TW541201B - Method and device for cleaning air - Google Patents

Description

541201 淨空氣 用於該 置之製 中供給 置。 製造工 品產率 質，亦 可列舉 、氯化 酸離子 微粒狀 但此些 污染物 、和使 。此處 的空氣 洗之方 質之除 的深度 力損失 五、發明說明（1) 技術領域 本發明為關於以水洗 化的空氣清淨方法及使 關於對半導體和液晶裝 學相關設備等之清淨室 於該方法之空氣清淨裝 背景技術 半導體和液晶裝置之 關設備等，為了提高製 了先前之微粒狀污染物 質。此類化學污染物質 質之金屬元素、氟離子 離子、硫酸離子、亞硫 之陽離子類等。先前之 之集塵濾器予以除去， 遽器等予以除去。 因此，空氣中的化學 之使用水滴淋洗的方法 學濾器的方法而被除去 為將含有化學污染物質 但是，前者使用水淋 效率差，故化學污染物 裝置所構成之加濕機構 要魔大的設置空間和壓

中之化學污染物質予以清淨 方法之裝置。更詳言之，為 造工廉、製藥工廠和生命科 空氣的空氣清淨方法及使用 廄、製藥工廄和生命科學相 ，或者確保品質，乃期望除 可除去氣體狀化學污染物 例如納、4甲、妈、硼等無機 物離子、确酸離子、亞頌酸 等之陰離子類、和銨離子等 的污染物質可經ULPA濾器等 化學污染物質並無法以ULPA 質以往為以所謂的水淋洗法 用可吸附除去化學成分之化 ’前者之使用水淋洗之方法 ，以水滴喷霧除去之方法。 法因被處理空氣與水之接觸 去效率低。因此，由水淋洗 亦必須為數尺左右，具有需 亦大之問題。又，水淋洗之

A \91 113999 pi cl 第6頁 541201 五、發明說明（2) 處理水通常使用昂貴的去離子水（D I W )，但因處理水量亦 必須為多，故具有費用變高之問題。又，雖為了低費用化 而通常令D I W循環使用，但卻具有令暫時吸收之化學污染 物質易發生再度氣散之問題。又，後者使用化學濾器之方 法為化學濾器本身昂貴，且吸附能力上具有壽命，故具有 費用變高之問題。 因此，本發明之目的為在於提供空氣中之化學污染物質 的除去效率高，且可減低費用之空氣處理方法，又，本發 明之其他目的為在於提供處理裝置為精簡，且壓力損失 小，並可以低費用處理的空氣處理裝置。 發明之揭示 於此種情形下，本發明者進行致力檢討，結果發現於加 濕機構或冷凝機構之一者或兩者，若使用斜向蜂巢板，由 該斜向蜂巢板之前面開口部導入空氣並且由上面開口部供 給水，則斜向蜂巢板所導入之空氣與所供給之水有效接 觸，且於加濕機構中可有效提高空氣中的濕度，並於冷凝 機構中可令氣體狀化學污染物質有效併入冷凝水中且被除 去，並且達到完成本發明。 即，本發明（1)為提供具有將前後兩面與上下兩面配置 開口之斜向蜂巢板使用於加濕機構，且經由該斜向蜂巢板 之前面開口部導入含有化學污染物質的空氣並且由上面開 口部供給水，則可將該空氣加濕至指定的濕度，並且令該 空氣中之化學污染物質的至少一部分併入過剩之水分中且 由該空氣中除去之加濕步驟的空氣清淨方法，又，本發明

C:\2D-CODE\91-O9\91113999.ptd 第7頁 541201 五、發明說明（3) (2)為提供具有將前後兩面與上下兩面配置開口之斜向蜂 巢板使用於冷凝機構，且經由該斜向蜂巢板之前面開口部 導入含有化學污染物質的空氣並且由上面開口部供給水， 則可將空氣除濕至指定的濕度，並且令該空氣中之化學污 染物質併入冷凝水中且除去之除濕步驟的空氣清淨方法， 又，本發明（3 )為提供具有將前後兩面與上下兩面配置開 口之前段斜向蜂巢板使用於加濕機構，且經由該前段斜向 蜂巢板之前面開口部導入含有化學污染物質的空氣並且由 上面開口部供給水，則可將空氣加濕至指定的濕度，並且 令該空氣中之化學污染物質之一部分併入過剩之水分且由 該空氣中除去的加濕步驟，及將前後兩面與上下兩面配置 開口、且比該加濕步驟更低溫之後段斜向蜂巢板使用於冷 凝機構，且經由該後段斜向蜂巢板之前面開口部導入以該 加濕步驟所加濕的空氣，並且由上面開口部供給水，則可 將該加濕空氣予以除濕，且該加濕步驟未除去並殘存的氣 體狀化學污染物質被併入冷凝水中而除去之除濕步驟的空 氣清淨方法，又，本發明（4)為提供具有將前後兩面與上 下兩面配置開口之斜向蜂巢板使用於加濕機構，且經由該 斜向蜂巢板之前面開口部導入含有化學污染物質的空氣並 且由上面開口部供給水，則可將空氣加濕至指定的濕度， 並且令該空氣中之化學污染物質之一部分併入過剩之水分 且由該空氣中除去的加濕步驟，及將該加濕步驟所加濕之 空氣經由冷凝機構除濕至指定的濕度，且將該加濕步驟未 除去並殘存的氣體狀化學污染物質被併入冷凝水中而除去 A \91113999.ptd 第8頁 541201 五、發明說明（4) 之除濕步驟的空氣清淨方法，又，本發明（5 )為提供具有 經由加濕機構將含有化學污染物質之空氣加濕至指定的濕 度，並且令該空氣中之化學污染物質之一部分併入過剩之 水分中而由該空氣中除去的加濕步驟，及將前後兩面與上 Λ 下兩面配置開口，且比該加濕步驟更低溫之斜向蜂巢板使 w 用做為冷凝機構，並經由該斜向蜂巢板之前面開口部導入 經該加濕步驟所加濕的空氣，且由上面開口部供給水，則 可將該加濕空氣除濕至指定的濕度，且將該加濕步驟未除 去並殘存的氣體狀化學污染物質併入冷凝水中而除去之除 濕步驟的空氣清淨方法，又，本發明（6)為提供由前後兩 面與上下兩面配置開口之斜向蜂巢板之前面開口部導入空 氣並且由上面開口部供給水，並經由將該斜向蜂巢板之前 段部做為將空氣加濕至指定濕度並且取得過剩水分的加濕 部，且將該斜向蜂巢板之後段部做為將空氣除濕至指定濕 度並且取得冷凝水的冷凝部，則可以該加濕部進行將含有 化學污染物質之空氣予以加濕，並且將該空氣中之化學污 染物質之一部分併入該過剩水分而由該空氣中除去之加濕 步驟，其次，進行以該除濕部將該加濕步驟所加濕之空氣 予以除濕，並且將該加濕部未除去且殘存之氣體狀化學污 染物質併入該冷凝水中而除去之除濕步驟的空氣清淨方 ® 法。 又，本發明（7)為提供具有具備第一空氣導入口、第一 水供給機構、將該第一空氣導入口所導入之空氣以該第一 水供給機構所供給之水予以加濕的加濕機構、將該經加濕

