JPH0720358A - 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法 - Google Patents
光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法Info
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- JPH0720358A JPH0720358A JP5165685A JP16568593A JPH0720358A JP H0720358 A JPH0720358 A JP H0720358A JP 5165685 A JP5165685 A JP 5165685A JP 16568593 A JP16568593 A JP 16568593A JP H0720358 A JPH0720358 A JP H0720358A
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- light guide
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンパクトで低廉な光ファイバ付平面導光路
部品を提供する。 【構成】 平面導光路端面に接続光ファイバ１６を実装
した光ファイバ付平面導光路部品の平面導光路チップ
に、平面導光路回路のアンダークラッド層１２上に設け
られたマークを加工マークとして用い、直接Ｖ溝部１３
を形成し、かつＶ溝部を横断する形で導波路コア部１５
の端面部を導光路基板１１の基板平面に対して垂直面に
加工する垂直溝１４を作製する。平面導光路チップの導
光路コア部１５と光ファイバのコア部１７とを突き当て
て固定し接続する。このＶ溝部は導波路コア部の側面に
対して鋭角で設けてもよい。導光路コア部の端面に接し
Ｖ溝部を覆うスペーサ付上蓋を備えてもよい。
部品を提供する。 【構成】 平面導光路端面に接続光ファイバ１６を実装
した光ファイバ付平面導光路部品の平面導光路チップ
に、平面導光路回路のアンダークラッド層１２上に設け
られたマークを加工マークとして用い、直接Ｖ溝部１３
を形成し、かつＶ溝部を横断する形で導波路コア部１５
の端面部を導光路基板１１の基板平面に対して垂直面に
加工する垂直溝１４を作製する。平面導光路チップの導
光路コア部１５と光ファイバのコア部１７とを突き当て
て固定し接続する。このＶ溝部は導波路コア部の側面に
対して鋭角で設けてもよい。導光路コア部の端面に接し
Ｖ溝部を覆うスペーサ付上蓋を備えてもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ，導光路を
通る信号光を処理する平面導光路の両端あるいは片端面
に接続用光ファイバを接続した光ファイバ付平面導光路
部品およびその製造方法に関するものである。
通る信号光を処理する平面導光路の両端あるいは片端面
に接続用光ファイバを接続した光ファイバ付平面導光路
部品およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光通信システムに用いられる光導
波路と光ファイバ間の接続には寸法精度の高い光導波路
端面と、やはり寸法精度の高いＶ溝ブロック等に固定さ
れた光ファイバ芯線群の端面を機械的に接続する方法
や、一方の光導波路から光を入射し、他方の光導波路で
これを受光しながら光出力に対してフィードバックをか
ける自動調芯装置（通称 ピーク・サーチャー）で調芯
し、接着剤等で両部品を固定した部品が用いられてき
た。
波路と光ファイバ間の接続には寸法精度の高い光導波路
端面と、やはり寸法精度の高いＶ溝ブロック等に固定さ
れた光ファイバ芯線群の端面を機械的に接続する方法
や、一方の光導波路から光を入射し、他方の光導波路で
これを受光しながら光出力に対してフィードバックをか
ける自動調芯装置（通称 ピーク・サーチャー）で調芯
し、接着剤等で両部品を固定した部品が用いられてき
た。
【０００３】図５（Ａ）に従来の導光路部品と光ファイ
バ部の接続法および（Ｂ）に接続後の完成部品を示す。
バ部の接続法および（Ｂ）に接続後の完成部品を示す。
【０００４】図５（Ａ）中、２１は接続用光ファイバブ
ロック、２２は被接続平面導光路、２３はファイバブロ
ックの配列部（通常Ｖ溝ブロックへのはさみ込みが用い
られる。）を示す。２４は光ファイバテープ部、２５は
ピーク・サーチャー（図より省略）用光パワーモニタ、
