33) 如第17圖所示般，第1基板l〇7a具有藉由透明玻 璃、透明塑膠等所形成之板狀基材1 1 1 a。於該基材1 Π a之 內側表面（第1 7圖之上側表面）上形成有反射膜11 2。再 者，於其上方疊層有絕緣膜1 1 3，並在該上方形成有自箭號 D方向觀看時呈條紋狀的第1電極1 1 4a(參照第1 6圖0。並 且，於其上方形成有配向膜1 1 6a。再者，於基材1 Π a之外 側表面（第1 7圖之下側表面）上藉由貼合安裝有偏光板 1 1 7a 〇 於第1 6圖中，爲了容易判別第1電極1 14a之配列， 將該些之間隔描畫成比實際寬大。因此，實際上在基材111 上所形成之第1電極114a比圖面上所描畫之第1電極 之條數多。 如第17圖所示般，第2基板107b是具有藉由透明之 玻璃或透明之塑膠等所形成之板狀基材1 Π b。於該基材 Η 1 b之內側面（第1 7圖之下側表面）上形成彩色濾光片 118，於其上方形成有自箭號D朝向與上述第1電極114a 正交之方向呈條紋狀（參照第16圖）的第2電極1 14。再 者，於基材1 1 1 b之外側表面（第1 7圖之上側面）上藉由貼合 安裝有偏光板1 1 7 b。 於第16圖中，爲了容易判別第2電極1 14b之配列， 與第1電極之情形相同，將該些之間隔描晝成比實際寬 大。因此，實際上在基材111上所形成之第1電極114a比 圖面上所描畫之第1電極114a之條數多。 如第17圖所示般，在藉由第1基板i〇7a、第2基板 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 線 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -37- 1221317 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（34) 1〇7b及密封材料108所包圍之間隙，即所謂之夾厚內，封 入液晶L ’例如STN(超扭轉向列）液晶。於第1基板107a 或第2基板1 07b之內側表面上多數分散微小球形的間隔物 1 1 9 ’藉由該些間隔物〗丨9存在於夾厚內，可使該夾厚維持 均勻。 第1電極114a和第2電極114b是被配設成可延伸於 互相正交的方向上。該些平面性交叉之部分由第1 7圖之箭 號d方向觀看時是被配列成點矩陣狀。然後，該點矩陣狀 之各交叉點是構成一個顯示像點。彩色濾光片1 18是藉由 從箭號d方向觀看以規定之圖案例如條紋配列、三角配 列、馬賽克配列等之圖案，來配列R(紅）、G(綠）、B(藍）之 各色要素（濾光元件）而所構成。上述一個顯示像點是對應 R、G、B之各個。然後，藉由R、G、B之3色顯示像點而 構成1個畫素（畫像）。 依據選擇性地使配列成矩陣狀之顯示像點成爲ON狀 態，在液晶面板102之第2基板10 7b之外側上，顯示文 字、數字等之影像。如此一來，顯示影像之區域爲有效顯 示區域，於第16圖及第17圖中由箭號表不。 如第1 7圖所示般，反射膜1 1 2是藉由如鋁等之光反射 性材料而所形成。再者，該反射膜1 1 2，是在對應於第1電 極1 1 4 a和第2電極1 1 4b之交點之各顯示像點的位置上形 成開口 121。因此，開口 121從第17圖箭號D觀看時則與 顯示像點相同被配列成矩陣狀。 第1電極114a及第2電極114b是既遊爲透明導電材 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-38- 1221317 A7 B7 五、發明説明（g 料之ITO(銦錫氧化物）所形成。再者，配向膜i 16a、i l6b 是藉由使聚醯亞胺附著成一樣之膜厚而所形成。依據該些 噴配向膜1 16a、1 16b接受拋光處理，而決定第1基板I07a 及第2基板l〇7b之表面上的液晶分子之初期配向。 如第I6圖所不般，第1基板l〇7a之面積是形成比第2 基板l〇7b還寬廣，當藉由密封材料1〇8貼合該些基板時， 第1基板107a則具有向第2基板i〇7b之外側突出的基板 突出部107c。然後，於該些基板.