JPH05333231A - 光導波路と光ファイバの接続方法 - Google Patents

光導波路と光ファイバの接続方法

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JPH05333231A
JPH05333231A JP4138789A JP13878992A JPH05333231A JP H05333231 A JPH05333231 A JP H05333231A JP 4138789 A JP4138789 A JP 4138789A JP 13878992 A JP13878992 A JP 13878992A JP H05333231 A JPH05333231 A JP H05333231A
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optical
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Hisaharu Yanagawa
久治 柳川
Takeo Shimizu
健男 清水
Shiro Nakamura
史朗 中村
Takeshi Ueki
健 植木
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Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/90—Methods

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ファイバと光導波路の接続を容易に行うこ
とができる方法を提供する。 【構成】 この方法は、導波路基板Ｂ2 の端面と光ファ
イバ配列具ｂ1 ，ｂ3 の端面を突き合わせて前記導波路
基板Ｂ2 に形成されている光導波路と前記光ファイバ配
列具ｂ1 ，ｂ3 に配列されている光ファイバ９，９，
９，９とを接続する方法において、前記導波路基板Ｂ2
と前記光ファイバ配列具ｂ1 ，ｂ3 のそれぞれには、両
者を突き合わせたときに同軸的に光軸方向に延びるマー
カ２，２と前記マーカ２，２を基準にして刻設されたピ
ンガイド溝６，６を形成し、かつ前記光ファイバ配列具
ｂ1 ，ｂ3 には前記マーカ２，２を基準にして刻設され
た光フィアバガイド溝７，７を形成し、前記導波路基板
Ｂ2 と前記光ファイバ配列具ｂ 1 ，ｂ3 の突き合わせ時
には、前記ピンガイド溝６，６に共通ガイドピン８，８
を収容して光導波路と光ファイバ９，９，９，９を調芯
することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光導波路と光ファイバの
接続方法に関し、更に詳しくは、光導波路が形成されて
いる光部品のその光導波路に小さい接続損失で光ファイ
バを簡単に接続する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信システムを組み立てるときに、光
部品として光導波路基板が使用される。この光導波路基
板としては、大別して、例えばＳｉ基板の上に屈折率が
異なる石英ガラスを堆積して光導波路を形成したもの
や、例えばＩｎＧａＡｓＰなどの特殊な半導体基板の上
に同じく各種組成の半導体薄膜を積層して光導波路を形
成したものがある。
【０００３】これらの光導波路基板を光通信システムに
おける光部品として機能させるためには、光導波路基板
に形成されている光導波路に、光の入力・出力を行うた
めの光ファイバを前記光導波路と調芯して接続すること
が必要である。この場合の光導波路と光ファイバの接続
は概ね次のように行われている。すなわちまず、光導波
路基板を所定のケーシング内に固定して位置決めし、光
導波路の一方の端面に光ファイバを突き合わせ、光導波
路の他方の端面から光導波路に光を導入しながら前記光
ファイバを動かして前記した光ファイバからの出力光の
強度が最大になった位置で光導波路と光ファイバを接着
剤などで接着して固定する。
【０００４】ついで、光導波路の他方の端面について
も、既に接続した光ファイバから光を導入しながら上記
と同様の方法で光ファイバの位置決めをして光導波路と
その光フィアバを固定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した接
続方法の場合、光導波路基板に形成されている光導波路
と光ファイバとを互いに芯ずれが起こらないように調芯
するための基準はなく、単に光ファイバに光を導入して
そのときの出力光の大小で芯ずれの有無の状態を判断し
ているにすぎず、接続の信頼性は低く接続損失の増量を
招くことがある。
【０００６】また、上記の接続方法の場合、光導波路の
端面と光ファイバとの突き合わせ、光ファイバへの光の
導入の準備や出力光の強度測定のための準備などの作業
に可成りの時間を要し、更には、高価な位置決め装置な
ども必要とするという問題がある。本発明は、従来の接
続方法における上記した問題を解決し、接続の信頼性は
高く、また接続作業は簡単かつ短時間で行うことができ
る光導波路と光ファイバの接続方法の提供を目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、導波路基板の端面と光ファ
イバ配列具の端面を突き合わせて前記導波路基板に形成
されている光導波路と前記光ファイバ配列具に配列され
ている光ファイバとを接続する方法において、前記導波
路基板と前記光ファイバ配列具のそれぞれには、両者を
突き合わせたときに同軸的に光軸方向に延びるマーカと
前記マーカを基準にして刻設されたピンガイド溝を形成
し、かつ前記光ファイバ配列具には前記マーカを基準に
して刻設された光ファイバガイド溝を形成し、前記導波
路基板と前記光ファイバ配列具の突き合わせ時には、前
記ピンガイド溝に共通ガイドピンを収容して光導波路と
光ファイバを調芯することを特徴とする光導波路と光フ
ァイバの接続方法が提供される。
【０００８】具体的には、基板の表面に、形成すべき光
