JPH1010518A - カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 - Google Patents
カラー表示装置用電極板とカラー表示装置Info
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- JPH1010518A JPH1010518A JP16571796A JP16571796A JPH1010518A JP H1010518 A JPH1010518 A JP H1010518A JP 16571796 A JP16571796 A JP 16571796A JP 16571796 A JP16571796 A JP 16571796A JP H1010518 A JPH1010518 A JP H1010518A
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Abstract
的・化学的な損傷を防ぐこと。 【解決手段】 カラーフィルター上に透明導電膜が形成
されたカラー表示装置用電極板において、該カラーフィ
ルターと該透明導電膜の間に該カラーフィルターが部分
的に炭化された層を有するカラーフィルター表示装置用
電極板である。部分的に炭化した層を形成する方法には
様々な手段がある。例えば透明電極を成膜する直前にカ
ラーフィルター材料である有機樹脂層、または該有機樹
脂層に形成される有機樹脂からなる透明な有機保護層を
DC−プラズマあるいはRF−プラズマに短時間曝す方
法や、透明電極を成膜する直前に前記カラーフィルター
層または透明な有機保護層にイオンを照射する方法があ
る。
Description
に優れたカラー表示装置用電極板などに関する。
一般的にガラス基板上に有機樹脂を材料としたカラーフ
ィルターを形成し、その上から同じく有機樹脂を材料と
した有機保護膜を塗布した後、導電性を持つ無機透明電
極を形成する事によって製造されている。その透明電極
の配線は、一般的には一旦一様な透明導電膜を形成した
後、ウェットエッチングによって所望の配線の形状を得
ている。
グによる配線加工を行う場合、さまざまな薬品を用いる
ために、透明導電膜の下地であるカラーフィルターある
いは透明な有機保護膜が薬品によって侵され、侵食を受
けるという問題が発生する。また有機樹脂膜上に無機薄
膜を形成するために、所定の加工に耐え得るだけの密着
性を持たせることが非常に難しい。
いは有機保護膜と無機導電薄膜の間に他の薄膜(一般的
には二酸化珪素薄膜を用いる)を形成する事によって、
耐薬品性・密着性を向上させていた。しかし、二酸化珪
素薄膜はRFスパッタリング法によって形成されるが、
この方法は成膜速度が遅いことが工業上不利な点となっ
ている。また、二酸化珪素薄膜の成膜前のRF−プラズ
マによりカラーフィルターあるいは有機保護膜が物理的
・化学的に損傷を受けることから、後工程で電極板を生
産する場合の不安定さの主原因となっている。
は有機保護膜の物理的・化学的な損傷を防ぐことであ
る。
による透明導電膜形成時にカラーフィルターあるいは有
機保護膜を保護することである。
るいは有機保護膜無機導電薄膜の間に従来一般的に用い
られている二酸化珪素薄膜を用いないカラー表示用電極
板を得ることである。
構成によって達成される。すなわち、カラーフィルター
上に透明導電膜が形成されたカラー表示装置用電極板に
おいて、該カラーフィルターと該透明導電膜の間に該カ
ラーフィルターが少なくとも部分的に炭化された層を有
するカラーフィルター表示装置用電極板、または、カラ
ーフィルターおよびカラーフィルターを保護する目的で
形成されている有機保護膜上に透明導電膜が形成された
カラー表示装置用電極板において、該有機保護膜と該透
明導電膜の間に該有機保護膜が少なくとも部分的に炭化
された層を有するカラーフィルター表示装置用電極板で
ある。
電極板において、前記部分的炭化層では、炭化されてい
る層におけるX線光電子分光法によるカルボキシル基に
基因する信号(ICOO)に対するC−C結合に基因する
信号(IC-C)の比率(ICOO/IC-C)は、炭化されて
いない内部のそれよりも大きいことが炭化層形成を意味
する。
装置も含まれる。本発明で言う部分的に炭化した層とい
うのは、必ずしも一様なものである必要はなく、要求さ
れる水準以上の耐薬品性を持てば、炭化層は不均一な膜
厚のものでも良い。また、炭化層の厚みはある水準以上
の耐薬品性を満たせば良いが、極端に厚い場合は炭化層
によって透過率が著しく減少するために好ましくない。
を形成する方法には様々な手段がある。例えば透明電極
を成膜する直前にカラーフィルター材料である有機樹脂
層、または該有機樹脂層に形成される有機樹脂からなる
透明な有機保護層をDC−プラズマあるいはRF−プラ
ズマに短時間曝す方法や、透明電極を成膜する直前に前
記カラーフィルター層または透明な有機保護層にイオン
を照射する方法がある。本発明においては、炭化層を形
成する条件の制御が容易に行えるイオン照射が望まし
く、イオン照射をするときのガス種としては具体的に
は、酸素酸素とアルゴンの混合ガス、アルゴンがあり、
酸素が最も好ましい。加速電圧100〜2000V、照
射時間は30〜200秒、とりわけ400〜1000
V、30〜60秒の照射条件が好ましい。これらの条件
はイオンエネルギー密度で表示すると0.01〜500
W・sec/cm2とりわけ1〜50W・sec/cm2
が最適であることを意味する。
は所定の範囲があり、あまりにも炭化が進んだ場合には
カラーフィルターの生産工程での種々の処理に耐え得る
だけの隣接層との密着性が乏しくなる。
顔料分散法や印刷法によって形成されたゼラチン、カゼ
イン、グリュー等の天然高分子またはアクリル系の合成
樹脂を材料として形成されるが、成膜方法や着色方法に
