JP3126919B2 - カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 - Google Patents
カラー表示装置用電極板とカラー表示装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐薬品性・密着性
に優れたカラー表示装置用電極板及びそれを用いるカラ
ー表示装置に関する。
に優れたカラー表示装置用電極板及びそれを用いるカラ
ー表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー表示装置に用いられる電極板は、
一般的にガラス基板上に有機樹脂を材料としたカラーフ
ィルターを形成し、その上から同じく有機樹脂を材料と
した有機保護膜を塗布した後、導電性を持つ無機透明電
極を形成する事によって製造されている。その透明電極
の配線は、一般的には一旦一様な透明導電膜を形成した
後、ウェットエッチングによって所望の配線の形状を得
ている。
一般的にガラス基板上に有機樹脂を材料としたカラーフ
ィルターを形成し、その上から同じく有機樹脂を材料と
した有機保護膜を塗布した後、導電性を持つ無機透明電
極を形成する事によって製造されている。その透明電極
の配線は、一般的には一旦一様な透明導電膜を形成した
後、ウェットエッチングによって所望の配線の形状を得
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記ウェットエッチン
グによる配線加工を行う場合、さまざまな薬品を用いる
ために、透明導電膜の下地であるカラーフィルターある
いは透明な有機保護膜が薬品によって侵され、侵食を受
けるという問題が発生する。また有機樹脂膜上に無機薄
膜を形成するために、所定の加工に耐え得るだけの密着
性を持たせることが非常に難しい。
グによる配線加工を行う場合、さまざまな薬品を用いる
ために、透明導電膜の下地であるカラーフィルターある
いは透明な有機保護膜が薬品によって侵され、侵食を受
けるという問題が発生する。また有機樹脂膜上に無機薄
膜を形成するために、所定の加工に耐え得るだけの密着
性を持たせることが非常に難しい。
【０００４】そのため、従来ではカラーフィルターある
いは有機保護膜と無機導電薄膜の間に他の薄膜（一般的
には二酸化珪素薄膜を用いる）を形成する事によって、
耐薬品性・密着性を向上させていた。しかし、二酸化珪
素薄膜はＲＦスパッタリング法によって形成されるが、
この方法は成膜速度が遅いことが工業上不利な点となっ
ている。また、二酸化珪素薄膜の成膜前のＲＦ−プラズ
マによりカラーフィルターあるいは有機保護膜が物理的
・化学的に損傷を受けることから、後工程で電極板を生
産する場合の不安定さの主原因となっている。
いは有機保護膜と無機導電薄膜の間に他の薄膜（一般的
には二酸化珪素薄膜を用いる）を形成する事によって、
耐薬品性・密着性を向上させていた。しかし、二酸化珪
素薄膜はＲＦスパッタリング法によって形成されるが、
この方法は成膜速度が遅いことが工業上不利な点となっ
ている。また、二酸化珪素薄膜の成膜前のＲＦ−プラズ
マによりカラーフィルターあるいは有機保護膜が物理的
・化学的に損傷を受けることから、後工程で電極板を生
産する場合の不安定さの主原因となっている。
【０００５】本発明の課題は、カラーフィルターあるい
は有機保護膜の物理的・化学的な損傷を防ぐことであ
る。
は有機保護膜の物理的・化学的な損傷を防ぐことであ
る。
【０００６】また、本発明の課題はウェットエッチング
による透明導電膜形成時にカラーフィルターあるいは有
機保護膜を保護することである。
による透明導電膜形成時にカラーフィルターあるいは有
機保護膜を保護することである。
【０００７】また、本発明の課題はカラーフィルターあ
るいは有機保護膜無機導電薄膜の間に従来一般的に用い
られている二酸化珪素薄膜を用いないカラー表示用電極
板及びそれを用いるカラー表示装置を得ることである。
るいは有機保護膜無機導電薄膜の間に従来一般的に用い
られている二酸化珪素薄膜を用いないカラー表示用電極
板及びそれを用いるカラー表示装置を得ることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は次の
構成によって達成される。すなわち、カラーフィルター
上に透明導電膜が形成されたカラー表示装置用電極板に
おいて、該カラーフィルターと該透明導電膜の間に該カ
ラーフィルターが少なくとも部分的に炭化された層を有
するカラー表示装置用電極板、または、カラーフィルタ
ーおよびカラーフィルターを保護する目的で形成されて
いる有機保護膜上に透明導電膜が形成されたカラー表示
装置用電極板において、該有機保護膜と該透明導電膜の
間に該有機保護膜が少なくとも部分的に炭化された層を
有するカラー表示装置用電極板である。
構成によって達成される。すなわち、カラーフィルター
上に透明導電膜が形成されたカラー表示装置用電極板に
おいて、該カラーフィルターと該透明導電膜の間に該カ
ラーフィルターが少なくとも部分的に炭化された層を有
するカラー表示装置用電極板、または、カラーフィルタ
ーおよびカラーフィルターを保護する目的で形成されて
いる有機保護膜上に透明導電膜が形成されたカラー表示
装置用電極板において、該有機保護膜と該透明導電膜の
間に該有機保護膜が少なくとも部分的に炭化された層を
有するカラー表示装置用電極板である。
【０００９】本発明の上記カラー表示装置用電極板にお
いて、前記部分的炭化層では、炭化されている層におけ
るＸ線光電子分光法によるカルボキシル基に基因する信
号（ＩＣＯＯ）に対するＣ−Ｃ結合に基因する信号（Ｉ
Ｃ−Ｃ）の比率（Ｉ Ｃ−Ｃ ／Ｉ ＣＯＯ ）は、炭化されて
いない内部のそれよりも大きいことが炭化層形成を意味
する。
いて、前記部分的炭化層では、炭化されている層におけ
るＸ線光電子分光法によるカルボキシル基に基因する信
号（ＩＣＯＯ）に対するＣ−Ｃ結合に基因する信号（Ｉ
Ｃ−Ｃ）の比率（Ｉ Ｃ−Ｃ ／Ｉ ＣＯＯ ）は、炭化されて
いない内部のそれよりも大きいことが炭化層形成を意味
する。
【００１０】本発明には前記電極板を用いるカラー表示
装置も含まれる。本発明で言う部分的に炭化した層とい
うのは、必ずしも一様なものである必要はなく、要求さ
れる水準以上の耐薬品性を持てば、炭化層は不均一な膜
厚のものでも良い。また、炭化層の厚みはある水準以上
の耐薬品性を満たせば良いが、極端に厚い場合は炭化層
によって透過率が著しく減少するために好ましくない。
装置も含まれる。本発明で言う部分的に炭化した層とい
