TW542926B - Substrate for mounting optical parts, method of manufacturing the same, and assembly using the substrate - Google Patents

Description

五、發明說明（1) 發明領域 法，t U:關於光學元件表面安裝用基板及其製造方 电以及採用該基板的裝配件。 發明背景 為光學 列舉平 相對位 但，是 形成尺 置保持 能實現 前，光 ’形成 製成的 ’與作 元件的連接要求非常高的精度，故其是要求 業。 上述課題的一個方案，人們提出下列方法， 凡件放置用導向件的基板（光學元件表面安 ’將光學元件的表面進行安裝以進行相對的 一致， 的。 學元件 兩者的 土風一 尤学 為光學 習知技藝 由於光學 許多工序的作 作為解決 即在具有光學 I用基板）上 定位。 例如，作 圖1 〇所示，可 令形成有確保 固定用槽54 ; 時，必須分別 維1 6的中心位 而言，是不可 由此，目 各向異性蝕刻 但是，石夕 數為2. 4 X 1〇-6 元件表面安裝用 行光管陳列5 0， 置精度的纖維固 由於在所連接的 寸不同的槽，以 這就必須 表面安裝 導向槽的 件表面安 元件的透 基板的一個實例，如 在該平行光管陳列5 0 定用槽5 2，以及透鏡 光學元件的直徑不同 便使條形透鏡1 5和纖 卸掉砂輪的磨削加工 用基板主要採用通過 矽製成的基板。 裝用基板的熱膨脹係 鏡的熱膨脹係數（5 542926 五'發明說明（2) ，由此，在上述 定透鏡的場合， 況的問題。 裝用基板不讓紫 接劑的使用，而 基板在與其它的 須要求其與所接 使用矽製成的光 ’則其使用必須 外的玻璃等材料 基板的情況進行 樣第二溝槽時， 放電或超聲波加 度差，為數十// 〜1 0 X 1 0 6 )相比較，熱膨脹係數差過大 光學元件表面安裝用基板上以粘接方式固 具有產生因熱量變化造成的剝離等不利情 另外，由於矽製成的光學元件表面安 外線（ϋν)透過，不僅限製成UV硬化型钻 且由於其非¥脆，存在難於處理等問題。 ，3此外，矽製成的光學元件表面安裝用 光學元件連接，組裝於封裝件内等時，必 觸的元件的熱膨脹相互匹配，但是，由於 學兀件表面安裝用基板目前是首選的決定 要求採取各種技術措施。 由於上述情況，最近，人們對除矽以 (尤其是玻璃）製作光學元件表面安裝用 研究’但是，當用玻璃形成如圖1 0的54那 由於不能夠進行通常的磨削加工，故通過 工等方式製作，在目前，由於加工尺寸精 m左右’故難於實際使用。 發明概述 本發明就是針對這樣的已有技術所具有的問題而提出 的，本發明的目的在於提供一種玻璃製成的光學元件表面 安裝用基板及其製造方法，以及採用該基板的裝配件^其 尺寸精度優良，可抑制光學元件及封裝件等與所接觸元件 因熱膨脹差造成的不利情況，同時可提高光學元件表面安

542926 五、發明說明（3) 裝時的作業性。 本發明的一個目的在於提供一種玻璃製成的光學元件 表面安裝用基板，它用於將直徑不同的多個光學元件分別 安裝到與其相應的各相對位置，其構造是：形成有用於安 裝多個光學元件中的、直徑較小的光學元件的第一光學元 件固定用槽的同時，還在該第一光學元件固定用槽的兩側 分別形成V形槽；再在該兩侧所形成的V型槽各自的外側斜 面部形成作為外侧槽的第二光學元件固定用槽；該第二光 學元件固定用槽用於固定上述多個光學元件中的，直徑較 大的光學元件。 另外，本發明的另一個目的在於提供一種玻璃製成的 光學元件表面安裝用基板的製造方法，它用於將直徑不同 的多個光學元件分別安裝到與其相應的各相對位置，其 中，該方法包括下列步驟：形成第一光學元件固定用槽並 在該第一光學元件固定用槽的兩側形成V形槽後，對第一 光學元件固定用槽的中心位置，以及假想槽的中心位置按 照保持一致的方式進行補償，同時進行第二光學元件固定 用槽的磨削加工，該假想槽的中心位置指按照形成於兩侧 的V形槽的相應的外侧斜面部形成外侧槽的方式假定，計 算該假想槽的中心位置。 此時，最好第二光學元件固定用槽呈下列形狀，其中 僅僅外側槽與直徑較大的光學元件接觸，其底部不與直徑 較大的光學元件接觸。 還有，最好第二光學元件固定用槽按照將最初存在的

