TW550978B - Plasma processor method and apparatus - Google Patents

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A7 A7 B7 '發明說明 電漿處理方法及裝置 請案之關4系 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} [1] 本發明係為我的在2001年六月7日提出申請 =序號為60/296,832的標題為，，用於精確地將射頻輪^ =水至的裝置”之共同申請、共同讓渡的預先申請案之 崢勿繼續申請案。

Ijg領域 [2] 本發明的通常係與電漿處理方法及裝置有關，且 $別地係與其中-持續的，非零之射頻參量係維持在一 因有接地線的電極之間的真空電漿處理方法和裝置有關， 此射頻能量源係沒有直接地與電極連接。 &術背景 # [3]真空電漿處理係用來自典型地係為半導體、介電 二和金屬基材之工作件上沉積物質㈣物質。—氣體係被 入工作件係位於其中之真空電漿處理室之内被介紹被 位於哪裡。該室之壓力係典型地在Q1到麵她的範 圍之中β亥氣體係因應一射頻電氣場或電磁場，而被激發 成一射頻電漿。 該射頻場是藉由一反應性阻抗元件而提供至氣體，其 通吊係為一電極陣列或是與磁場和靜電射頻場兩者連結的 線圈。该反應性阻抗元件係被連接到一具有一射頻頻率和 足夠之能量的射頻源，因此該氣體係被激發成電漿態。在 射頻源與反應性阻抗元件之間的連接，通常是藉著一相對 地為長的纜線的方式直接地與射頻源連接。一連接在纜線 本紙張尺度適用中國國表標準（CNS) Α4規格（210X297公楚) 550978 A7 _B7_ 五、發明説明（2 ) 和反應性阻抗元件之間的共振匹配網路，通常包含至少一 個可變電抗，其係被調整以將該射頻源的阻抗與其所驅動 的負載源匹配。 [4] 該射頻源所遭遇的負載係受制於實質上隨機 的、不可預期的變量。該負載在該氣體激發成一電漿態之 前，會有一相對地高的阻抗。因應於該電漿被激發之後， 該負載阻抗係實質上由於在經激發之電漿中出現電荷載體 (即，電子和離子）而降低。由於電漿流（即，電漿密度和 電漿電荷粒子速度）中的改變，經激發電漿之阻抗，也會 在工作件的處理期間實質上地改變。 [5] 射頻耗損也會被電漿處理器的射頻輸出路徑（該 處理器與接地路徑阻抗的硬體）的實體結構所影響，其受 到在激發電漿的射頻頻率之顯著變化的影響。該接地路徑 阻抗係由該形成接地線之部件以及在該射頻激發頻率的接 地線路徑相連接之阻抗的實體結構所決定。在單一工作件 的處理期間，該負載受到這些改變的影響。除此之外，當 相同的處理器在處理不同的工作件的時候，該負載亦受到 這些改變的影響。更進一步的說，在例如相同的型號之具 有名義上為相同設計之不同的處理器之負載也會受到這些 改變的影響，因為不同的處理器會有不同的無法預知之特 性。損耗和阻抗的差異對於例如#刻和沈積率之處理器效 能具有很大的影響。 [6] 首先，一般認為匹配網路可變電抗和射頻源的輸 出能量的控制，可以提供這些隨意的、不可預知的變量適 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、可| 550978 A7 _B7_ 五、發明説明（3 ) 當的補償作用，該匹配網路可變電抗係被調控以維持阻抗 匹配與在射頻輸出阻抗和負載阻抗之間的諧振。 [7] 除此之外，控制時常係由一個連接在匹配網路和 反應性阻抗元件之間的電壓探針所提供。該電壓探針誘導 一可指示在阻抗元件和一例如接地線之參考電位間的射頻 電壓，該室的金屬壁係被維持在該電位上。指示在反應性 阻抗元件和參考電位之間的射頻電壓之該信號，係被連接 到該射頻源的輸出參量控制器，其係在室和匹配網路的遠 端。