TW588189B - Electrode plate for color display unit and production method therefor - Google Patents

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588189 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（i ) 【發明所屬之技術領域] 本發明爲有關具有高度抗藥性與密接性的彩色顯示裝 置用電極板及其製造方法，以及使用前記彩色顯示裝置用 電極板的彩色顯示裝置。 【發明之背景技術】 一般彩色顯示裝置用的電極板，是在玻璃板上形成有 機樹脂材料的彩色濾色鏡，在其上面再塗布有機樹脂材料 的有機保護膜5後，形成具有導電性的無機透明電極加以製 成。其透明電極的配線，通常爲形成均一的透明導電膜後 ’以濕式蝕刻法完成所需配線。 利用上記濕式蝕刻法進行配線加工時，需使用各種藥 品，以致對於透明導電膜襯底的彩色濾色鏡或透明有機保 護膜5發生藥品侵蝕問題。對於在有機樹脂膜上面形成無機 導電膜的指定加工所要求的密接性，也很不容易維持。 因此，以往在彩色濾色鏡或在有機保護膜5與無機導電 膜間，以形成其他薄膜（一般使用二氧化矽薄膜），以提 昇抗藥性及密接性。由於二氧化矽薄膜是以RF濺鍍法形成 ，而此法的成膜速度相當慢，是爲其缺點。又因二氧化矽 薄膜在成薄膜前的RF電漿具有損傷彩色濾色鏡或有機保護 膜5的物理及化特性，以致對於生產電極板的後續製程（在 玻璃基板上形成彩色濾色鏡與有機保護膜5後形成無機導電 性膜的製程）構成不安定性的主因。 爲解決上述問題，本發明人等，曾發明（日本特開平 -I- - I II - · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·

、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0'〆297公釐） -4- 588189 A7 B7 五、發明説明（2 ) 10-105 18號公報）預先將含有氧離子或氬離子的氣體衝擊彩 色濾色鏡或有機保護膜5，在彩色濾色鏡或有機保護膜5與 透明導電膜之間，至少在彩色濾色鏡或有機保護膜5形成局 部碳化層，用以防止彩色濾色鏡或有機保護膜5的物理·化 學特性的損傷，以提昇與無機導電膜間.之密接性的電極板 。在前記公報所記載的發明中，本發明人等，對於以氧離 子或氬離子的氣體衝擊有機保護膜5的方法，曾揭示.，使用 離子槍在真空環境中加以照射離子的實施例。 由於前記本發明人等的日本特開平10-105 18號公報所記 載的發明’至少在彩色濾色鏡或有機保護膜5上形成局部碳 化層，不需要如以往方式在此等膜上再形成二氧化矽薄膜 等透明無機薄膜，即可大幅提昇彩色濾色鏡或有機保護膜5 的抗藥性及密接性，更加容易將透明電極膜（無機導電膜 )加工爲指定的圖案。 【發明所欲解決之課題】 但是本發明人等前記方法，含有在真空環境中處理的 製程，以致遭遇無法（在真空中）大量處理電極板材料的 難題，而發生生產低降的問題。又因前記方法含有真空處 理，亦使製造電極的設備費用增加。因此延伸製造成本增 加的問題。 本發明的課題，在以更簡便的方法防止彩色濾色鏡2或 有機保護膜5的物理·化學特性的損傷，達成提昇與導電膜 間密接性的顯示裝置用電極板之製造方法。又本發明的另 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS.) A4規格（210 X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 588189 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) 一課題，爲前記彩色顯示裝置用電極板的製造方法中，以 濕式蝕刻形成透明導電膜3時，可以以更簡便的方法保護彩 色濾色鏡2或有機保護膜5。再以本發明的課題是在找出， 不需要如以往在彩色濾色鏡2或有機保護膜5與無機導電薄 膜之間使用二氧化矽薄膜等透明無機薄膜，即可製造彩色 顯示用電極板及使用該電極板的彩色顯示裝置。 【發明槪述】 本發明的上記課題可由下記的（1 )與（2 )的製造方 法及由該等方法所製造彩色顯示裝置用電極板以及使用前 記各彩色顯示裝置用電極板的彩色顯示裝置加以解決。 在基板上依序形成彩色濾色鏡2與透明導電膜3，以製 造彩色顯示裝置用電極板的製造方法，是在其基板上形成 彩色濾色鏡2，然後在近於大氣壓的乾燥環境下，以放電處 理彩色濾色鏡2，使其至少形成局部碳化層4後，在該局部 碳化層4上形成透明導電膜3的方式，製成彩色顯示裝置用 電極板。 在基板上依序形成彩色濾色鏡2、保護彩色濾色鏡2的 有機保護膜5及透明導電膜3，以製造彩色顯示裝置用電極 板的製造方法，是在基板上依序形成彩色濾色鏡2與有機保 護膜5 ’然後在近於大氣壓的乾燥環境下，以放電處理有機 保護膜5，至少在上面形成局部碳化層4後，在該局部碳化 的有機保護膜5上形成透明導電膜3 (無機導電膜）的方式 ，製成彩色顯示裝置用電極板。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ’裝* 訂 線l· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2K、X297公釐） -6 - 588189 A7 B7 五、發明説明（4) I •裝I卜 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 依據前記（1 )的發明，在近於大氣壓的乾燥環境下進 行放電處理，可不需要高價的真空處理設備，即可在彩色 濾色鏡2上形成局部碳化層4，除可防止損傷彩色濾色鏡2的 物理·化學特性外，並可增加形成在其上面透明導電膜3 ( 無機導電膜）間的密接性。 前記（2 )的發明中，在近於大氣壓的乾燥環境下利用 放電處理，可以不需要昂貴的真空處理設備，即可在有機 保護膜5上形成局部碳化的有機保護膜5層，因此可防止損 傷有機保護膜5的物理·化學特性，並且可增加形成在其上 面透明導電膜3 (無機導電膜）間的密接性。 通常在大氣壓環境下，對彩色濾色鏡2或有機保護膜5 採用放電碳化處理時，總會對彩色濾色鏡2或有機保護膜5 產生化學特性的損傷，結果降低彩色顯示裝置用電極板的 抗鹼性。由於本發明人等發覺將大氣加以乾燥後，進行電 暈放電處理或常壓電漿處理，可防止彩色濾色鏡2或有機保 護膜5的物理·化學特性損傷，並且可提昇形成在該等膜上 面的透明導電膜3間的密接性，因此才完成本發明。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有關本發明人等所發現上記現象的技術性原因之完整 說明，目前還有困難，但推測一般大氣所含有的水分子， 受到電暈放電或常壓電漿而電離，對於彩色濾色鏡2或有機 保護膜5，會產生某種物理或化學特性方面的不良影響。 此處所稱近於大氣壓，是指在大氣壓下爲容易開始與 繼續產生前記放電，且在不影響放電處理裝置的構造下， 加以減壓後的氣壓。