依らず透明樹脂であればいかなる樹脂でもよい。
る透明導電膜としては、ITOやスズ、アルミニウムを
ドーブした酸化亜鉛、または電気抵抗の低い金、銀、銅
などの貴金属をITOまたは酸化インジウムなどの透明
導電酸化膜で挟んだ膜を用いることができる。
図2に示す断面を有する。また、本発明のカラー表示装
置用電極板においては、カラーフィルターと透明電極も
しくは有機保護膜と透明電極の間に少なくとも部分的に
炭化された層が下地を保護するように動く。
明する。 実施例1 ガラス基板上にゼラチンからなるカラーフィルターを形
成し、カラーフィルター付きガラス基板を形成した。ア
クリル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレー
トに硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、20
0℃で1時間焼成した。上記の方法により作成した有機
保護膜の表面をX線光電子分光法により測定したとこ
ろ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比(C/Oと
する)は1.47であった。検出されるCls軌道の信
号を解析した結果、C−C結合に規定される信号(I
C-C)とCOO結合に規定される信号(ICOO)の比(I
C-C/ICOO)は4.93であった。この有機保護膜付ガ
ラス基板の透過率を測定すると78%であった。
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
イオンエネルギー密度20W・sec/cm2,加速電圧1
000Vの条件で酸素イオンを100秒間照射した。そ
の後基板を取り出し、X線光電子分光法により有機保護
膜表面を測定したところ、C/Oは2.21となり、イ
オン照射前と比較して大きくなった。検出されるCls
軌道の信号を解析した結果、IC-C/ICOOは19.7と
なり、イオン照射前と比較して大きくなった。この有機
保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると74%であっ
た。
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度20W・sec/cm2、加速電圧1000Vの
条件で酸素イオンを100秒間照射した。その後直ちに
DCプラズマを用いたスパッタ法により酸化インジウム
酸化スズ透明導電膜(以下ITO)を形成した。この試
料を真空槽から取り出した後、40℃の10重量%水酸
化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、60分以上浸
漬させてもITOの剥離は全く発生しなかった。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた10分間のウェットエ
ッチングによる70μmライン/20μmスペースピッ
チの電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を
得ることができた。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、200℃で1時間焼成した。上記の方法により
作成した有機保護膜の表面をX線光電子分光法により測
定したところ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比
(C/Oとする)は1.47であった。検出されるCl
s軌道の信号を解析した結果、C−C結合に規定される
信号(IC-C)とCOO結合に規定される信号(ICOO)
の比(IC-C/ICOOとする)は4.93であった。この
有機保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると78%で
あった。
ラス基板を真空槽に導入し、その後有機保護膜に対して
イオンエネルギー密度20W・sec/cm2、加速電圧1
00Vの条件でアルゴンイオンを30秒間照射した。そ
の後基板を取り出し、X線光電子分光法により有機保護
膜表面を測定したところ、C/Oは2.95となり、イ
オン照射前と比較して大きくなった。検出されるCls
軌道の信号を解析した結果、IC-C/ICOOは22.3と
なり、イオン照射前と比較して大きくなった。この有機
保護膜付ガラス基板の透過率を測定すると73%であっ
た。
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度20W・sec/cm2、加速電圧100Vの条件
でアルゴンイオンを30秒間照射した。その後直ちにD
Cプラズマを用いたスパッタ法によりITOを形成し
た。この試料を真空槽から取り出した後、40℃の10
重量%水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたところ、6
0分以上浸漬させてもITOの剥離は全く発生しなかっ
た。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた10分間のウェットエ
ッチングによる70μmライン/20μmスペースピッ
チの電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を
得ることができた。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。上記
の方法により作成したカラーフィルターの表面をX線光
電子分光法により測定したところ、検出された極表面の
炭素量と酸素量の比(C/Oとする)は1.02であっ
た。検出されるCls軌道の信号を解析した結果C−C
結合に規定される信号(IC-C)とCOO結合に規定さ
れる信号(ICOO)の比(IC-C/ICOOとする)は4.