該控制器通常是該射頻源的一部分，且其包含一施加 至該連接到該射頻源之纜線的一末端之該電流和電壓射頻 源的監視器。所監測的電流和電壓，不管是來自連接在匹 配網路和反應性阻抗元件之間的電壓探針或是來自射頻源 的電壓監視器，其都結合以將該射頻源的輸出功率控制在 所需要的設定值。 [8] 假設在射頻源的控制器中監測的電流，是在反應 性阻抗元件和負載中之電流的正確複製。由於在匹配網路 的損耗和其他有關損耗的影響，我已經了解這是無用的假 設。除此之外，前述的負載變量對這個假設有一個不利的 影響。因為這個無效的假設，自許多情況下所需要能量並 不是實際上在處理的時候供給到該電漿，結果對處理器的 效能產生負面的影響。 發明摘要 [9] 依據本發明，一電漿處理器，其包含一處理一工 作件的真空電漿室，該室包含一係與在室中的氣體電氣連 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公爱） i:r--------------f: (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 、可| 550978 A7 £7_ 五、發明説明（4 ) ^〜~!— 接之反應性阻抗元件，以及一與射頻接地線連接之電極， 因此沒有射頻能量源係直接與該電極連接。該電極與^ 接地線的連接係因此為一有限的、非_零的射頻電壓，其係 傾向於在電極和射頻接地線之間發展的。當—忮定^阳 的、非-零的射頻參量（較佳地為電壓），係維持在=極: 於該連接中的射頻接地線之間時，㈣的能量係供給到該 反應性阻抗元件以激發在該室中之氣體成為_電漿能。 Π0]較佳地該恆定電麼係藉由_在該電^接地 線之間及/或在該電極和接地線之間的射頻電流之間的射 頻電壓，而在該電極和於該連接中的射頻接地線之間維 持。因應在該連接中所偵檢的電壓及/或電流，在電極和於 該連接中之接地線間的射頻阻抗係被控制以提供該實質上 為恆定、有限的非零射頻參量。 /、、 [11] 在一較佳地的具體例中，該射頻阻抗包含一個可 變電抗（較佳地為電感器及/或電阻器）及/或具有一由该 偵檢到之在該連接中的電壓及/或電流所控制之數值的電 容器。在該連接中所偵檢到的電壓及/或電流，係用來控制 (1)該感應器、電容器或電阻器，或是其等之組合，是否 是該連接的一部分，以及（2)該連接阻抗的數值。 [12] 由於前述的結果，接地阻抗係維持在一恆定的數 值以協助正確地控制被輸送到該電漿的能量。正確地控制 輸送的能量同時將接地阻抗維持在一恆定的數值，使得該 處理器的使用者能夠幾乎完全的控制許多對於處理器效能 很大影響之射頻參數。在匹配數台處理器以執行相同的處 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

550978 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 理程序並在相同的處理器上維持一段長時間的處理穩定性 上，這是特別有利的。正確地控制輸送能量與將接地阻抗 維持在一固定數值的原理，也能被用於在製造該相同的公 稱型式之處理器期間維持恆定的特性。該處理器的射頻特 性可以被正確地測量和調整，以在將該處理器裝船運送給 縱端使用者之前，保証該處理器的製造期間之效能。 [13] 在電極和於連接中之射頻接地線之間維特一十亙 定的、有限的，非零的射頻參量之電漿處理器，係較佳地， 但是不必然地，與用來控制一射頻源之設備一起使用，該 射頻源驅動一在包括該反應性阻抗和該電漿的負載之間維 持恒定能量的反應性阻抗元件。 [14] 上述的與更進一步的本發明之進一步目的、特徵 和優點，在考慮下列其之具體例的詳細描述，特別是與該 伴隨之第圖式一起考慮時，將會變的更明顯。 