TW565622B - Low thermal expansion alloy sheet and method for manufacturing the same - Google Patents

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Description

565622 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於使用於布朗管之蔭罩(S h a d 〇 W 等之F e - N i系低熱膨脹合金薄板及其製造方法。 【先前技術】 布朗管之蔭罩,係對素材的合金薄板,進行蝕 以穿孔作成用以使電子束通過的孔,並進行衝壓 以使成形容易,依布朗管的形狀進行成形而製作 行組裝到布朗管中。 向來,作爲布朗管的蔭罩的素材,習知者爲F e 合金薄板。此合金,由於熱膨脹係數較軟鋼低, 於發生拱起(d 〇 m i n g )(亦即,經由電子束而加熱 脹所產生的蔭罩的變形)、致通過蔭罩的孔之電 打到螢光面的既定位置而產生色偏移之現象。實 本發明者等,經確認得知:F e - N i系合金薄板於2 °C之平均熱膨脹係數只要是 1 . 2 X 1 0 _ 6 / T:以下 易發生拱起的情形,再者,若爲◦ . 9 X 1 0 _ 6厂C 則幾乎不會發生拱起的情形。 然而,習知的F e - N i系合金薄板,因於布朗管 時的振動等之衝擊而容易發生蔭罩面的凹陷與其 遮蔽性不充分所導致之電子束的偏移等之顏色偏 題。因此,衝壓前軟化退火後之耐衝擊性的改善 性的提高受到殷切的企求。 又,本發明者預先就衝壓前軟化退火後的耐衝 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 mask) 刻加工 前退火 後,再 -N i系 不易因 、熱膨 子束未 際上, :0 ~ 1 0 0 ,則不 以下, 移送之 因於磁 差的問 與磁特 極性與 565622 磁特性加以檢討之下,得知:衝壓前軟化退火後的 耐力若爲2 7 Ο Μ P a以上,於蔭罩成形後的衝擊試驗 陷的發生率會格外地小,以及 0 · 2 %耐力若 3 2 ◦ Μ P a,貝U蔭罩的成形本身會變得困難。又,最大 係數只要爲8 G 0 Q以上,則蝕刻加工後的磁遮蔽性 中之侵入磁束會格外地小。
爲了謀求耐衝擊性的改善(強度的改善),於日本 第3150831號公報中,揭示出對Fe-Ni系合金添j 使楊氏係數提高之低熱膨脹合金薄板。具體而言, ^ W C: 0.003 〜0.02% 、 N : 0 . 0 1 % T
Si: 0.01 〜2.0% 、 Μη:0.01 〜3.0% 、 Ni:25 〜45 C r : 1 . 0 % T 、 Nb:0.01 〜 1.0%、 B:0.01% 以 S : 0 . 0 1 %以下,其餘爲 F e及不可避免的雜質所構 且爲(C + N)S -〇.008Nb + 0.023之Fe-Ni系合金薄 另一方面,爲了提高磁特性,於日本專利特 1 0 - 1 9 9 7 1 9號公報中,揭示出將 N減低並添加 F e - N i系合金薄板。其詳細係爲:將N定爲5 0 p p m t 並以使B成爲5〜50ppm的範圍內、使B [原子%]/ 子% ]成爲〇 . 8以上的方式添加B,如此作成的3 0 ~ 8 ! 的F e - N i系合金薄板。該公報中指出,此合金薄板 使A1作成爲40Qppm以下、使0作成爲50ppm以 則可得到優異的磁特性,且C r、Μ η、C u、S i等之 於磁特性的改善上是有效的。 然而,日本專利第3 1 5 0 8 3 1號公報中所記述的合 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 0.2% 中凹 超過 透磁 試驗 專利 扣Nb 係由 % 、 下、 成, ί板。 開平 Β之 乂下, Ν [原 5 % N i ,若 下, 添加 金薄 565622 板,雖因於高楊氏係數而可提高蔭罩的剛性,卻無法得 到安定的高透磁係數,於蔭罩的磁遮蔽性並不充分。