第7頁 542926 五、發明說明（4) 第一光學元件固定用槽的一部分去除的方式形成。 再有’本發明的另一個目的在於提供一種裝配件，其中， 在上述光學元件表面安裝用基板上，安裝多個光學元件而 成。 另外，本發明提供一種疊層裝配件，其中該裝配件由 多層疊置形成。 此時，最好，安裝於上述裝配件中的光學元件之一為 透鏡，並且安裝有透鏡的光學元件固定用槽的相對面上， 設置有臺階部。 較佳實施例之發明詳述

本發 光學元件 元件分別 安裝多個 元件固定 侧分別形 的斜面部 二光學元 徑較大的 由此 製成的相 光學元件 情況；同 听的光学兀仟衣Φ安裝用基板是 表面安裝 安装到與 光學元件 用槽的同 成V形槽； 形成作為 件固定用 光學元件 ，本發明 應基板相 、封裝件 時，由於 用基板，它用於將直徑不 其相應的位置，其構造是 中的、直徑較小的光學元 時，還在該第一光學元件 再在該兩側所形成的V型 外側槽的第二光學元件固 槽用於固定上述多個光學 〇 的光學元件表面安裝用基 比較，由於由玻璃製成， 等所接觸的元件因熱膨脹 使备、外線（UV )透過，故 同的多個光 :形成有用 件的第一光 固定用槽的 槽各自的外 定用槽；該 元件中的， 板與過去的 故可抑制其 差造成的不 可使用UV东占

第8頁 542926 五、發明說明（5) ，丄由於與過去的由矽製成的基板相比較更加結實，故可 提向光學元件表面安裝時的作業性。 下面參照附圖，對本發明進行具體描述。 每 圖1為表示本發明的光學元件表面安裝用基板的一個 貝例（平行光管陣列）的立體圖。 如圖1所示，本發明的光學元件表面安裝用基板1是一 種玻璃製成的光學元件表面安裝用基板，它用於將直徑不 T的多個光學元件分別安裝到與其相應的位置，其構造 是··形成有用於安裝多個光學元件中的、直徑較小的光學 兀件的第一光學元件固定用槽2的同時，還在該第一光學 兀件固定用槽2的兩侧分別形成v形槽3a，扑，·再在該兩侧 7形成的V型槽3a，3b各自的外侧的斜面部4a，4b形成作 ί::槽的第二光學元件固定用槽5 ;該第二光學元件固 =:5。用於固定上述多個光學元件中的，直徑較大的光 办r此時，第二光學元件固定用槽如圖1所示，呈下列形 :上：槽η，其中僅僅該外側的斜面部4 ;的；？元r妾觸，其底部不與直徑較大的光學元件接 觸但疋，隶好將直徑較大的光學开杜读每壯 置（參照圖3)。 九予儿件確貫I置於規定位 另外’本發明的光學元件表面 圖案是不特別限定的，可對應於安板1的佈置或 元件，適當地進行變更修改。、土反表面上的光學 下面，透過圖2，對本發明的光學元件表面安裝用基 542926 五、發明說明（6) 板的製造方法進行描述。 首先，如圖2所示，（1)在玻璃基板上形成第一光學 元件固定用槽2和在第一光學元件固定用槽2的兩侧形成v 形槽3a ’ 3b後’（2 )對第一光學元件固定用槽2的中心位 ，，以及假想槽8的中心位置按照保持一致的方式進行補 j，同時進行第二光學元件固定用槽5的磨削加工，該假 =钇8的中心位置指按照形成於兩侧的v形槽仏，各自的 側斜面部4a，4b作為外側槽的方式假定，計算的假想槽 的中心位置。 样此時，最好，去除掉最初存在的第一光學元件固定用 ‘的-部a，形成第二光學元件固定用槽5，該第二光學 :固定用則呈下列形狀（凹槽6)，其中僅僅其外側斜 =4a，仙與直徑較大的光學元件接觸， 早乂大的光學元件接觸。 &丨+直仕 y 凹槽6不必要求那 通過超聲波加工形成。 贯度故1 在這裏’使用本發明的製造方法的要點.认 =各槽的目標尺寸相比稍稱靠前的= = 在磨削 項的加工餘量之後，再進行精磨削加:達到所需尺寸所必 由此，可將最終精磨削加工的磨削餘旦七 可進行 列如，10"m)，這樣，磨削抗力負荷V,制在最小限 阿精度的磨削加工。 、了轨小， 特別是，在 的場合1了上述的方法以外，要