圖式簡要說明 [15] 第1圖係為本發明的真空電漿處理器之較佳具 體例的一流程圖；且 [16] 第2圖係為包含在第1圖的處理器中之可變 阻抗的概略示意圖。 圖式的詳細說明 [17] 現在參考圖式第1圖，其中真空電漿處理室10 係被例示說明成包含有平行金屬電極板12和14,在該等 電極之間激發一射頻電漿放電。該電漿係自電極板12得 到，其係位在該室10的頂端，且係用來作為一供給射頻 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 550978 A7 —___ B7_ 五、發明説明（ό ) ~ 能量給來自氣體源（未顯示）的氣體之射頻激發電抗。室 Η)係以一適當的真空泵（未顯示）而維持於範圍在〇1 到麵ton*之間的真空下，典型地為—半導體、玻璃或 金屬基材之卫作件15，係被置於室1G的底部之電極板 14上。工作件15係以在電漿中之電荷粒子（也就是，電 子和離子）與中性粒子處理，因此敎作件係㈣刻，且二 或該材料係被沉積被在其之上。該電漿放電和電極板12 形成射頻源17之負載且該電路元件係被其驅動。如果需 要藉由提供一個流經電極板14之冷卻氣體來冷卻工作件 16的話，電極板14會包含一用於工作件之夾頭。如果使 用一夾頭的話’其係較佳地為一會回應直流夾頭電壓源 (未顯示）之靜電夾頭。 [18] —具有低射頻阻抗之射頻連接μ係提供在電 極板14和接地端子1 §之間。連接16係沒有直接地與 其連接或連結的射頻激源，但是，其可以包含直流夾頭電 壓源（如果提供此種能量源的話）。除了連接16沒有直接 地與其連接或連結的射頻激源，以及連接16係在電路板 14和接地端子18之間具有一相對地高之傳導路徑的事 實之外’我發現在電路板14和接地端子1 $之間的隨 機、可變電壓，係會在習知處理器中傾向於在電路板14和 接地端子18之間發展。該隨機、可變電壓會對提供工作 件丨5 —致的處理作用上有不利的影響。 [19]為了克服這個問題，一恆定的電壓係維持在電極 板14和接地端子ι8之間的連接μ中。該恆定的電壓 本紙張尺度適用中國國家標準（Q^) A4規格（21〇χ297公爱） (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 訂. 550978 A7 B7 五、發明説明（7 ) 係藉由在室10的外部就在電極板14之下安裝一電壓-電流探針20來維持。安裝探針20以使其係電氣地與磁 性地被連結到連接16的一個導線。探針20誘導第一和 第二信號，其係分別複製在電極板14和接地端子18之 間的射頻電壓以及在連接16中於電極板14和接地端子 18之間的射頻電流。除此之外，連接16具有可變的射頻 阻抗22,其係因應該第一和第二信號的函數來調整，以在 電極板14和接地端子18之間維持一固定有限的、非零 的射頻電壓。 [20]射頻源17包含典型地具有13.56 MHz的頻 率之恆定頻率射頻震盪器24 ，以及具有一被連接以回應 震盪器24的輸出之能量輸入端子與可變的增益控制輸入 端子的可變能量射頻放大器26。誘導一相對高能量射頻輸 出之放大器26,具有一典型地在1-4仟瓦的範圍中之所 欲的預設值。放大器26在該震盪器24的頻率之輸出，係 被連接到一相對長的（舉例來說，13呎）同軸電纜28的 一端，其具有一與匹配網路30之輸入端子相連接之第二 末端，該匹配網路具有被連接以供給電極板12射頻能量 之輸出端子。 [21]因此，纜線28具有一至少是震盪器24的頻率 的數個波長的長度，並導致在其之二相對末端之間所引入 之實質上的射頻耗損。由於纜線28的長度和這些耗損的 結果，從射頻源17流進該纜線28内之射頻電流，係與 提供至電極板12之與網路30匹配之射頻電流不同。 