又, 熱膨脹係數爲1 · 5 1 ~ 2 · 3 2 X 1 ◦ _ 6 / °C,無法充分抑制拱 起的情形。 又,如日本專利第3 1 5.Q 8 3 1號公報所記述般的Nb添 加型的F e - N i合金,由於再結晶及其後的結晶粒生長不 易進行,故以使用此種合金的薄板用於蔭罩的情況,必 須進行8 5 0 °C以上的衝壓前退火。然而,就製造成本的 觀點考量,以在未滿8 5 0 °C的溫度域亦可軟質化的材料 爲佳。 日本專利特開平 1 0 - 1 9 9 7 1 9號公報中記述的合金薄 板,其N i的成分範圍寬廣,而無法安定地得到符合所 要目的低熱膨脹係數。 【發明內容】 本發明之目的在於提供:可得到充分低的熱膨脹係數 且在8 5 (TC未滿的溫度下進行衝壓前軟化退火,於蔭罩 成形後可得到優異的耐衝擊性與磁特性之 F e - N i系的 低熱膨脹合金薄板及其製造方法。 此目的,可藉由實質上以質量%計爲 N i : 3 5 ~ 3 7 %、 C : 0 . 0 2 % Τ Λ Si:0.3%以下、Μη:0·6%以下、Ρ : Ο . Ο 1 % 以下、S:0.005%1^T 、 N :0.01% 以下 > A 1 : Ο . 1 % ]^ T 、 Cr:0.〇8%以下、Nb:0.05〜1%、V:0.01〜1%、及其餘部 分爲Fe所構成,且(Nb + V)S 1.0%的低熱膨脹合金薄板 來達成。 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 此等低熱膨脹合金薄板,可藉由具有下述步驟之低熱 膨脹合金薄板的製造方法而實現。所述步驟爲··對具有 上述成分之熱軋製板至少反覆進行1次以上之冷軋製與 再結晶退火的步驟,與於最終再結晶退火之後,再以1 5 % 以上的冷軋延率進行最終冷軋製的步驟;與於最終冷軋 製後,於8 0 0 °C以下進行去除變形退火之步驟。 【實施方式】 本發明者等,就F e _ N i系合金薄板的衝壓前軟化退火 後的耐衝擊性與磁特性及衝壓前軟化退火時的軟化特性 做了檢討。其結果得知:經由Nb與V之複合添加可改 善耐衝擊性與磁特性,進而,經由添加B與S b可改善 磁特性,蔭罩成形後的衝擊試驗之凹陷的發生率相當依 存於衝壓前軟化退火後之 Q . 2 %耐力等。茲就其其詳細 情形說明如下: (1 ·成分) N i : N i爲欲得到低熱膨脹特性之必要的元素。若未滿 3 5 %或超過3 7 %則熱膨脹係數無法充分的低,故將N i定 爲 3 5〜3 7 % ° c :由於 C會使蝕刻性與低熱膨脹性變差,故定爲 0.02%以下,而以0.005%以下爲佳,尤以0.003%未滿 更佳。 S i :由於 S i會使低熱膨脹性與蔭罩的黑化處理性變 差,故定爲Q · 3 %以下,而以0 . 0 9 %以下更佳。 Μ η :由於Μ η會使低熱膨脹性變差,故定爲0 · 6 %以下, 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 而以Ο . 1 %以下爲佳。又,由於Μ η爲合金的脫氧與熱加 工性方面之有效元素,故以Q . Q 1 %以上爲佳。 Ρ :由於Ρ會使蝕刻性變差,故定爲〇 .◦ 1 %以下。 S :由於S作爲硫化物析出會使合金的熱加工性變差, 故定爲0.005%以下。 Ν:Ν若與Al、Nb、V等元素一起含有,則會作爲氮化 物析出使而使蝕刻性變差,並且使合金的熱加工性變 差,故定爲Q.Q1%以下。 A 1 : A 1作爲氮化物、氧化物等之析出物而析出會使磁 特性與低熱膨脹性變差,並使合金的熱加工性變差,故 定爲0.1%以下,而以0.04%以下爲佳。又,A1由於在 熔製時具有減低合金中的介在物的效果,故以定爲 0.005%以上爲佳。 C r : C r作爲碳化物、氮化物析出會使磁特性變差,故 定爲Q . Q 8 %以下。又,C r亦會使低熱膨脹性變差,故以 儘可能降低爲佳。