導波路の長手方向に沿ってマーカを刻設する工程；前記
基板の表面に、下部クラッド，光導波路，上部クラッド
を形成して導波路基板にする工程；前記上部クラッドの
表面に、前記マーカを基準にして前記マーカの長手方向
に沿うピンガイド溝を刻設する工程；前記導波路基板を
光導波路の幅方向に切断して両端部チップと中央部チッ
プに３分割する工程；前記両端部チップの上部クラッド
の表面に、前記マーカを基準にして前記マーカの長手方
向に沿う光ファイバガイド溝を刻設して前記両端部チッ
プを光ファイバ配列具にする工程；ならびに、前記光フ
ァイバガイド溝に光ファイバを収容し、かつ、前記中央
部チップと前記光ファイバ配列具のそれぞれのピンガイ
ド溝に共通してガイドピンを収容した状態で、前記中央
部チップの両端面に前記光ファイバ配列具の端面を突き
合わせて前記光導波路と前記光ファイバを調芯したの
ち、全体を固定する工程；を備えていることを特徴とす
る光導波路と光ファイバの接続方法が提供される。
【０００９】
【作用】導波路基板の端面と光ファイバ配列具の端面を
突き合わせると、それぞれに形成されているマーカは互
いの軸を一致させて１本化して光軸方向に延びる。同時
に、基板と配列具に形成されているそれぞれのピンガイ
ド溝は、いずれも、基板と配列具に分割される前は上記
したマーカを基準にして刻設されているので、基板と配
列具の突き合わせ時には両者を共通して貫く共通ピンガ
イド溝となる。また、配列具に形成されている光ファイ
バガイド溝も上記したマーカを基準にして刻設されてい
るので、基板と配列具の突き合わせ時には、この光ファ
イバガイド溝に収容される光ファイバと基板に形成され
ている光導波路は互いの光軸を一致させて調芯される。
【００１０】したがって、上記したピンガイド溝に基板
と配列具を貫通するガイドピンを収容した状態で基板と
配列具を突き合わせれば、基板と配列具は互いに位置ず
れを起こすことはない。そのため、光導波路と光ファイ
バは、調芯された状態で固定されることになり、両者の
接続を非常に容易に行うことができる。
【００１１】
【実施例】以下に添付図面に基づいて本発明の実施例を
詳細に説明する。本発明においては、まず、図１で示し
たように、例えば長さ３０mm，幅１０mm，厚み１mmの寸
法であるＳｉ基板１を用意し、この基板の表面１ａの両
側に、例えば幅１０μｍ，深さ１０μｍの溝形状をし、
形成すべき光導波路の光軸方向に延びるマーカ溝２，２
を刻設する。このマーカは通常ダイシングソーで加工さ
れる。
【００１２】なお、マーカを最初にＳｉ基板１の表面に
刻設した理由は、Ｓｉが金属光沢をもつのでマーカの位
置確認が容易であり、それ以後の操作におけるピンガイ
ド溝や光ファイバガイド溝の刻設を高い精度で行うこと
ができるからである。ついで、この基板１の表面に常用
の火炎堆積法とドライエッチング法を適用して、図２で
示したように、マーカ溝２，２も埋めて石英系ガラスか
ら成る例えば厚み２０μｍの下部クラッド，光導波路
４，４、例えば厚み２０μｍの上部クラッド５を形成し
て導波路基板Ａにする。このとき、光導波路は、ここに
接続する光ファイバの標準単一モードと整合させるため
に、例えば８μｍ□の断面寸法で比屈折率差Δは0.３％
に選定される。
【００１３】ついで、図３で示したように、上部クラッ
ド５の表面５ａに、基板１に形成されているマーカ溝
２，２を基準にして、光導波路４，４の光軸方向に延び
る例えばＶ溝をスライサ加工して刻設し、これをピンガ
イド溝６，６として形成する。なお、上部クラッド５を
形成してからその表面にピンガイド溝６，６を刻設する
理由は、火炎堆積法で石英系ガラスから成る上部クラッ
ドの形成時に堆積した石英系ガラスの微粒子層が収縮す
るので、後述する中央部チップ（導波路基板），端部チ
ップ（光ファイバ配列具）の上部クラッドのいずれにお
いても、この収縮の影響を一定にしてそれぞれに形成す
るピンガイド溝の寸法精度を安定化するためである。
【００１４】その後、ピンガイド溝６，６が刻設されて
いる導波路基板を、光導波路４，４の光軸方向と直交し
て切断し、図４で示したように、端部チップＢ1 ，Ｂ3
と中央部チップＢ2 とに３分割する。したがって、これ
らチップＢ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 の各端面を突き合わせると、
各チップにおける相互のマーカ溝，相互の光導波路、お
よび相互のピンガイド溝は光軸方向で同軸になって、そ
れぞれは再び切断前と同じ直線状のマーカ溝，光導波
路，ピンガイド溝に復元する。
【００１５】つぎに、端部チップＢ1 ，Ｂ3 について
は、それぞれのマーカ溝を基準にして、上面にスライサ
加工によりそれぞれの光導波路の位置に光ファイバガイ
ド溝としてのＶ溝７，７を刻設してそれぞれを光ファイ
バ配列具ｂ1 ，ｂ3 にする（図５）。これら光ファイバ
ガイド溝７，７の断面形状は、接続すべき光ファイバを
ここに収容したときに、これら光ファイバが中央部チッ
プＢ2 の光導波路４，４と調芯できる形状にする。
【００１６】その後、中央部チップ（導波路基板）Ｂ2
の両端面に光ファイバ配列具ｂ1 ，ｂ3 の各端面を当接
する。それぞれのマーカ溝は光軸方向で合体して同軸な
１本のＶ溝を形成する。そしてこのＶ溝に、中央チップ
部Ｂ2 と光ファイバ配列具ｂ 1 ，ｂ3 にまたがるガイド
ピン８，８を収容し、あわせて、それぞれの光ファイバ
配列具ｂ1 ，ｂ3 の光ファイバガイド溝７，７に中央部
チップＢ2 の光導波路に接続すべき光ファイバ９，９，
９，９を収容する（図６）。ついでその上に、図７で示
したように断面形状が光ファイバ配列具ｂ1 ，ｂ3 の断
面形状と同じであるカバー１０を載せて、収容したガイ
ドピン８，８、光ファイバ９，９，９，９を押えつけ
る。中央部チップＢ2 と端部チップｂ1 ，ｂ3 は、マー
カ溝に収容されたガイドピンの働きで横ずれを起こすこ
となく固定され、また、光ファイバ配列具ｂ1 ，ｂ3 の
光ファイバガイド溝７，７に収容された光ファイバ９，
９，９，９もそこに固定されて中央部チップＢ2 の光導
波路と調芯する。
【００１７】この状態で、光ファイバの端面と光導波路
の端面を光接着剤を用いて接着することにより、光ファ
イバと光導波路の接続が完了する。なお、上記した実施
例においては、厚み１mmのＳｉ基板の表面に全体の厚み
が約４０μｍ程度の石英系ガラス層を火炎堆積法で形成
するので、その石英系ガラス層には曲率がメートルオー
ダーの反りが発生するので、光導波路と光ファイバを接
続したとき、光導波路や光ファイバのそれぞれは断面内
で水平な位置関係では円弧状に配置していることになる
が、しかし、光ファイバも光導波路も同一の円弧上に載
っているので、互いに軸ずれを起こすことはない。
【００１８】また、実施例は１個の導波路基板への光フ
ァイバの接続方法を例示しているが、本発明はこの態様
に限定されるものではなく、例えば１枚のウエハの上
に、複数個の導波路基板になるチップが含まれているよ
うな場合でもこれらに対して一括して適用することがで
きる。図示した実施例のほかに、例えば、図２で示した
導波路基板Ａを製造したのち、この導波路基板Ａを図５
のように幅方向に切断して３分割し、それぞれに、マー
カ溝２，２を基準にしてピンガイド溝を刻設し、両端の
チップに対しては更にマーカ溝を基準にして光ファイバ
ガイド溝を刻設してもよい。
【００１９】また、図１で示した基板のようにマーカ溝
を刻設した基板を幅方向に切断して３分割し、中央部チ
ップには下部クラッド，光導波路，上部クラッドから成
る石英系ガラス層を火炎堆積法で形成し、また両端のチ
ップには前記石英系ガラス層と同じ厚みのガラス層を火
炎堆積法で形成し、それぞれのマーカ溝を基準にしてそ
れぞれに独立してピンガイド溝を刻設してもよい。この
場合、石英系ガラス層には約0.０１％程度の収縮が起こ
るので、光ファイバ配列具になるチップのピンガイド溝
の間隔は導波路基板のチップになるそれよりも約0.０１
％程度狭くすることが必要になる。
【００２０】更には、基板にマーカを刻設することなく
基板の表面に石英系ガラス層を形成し、少なくとも光導
波路用のコア層を形成したときに、そこにマーカを刻設
し、このマーカを基準にしてピンガイド溝を刻設しても
よい。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明方
法によれば、導波路基板と光ファイバ配列具に共通して
刻設されているマーカを基準にして、導波路基板と光フ
ァイバ配列具に共通するピンガイド溝が形成され、また
光ファイバ配列具には上記マーカを基準にして光ファイ
バガイド溝が形成されているので、ピンガイド溝に共通
のガイドピンを収容した状態で導波路基板と光ファイバ
配列具を突き合わせれば、自動的に光ファイバと光導波
路の調芯状態が実現される。したがって、両者の接続は
非常に行いやすくなる。また接続損失も少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板にマーカを刻設した状態を示す斜視図であ
る。
【図２】基板に下部クラッド，光導波路，上部クラッド
を形成した状態を示す斜視図である。
【図３】図２の導波路基板にピンガイド溝を刻設した状
態を示す斜視図である。
【図４】図３の導波路基板を幅方向に切断して３分割し
た状態を示す斜視図である。
【図５】図３の端部チップに光ファイバガイド溝を刻設
して光ファイバ配列具にした状態を示す斜視図である。
【図６】光導波路と光ファイバを接続した状態を示す斜
視図である。
【図７】図６の接続時に用いるカバーを示す断面図であ
る。
【符号の説明】
１ 基板 １ａ 基板１の表面 ２ マーカ ３ 下部クラッド ４ 光導波路 ５ 上部クラッド ５ａ 上部クラッドの表面 ６ Ｖ溝（ピンガイド溝） ７ Ｖ溝（光ファイバガイド溝） ８ ガイドピン ９ 光ファイバ Ａ 導波路基板 Ｂ1 ，Ｂ3 端面チップ Ｂ2 中央部チップ（導波路基板） ｂ1 ，ｂ3 光ファイバ配列具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植木 健 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 導波路基板の端面と光ファイバ配列具の
    端面を突き合わせて前記導波路基板に形成されている光
    導波路と前記光ファイバ配列具に配列されている光ファ
    イバとを接続する方法において、前記導波路基板と前記
    光ファイバ配列具のそれぞれには、両者を突き合わせた
    ときに同軸的に光軸方向に延びるマーカと前記マーカを
    基準にして刻設されたピンガイド溝を形成し、かつ前記
    光ファイバ配列具には前記マーカを基準にして刻設され
    た光ファイバガイド溝を形成し、前記導波路基板と前記
    光ファイバ配列具の突き合わせ時には、前記ピンガイド
    溝に共通ガイドピンを収容して光導波路と光ファイバを
    調芯することを特徴とする光導波路と光ファイバの接続
    方法。
  2. 【請求項２】 基板の表面に、形成すべき光導波路の長
    手方向に沿ってマーカを刻設する工程；前記基板の表面
    に、下部クラッド，光導波路，上部クラッドを形成して
    導波路基板にする工程；前記上部クラッドの表面に、前
    記マーカを基準にして前記マーカの長手方向に沿うピン
    ガイド溝を刻設する工程；前記導波路基板を光導波路の
    幅方向に切断して両端部チップと中央部チップに３分割
    する工程；前記両端部チップの上部クラッドの表面に、
    前記マーカを基準にして前記マーカの長手方向に沿う光
    ファイバガイド溝を刻設して前記両端部チップを光ファ
    イバ配列具にする工程；ならびに、前記光ファイバガイ
    ド溝に光ファイバを収容し、かつ、前記中央部チップと
    前記光ファイバ配列具のそれぞれのピンガイド溝に共通
    してガイドピンを収容した状態で、前記中央部チップの