本紙張尺度適用中國國家標準⑽）Μ規格（贏297姻 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、可| 550978 A7 B7 五、發明説明（8 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) [22] 為了正確地檢測供給電極板12的射頻電流源 17，以及在電極板12和接地端子18之間的射頻電壓， 電壓電流探針32係非常近接地靠近（在該震盪器24頻 率之波長中的1/8之内）而被安裝在室10的外表面或 在其之上，就在電路板12的上方。電壓-電流探針32是 電氣地且磁性地-連接到在匹配網路30的輸出和電極板 12之間連接的導線34,以誘導分別複製在電極板12和 接地端子18之間射頻電壓以及在導線34中的射頻電流 之第三和第四個信號。 [23] 匹配網路30包含至少一對經調整的可變電 抗，因此在輸出阻抗之間的匹配可變能量射頻放大器26 和由電極板12所形成之負載阻抗與被激發的電漿會產生 一個阻抗匹配。匹配網路3D的可變電抗係因應電壓-電 流探針36的輸出信號之函數，而以直流電動機33和35 來調整，該電壓_電流探針係被電氣地且磁性地連接以回應 在内部導體與纜線28的接地線之間的電壓以及在該纜線 中的電流。探針36，就像探針20和32，誘導該探針所 摘檢之複製射頻電壓和電流的輸出信號。 [24] 在一較佳地具體例中，共振的匹配網路30係被 設置在室10的外部之上，且係包含有一具有可變電感初 極繞組之變壓器，該可變電感初極繞組係與一固定電容器 串聯。該變壓器係磁性地連接到一可變調諧葉片之二次繞 組。該匹配網路30的射頻輸出係經由在線路34中串聯 之直流阻斷電容器37而連接到電極板10。電容器37也 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -11- 550978 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 係較佳地設置在室10的外部上。直流電動機33和35 會因應控制器40的輸出信號來控制匹配網路調諧葉片和 匹配網路30之初極繞組的電感。 [25] 包括有微處理器42、電子程式化唯讀記憶體 (EPROM) 44和隨機存取記憶體（RAM) 40之控制器 40，會回應探針20、32和36的輸出信號以誘導信號， 該等信號係用來控制（1)要在可變阻抗22及/或該流經 可變阻抗22之恆定射頻電流或在連接16中散失的射頻 能量間被維持之恆定射頻電壓、（2)該可變能量射頻放大 器26的功率增益（與因此的輸出功率），與（3)施加到直 流電動機3 3和35的電壓。控制器40施加於直流馬達 33和35的信號，會控制匹配網路30的可變電抗，且因 此控制在放大器26的輸出阻抗和其驅動的負載之間的網 路30和阻抗匹配的共振。 [26] 控制器40也會誘導信號以控制在電極板12 和接地端子18之間的阻抗22,因此一恆定的預定射頻參 量，通常係為電壓，係維持在連接16中。EPROM 44儲 存（1)自電極板12到接地端子18所需的能量射頻負 載，與（2)維持在連接16中於電極板14到接地端子 18之間的所需恆定射頻電壓的預設點信號。任擇地， EPROM 44儲存一在連接16中於電極板14到接地端 子18之間的射頻電流之預設點信號，或是恆定射頻電壓 和與連接16有關的射頻電流兩者之預設點信號。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） -12- 550978 A7 -------- B7___ 五、發明説明（10 ) ’ —— [27] 彳政處理器42會回應探針32所誘導之 壓和電流，以-據以下公式來計算在電極板12至^的電 子18之間的負載中所散失的能量：VAcos θ 地端 其中：