２６はピーク・サーチャー用ステージコントローラ、２
７は平面導光路クラッド部、２８は支持用基板部を示
す。２９は平面導光路チップを保持する固定ブロック、
２１０は光源からの光を平面導光路に導く投光用光ファ
イバ、２１１はＬＤ光源を各々示している。
ロック、２２は被接続平面導光路、２３はファイバブロ
ックの配列部（通常Ｖ溝ブロックへのはさみ込みが用い
られる。）を示す。２４は光ファイバテープ部、２５は
ピーク・サーチャー（図より省略）用光パワーモニタ、
２６はピーク・サーチャー用ステージコントローラ、２
７は平面導光路クラッド部、２８は支持用基板部を示
す。２９は平面導光路チップを保持する固定ブロック、
２１０は光源からの光を平面導光路に導く投光用光ファ
イバ、２１１はＬＤ光源を各々示している。
【０００５】図５（Ｂ）中、２１６は完成した光ファイ
バ付平面導光路部品を示し、２１２は平面導光路チップ
部、２１３は光ファイバブロック部、２１４は保護ブー
ツ部、２１５は接続された光ファイバテープを各々示し
ている。
バ付平面導光路部品を示し、２１２は平面導光路チップ
部、２１３は光ファイバブロック部、２１４は保護ブー
ツ部、２１５は接続された光ファイバテープを各々示し
ている。
【０００６】従来の接続は以下の手順で行われていた。
【０００７】光ファイバブロックの作製 光ファイバブロック内の精密加工したＶ溝に光ファイバ
を配列させＵＶ接着剤等で固定、端面部を研磨の後、各
個別ファイバをピーク・サーチャーで走査しファイバピ
ッチ誤差の少ないものを選択する。
を配列させＵＶ接着剤等で固定、端面部を研磨の後、各
個別ファイバをピーク・サーチャーで走査しファイバピ
ッチ誤差の少ないものを選択する。
【０００８】図５（Ａ）の調芯系で半導体レーザ光を
モニタしながら、調芯する。
モニタしながら、調芯する。
【０００９】調芯は精密微動光学台を用い片端面ずつ
ｘ，ｙ，ｚ，縦，横あおりについて調芯し、接続ファイ
バが複数のときは両端を交互に調芯し、双方の値を各々
最適値にして、その後ＵＶ接着剤等で両部品を固定す
る。
ｘ，ｙ，ｚ，縦，横あおりについて調芯し、接続ファイ
バが複数のときは両端を交互に調芯し、双方の値を各々
最適値にして、その後ＵＶ接着剤等で両部品を固定す
る。
【００１０】ここで述べた方法は、現行の技術では最も
高い精度を備えた光ファイバ実装法であるか、以下の欠
点を克服することができなかった。
高い精度を備えた光ファイバ実装法であるか、以下の欠
点を克服することができなかった。
【００１１】寸法面 自動調芯治具に光ファイバブロック２１を装着調芯する
ために光ファイバブロック２１はある程度の剛性と寸法
を持たなければならない。
ために光ファイバブロック２１はある程度の剛性と寸法
を持たなければならない。
【００１２】図５で示されるように平面導光路両端で通
常３０ｍｍ〜４０ｍｍ大きくなる。
常３０ｍｍ〜４０ｍｍ大きくなる。
【００１３】コスト面 接続に用いるファイバブロック２１を精密加工し、研磨
後、ファイバコア位置の測定を行って用いるためブロッ
ク自身が高価になる。
後、ファイバコア位置の測定を行って用いるためブロッ
ク自身が高価になる。
【００１４】また、平面導光路接続の際は、複数の出
射，入射光量をモニタしながら、最適位置に追い込んで
ゆくため、高精度のピーク・サーチャーを長時間占有
し、非常に生産性が悪いため完成した部品は非常に高価
なものであった。
射，入射光量をモニタしながら、最適位置に追い込んで
ゆくため、高精度のピーク・サーチャーを長時間占有
し、非常に生産性が悪いため完成した部品は非常に高価
なものであった。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は以上説
明した、従来の光ファイバ付平面導光路部品の持つ２つ
の欠点、つまり寸法の大きさの問題と製作実装コストの
高さの問題を同時に解決した、新しい光ファイバ付導光
路部品およびその製造方法を提供することにある。
明した、従来の光ファイバ付平面導光路部品の持つ２つ
の欠点、つまり寸法の大きさの問題と製作実装コストの
高さの問題を同時に解決した、新しい光ファイバ付導光
路部品およびその製造方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、平面導光路端面に接続用光ファイバを実装した光フ
ァイバ付平面導光路部品において、平面導光路チップに