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21CX 297公釐） 588189 A7 ______B7_ 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 獲得近於大氣壓旳乾燥環境，可有多種方法，其中以 設置可覆蓋前記裝置的放電處理部之處理槽，引入經過除 濕劑的乾燥空氣或加工處理用的乾燥氣體，最爲簡便。 又上記放電的處理，在放電用裝置的簡便性與廣用性 及可連續處理性等考量，以電暈放電或常壓電漿處理較爲 適合。 進行電暈放電處理時，可使用由高頻波電源裝置、放 電電極及電介體所構成的一般放電處理裝置。電暈放電的 最佳處理條件依其放電處理裝置的構造而不同。其輸出以 O.lkW以上1.5kW以下，最好以0.2kW以上1.2kW以下爲宜 。如果使用過大的放電進行處理時，會損傷彩色濾色鏡2及 有機保護膜5，反而會有引起其物理·化學耐久性的劣化情 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 放電用電極與所處理的附有基板之彩色濾色鏡2或在彩 色濾色鏡2上覆有有機保護膜5的基板之最佳距離，依放電 處理用裝置的構造而不同，如果小於5mm時，會損傷彩色 濾色鏡2或有機保護膜5，反而使含碳化層膜的物理·化學 耐久性劣化。放電所需要的處理時間，只要將彩色濾色鏡2 或有機保護膜5表面的一部分碳化即不特別限定，但是如放 電時間超過一分鐘以上時，可能產生碳化過度。 進行常壓電漿處理時，可使用由電源裝置、放電電極 、氣體導入管、內艙等所構成的一般放電處理裝置。此處 理裝置設有相對向的一對面板，在前記一對面板的至少一 面板配設固體電介體，而在對向的另一面板近傍配設一對 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX297公釐） -8- 588189 A7 B7 五、發明説明（6) 金屬電極，此兩電極的間距需足供彩色濾色鏡2或有機保護 膜5通過。以便彩色濾色鏡2或有機保護膜5通過前記電極間 時，施加電壓產生電漿。 前記電極間所施加的電場，除交流波形外，脈衝化電 場等.亦可。常壓電漿處理時的最佳放電處理條件，依放電 處理裝置的構造而不同，如果使用過大的放電進行處理時 ，可能會損傷彩色濾色鏡2及有機保護膜5，反而會引起其 物理·化學耐久性的劣化。 常壓電漿處理所使用的處理氣體並不特別限定，一般 爲氬氣、氦氣、氮氣、空氣、氧氣等。由於氬氣、氨氣等 惰性氣體，不容易與彩色濾色鏡2與有機保護膜5產生化學 作用’可保持穩定處理，所以較適宜。這些氣體可單獨或 二種以上混合使用。 加速電壓爲5kV以上20kV以下，8kV以上15kV以下更 佳。使用過大的放電進行處理時，會損傷彩色濾色鏡2與有 機保護膜5，反而引起其物理·化學耐久性的劣化。處理時 間只要與前記處理對象膜表面的碳化程度相近即不需限定 ，但超過一分鐘以上時可能產生過度碳化。 爲提昇透明導電膜3與局部碳化層4的密接性，在上記 (1 )與（2 )，本發明的透明導電膜3與該局部碳化層4間 ，配置金屬之氧化物、氮化物、氮氧化物中至少任一化合 物所構成的密接層6爲宜。 本發明的彩色顯示裝置用電極板之透明導電膜3與局部 碳化層4之間，由於配置金屬之氧化物、氮化物、氮氧化物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） *裝I卜 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -9 - 588189 A7 B7 五、發明説明（7) 中任一化合物所構成的密接層6，可提昇透明導電膜3與局 部碳化層4的密接性，與前記未配置密接層6時相比較，可 確實提昇濕式蝕刻的電極配線端部形狀之精度。換言之， 使用上記放電處理的最佳處理條件範圍會增廣。 金屬之氧化物、氮化物、氮氧化物中至少任一化合物 所構成的密接層6有：二氧化矽、氧化钽、氧化鋁、氮化矽 、氮氧化矽、氧化鈦、氧化鍩等透明金屬氧化膜、透明金 屬氮化膜、透明金屬氮氧化膜。密接層6的成膜方法有：真 空蒸鍍法、直流磁控濺鍍法、高頻磁控濺鍍法等。考量成 膜時對於局部碳化層4的影響或基板大面積化的適用性，以 使用直流磁控濺鍍法的二氧化矽、氧化鉬、氮化矽、氮氧 化矽的密接層6成膜方法爲宜。施加在陽極的電壓，可爲連 續或脈衝式，可依其密接層6的成分選擇適宜者。 又，上記（1 )與（2)的本發明中，因X射線光電子 分光法對於碳化層的羧基所產生的信號（Ieoo)與C-C結合 所產生的信號（Ire )之比値（Ic.c/ Ieoo )設定爲大於未碳化 彩色濾色鏡2或有機保護膜5亦可。 在本發明的彩色顯示裝置用電極板，其碳化層的前記 比値（Ic.c/ L·。。）大於未碳化彩色濾色鏡2或有機保護膜5, 表示已形成碳化層。 本發明所稱局部碳化層4的碳化並不必需要是均勻碳化 層，只要具有所需水準以上的抗藥性，即使厚度不均一亦 可。但是，爲避免碳化層吸收可視光而降低透光率，碳化 層厚度不宜過厚。又極端碳化時，該碳化層與形成在其上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 588189 A7 B7 五、發明説明（8) 面的薄膜層間的密接性會降低，而不適宜。 本發明的彩色濾色鏡2，只要可以透過指定波長光的樹 脂即可，其成膜方法或着色方法及樹脂種類並不加以限定 。又，本發明的有機保護膜5，一般採用丙烯系、聚亞醯胺 、環氧系等樹脂或其混合物，只要其保護性能符合要求， 任何樹脂均可。 本發明所使用的透明導電膜3可以爲，銦、錫、鋅之中 至少上含有兩種以上的複合氧化物、摻雜錫或鋁的氧化鋅 、或以氧化銦等透明金屬氧化膜夾含有低電阻的金、銀、 銅、鉑中至少一種以上的金屬膜，但是只要具有所需透明 性的導電膜，任何材料均可，不限定於特定材料。 本發明的彩色顯示裝置用電極板具有如第1〜4圖所示剖 面。又本發明.的彩色顯示裝置用電極板，在彩色濾色鏡2或 有機保護膜5與透明電極之間至少有局部碳化層4，或在彩 色濾色鏡2或有機保護膜5與密接層6之間至少有局部碳化層 4，保護其下部的基體受到物理·化學特性的損傷。 【發明之最佳實施形態】 利用圖面將本發明的實施形態加以說明。 利用實施例將本發明再加以詳細說明如下。 [實施例1] 在玻璃基板1上，以一般方法形成明膠的彩色濾色鏡2 ，製成付有彩色濾色鏡2玻璃基板1。以X射線電子分光法 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） — -11 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 588189 A7 B7 五、發明説明（ 9 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 測足此彩色濾色鏡2表面’解析其c 1 s的信號獲得，起因於 coo結合的信號（im)與起因於c_c結合的信號< Ic c)之 比値（Ic.c/ Ico。）