うのは、必ずしも一様なものである必要はなく、要求さ
れる水準以上の耐薬品性を持てば、炭化層は不均一な膜
厚のものでも良い。また、炭化層の厚みはある水準以上
の耐薬品性を満たせば良いが、極端に厚い場合は炭化層
によって透過率が著しく減少するために好ましくない。
【００１１】このような少なくとも部分的に炭化した層
を形成する方法には様々な手段がある。例えば透明電極
を成膜する直前にカラーフィルター材料である有機樹脂
層、または該有機樹脂層に形成される有機樹脂からなる
透明な有機保護層をＤＣ−プラズマあるいはＲＦ−プラ
ズマに短時間曝す方法や、透明電極を成膜する直前に前
記カラーフィルター層または透明な有機保護層にイオン
を照射する方法がある。本発明においては、炭化層を形
成する条件の制御が容易に行えるイオン照射が望まし
く、イオン照射をするときのガス種としては具体的に
は、酸素ガスとアルゴンの混合ガス、アルゴンがあり、
酸素が最も好ましい。加速電圧１００〜２０００Ｖ、照
射時間は３０〜２００秒、とりわけ４００〜１０００
Ｖ、３０〜６０秒の照射条件が好ましい。これらの条件
はイオンエネルギー密度で表示すると０．０１〜５００
Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ２とりわけ１〜５０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ
２が最適であることを意味する。
を形成する方法には様々な手段がある。例えば透明電極
を成膜する直前にカラーフィルター材料である有機樹脂
層、または該有機樹脂層に形成される有機樹脂からなる
透明な有機保護層をＤＣ−プラズマあるいはＲＦ−プラ
ズマに短時間曝す方法や、透明電極を成膜する直前に前
記カラーフィルター層または透明な有機保護層にイオン
を照射する方法がある。本発明においては、炭化層を形
成する条件の制御が容易に行えるイオン照射が望まし
く、イオン照射をするときのガス種としては具体的に
は、酸素ガスとアルゴンの混合ガス、アルゴンがあり、
酸素が最も好ましい。加速電圧１００〜２０００Ｖ、照
射時間は３０〜２００秒、とりわけ４００〜１０００
Ｖ、３０〜６０秒の照射条件が好ましい。これらの条件
はイオンエネルギー密度で表示すると０．０１〜５００
Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ２とりわけ１〜５０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ
２が最適であることを意味する。
【００１２】本発明に求められる炭化層の炭化の程度に
は所定の範囲があり、あまりにも炭化が進んだ場合には
カラーフィルターの生産工程での種々の処理に耐え得る
だけの隣接層との密着性が乏しくなる。
は所定の範囲があり、あまりにも炭化が進んだ場合には
カラーフィルターの生産工程での種々の処理に耐え得る
だけの隣接層との密着性が乏しくなる。
【００１３】本発明のカラーフィルターは、一般的には
顔料分散法や印刷法によって形成されたゼラチン、カゼ
イン、グリュー等の天然高分子またはアクリル系の合成
樹脂を材料として形成されるが、成膜方法や着色方法に
依らず透明樹脂であればいかなる樹脂でもよい。
顔料分散法や印刷法によって形成されたゼラチン、カゼ
イン、グリュー等の天然高分子またはアクリル系の合成
樹脂を材料として形成されるが、成膜方法や着色方法に
依らず透明樹脂であればいかなる樹脂でもよい。
【００１４】さらに、本発明において用いることができ
る透明導電膜としては、ＩＴＯやスズ、アルミニウムを
ドープした酸化亜鉛、または電気抵抗の低い金、銀、銅
などの貴金属をＩＴＯまたは酸化インジウムなどの透明
導電酸化膜で挟んだ膜を用いることができる。
る透明導電膜としては、ＩＴＯやスズ、アルミニウムを
ドープした酸化亜鉛、または電気抵抗の低い金、銀、銅
などの貴金属をＩＴＯまたは酸化インジウムなどの透明
導電酸化膜で挟んだ膜を用いることができる。
【００１５】本発明のカラー表示装置用電極板は図１〜
図２に示す断面を有する。また、本発明のカラー表示装
置用電極板においては、カラーフィルターと透明電極も
しくは有機保護膜と透明電極の間に少なくとも部分的に
炭化された層が下地を保護するように動く。
図２に示す断面を有する。また、本発明のカラー表示装
置用電極板においては、カラーフィルターと透明電極も
しくは有機保護膜と透明電極の間に少なくとも部分的に
炭化された層が下地を保護するように動く。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下実施例によりさらに詳細に説
明する。 実施例１ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付きガラス基板を形成した。ア
クリル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレー
トに硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、２０
０℃で１時間焼成した。上記の方法により作成した有機
保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測定したとこ
ろ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏと
する）は１．４７であった。検出されるＣｌｓ軌道の信
号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される信号（Ｉ
C-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）の比（Ｉ
C-C／ＩCOO）は４．９３であった。この有機保護膜付ガ
ラス基板の透過率を測定すると７８％であった。
明する。 実施例１ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付きガラス基板を形成した。ア
クリル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレー
トに硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、２０
０℃で１時間焼成した。上記の方法により作成した有機
保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測定したとこ
ろ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏと
する）は１．４７であった。検出されるＣｌｓ軌道の信
号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される信号（Ｉ
C-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）の比（Ｉ
C-C／ＩCOO）は４．９３であった。この有機保護膜付ガ
ラス基板の透過率を測定すると７８％であった。
【００１７】上記の方法により有機保護膜を形成したガ
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
イオンエネルギー密度２０Ｗ・sec/ｃｍ2，加速電圧１
０００Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射した。そ
の後基板を取り出し、Ｘ線光電子分光法により有機保護
膜表面を測定したところ、Ｃ／Ｏは２．２１となり、イ
オン照射前と比較して大きくなった。検出されるＣｌｓ
軌道の信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは１９．７と
なり、イオン照射前と比較して大きくなった。この有機
保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると７４％であっ
た。
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
イオンエネルギー密度２０Ｗ・sec/ｃｍ2，加速電圧１
０００Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射した。そ
の後基板を取り出し、Ｘ線光電子分光法により有機保護
膜表面を測定したところ、Ｃ／Ｏは２．２１となり、イ
オン照射前と比較して大きくなった。検出されるＣｌｓ
軌道の信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは１９．７と
なり、イオン照射前と比較して大きくなった。この有機
保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると７４％であっ
た。
【００１８】前記事実を確認した後、同一の方法でカラ
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度２０Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖの
条件で酸素イオンを１００秒間照射した。その後直ちに
ＤＣプラズマを用いたスパッタ法により酸化インジウム
酸化スズ透明導電膜（以下ＩＴＯ）を形成した。この試
料を真空槽から取り出した後、４０℃の１０重量％水酸
化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、６０分以上浸
漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生しなかった。
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度２０Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖの
条件で酸素イオンを１００秒間照射した。その後直ちに
ＤＣプラズマを用いたスパッタ法により酸化インジウム
酸化スズ透明導電膜（以下ＩＴＯ）を形成した。この試
料を真空槽から取り出した後、４０℃の１０重量％水酸
化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、６０分以上浸
漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生しなかった。
【００１９】上記方法により形成した電極板に対して、
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッ
チの電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を
得ることができた。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッ
チの電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を
得ることができた。
【００２０】実施例２ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、２００℃で１時間焼成した。上記の方法により
作成した有機保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測
定したところ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比
（Ｃ／Ｏとする）は１．４７であった。検出されるＣｌ
ｓ軌道の信号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される
信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）
の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．９３であった。この
有機保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると７８％で
あった。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、２００℃で１時間焼成した。上記の方法により
作成した有機保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測
定したところ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比
（Ｃ／Ｏとする）は１．４７であった。検出されるＣｌ
ｓ軌道の信号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される
信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）
の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．９３であった。この
有機保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると７８％で
あった。
【００２１】上記の方法により有機保護膜を形成したガ
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
イオンエネルギー密度２０Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１
００Ｖの条件でアルゴンイオンを３０秒間照射した。そ
の後基板を取り出し、Ｘ線光電子分光法により有機保護
膜表面を測定したところ、Ｃ／Ｏは２．９５となり、イ
オン照射前と比較して大きくなった。検出されるＣｌｓ
軌道の信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは２２．３と
なり、イオン照射前と比較して大きくなった。この有機
保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると７３％であっ
た。
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
イオンエネルギー密度２０Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１
００Ｖの条件でアルゴンイオンを３０秒間照射した。そ
の後基板を取り出し、Ｘ線光電子分光法により有機保護
膜表面を測定したところ、Ｃ／Ｏは２．９５となり、イ
オン照射前と比較して大きくなった。検出されるＣｌｓ
軌道の信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは２２．３と
なり、イオン照射前と比較して大きくなった。この有機
保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると７３％であっ
た。
【００２２】前記事実を確認した後、同一の方法でカラ
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度２０Ｗ・sec/cm2、加速電圧１００Ｖの条件
でアルゴンイオンを３０秒間照射した。その後直ちにＤ
Ｃプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを形成し
た。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃の１０
重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、６
０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生しなかっ
た。
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度２０Ｗ・sec/cm2、加速電圧１００Ｖの条件
でアルゴンイオンを３０秒間照射した。その後直ちにＤ
Ｃプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを形成し
た。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃の１０
重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、６
０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生しなかっ
た。
【００２３】上記方法により形成した電極板に対して、
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッ
チの電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を
得ることができた。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッ
チの電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を
得ることができた。
【００２４】実施例３ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。上記
の方法により作成したカラーフィルターの表面をＸ線光
電子分光法により測定したところ、検出された極表面の
炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏとする）は１．０２であっ
た。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解析した結果Ｃ−Ｃ
結合に規定される信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定さ
れる信号（ＩCOO）の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．
２２であった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると７８％であった。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。上記
の方法により作成したカラーフィルターの表面をＸ線光
電子分光法により測定したところ、検出された極表面の
炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏとする）は１．０２であっ
た。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解析した結果Ｃ−Ｃ
結合に規定される信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定さ
れる信号（ＩCOO）の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．
２２であった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると７８％であった。
【００２５】上記の方法によりゼラチンからなるカラー
フィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し、そ
の後ゼラチン層に対してイオンエネルギー密度２０Ｗ・
sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖの条件で酸素イオンを
１００秒間照射した。その後基板を取り出しＸ線光電子
分光法によりゼラチン層表面を測定したところ、Ｃ／Ｏ
は２．３０となり、イオン照射前と比較して大きくなっ
た。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解析した結果、Ｉ
C-C／ＩCOOは６．３１となり、イオン照射前と比較して
大きくなった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると７４％であった。
フィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し、そ
の後ゼラチン層に対してイオンエネルギー密度２０Ｗ・
sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖの条件で酸素イオンを
１００秒間照射した。その後基板を取り出しＸ線光電子
分光法によりゼラチン層表面を測定したところ、Ｃ／Ｏ
は２．３０となり、イオン照射前と比較して大きくなっ
た。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解析した結果、Ｉ
C-C／ＩCOOは６．３１となり、イオン照射前と比較して
大きくなった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると７４％であった。
【００２６】前記事実を確認した後、同一の方法でカラ
ーフィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し
た。その後カラーフィルターに対して加速電圧１０００
Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射した。その後直
ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを形
成した。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃の
１０重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、６０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生し
なかった。
ーフィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し
た。その後カラーフィルターに対して加速電圧１０００
Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射した。その後直
ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを形
成した。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃の
１０重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、６０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生し
なかった。
【００２７】上記方法により形成した電極板に対して、
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン２０μｍスペースピッチ
の電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を得
ることができた。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン２０μｍスペースピッチ
の電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を得
ることができた。
【００２８】実施例４ 前記実施例と同一の方法により、イオン照射の条件また
はカラーフィルターおよび有機保護膜を変えてイオン照
射ならびにＩＴＯ成膜、耐アルカリ性、パターニング性
の評価を表１に示したものである。
はカラーフィルターおよび有機保護膜を変えてイオン照
射ならびにＩＴＯ成膜、耐アルカリ性、パターニング性
の評価を表１に示したものである。
【００２９】
【表１】
【００３０】※耐アルカリ性評価は、４０℃の１０重量
％水酸化カリウム水溶液中に３０分間浸漬させ、剥離が
起こるかどうかで判断した。目視で全く剥離が認められ
ないものを（◎）、微小の膜浮き（ふくらみ）が認めら
れるものを合格（○）、膜が明らかに剥離しているもの
を不合格（△または×）と判定する。 ※パターニング性は塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１
０分間のウエットエッチングによる７０μｍライン／２
０μｍスペースピッチの電極形成を施した時のライン形
状から判断した。正確な電極パターンが形成されたもの
を（◎）、電極パターンの端部に微小なダレが認められ
る程度のものを合格（○）として、電極パターンがえぐ
られていたり、部分的に欠落しているものを不合格（△
または×）と判定する。
％水酸化カリウム水溶液中に３０分間浸漬させ、剥離が
起こるかどうかで判断した。目視で全く剥離が認められ
ないものを（◎）、微小の膜浮き（ふくらみ）が認めら
れるものを合格（○）、膜が明らかに剥離しているもの
を不合格（△または×）と判定する。 ※パターニング性は塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１
０分間のウエットエッチングによる７０μｍライン／２
０μｍスペースピッチの電極形成を施した時のライン形
状から判断した。正確な電極パターンが形成されたもの
を（◎）、電極パターンの端部に微小なダレが認められ
る程度のものを合格（○）として、電極パターンがえぐ
られていたり、部分的に欠落しているものを不合格（△
または×）と判定する。
【００３１】比較例１ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、２００℃で１時間焼成した。上記方法にて形成
した有機保護膜付ガラス基板を真空槽に導入し、その後
直ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯ膜
を形成した。この試料を真空槽より取り出し、４０℃の
１０重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、１０分浸漬させたところでＩＴＯが剥離してしまっ
た。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、２００℃で１時間焼成した。上記方法にて形成
した有機保護膜付ガラス基板を真空槽に導入し、その後
直ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯ膜
を形成した。この試料を真空槽より取り出し、４０℃の
１０重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、１０分浸漬させたところでＩＴＯが剥離してしまっ
た。
【００３２】上記方法にて形成した電極板に対して、塩
酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエッ
チングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッチ
の電極形成を施したところ、ＩＴＯ膜がウエットエッチ
ング中に剥離してしまった。
酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエッ
チングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッチ
の電極形成を施したところ、ＩＴＯ膜がウエットエッチ
ング中に剥離してしまった。
【００３３】比較例２ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリシジルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、２００℃で１時間焼成した。上記の方法により
作成した有機保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測
定したところ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比
（Ｃ／Ｏとする）は１．４７であった。検出されるＣｌ
ｓ軌道の信号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される
信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）
の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．９３であった。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリシジルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、２００℃で１時間焼成した。上記の方法により
作成した有機保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測
定したところ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比
（Ｃ／Ｏとする）は１．４７であった。検出されるＣｌ
ｓ軌道の信号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される
信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）
の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．９３であった。
【００３４】この有機保護膜付ガラス基板を真空槽に導
入し、その後有機保護膜に対してイオンエネルギー密度
５００Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖの条件でア
ルゴンイオンを１００秒間照射した。その後基板を取り
出し、Ｘ線光電子分光法により有機保護膜表面を測定し
たところ、Ｃ／Ｏは６．８８となり、イオン照射前と比
較して大きくなった。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解
析した結果、ＩC-C／ＩCOOは４６．３となり、イオン照
射前と比較して大きくなった。この有機保護膜付ガラス
基板の透過率を測定すると５２％であった。透過率が２
０％以上低下し、明らかな着色が認められた。
入し、その後有機保護膜に対してイオンエネルギー密度
５００Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖの条件でア
ルゴンイオンを１００秒間照射した。その後基板を取り
出し、Ｘ線光電子分光法により有機保護膜表面を測定し
たところ、Ｃ／Ｏは６．８８となり、イオン照射前と比
較して大きくなった。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解
析した結果、ＩC-C／ＩCOOは４６．３となり、イオン照
射前と比較して大きくなった。この有機保護膜付ガラス
基板の透過率を測定すると５２％であった。透過率が２
０％以上低下し、明らかな着色が認められた。
【００３５】前記事実を確認した後、同一の方法でカラ
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度５００Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖ
の条件でアルゴンイオンを１００秒間照射した。その後
直ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを
形成した。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃
の１０重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、６０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生し
なかった。
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度５００Ｗ・sec/ｃｍ2、加速電圧１０００Ｖ
の条件でアルゴンイオンを１００秒間照射した。その後
直ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを
形成した。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃
の１０重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、６０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生し
なかった。
【００３６】上記方法により形成した電極板に対して、
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッ
チの電極形成を施したところ、ＩＴＯ膜がウェットエッ
チング中に剥離してしまった。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン／２０μｍスペースピッ
チの電極形成を施したところ、ＩＴＯ膜がウェットエッ
チング中に剥離してしまった。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、少なくとも部分的に炭
化された表面を持つカラーフィルターまたは有機保護膜
を持つカラー表示装置用電極板を用いることにより、従
来必要とされた透明無機薄膜を形成することなく、後工
程で必要となる耐薬品性・密着性を飛躍的に向上させる
ことが可能となる。所定のパターンの透明電極膜の加工
が容易となるため、カラー表示装置の生産に好適なカラ
ー表示装置用電極板となる。
化された表面を持つカラーフィルターまたは有機保護膜
を持つカラー表示装置用電極板を用いることにより、従
来必要とされた透明無機薄膜を形成することなく、後工
程で必要となる耐薬品性・密着性を飛躍的に向上させる
ことが可能となる。所定のパターンの透明電極膜の加工
が容易となるため、カラー表示装置の生産に好適なカラ
ー表示装置用電極板となる。
【図１】 本発明のカラー表示装置用電極板の一実施形
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図２】 本発明のカラー表示装置用電極板の一実施形
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山岡 智則 神奈川県相模原市西橋本五丁目８番１号 日本板硝子フアイン株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1335 505 G02B 5/20 101
Claims (5)
- 【請求項１】 カラーフィルター上に透明導電膜が形成
されたカラー表示装置用電極板において、該カラーフィ
ルターと該透明導電膜の間に該カラーフィルターが少な
くとも部分的に炭化された層を有することを特徴とする
カラー表示装置用電極板。 - 【請求項２】 炭化された層におけるＸ線光電子分光法
によるカルボキシル基に基因する信号（ＩＣＯＯ）に対
するＣ−Ｃ結合に基因する信号（ＩＣ−Ｃ）の比率（Ｉ
Ｃ−Ｃ ／Ｉ ＣＯＯ ）を、炭化されていない内部のそれよ
りも大きくしたことを特徴とする請求項１記載のカラー
表示装置用電極板。 - 【請求項３】 炭化された層は、酸素イオンまたはアル
ゴンイオンを含むガスイオンをカラーフィルターに衝突
させて形成したことを特徴とする請求項２記載のカラー
表示装置用電極板。 - 【請求項４】 カラーフィルターおよびカラーフィルタ
ーを保護する目的で形成されている有機保護膜上に透明
導電膜が形成されたカラー表示装置用電極板において、
該有機保護膜と該透明導電膜の間に該有機保護膜が少な
くとも部分的に炭化された層を有することを特徴とする
カラー表示装置用電極板。 - 【請求項５】 炭化されている層におけるＸ線光電子分
光法によるカルボキシル基に基因する信号（ＩＣＯＯ）
に対するＣ−Ｃ結合に基因する信号（ＩＣ−Ｃ）の比率
（Ｉ Ｃ−Ｃ ／Ｉ ＣＯＯ ）を、炭化されていない内部のそ
れよりも大きくしたことを特徴とする請求項４記載のカ
ラー表示装置用電極板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16571796A JP3126919B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16571796A JP3126919B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1010518A JPH1010518A (ja) | 1998-01-16 |
| JP3126919B2 true JP3126919B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=15817734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16571796A Expired - Fee Related JP3126919B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3126919B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002056282A1 (fr) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Electrode en plaque pour dispositif d'affichage couleur et son procede de production |
| JP2003021826A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Ｉｔｏ被膜付き基板及びその製造方法 |
| US6818328B2 (en) | 2003-02-20 | 2004-11-16 | Fuji Electric Co., Ltd. | Color conversion filter substrate, color conversion type multicolor organic EL display having the color conversion filter substrate, and methods of manufacturing these |
| JP2006120365A (ja) | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機ｅｌ素子 |
-
1996
- 1996-06-26 JP JP16571796A patent/JP3126919B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1010518A (ja) | 1998-01-16 |
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