Nb:Nb爲本發明中最重要的元素,與次要的V作複合 添加,則可改善衝壓前軟化退火後的耐衝擊性與磁特 性。爲此目的,N b必須爲Q · Q 5 %以上,惟,多量的添加 會使低熱膨脹性變差,故定爲1 %以下,而以◦ . 6 %以下 爲佳。 V :如上述般,與N b作複合添加可改善衝壓前軟化退 火後的耐衝擊性與磁特性。因此,V必須有0 . 0 1 %,惟, 多量的添加,會使低熱膨脹性變差,故定爲1 %以下,而 10 312/發明說明書(補件)/92·06/92106480 565622 以0.6%以下爲佳。 再者,Nb及V若多量複合添加,則衝壓前軟 的0 · 2 %耐力會超過3 2 0 Μ P a致衝壓成形困難, 必須定爲1 · 〇 %以下,而以◦· 6 %以下爲佳。 又,其餘部分實質上爲F e。亦即,在不妨礙 效果的範圍內亦可含有其他的元素。 如此般,藉由實質上由N i : 3 5〜3 7 %、C :〇. Si:0.3% 以 、Mn:〇.6%J^T* 、 P:〇.〇l%j^~F 、 ί 以下、Ν : 0 . 0 1 % Τ 、 A 1 : 0 . 1 % Τ 、 C r : 0 . I Nb:〇.05 〜1%、 V:0.01 〜1%、 & # 倉余音F € 且(N b + V ) ^ 1 · 0 %,可得到不易發生拱起的情 X 1 〇 〃/ °C以下的熱膨脹係數。再者,藉 C:0.005%]^ T 、 Si:0.09%]^ Τ 、 Μη : 0 . 0 : A1 :0.005 〜0.04%、 Nb:〇.〇5 〜0.6%、 V : 0 . 0 且(Nb + V)^0.6%,可得到幾乎不會發生拱起 0 · 9 X 1 0 — 6 / t以下的熱膨脹係數。 於上述的成分中,進一步使其含有具有使結 化之作用的 B與 S b中之至少 1種,於 B 0 · 0 0 ◦ 5 %以上,於S b的情況爲0 · 0 0 1 5 %以上 壓前軟化退火後可得到更大的最大透磁係數。 了不使蔭罩的黑化處理性變差,必須將B定焉 以下,將 Sb定爲 0.010%以下,且將(2B- 0.〇〇1 〜0.010%〇 (2 ·製法) 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 :化退火後 故(Nb+V) ;本發明之 〇2 %以下、 3:0.0 0 5 % 〇 8 %以下、 ;所構成, 形之 1 . 2 由作成爲 L〜〇.1 % 、 1 〜0 . 6 %, 的情形之 晶粒均一 的情況爲 ,則於衝 此時,爲 ^ 0.0 0 3 % f Sb )定爲 11 565622 本發明之低熱膨脹合金薄板,可藉由具有下述步驟 之製造方法來製造。所述步驟爲:對具有上述成分之熱 軋製板至少反覆進行1次以上之冷軋製與再結晶退火的 步驟,與於最終再結晶退火之後,再以i 5 %以上的冷乳 延率進行最終冷軋製的步驟;與於最終冷軋製後,於8 〇 〇 °C以下進行去除變形退火之步驟。將最終的冷軋製的冷 軋延率定爲1 5 %以上,將去除變形退火的溫度定爲8 0 〇 °C以下的理由在於:在再結晶及晶粒生長不易進行的N b 添加型的F e - N i系合金中,於衝壓前軟化退火中,不須 施行8 5 Q °C以上的高溫退火即可使其軟化之故。 彙整上述者’本發明之低熱膨脹合金薄板的製造方法 的流程成爲:「熱軋製板+ (冷軋製+再結晶退火)X η ( η -1 ) +最終冷軋製·>去除變形退火」。 熱軋製板,係將上述成分的合金進行熔製,經由造塊 法或連續鑄造法作成爲厚板之後,加熱至9 0 0 °C以上進 行熱軋製而可製造。於造塊法中,對鑄造鋼錠於必要時 在 1 Q Q 0 °C以上施行均質化熱處理後,進行分塊軋製, 作成爲厚板。又,於連續鑄造法所製造的厚板,於必要 時可在 1 〇 〇 〇 °C以上施行均質化熱處理後進行熱軋製。 熱軋製,可在例如8 5 0〜9 5 0 °C的終軋溫度、6 5 0〜8 0 0 °C 的捲繞溫度下進行。 又,如此製造成的熱軋製板,於經由酸洗或硏磨將表 面的積垢除去後,如上述般反覆進行至少1次的冷軋製 與再結晶退火後,可作成板厚〇 . 〇 5〜0 . 5 in TT1程度的薄板。 