突出部丨07上，以規定之 圖案，形成有透過存在於密封材料108之內部的導通材料 109(梦照弟17圖）而與第2基板107b上之第2電極114b導 通的引出配線1 14b、連接於液晶驅動用ic 103a之輸入用凸 塊即是輸入端子之金屬配線1 1 4e，以及連接於液晶驅動用 IC 103b之輸入用凸塊的金屬配線〗14f等之各種配線。 此時，對自第1電極114a延伸的引出配線114c及第2 電極1 14b通電的引出配線1 14d ,是藉由與該些電極相同材 料的ITO所形成。再者，爲液晶驅動用ic 103a、103b之輸 入側之配線的金屬配線1 1 4e、1 1 4f，是藉由電阻値低之金 屬材料、例如APC合金而所形成。該APC合金主要包含 Ag，添加Pd及Cu於此之合金，爲具有例如Ag ; 98wt%， P d ; 1 w t %，C u ; 1 w t % 的合金。 液晶驅動用IC103a、103b是藉由 ACF(異方性導電 膜）122而接著於基板突出部l〇7c之表面而被安裝。即是， 於本實施形態中，是以直接在基板上安裝半導體晶片之構 造，即是COG(chip on glass)方式之液晶面板而所形成。於 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -39- 1221317 A7 B7 經濟部智慧財產^7¾工消費合作社印製 五、發明説明（36) 該COG方式之安裝構造中，依據ACFK2之內部所包含之 導電粒子，導電連接液晶驅動用IC103a、103b之輸入側凸 塊和金屬配線1 14e、114f，並導電連接液晶驅動用 ICl〇3a、l〇3b之輸出側凸塊和引出配線114c、114d。 於第16圖中，FPC104是具有可撓性樹脂薄膜123，和 包含晶片零件1 24而所構成之電路1 26 ’和金屬配線端子 127。電路126是藉由焊接等之其他導電連接手法而直接被 搭載於樹脂薄膜123之表面上。再者，金屬配線端子127 是藉由APC合金、Cr、Cu等之其他導電材料而所形成。 FPC104中形成有金屬配線端子127之部分，是藉由 ACF 122而連接於第1基板l〇7a中形成有金屬配線1 14e、 1 14f。然後，依據ACF 122之內部所包含之導電粒子，導通 基板側之金屬配線1 1 4e、11 4f和FPC側之金屬配線端子 127 ° 在FPC 104之反對側的邊端部上，形成有外部連接端子 1 3 1，該外部連接端子1 3 1是連接於無圖示之外部電路上。 然後，根據該外部電路所傳送的訊號，驅動液晶驅動用 IC 103a、103b，供給掃描訊號至第1電極114a及第2電極 1 1 4b之一方，供給資料訊號於另一方。依此，被配列在有 效顯示區域V內之顯示像點則各個被電壓控制，其結果， 液晶L之配向則各個被控制。 第16圖所示之照明裝置106是如第17圖所示般，具 有藉由丙烯酸樹脂等所構成之導光體1 32，和被設置在該導 光體132之光射出面132b上的擴散薄板133，和被設置在 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -40- 1221317 A7 ______B7_ 五、發明説明（37) 口^導：7t體1 3 2之光射出面1 3 2 b之反對側上的反射薄板 134，和當作發光源的LED(發光二極體）136。 LED 1 3 6是被支擦於LED基板137上，該LED基板 1 3 7是安裝於例如與導光體形成一體的支撐部（無圖示）上。 藉由LED基板137裝著於支撐部之規定位置上，LED136 則被安置在與導光體132之側邊端面的光取入面132相向 之位置上。並且，符號1 3 8是表示用以緩衝施加於液晶面 板1 02之衝擊的緩衝構件。 當led 136發光時，該光則在從光取入面132a被取入而 導入至導光體132之內部，並由反射薄板134或導光體132 之壁面反射，而予以傳播之期間，自光射出面132b通過擴 散薄板1 3 3而以平面光射出至外部。 以上所說明之液晶裝置1 〇 1是當太陽光、室內光等之 外部光充分明亮之時，在第1 7圖中，外部光自第2基板 l〇7b側被取入至液晶面板102之內部，該光於通過液晶L 後，由反射膜1 1 2反射，而再次被供給至液晶L。液晶L 是依據挾持此的電極1 1 4 a、1 1 4 b而對每R、G、B之顯不 像點配向控制。