五、發明說明（7) 點在於，按照將形成於兩側的v形槽各自的 為外侧槽所假定的假想槽，通過運算程式計曾^斜面部作 中心位置，再按照該中心位置與第1 元^假想槽的 中心位置保持一致的方彳 一 子 件固定用槽的

什符 的方式進行補償，同時進行磨、W 的情:r、而且由於磨削加工的：觸見角度 :的2:::工機的精度的觀點來說，頻繁地發生心相 槽的尺寸偏離的情況。 &王興假想 另一方面，即使在每單位時曰 下，仍難於以亞微米量級的精产，、μ里很少的情況 進行磨削加工。 "又，兮味度為數百// m的槽 另外’按照本發明的赞4古、i 精度正讀地測定各槽的尺寸是微米量級的 好，例如，如圖2所示，使接觸弋 可夕的，故最 針）40沿舆各槽（2，3)接式形狀測定器的測頭（觸 每個槽測定20點|面乂垂直的方向移自，針對 今曰成I疋ZU點表面上的點，從這些 T對 “ m以上的長度範圍内，分別去—4疋值中在至少1 〇 部分，根據4。一上的測以各：的邊緣部分和槽底 由直線形成的形狀，計算有效定使各槽的側面形狀呈 開公報平6-790 98號）。 疋長度（參照曰本特許公 此外，本發明所採用的接 定的，但是，▼適合採用、觸式形狀測定器不是特別限 粗糙度檢查儀。 7 丁、、”公司生產的形狀 542926 五、 發明說明（8) 由於以上的情況，本發明的製造方法可以亞μ、，曰么 的精度，對以通常的磨削加工難於力α工的下α ,彳放米星及 固定用槽進行磨削加工，該光學元件固定用栂干 卞 不同的多個光學元件分別安裝於與之相適庫、、 " 置· 〜屬的各相對位 還有，下面根據附圖’對本發明的裝配件（在〃興一 件表面安裝用基板上，安裝有多個光學元件 光二= 督合丨A 丁 W兀件）的各 馬例進行描述。 圖3為表示採用圖1所示的光學元件表面安裝用基板 (下基板）製作的平行光管的一個實例圖，圖3 ( a f為正 面透視圖，圖3 ( b )為左側面透視圖。 、 圖3所示的平行光管10是這樣製作的，在作為下芙板 的第一光學元件固定用槽（光纖固定用槽）2中設置^ 纖，通過上基板（光學元件推壓基板）18推壓光&纖，在通 過UV枯接劑將其固定後，在第二光學元件固定用槽（透^ 固定用槽）5和由上基板1 8形成的透鏡放置部上設置條形 透鏡15，通過uv粘接劑將其固定。 ^ —此時’由於在上述平行光管1〇中，可使第一光學元件 固定、用槽2和第二光學元件固定用槽5的相對位置偏差在丄 // m以下，故可確保足夠的光學特性。 裏，第二光學元件固定用槽5的固定透鏡可考庹 採用分佈折射率型透鏡（(^^透鏡），凸透鏡，平凸透w 鏡，球型透鏡。 此外，在擔心在第一、第二光學元件中，分別出現出