12 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 (實施例1 ) 將表1所示之成分的鋼A〜r以電爐熔製,造塊後,進 行 1 2 0 0 °C以上的均熱處理,施行分塊軋製作成厚板。 鋼A〜G皆爲本發明例,爲N b、V、B、S b等的成分經適 當地調整的鋼。此中,鋼A〜C及E爲N b - V添加鋼,鋼 D爲N b - V - B添加鋼,鋼F爲N b - V - S b添加鋼、鋼G爲 N b - V - B - S b添加鋼。另一方面,鋼p〜r皆爲比較例, 於鋼p中未添加有N b、V的任一者,於鋼q中雖添加有 N b卻未添加V,於鋼r中雖添加有N b與V惟(N b + V ) 的量係超過1 . 〇 %。 然後,將厚板之表面全體進行硏磨後,加熱至 1 ◦ 0 0 °C以上,於終軋溫度 8 5 0〜9 5 0 °C、捲繞溫度 6 5 0〜8 0 0 °C下進行熱軋製,作成熱軋製捲片(c 〇 i 1 )。然後,將熱 軋製捲片酸洗除去表面的積垢後,反覆進行2次冷軋延 率 2〇〜8〇%的冷軋製與 7 5〇〜1 1〇0 °C的再結晶退火,之 後’以冷乳延率2 ◦〜25%進f了最終冷乳製’於7QQ〜800 °C下施行去除變形退火,製作成板厚Q . 1 2 mm的薄板。 自此薄板捲片的寬方向中央部採取J I S 5號拉伸試驗 片、磁特性評價用環狀試驗片、熱膨脹係數測定用試驗 片,作爲相當於衝壓前軟化退火之熱處理,係於A r環 境中進行800〜900 °C X15分鐘之均熱的熱處理,再進 行作爲蔭罩的耐衝擊性、磁特性、熱膨脹係數之評價。 拉伸試驗,係依據J I S Z 2 2 4 1之拉伸試驗方法進行, 求出〇 · 2 %耐力。 13 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 磁特性評價,係依據j I s C 2 5 3 1進行,求出施加磁 場1 0 0 e時的最大透磁係數。 熱膨脹係數測定,係用光干涉式熱膨脹測定裝置施 行,求出2 Q ~ 1 Q Q °C下的平均熱膨脹係數。 結果示如表2。 又,圖1顯示衝壓前軟化退火後之〇 . 2 %耐力與最大 透磁係數的關係。於此圖中,於同一的鋼顯示有3個結 果,其爲由左起依序對應著衝壓前軟化退火溫度9 Q 0、 8 5〇、8 0〇°C的結果。 由圖1,於本發明例之鋼A ~ G,得到2 7 0〜3 2 Ο Μ P a的 〇 . 2 %耐力與8 Q Q 0以上的最大透磁係數。而且,此等的 鋼,亦可滿足就強度-磁特性的均衡的觀點上之較佳的 關 /[系之 0.2%PS + 6(//max/l000)$340。 由表 2,於鋼A〜G,可得到 1 · 2 X 1 0 · 6 / t:以下之低 的熱膨脹係數,尤其是於Μη、Nb、V等較低的鋼A及 E〜G,可得到 〇 . 9 X ;L 〇 _ 6 / °C以下之低的熱膨脹係數。 又,於N b、V之外亦添加B或S b的鋼D、F、G,則可 得到更大的最大透磁係數。 另一方面,於比較例之未添加Nb、V的鋼p,其強度 與磁特性的均衡差,於任一的退火溫度中,〇 . 2 %耐力均 未達到作爲目標値之2 7 Ο Μ P a。於僅添加N b的鋼q中, 與鋼P相比,強度-磁特性的均衡雖得到改善,惟,除 了 9 Q ◦ °C退火以外,最大透磁係數皆未達到8 Q Q Q以上。 又,於(Nb + V)超過1.0%的鋼r,0.2%耐力,除了 900 14 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 °C退火以外,皆未能成爲3 2 Ο Μ P a以下。於鋼q及r, 經由 900°C退火,可得到 27 0〜320MPa的 0.2%耐力與 8 0 0 ◦以上的最大透磁係數,惟,9 Q 0 °C退火,作爲衝壓 前軟化退火,於通常實行的溫度範圍之中是較高的,會 導致製造成本的顯著增高。
312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 15 565622 寒誃餾 _ (%_») 91 qs
