JPH1010519A - カラー表示装置用電極板の製造方法 - Google Patents
カラー表示装置用電極板の製造方法Info
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- JPH1010519A JPH1010519A JP16571896A JP16571896A JPH1010519A JP H1010519 A JPH1010519 A JP H1010519A JP 16571896 A JP16571896 A JP 16571896A JP 16571896 A JP16571896 A JP 16571896A JP H1010519 A JPH1010519 A JP H1010519A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルターあるいは有機保護膜無機導
電薄膜の間に従来一般的に用いられている二酸化珪素薄
膜を用いないカラー表示用電極板の製造技術を確立する
こと。 【解決手段】 有機樹脂層であるカラーフィルター（Ｃ
Ｆ）またはオーバーコート（ＯＣ）に酸素イオンまたは
アルゴンイオンを照射すると、エッチング効果により表
面の汚れが除去され、少なくとも部分的にＣＦまたはＯ
Ｃに炭化層が形成され、ＣＦまたはＯＣの層表面の耐薬
品性が向上し、その上に形成される透明電極との密着性
も良好となる。ＣＦ（またはＯＣ）の材質が有機樹脂、
とりわけアクリル系樹脂で在ることが望ましい。
電薄膜の間に従来一般的に用いられている二酸化珪素薄
膜を用いないカラー表示用電極板の製造技術を確立する
こと。 【解決手段】 有機樹脂層であるカラーフィルター（Ｃ
Ｆ）またはオーバーコート（ＯＣ）に酸素イオンまたは
アルゴンイオンを照射すると、エッチング効果により表
面の汚れが除去され、少なくとも部分的にＣＦまたはＯ
Ｃに炭化層が形成され、ＣＦまたはＯＣの層表面の耐薬
品性が向上し、その上に形成される透明電極との密着性
も良好となる。ＣＦ（またはＯＣ）の材質が有機樹脂、
とりわけアクリル系樹脂で在ることが望ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー表示装置用
電極板を製造する方法に関する。
電極板を製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的にカラー表示装置用電極板を作製
する場合、ガラス基板に有機樹脂層であるカラーフィル
ター（ＣＦ）を塗布し、場合によっては次に、カラーフ
ィルター保護用のオーバーコート（ＯＣ）を塗布し、カ
ラーフィルター（ＣＦ）またはオーバーコート（ＯＣ）
上に透明酸化膜層を成膜（一般には、二酸化珪素：成膜
方法は高周波マグンネトロンスパッタ法）し、さらに透
明電極（ＩＴＯ）（一般的には酸化インジウム−酸化ス
ズ：成膜方法はＤＣマグネトロンスパッタ法）を形成し
た後に、ウェットエッチングを用いた配線の作製を行っ
ている。
する場合、ガラス基板に有機樹脂層であるカラーフィル
ター（ＣＦ）を塗布し、場合によっては次に、カラーフ
ィルター保護用のオーバーコート（ＯＣ）を塗布し、カ
ラーフィルター（ＣＦ）またはオーバーコート（ＯＣ）
上に透明酸化膜層を成膜（一般には、二酸化珪素：成膜
方法は高周波マグンネトロンスパッタ法）し、さらに透
明電極（ＩＴＯ）（一般的には酸化インジウム−酸化ス
ズ：成膜方法はＤＣマグネトロンスパッタ法）を形成し
た後に、ウェットエッチングを用いた配線の作製を行っ
ている。
【０００３】しかし、カラーフィルター上に直接透明電
極を形成すると、カラーフィルターの耐薬品性とカラー
フィルターと透明電極での密着性に乏しいために、ウェ
ットエッチング工程で界面からの剥離が生じて問題とな
る。
極を形成すると、カラーフィルターの耐薬品性とカラー
フィルターと透明電極での密着性に乏しいために、ウェ
ットエッチング工程で界面からの剥離が生じて問題とな
る。
【０００４】このため、従来はカラーフィルター上に透
明電極を形成する場合、カラーフィルターと透明電極の
間に他の薄膜（例えば二酸化珪素薄膜等の透明酸化薄
膜）を挟むことによりある程度の耐薬品性・密着性を持
たせている。
明電極を形成する場合、カラーフィルターと透明電極の
間に他の薄膜（例えば二酸化珪素薄膜等の透明酸化薄
膜）を挟むことによりある程度の耐薬品性・密着性を持
たせている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、二酸化珪素薄
膜を設ける方法では成膜工程が一段階増加することやＲ
Ｆスパッタリング法によって形成される二酸化珪素薄膜
の作製方法は成膜速度が遅いことが工業上不利な点とな
っている。また、二酸化珪素薄膜の成膜前のＲＦ−プラ
ズマによりカラーフィルターあるいは有機保護膜が物理
的・化学的に損傷を受けることから、後工程で電極板を
生産する場合の不安定さの主原因となっている。カラー
フィルターへのダメージなど問題点も多い。
膜を設ける方法では成膜工程が一段階増加することやＲ
Ｆスパッタリング法によって形成される二酸化珪素薄膜
の作製方法は成膜速度が遅いことが工業上不利な点とな
っている。また、二酸化珪素薄膜の成膜前のＲＦ−プラ