542926 五、發明說明（9) ___ 射，入射光的反射時，可適當採 光學元件為光纖時，①，斜切（8。 下列措施，例如，第一 照圖4 (b)，②，反射防止膜的形切，）光纖19的使用（參 使用（參照圖4 ( a ))等。 乂 ’⑦，折射率調整劑9 0的 尤其是如圖4 (b )所示，當一 GRIN透鏡72與斜切光纖19組合時、作為弟二光學元件的 GRIN透鏡72進行傾斜磨削的;^可採用在纖維側，也對 還有，本發明的裝配件的另—每 心纖維平行光管（例如，濾色界二」〇圖5所不，為多 採用將平行光管做成多心：光；丰：分波器等）2〇 ’其 在這裏，多心纖維平SC:安裝用基板。 如了杈如下所不的方法製作（參照圖6〜7 )。 材料η:基板（光學元件表面安裝用基板）的 ΓΊΓ ，基板60的設計為纖維間距（透鏡間 +产Al4m= 土板厚度為h 5_，基板寬度為16mm，基板 长度馬i4.5mm，心數為12。 基板60的長度方向的結構是，透鏡放置槽部為 維二拉戴維放置槽部為4隨，光纖彎曲缓和部為5mm，纖 維包覆接納部為3111111。 然後進行精磨削加工（由此，兩個槽的假想中心相對 f Ϊ上述基板6 〇中’首先通過磨削加工，以1 · 2 5 mm的間 =成1 2個纖維槽6 6，接著形成透鏡槽6 5。 $ ^、在對纖維槽6 6的槽假想中心與透鏡槽6 5的假想中心 置行2磨削加工後，通過接觸式形狀測定器測定相對位

第13頁 542926 五、發明說明（10) 位置精度為±0.5 vm) 炎Ί if 1 配備中心厚度為2. 5mm，直徑為lmm，曲率半徑 為1丄01的平凸型透鏡70，將其固定在透鏡槽65上。 此=，然依賴於透鏡的焦距與打算在空間中傳播的光的 ==最好透鏡固定位置按照與纖維觸的端部離開 的方式没置。 型透S2圖6中Λ由於打算傳播平行光，故考慮平凸 ^ ^ ^ 、’、、、距’將平凸型透鏡7 0粘接固定於距纖維槽6 6 、鳊邻約0 · 4mm的位置。（參照圖7的t )。 脾、泰ί外’在要求更高可靠性的場合’可通過推壓基板62 將透鏡固定。 二匕外’在圖6中，雖然做成平凸型透鏡7〇比基板6〇的 2大出的形A ’但是’平凸型透鏡70也可位於比基板6〇 的鳊面凹進的位置。 由此，不僅可防止由於粘接劑滲出到出射面上而產生 %光的漫反射，而且還可防止在透鏡端面產生傷痕等情 還有，在平凸型透鏡7〇相對基板6〇的端面突出的場合 犋二照圖5)，也可設置防止損傷等情況的透光性的保護 合，特別是，在採用粘性較高的環氧樹脂系的粘接劑的場 2 ’由於粘接劑基本不進如到出射面上，故從防止光的漫 6 0 j和透鏡端面的損傷等觀點來說，平凸型透鏡7 0比基板 的端面凹陷更好。

542926 五、發明說明（11) 另外，製備預务― 纖維槽66中。 、无進仃鈿面切割的光纖16，將其放置在 it 匕&^ |逾 製成出射光的攄=ΐ軸方向位置調整如圖7所示，按照控 行。 S展角的同時，將該角度作得最小的方式進 此外 光束直徑 還有 整，但是 =2的參數不僅檢測擴展角，而且檢測例如， ^ 4，還可進行光纖的光轴方向位置調整。 圖7中’雖然在纖維側進行光軸方向的調 在進〃在透鏡側也可進行同樣的調整。 與纖維槽二ί調整後’通過推壓基板63將光纖16 示，就可彳曰接觸，用粘接劑67將其固定，如圖6所 件到位置精度極高的平行光管陣列。 標排二平：：6二示广广行光管陣列進行了改進的2維座 所示的方以列（疊層裝配件），可按例如，如下 ^ ^# ^',J80 ^ ^ft ^ ^ ^ ^ ^ 疊置。 ’ .mm，Ch數為6ch的平行光管陣列按照4層 ，者，如圖8所示，各基板6〇的疊置方法如下· 8=3度將形成於各基板6〇中的（用於確保與導向銷 82，向，嵌入^將導向銷84倒立的導向銷工具 南精度地貫現多層疊置。 、 另外，所使用的透鏡是中心厚度為2. 5mm，直；^ Α mm，曲率半徑為1 · OmmR的平凸型透鏡。 玉。