Vl係為電壓探針32的偵檢結果， 11係為電流探針32的偵檢結果，且 Θ是在電壓和電流探針32的偵檢結果間 [28] 微處理n 42會將所計算出來的能量:角。 EPROM 44所儲存之預設點數值相比較，導放句如 26的能量增益和輪出功率之—控制信號。藉此，讀兮大器 器26提供至纜線28的射頻能量，係被控制以將=敌大 板12到接地端子18之間的射頻能量維持忮，極 EPROM 44所儲存之預設值。 、疋在 [29] 任擇地，微處理器42能回應該複製探針 誘導的電壓量和相角，以調整施加於纜線28的一端所 之電 壓射頻源17。或者，微處理器42能調整該射頻源17施 加至纜線28的射頻電流。如果可變電流放大器與在探針 所誘導物之間的相角是被控制的話，微處理器42會因應 複製探針32所誘導的電流。如果該至施加纜線28之射 頻源17的電壓或電流係被控制，而並控制施加到纜線的 能量的話，可變電壓或可變電流放大器係分別替換該射頻 源17的可變能量放大器26· [30] 微處理器42會回應探針36的輸出信號以控 制直流電動機33和35,且因此以傳統的方式與回應匹配 本紙張尺度適用中Η國家標準（⑽）A4规格（210X297公楚） -13- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

550978 A7 B7 五、發明説明（11 ) 網路30的可變電抗。微處理器42也會回應探針20所 誘導的電壓和電流之複製的相位角，以控制可變阻抗22 的本質和數量。微處理器42以重覆的方式回應探針20 所誘導的電壓和電流，以在連接16中連接可變阻抗22 之一或較多適當阻抗，並控制該一或較多的阻抗之數值。 [31] 第2圖是可變阻抗22的較佳結構的一概略 圖。可變阻抗22包含四個分支，其分別地包括開關接觸 器47 (與開關60結合）、可變電感48、可變量電容50和 可變電阻52。電感應器48、電容器50和電阻器52係 具有分別因應由微處理器42所發出之信號，來控制直流 電動機54、56和58之數值，同時在決定那一個分枝係 要被連接在連接16中的時候，接觸器47係開始被關閉。 每個接觸器47、感應器48、電容器50和電阻器52的 一個端子，係被連接至接地線而這些元件的另一個端子係 選擇性地由開關60連接到端子62，接著經由電壓-電流 探針20連接到電極14。 [32] 開關60包含接觸器47以及其他的接觸器（未 顯示），和因應該三位元信號微處理器42的輸入端子以誘 導提供給端子62八個不同的接觸器47、感應器48、電 容器50和電阻器52的連接組合。特別地，每一個阻抗 元件48、50和52都可以同時被開關60的接觸器之外 的接觸器47分別地連接到端子62。該等阻抗元件也能以 平行成對的方式連接到端子62,或者所有的三阻抗元件。 該也可以平行連接到端子62。最初，開關60是設定成在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂丨 -14- 550978 A7 _B7_ 五、發明説明（I2 ) 接觸器47係被關閉的情況下，使得阻抗22係為一短路 電路。 [33] EPROM 44儲存一與連接16有關的所需之射 頻參量預設值；通常該參量係為在電極板12和接地端子 18之間的射頻電壓，但是該參量可以是在連接16中知該 射頻電流或在連接中之散失的射頻能量。該預設值的典型 數值是（20|j0)伏特，而此特定具體例係依照射頻電壓來 描述。 [34] 最初，當阻抗22係為一計算在電極14和接地 線端子之間18的複合電壓之短路電路的時候，微處理器 42會基於在複製電壓和在探針20誘導的複製電壓和電 流之間的相位角的狀態，來回應探針20所誘導複製物。 微處理器42由該初始複核電壓確定是否該初始相角係為 零、或電壓是否超過電流或是電流是否超過電壓。 [35] 在微處理器42確定相位之後，其藉由打開接觸 器47而除去阻抗22的短路電路。