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V α ο ^画爝器餾:<R§g骧«另 08S01(Ν6/90-(Ν6/(φ}®)_^^κ餾/31ro 565622 鋼 衝壓前軟化 退火溫度 (°C ) 0.2% 耐力 (MPa) 最大透磁 係數 (X1000) 平均熱膨脹 係數 (X10-6/ t;) 備註 A 800 300 8 . 9 - 發明例 850 295 9.5 0 . 8 900 290 11 . 0 0.9 B 800 318 8.2 - 發明例 850 314 8.7 1.1 900 308 10.4 1.2 C 800 284 9.8 - 發明例 850 281 10 . 3 1.2 900 2 75 11.5 1.1 D 800 284 11.8 - 發明例 850 219 13.3 1 . 0 900 274 14 . 4 1 . 1 E 800 304 9.8 - 發明例 850 298 10.9 0.9 900 292 11 . 6 0.9 F 800 305 10.4 - 發明例 850 300 11.5 0 . 9 900 295 12 . 0 0 . 9 G 800 304 11.8 - 發明例 850 299 . 12 . 3 0 . 9 900 294 12.9 0.9 P 800 26 7 8 . 3 - 比較例 850 264 9.8 1.1 900 259 11.9 1 . 0 q 800 301 6.2 - 比較例 850 294 7 . 8 0 . 9 900 289 8 . 9 0 . 9 r 800 327 8 . 6 - 比較例 850 321 9 . 8 0 . 9 900 314 11 . 5 0 . 9 加底線部分:目標範圍外 17 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 (實施例2 ) 使用表1中所示的鋼A及p的鑄造鋼錠,以與實施例1 同樣的方法製造成板厚〇 . 1 2 mm的薄板。此時,如表3所 示般,係將最終冷軋製的冷軋延率與去除變形退火的溫 度,於鋼A係作成爲5組,於鋼p係作成爲3組而變化。 並對此薄板,進行與實施例1的場合之同樣的試驗。又, 衝壓前軟化退火,係在A r環境下7 5 0〜9 0 Q °C X 1 5分鐘 之均熱的條件下進行。 結果示如表3。 又,圖2係顯示衝壓前軟化退火溫度與0 . 2 %耐力的關 係。 鋼HA - 3,係將去除變形退火的溫度作成爲7 5 Q °C, 改變最終冷軋製的冷軋延率而進行製造。於任一者的情 況,隨著衝壓前軟化退火溫度的上昇,〇 . 2 %耐力大幅降低 成爲 32 0 MPa以下。0.2%耐力爲 320MPa以下的退火溫 度,於本發明例的鋼A - 3爲8 0 0 °C,相對於此,比較例的 鋼A - 2爲8 5 0 °C,鋼A - 1則爲9 0 0 °C。由於通常衝壓前軟 化退火係於8 0 0 °C左右進行,故鋼A - 3與最終冷軋製的冷 軋延率爲未滿1 5 %的鋼A - 1及A - 2相比,具有良好的軟化 特性。 鋼A - 3 ~ A - 5,係將最終冷軋製的冷軋延率作成爲2 5 %, 改變去除變形退火溫度而進行製造。〇 . 2 %耐力爲3 2 0 Μ P a 以下的退火溫度,於本發明例的鋼A - 3及A - 4爲8 Q Q °C , 相對於此,比較例的鋼A - 5爲8 5 0 °C。因而,鋼A - 3及 18 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 A - 4,與鋼A - 5相比,具有良好的軟化特性。 由上述的結果可知:於添加有Nb的情況,爲了確保衝 壓前軟化退火中的軟化特性,必須將最終冷軋製的冷軋延 率及去除變形退火的溫度控制於特定範圍中。 另一方面,於未添加N b的比較例的鋼p - 1及p - 5,於 去除變形退火溫度 8 0 0 °C以上,〇 · 2 %耐力成爲未滿 2 7 Ο Μ P a,偏離於較佳的範圍之 2 7 0〜3 2 Ο Μ P a 之外。