22であった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると78%であった。
フィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し、そ
の後ゼラチン層に対してイオンエネルギー密度20W・
sec/cm2、加速電圧1000Vの条件で酸素イオンを
100秒間照射した。その後基板を取り出しX線光電子
分光法によりゼラチン層表面を測定したところ、C/O
は2.30となり、イオン照射前と比較して大きくなっ
た。検出されるCls軌道の信号を解析した結果、I
C-C/ICOOは6.31となり、イオン照射前と比較して
大きくなった。このカラーフィルター付ガラス基板の透
過率を測定すると74%であった。
ーフィルターを形成したガラス基板を真空槽に導入し
た。その後カラーフィルターに対して加速電圧1000
Vの条件で酸素イオンを100秒間照射した。その後直
ちにDCプラズマを用いたスパッタ法によりITOを形
成した。この試料を真空槽から取り出した後、40℃の
10重量%水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、60分以上浸漬させてもITOの剥離は全く発生し
なかった。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた10分間のウェットエ
ッチングによる70μmライン20μmスペースピッチ
の電極形成を施したところ、所定の形状を持つ電極を得
ることができた。
はカラーフィルターおよび有機保護膜を変えてイオン照
射ならびにITO成膜、耐アルカリ性、パターニング性
の評価を表1に示したものである。
%水酸化カリウム水溶液中に30分間浸漬させ、剥離が
起こるかどうかで判断した。目視で全く剥離が認められ
ないものを(◎)、微小の膜浮き(ふくらみ)が認めら
れるものを合格(○)、膜が明らかに剥離しているもの
を不合格(△または×)と判定する。 ※パターニング性は塩酸および塩化鉄水溶液を用いた1
0分間のウエットエッチングによる70μmライン/2
0μmスペースピッチの電極形成を施した時のライン形
状から判断した。正確な電極パターンが形成されたもの
を(◎)、電極パターンの端部に微小なダレが認められ
る程度のものを合格(○)として、電極パターンがえぐ
られていたり、部分的に欠落しているものを不合格(△
または×)と判定する。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリジシルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、200℃で1時間焼成した。上記方法にて形成
した有機保護膜付ガラス基板を真空槽に導入し、その後
直ちにDCプラズマを用いたスパッタ法によりITO膜
を形成した。この試料を真空槽より取り出し、40℃の
10重量%水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、10分浸漬させたところでITOが剥離してしまっ
た。
酸および塩化鉄水溶液を用いた10分間のウェットエッ
チングによる70μmライン/20μmスペースピッチ
の電極形成を施したところ、ITO膜がウエットエッチ
ング中に剥離してしまった。
成し、カラーフィルター付ガラス基板を作成した。アク
リル系の有機樹脂であるポリグリシジルメタクリレート
に硬化剤として無水トリメティック酸を添加し、スピン
コート法により上記カラーフィルター付ガラス基板上に
塗布し、200℃で1時間焼成した。上記の方法により
作成した有機保護膜の表面をX線光電子分光法により測
定したところ、検出された極表面の炭素量と酸素量の比
(C/Oとする)は1.47であった。検出されるCl
s軌道の信号を解析した結果、C−C結合に規定される
信号(IC-C)とCOO結合に規定される信号(ICOO)
の比(IC-C/ICOOとする)は4.93であった。
入し、その後有機保護膜に対してイオンエネルギー密度
500W・sec/cm2、加速電圧1000Vの条件でア
ルゴンイオンを100秒間照射した。その後基板を取り
出し、X線光電子分光法により有機保護膜表面を測定し
たところ、C/Oは6.88となり、イオン照射前と比
較して大きくなった。検出されるCls軌道の信号を解
析した結果、IC-C/ICOOは46.3となり、イオン照
射前と比較して大きくなった。この有機保護膜付ガラス
基板の透過率を測定すると52%であった。透過率が2
0%以上低下し、明らかな着色が認められた。
ーフィルター上に有機保護膜を形成したガラス基板を真
空槽に導入した。その後有機保護膜に対してイオンエネ
ルギー密度500W・sec/cm2、加速電圧1000V
の条件でアルゴンイオンを100秒間照射した。その後
直ちにDCプラズマを用いたスパッタ法によりITOを
形成した。この試料を真空槽から取り出した後、40℃
の10重量%水酸化カリウム水溶液中に浸漬させたとこ
ろ、60分以上浸漬させてもITOの剥離は全く発生し
なかった。
塩酸および塩化鉄水溶液を用いた10分間のウェットエ
ッチングによる70μmライン/20μmスペースピッ
チの電極形成を施したところ、ITO膜がウェットエッ
チング中に剥離してしまった。
化された表面を持つカラーフィルターまたは有機保護膜
を持つカラー表示装置用電極板を用いることにより、従
来必要とされた透明無機薄膜を形成することなく、後工
程で必要となる耐薬品性・密着性を飛躍的に向上させる
ことが可能となる。所定のパターンの透明電極膜の加工
が容易となるため、カラー表示装置の生産に好適なカラ
ー表示装置用電極板となる。
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 カラーフィルター上に透明導電膜が形成
されたカラー表示装置用電極板において、該カラーフィ
ルターと該透明導電膜の間に該カラーフィルターが少な
くとも部分的に炭化された層を有することを特徴とする
カラーフィルター表示装置用電極板。 - 【請求項2】 炭化された層におけるX線光電子分光法
によるカルボキシル基に基因する信号(ICOO)に対す
るC−C結合に基因する信号(IC-C)の比率(ICOO/
IC-C)を、炭化されていない内部のそれよりも大きく
したことを特徴とする請求項1記載のカラーフィルター
表示装置用電極板。 - 【請求項3】 炭化された層は、酸素イオンまたはアル