直接Ｖ溝を形成し、かつＶ溝を横断する形で導波路コア
端面部を基板平面に対して垂直面に加工する溝を作製し
たことを特徴とする。
は、平面導光路端面に接続用光ファイバを実装した光フ
ァイバ付平面導光路部品において、平面導光路チップに
直接Ｖ溝を形成し、かつＶ溝を横断する形で導波路コア
端面部を基板平面に対して垂直面に加工する溝を作製し
たことを特徴とする。
【００１７】請求項２に記載の発明は、前記Ｖ溝を横断
する溝を基板平面に対して垂直かつ導波路コア側面に対
して鋭角で設けることを特徴とする。
する溝を基板平面に対して垂直かつ導波路コア側面に対
して鋭角で設けることを特徴とする。
【００１８】請求項３に記載の発明は、前記導光路コア
端面に接しＶ溝部を覆うスペーサ付上蓋を備えることを
特徴とする。
端面に接しＶ溝部を覆うスペーサ付上蓋を備えることを
特徴とする。
【００１９】請求項４に記載の発明は、請求項１，２ま
たは３に記載の光ファイバ付平面導光路部品の導光路コ
ア部にファイバを導くＶ溝部の機械加工において、平面
導光路回路のアンダークラッド上に設けられたマークを
加工マークとして用いることを特徴とする。
たは３に記載の光ファイバ付平面導光路部品の導光路コ
ア部にファイバを導くＶ溝部の機械加工において、平面
導光路回路のアンダークラッド上に設けられたマークを
加工マークとして用いることを特徴とする。
【００２０】本発明は光ファイバ配列用Ｖ溝を平面導光
路チップに加工することを最も大きな特長とする。従来
の方法とは光ファイバブロックを個別部品として用いて
いないことが第１の相異点である。
路チップに加工することを最も大きな特長とする。従来
の方法とは光ファイバブロックを個別部品として用いて
いないことが第１の相異点である。
【００２１】第２の相異点は、Ｖ溝を平面導光路チップ
に加工する際にＶ溝加工基準面に平面導光路アンダーク
ラッド層を用い、この面にあらかじめ加工基準マークを
加工指標として用いることである。
に加工する際にＶ溝加工基準面に平面導光路アンダーク
ラッド層を用い、この面にあらかじめ加工基準マークを
加工指標として用いることである。
【００２２】第３の相異点は、光ファイバ配置用Ｖ溝を
横断する溝を持つことである。
横断する溝を持つことである。
【００２３】ファイバ挿入用に加工されたＶ溝はダイシ
ングソー加工を中断する形でガラス層に加工されるため
図２（Ｂ）中の１０ａで示される加工端の曲率部を持
つ。この曲率部の存在はファイバ芯線を挿入しコアに突
き合わせるための障害となる。Ｖ溝を横断する溝をマイ
クロラップ工程で加工することは、この曲率部を横断溝
によって除去することが第１の目的であり、また、マイ
クロラップ工程でファイバ芯線突き当て面（コア端面）
を研磨することによってファイバ芯線端面との突き合わ
せ整合性を高めることが第２の目的である。
ングソー加工を中断する形でガラス層に加工されるため
図２（Ｂ）中の１０ａで示される加工端の曲率部を持
つ。この曲率部の存在はファイバ芯線を挿入しコアに突
き合わせるための障害となる。Ｖ溝を横断する溝をマイ
クロラップ工程で加工することは、この曲率部を横断溝
によって除去することが第１の目的であり、また、マイ
クロラップ工程でファイバ芯線突き当て面（コア端面）
を研磨することによってファイバ芯線端面との突き合わ
せ整合性を高めることが第２の目的である。
【００２４】以下、図面を用いて本発明を詳細に説明す
る。
る。
【００２５】図１は本発明の一つの例による光ファイバ
付平面導光路部品を示す模式的斜視図であり、図中１１
は導光路基板、１２はアンダークラッド層、１３は加工
したＶ溝部を各々示す。１４は加工接続端部のＶ溝を横
断する垂直溝、１５は導光路コア部、１６は接続光ファ
イバ、１７は光ファイバのコア部を各々示す。１８はス
ペーサ付上蓋を示し、本発明の別の例で、Ｖ溝部１３に
スペーサ付上蓋を設けた例である。１９は挿入用スペー
サを示している。
付平面導光路部品を示す模式的斜視図であり、図中１１
は導光路基板、１２はアンダークラッド層、１３は加工
したＶ溝部を各々示す。１４は加工接続端部のＶ溝を横
断する垂直溝、１５は導光路コア部、１６は接続光ファ
イバ、１７は光ファイバのコア部を各々示す。１８はス
ペーサ付上蓋を示し、本発明の別の例で、Ｖ溝部１３に
スペーサ付上蓋を設けた例である。１９は挿入用スペー
サを示している。
【００２６】ファイバ芯線部はＶ溝ガイド部より挿入さ
れ、端面に突き当てる型で固定し接続される。