又, 於鋼P - 3,於衝壓前軟化退火溫度7 5 0 °C下,〇 · 2 %耐力雖 成爲2 7 8 Μ P a,惟,施行與實施例1同樣的試驗進行磁特 性的評價之下,最大透磁係數並未達8 0 0 0。 19 312/發明說明書(補件)/92·06/92106480 565622 表3 鋼 最終冷軋製 的冷軋延率 (%) 去除變形退火 的溫度 (°C ) 衝壓前軟化 退火溫度 (°C ) 〇 ·2%耐力 (MPa) 備註 A-1 1_ 750 7 50 430 比較例 800 408 850 3 79 900 271 A-2 14 750 750 434 比較例 800 399 850 284 900 279 A-3 25 750 750 468 發明例 800 3 00 850 295 900 290 A-4 25 800 750 452 發明例 800 294 850 288 900 281 A-5 25 850 750 443 比較例 800 387 850 279 900 273 p-1 1_ 750 750 335 比較例 800 265 850 263 900 257 P-3 25 750 7 50 278 比較例 800 267 850 264 900 259 p-5 25 850 750 322 比較例 800 262 850 260 900 255 加底線部分:發明(目標)範圍外 20 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 【圖式簡單說明】 圖1爲顯示衝壓前軟化退火後的〇 · 2 %耐力(0 . 2 % P S )與 最大透磁係數(// m a X )的關係之圖。 圖2爲顯示衝壓前軟化退火溫度與0.2%耐力(0.2%PS) 的關係之圖。 21 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480

Claims (1)

  1. 565622
    [T、申請專利範圍 1 · 一種低熱膨脹合金薄板,其特徵在於,係由實質上以 質量%計爲以土:35~37%、(::0.02%以下、3:1:0.3%以下、 Mn:〇.6%]^_F 、 Ρ:〇·〇1%]^Τ* 、 S:0.005%I^T ' N:0.01% Ιίλ T 、 Α1:0.1% 以下、Cr: 0.08% 以下、Nb:0.05 〜1%、 V : 0 · 0 1 ~ 1 %、及其餘部分爲Fe所構成,且(Nb + V) $ ;l · 〇 %。 2 ·如申請專利範圍第1項之低熱膨脹合金薄板,其爲 C:0.005%J^ T 、 Si:0.09%]^ T 、 Μη:0. 01-0.1% 、 Α1:0·005〜0.04%、 Nb:0.05〜0.6%、 V:0.01〜0.6%,且 (Nb + V)^0.6% 者。 3 ·如申請專利範圍第1項之低熱膨脹合金薄板,其係更 進一步含有 B:〇. 0005-0. 003% ' Sb:0.〇〇15 〜0.010% 之至少1種,且爲(2B + Sb):0.001〜0.010%者〇 4 ·如申請專利範圍第2項之低熱膨脹合金薄板,其係更 進一步含有 Β:0·0〇05〜0.003%、 Sb:〇.〇〇i5〜〇.〇1〇% 之至少1種,且爲(2B + Sb):0.〇〇l〜0.010%者。 5 · —種低熱膨脹合金薄板之製造方法,其特徵在於,係 具有: 對具有申請專利範圍第i至4項中任一項的成分之熱軋 製板至少反覆進行1次以上之冷軋製與再結晶退火的步 驟,與 於上述最終再結晶退火之後’再以1 5 %以上的冷軋延率 進行最終冷軋製的步驟;與 於上述最終冷軋製後,於8 〇 〇 °C以下進行去除變形退火 22 312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 565622 之步驟。
    312/發明說明書(補件)/92-06/92106480 23
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