第15頁 542926

在各層的基板設計中，在疊置時，為防止平凸型透鏡 70與基板60之間的干擾，在透鏡槽65的内部（即，安裝有 透鏡的光學元件固定用槽的相對面），加工臺階部^ ^參 在如上所述製作的基板上，首先與圖6所示的平行光 官陣列同樣，通過光軸方向調整分別放置光纖丨6輿凸蜜 透鏡70，製作4個6心平行光管陣列（丄維座標） 接著，通過使各1維座標平行光管陣列6〇金導 具82的導向銷84可靠地接觸而實現定位，同樣， 平行光管陣列20設置於導向銷82上，將上下的平 之間相互粘接。 1丁尤g 〇 位，可得 此外 行光管， 導為用表 件表面安 還有 於基板表 如上所述 面安裝用 它可提供 觸元件因 的表面安 為早面波導突用平 圖9所示的單面波 型的形式的光學元 定的，可根據安裝 樣的光學元件。 製成的光學元件表 該基板的裝配件， 件及包裝件等所接 且可提高光學元件 重復該操作，以較高的精度實 到2維座標排列型平行光管8 0 < ，本發明的裝配件的再一實例 該單面波導器用平行光管採用 面安裝基板（平行光管為對置 裝用基板）3 0。 ’本發明的裝配件不是特別限 面上的光學元件，製作各種各 ’按使用本發明，可提供玻璃 基板及其製造方法，以及採用 尺寸精度優良，抑制與光學元 熱膨脹差造成的不利情況，並 裝時的作業性。 542926 圖式簡單說明 ψ\ #1實 圖1為表示本發明的伞趨_ ^一上―土乃的先學元件表面安裝用基板的 (千仃先管陣列）的立體圖； 涑 圖2為表示本發明的夹 方 ^ ^ 〇0 ^ 月的九學兀件表面安裝用基板的製邊 的說明圖； :3為止表：抓用圖1所示的光學元件表面安裝用基板製作的 r:WB的個實例的圖，圖3 (a )為正面透視圖，圖3 C b )為左侧面透視圖； 圖4為表示採用本發日月 平杆一每 的光學元件表面安裝用基板製作的 ^ 一貫例的圖，圖4 (a )為採用折射率％黎t ,,4 131圖4 (b )為採用斜切纖維的媪人 圖5為表示本發明的萝 —λ 旧I配件的一個實例（多心纖維平夂t 管）的側視圖； $十仃光 圖6為表示本發明的桊 —η <々 t 管）的侧面透視圖； 十仃光 圖7為表示製作本菸 置調整方法的說明、的裝配件時，錢的光軸方向的位

第17頁 542926 圖式簡單說明 圖8為表示本發明的裝配件的另一實例（2維座標排列型平 行光管陣列）的圖，圖8 (a )為正視圖，圖8 (b )為沿圖 8 ( a )中的A-A線的剖視圖； 圖9為表示用於本發明的裝配件的再一實例（單向波導管 用平行光管）的光學元件表面安裝用基板的正視圖；以及 圖10為表示已有的光學元件表面安裝用基板（平行光管陣 列）的一個實例的立體圖。 圖式元件符號 1、 光學元件表面安裝用基板（絕緣體[下基板]) 2、 第一光學元件固定用槽（光纖固定用槽） 3、 V型槽 4、 外侧斜面部 5、 二光學元件固定用槽（透鏡固定用槽） 6、 凹槽 8、假想槽 1 0、平行光管 1 4、透鏡放置處 1 5、條式透鏡 16、 光纖（單股纖維） 17、 光纖包覆層