れ、端面に突き当てる型で固定し接続される。
【００２７】Ｖ溝の加工精度は、基準面より±０．２μ
ｍ以内に加工できるが、平面導光路の作製プロセス内で
は成膜の条件によりアンダークラッド層膜厚は±１μｍ
程度変動する。このために、アンダークラッド上面を基
準として加工したＶ溝はコア層に近い面を基準とするた
め、Ｖ溝の精度は格段に向上する。具体的には平面導光
路パタン加工時にアンダークラッド露出部を設け、フォ
トリソグラフ工程でＶ溝加工用の加工マークを設置して
おけばよい。
ｍ以内に加工できるが、平面導光路の作製プロセス内で
は成膜の条件によりアンダークラッド層膜厚は±１μｍ
程度変動する。このために、アンダークラッド上面を基
準として加工したＶ溝はコア層に近い面を基準とするた
め、Ｖ溝の精度は格段に向上する。具体的には平面導光
路パタン加工時にアンダークラッド露出部を設け、フォ
トリソグラフ工程でＶ溝加工用の加工マークを設置して
おけばよい。
【００２８】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
【００２９】（実施例１）図２は本発明による光ファイ
バ付平面導光路部品の製造工程を示す模式的斜視図であ
る。厚さ１ｍｍのＳｉウェハ１上に火炎堆積法（ＦＨ
Ｄ：Ｆｌａｍｅ Ｈｙｄｒｏｌｙｓｉｓ Ｄｅｐｏｓｉ
ｔｉｏｎ）を用いて、アンダークラッド層石英ガラス，
コア層ガラス，オーバクラッド層ガラスを順次堆積して
導光路１０を作製した。コア層ガラスは中途工程でフォ
トリソグラフ工程を介し導光路ストレートパタンを作製
した。各膜厚は各々約４０μｍ，８μｍ，３０μｍとし
た。
バ付平面導光路部品の製造工程を示す模式的斜視図であ
る。厚さ１ｍｍのＳｉウェハ１上に火炎堆積法（ＦＨ
Ｄ：Ｆｌａｍｅ Ｈｙｄｒｏｌｙｓｉｓ Ｄｅｐｏｓｉ
ｔｉｏｎ）を用いて、アンダークラッド層石英ガラス，
コア層ガラス，オーバクラッド層ガラスを順次堆積して
導光路１０を作製した。コア層ガラスは中途工程でフォ
トリソグラフ工程を介し導光路ストレートパタンを作製
した。各膜厚は各々約４０μｍ，８μｍ，３０μｍとし
た。
【００３０】Ｓｉウェハ基板１上の端部には、コア層，
オーバクラッド層をあらかじめ取り除いたアンダークラ
ッド露出部１ａを設け、Ｖ溝加工用の加工マーク２を金
蒸着により作製した。
オーバクラッド層をあらかじめ取り除いたアンダークラ
ッド露出部１ａを設け、Ｖ溝加工用の加工マーク２を金
蒸着により作製した。
【００３１】ダイシングソー移動ヘッド４に図２（Ａ）
に示すように、直径２″の刃５を取付けたダイシングソ
ーで、Ｖ溝角６０°，深さ１０８．２５μｍのＶ溝６を
導光路コア３に沿って２５０μｍピッチで８本加工し、
図２（Ｂ）に示す構造を得た。
に示すように、直径２″の刃５を取付けたダイシングソ
ーで、Ｖ溝角６０°，深さ１０８．２５μｍのＶ溝６を
導光路コア３に沿って２５０μｍピッチで８本加工し、
図２（Ｂ）に示す構造を得た。
【００３２】次に、図２（Ｃ）に示すよう、溝終端面か
らＶ溝６を横断する形状で幅２．２ｍｍ、コアに垂直の
凹溝７をマイクロラッピング移動ヘッド８に取付けた刃
９を用いて深さ１２０μｍで加工後、マイクロラッピン
グでコア端面を研磨した。
らＶ溝６を横断する形状で幅２．２ｍｍ、コアに垂直の
凹溝７をマイクロラッピング移動ヘッド８に取付けた刃
９を用いて深さ１２０μｍで加工後、マイクロラッピン
グでコア端面を研磨した。
【００３３】次に８芯の光ファイバテープ端面の被覆を
除去し、洗浄した後に端面を垂直カットした光ファイバ
芯線群をＶ溝に添わせて実装し、導光路端面に突き当て
た。この状態でファイバを固定しＵＶ接着剤（Ｏｐｔｆ
ｌｏｎ（登録商標）＃２１００）を上部より滴下し、平
面研磨石英ガラス板で押し付け、ＵＶ光を照射しＵＶ接
着固定した。
除去し、洗浄した後に端面を垂直カットした光ファイバ
芯線群をＶ溝に添わせて実装し、導光路端面に突き当て
た。この状態でファイバを固定しＵＶ接着剤（Ｏｐｔｆ
ｌｏｎ（登録商標）＃２１００）を上部より滴下し、平
面研磨石英ガラス板で押し付け、ＵＶ光を照射しＵＶ接
着固定した。
【００３４】（比較例１）実施例１と同一条件のＳｉウ
ェハ２上の平面導光路パタンを作製した。ただし、Ｖ溝
加工は同一のダイシングソーでオーバクラッド層上に加
工マークを設け、実施例１のＶ溝深さにオーバクラッド
プロセスの作製膜厚３０μｍをプラスした１３８．２５