如果該在探針20所 誘導的複製電壓和電流之間的初始的相位角係為零的化， 微處理器42會提供一信號以將開關60啟動成只與端子 62和接地線之間的電阻器52在連接。該連接係被製成因 為在電極14和接地線端子18之間的預設電壓可以在阻 抗22沒有反應部件的情況下達成。如果該探針20所誘導 的初始複製電壓和電流指明該電壓超過電流，微處理器42 會啟動開關60以在端子62和接地線之間連接電容器 50與也許電阻器52。然而，如果該探針20所誘導之複 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· -15- 550978 A7 _B7_ 五、發明説明（I3 ) 製物指銘電壓落後電流，微處理器42會控制開關60以 在電路中的端子62和接地線之間將感應器48和也許是 電阻器52連接。 [36]在阻抗元件48、50和52之間的適當的連接已 藉由開關60來建立之後，微處理器42會提供信號給至 少一電動機54、56和58以控制連接在端子62和接地 線之間在電路中的阻抗元件48、50或52之數值。該信 號係反覆地提供至開關60和電動機54、56和58,直到 探針20提供給微處理器42複製電流和電壓，該複製電 流和電壓使得微處理器計算一相當於在電極14和接地線 端子之間18的所需之設定電壓的複合電壓。 [37] 舉例來說，在一處理廠進行單一工作件的處理 期間，控制放大器26和變量阻抗22。此外，當在一個處 理廠處理不同之工作件的時候，進行對放大器26和可變 阻抗22的控制。此外，在製造業者的設備中於處理器製 造期間，可以提供不同處理器之對於放大器26和可變阻 抗22的控制，以保證所得到的具有相同型號之不同處理 器，具有一致的特性。 [38] 雖然已經對於本發明之特定的具體例加以描述 並舉例說明，然而所特別例示說明與描述之具體例的細節 的修改，可以在不背離隨附的申請專利範圍所定義之本發 明的實際精神與範圍下進行，將會是顯而易知的。 元件標號對照表 本紙張尺度適用中國國家標準⑽S) Μ規格⑵動細 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、可I 550978 Α7 Β7 五、發明説明（μ 10 真空電漿處理室 35 直流電動機 12 平行金屬電極板 34 導線 14 平行金屬電極 37 電容器 15 工作件 40 控制器 16 射頻連接 42 微處理器 17 射頻源 44 電子程式化唯讀記憶體 18 接地端子 46 隨機存取記憶體 20 電壓-電流探針 47 開關接觸器 22 可變射頻阻抗 48 可變電感 24 射頻震盪器 50 可變量電容 26 射頻放大器 52 可變電阻 28 同軸電纜 54 直流電動機 30 匹配網路 56 直流電動機 32 電壓電流探針 58 直流電動機 33 直流電動機 60 開關 36 電壓電流探針 62 端子 -------------------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •、可· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -17-

Claims (1)

1. 550978 ABCD

   Μ充修補 0 申請專利範圍 1. 第91111268號專利申請案申請專利範圍修正本92年5月9曰 一種電漿處理器，其包含有 一用於處理一工作件之真空電漿室，該室包括 有反應性阻抗元件，其係在該室中電氣性與氣體連 結； 一射頻電源，其具有足夠的能量以激發在該室 中該連接到反應性阻抗元件的氣體成為一電漿態； 且 該室包括有一與射頻接地線連接之電極，因此 沒有直接地與該電極連接之射頻激發源，該電極與 與射頻接地線的連接係因而為一有限的、非零的射 頻電壓，其傾向於在電極和射頻接地線之間發展， 該電極與與射頻接地線的連接包括一射頻阻抗，其 係被架構因而使得在電極和射頻接地線之間維持一 實質上恆定的、非零的射頻參量。 