ゴンイオンを含むガスイオンをカラーフィルターに衝突
させて形成したことを特徴とする請求項2記載のカラー
フィルター表示装置用電極板。 - 【請求項4】 カラーフィルターおよびカラーフィルタ
ーを保護する目的で形成されている有機保護膜上に透明
導電膜が形成されたカラー表示装置用電極板において、
該有機保護膜と該透明導電膜の間に該有機保護膜が少な
くとも部分的に炭化された層を有することを特徴とする
カラーフィルター表示装置用電極板。 - 【請求項5】 炭化されている層におけるX線光電子分
光法によるカルボキシル基に基因する信号(ICOO)に
対するC−C結合に基因する信号(IC-C)の比率(I
COO/IC-C)を、炭化されていない内部のそれよりも大
きくしたことを特徴とする請求項4記載のカラーフィル
ター表示装置用電極板。 - 【請求項6】 炭化された層は、酸素イオンまたはアル
ゴンイオンを含むガスイオンを有機保護膜に衝突させて
形成したことを特徴とする請求項5記載のカラーフィル
ター表示装置用電極板。 - 【請求項7】 カラーフィルターが、ゼラチン、カゼイ
ン、グリューのいずれかからなる天然高分子またはアク
リル系の合成樹脂であり、有機保護膜がアクリル系、エ
ポキシ系、ポリイミド系の合成樹脂であることを特徴と
する請求項1ないし6のいずれかに記載のカラー表示装
置用電極板。 - 【請求項8】 請求項1ないし7のいずれかに記載のカ
ラー表示装置用電極板を用いることを特徴とするカラー
表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16571796A JP3126919B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16571796A JP3126919B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1010518A true JPH1010518A (ja) | 1998-01-16 |
JP3126919B2 JP3126919B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=15817734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16571796A Expired - Fee Related JP3126919B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | カラー表示装置用電極板とカラー表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3126919B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002056282A1 (fr) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Electrode en plaque pour dispositif d'affichage couleur et son procede de production |
US6818328B2 (en) | 2003-02-20 | 2004-11-16 | Fuji Electric Co., Ltd. | Color conversion filter substrate, color conversion type multicolor organic EL display having the color conversion filter substrate, and methods of manufacturing these |
KR100880778B1 (ko) * | 2001-07-10 | 2009-02-02 | 니혼 이타가라스 가부시키가이샤 | Ito 피막 부착 기판 및 그 제조방법 |
US7579768B2 (en) | 2004-10-19 | 2009-08-25 | Fuji Electric Holdings Co., Ltd. | Organic electroluminescent device with improved moisture protection |
-
1996
- 1996-06-26 JP JP16571796A patent/JP3126919B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2002056282A1 (fr) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Electrode en plaque pour dispositif d'affichage couleur et son procede de production |
US6809850B2 (en) | 2001-01-12 | 2004-10-26 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Electrode plate for color display unit and production method therefor |
KR100802862B1 (ko) | 2001-01-12 | 2008-02-12 | 닛본 이따 가라스 가부시끼가이샤 | 칼라 표시장치용 전극판과 그 제조방법 |
KR100880778B1 (ko) * | 2001-07-10 | 2009-02-02 | 니혼 이타가라스 가부시키가이샤 | Ito 피막 부착 기판 및 그 제조방법 |
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US7579768B2 (en) | 2004-10-19 | 2009-08-25 | Fuji Electric Holdings Co., Ltd. | Organic electroluminescent device with improved moisture protection |
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---|---|
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