μｍ、６０°の深さとし、後は実施例１と同様に接続固
定した。
ェハ２上の平面導光路パタンを作製した。ただし、Ｖ溝
加工は同一のダイシングソーでオーバクラッド層上に加
工マークを設け、実施例１のＶ溝深さにオーバクラッド
プロセスの作製膜厚３０μｍをプラスした１３８．２５
μｍ、６０°の深さとし、後は実施例１と同様に接続固
定した。
【００３５】（比較例２）比較例１と同様にＶ溝加工を
行った導光路ウェハを用意した。ただし、Ｖ溝加工の基
準面はＳｉウェハ２の上面としガラス作製プロセスの既
定値（アンダークラッド４０μｍ）を差し引いた６８．
２５μｍ深さのＶ溝（６０°）とした。
行った導光路ウェハを用意した。ただし、Ｖ溝加工の基
準面はＳｉウェハ２の上面としガラス作製プロセスの既
定値（アンダークラッド４０μｍ）を差し引いた６８．
２５μｍ深さのＶ溝（６０°）とした。
【００３６】（実施例２）本実施例は、図３（Ａ）に示
すよう、Ｖ溝斜め横断凹溝３１を導光路チップ部３２と
Ｖ溝部３３との間に設けてある。
すよう、Ｖ溝斜め横断凹溝３１を導光路チップ部３２と
Ｖ溝部３３との間に設けてある。
【００３７】実施例１と同様のＶ溝加工平面導光路基板
を加工した。Ｖ溝斜め横断凹溝３１は図３（Ａ）のよう
にＶ溝に対して８３°の角度とした。光ファイバテープ
３５の芯線群３４は、図３（Ｂ）に示すように、あらか
じめテープ面に対して８３°の角度に切断加工した。こ
の斜めカットしたファイバ芯線群３４を導光路コア面に
突き当て、上部より透明石英板とＵＶ接着剤を用いて固
定した。
を加工した。Ｖ溝斜め横断凹溝３１は図３（Ａ）のよう
にＶ溝に対して８３°の角度とした。光ファイバテープ
３５の芯線群３４は、図３（Ｂ）に示すように、あらか
じめテープ面に対して８３°の角度に切断加工した。こ
の斜めカットしたファイバ芯線群３４を導光路コア面に
突き当て、上部より透明石英板とＵＶ接着剤を用いて固
定した。
【００３８】（実施例３）実施例１と同様のＶ溝加工を
施した導光路基板上に、図４で示す櫛の歯状（２５０μ
ｍピッチ）でコの字状に加工した石英ブロックをスペー
サ付上蓋１８としてスペーサを兼ねたホットメルト接着
フィルム１９を介して圧着し、ファイバ芯線群を挿入す
るための五角形のトンネル部を設けた導光路を準備し
た。コの字の幅は１４０μｍ±５μｍとし、深さは６
２．５０μｍと正確な加工とした。スペーサ兼用のホッ
トメルト接着剤層１９は３μｍの厚みのものを用いた。
図４のようなＶ溝部をガイドとしてファイバ芯線を挿入
し、ファイバ端面と導光路コア面を突き当てた後、ホッ
トメルト用ブロアーで温風加熱しながら、上記石英ブロ
ックを約５００ｇ重の力で押し付けファイバをＶ溝およ
びコの字底面の三点で固定した。冷却後、空隙部および
周囲をＵＶ接着剤で固め光ファイバ付き導光路部品とし
た。
施した導光路基板上に、図４で示す櫛の歯状（２５０μ
ｍピッチ）でコの字状に加工した石英ブロックをスペー
サ付上蓋１８としてスペーサを兼ねたホットメルト接着
フィルム１９を介して圧着し、ファイバ芯線群を挿入す
るための五角形のトンネル部を設けた導光路を準備し
た。コの字の幅は１４０μｍ±５μｍとし、深さは６
２．５０μｍと正確な加工とした。スペーサ兼用のホッ
トメルト接着剤層１９は３μｍの厚みのものを用いた。
図４のようなＶ溝部をガイドとしてファイバ芯線を挿入
し、ファイバ端面と導光路コア面を突き当てた後、ホッ
トメルト用ブロアーで温風加熱しながら、上記石英ブロ
ックを約５００ｇ重の力で押し付けファイバをＶ溝およ
びコの字底面の三点で固定した。冷却後、空隙部および
周囲をＵＶ接着剤で固め光ファイバ付き導光路部品とし
た。
【００３９】（実施例４）実施例２と同様のＶ溝加工基
板を用意し、実施例３のコの字状石英ブロックの片端面
を８３°に切断したものを実施例３と同様基板に圧着固
定した。この部品に８芯のファイバ芯線群を挿入突き当
てて以下実施例３と同様ホットメルト固定よびＵＶ固定
を行った。
板を用意し、実施例３のコの字状石英ブロックの片端面
を８３°に切断したものを実施例３と同様基板に圧着固
定した。この部品に８芯のファイバ芯線群を挿入突き当
てて以下実施例３と同様ホットメルト固定よびＵＶ固定
を行った。
【００４０】各実施例の８ポートについて表１に平均値
を測定結果にまとめて示す。
を測定結果にまとめて示す。
【００４１】
【表１】
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように本発明による光ファ