爲 4.22。 對此玻璃基板1在〇.5kW電場下施以3〇秒的電暈放電處 理。此時在進行電暈放電處理前，以乾燥空氣將處理部淨 化去除內部水分。電極與基板間的間距設定爲丨〇nim。以X 射線電子分光法測定此彩色濾色鏡2表面，解析其C丨s的信 號獲得，起因於C00結合的信號（與起因於c-C結合 的信號（Ic.c )之比値（Ic.c/ )爲17·91，確認彩色濾色 鏡2表面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作的前記附有彩色濾 色鏡2的玻璃基板1，同樣在〇.5Kw電場中施以3〇秒的電暈放 電處理。然後立即將此玻璃基板1導入真空槽，以直流磁控 濺鍍法，形成300nm厚的重量90%氧化銦-重量1〇%氧化錫 的複合氧化物（以下稱ITO )。由真空槽取出此基板，浸漬 於4(TC的5重量％氫氧化鈉水溶液中，經過2〇分鐘以上的浸 漬仍未能辨認ITO的剝離。又對於上記方法所製作的電極 板’以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成電極，獲得具 有所期待形狀的電極。此性能比後示比較例1、3顯著提昇 [實施例2〜5] 將電暈放電處理條件以表1所記載條件以外，均與實施 例1相同條件製得附有彩色濾色鏡2玻璃基板1。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一衣· 、?τ 線 -12 588189 Α7 Β7 五、發明説明（10) 以X射線電子分光法測定這些彩色濾色鏡2表面，解析 其Cls的信號獲得，起因於C00結合的信號（1。。〇)與起因 於C-C結合的信號（Ic.c)之比値（L··。/ Ic。。）如表1所示， 確認彩色濾色鏡2表面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作的前記附有彩色濾 色鏡2的玻璃基板1，以表1所記載條件施以電暈放電處理。 然後立即將此玻璃基板1導入真空槽，以直流磁控濺鍍法， 形成300nm厚的ITO。由真空槽取出此基板，浸漬於40t的 5重量％氫氧化鈉水溶液中，與後示比較例1、3相較，對於 抗鹼性相對地有所提昇。又對於上記方法所製作的電極板 ，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成電極，獲得接近 所期待形狀的電極。 .但是，碳化處理照射條件最劇烈的實施例5因彩色濾色 鏡2局部碳化較比較例1、3明顯進展，所以與ΙΤΌ的密接性 亦較比較例1、3大幅改善。但是實施例5比碳化處理照射條 件最溫和的實施例2，在彩色濾色鏡2的局部碳化較深，所 以以目視可確認出，被認爲因爲與ITO之間的密接性低降 所引起的模型端部之極輕微剝離。 [實施例6] 在玻璃基板1上形成明膠爲材料的彩色濾色鏡2，製作 附有彩色濾色鏡2玻璃基板1。在其上面以丙稀系有機樹脂 的多水甘油基異丁烯酸添加無水環丙烷酸爲硬化劑，在200 °C燒成一小時。以X射線電子分光法測定此有機保護膜5表 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2Κ)Χ 297公釐)' ~ " -13- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 裝· 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 588189 Μ _____Β7 五、發明説明（Ή) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 面，解析其Cls的信號獲得，起因於C00結合的信號（Ic。。 )與起因於C-C結合的信號（Ιμ)之比値（Ic.c/爲 4.93 〇 對此玻璃基板1在0.5kW電場下施以30秒的電暈放電處 理。以X射線電子分光法測定此有機保護膜5表面，解析其 Cls的信號獲得，起因於C00結合的信號（Ic。。）與起因於 C-C結合的信號（Ic.c)之比値（Ic.c/ Icoo)爲24.40，確認有 機保護膜5表面已經碳化。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 確認上記現象後，對於另外新製作的前記附有彩色濾 色鏡2與有機保護膜5的玻璃基板1，同樣在〇.5kW電場中施 以3 0秒的電暈放電處理。此時在進行電暈放電處理前，以 乾燥空氣將處理部淨化去除內部水分。電極與基板間的間 距設定爲1 0mm。然後立即將此玻璃基板1導入真空槽，以直 流磁控濺鍍法，形成300nm厚的ITO。由真空槽取出此基板 ，浸漬於40°C的5重量％氫氧化鈉水溶液中，經過20分鐘以 上的浸漬仍未能辨認出ITO的剝離。又對於上記方法所製 作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成電極 ，獲得大致具有所期待形狀的電極。此性能比後述比較例2 、4顯著提昇。 [實施例7〜10] 如表1所記載條件以外以相同於實施例6的電暈放電處 理條件，製得附有彩色濾色鏡2與有機保護膜5玻璃基板1。 以X射線電子分光法測定這些有機保護膜5表面，解析 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21GX297公着) 一一一 '~ -14- 588189 A7 B7 五、發明説明（12) 其Cls的信號獲得，起因於COO結合的信號（Ic。。）與起因 於C-C結合的信號（Ic·。）之比値（Ic·。/ 1_)如表1所示， 確認有機保護膜5表面已經碳化。但是照射條件最劇烈的實 施例1 0，可在有機保護膜5表面辨認出明顯的著色。 確認上記現象後，對於另外新製作的前記附有彩色濾 色鏡2與有機保護膜5的玻璃基板1，以表1所記載條件施以 電暈放電處理。然後立即將此玻璃基板1導入真空槽，以直 流磁控濺鍍法，形成300nm厚的ITO。由真空槽取出此基板 ，浸漬於40°C的5重量％氫氧化鈉水溶液中，與後示比較例 2、4相較，對於抗鹼性相對地有所提昇。又對於上記方法 所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成 電極，獲得接近所期待形狀的電極。但是，碳化處理照射 條件最劇烈的實施例10，因有機保護膜5的局部碳化較比較 例2、4明顯進展，與ITO間的密接性亦較比較例2、4大幅 改善。但是實施例10比碳化處理照射條件最溫和的實施例7 ，在彩色濾色鏡2的有機保護膜5之局部碳化較深，所以以 目視可確認出，被認爲因爲與ITO之間的密接性低降所引 起的模型端部之極輕微剝離。 [實施例11] 在玻璃基板1上以常法形成明膠的彩色濾色鏡2，製作 附有彩色濾色鏡2的玻璃基板1。以X射線電子分光法測定 此彩色濾色鏡2表面，解析其CIs的信號獲得，起因於C00 結合的信號（Icoo )與起因於C-C結合的信號（Ιο。）