因此，被供給至液晶L之光是被每顯示像 點調製，藉由依據該調製而通過偏光板l17b之光和無法通 過偏光板1 1 7b之光，而使得如文字、數字等之影像顯示於 液晶面板1 〇2之外部上，執行反射型的顯示。 另外，當無法取得充分之外部光的光量時’則發光 LED，自導光體132之光射出面13 2b射出平面光’其光通 過形成在反射膜1 1 2的開口 1 2 1而被供給至液晶L °此時’ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 * 41 - ^221317 A7 --- 五、發明説明（g 與反射型之顯示相同，所供給之光是依據被配向控制之液 晶L而被每顯示像點所控制。依此，影像被顯示至外部’ 執行透過型顯示。 上述構成之液晶裝置1 〇 1，是例如藉由第15圖所示之 製造方法而所製造出。於該製造方法中，工程P 1〜P6之一 達_工程是形成第1基板107a之工程’工程PI 1〜工程 P14之一連串的工程是形成第2基板107η的工程。第1基 板形成工程和第2基板形成工程通常各是獨立進行。 首先，於第1基板形成工程中，使用微影成像法在藉 由透光性塑膠等所形成之大面積之母基板之表面上形成液 晶面板1 02之多數個份的反射膜1 1 2。並且，在其上方使用 眾知之成膜法形成絕緣膜113(工程Ρ1)。接著，使用微影成 像法等形成第1電極1 14a、引出配線1 14c、1 14d及金屬配 線 1 14e、1 14f(工程 P2)。 之後，藉由塗布、印刷等在第1電極π 4a上形成配向 膜11 6a(工程P3)，並且，依據對該配向膜施予拋光處理， 而決定液晶初期配向（工程P4)。接著，藉由例如網版引刷 環狀地形成密封材料1〇8(工程P 5)，並且，在其上方分散球 狀間隔物（工程P6)，而形成具有多數個液晶面板102之第1 基板l〇7a上之面板圖案的大面積的母第1基板。 與上述之第1基板形成工程另外實施第2基板形成工 程（第15圖之工程PI 1〜P14)。首先，準備藉由透光性玻 璃、透光性塑膠等而所形成大面積母基材，在其表面上形 成液晶面板102之多數個份的彩色濾光片118(工程P 11)。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •42- 1221317 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7 _五、發明説明（ 該彩色濾光片1 1 8之形成工程是使用第1圖及第3圖所示 之製造方法而進行，該製造方法中之R、G、B各色濾光元 件之形成，是藉由使用第9圖之液滴噴出裝置16自噴頭22 之噴嘴27噴出當作濾光元件材料之液滴而所實行。該些彩 色濾光片之製造方法及噴頭22之控制方法因與已說明之內 容相同，故省略該些說明。 當彩色濾光片Π 8形成在母基板1 2即是母原料基材上 之時，接著藉由微影成像法形成第2電極（工程P12)。並 且，藉由塗布、印刷等形成配向膜116b(工程P 13)。接著， 對該配向膜1 1 6b施予拋光處理而決定液晶之初期配向（工 程P 14)，依據上述，則形成具有多數個液晶面板102之第 2基板10 7b上之面板圖案的大面積之母第2基板。 依據上述，於形成大面積之母第1基板及母第2基板 後，將密封材料夾於其間而校準該些母基板，即是定位後 並予以貼合（工程P2 1)。依此，形成多數個液晶面板份之含 有面板部分而還未封入液晶之狀態的空面板構造體。 接著，在完成後之空面板構造體的規定位置上，形成 裂斷溝，即是分斷用溝，並且以該裂斷溝爲基準對面板構 造體施加應力或熱，或者依據照射光等之方法，使基板裂 斷而予以分斷（工程P22)。依此，形成各液晶面板部分之密 封材料108之液晶注入用開口 110(參照第16圖）露出至外 部之狀態的所謂短長方形之空面板構造體。 之後，通過所露出之液晶注入用開口 1 1 〇而將液晶L 注入各液晶面板部分之內部，並且，藉由樹脂等封口各液 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 線 -43- 1221317 A7 B7