    両端面に前記光ファイバ配列具の端面を突き合わせて前
    記光導波路と前記光ファイバを調芯したのち、全体を固
    定する工程；を備えていることを特徴とする光導波路と
    光ファイバの接続方法。
JP4138789A 1992-05-29 1992-05-29 光導波路と光ファイバの接続方法 Pending JPH05333231A (ja)

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US08/063,005 US5297228A (en) 1992-05-29 1993-05-17 Method of connecting an optical fiber to an optical waveguide
EP93108363A EP0571924B1 (en) 1992-05-29 1993-05-24 Method of connecting an optical fiber to an optical waveguide
DE69304138T DE69304138T2 (de) 1992-05-29 1993-05-24 Verfahren zum Verbinden eines optischen Wellenleiters mit einer optischen Faser
CA002096894A CA2096894A1 (en) 1992-05-29 1993-05-25 Method of connecting an optical fiber to an optical waveguide

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0693698A2 (en) 1994-07-21 1996-01-24 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optical waveguide module having waveguide substrate made of predetermined material and ferrule made of material different from that of waveguide substrate
JP2020008778A (ja) * 2018-07-11 2020-01-16 日本電信電話株式会社 ハイブリッド光デバイスの溝作製方法およびハイブリッド光デバイス

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06201936A (ja) * 1992-12-28 1994-07-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光ファイバアレイ及びその製造方法
CA2127861C (en) * 1993-07-14 2004-09-21 Shinji Ishikawa Coupling structure of optical fibers and optical waveguides
JPH0792342A (ja) * 1993-07-29 1995-04-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路モジュール
US5400423A (en) * 1993-09-07 1995-03-21 Motorola Molded star coupler and method of making same
FR2716981B1 (fr) * 1994-03-03 1996-05-24 Daniel Boscher Procédé de connexion optique multivoies pour fibres optiques.
SE503905C2 (sv) * 1994-03-16 1996-09-30 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande för framställning av en optokomponent samt optokomponent
SE513183C2 (sv) * 1994-03-18 2000-07-24 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande för framställning av en optokomponent samt kapslad optokomponent
US5572614A (en) * 1994-11-04 1996-11-05 Alcatel Network Systems, Inc. Method and apparatus for aligning a separately supported fiber tip and fiber communications circuit
IT1271319B (it) * 1994-12-23 1997-05-27 Italtel Spa Sistema di accoppiamento autoallineante tra fibre ottiche e guide d'onda
US5471552A (en) * 1995-02-22 1995-11-28 Industrial Technology Research Institute Fabrication of static-alignment fiber-guiding grooves for planar lightwave circuits
JP3356581B2 (ja) * 1995-05-12 2002-12-16 松下電器産業株式会社 光回路部品及びその製造方法
FR2746545B1 (fr) * 1996-03-25 1998-06-12 Alcatel Sel Aktiengesellsohaft Procede pour fabriquer un composant a substrat de silicium cristallin