ズマによりカラーフィルターあるいは有機保護膜が物理
的・化学的に損傷を受けることから、後工程で電極板を
生産する場合の不安定さの主原因となっている。カラー
フィルターへのダメージなど問題点も多い。
【０００６】また従来からプラズマなどを用いた有機樹
脂表面の処理による耐薬品性・密着性の向上を目的とし
た発明も行われているが、プラズマの条件などの制御が
非常に難しく、適切な処理条件に合わせることが非常に
困難であった。
脂表面の処理による耐薬品性・密着性の向上を目的とし
た発明も行われているが、プラズマの条件などの制御が
非常に難しく、適切な処理条件に合わせることが非常に
困難であった。
【０００７】本発明の課題は、カラーフィルターあるい
は有機保護膜の物理的・化学的な損傷を防ぐカラー表示
装置用電極板の製造技術を確立することである。
は有機保護膜の物理的・化学的な損傷を防ぐカラー表示
装置用電極板の製造技術を確立することである。
【０００８】また、本発明の課題はカラー表示装置用電
極板の製造時のウェットエッチングによる透明導電膜形
成時にカラーフィルターあるいは有機保護膜を保護する
ことである。
極板の製造時のウェットエッチングによる透明導電膜形
成時にカラーフィルターあるいは有機保護膜を保護する
ことである。
【０００９】また、本発明の課題はカラーフィルターあ
るいは有機保護膜と無機導電薄膜との間に従来一般的に
用いられている二酸化珪素薄膜を用いないカラー表示装
置用電極板の製造技術を確立することである。
るいは有機保護膜と無機導電薄膜との間に従来一般的に
用いられている二酸化珪素薄膜を用いないカラー表示装
置用電極板の製造技術を確立することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は次の
構成によって達成される。すなわち、有機樹脂を材料と
するカラーフィルターと該カラーフィルター上に透明電
極を形成するカラー表示装置用電極板の製造方法におい
て、カラーフィルターに０．０１〜５００Ｗ・ｓｅｃ／
ｃｍ2の条件で酸素イオンまたはアルゴンイオンを照射
することによって、カラーフィルターに少なくとも部分
的に炭化層を形成して、その後、該カラーフィルター上
に透明電極を形成するカラー表示装置用電極板の製造方
法、または、有機樹脂を材料とするカラーフィルターと
該カラーフィルター上に有機保護膜を形成し、該有機保
護膜上に透明電極を形成するカラー表示装置用電極板の
製造方法において、有機保護膜に０．０１〜５００Ｗ・
ｓｅｃ／ｃｍ2の条件で酸素イオンまたはアルゴンイオ
ンを照射することによって、有機保護膜に少なくとも部
分的に炭化層を形成して、その後、該有機保護膜上に透
明電極を形成するカラー表示装置用電極板の製造方法で
ある。
構成によって達成される。すなわち、有機樹脂を材料と
するカラーフィルターと該カラーフィルター上に透明電
極を形成するカラー表示装置用電極板の製造方法におい
て、カラーフィルターに０．０１〜５００Ｗ・ｓｅｃ／
ｃｍ2の条件で酸素イオンまたはアルゴンイオンを照射
することによって、カラーフィルターに少なくとも部分
的に炭化層を形成して、その後、該カラーフィルター上
に透明電極を形成するカラー表示装置用電極板の製造方
法、または、有機樹脂を材料とするカラーフィルターと
該カラーフィルター上に有機保護膜を形成し、該有機保
護膜上に透明電極を形成するカラー表示装置用電極板の
製造方法において、有機保護膜に０．０１〜５００Ｗ・
ｓｅｃ／ｃｍ2の条件で酸素イオンまたはアルゴンイオ
ンを照射することによって、有機保護膜に少なくとも部
分的に炭化層を形成して、その後、該有機保護膜上に透
明電極を形成するカラー表示装置用電極板の製造方法で
ある。
【００１１】前記部分的炭化層では、炭化されている層
におけるＸ線光電子分光法によるカルボキシル基に基因
する信号（ＩCOO）に対するＣ−Ｃ結合に基因する信号
（ＩC-C）の比率（ＩC-C／ＩCOO）が、炭化されていな
い内部のそれよりも大きい。
におけるＸ線光電子分光法によるカルボキシル基に基因
する信号（ＩCOO）に対するＣ−Ｃ結合に基因する信号
（ＩC-C）の比率（ＩC-C／ＩCOO）が、炭化されていな
い内部のそれよりも大きい。
【００１２】本発明で言う部分的に炭化した層というの
は、必ずしも一様なものである必要はなく、要求される
水準以上の耐薬品性を持てば、炭化層は不均一な厚みの
ものでも良い。また、炭化層の厚みはある水準以上の耐
薬品性を満たせば良いが、極端に厚い場合は透過率が著
しく減少するために好ましくない。
は、必ずしも一様なものである必要はなく、要求される
水準以上の耐薬品性を持てば、炭化層は不均一な厚みの
ものでも良い。また、炭化層の厚みはある水準以上の耐
薬品性を満たせば良いが、極端に厚い場合は透過率が著
しく減少するために好ましくない。
【００１３】このような少なくとも部分的に炭化した層
を形成する方法には様々な手段がある。例えば透明電極
を成膜する直前にカラーフィルター材料である有機樹脂
層、または該有機樹脂層上に形成される有機樹脂からな
る透明な有機保護層をＤＣ−プラズマあるいはＲＦ−プ
ラズマに短時間曝す方法や、透明電極を成膜する直前に
前記カラーフィルター層または透明な有機保護層にイオ