C:\2D-CODE\91-O9\91113999.ptd 第 9 頁 541201 五、發明說明（5) 空氣予以排 系統外之第 一空氣排出 第二空氣導 構所供給之 第二空氣排 排出機構之 凝機構，將 斜向蜂巢板 二空氣導入 配置，再者 構及該第二 為提供具有 第一空氣導 之水予以加 第一空氣排 出的第一空氣排 一水排 口的第 入口所 水予以 出口及 冷凝部 前後兩 之前面 口側， ，於該 水供給 具備第 入口所 濕的加 出口及 加濕部 排出機構之 後兩面與上下兩面 前面為朝向該第一 該斜向蜂巢板地配 該第一水供給機構 供具有具備第二空 空氣導入口所導入 供給之水予以冷凝 出機構的 二空氣導 導入之空 冷凝的冷 將糸統内 的空氣清 面與上下 為分別朝 且所導入 斜向蜂巢 機構的空 一空氣導 導入之空 濕機構、 將系統内 的空氣清 開口之斜 空氣導入 置，再者 的空氣清 氣導入口 之空氣中 的冷凝機 出口及 加濕部 入口 、 氣中之 凝機構 冷凝之 淨裝置 兩面開 向該第 之空氣 板之上 氣清淨 入口 、 氣以該 將該經 滯留的 淨裝置 向蜂巢 口側， ，於該 淨裝置 、第二 之水分 構、將 將系統内 ，以及具 第二水供 水分以該 、排出該 水排出糸 ，於該加 口之斜向 一空氣導 為通過該 方設置該 滯留的 備連接 給機構 第二水 冷；旋後 統外之 濕機構 蜂巢板 入口側 斜向蜂 水排出 至該第 、將該 供給機 空氣之 第二水 及該冷 ，以該 及該第 巢板地 第一水供給機 裝置，又，本發明（8 ) 第一水供給機構、將該 第一水供給機構所供給 氣予以排出的 加濕之空 水排出系 ，於該加 板，以該 且所導入 斜向蜂巢 ，又，本 水供給機 以該第二 該冷凝後 統外之第一水 濕機構，將前 斜向蜂巢板之 之空氣為通過 板之上方設置 發明（9 )為提 構、將該第二 水供給機構所 之空氣予以排 m

III __ (HU1 Α \91Π3999 ptd 第10頁 541201 五、發明說明（6) 出的第二空氣排出口及將系統内 二水排出機構之冷凝部的空氣清 將前後兩面與上下兩面開口之斜 板之前面為朝向該第二空氣導入 通過該斜向蜂巢板地配置，再者 設置該第二水供給機構的空氣清 發明之最佳實施形態 說明關於本發明第一發明之空 所謂的加濕機構，為指經由具備 機構、及適當之水分回收機構和 處理空氣加濕至指定濕度，並且 加濕機構為將被處理空氣予以加 所含之氣體狀化學污染物質之至 中而除去。 又，所謂冷凝機構為指經由具 低溫部及適當之水分回收機構， 指定濕度，並且取得除濕時所產 凝機構為將被處理空氣中之化學 未除去之化學污染物質於除濕時 併入除去。 本發明為於上述加濕機構或上 者，使用前後兩面與上下兩面配 照圖1說明該斜向蜂巢板。此處， 朝向一方向傳播波形形狀的波形 冷凝之水排出系統外之第 淨裝置，於該冷凝機構， 向蜂巢板，以該斜向蜂巢 口側，且所導入之空氣為 ，於該斜向蜂巢板之上方 淨裝置。 氣清淨方法。於本發明中 對被處理空氣供給水分之 溫度調整機構，則可將被 取得過剩水分的機構。該 濕，並且將該處理空氣中 少一部分併入該多餘水分 備與被處理空氣可接觸的 則可將被處理空氣除濕至 生之冷凝水之機構。該冷 污染物質或以該加濕機構 所產生之冷凝水中儘可能 述冷凝機構之一者或兩 置開口的斜向蜂巢板。參 所謂斜向蜂巢板1為具有 薄片2、3 (以下，亦稱為

A \91113999.ptd 第11頁 541201 五、發明說明（7) 「波紋狀薄片」）為以數個疊層呈現蜂巢形狀，所疊層之 波紋狀薄片2、3為於波傳播方向為以每一牧傾斜交叉般地 進行疊層，且，二層之薄片的波傳播方向為分別以大約相 同方向上配置的蜂巢狀體。 ，符號X)通常為在 上述傾斜角度若在 且接觸效率提高故 該斜向蜂巢板1為以相對於波紋狀薄片2、3平行面之垂 直的四個面1 0 1〜1 0 4予以切斷形成長方體，且，該切斷面 為不與波紋狀薄片之波傳播方向平行，且，於亦未垂直之 情況，該長方體以切斷面之一 1 0 4做為下面，且，波紋狀 薄片之最外層1 0 5、1 0 6若分別做為左右面載置，則切斷面 之前後兩面102、103及上下兩面101、104四面為具有蜂巢 狀槽開口 ，且左右面1 0 5、1 0 6為具有以波紋狀薄片予以封 閉之構造。又，該切斷面之例如前後兩面1 0 2、1 0 3為再形 成於斜上方向上延設的槽、及斜下方向上延設的槽。由傾 斜方向上所延設之槽的前後兩面來看，相對於空氣流入、 流出方向（水平方向）之傾斜角度（圖中 15〜45度、較佳為25〜35度之範圍内1 該範圍内，則流下速度為呈適度範圍 為佳。 於上述斜向蜂巢板1中，所疊層之波紋狀薄片之一層的 波傳播方向為彼此交叉之角度（圖中，符號Y )通常為3 0〜 9 0度，較佳為5 0〜7 0度。若如此將波紋狀薄片彼此以上述 角度範圍内交叉疊層，則如上述於傾斜角度（X)為上述之 1 5〜4 5度時，則被處理空氣及水與蜂巢狀槽實質上接觸的 面積變大，故被處理空氣與水之接觸，即，加濕機構中被

Α \91Π3999 ptd 第12頁 541201

541201 一 五、發明說明（9) — :二，厚度為1〇〇_之斜向蜂巢板以三枚 作成合計厚度為3〇〇隨即可。尚，:二方向上重豐 淋洗法，必須令f置 加濕機構所用之水 之斜向蜂巢板做為加仁右使用本發明 為4〇〇職左右，構則斜向蜂巢板本身之厚度僅 劣六Η化s 幅縮小裝置的設置空間。如士士旷 可滿足半導體製造工廠等合理化之要：： 且，將水循環之泵動力若化之要未。更 外減少’且亦可大幅省能量化 淋洗法相比較，則格 且内果板之薄片狀材料為使用於表面I右 且内。卩為夕孔質的材料 矿面具有凹凸， η:之水與空氣的接觸面積大、且浸透於 料可列舉例如具有三次^ ^阿為佳。此類薄月狀材 隙率之材料，具體而言，可使=^，有指定之纖維間空 化鈦所組成群中選出一 3有氧化鋁、矽石及二氧 的無機纖維基材。其=二種=上充填材料或黏合材料 狀化學污染物質的除去效率：：：:匕鈦者為提高酸性氣體 常含有充填材料或黏合，、、' 佳。又，薄片狀材料通 重量％，較佳為含有充口填材料〜93重《、纖維基材7 維基材12〜3〇重f /或4合材料70〜88重量％、孅 内，則薄片狀封Τι水=材料之配合比率 片狀材料可依公知方法制 及強度咼，故為佳。尚，薄 維或氧化鋁纖维所:，例如，將玻璃纖维、陶瓷孅 與氧化紹水合物等之、充填化銘溶穋等之黏合付科 炻’亚予以波紋狀加工，、复:广之流漿中浸漬後，乾 __ “羑，進行乾燥處理和熱處ί里， 第14頁 五、發明說明（10) 二去水分和有機成分^ 4，例如，矽石及二^ 、虱化鋁以外含有矽石和二 量通常分別以5〜4〇s重1化鈦之配合量相料氧化銘100重 又，上述含有勒合里广。 維間空隙率通常為65:8·或充填材料之無機纖維基材的纖 空隙率為該範圍0 °幸乂佳75〜82%。經由令纖維間 氣與水的接觸效率。又Ύ貝現適當的浸透性，並且提高空 無機纖維基材其厚戶，上述3有黏合材料或充填材料之 為30〇〜議㈣。無^’即壁厚通常為200〜1 0 0 0㈣、較佳 厚度’則液氣比及水之H基材若具有上述空隙率和上述 的接觸效率提高，且2透速度為在適度範圍，水與空氣 將上述無機纖維基材2刀。 使用表面上形成直徑，形1波紋狀薄片之方法，可列舉 間通過平板狀薄片之八D、=幅波形之凹凸且於複數的齒輪 薄片成形出上述斜向i巢°板：：=方法。由所得之波紋狀 上述波紋狀薄片相對於縱 /可列舉例如，首先，將 3〇〇〇mm左右之矩形裁斷型，之：：之厚度尺寸)x橫 型的-邊，以15〜45声r西「署被ί 1專方向為相對於矩形 片’其次，將所得之= ; =形的波紋狀薄 播方向般配置，並且將接= =之傳 尚，如此處理製造時，上述裁斷 且g之方法 巢板1枚的厚度。因此，例如於力、广長度乃變成斜向蜂 所必要的斜向蜂巢板的厚度、，。钭=和冷凝機構中 都&Λ Ρ 斜向蜂巢板之前段開口 繼面開口部之間的尺寸為3〇〇mm時，若將紹⑽關裁斷 Ϊ 第15頁 C:\2D-C0DE\91-09\9lll3999.ptd 541201 五、發明說明（ll) ::”之厚度10。_的斜向蜂巢板於厚度方 可。又，如此重疊數枚使用時，斜 且; 向蜂巢板重疊配置即可。 枚斜 於本發明中’上述斜向蜂巢板為被使用於上述加渴 土上述冷凝機構之一者或兩者之情形中，斜向蜂巢板 :後兩面與上下兩面為配置開口。將斜向蜂巢板如此配 ^，則可由斜向蜂巢板之前面開口部導入被處理空氣 2面開口部供給水，被處理空氣與水之接觸為令被處理 二氣之流通方向與水之流下方向呈現直交。因此，若 斜向蜂巢板做為加濕機構或冷凝機構，則被處理*氣盘 之接觸效率為比先前之使用水淋洗的加濕機構和^用^ = 器的冷凝機構更高，可有效率除去被處理空氣中 ^ 學污染物質，可大幅縮小裝置的深度。 …其次，參照圖2說明第二發明之第一實施形態的空氣清 淨^置。空氣清淨裝置40為於加濕機構13及冷凝機構23月， 將前後兩面與上下兩面開口之斜向蜂巢板丨，以斜向蜂 板1之前面分別朝向第一空氣導入口丨丨側及第二空 口 2 1側且所導入之空氣為通過該斜向蜂巢 ^ 面分別設置第一水供給 昂一水ί、給枝構22。弟一空氣排出口14與第二* 21間以導管連結。 工乳¥入口 第一水供給機構12為於加濕〇配置做 前段斜向蜂巢板1之上面„ ~加屬找構1 3之 手果板1之上面開口部101由上面供給水之機構，

541201 五、發明說明（12) 又，第二水供給機構22為於冷凝部20配置做為冷 之斜向蜂巢板1之上面開口部】〇丨由上面供給水之’ —水供給機構1 2或第二水供給機構22可列舉例如成構。一弟 之給水管4。於加濕部0所供給之水為通過配置做° = ，構？的前段斜向蜂巢板!後，由第一水排出機構二： 加濕部1 0系統外，又，於冷凝部2 〇所供給之邮 置做為冷凝機構23的後段斜向蜂巢板工後，由 /、、 機構2 5排出至冷凝部2 〇系統外。 一7非 第一實施形態為將斜向蜂巢板如此配置，則可八一介 口1^第Τ空氣導入口21所導入之被處理二氣：： 乳方向、與弟一水供給機構12或第二水供給機構22所供終 之水3 01或401的流下方向，即，被處理空氣與水之接觸方 :J以指定角度交又。目此’若使用斜向蜂巢板做為加濕 枝，及冷凝機構，則可令被處理空氣與水之接觸效率為比 先刖之使用水淋洗的加濕機構和使用冷卻器的冷凝機構更 高可有效率除去被處理空氣中所含之化學污染物質，可 大巾田‘小裝置之加濕機構及冷凝機構部分的深度。 於第一實施形態中，以第一水排出機構丨5所排出之水為 通過配管15b，並以第一循環泵16循環供給至加渴機構 13，並且由循環水滞留部32之堰部l5a放流（〇ver n〇w)。 若配管1 5b與第一水供給機構12為以第一循環泵16接續， 並將加濕部10中所發生的剩餘水30 2再利用做為供給至第 一水供給機構12的水301，則由省資源、低費用、化學、、亏 染物質除去效率之管理等方面而言為佳。χ，將循環水滯

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541201 五、發明說明（13) '" 一 留部32之容量適當設定，且連續或間歇性往系統外將水 3 〇 2放流，且加入清淨的補給水予以稀釋，則可將加濕機 構1 3所供給之循環水中的污染物質濃度控制於指定值以 下以弟一水排出機構2 5所排出之水為通過配管2 $ &，並 以第二循環泵26循環供給至冷凝機構23，並且由循環水亚服 留部33之堰部25a放流（over flow)方面為與前述加& ^ 同。即，於冷凝部20中，亦令配管25b與第二水供給機°目 22為以第二循環泵26接續，並將冷凝部2〇中所發生°之I冓 水再利用做為供給至第二水供給機構2 2的水4〇 1為隹，冷凝 循環水滯留部3 3之水4 0 1放流，並且補給清淨水此^為， 剞述。尚，於加濕部1 〇和冷凝部2 0所供給之水未循譬、、同 用’且以一個通道放流之使用形態亦可。 使 又’加濕部1 0與冷凝部2 0令其間之被處理空氣的、 在可能的範圍内設置適當的切換器5 〇等，則可使得力σ、崎 1 〇與冷凝部2 0分別循環的水不會混合，作成獨立系^渴部 佳。經由作成如此的獨立系統，則例如於加濕部丨〇與= 部2 0分別供給同質水之情形中，亦可令排水中之化學$ /减 物質的污染程度不同，故污染程度高之系統的水不;== 其他系統的水，故為佳。又，經由作成如此的獨立系=木 則即使於加濕部1 〇和冷凝部2 0所供給之水為使用異質、'’ ’ 亦可將排水循環利用故為佳。 貝水’ 於加濕部1 0以第一水供給機構1 2所供給之水3 〇 1可 例如去離子水、自來水、工業用水等。其中，由化學〜舉 物質之除去效率方面而言，以完全不含有不純物之:=染 τ離子

Α \91113999 pid 第18頁 541201 五、發明說明（14) :為佳’二？費用方面而言，以自來水和工業用水為 :〇。尚’第一貫施形態為令加濕部1 0所處理之空氣於冷凝 :供0:被處理，、故由費用方面而t ’以第-水供給機構12 咏”5之水3(H為自來水或工業用水為佳。於冷凝部20以 二：水供給機構22所供給之水4〇1，因為必須充分除去化 I:ί Ϊ質益：為完全不含不純物的*，例如去離子水。 ί罐：水亚無特別限制’可於自來水或工業用水前處理 後，使用以離子交換樹脂所處理之處理水。 处 仏:谱第供給機構及第二水供給機構若為去離子水供 :機構，Μ由化學污染物質之除去效率方面 ：。 機構若！；ί供：機構為自來水供給機構或工業用水供給 用方面而言為佳。第：水=:工水供給機構’則由費 所供給水3。卜401之溫度和=二水供給機構22 的通氣量#，將加渴部10及、入里為鑑於被處理空氣 設定於所欲程度。，絕對：；：2〇中之溫度、濕度適當 高於第二水供給二 排所示般，視需要於上述第二空氣 =置=”：；濕度之調整機構3〇和隨5。如 此认置/皿度及漁度的調整機槿 、， 氣排出部接續至清淨室等，則^亚將該機構所處理之空 度、濕度。溫度及濕度的調整機：成清淨室所必要的溫 水等。使用加熱器時，因為提言^ ^列舉例如加熱器和溫 ”、 向空氣溫度故經由處理的相

5412〇i 五、發明說明（15) '一~" ~' =濕度降低。又，使用溫水時，若溫水間接或直接接觸處 =f空氣即可。例如，令溫水間接接觸上，對熱交換器6〇 二^給溫水即可。溫水間接接觸時令處理後空氣之相對濕 产+低，但於直接接觸時，則於條件為如何設定下，使得 义理後空氣之相對濕度降低、上升均為可能。

化m兒明第一實施形態之空氣清淨裝置中之空氣的淨 入力σ 。百先，被處理空氣為通過導管經由吹風器$被導 前段=二101於加濕部10，被處理空氣為與加濕機構13之 下浸读描蜂果板1上方供給水301且於斜向蜂巢板1慢慢流 度。.I全體之壁構造的槽表面接觸，並被加溫至指定溫 並且，日可，被處理空氣為經由表面蒸發之水分而被加濕， 為被水=一方面，被處理空氣中之化學污染物質之一部分 度的化Ϊ之水中所吸收。此時，由被處理空氣中除去某程 時變点予〉可染物質。浸透水為由前段斜向蜂巢板1所流下 系内排2餘水302，經由第一水排出機構15由加濕部10之 經 ,

於冷凝/濕部10所加濕之被處理空氣為被導入冷凝部20。 且，、細i卩20，被處理空氣為以第二水供給機構22所供給， 水，^熱交換器6 0等而變成比加濕部丨〇内更為低溫的 被冷卻且經t後段斜向蜂巢板1之槽表面所形成的水膜而 1 〇內车此時，空氣中的水分為冷凝，且空氣中於加濕部 4〇2中\除^且殘存的化學污染物質為大約被併入冷凝水 大略除^供給水共同回收，其結果，由被處理空氣中可 、化學巧染物質。上述加濕部丨〇内之水溫、及冷凝

541201 五、發明說明（16) 部2 0内之水溫若前者高於後者即可，且適當調整成可取得 所欲濕度或溫度之空氣即可。以冷凝部2 0進行冷凝步驟終 了後，就其原樣或以溫度及濕度之調整機構3 0調整至適當 濕度和溫度並且使用做為清淨室所用之清淨空氣。 尚，清淨室内，通常調節成溫度為2 3 °C左右、相對濕度 為4 0〜5 0 %左右，故調製清淨室用之清淨空氣時，加濕步 驟及冷凝步驟之條件為令上述冷凝步驟後所得之清淨空氣 於2 3 °C左右適當加熱時，設定為上述範圍内的相對濕度。 如此處理所得之2 3 °C左右、且、相對濕度為4 0〜5 0 %左右 的清淨空氣可使用做為清淨室用空氣。 若根據本發明第一實施形態的空氣清淨裝置，則因以構 成斜向蜂巢板之波形狀無機多孔質板中浸透流下之水予以 加濕或冷凝，故即使於經由循環使用等而使用含有化學污 染物質之循環水時，亦幾乎不會由該循環水中令化學污染 物質再度氣散。即，先前方法為將含有污染物質之水以淋 洗狀喷霧，故霧氣為併入空氣中並且引起化學污染物質的 再度飛散。相對地，本發明方法為僅令表面積大之蜂巢板 表面的水蒸發，且暫時併入水中的化學污染物質為於水侧 殘留，故難引起污染物質的再度飛散。因此，於加濕機構 中使用斜向蜂巢板時，如上述不僅去離子水且亦可使用自 來水和工業用水。又，因為化學污染物質的除去效率高， 故可令先前公知之水淋洗等為1〜2左右之液氣化，變成 0. 1左右。又，將加濕機構和冷凝機構所供給之水循環使 用時，所使用之水量少即可完成，其結果，可令泵容量等

A.\911]3999.ptd 第21頁 541201 五、發明說明（17) 變小。又，形成斜向蜂 料，則可令先前難以除 形態為比第二實施形態 物質的除去效率和省空 其次說明第二實施形 為於第一實施形態中將 凝機構並無特別限定。 空氣的接觸效率高，且 高，故即使使用通常的 前更加提高化學污染物 可提高空間效率。比先 巢板之材料經由使用上述特定之材 去之N(V亦可有效除去 或第三實施形態任一者 第一實施 為1 00〜4 0 0mm左右即可 之一〜數十分之 間性優 態的空 斜向蜂 若使用 空氣中 冷浴P器 質的除 前的水，故力口 良’為 氣清淨 巢板僅 斜向蜂 之化學 等做為 去效率 淋洗法 濕部之 最佳的形 裝置。第 使用於加 巢板，則 污染物質 冷凝機構 並且僅以 ，斜向蜂 厚度可為 之化學污染 態。 二實施形態 濕機構，冷 水與被處理 的除去效率 ，亦可比先 加濕機構即 巢板之厚度 先前的數分 於第二 地，若將 環泵1 6予 用做為供 之加濕部 加濕部1 0 的被處理 佳。 又，與 部1 0經由 水、自來 一左右 實施形態中， 第一水排出機 以接續 給至第 1 0於相 同樣方 空氣之 第一實 第一水 水、工 ，且將 一水供 同方面 面而言 導通在 與第一實施形態之加濕部1 0同樣 構1 5與第一水供給機構1 2以第一循 來自第一水排出機構1 5之排水再利 給機構1 2之水，則與第一實施形態 而言為佳。又，與第一實施形態之 ，加濕部1 0與冷凝部2 0為在令其間 可能的範圍内設置適當的切換為 施形態之加濕部1 0同樣方面而言，於加濕 供給機構1 2所供給之水可列舉例如去離子 業用水等。其中，與第一實施形態之加濕

__ Α \9Π13999 ptd 第22頁 541201 五、發明說明（18) 部1 0於同樣方面而言，以 佳。尚，第二實施形態中 去效率，以使用去離子水 若第一水供給機構為去離 質之除去效率方面而言為 第一實施形態同樣地，視 具備溫度及濕度的調整機 一空氣排出口 1 4之後，亦 3 0。第二實施形態為比先 構，可達成與第一實施形 之效果同樣之效果。本例 處理空氣的情況。 其次說明第三實施形態 為於第一實施形態中將斜 濕機構並無特別限定。若 空氣的接觸效率高，且空 高，故即使使用通常的水 前更加提高化學污染物質 可提高空間效率。比先前 巢板之厚度為100〜400mm 先前的數分之一〜數十分 於第三實施形態之空氣 凝部2 0同樣地，若將第二 2 2以第二循環泵2 6予以接 去離子 為了儘 為佳。 子水供 佳。又 需要於 構3 0 〇 可設置 前使用 態中於 為適於 的空氣 向蜂巢 使用斜 氣中之 淋洗等 的除去 的熱交 左右即 之一左 清淨裝 水排出 續，且 水、自 量提高 即，於 給機構 ，於第 第二空 未設置 溫度及 公知之 加濕機 以冬天 清淨裝 板僅使 向蜂巢 化學污 做為加 效率並 換器等 可，故 右。 置，與 機構25 將來自 來水和工 化學污染 第二實施 ，則由化 二實施形 氣排出口 冷凝機構 濕度的調 水淋洗等 構使用斜 之乾燥空 業用水為 物質的除 形態中， 學污染物 態中，與 之後可再 時，於第 整機構 加濕機 向蜂巢板 氣做為被 置。第三實施形態 用於冷凝機構，加 板，則水與被處理 染物質的除去效率 濕機構，亦可比先 且僅以冷凝機構即 之冷卻機，斜向蜂 加濕部之厚度可為 第一實施形態之冷 與第二水供給機構 第二水排出機構1 5

E

A \91113999 ptd 第23頁 541201 五、發明說明（19) 之排水再利用 一實施形態之 實施形態之冷 為在令其間的 的切換為佳。 又，與第一 部2 0經由第二 學污染物質， 即，於第三實 給機構，則由 又，於第三 機構之冷凝部 氣之絕對濕度 濃度低之情況 度高之情況， 時至夏天的空 理空氣，故本 空間性方面而 施形態同樣地 度及濕度的調 之冷卻器等之 機構使用斜向 又，於第四 排出口 1 4與前 做為供給至第 冷凝部2 0於相 凝部2 0同樣方 被處理空氣之 實施形態之冷 水供給機構2 2 故以不含有不 施形態中，若 化學污染物質 實施形態中， 的化學污染物 高之情況、和 、以及處理後 即使未特別設 氣為局溫南濕 實施形癌為特 言為佳。又， ，視需要於第 整機構30。第 冷凝機構，可 蜂巢板之效果 實施形態之空 述第二空氣導 二水供給機構22之水，則與第 同方面而言為佳。又，與第一 面而言，加濕部1 0與冷凝部2 0 導通在可能的範圍内設置適當 凝部2 0 所供給 純物的 第二水 之除去 因為使 質除去 被處理 空氣之 置力口濕 ，且就 別有效 於第三 二空氣 三實施 達成與 同樣之 氣清淨 入口 2 1 同樣方面 之水，必 水，例如 供給機構 效率方面 用斜向蜂 效率高， 空氣中之 化學污染 機構亦可 其原樣可 。此時由 實施形態 排出口之 形態為比 第一實施 而言 ， 須充分 去離子 為去離 而言為 巢板做 故於被 化學污 物質之 。特別 供給做 低費用 中，與 後可再 使用先 形態中 於冷凝 除去化 水0 子水供 佳。 為冷凝 處理空 染物質 容許濃 於梅雨 為被處 化和省 第一實 具備溫 前公知 於冷凝 效果。 裝置中，前述第一空氣 為整體性連接，且前述

A \91113999 pid 第24頁 I __ 541201 五、發明說明（20) $濕及前述冷凝為共同以1台斜向蜂巢板依序進行。即， =處理空氣為通過導管4經由吹風器5被供給至斜向蜂巢板 之第一空氣導入口 1 1。斜向蜂巢板之前段側變成加濕 二二，被處理空氣為被加濕至指定濕度，且於該斜向蜂巢 與二IV、漁至飽和狀態。因此，於該加濕區將該空氣中之化 杂物質之-部分被併人過剩的水分中，並且經 凝水中而除去;;，、禾除去且殘存的化學污染物質被併入冷 構：循i: ΐ:: ϊ為:!—個水排出機構與-個水供給機 做為供給至水供达^右將來自水排出機構之排水再利用 20等由同樣方面;言水，則與第一實施形態之冷凝部 給機構所供給之水必;、土 又，於加濕區和冷凝區經由供 不含不純物的水，例2充分除去化學污染物質，故為完全 中，若水供給機構為:f去離子水。即，於第四實施形態 質之除去效率方面而一離子水供給機構，則由化學污染物 於本發明中化學污二η 之編織孔的微細的化風，為意指通過高性能（ULPA )濾器 等無機質之金屬元素予物質，可列舉例如鈉、鉀、鈣、硼 亞硝酸離子、硫酸離；氟離子、氯化物離子、硝酸離子、 離子等之陽離子類等。、亞硫酸離子等之陰離子類、和銨 上述本發明之空惫、、主… 半導體和液晶裝置之:=衣置的大小雖無特別限制，但於 巢板大小例如可使衣造工廠中，該裝置所使用的斜向蜂

Α \9Π 13999.Pld 第25頁 用縱1_關、橫、 541201 五'發明說明（21) 厚度1 0 0〜4 0 0 m m之物質。 f施例 其次’列舉實施例更具體說明本發明，但本發明並非限 定於此。 實施例1〜1 1、比較例1〜3 製作具有表1〜3所示規格之加濕機構及冷凝機構的空氣 清淨裝置，並將其分別以表4〜6所示之條件下處理，結果 分別取得表7〜9所示之結果。又，將所得之淨化空氣以表 1 0〜1 2所示之條件加熱，取得清淨室用之淨化空氣。結果 示於表1 0〜1 2。尚，實施例5〜9為未設置加濕區並將被處 理空氣直接供給至冷凝區。又，斜向蜂巢板為使用將表1 〜3記載之材質的非織造織物製波紋狀薄片，以每一層大 約以直角交叉，且，槽之傾斜角度相對於空氣流入方向為 3 0度。又，將加濕機構所用之水與冷凝機構所用之水分別 作成獨立系統，且於實施例4與比較例2，將各個水循環使 用’且實施例1〜3、5〜11及比較例1、3為以1個通道。 又

補給水為以循環水丁 < ~不μ戶、句仕指定濃度以1 給三例如，循環水中之氨離子濃度於實施例3為i〇1ppb 於實施例4為5 0 0 ppb。水中之氨離子濃度若超過5〇〇ppb 則於先前的水淋洗中引起氨的氣散，其吸收除去率為愚 降低（比較例2)。表中，「Airoscer」為水淋洗。、

541201 五、發明說明（22) (表1) 比較例1 比較例2 實施例1 實施例2 加濕區之加濕機構之種類 加濕區之長度(mm) Airoscer*2 5000 Airoscer"2 5000 斜向蜂巢板 200 Airoscer*2 5000 冷凝區之冷凝機構之種類 冷凝區之長度(mm) 冷卻器” 600 冷卻器” 600 冷卻器” 600 系斗向蜂巢板 600 斜向蜂巢板之規格 槽距 （mm) 槽突起高度(尺寸）（mm) 蜂巢板厚度 （mm) 槽材質(黏合材料之種類)*2 ’ — — 10.0 5.0 200 氧化鋁 10.0 5.0 600 氧化銘 *2 具有冷卻翅片之冷卻器 商品名「Airoscer」（新晃工業）

C:\2D-CODE\91-O9\9in3999.ptd 第27頁 541201 五、發明說明（23) (表2) 實施例3 實施例4 實施例5 實施例6 比較例3 加濕區之加濕機構之種類 加濕區長度(nim) 斜向蜂巢板 200 斜向蜂巢板 200 無 無 Airoscer 5000 冷凝區之冷凝機構之種類 冷凝區長度(Π*™) 斜向蜂巢板 600 斜向蜂巢板 600 斜向蜂巢板 600 斜向蜂巢板 500 充塡塔” 1000 斜向蜂巢板之規格 槽距 （mm) 槽突起高度 （mm) 蜂巢板厚度 （mm) 槽材質(黏合材料） 10.0 5.0 200/600 氧化鋁 10.0 5.0 200/600 氧化鋁 10.0 5.0 -/600 氧化鋁 10.0 5.0 -/500 氧化銘 — *1以拉面環做爲充塡材料、水與空氣之向流接觸型冷卻器 II il 1 ί I ml Μ u ki C:\2D-CODE\91-O9\91113999.pid 第28頁 541201 五、發明說明（24) (表3) 實施例7 實施例8 實施例9 實施例]0 實施例]] 加濕區之加濕機構之種類 加濕區之長度(mm) ίκ y ί ν \ ίΒΙ- y Μ Ν 無 斜向蜂巢板 700*3 斜向蜂巢板 300*2 冷凝區之冷凝機構之種類 冷凝區之長度(ΓΠ11Ί) 斜向蜂巢板 250” 斜向蜂巢板 250” 斜向蜂巢板 200*2 斜向蜂巢板 700’3 斜向蜂巢板 300+2 斜向蜂巢板之規格 槽距 （mm) 槽高度(尺寸） （mm) 蜂巢板厚度 （mm) 槽材質（黏合材料之種類) (玻璃纖維基材） 8.0 3.5 250” 氧化鋁 ]0.0 5.0 250” 氧化鋁 ]0.0 5.0 200。 複合材料^ 10.0 5.0 700” 氧化鋁 10.0 5.0 200*2 氧化鋁 *1將厚度50mm之斜向蜂巢板以5枚重疊成厚度25〇mm供 Ϊ用。 *2將厚度50mm之斜向蜂巢板以4枚重疊成厚度200mm供使用。 *3將厚度100mm之斜向蜂巢板以7枚重疊成厚度700mm供使用。 *4玻璃纖維基材+氧化鋁溶膠(黏合材料)+氧化鋁、二氧化鈦（充塡材料）組成； 氧化鋁40%、二氧化鈦40%、矽石20%、空隙率79%。 〇

C:\2D-C0DE\91-09\91113999.ptd 第29頁 541201 五、發明說明（25) (表4 ) 比較例] 比較例2 實施例] 實施例2 處理前 處理空氣之種類 外氣 外氣 外氣 外氣 空氣 液氣比（g-water/g-air) 2.0 2.0 0.4 2.0 咖濕/冷凝） /1.2” /1.2 /1.2 /0.4 入口空氣溫度ΓΟ 25 25 25 25 絕對濕度(g-w/kg-air) 12 12 12 12 入口 NH/濃度(ppt) 26000 26000 26000 26000 入口 SO/濃度(ppt) 5200 5200 5200 5200 入口 CT濃度(ppt) 400 400 400 400 入口 NCV濃度(ppt) 3500 3500 3500 3500 加濕區 處理水之種類 去離子水 去離子水 去離子水 去離子水 水溫 （。。） ]6 ]6 16 16 水中NH/濃度（ppt) 100 500000 100 100 冷凝區 處理水之種類 自來水 自來水β 去離子水2 去離子水 水溫 （°c) 8 8 8 8 水中NH/濃度 （ppt) — — — 100 *1加濕區之液氣比爲2.0g-water/g-aii·、冷凝區之液氣比爲].2g-water/g-air *2 Cl·濃度:270ppb 〇 圓_圓_ C:\2D-CODE\91-O9\9ni3999.pid 第30頁 541201 五、發明說明（26) (表5) 實施例3 實施例4 實施例5 實施例6 比較例3 處理前 處理空氣之種類 外氣 外氣 外氣 CR” CR” 空氣 液氣比（g-water/g-air) 0.4 0.4 — — 2.0 (加濕/冷凝） /0.8*2 /0.8 /0.8 /0.8 /2.0 入口空氣溫度ΓΟ 25 25 17 23 25 絕對濕度(g-w/kg-air) 12 12 12 7.8 12 入口 NH/濃度(ppt) 26000 26000 26000 7500 26000 入口 S042_濃度(ppt) 5200 5200 5200 850 5200 入口 Cl·濃度(ppt) 400 400 400 250 400 入口 N02•濃度(ppt) 3500 3500 3500 1200 3500 加濕區 處理水之種類 自來水 自來水 — — 去離子水 水溫 （°c) 16 16 — — 16 水中NH/濃度（ppt) 100000 500000 — — 100 冷凝區 處理水之種類 去離子水 去離子水 去離子水 去離子水 去離子水 水溫 （°c) 8 8 8 8 8 水中NH4+濃度 （ppt) 100 500000 100 100 100 *1淸淨室內循環空氣 *2加濕區之液氣比爲0.4g-water/g-air、冷凝區之液氣比爲0.8g-water/g-air C:\2D-C0DE\91-09\91113999.ptd 第31頁 541201 五、發明說明（27) (表6) 實施例7 實施例8 實施例9 實施例]〇 實施例11 處理前 處理空氣之種類 外氣 外氣 外氣 外氣 外氣 空氣 液氣比(g，ater/g_air) 70.4 -/0.4 -/0.4 1.2/1.2 0.4/0.4 (加濕/冷凝） 入口空氣溫度(°C) 25 25 25 25 25 絕對濕度(g-w/kgdr) 6 6 6 12 6 入口 NH/濃度(ppt) 26000 26000 26000 26000 26000 入口 S042•濃度(ppt) 5200 5200 5200 5200 5200 入口 Cr濃度(ppt) 400 400 400 400 400 入口 Ν〇2·濃度〇3Pt) 3500 3500 3500 3500 3500 冷凝區 處理水之種類 去離子水 去離子水 去離子水 去離子水 去離子水 *] 水溫 （°c) 9 9 9 8 9 水中NH/濃度 （ppt) 100 100 100 100 10 *1實列]〇、] I爲「加濕部和冷凝部_

C:\2D-CODE\91-09\9]]]3999.ptd 第32頁 541201 五、發明說明（28) (表7) 比較例] 比較例2 實施例1 實施例2 加濕區 出口空氣溫度(°c) 20 20 20 20 絕對濕度(g-w/kg-air) 14.2 14.2 14.2 14.2 出口 NH4+濃度(ppt) 9880 20800 2500 20800 nh4+除去率” （％) 62.0 20.0 90.3 20.0 壓力損失 （Pa) 84 84 27 84 冷凝區 出口空氣溫度(°C) 10.0 10.0 10.0 10.0 絕對濕度(g-w/kg-air) 7.8 7.8 7.8 7.8 出口 NH/濃度(ppt) 4300 17000 2000 1500 出口 S042·濃度(ppt) 990 940 310 234 出口 CT濃度（ppt) 84 70 32 26 出口 NCV濃度(ppt) 1560 1470 630 315 NH4+除去率(%) 56.5 18.3 20.0 92.8 壓力損失 （Pa) 160 160 160 81 全體 全NH/除去率”(％) 83.5 34.6 92.3 94.2 全S042·除去率（％) 81.0 81.9 94.0 95.5 全cr除去率 （％) 80.0 82.5 92.0 93.5 全NCV除去率（％) 55.4 58.0 82.0 91.0 壓力損失 （Pa) 244 244 187 165 *1僅加濕區之除去率、*2僅冷凝區之除去率 *3通過加濕區及冷凝區之總除去率

C:\2D-CODE\91-O9\91313999.ptd 第33頁 541201 五、發明說明（29) (表8) 實施例3 實施例4 實施例5 實施例6 比較例3 加濕區 出口空氣溫度ΓΟ 17 17 — — 20 絕對濕度(g-w/kg-air) 12.0 12.0 — — 14.2 出口 NH/濃度(ppt) 2500 2600 — — 9880 NH/除去率” (%) 90.3 90.0 — — 62.0 壓力損失 （Pa) 27 27 — — 84 冷凝區 出口空氣溫度(r) 10.0 10.0 10.0 10.0 10.0 絕對濕度(g-w/kg-air) 7.8 7.8 7.8 7.8 7·8 出口 NH/濃度(ppt) 1000 1000 1500 578 3900 出口 S042·濃度(ppt) 200 200 234 85 570 出口 CT濃度（JDpt) 26 26 26 28 40 出口 NO/濃度(ppt) 280 280 315 132 1220 NH4+除去率”（％) 60.0 61.5 94.2 92.3 85.0 壓力損失 （Pa) 81 81 81 68 200 全體 全NH/除去率+3(°/〇) 96.1 96.1 94.2 92.3 85.0 全so42t余去率（％) 96.1 96.1 95.5 92.0 87.0 全cr除去率 （％) 93.5 93.5 93.5 89.0 90.0 全N02滁去率（％) 92.0 92.0 91.0 89.0 65.1 壓力損失 （Pa) 108 108 81 68 284 *1僅加濕區之除去率、*2僅冷凝區之除去率 *3通過加濕區及冷凝區之總除去率

Iff I1 tL·

C:\2D-C0DE\9]-09\9]]]3999.ptd 第34頁 541201 五、發明說明（30) (表9) 實施例7 實施例8 實施例9 實施例10 貫施例I】 冷凝區 出口空氣溫度(°c) 12.5 12.5 12.0 10.0 12.0 *1 絕對濕度(g-w/kg-ai〇 9.5 9.5 9.2 7.8 9.2 I 出口 NH/濃度(ppt) 1600 2300 2200 1000 2300 出口 S042·濃度(]3pt) 250 340 310 200 310 出口 Cr濃度（ppt) 28 35 32 26 32 出口 NCV濃度(ppt) 340 420 350 280 610 全NH/除去率（％) 93.8 91.2 91.5 96.1 90.8 壓力損失 （Pa) 50 34 40.5 94.5 27 全體 全NH4+除去率(％) 95.4 91.2 91.5 96.1 92.3 全so42t余去率（％) 95.2 93.4 94.0 96.1 94.0 全cr除去率 （％) 93.0 91.3 92.0 93.5 92.0 全NCV除去率（％) 90.3 88.0 90.0 92.0 82.5 壓力損失 （Pa) 50 34 27 94.5 27 *1實施例1 〇、] 1爲「加濕部和冷凝部」 (表 10)

被處理空氣之加熱條件 比較例I 比較例2 實施例I 實施例2 加熱源 空氣出口溫度 （°C) 相對濕度 （％) 加熱器 22.5 47.0 加熱器 22.5 47.0 加熱器 22.5 47.0 加熱器 22.5 38.0 C:\2D-C0DE\91-09\91113999.ptd 第35頁 541201 五、發明說明（31) (表 1 1 ) 被處理空氣之加熱條件 實施例3 實施例4 實施例5 實施例6 比較例3 加熱源 空氣出口溫度 （°c) 相對濕度 （％) 溫水^ 22.5 42.0 溫水^ 22.5 42.0 溫水” 22.5 43.0 溫水*] 22.5 44.0 溫水” 22.5 48.0 *1以附有翅片之線圈狀管中流過溫水方式之熱交換器予以加熱 (表 12) 被處理空氣之加熱條件 實施例7 實施例8 實施例9 實施例10 加熱源 空氣出口溫度 （°C) 相對濕度 （％) 溫水^ 22.5 43.0 溫水w 22.5 45.0 溫水” 22.5 43.0 溫水” 22.5 45.0 * 1以附有翅片之線圈狀管中流過溫水方式之熱交換器予以加熱

C.\2D-C0DE\9]-09\9]]13999.ptd 第36頁 541201 五、發明說明（32) 本發明之空 學污染物質之 之NH/和NCV等 之波形狀無機 觸，故僅將表 併入水中的化 染物質的再度 染。 本發明之空 板，則可令空 幅減低處理費 故可消減去離 空氣通過空氣 力。 產業上之可利 本發明之空 晶裝置之製造 淨室供給空氣 法，若使用上 元件編號之說 1 2 3 4 斜 波 波 給 氣清淨方法為達成下列效果。（1 )氣體狀化 除去效率高◦( 2 )以往，難以提高吸收效率 可以良好效率除去。（3)令構成斜向蜂巢板 多孔質板中滲透流下之水與被處理空氣接 面積大之蜂巢板表面之水予以蒸發，且暫時 學污染物質為於水側殘留，故難引起化學污 飛散。因此，不用擔心被處理空氣再度污 氣清淨裝置為（1 )經由使用廉價的斜向蜂巢 氣清淨裝置全體精簡化，故可省資源並且大 用。（2)使用去離子水之份量少即可完成， 子水的製造費用和泵搬送能力。（3)因處理 清淨裝置時之壓力損失小，故可減低送風動 用性 氣清淨裝置，例如可使用做為對半導體和液 工廠、製藥工廠和生命科學相關設備等之清 的空氣清淨裝置。又，本發明之空氣清淨方 述之空氣清淨裝置則可輕易且確實地實施。 向蜂巢板 形薄片（波紋狀薄片） 形薄片（波紋狀薄片） 水管（導管）

η

Α·\91113999.ρΐϋ 第37頁 541201

A \91113999 pld 第38頁 541201 五、發明說明（34) 101 上 面 開 口部 102 垂 直 面 103 前 面 開 口部 104 垂 直 面 105 曰 取 外 層 106 取 外 層 301 水 302 剩 餘 水 401 水 402 冷 凝 水

ΑΛ9Π 1^999 pid 第39頁 541201

C:\2D-CODE\91-O9\91113999.ptd 第40頁

Claims (1)

1. 541201 六、申請專利範圍 1. 一種空 兩面配置開 向蜂巢板之 由上面開口 並且令該空 水分中且由 2. —種空 兩面配置開 向蜂巢板之 由上面開口 且令該空氣 步驟 3. 種空 兩面配置開 該前段斜向 空氣並且由 濕度，並且 之水分且由 下兩面配置 部導入以該 給水，則可 並殘存的氣 濕步驟。 氣清淨方法 口之斜向蜂 前面開口部 部供給水， 氣中之化學 該空氣中除 氣清淨方法 口之斜向蜂 前面開口部 部供給水， 中之化學污 氣清淨方法 口之前段斜 蜂巢板之前 上面開口部 令該空氣中 該空氣中除 開口 、且比 加濕步驟所 將該加濕空 體狀化學污 ，其特 巢板使 導入含 則可將 污染物 去的加 ，其特 巢板使 導入含 則可將 染物質 ，其特 向蜂巢 面開口 供給水 之化學 去的加 該加濕 加濕的 氣予以 染物質 徵為具 用於加 有化學 該空氣 質的至 濕步驟 徵為具 用於冷 有化學 空氣除 併入冷 兩面與上下 且經由該斜 的空氣並且 定的濕度， 少一部分併入過剩之 有將前後 濕機構， 污染物質 加濕至指 有將前後 凝機構， 污染物質 濕至指定 凝水中且 徵為具有 板使用於 部導入含 ，則可將 污染物質 濕步驟， 步驟斜向 空氣，並 除濕，且 被併入冷 兩面與上下 且經由該斜 的空氣並且 的濕度，並 除去的除濕 將前後兩面 加濕機構， 有化學污染 空氣加濕至 之 部分併 及將前後兩 蜂巢板之前 且由上面開 該加濕步驟 凝水中而除 與上下 且經由 物質的 指定的 入過剩 面與上 面開口 口部供 未除去 去的除 4. 一種空氣清淨方法，其特徵為具有將前後兩面與上下

   ΑΛ91113999.ptd 第41頁 _ II 541201 六、申請專利範圍 兩面配置開口 向蜂巢板之前 由上面開口部 且令該空氣中 由該空氣中除 氣經由冷凝機 去並殘存的氣 之斜向蜂巢板使用於加濕機 面開口部導入含有化學污染 供給水，則可將空氣加濕至 之化學污染物質之一部分併 去的加濕步驟，及將該加濕 構除濕至指定的濕度，且將 體狀化學污染物質被併入冷 構，且經由該斜 物質的空氣並且 指定的濕度，並 入過剩之水分且 步驟所加濕之空 該加濕步驟未除 凝水中而除去的 除濕步 5. 一 有4匕學 中之化 中除去 且比該 並經由 濕的空 濕至指 化學污 6. — 配置開 開口部 氣加濕 向蜂巢 凝水的 之空氣 種空氣 污染物 學污染 的加濕 加濕步 該斜向 氣，且 定的濕 染物質 種空氣 口之斜 供給水 至指定 板之後 冷凝部 予以加 清淨方法 質之空氣 物質之一 步驟，及 驟更低溫 蜂巢板之 由上面開 度，且將 併入冷凝 清淨方法 向蜂巢板 ，並經由 濕度並且 段部做為 ，則可以 濕，並且 ，其特 加濕至 部分併 將前後 之斜向 前面開 口部供 該力口濕 水中而 ，其特 之前面 將該斜 取得過 將空氣 該加濕 將該空 徵為具有經 指定的濕度 入過剩之水 兩面與上下 蜂巢板使用 口部導入經 給水，則可 步驟未除去 除去的除濕 徵為由前後 開口部導入 向蜂巢板之 剩水分的加 除濕至指定 部進行將含 氣中之化學 由加濕 ，並且 分中而 兩面西己 做為冷 該加濕 將該加 並殘存 步驟。 兩面與 空氣並 前段部 濕部， 濕度並 有化學 污染物 機構將含 令該空氣 由該空氣 置開口， 凝機構， 步驟所加 濕空氣除 的氣體狀 上下兩面 且由上面 做為將空 且將該斜 且取得冷 污染物質 質之一部

   C:\2D-CODE\91-O9\91113999.ptd 第42頁 541201 六、申請專利範圍 分併入該過剩水分而由該空氣中除去之加濕步驟，其次， 進行以該除濕部將該加濕步驟所加濕之空氣予以除濕，並 且將該加濕部未除去且殘存之氣體狀化學污染物質併入該 冷凝水中而除去的除濕步驟。 · 7. 如申請專利範圍第1至6項中任一項之空氣清淨方法， _ 其中該斜向蜂巢板所供給之水為去離子水。 8. 如申請專利範圍第3項之空氣清淨方法，其中於該加 濕機構所用之前段斜向蜂巢板所供給之水為自來水或工業 用水，於該冷凝機構所用之後段斜向蜂巢板所供給之水為 去離子水。 9. 如申請專利範圍第1至6項中任一項之空氣清淨方法， 其中該斜向蜂巢板為使用含有氧化鋁、矽石及二氧化鈦所 組成群中選出一種或二種以上充填材料或黏合材料之玻璃 纖維、陶瓷纖維或氧化鋁纖維基材所製作。 1 0.如申請專利範圍第1至6項中任一項之空氣清淨方 法，其中經該除濕步驟所除濕之淨化空氣為於指定溫度中 加熱後，使用做為清淨室用之空氣。 1 1. 一種空氣清淨裝置，其特徵為具有具備第一空氣導 入口、第一水供給機構、將該第一空氣導入口所導入之空 氣以該第一水供給機構所供給之水予以加濕的加濕機構、 ® 將該經加濕空氣予以排出的第一空氣排出口及將系統内滯 留的水排出系統外之第一水排出機構的加濕部，以及具備 連接至該第一空氣排出口的第二空氣導入口、第二水供給 機構、將該第二空氣導入口所導入之空氣中之水分以該第

   C:\2D-CODE\91-O9\91113999.ptd 第 43 頁 541201 t、申請專利範圍 二水供給機構所供給之水予以冷凝的冷凝機構、排出該冷 凝後空氣之第二空氣排出口及將系統内冷凝之水排出系統 外之第二水排出機構之冷凝部的空氣清淨裝置，於該加濕 機構及該冷凝機構，將前後兩面與上下兩面開口之斜向蜂 · 巢板，以該斜向蜂巢板之前面為分別朝向該第一空氣導入 、 口側及該第二空氣導入口側，且所導入之空氣為通過該斜 向蜂巢板地配置，再者，於該斜向蜂巢板之上方設置該第 一水供給機構及該第二水供給機構。 1 2. —種空氣清淨裝置，其特徵為具有具備第一空氣導 入口、第一水供給機構、將該第一空氣加濕的加濕機構、# 將該經加濕之空氣予以排出的第一空氣排出口及將系統内 滯留的水排出系統外之第一水排出機構之加濕部的空氣清 淨裝置，於該加濕機構，將前後兩面與上下兩面開口之斜 向蜂巢板，以該斜向蜂巢板之前面為朝向該第一空氣導入 口側，且所導入之空氣為通過該斜向蜂巢板地配置，再 者，於該斜向蜂巢板之上方設置該第一水供給機構。 1 3. —種空氣清淨裝置，其特徵為具有具備第二空氣導 入口、第二水供給機構、將該第二空氣導入口所導入之空 氣中之水分以該第二水供給機構所供給之水予以冷凝的冷 凝機構、將該冷凝後之空氣予以排出的第二空氣排出口及 將系統内冷凝之水排出系統外之第二水排出機構之冷凝部 的空氣清淨裝置，於該冷凝機構，將前後兩面與上下兩面 開口之斜向蜂巢板，以該斜向蜂巢板之前面為朝向該第二 空氣導入口側，且所導入之空氣為通過該斜向蜂巢板地配

   C:\2D-CODB\91-O9\91113999.ptd 第44頁 541201 六、申請專利範圍 置，再者，於該斜向蜂巢板之上方設置該第二水供給機 構。 1 4.如申請專利範圍第1 1項之空氣清淨裝置，其中該第 一空氣排出口與該第二空氣導入口為成整體性連接，且該 ‘ 加濕及該冷凝共同以一台斜向蜂巢板進行。 、 1 5.如申請專利範圍第1 1至1 3項中任一項之空氣清淨裝 置，其中該斜向蜂巢板為槽之突起高度為2.0〜8.0 mm。 1 6.如申請專利範圍第1 1或1 2項之空氣清淨裝置，其中 該第一水排出機構與該第一水供給機構為以第一循環泵予 以接續。 ji 1 7.如申請專利範圍第1 1或1 3項之空氣清淨裝置，其中 該第二水排出機構與該第二水供給機構為以第二循環泵予 以接續。 1 8.如申請專利範圍第1 1至1 3項中任一項之空氣清淨裝 置，其中該加濕機構或該冷凝機構之一者、或兩者之下方 設置以放流（〇 v e r - f 1 〇 w)調整污染物質濃度的循環水滯留 部° 1 9.如申請專利範圍第1 1項之空氣清淨裝置，其為於該 第二空氣排出口之後，再具備溫度及濕度的調整機構。 20.如申請專利範圍第1 9項之空氣清淨裝置，其中該溫 度及濕度之調整機構之空氣排出部為被接續至清淨室。

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