如申請專利範圍第1項的電漿處理器，其進一步包 括一偵檢器結構以偵檢在電極和接地線之間的連接 中之至少一射頻參量，以及一控制器，其係被連接 來回應該檢波器結構以控制該射頻阻抗而提供該實 質上恆定的、非零的射頻參量。 如申請專利範圍第2項的電漿處理器，其中該射頻 阻抗包含有一個可變電抗，該控制器係被設置成要 對該用於控制該變電抗之數值的偵檢器結構加以回 應者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNs)八4規格（210X：297公釐） -18- 申請專利範圍 4· 2請專利範圍第3項的電㈣理器，其中該可變 包抗包含有一可變電感器。 女：明專利範圍第3項的電漿處理器，其中該可變 電抗包含有一可變電容器。 6·如申，專利範圍第3項的電衆處理器，其中該可變 電杬包3彳變電感和—個可變電容器，該控制器 被設置成要對該偵㈣結構加㈣應，該偵檢器社 構係用於選擇性地與在該電極與接地線間的連接； ^該可變電感和該可變電容器的至少之一者相連 7·:申請專利範圍第2項的電漿處理器，其中該摘檢 器結構包含有—與該連接連結之電壓-電流探針。 8.如申請專利範圍第2項的電漿處理器，其中該偵檢 器係設置在該室上。 9·如申請專利範圍第8項的電衆處理器，其中該射頻 阻抗包含一可變電阻器，該控制器被設置成要對該 偵檢器結構加以回應，該偵檢器結構係用於選擇性 地與在该在該射頻電極和射頻接地線的連接中之該 可變電阻器相連結，以控制該可變電阻器的數值。 川·如申請專利範圍第1項的電漿處理器，其中該室包 έ有一反應性阻抗元件以與在該室中氣體電氣地連 結； 一個射頻電氣源，其具有足夠的能量以將在該 室中之氣體激發成為一電漿態； 550978 ABCD 申請專利範圍 一匹配網路，其係連接在該射頻電氣源和該反 應性阻抗元件之間； 一瘦線，其具有一連接至該射頻電氣源之一末 端和一連接到該匹配網路之第二端； 一探針，其係連接在該匹配網路和該反應性阻 抗元件之間，以用來誘導至少一個信號，該信號係 用來指示該匹配網路施加至該反應性阻抗元件的參 量和連接至該反應性阻抗元件之電漿負載；以及 一控制器，其係被連接以對該至少一信號作出 回應，該信號係用於控制一會影響該射頻電氣源施 加至該纜線的一端的能量。 11 ·如申請專利範圍第10項的電漿處理器，其中探針係 為設置以誘導第一和第二信號，該等信號係分別指 示該匹配網路所施加至該反應性阻抗元件與連接至 該反應性阻抗元件之該電襞負載的電壓和電流，而 該控制器係被連接以對該等第一個和第二信號作出 回應。 12·如申請專利範圍第10項的電漿處理器，其中該探針 係設置在該真空電漿室的射頻源之頻率的1/8波 長之内。 13·如申請專利範圍第丨丨項的電漿處理器，其中該探針 係設置在該室上。 14.如申請專利範圍第1〇項的電漿處理器，其中該匹配 網路包含有一可變電抗，且進一步的句人二· 7的包含一檢波器

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   ABCD 申請專利範圍 結構以供誘導指示由該纜線提供至該匹配網的電壓 和電流的信號，該信號控制器被連接以因應該指示 由δ亥纟覽線提供至该匹配網的電壓和電流的信號，以 控制該匹配網路的可變電抗。 15· —種在真空電漿處理室中利用一電漿處理一工作件 的方法，該處理室包含一與在該室中的氣體電氣連 接之反應性阻抗元件和一與該射頻接地線連接之電 極’因此沒有直接地與該電極連接之射頻激發源， 該電極至該射頻接地線的連接係因而使得在電極和 接地線之間有發展一有限的、非零射頻電壓的傾 向，該方法包含當在該連接中於電極和射頻接地線 之間維持一恆定有限的、非零的射頻參量時，提供 給該反應性阻抗元件足夠的能量以在室中的氣體激 發至一電漿態。 