ンを照射する方法がある。本発明においては、炭化層を
形成する条件の制御が容易に行えるイオン照射を用い
る。イオン照射をするときのガス種としては具体的に
は、酸素、酸素とアルゴンの混合ガス、アルゴンがあ
り、酸素が最も好ましい。加速電圧１００〜２０００
Ｖ、照射時間は３０〜２００秒、とりわけ４００〜１０
００Ｖ、３０〜６０秒の照射条件が好ましい。
を形成する方法には様々な手段がある。例えば透明電極
を成膜する直前にカラーフィルター材料である有機樹脂
層、または該有機樹脂層上に形成される有機樹脂からな
る透明な有機保護層をＤＣ−プラズマあるいはＲＦ−プ
ラズマに短時間曝す方法や、透明電極を成膜する直前に
前記カラーフィルター層または透明な有機保護層にイオ
ンを照射する方法がある。本発明においては、炭化層を
形成する条件の制御が容易に行えるイオン照射を用い
る。イオン照射をするときのガス種としては具体的に
は、酸素、酸素とアルゴンの混合ガス、アルゴンがあ
り、酸素が最も好ましい。加速電圧１００〜２０００
Ｖ、照射時間は３０〜２００秒、とりわけ４００〜１０
００Ｖ、３０〜６０秒の照射条件が好ましい。
【００１４】本発明に求められる炭化層の炭化の程度に
は所定の範囲があり、あまりにも炭化が進んだ場合には
カラーフィルターの生産工程での種々の処理に耐え得る
だけの隣接層との密着性が乏しくなる。
は所定の範囲があり、あまりにも炭化が進んだ場合には
カラーフィルターの生産工程での種々の処理に耐え得る
だけの隣接層との密着性が乏しくなる。
【００１５】本発明に用いることができるカラーフィル
ター（ＣＦ）は、一般的には顔料分散法や印刷法によっ
て形成されたゼラチン、カゼイン、グリューのいずれか
からなる天然高分子またはアクリル系の合成樹脂であ
り、有機保護膜（ＯＣ）がアクリル系、エポキシ系、ポ
リイミド系の少なくともいずれかの熱硬化樹脂または光
硬化樹脂が望ましい。この中でカラーフィルター（Ｃ
Ｆ）またはオーバーコート（ＯＣ）として、とりわけア
クリル系樹脂が望ましい。
ター（ＣＦ）は、一般的には顔料分散法や印刷法によっ
て形成されたゼラチン、カゼイン、グリューのいずれか
からなる天然高分子またはアクリル系の合成樹脂であ
り、有機保護膜（ＯＣ）がアクリル系、エポキシ系、ポ
リイミド系の少なくともいずれかの熱硬化樹脂または光
硬化樹脂が望ましい。この中でカラーフィルター（Ｃ
Ｆ）またはオーバーコート（ＯＣ）として、とりわけア
クリル系樹脂が望ましい。
【００１６】ＣＦまたはＯＣの成膜方法や着色方法に依
らず透明樹脂であればいかなる樹脂でもよい。さらに、
本発明において用いることができる透明導電膜として
は、ＩＴＯやスズ、アルミニウムをドーブした酸化亜
鉛、また電気抵抗の低い金、銀、銅などの貴金属をＩＴ
Ｏまたは酸化インジウムなどの透明導電酸化膜で挟んだ
膜を用いことも可能である。
らず透明樹脂であればいかなる樹脂でもよい。さらに、
本発明において用いることができる透明導電膜として
は、ＩＴＯやスズ、アルミニウムをドーブした酸化亜
鉛、また電気抵抗の低い金、銀、銅などの貴金属をＩＴ
Ｏまたは酸化インジウムなどの透明導電酸化膜で挟んだ
膜を用いことも可能である。
【００１７】本発明の製造方法で得られるカラー表示装
置用電極板は図１〜図２に示す断面を有する。また、本
発明の製造方法によって得られるカラー表示装置用電極
板においては、ＣＦと透明電極もしくはＯＣと透明電極
の間に少なくとも部分的に炭化された層が下地を保護す
るように働く。
置用電極板は図１〜図２に示す断面を有する。また、本
発明の製造方法によって得られるカラー表示装置用電極
板においては、ＣＦと透明電極もしくはＯＣと透明電極
の間に少なくとも部分的に炭化された層が下地を保護す
るように働く。
【００１８】酸素イオンまたはアルゴンイオンをカラー
フィルター（ＣＦ）そのものまたはカラーフィルター
（ＣＦ）上の有機保護層（ＯＣ）表面に照射することに
より、エッチング効果により表面の汚れが除去される。
さらに酸素イオンまたはアルゴンイオンの照射効果によ
ってＣＦそのものまたはＯＣ表面が少なくとも部分的に
炭化され、耐薬品性が向上し、その上に形成される透明
電極との密着性も良好となる。
フィルター（ＣＦ）そのものまたはカラーフィルター
（ＣＦ）上の有機保護層（ＯＣ）表面に照射することに
より、エッチング効果により表面の汚れが除去される。
さらに酸素イオンまたはアルゴンイオンの照射効果によ
ってＣＦそのものまたはＯＣ表面が少なくとも部分的に
炭化され、耐薬品性が向上し、その上に形成される透明
電極との密着性も良好となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を説明する。 実施例１ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付きガラス基板を形成した。ア
クリル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレー
トに硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、２０
０℃で１時間焼成した。上記の方法により作製した有機