五、發明説明（4CJ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 晶注入用開口 110(工程P23)。通常之液晶注入處理，是依 據減壓液晶面板部分之內部’並藉由內外壓力差注入液晶 而所執行。例如，將液晶存儲於存儲容器之中，並將存儲 該液晶之存儲容器和短長方形之空面板放入至腔室中，使 該腔室成爲真空狀態後，在該腔室之內部中，將短長方形 狀乏空面板浸漬於液晶之中。之後，藉由大氣壓使被加壓 的液晶通過液晶注入用開口而被導入至面板之內部。之 後，因液晶注入後之液晶面板構造體的周圍附著液晶，故 液晶注入處理後之短長方形狀面板是在工程P24中接受洗 淨處理。 之後，對完成液晶注入及洗淨後的短長方形狀面板， 再次在規定位置上形成裂斷溝。並且，以該裂斷溝爲基準 而分斷短長方形狀面板。依此，切出多數個液晶面板 1〇2(工程P25)。對於如此所製作之各個液晶面板102，如第 16圖所示般，依據安裝液晶驅動用IC103a、103b，並安裝 照明裝置106當作背光，又連接FPC104，而完成作爲目標 的液晶裝置1〇1(工程P26)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，各個濾光元件3並不是藉由噴頭22之1次掃描 而所形成，即使藉由多數次掃描N次（例如4次）、接受噴 出重疊材料而形成規定膜厚亦可。於此時，假設即使在多 數噴嘴27間中存在有偏差之時，則可以防止在多數濾光元 件3間產生膜厚偏差，並可更降低上述之條紋狀的顏色不 均，因此可以使彩色濾光片之光透過特性平面性均勻。 再者，於本實施形態之液晶裝置及其製造方法中，因 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 44- 1221317 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（41) 藉由使用第9圖所示之液滴噴出裝置16，依據使用噴頭22 的材料噴出，而形成濾光元件3，故不需要經過如使用微影 成像之方法般的複雜工程，再者不會浪費材料。 並且，於上述實施形態中，雖然針對作爲顯示裝置之 具備有液晶面板的顯示裝置予以說明，但是，亦可適用液 晶裝置以外的其他光電裝置，例如在EL裝置、電漿顯示面 板等設置彩色濾光板者。即使，例如，於EL裝置之時，藉 由平面性重疊具備有對應於具有· EL發光機能之多數顯示像 點之濾光元件的彩色濾光片，而可以取得與上述實施形態 之相同效果。 並且，本發明之材料去除方法、基材之再生方法及顯 不裝置之製造方法，以及具有藉由該製造方法而所製造出 之顯示裝置的電子機器，並不僅限定於上述圖示例，只要 在不脫離本發明要旨之範圍內當然亦可做各種變更。例 如’作爲本發明之基材’並不限定於上述之彩色濾光基板 或E L發光面板，亦可以爲構成液晶面板、螢光面板、電漿 顯示面板等之各種顯示裝置之一部分或主要部分者。再 者，除了上述液晶裝置或EL裝置以外之各種光電裝置當然 亦可作爲本發明之顯示裝置，可設爲CRT等之其他各種顯 示裝置。 然後，作爲組裝上述各實施形態之顯示裝置（光電裝置） 的電子機器，是不限定於例如第1 8圖所示之個人電腦 49〇，可舉出例如第 19圖所示之行動電話 491或 PHS(Personal Handy Phone System)等之攜帶型電話機、電 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " '一 -45- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 、11 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1221317 A7 _B7 五、發明説明（ 子記事本、傳呼機、P〇S(Point Of Sales)終端機、1C卡、 MD、液晶投影機、工程用作業台（Engineering Work Station : EWS)、打字機、電視、取景型或螢幕直視型的攝 影機、電子計算機、汽車導航裝置、具備有觸控面板之裝 置、時鐘、遊戲機等之各種電子機器。 再者，於本說明書中，雖然舉出僅針對顯示裝置的實 施例’但是本發明之材料去除方法、材料再生方法是可以 使用於顯示裝置之外，例如，可以利用於爲了在基材上形 成電氣配線，噴出液狀金屬或導電性材料等而形成金屬配 線之製造工程，形成微細之微鏡的製造工程，僅在基板上 所需要塗布之部分塗布光阻的工程，形成使光散亂於透光 性基板等之凸部或微小之白色圖案等的製造工程、將 RNA(ribonucleic acid)矩陣配列聚集地噴出在 DNA(deoxyribonucleic acid)晶片上而作成螢光標誌探測器 的製is工早壬、將g式料或抗體、DNA(deoxyribonucleic acid) 等噴出於基板上所區劃之點狀位置，而形成生物晶片的製 造工程。 【發明效果】 若依據以上所說明之本發明，材料有不良之時，藉由 去除材料（顯示要素），另外使隔牆殘存，因可在藉由殘存在 基材上之隔牆而所區劃的區域上，再次配置材料（顯示要 素）’故不需要重新在基材上製作新的隔牆，依此可比以往 提筒生產效率，並更降低浪費的廢棄物。 本紙張尺度適用中國國家縣（CNS ) A4規格（210X297公餐)'*-- -46 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1221317 A7 B7 五、發明説明（d 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【圖面之簡單說明】 第1圖是表示彩色濾光基板之製造工程’而作爲本發 明所涉及之材料去除方法、基材之再生方法及顯示裝置之 製造方法的實施形態的槪略工程剖面圖（a)〜（g) ° /第2圖是表示同實施形態中之基體再生的槪略剖面圖（a) 〜（e)。 第3圖是表示同實施形態中之彩色濾光基板之製造工 程的流程圖。 第4圖是表示同實施形態中之基體再生工程之程序的 槪略流程圖。 第5圖是表示EL發光面板之製造工程，而作爲本發明 所涉及之材料去除方法、基材之再生方法及顯示裝置之製 造方法的實施形態的槪略工程剖面圖（a)〜（g)。 第6圖是表示同實施形態中之基體再生工程的槪略工 程剖面（a)〜（e)。 第7圖是表示同實施形態中之jgL發光面板之製造工程 之程序的槪略流程圖。 第8圖是表示同實施形態中之基體再生工程之程序的 槪略流程圖。 第9圖是表示本發明所涉及之液滴噴出裝置，或是顯 示裝置之製造裝置（如彩色濾光片之製造裝置、液晶裝置之 製造裝置及EL裝置之製造裝置般之各製造裝置）之主要部 分的一滴噴出裝置之一實施形態的斜視圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣·

、1T 線 -47- 1221317 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（44) 第1 0圖是表示放大第9圖之主要部分的斜視圖。 第11圖是表示放大爲第10圖之裝置主要部分之噴頭 的斜視圖。_ 第12圖是表示頭部之內部構造的圖示，（a)是表示一部 分剖面斜視圖，（b)室表次依循（a)之J-J線的剖面構造。 第1 3圖是表示液滴噴出裝置所使用之光電控制系統的 方塊圖。 第14圖是表示藉由第13圖之控制系統所實行之控制 流程的流程圖。 第15圖是表示本發明所涉及之顯示裝置（液晶裝置）之 製造方法之一實施形態的工程圖。 第1 6圖是以分解狀態表示本發明所涉及之顯示裝置 (液晶裝置）之製造方法之剖面構造的剖面圖。 第17圖根據圖16之IX- IX線顯示液晶裝置之截面構 造之截面圖。 第18圖是表示爲具備有顯示裝置之電子機器的個人電 腦之斜視圖。 第19圖是表示爲具備有顯示裝置之電子機器的行電電 §舌之斜視圖。 【符號說明】 3 (3 R、3 G、3 B) 濾光元件 6 (6 B、6 C ) 隔牆 7 區域（濾光元件形成區域或 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) • 衣 訂 k 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） -48- 1221317 A7 B7 五、發明説明（ EL發光部形成區域） 8 液滴 12 基板（或是母基板） Ε 顯像液 16 液滴噴出裝置 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 k 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） -49 -

Claims (1)

1221317 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8々、申請專利範圍 1 1. 一種材料之去除方法，是用以去除被配置在藉由形成 在基材上之隔牆而所區劃出之區域之材料的材料之去除方 法，其特徵爲： 在上述基材上殘留上述隔牆，而除去上述材料。 2·如申請專利範圍第1項所記載之材料之去除方法，其 中，上述隔牆是藉由對放射線感應性素材施予放射線照射 處理及顯像處理而所形成， 上述材料是藉由可使用於上述顯像處理之顯像物質而 被剝離或溶解。 3 .如申請專利範圍第2項所記載之材料之去除方法，其 中，當上述材料被剝離或溶解之時，對上述材料施加振動 或應力。 4.如申請專利範圍第1項至第3項之任一項所記載之材 料之去除方法，其中’上述材料是藉由導入液狀材料至由 上述隔牆所區劃出之區域而所形成。 5 .如申請專利範圍第4項所記載之材料之去除方法，其 中，上述材料是在被固化之前的狀態下被去除。 6.如申請專利範圍第1項至第3項中之任一項所記載之 材料之去除方法，其中，上述材料是構成彩色濾光片之濾 光元件。 7 .如申請專利範圍第1項至第3項中之任一項所記載之 材料之去除方法，其中，上述材料爲EL發光體。 8.—種基材之再生方法，是於去除形成在基材上之材料 後，再次於該基材上形成材料的基材之再生方法，其特徵 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •n^· 訂 絲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -50- 1221317 8 8 8 8 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 2 爲： 於去除上述材料之工程中，採用申請專利範圍第1項 至第7項中之任一項所記載之材料之去除方法。 9. 一種顯示裝置之製造方法，其特徵爲：具備有 於基材上形成隔牆之工程； 導入顯不要素於藉由上述隔牆所區劃出之區域，而形 成基材之工程； 檢查上述基材之工程； 於上述顯示要素發現不良之時，於上述基材上殘留上 述隔牆，而去除上述顯示要素之工程；和 於去除上述顯示要素之後，再次於藉由上述隔牆所區 劃出之區域上，配置顯示要素之工程。 1 0.如申請專利範圍第9項所記載之顯示裝置之製造方 法，其中，於形成上述隔牆之工程中，藉由對放射線感應 性素材施予放射線照射及顯像處理，形成上述隔牆， 於去除上述㉝頁不要素之工程中’上述顯不要素是藉由 可使用於上述顯像處理的顯像物質而被剝離或者溶解。 11.如申請專利範圍第1 〇項所記載之顯示裝置之製造方 法，其中，當上述顯示要素被剝離或溶解之時，對上述顯 示要素施加振動或應力。 1 2.如申請專利範圍第9項至第U項中之任一項所記載 之顯不裝置之製造方法，其中，於導入上述顯示要素，而 形成基材之工程中，作爲上述顯示要素之液狀材料是被導 入至藉由上述隔牆而所區劃出的區域上。 本&張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) «裝· 、aT r 絲 -51 - 1221317 AB1CD 六、申請專利範圍 3 1 3 ·如申請專利範圍第丨2項所記載之顯示裝置之製造方 法’其中’呈在上述顯不要素未發現不良時，則具有固化 上述顯示要素之工程， 於去除上述顯示要素之工程中，上述顯示要素是在被 固化之前的狀態下被去除。 ~ 1 4 .如申請專利範圍第9項至第1 1項中之任一項所記載 之顯示裝置之製造方法，其中，上述顯示要素是構成彩色 爐光片之滤光兀件。 1 5 .如申請專利範圍第9項至第1 1項中之任一項所記載 之顯示裝置之製造方法，其中，上述顯示要素爲EL發光 體0 IU---.------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ο 絲 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -52- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）