第18頁 542926 圖式簡單說明 1 8、上基板（推壓光學元件的基板） 1 9、斜切光纖不可 2 0、多心光纖平行光管（平行光管陣列） 30、單向波導管用表面安裝用基板 3 2、光纖固定用槽 3 4、球透鏡固定用槽 4 0、觸針 5 0、現有的平行光管陣列 5 2、光纖固定用槽 5 4、透鏡固定用槽 60、基板（光學元件表面安裝用基板） 6 2、推壓基板（透鏡用） 6 3、推壓基板（光纖用） 64、推壓基板（光纖包覆層用） 6 5、透鏡槽 6 6、光纖槽 6 7、枯合劑 6 8、臺階部 7 0、平凸型透鏡 72、分佈折射率型透鏡（GRIN透鏡） 8 0、二維排列平行光管陣列 8 2、導銷工裝 8 4、導鎖 86、導銷槽 542926 圖式簡單說明 9 0、折射率調整劑 IB1 第20頁

Claims (1)

1. 542926 六、申請專利範圍 1 '一種破璃製成的光學元件表面安裝用基板，它 直徑不同的多個光學 ；將 ΐI ΐ 於安裝多個光學元件中的、直徑較小的 、’子兀牛的第一光學元件固定用槽的同時，還在該第一 學^件,固定用槽的兩侧分別形成ν形槽；再在該兩侧所形 成、一里槽各自的外側的斜面部形成作為外侧槽的第二光 學兀件固定用槽；該第二光學元件固定用槽用於固定上述 多個光學元件中的，直徑較大的光學元件。 2根據申二月專利範圍第丄項所述的光學元件表面安裝用基 板/、中第一光學元件固定用槽呈下列形狀，其中僅僅該 外侧^與直徑較大的光學元件接觸，其底部不與直徑較大 的光學元件接觸。 用 根據申明專利範圍第丨或2項所述的光學元件表面安裝 基扳，其中篦-止 上與—μ 乐一光學凡件固定用槽按照將最初存在的第 光學-件固定用槽的—部分去除的方式形成。 4 · 一 法，它用於將直徑不门予的'件表面安裝用基板的製造方 應的各相對位置，=多個光學元件分別安裝刻與其相 形成第-光學元件固包括下列步驟： 的兩侧形成V形槽後，f曰並在該第-光學元件固定用槽 …、保持一致的方式進〃丁補

   542926 六、申請專利範圍 償，同時進行第二光學元件固定用槽的磨削加工，該假想 槽的中心位置指按照形成於該雨侧的v形槽的各自的外侧 斜面部作為外側槽的方式假定，計算的假想槽的中心位 置。 5 ·根據申請專利範圍第4項所述的光本元件表面安裝用基 板的製造方法，其中第二光學元件固定用槽呈下列形狀， 其中僅僅該外側槽與直徑較大的光學元件接觸，其底部不 與直徑較小的光學元件接觸。 6 ·根據申請專利範圍第4或5項所述的光學元件表面安裝 用ϊΐϋΐ造方法，其中第二光學^件固以槽按照將最 =存弟—光學元件肖®定用㈣一部分去除的方式形 種裝配件 杜麥而二 很艨申請專利範圍第1或2項的杏與分 件表面安裝用基板上， 以項的光學兀 汉 女裝多個光學元件而成。 8 · 一種裝配件 面安裝用基板上 ，明兮刊範圍第3項 安裝多個光學元件而成。、 )·根據申請專利範圍第7項辦、+、 由多層疊置而成。 、的裝配件，其中該裝配件

   第22頁 542926 六、申請專利範圍 I 0 ·根據申請專利範圍第8項所述的裝配件，其中該裝配 件由多層疊置而成。 II ·根據申請專利範圍第7項所述的多層疊置裝配件，其 中安裝於上述裝配件中的光學元件之一為透鏡，而且在安 裝有透鏡的光學元件固定用槽的相對面上設置有臺階部。

   1 2 ·根據申請專利範圍第8項所述的多層疊置裝配件，其 中安裝於上述裝配件中的光學元件之一為透鏡，而且在安 裝有透鏡的光學元件固定用槽的相對面上設置有臺階部。

   第23頁