i6·如申請專利範圍第15項的方法，其中該參量是電極 和射頻接地線連接的電壓，該連接包含一個射頻阻 抗，以及藉由在該連接中跨越該射頻阻抗而維持一 恆定的射頻電壓而提供在電極和射頻接地線之間的 恆定之有限的非零射頻電壓。 17·如申請專利範圍第15項的方法，其巾該方法係以數 個工作件來進行，且當數個工作件之間在真空電漿 至中處理時’該怪定的、非零射頻電壓係、被維持在 在該電極和接地線之間。 A4規格（210X297公釐） 裝 訂 % 本紙張幻以财關家標準（CNsy -21- 550978 '申請專利範圍 18. 如有=範圍第15項的方法…該方法係在具 貫質上相同特性的數個真空電裝室中進行， 不同的真空電漿室之彼此差異，係足以導致在料 =同的至之電極和接地線之間的連接中發展不同的 导零射頻電壓的傾向，並在相同標示狀態下操作之 在該數個真空電漿室的電極和接地線之間維持相同 之恆定的、非零射頻電壓。 19. 如申請專利範圍第15項的方法，其中該方法係藉由 在该電極和射頻接地線之_連結中連接—個射頻 阻抗，以越過該射頻阻抗而維持一恆定有限的、非 零射頻電壓來進行。 2〇.如申請專利範圍第19項的方法，其令在該電極和接 地線之間的該恆定有限之非零射頻電壓，係藉由偵 檢代表在該電極和接地線之間的射頻電壓和在電極 和接地線之間的射頻電流的至少一個參量，並因應 該所偵檢到的至少一個參量來控制該射頻阻抗而維 持。 、 21.如申請專利範圍第2〇項的方法，其中該跨越該射頻 阻抗的有限非零射頻電壓，係藉由因應該所偵檢的 至少一個參量來控制該射頻阻抗的數值維持恆定。 22·如申請專利範圍第21項的方法，其中該射頻阻抗包 含有一可變電容器和一可變感應器，且該控制步驟 包含將接該等可變電容器和可變感應器之一或兩者 連接在電極和射頻接地線之間。 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS) Μ規格Ul〇X297公楚）_ -22- 550978 Αδ Β8 --C8 ^"""""1 ^ -—--- Κ、申請專利範圍 23·如申請專利範圍第21項的方法，其中該射頻阻抗包 含一可變電抗和一可變電阻器，且該控制步驟包含 將該可變電抗和可變電阻器之一或兩者連接在該電 極和射頻接地線之間的連接中，並控制可變電抗或 那可變電阻器的數值。 24.如申請專利範圍第15項的方法，其中該室包含一在 該室中之氣體電氣連接之反應性阻抗元件、一連接 在該能量源和反應性阻抗元件之間的匹配網路、一 一端連接到該射頻能量源而一第二端連接到該匹配 網路之纜線，那方法進一步的包含有 偵檢至少一由該匹配網路施加至該反應性阻抗 元件和該連結至該反應性阻抗元件的電漿負載之參 量；以及 控制該射頻能量源因應該所偵檢之至少一個參 量而施加於纜線的一端之會影響射頻能量的參量。 乃·如申請專利範圍第24項的方法，其中該至少1個參 量包含電壓和電流。 6.如申印專利範圍第24項的方法，其中該電壓和電流 係在该该真空電漿室的射頻源頻率的1/8波長内加 以4貞檢。 27·如申請專利範圍第24項的方法’其中該電壓和電流 係在該室中被 貞檢。 28.如申請專利範圍帛24項的方法，其中該控制步驟包 含控制该射頻電源施加量的數個參量。

   -23- 550978 A8 B8 C8 、----__ 六、申請專利範圍 ^ 9·如申明專利範圍第24項的方法，其中該匹配網路包 含一可變電抗，該方法進一步包含偵檢由該纜線施 加至該匹配網路的電壓和電流的步驟，並因應該所 偵檢到之該纜線施加至該匹配網路的電壓和電流來 控制該匹配網路的可變電抗。

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） -24-