US5748827A (en) * 1996-10-23 1998-05-05 University Of Washington Two-stage kinematic mount
JP3835018B2 (ja) * 1998-10-26 2006-10-18 住友電気工業株式会社 光デバイスと光デバイスを備えた光モジュール
CA2258398A1 (en) * 1999-01-07 2000-07-07 Victor Benham An adhesive-free lens-attached optical fibers to optical waveguide packaging system
US6595700B2 (en) 2000-04-04 2003-07-22 Shipley Company, L.L.C. Optoelectronic packages having insulation layers
US6866426B1 (en) * 2000-04-07 2005-03-15 Shipley Company, L.L.C. Open face optical fiber array for coupling to integrated optic waveguides and optoelectronic submounts
US6848839B2 (en) * 2000-04-07 2005-02-01 Shipley Company, L.L.C. Methods and devices for coupling optoelectronic packages
US6832016B2 (en) 2000-04-13 2004-12-14 Shipley Company, L.L.C. Fiber array switch having micromachined front face with roller balls
US6826324B2 (en) * 2000-04-13 2004-11-30 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch
US6842552B1 (en) 2000-04-13 2005-01-11 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch
US6798933B2 (en) * 2000-04-14 2004-09-28 Shipley Company, L.L.C. Fiber optic array switch
US6847764B2 (en) 2000-04-14 2005-01-25 Shipley Company, L.L.C. Optical interconnect having alignment depression
US6633691B2 (en) * 2000-05-02 2003-10-14 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch having stepped waveguide holding member
US6748131B2 (en) * 2000-05-19 2004-06-08 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide devices and methods of fabricating the same
US6788853B2 (en) * 2000-06-28 2004-09-07 Shipley Company, L.L.C. Method for cleaving integrated optic waveguides to provide a smooth waveguide endface
KR100382704B1 (ko) * 2000-06-29 2003-05-01 박찬식 광통신용 광도파로 소자 모듈을 구성하기 위한 광섬유의 정렬 방법
US6870981B2 (en) 2000-08-24 2005-03-22 Shipley Company, L.L.C. Optical switch and method for making
US6853764B2 (en) * 2000-08-28 2005-02-08 Shipley Company, L.L.C. Optical switch assembly and method for making
US6810162B2 (en) * 2000-12-20 2004-10-26 Shipley Company, L.L.C. Optical switch assembly with flex plate and method for making
US6986608B2 (en) 2001-01-16 2006-01-17 Molex Incorporated Passive alignment connection for fiber optics
JP3824541B2 (ja) * 2001-02-27 2006-09-20 日本碍子株式会社 光部品表面実装用基板及びその製造方法、並びにこれを用いた組立品
US6744953B2 (en) * 2001-09-07 2004-06-01 Agilent Technologies, Inc. Planar optical waveguide with alignment structure
US6631228B2 (en) * 2001-09-14 2003-10-07 Photon-X, Inc. Adhesive-free bonding method of fiber attachment for polymer optical waveguide on polymer substrate
AU2002357700A1 (en) * 2001-11-08 2003-05-19 Shipley Company, Llc Fiber optic termination
US6728449B2 (en) * 2002-02-14 2004-04-27 Agilent Technologies, Inc. Fiber assembly alignment using fiducials
KR100476317B1 (ko) * 2002-10-24 2005-03-16 한국전자통신연구원 광결합 소자 및 그 제작 방법, 광결합 소자 제작을 위한마스터 및 그 제작 방법
KR100467833B1 (ko) * 2002-12-24 2005-01-25 삼성전기주식회사 광도파로용 다층 인쇄회로기판을 형성하는 방법
US7076136B1 (en) 2003-03-11 2006-07-11 Inplane Photonics, Inc. Method of attaching optical fibers to integrated optic chips that excludes all adhesive from the optical path
JP2010128089A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Nitto Denko Corp 光導波路および光学式タッチパネル
US10048455B2 (en) * 2016-01-18 2018-08-14 Cisco Technology, Inc. Passive fiber array connector alignment to photonic chip
US11105989B2 (en) * 2017-03-29 2021-08-31 Agency For Science, Technology And Research Optical assembly and method of forming the same
US10656339B2 (en) 2018-03-14 2020-05-19 Cisco Technology, Inc. Fiber to chip alignment using passive vgroove structures
WO2021108235A1 (en) * 2019-11-30 2021-06-03 Corning Incorporated Optical waveguides and methods for producing
US11145606B1 (en) * 2020-03-26 2021-10-12 Globalfoundries U.S. Inc. Corner structures for an optical fiber groove

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH628152A5 (fr) * 1977-11-24 1982-02-15 Comp Generale Electricite Fiche de connecteur fibre a fibre pour cable optique multifibre.
US5018817A (en) * 1987-07-24 1991-05-28 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of optically coupling optical fiber to waveguide on substrate, and optical device produced by the method
US4904036A (en) * 1988-03-03 1990-02-27 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Subassemblies for optoelectronic hybrid integrated circuits
FR2661516B1 (fr) * 1990-04-27 1992-06-12 Alcatel Fibres Optiques Composant d'optique integree et procede de fabrication.
WO1992021047A1 (en) * 1991-05-20 1992-11-26 The Furukawa Electric Co., Ltd. Method of connecting optical waveguide to optical fiber

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0693698A2 (en) 1994-07-21 1996-01-24 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optical waveguide module having waveguide substrate made of predetermined material and ferrule made of material different from that of waveguide substrate
JP2020008778A (ja) * 2018-07-11 2020-01-16 日本電信電話株式会社 ハイブリッド光デバイスの溝作製方法およびハイブリッド光デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
US5297228A (en) 1994-03-22
CA2096894A1 (en) 1993-11-30
EP0571924A1 (en) 1993-12-01
DE69304138D1 (de) 1996-09-26
EP0571924B1 (en) 1996-08-21
DE69304138T2 (de) 1997-04-03

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