イバ付平面導光路部品は、個別光ファイバブロックを用
いないので、次の効果が得られる。
イバ付平面導光路部品は、個別光ファイバブロックを用
いないので、次の効果が得られる。
【００４３】部品全体の寸法がコンパクトになる利点
がある。
がある。
【００４４】導光路部品本体にＶ溝を加工するため、
芯線間の接続バラツキが少ない。
芯線間の接続バラツキが少ない。
【００４５】自動調芯器等の特殊な装置を用いず低損
失の接続が短時間で行える。
失の接続が短時間で行える。
【００４６】特にコの字型スペーサ付石英ブロックを用
いた部品は作業性が良い。
いた部品は作業性が良い。
【００４７】斜めカットした部品では反射量も非常に
小さく押えられる。
小さく押えられる。
【００４８】構成部品は石英押え板あるいはコの字加
工石英押え板のみで最小限で済むため作製コストが低く
押えられる。
工石英押え板のみで最小限で済むため作製コストが低く
押えられる。
【００４９】以上の点より本発明による光ファイバ付平
面導光路部品はファイバを実装した平面導光路部品の究
極の形態と結論できる。
面導光路部品はファイバを実装した平面導光路部品の究
極の形態と結論できる。
【図１】本発明の実施例１による光ファイバ付平面導光
路部品を示す模式的斜視図である。
路部品を示す模式的斜視図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施例１による光
ファイバ付平面導光路部品の製造工程を示す模式的斜視
図である。
ファイバ付平面導光路部品の製造工程を示す模式的斜視
図である。
【図３】（Ａ）は、本発明の実施例２による斜め横断凹
溝付光ファイバ付導光路部品を示す模式的上面図、
（Ｂ）は、（Ａ）の光ファイバ付導光路部品に用いる光
ファイバテープの端部の構造を示す模式的上面図であ
る。
溝付光ファイバ付導光路部品を示す模式的上面図、
（Ｂ）は、（Ａ）の光ファイバ付導光路部品に用いる光
ファイバテープの端部の構造を示す模式的上面図であ
る。
【図４】本発明の実施例３による光ファイバ付平面導光
路部品を示す模式的斜視図である。
路部品を示す模式的斜視図である。
【図５】（Ａ）は従来の導光路部品の光ファイバ部の接
続方法を示す模式的斜視図、（Ｂ）は接続後の従来の導
光路部品を示す模式的斜視図である。
続方法を示す模式的斜視図、（Ｂ）は接続後の従来の導
光路部品を示す模式的斜視図である。
１ Ｓｉウェハ １ａ アンダークラッド露出部 ２ 加工マーク ３ 導光路コア ４ ダイシングソーの移動ヘッド ５ ダイシングソーの刃 ６ Ｖ溝 ７ 凹溝 ８ マイクロラッピング用移動ヘッド ９ マイクロラッピング用の刃 １０ 導光路 １０ａ 曲率部 １１ 導光路基板 １２ アンダークラッド層 １３ Ｖ溝部 １４ 垂直溝 １５ 導光路コア部 １６ 接続光ファイバ １７ 光ファイバのコア部 １８ スペーサ付上蓋 １９ スペーサ（ホットメルトフィルム（接着剤層）） ２１ 光ファイバブロック ２２ 被接続平面導光路 ２３ 光ファイバ配列部 ２４ 光ファイバテープ部 ２５ ピーク・サーチャー用光パワーモニタ ２６ ピーク・サーチャー用ステージコントローラ ２７ 平面導光路クラッド部 ２８ 平面導光路基板部 ２９ 固定ブロック ３１ Ｖ溝斜め横断凹溝 ３２ 導光路チップ部 ３３ Ｖ溝部 ３４ ファイバ芯線部 ３５ 光ファイバテープ部 ２１０ 投光用光ファイバ ２１１ ＬＤ光源 ２１２ 平面導光路チップ部 ２１３ 光ファイバブロック部 ２１４ ファイバテープ保護用ブーツ部 ２１５ 光ファイバテープ ２１６ 接続後の光ファイバ付平面導光路部品
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 花房 廣明 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 千田 和憲 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 平面導光路端面に接続用光ファイバを実
装した光ファイバ付平面導光路部品において、平面導光
路チップに直接Ｖ溝を形成し、かつＶ溝を横断する形で
導波路コア端面部を基板平面に対して垂直面に加工する
溝を作製したことを特徴とする光ファイバ付平面導光路
部品。 - 【請求項２】 前記Ｖ溝を横断する溝を基板平面に対し
て垂直かつ導波路コア側面に対して鋭角で設けることを