保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測定したとこ
ろ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏと
する）は１．４７であった。検出されるＣｌｓ軌道の信
号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される信号（Ｉ
C-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）の比（Ｉ
C-C／ＩCOO）は４．９３であった。この有機保護膜付ガ
ラス基板の透過率を測定すると７８％であった。
成し、カラーフィルター付きガラス基板を形成した。ア
クリル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレー
トに硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、２０
０℃で１時間焼成した。上記の方法により作製した有機
保護膜の表面をＸ線光電子分光法により測定したとこ
ろ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏと
する）は１．４７であった。検出されるＣｌｓ軌道の信
号を解析した結果、Ｃ−Ｃ結合に規定される信号（Ｉ
C-C）とＣＯＯ結合に規定される信号（ＩCOO）の比（Ｉ
C-C／ＩCOO）は４．９３であった。この有機保護膜付ガ
ラス基板の透過率を測定すると７８％であった。
【００２０】上記の方法により有機保護膜を形成したガ
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
酸素イオンエネルギー密度２０．８０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ
2，イオンエネルギー１０００ｅＶ、イオン電流３．４
ｍＡで３０秒間照射した。その後基板を取り出し、Ｘ線
光電子分光法により有機保護膜表面を測定したところ、
Ｃ／Ｏは２．２１となり、酸素イオン照射前（１．４
７）と比較して大きくなった。検出されるＣｌｓ軌道の
信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは１９．７となり、
酸素イオン照射前（４．９３）と比較して大きくなっ
た。この有機保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると
７４％であった。
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
酸素イオンエネルギー密度２０．８０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ
2，イオンエネルギー１０００ｅＶ、イオン電流３．４
ｍＡで３０秒間照射した。その後基板を取り出し、Ｘ線
光電子分光法により有機保護膜表面を測定したところ、
Ｃ／Ｏは２．２１となり、酸素イオン照射前（１．４
７）と比較して大きくなった。検出されるＣｌｓ軌道の
信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは１９．７となり、
酸素イオン照射前（４．９３）と比較して大きくなっ
た。この有機保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると
７４％であった。
【００２１】前記事実を確認した後、同一の方法でカラ
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対して酸素イオン
エネルギー密度２０．８０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ2，酸素イ
オンエネルギー１０００ｅＶ、イオン電流３．４ｍＡで
３０秒間照射した。その後直ちにＤＣプラズマを用いた
スパッタ法により酸化インジウム酸化スズ透明導電膜
（以下ＩＴＯ）を形成した。この試料を真空槽から取り
出した後、４０℃の１０重量％水酸化カリウム水溶液中
に浸漬させたところ、６０分以上浸漬させてもＩＴＯの
剥離は全く発生しなかった。ＩＴＯが剥離しないこと
は、この膜が耐薬品性と密着性が共に優れていることに
よるものである。
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対して酸素イオン
エネルギー密度２０．８０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ2，酸素イ
オンエネルギー１０００ｅＶ、イオン電流３．４ｍＡで
３０秒間照射した。その後直ちにＤＣプラズマを用いた
スパッタ法により酸化インジウム酸化スズ透明導電膜
（以下ＩＴＯ）を形成した。この試料を真空槽から取り
出した後、４０℃の１０重量％水酸化カリウム水溶液中
に浸漬させたところ、６０分以上浸漬させてもＩＴＯの
剥離は全く発生しなかった。ＩＴＯが剥離しないこと
は、この膜が耐薬品性と密着性が共に優れていることに
よるものである。
【００２２】上記方法により形成した電極板に対して、
７０μｍライン／２０μｍスペースのフォトマスクを使
用してフォトレジスト（富士ハント社製ＷＡＹＣＯＡ
Ｔ）を塗布し、１ｗｔ％ＫＯＨ液で現像した、そのとき
塩酸および塩化鉄水溶液を用いての１０分間のウェット
エッチングおよびフォトレジスト剥離による７０μｍラ
イン／２０μｍスペースピッチの電極形成を施したとこ
ろ、所定の形状を持つ電極パターンを得ることができ
た。
７０μｍライン／２０μｍスペースのフォトマスクを使
用してフォトレジスト（富士ハント社製ＷＡＹＣＯＡ
Ｔ）を塗布し、１ｗｔ％ＫＯＨ液で現像した、そのとき
塩酸および塩化鉄水溶液を用いての１０分間のウェット
エッチングおよびフォトレジスト剥離による７０μｍラ
イン／２０μｍスペースピッチの電極形成を施したとこ
ろ、所定の形状を持つ電極パターンを得ることができ
た。
【００２３】耐薬品性テスト（耐アルカリテスト）：４
０℃−１０ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に６０分間以上浸漬して
目視により、剥離の有無を確認することで評価する。
０℃−１０ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に６０分間以上浸漬して
目視により、剥離の有無を確認することで評価する。
【００２４】密着性テスト（パターニングテスト）：Ｈ
Ｃｌ−ＦＣｌ3溶液による１０分間のエッチングによる
７０μｍライン／２０μｍスペースのパターン形成を行
い、所定のパターンが正確に形成されているかどうか確
認することで評価する。
Ｃｌ−ＦＣｌ3溶液による１０分間のエッチングによる
７０μｍライン／２０μｍスペースのパターン形成を行
い、所定のパターンが正確に形成されているかどうか確
認することで評価する。
【００２５】実施例２ 酸素イオンに代えてアルゴンイオンを用いる他は、実施
例１と同一の実験を行った。実施例１と同様に強アルカ
リ水溶液に６０分間以上浸漬しても、目視で剥離は認め
られず、耐薬品性に優れていることが確認できた。ま
た、ＨＣｌ−ＦｅＣｌ3水溶液で１０分間処理し、７０
μｍライン／２０μｍスペースのパターン形成したとこ
ろ、所定のピッチの電極パターンが形成されていて、密
着性も優れていることが確認できた。
例１と同一の実験を行った。実施例１と同様に強アルカ
リ水溶液に６０分間以上浸漬しても、目視で剥離は認め
られず、耐薬品性に優れていることが確認できた。ま
た、ＨＣｌ−ＦｅＣｌ3水溶液で１０分間処理し、７０
μｍライン／２０μｍスペースのパターン形成したとこ
ろ、所定のピッチの電極パターンが形成されていて、密
着性も優れていることが確認できた。
【００２６】比較例１ 酸素イオンによる照射を行わない他は、実施例１と同一
の方法で有機保護膜上にＩＴＯ膜を形成した。この比較
例のサンプルでは４０℃で１０ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１
０分間浸漬したところで目視で明らかに剥離が認めら
れ、耐薬品性に劣ることが分かった。同様にＨＣｌ−Ｆ
ｅＣｌ3溶液により実施例１、２と同一のパターニング
テストを実施したところ、多くの箇所てパターンのはが
れが生じており、密着性にも劣ることが分かった。
の方法で有機保護膜上にＩＴＯ膜を形成した。この比較
例のサンプルでは４０℃で１０ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１
０分間浸漬したところで目視で明らかに剥離が認めら
れ、耐薬品性に劣ることが分かった。同様にＨＣｌ−Ｆ
ｅＣｌ3溶液により実施例１、２と同一のパターニング
テストを実施したところ、多くの箇所てパターンのはが
れが生じており、密着性にも劣ることが分かった。
【００２７】実施例３ イオンを酸素イオンに限定して、イオン照射量を変え
て、実験を行った。この実験はイオンエネルギ、イオン
電流、照射時間を変え、イオン照射量を制御した。その
結果を表１に示す。
て、実験を行った。この実験はイオンエネルギ、イオン
電流、照射時間を変え、イオン照射量を制御した。その
結果を表１に示す。
【００２８】ここで耐薬品性に関する実施例１、２及び
比較例１と同じアルカリ浸漬テストにより６０分間以上
浸漬しても剥離が生じない場合を合格（○）とした。ま
た、密着性については実施例１、２及び比較例１と同じ
パターニングテストにより、７０μｍライン／２０μｍ
スペースの電極パターンが正確に形成されている場合を
合格（○）とした。
比較例１と同じアルカリ浸漬テストにより６０分間以上
浸漬しても剥離が生じない場合を合格（○）とした。ま
た、密着性については実施例１、２及び比較例１と同じ
パターニングテストにより、７０μｍライン／２０μｍ
スペースの電極パターンが正確に形成されている場合を
合格（○）とした。
【００２９】
【表１】
【００３０】実施例４ ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作製した。上記
の方法により作製したカラーフィルターの表面をＸ線光
電子分光法により測定したところ、検出された極表面の
炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏとする）は１．０２であっ
た。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解析した結果Ｃ−Ｃ
結合に規定される信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定さ
れる信号（ＩCOO）の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．
２２であった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると７８％であった。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作製した。上記
の方法により作製したカラーフィルターの表面をＸ線光
電子分光法により測定したところ、検出された極表面の
炭素量と酸素量の比（Ｃ／Ｏとする）は１．０２であっ
た。検出されるＣｌｓ軌道の信号を解析した結果Ｃ−Ｃ
結合に規定される信号（ＩC-C）とＣＯＯ結合に規定さ
れる信号（ＩCOO）の比（ＩC-C／ＩCOOとする）は４．
２２であった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると７８％であった。
【００３１】上記の方法によりゼラチン層を形成したガ
ラス基板を真空槽に導入し、その後ゼラチン層に対して
イオンエネルギー密度２０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ2、加速電
圧１０００Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射し
た。その後基板を取り出しＸ線光電子分光法によりゼラ
チン層表面を測定したところ、Ｃ／Ｏは２．３０とな
り、イオン照射前と比較して大きくなった。検出される
Ｃｌｓ軌道の信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは６．
３１となり、イオン照射前と比較して大きくなった。こ
のカラーフィルター付ガラス基板の透過率を測定すると
７４％であった。
ラス基板を真空槽に導入し、その後ゼラチン層に対して
イオンエネルギー密度２０Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ2、加速電
圧１０００Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射し
た。その後基板を取り出しＸ線光電子分光法によりゼラ
チン層表面を測定したところ、Ｃ／Ｏは２．３０とな
り、イオン照射前と比較して大きくなった。検出される
Ｃｌｓ軌道の信号を解析した結果、ＩC-C／ＩCOOは６．
３１となり、イオン照射前と比較して大きくなった。こ
のカラーフィルター付ガラス基板の透過率を測定すると
７４％であった。
【００３２】前記事実を確認した後、同一の方法でカラ
ーフィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し
た。その後カラーフィルターに対して加速電圧１０００
Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射した。その後直
ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを形
成。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃の１０
重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、６
０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生しなかっ
た。
ーフィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し
た。その後カラーフィルターに対して加速電圧１０００
Ｖの条件で酸素イオンを１００秒間照射した。その後直
ちにＤＣプラズマを用いたスパッタ法によりＩＴＯを形
成。この試料を真空槽から取り出した後、４０℃の１０
重量％水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、６
０分以上浸漬させてもＩＴＯの剥離は全く発生しなかっ
た。
【００３３】上記方法により形成した電極板に対して、
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン２０μｍスペースピッチ
の電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極が得
ることができた。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１０分間のウェットエ
ッチングによる７０μｍライン２０μｍスペースピッチ
の電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極が得
ることができた。
【００３４】実施例５ 前記実施例と同一の方法により、イオン照射の条件また
はカラーフィルターおよび有機保護膜を変えてイオン照
射ならびにＩＴＯ成膜、耐アルカリ性、パターニング性
の評価を表２に示したものである。
はカラーフィルターおよび有機保護膜を変えてイオン照
射ならびにＩＴＯ成膜、耐アルカリ性、パターニング性
の評価を表２に示したものである。
【００３５】
【表２】
【００３６】※耐アルカリ性評価は、４０℃の１０重量
％水酸化カリウム水溶液中に３０分間浸漬させ、剥離が
起こるかどうかで判断した。目視で全く剥離が認められ
ないものを（◎）、微小の膜浮き（ふくらみ）が認めら
れるものを合格（○）、膜が明らかに剥離しているもの
を不合格（△または×）と判定する。 ※パターニング性は塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１
０分間のウエットエッチングによる７０μｍライン／２
０μｍスペースピッチの電極形成を施した時のライン形
状から判断した。正確な電極パターンが形成されたもの
を（◎）、電極パターンの端部に微小なダレが認められ
る程度のものを合格（○）として、電極パターンがえぐ
られていたり、部分的に欠落しているものを不合格（△
または×）と判定する。
％水酸化カリウム水溶液中に３０分間浸漬させ、剥離が
起こるかどうかで判断した。目視で全く剥離が認められ
ないものを（◎）、微小の膜浮き（ふくらみ）が認めら
れるものを合格（○）、膜が明らかに剥離しているもの
を不合格（△または×）と判定する。 ※パターニング性は塩酸および塩化鉄水溶液を用いた１
０分間のウエットエッチングによる７０μｍライン／２
０μｍスペースピッチの電極形成を施した時のライン形
状から判断した。正確な電極パターンが形成されたもの
を（◎）、電極パターンの端部に微小なダレが認められ
る程度のものを合格（○）として、電極パターンがえぐ
られていたり、部分的に欠落しているものを不合格（△
または×）と判定する。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、炭化層の形成により有
機樹脂層の耐薬品性・密着性が向上したことによって、
従来必要とされた有機樹脂層と透明電極間の透明酸化薄
膜を用いることなく、カラー表示装置用電極板に必要な
ウェットエッチングによるパターン配線作製が可能とな
った。この照射による効果は酸素イオン又はアルゴンイ
オンの照射条件を変えることにより変化し、最適な照射
条件を選ぶことにより、正確な電極パターンを形成する
ことができる。そのために従来行われているプラズマ等
による表面処理に比べて格段に制御性に優れている。
機樹脂層の耐薬品性・密着性が向上したことによって、
従来必要とされた有機樹脂層と透明電極間の透明酸化薄
膜を用いることなく、カラー表示装置用電極板に必要な
ウェットエッチングによるパターン配線作製が可能とな
った。この照射による効果は酸素イオン又はアルゴンイ
オンの照射条件を変えることにより変化し、最適な照射
条件を選ぶことにより、正確な電極パターンを形成する
ことができる。そのために従来行われているプラズマ等
による表面処理に比べて格段に制御性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明によって得られるカラー表示装置用電
極板の一実施形態を示す断面図である。
極板の一実施形態を示す断面図である。
【図２】 本発明によって得られるカラー表示装置用電
極板の一実施形態を示す断面図である。
極板の一実施形態を示す断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中井 日出海 兵庫県伊丹市鴻池字街道下１番 日本板硝 子テクノリサーチ株式会社内 (72)発明者 山岡 智則 神奈川県相模原市西橋本五丁目８番１号 日本板硝子フアイン株式会社内 (72)発明者 井上 大輔 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内 (72)発明者 緒方 潔 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内 (72)発明者 三上 隆司 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内 (72)発明者 前川 晴夫 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内 (72)発明者 仲村 信之 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 有機樹脂を材料とするカラーフィルター
と該カラーフィルター上に透明電極を形成するカラー表
示装置用電極板の製造方法において、 カラーフィルターに０．０１〜５００Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ
2の条件で酸素イオンまたはアルゴンイオンを照射する
ことによって、カラーフィルターに少なくとも部分的に
炭化層を形成して、その後、該カラーフィルター上に透
明電極を形成することを特徴とするカラー表示装置用電
極板の製造方法。 - 【請求項２】 炭化されている層におけるＸ線光電子分
光法によるカルボキシル基に基因する信号（ＩCOO）に
対するＣ−Ｃ結合に基因する信号（ＩC-C）の比率（Ｉ
C-C／ＩCOO）が、炭化されていない内部のそれよりも大
きくしたことを特徴とする請求項１記載のカラー表示装
置用電極板の製造方法。 - 【請求項３】 カラーフィルターが、ゼラチン、カゼイ
ン、グリューのいずれかからなる天然高分子またはアク
リル系の合成樹脂であり、有機保護膜がアクリル系、エ
ポキシ系、ポリイミド系の少なくともいずれかの熱硬化
樹脂または光硬化樹脂であることを特徴とする請求項１
または２記載のカラー表示装置用電極板の製造方法。 - 【請求項４】 有機樹脂を材料とするカラーフィルター
と該カラーフィルター上に有機保護膜を形成し、有機保
護膜に少なくとも部分的に炭化層を形成して、該有機保
護膜上に透明電極を形成するカラー表示装置用電極板の
製造方法において、 有機保護膜に０．０１〜５００Ｗ・ｓｅｃ／ｃｍ2の条
件で酸素イオンまたはアルゴンイオンを照射し、その
後、該有機保護膜上に透明電極を形成することを特徴と
するカラー表示装置用電極板の製造方法。 - 【請求項５】 炭化されている層におけるＸ線光電子分
光法によるカルボキシル基に基因する信号（ＩCOO）に
対するＣ−Ｃ結合に基因する信号（ＩC-C）の比率（Ｉ
C-C／ＩCOO）が、炭化されていない内部のそれよりも大
きくしたことを特徴とする請求項４記載のカラー表示装
置用電極板の製造方法。 - 【請求項６】 カラーフィルターが、ゼラチン、カゼイ
ン、グリューのいずれかからなる天然高分子またはアク
リル系の合成樹脂であり、有機保護膜がアクリル系、エ
ポキシ系、ポリイミド系の少なくともいずれかの熱硬化
樹脂または光硬化樹脂であることを特徴とする請求項４
または５記載のカラー表示装置用電極板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16571896A JPH1010519A (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16571896A JPH1010519A (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1010519A true JPH1010519A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15817755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16571896A Pending JPH1010519A (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1010519A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002056282A1 (fr) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Electrode en plaque pour dispositif d'affichage couleur et son procede de production |
| JP2003307607A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Nitto Denko Corp | 異方性相分離構造体、当該異方性相分離構造体を用いたフィルム及び異方性相分離構造物、並びに前記フィルムを貼着した表示装置 |
-
1996
- 1996-06-26 JP JP16571896A patent/JPH1010519A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002056282A1 (fr) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Electrode en plaque pour dispositif d'affichage couleur et son procede de production |
| US6809850B2 (en) | 2001-01-12 | 2004-10-26 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Electrode plate for color display unit and production method therefor |
| KR100802862B1 (ko) | 2001-01-12 | 2008-02-12 | 닛본 이따 가라스 가부시끼가이샤 | 칼라 표시장치용 전극판과 그 제조방법 |
| JP2003307607A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Nitto Denko Corp | 異方性相分離構造体、当該異方性相分離構造体を用いたフィルム及び異方性相分離構造物、並びに前記フィルムを貼着した表示装置 |
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