之比値 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0^297公麓） ~ -- -15- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 588189 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（13) (I c - c / I c 〇 〇)爲 4 · 2 2。 對此玻璃基板1，使用氬氣爲處理氣體，在大氣壓下施 加電壓1 lkV，頻率6kHz的脈衝電場，以氧化鋁爲固體電介 體進行20秒的電漿處理。在進行電漿處理前，以乾燥空氣 將處理部淨化去除內部水分。以X射線電子分光法測定此 彩色濾色鏡2表面，解析其Cls的信號獲得，起因於C00結 合的信號（Ic〇〇)與起因於C-C結合的信號（ic.c )之比値（ Ic-c/ ICQQ)爲19.12，確認彩色濾色鏡2表面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作的附有彩色濾色鏡2 玻璃基板1，同樣以氬氣爲處理氣體，在大氣壓下施加電壓 1 lkV，頻率6kHz的脈衝電場，以氧化鋁爲固體電介體進行 20秒的電漿處理。然後立即將此玻璃基板i導入真空槽，以 直流磁控濺鍍法，形成300nm厚的ITO。由真空槽取出此基 板，浸漬於4 0 °C的5重量％氫氧化鈉水溶液中，經過2 0分鐘 以上的浸漬仍未能辨認出ITO的剝離。又對於上記方法所 製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式鈾刻形成電 極，獲得所期待形狀的電極。此性能比後述比較例1、5顯 著提昇。 [實施例12〜15] 如表2所記載條件以外以相同於實施例1 1的電漿處理條 件，製得附有彩色濾色鏡2的玻璃基板1。 以X射線電子分光法測定這些彩色濾色鏡2表面，解析 其Cls的信號獲得，起因於C00結合的信號（Ic。。）與起因 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） --1·裝ΙΓ--Ί--訂------線卜 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -16- 588189 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___B7五、發明説明（14) 於C-C結合的ί目5虎（Ic·。）之比値（I。·。/ Ic。。）如表2所不’ 確認彩色濾色鏡2表面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作的前記附有彩色濾 色鏡2玻璃基板1，以表2所記載處理條件施以電漿處理。然 後立即將此玻璃基板1導入真空槽，以直流磁控濺鍍法，形 成300nm厚的ITO。由真空槽取出此基板，浸漬於40°C的5 重量％氫氧化鈉水溶液中，與後示比較例1、5相較，對於 抗鹼性相對地有所提昇。又對於上記方法所製作的電極板 ，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成電極，獲得所期 待形狀的電極。但是，照射條件最劇烈的實施例1 5，因彩 色濾色鏡2的局部碳化較比較例1、5明顯進展，與ITO間的 密接性亦較比較例1、5大幅改善。但是實施例1 5比碳化處 理照射條件最溫和的實施例12，在彩色濾色鏡2的局部碳化 較深，所以以目視可確認出，被認爲因爲與ITO之間的密 接性低降所引起的模型端部之極輕微剝離。 [實施例16] 在玻璃基板1上形成明膠的彩色濾色鏡2，製作附有彩 色濾色鏡2玻璃基板1。在其上面以丙稀系有機樹脂的多水 甘油基異丁烯酸添加無水環丙烷酸爲硬化劑，並塗布，在 2 0 0 °C燒成一小時。以X射線電子分光法測定此有機保護膜 5表面，解析其C 1 s的信號獲得，起因於C00結合的信號（ Ic〇〇)與起因於C-C結合的信號（Ic-c)之比値（Ic-c/ lc〇。） 爲 4 · 9 3 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】C_X297公釐） " ' -17· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} I*裝· 訂 線" 588189 A7 B7 五、發明説明（15) 對此玻璃基板1，使用氬氣爲處理氣體，在大氣壓下施 加電壓1 lkV，頻率6kHz的脈衝電場，以氧化鋁爲固體電介 體進行20秒的電漿處理。在進行電漿處理前，以乾燥空氣 將處理部淨化去除內部水分。以X射線電子分光法測定此 有機保護膜5表面，解析其C 1 s的信號獲得，起因於C00結 合的信號（koo)與起因於C-C結合的信號（ic.c)之比値（ Ic-c/ I。。。）爲24.30，確認有機保護膜5表面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作的附有彩色漉色鏡2 與有機保護膜5玻璃基板1，同樣在大氣壓下施加電壓11 kV ，頻率6kHz的脈衝電場，以氧化鋁爲固體電介體進行20秒 的電漿處理。然後立即將此玻璃基板1導入真空槽，以直流 磁控濺鍍法，形成300nm厚的IT〇。由真空槽取出此基板， 浸漬於40 °C的5重量％氫氧化鈉水溶液中，經過20分鐘以上 的浸漬仍未能辨認出ITO的剝離。又對於上記方法所製作 的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成電極， 獲得所期待形狀的電極。這些性能比後述比較例2、6顯著 提昇。 [實施例17〜20] 如表2所記載條件以外，以相同於實施例16的電漿處理 條件，製得附有彩色濾色鏡2與有機保護膜5的玻璃基板1。 以X射線電子分光法測定此有機保護膜5表面，解析其 C1 s的信號獲得，起因於C00結合的信號（Ico。）與起因於 C_C結合的信號（Ie.c)之比値（k.c/ Icoo)如表2所示，確 本i張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2UVX 297公釐） * -18- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 588189 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（16) 認有機保護膜5表面已經碳化。但是照射條件最劇烈的實施 例1 8，可在有機保護膜5表面辨認出明顯的著色。 確認上記現象後，對於另外新製作的前記附有彩色濾 色鏡2與有機保護膜5玻璃基板1，以表2所記載之處理條件 施以電漿處理。然後立即將此玻璃基板1導入真空槽，以直 流磁控濺鍍法，形成300nm厚的ITO。由真空槽取出此基板 ，浸漬於40°C的5重量％氫氧化鈉水溶液中，與後示比較例 2、6相較，對於抗鹼性相對地有所提昇。又對於上記方法 所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成 電極，獲得所期待形狀的電極。但是，照射條件最劇烈的 實施例20，因局部碳化與比較例2、6相較明顯進展，與IT〇 間的密接性亦較比較例2、6大幅改善。但是實施例20比碳 化處理照射條件最溫和的實施例1 7，在彩色濾色鏡2的局部 碳化較深，所以以目視可確認出，被認爲因爲與ΙΤΟ之間 的密接性低降所引起的模型端部之極輕微剝離。 [實施例21] 將電暈放電處理條件以相同於實施例5 (濕式蝕刻形成 電極時，在模型端部有極輕微剝離者）的方法製得附有彩 色濾色鏡2基板。 這些彩色濾色鏡2表面的比値（Ic·。/ Ic〇〇)與實施例5同 爲23.84，確認彩色濾色鏡2表面已經碳化。 對於另外新製作的附有彩色濾色鏡2玻璃基板1，以金 屬矽爲靶極，氧氣爲反應性氣體，以反應性直流磁控濺鍍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21CX 297公釐） ---------t衣----Ί--、訂------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -19- 588189 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（17) 法形成表3所示l〇nm厚氧化矽密接層6膜，在其上面以直流 石灶控濃鍍法形成3 Ο Ο n m厚的IT〇。由真空槽取出這些基板， 浸漬於40°C的5重量％氫氧化鈉水溶液中，與後示比較例7 相較’其抗鹼性相對地有所提昇。又對於上記方法所製作 的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕式蝕刻形成電極， 獲得與實施例5相較，在模型端部連些微剝離亦也見不到， 製獲所期待形狀的電極。推測此原因爲··實施例5的電暈放 電處理過於激烈，致使碳化層與ITO間界面的密接性稍微 消失’而本實施例是在該界面插入密接層6，對於實施例5 所低降的密接性產生補助作用所致。 [實施例22] 將電暈放電處理條件以相同於實施例1 〇 (濕式蝕刻形 成電極時，在模型端部有極輕微剝離者）的方法製得附有 彩色濾色鏡2與有機保護膜5基板。 確認上記現象後，另外新製作附有彩色濾色鏡2與有機 保護膜5表面之比値（Ic^/ Ic〇〇)爲29.59，與實施例10相同 ，確認有機保護膜5表面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作附有彩色濾色鏡2與 有機保護膜5坡璃基板1，以金屬鉅爲靶極，氧氣爲反應性 氣體’以反應性直流磁控濺鍍法形成表3所示1 Onm厚氧化鉬 密接層6膜’在其上面以直流磁控濺鍍法形成3〇〇nm厚的 1丁〇。由真空槽取出這些基板，浸漬於40°C的5重量％氫氧 化鈉水溶液中，與後示比較例8相較，其抗鹼性相對地有所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2] 0 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} -裝 、11 線l· -20- 588189 Α7 Β7 五、發明説明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 提昇。又對於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵 水溶液的濕式蝕刻形成電極，獲得與實施例10相較，在模 型端部連些微未剝離亦未見到，製獲所期待形狀的電極。 推測此原因爲：實施例1 〇的電暈放電處理過於激烈，致使 碳化層與IT 0間界面的密接性消失，而本實施例是在該界 面插入密接層6，對於在實施例1 〇所低降的密接性產生補助 作用所致。 [實施例23、24] 以相同於實施例2 1與實施例22的方法，將彩色濾色鏡2 及彩色濾色鏡2與有機保護膜5，分別製成附有彩色濾色鏡2 玻璃基板1及附有彩色濾色鏡2與有機保護膜5玻璃基板1。 將這些附有彩色濾色鏡2玻璃基板1及附有彩色濾色鏡2 與有機保護膜5玻璃基板1，以表3所示條件施以電暈放電處 理後，以X射線電子分光法測定，解析其C1 s的信號獲得 ，起因於C00結合的信號（Ic〇〇)與起因於c_C結合的信號 (1^)之比値（1(：.。/1(：()())爲23.84與29.59，確認彩色瀘色 鏡2表面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作附有彩色濾色鏡2玻 璃基板1及附有彩色濾色鏡2與有機保護膜5玻璃基板1導入 真空槽，以金屬矽做爲靶極，對於實施例23是以氮氣，實 施例24是以氧氣與氮氣的混合氣體做爲反應性氣體，以反 應性直流磁控濺鍍法形成表3所示ShN4、SiO,Ny密接層6， 然後以直流磁控濺鍍法形成300nm厚的IT〇。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 、1Τ 線l· -21 - 588189 A7 B7 五、發明説明（19) 由真空槽取出這些基板，浸漬於4〇。(：的5重量％氫氧化 鈉水溶液中’與後示比較例9、1 〇相較，其抗鹼性相對地有 所昇。又對於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化 鐵水溶液的濕式蝕刻形成電極，製獲所期待形狀的電極。 [實施例25〜28] 以相同於實施例1 5或實施例20 (濕式蝕刻形成電極時 ，在模型端部有極輕微剝離者）的方法，將彩色濾色.鏡2及 彩色濾色鏡2與有機保護膜5，分別製成附有彩色濾色鏡2玻 璃基板1及附有彩色濾色鏡2與有機保護膜5玻璃基板1。 將這些附有彩色濾色鏡2玻璃基板1及附有彩色濾.色鏡2 與有機保護膜5玻璃基板1，以表4所示條件施以電漿放電處 理後，以X射線電子分光法測定，解析其Cl s的信號獲得 ，起因於C00結合的信號與起因於C_c結合的信號 (Ic·。）之比値（Ic.c/ Ic。。）如表4所示，確認彩色濾色鏡2表 面已經碳化。 確認上記現象後，對於另外新製作附有彩色濾色鏡2玻 璃基板1及附有彩色濾色鏡2與有機保護膜5玻璃基板1導入 真空槽，施加表4所示密接層6，然後以直流磁控濺鍍法形 成300nm厚的1丁〇。 將這些基板由真空槽取出，浸漬於4(TC的5重量％氫氧 化鈉水溶液中，與實施例1 5或20相較，在模型端部未見有 所剝離，製成所期待形狀的電極。推測此原因爲··實施例 15或20的電漿放電處理過於激烈，致使碳化層與ITO間界 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2]0X297公盤） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *裝Il· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 588189 A7

B 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（2〇) 面的密接性消失’而貫施例1 5〜2 0是在該界面插入密接層6 ，對於在實施例1 5或20所低降的前記密接性產生補助作用 所致。 [比較例1 ] 未施加電暈放電及電漿處理以外，均與實施例1相同的 方法製得彩色顯示裝置用電極板。以X射線電子分光法測 定此有機保護膜5表面，解析其Cls的信號獲得，起因於 C00結合的信號（Ι_)與起因於C_c結合的信號（ία)之 比値（Ic-c/IcQQ)爲 4·22。 將此基板由真空槽取出，浸漬於40°C的5重量％氫氧化 鈉水溶液中。經過5分鐘時以目視辨認出ITO的剝離。又對 於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕 式蝕刻形成電極時，可觀察到藥液由模型邊緣處開始侵染 情形，結果引起ITO端部的剝離，無法製出所期待形狀的 電極。 [比較例2] 未施加電暈放電及電漿處理以外，均與實施例6相同的 方法製得彩色顯示裝置用電極板。以X射線電子分光法測 定此有機保護膜5表面，解析其Cls的信號獲得，起因於 C00結合的信號（Icoo)與起因於C-C結合的信號（I。·。）之 比値（L··。/ Ic。。）爲 4.93。 將此基板由真空槽取出，浸漬於40°C的5重量％氫氧化 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝- 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2iOX297公釐） -23- 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 588189 A7 B7 五、發明説明（21) 鈉水溶液中。經過5分鐘時以目視辨認出it〇的剝離。又對 於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕 式蝕刻形成電極時，可觀察到藥液由模型邊緣處開始侵染 情形，結果引起ITO端部的剝離，無法製出所期待形狀的 電極。 [比較例3] 未進行以乾燥空氣將處理部淨化以外均與實施例1相同 的方法製得彩色顯示裝置用電極板。以X射線電子分光法 測定此彩色濾色鏡2表面，解析其C 1 s的信號獲得，起因於 C00結合的信號（L·。。）與起因於C-C結合的信號（Ic.c)之 比値（I c _ c / I。。。）爲4 · 1 2，與乾燥空氣環境下施以電暈放電 處理的彩色濾色鏡2表面比較結果確認未受碳化。 將此基板由真空槽取出，浸漬於40 °C的5重量％氫氧化 鈉水溶液中。經過5分鐘時以目視辨認出IT〇的剝離。又對 於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕 式蝕刻形成電極時，可觀察到藥液由模型邊緣處開始侵染 情形，結果引起ITO端部的剝離，無法製出所期待形狀的 電極。 [比較例4] 未進行以乾燥空氣將處理部淨化以外均與實施例6相同 的方法製得彩色顯示裝置用電極板。以X射線電子分光法 測定此有機保護膜5表面，解析其Cls的信號獲得，起因於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2U、X 297公釐） 批衣 ^II^I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -24- 588189 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _______ B7五、發明説明（22) COO結合的信號（Ico。）與起因於C-C結合的信號（Ic.c)之 比値（Ic^e/ le〇0)爲4.58，與乾燥空氣環境下施以電暈放電 處理的有機保護膜5表面比較結果確認未受碳化。 將此基板由真空槽取出，浸漬於40°C的5重量％氫氧化 鈉水溶液中。經過5分鐘時以目視辨認出ITO的剝離。又對 •於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕 式蝕刻形成電極時，可觀察到藥液由模型邊緣處開始侵染 情形，結果引起IT〇端部的剝離，無法製出所期待形狀的 電極。 [比較例5] 未進行以乾燥空氣將處理部淨化以外均與實施例11相 同的方法製得彩色顯示裝置用電極板。以X射線電子分光 法測定此膜彩色濾色鏡2表面，解析其C 1 s的信號獲得，起 因於C00結合的信號（1。〇。）與起因於C-C結合的信號（Ic-c )之比値（Ic.c/ Ic。。）爲4·01，與乾燥Μ氣環境下施以電發 處理的彩色濾色鏡2表面比較結果確認未受碳化。 將此基板由真空槽取出，浸漬於40 °C的5重量％氫氧化 鈉水溶液中。經過5分鐘時以目視辨認出ITO的剝離。又對 於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與気化鐵水溶液的濕 式蝕刻形成電極時，可觀察到藥液由模型邊緣處開始侵染 情形，結果引起ITO端部的剝離，無法製出所期待形狀的 電極。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】〇X 297公釐） -25- 588189 A7 B7 五、發明説明（23) [比較例6] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 未進行以乾燥空氣將處理部淨化以外均與實施例16相 同方法製得彩色顯示裝置用電極板。以X射線電子分光法 測定此有機保護膜5表面，解析其C 1 s的信號獲得，起因於 C00結合的信號（L·。。）與起因於C-C結合的信號（Ic.c)之 比値（L·.。/ L·。。）爲4.91，與乾燥氬氣環境下施以電漿處理 的有機保護表面比較結果確認未受碳化。 將此基板由真空槽取出，浸漬於40°C之5重量％氫氧化 鈉水溶液中。經過5分鐘時以目視辨認出ίΤ〇的剝離。又對 於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕 式蝕刻形成電極時，可觀察到藥液由模型邊緣處開始侵染 情形，結果引起ΙΤΟ端部的剝離，無法製出所期待形狀的 電極。 [比較例7〜10] 線卜 以表5所示材料做爲.密接層6，除未施加電暈放電及電 漿處理外，以對應於實施例21〜24的條件製得彩色顯示裝置 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 用電極板。 將此基板由真空槽取出，浸漬於40 °C的5重量％氫氧化 鈉水溶液中。經過5分鐘時以目視辨認出ITO的剝離。又對 於上記方法所製作的電極板，以鹽酸與氯化鐵水溶液的濕 式蝕刻形成電極時，可觀察到藥液由模型邊緣處開始侵染 情形，結果引起ITO端部的剝離，無法製出所期待形狀的 電極。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2]CX297公釐) "" ' ' -26- 588189 A7 B7 五、發明説明（24) 經濟部智惡財產局員工消費合作社印製

表1 彩色灑 色鏡 有機保護膜 電暈放 電條件 Ic · c/ Icoo 抗鹼 性 成型 性 實施例1 明膠 無 0.5kW 30秒 17.91 ◎ ◎ 實施例2 明膠 ifrrr 0.2kW 5秒 5.78 〇 〇 實施例3 明膠 /\\\ 0.7kW 20秒 17.55 〇 〇 實施例4 明膠 魅 > \ \\ 0.8kW 30秒 19.12 ◎ 〇 實施例5 明膠 並 1.2kW 30秒 23.84 Ο Δ 實施例6 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 0.5kW 30秒 24.40 ◎ ◎ 實施例7 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 0.2kW 5秒 8.11 〇 〇 實施例8 ’明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 0.7kW 20秒 23.80 ◎ ◎ 實施例9 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 0.8kW 30秒 26.41 ◎ 〇 實施例10 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 1.2kW 30秒 29.59 〇 Δ 比較例1 明膠 姐 Μ 4.22 X X 比較例2 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 Μ 4.93 X X --------,φτ-I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X；297公釐） -27 - 588189

7 7 A B 五、發明説明（25) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

表2 彩色濾 色鏡 有機保護膜 電漿處理條 件 Ic · c/ Icoo 抗驗 性 成型 性 實施例1 1 明膠 無 Ar、1 lkV 20秒 19.12 ◎ ◎ 實施例12 明膠 無 Ar、8kV 5秒 6.66 〇 0 實施例1 3 明膠 te He、10kV 10秒 20.90 ◎ 〇 實施例1 4 明膠 無 N2 > lOkV 20秒 20.10 ◎ 0 實施例1 5 明膠 Μ Ar 、 15kV 30秒 27.66 〇 Δ 實施例1 6 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 Ar、1 lkV 20秒 24.30 ◎ ◎ 實施例1 7 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 Ar、8kV 5秒 9.01 〇 〇 實施例1 8 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 He 、 lOkV 10秒 25.70 ◎ ◎ 實施例1 9 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 N2 、 lOkV 20秒 24.57 ◎ 〇 實施例2 0 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 Ar 、 15kV 30秒 32.91 Ο Δ 比較例1 明膠 無 無 4.22 X X 比較例2 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 ίΕ y» w 4.93 X X (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ’脅衣 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ；29*7公釐） -28- 588189

7 7 A B 五、發明説明（26 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表3 彩色濾 色鏡 有機保護膜 電暈放 電條件 Ic · c/ Icoo 密接層 抗 鹼 性 成 型 性 實施例 21 明膠 無 1.2kW 30秒 23.84 Si〇2 〇 實施例 22 明膠 多縮水甘油 基異丁烯酸 鹽 1.2kW 30秒 29.59 Ta2〇5 ◎ ◎ 實施例 23 明膠 /1 \\ 1.2kW 30秒 23.84 S ΐ3Π4 ◎ ◎ 實施例 24 明膠 多縮水甘油 基異丁烯酸 鹽 1.2kW 30秒 29.59 SlO*Ny ◎ ◎ t衣-- (請先閲讀背面之注意事項本頁) :tr 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Μ規格（210X29*7公釐） -29 - 588189

7 B 五、發明説明（27) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表4 彩色濾 色鏡 有機保護膜 電漿處 理條件 Ic · c/ Icoo 密接層 抗 驗 性 成 型 性 實施例 25 明膠 無 Ar、 15kV 30秒 27.66 SiCh 0 實施例 26 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 Ar、 15kV 30秒 32.91 Ta2 〇 5 ◎ ◎ 實施例 27 明膠 無 Ar、 15kV 30秒 27.66 Si3n4 ◎ ◎ 實施例 28 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 Ar、 15kV 30秒 32.91 SiOxNy ◎ ◎ Γ裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -30- 588189 經濟部智慧財產局員工消費合作社印繁 kl B7 五、發明説明（28 ) 表5

彩色濾色鏡 有機保護膜 表面處理條件 Ic · cl Icoo 密接 層 抗鹼 性 成型 性 比較例1 明膠 無 無 4.22 無 X X 比較例2 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 紐 4\ \\ 4.93 無 X X 比較例3 明膠 無 電暈0.5kW 30秒 (一般環境） 4.12 Μ /\\\ X X 比較例4 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 電暈0.5kW 30秒 (一般環境） 4.58 無 X X 比較例5 明膠 無 Ar llkV 20秒 (一般環境） 4.01 無 X X 比較例6 : 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 Ar llkV 20秒 (一般環境)20秒 4.91 4fff /1 X X 比較例7 : 明膠 無 無 4.22 Si〇2 X X 比較例8 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 無 4.93 Ta2〇5 X X 比較例9 明膠 脏 /1 \\ 無 4.22 Si* X X 比較例10 明膠 多縮水甘油基 異丁烯酸鹽 無 4.93 SiO*Ny X X 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公楚） -31 - 588189 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___ B7五、發明説明（29) 抗鹼性評估 浸漬於4 0 °C的5重量％氫氧化鈉水溶液中2 0分鐘，判斷 是否產生剝離。 以目視觀察未辨認出剝離 ◎(合格） 可辨認出極輕微膜漲（膨漲） 〇（合格） 膜明顯剝離時 X (不合格） 成型性評估 以鹽酸與氯化鐵水溶液，進行濕式蝕刻十分鐘所形成 70 μηΐ線/20μΐΉ間距電極時的線形加以判斷。 形成正確電極圖案 ◎(合格） 電極圖案略微過度餓刻 〇(合格） 電極圖案的端部有極輕微剝離 A (合格） 電極圖案明顯剝離 X (不合格） 產業上的利用可能性 依照本發明，只要使用在彩色濾色鏡2或有機保護膜5 表面形成局部碳化的彩色顯示裝置用電極板，可大幅提昇 後段製程所必要的抗藥品性·密接性。至少局部碳化表面 ，可由電暈放電或在近於大氣壓下的電漿處理加以形成。 對於在真空環境中不容易進行大量處理，以及需要昂責真 空設備的以往製程相較，可大幅降低製造成本。 【圖面之簡要說明】 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2j〇X29<7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線卜 -32- 588189 κι _____Β7 ___ 五、發明説明（3〇) 【第1圖】本發明之彩色顯示裝置用電極板的一實施形 態剖面圖。 【第2圖】本發明之彩色顯示裝置用電極板的一實施形 態剖面圖。 【第3圖】本發明之彩色顯示裝置用電極板的一實施形 態剖面圖。 【第4圖】本發明之彩色顯示裝置用電極板的一實施形 態剖面圖。 [圖號說明] 1 :玻璃基板 2 :彩色濾色鏡 3 :透明導電膜 4 :局部碳化層 5 :有機保護層 6 :密接層 ---------r—^—τ—W------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2;CX297公釐） -33-

Claims (1)

1. 588189 Λ8 |B8 !C8 JD8 六、申請專利範圍1 1 · 一種彩色顯示裝置用電極板的製造方法，係在基板上 依序形成彩色濾色鏡與透明導電膜以製造彩色顯示裝置用 電極板的製造方法，其特徵爲： (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 在基板上形成彩色濾色鏡之後，在近於大氣壓的乾燥 環境下’利用放電，處理前記彩色濾色鏡，使其至少形成 局部碳化層後，在該局部碳化層上形成透明導電膜。 2 ·如申請專利範圍第丨項所記載之彩色顯示裝置用電 極板的製造方法，其中，在前記局部碳化的彩色濾色鏡層 上形成金屬之氧化物、氮化物、氮氧化物中任一化合物的 密接層，然後在其上面形成透明導電膜。 3 .如申請專利範圍第1或2項所記載彩色顯示裝置用電 極板的製造方法’其中，因X射線光電子分光法對於碳化 彩色濾色鏡層之羧（carboxyl )基所產生的信號（ic。。）與 C-C結合所產生的信號（1。·。）比値（Ic_c/設定爲大於 未碳化彩色濾色鏡層。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 · 一種彩色顯示裝置用電極板的製造方法，係在基板 上依序形成彩色濾色鏡、保護彩色濾色鏡用有機保護膜及 透明導電膜以製造彩色顯示裝置用電極板的彩色顯示裝置 用電極板製造方法，其特徵爲： 在基板上依序形成彩色濾色鏡與有機保護膜之後，在 近於大氣壓的乾燥環境下，利用放電處理前記有機保護膜 ，使其至少在上面形成局部碳化層後，在該局部碳化的有 機保護膜上形成透明導電膜的彩色顯示裝置用電極板的製 造方法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 588189 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍2 5 ·如申請專利範圍第4項所記載之彩色顯示裝置用電 極板的製造方法，其中，在前記局部碳化的有機保護膜上 形成金屬之氧化物、氮化物、氮氧化物中任一化合物的密 接層’然後在其上面形成透明導電膜。 6 ·如申請專利範圍第4或5項所記載之彩色顯示裝置用 電極板的製造方法，其中，因X射線光電子分光法對於碳 化有機保護膜之羧基所產生的信號（Icoo)與C_C結合所產 生的信號（Ια )比値（)設定爲大於未碳化有機保 護膜。 7 · —種在彩色濾色鏡上形成透明導電膜的彩色顯示裝 置用電極板，其特徵爲： 在近於大氣壓的乾燥環境下，利用放電處理前記彩色 濾色鏡，在該彩色濾色鏡與該透明導電膜之間，至少使前 記彩色濾色鏡形成局部碳化層。 ^ 8 ·如申請專利範圔第7項所記載之彩色顯示裝置用電 極板，其中，在前記透明導電膜與前記局部碳化層之間， 配置金屬之氧化物、氮化物、氮氧化物中任一化合物的密 接層。 9 ·如申請專利範圍第7或8項所記載之彩色顯示裝置用 電極板，其中，因X射線光電子分光法對於碳化彩色濾色 鏡層之羧基所產生的信號（L·。。）與C-C結合所產生的信號 (Ic.c )比値（Ic·。/ k〇〇)設定爲大於未碳化彩色濾色鏡層。 10 · —種彩色濾色鏡與爲保護該彩色瀘色鏡而形成在 彩色濾色鏡上的有機保護膜上的透明導電膜之彩色顯示裝 ^-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) i 絲 m I ml · 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35 588189 A8 B8 C8 D8 _、申請專利範圍 3 置用電極板，其特徵爲： 在該有機保護膜與該透明導電膜間，以近於大氣壓的 乾燥環境下之放電處理，至少在前記有機保護膜形成局部 碳化層。 1 1 ·如申g靑專利範圍第1 〇項所記載之彩色顯示裝置用 電極板’其中’在前記透明導電膜與前記局部碳化有機保 邊膜間’配置金屬之氧化物、氮化物、氮氧化物中任一化 合物的密接層。 12 ·如申請專利範圍第1〇或丨丨項所記載之彩色顯示裝 置用電極板’其中，因X射線光電子分光法對於碳化有機 保護膜之羧基所產生的信號（Ico。）與C-C結合所產生的信 號（Ie.C )比値（Id/ Icoo )設定爲大於未碳化有機保護膜。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Μ氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -36 -