特徴とする請求項１に記載の光ファイバ付平面導光路部
品。 - 【請求項３】 前記導光路コア端面に接しＶ溝部を覆う
スペーサ付上蓋を備えることを特徴とする請求項１また
は２に記載の光ファイバ付平面導光路部品。 - 【請求項４】 請求項１，２または３に記載の光ファイ
バ付平面導光路部品の導光路コア部にファイバを導くＶ
溝部の機械加工において、平面導光路回路のアンダーク
ラッド上に設けられたマークを加工マークとして用いる
ことを特徴とする光ファイバ付平面導光路部品の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5165685A JPH0720358A (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5165685A JPH0720358A (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0720358A true JPH0720358A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15817100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5165685A Pending JPH0720358A (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720358A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6157759A (en) * | 1997-07-03 | 2000-12-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical fiber passive alignment apparatus and method therefor |
| JP2002116363A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-04-19 | Hoya Corp | 光学素子の位置決め方法及び光学素子の位置決め部材並びに光学ユニット及びその製造方法 |
| WO2002101434A3 (en) * | 2000-12-15 | 2003-07-31 | Intel Corp | Alignment of optical fibers to an etched array waveguide |
| US6886989B2 (en) | 2000-12-15 | 2005-05-03 | Intel Corporation | Alignment of fiber optic bundle to array waveguide using pins |
-
1993
- 1993-07-05 JP JP5165685A patent/JPH0720358A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6157759A (en) * | 1997-07-03 | 2000-12-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical fiber passive alignment apparatus and method therefor |
| JP2002116363A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-04-19 | Hoya Corp | 光学素子の位置決め方法及び光学素子の位置決め部材並びに光学ユニット及びその製造方法 |
| WO2002101434A3 (en) * | 2000-12-15 | 2003-07-31 | Intel Corp | Alignment of optical fibers to an etched array waveguide |
| US6886989B2 (en) | 2000-12-15 | 2005-05-03 | Intel Corporation | Alignment of fiber optic bundle to array waveguide using pins |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |