TW533457B - Semiconductor manufacturing apparatus detecting a state of connection between controllers - Google Patents

Description

五、發明説明（1 ) 瑩明領域 本發明與經由網路連接之控制器相關，且更特定地，與 —種在:導體製造裝置中，偵測多重室系統之控制器之間 連接狀態的方法和-種執行其之半導體製造裝置相關。 背景技藝 通常，半導體製造裝置與執行每一製程以製造半導體裝 置之許多處理室一起提供。提供一攜帶晶圓之傳輸機構在 處理室之間和在容納許多晶圓之卡£和處理室之間。提供 —裝置控制器給複數個處理室和傳輸機構使得需要的操作 根據半導體ϋ造裝置的順序規格或使用者使用的目的被執 行。 多重罜半導體製造裝置包括複數個處理室和傳輸機構一 起與複數個裝置控制器或複數個控制用之C p U提供。在 此種情況下，需要完全地控制每個裝置控制器以安全地、 信賴地且有效地達成複雜的工作。之後，發展一履行裝置 控制器之匯流排連接以履行一加強控制之種類的緊密結合 型控制系統。 然而，當每個裝備控制器的匯流排連接履行之後，要在 個別基礎上履行裝置控制器的維護檢查是困難的。此外， 每個裝置控制器和相對應的處理室不能獨自操作。並且， 自由地卸下處理室是困難的。 因此，爲了減少系統停止運轉的時間，一鬆弛地連接型 控制系統已經被發展，其中裝置控制器經由網路如乙太網 路連接使得個別維護和個別控制可以履行。鬆弛地連接型 五、發明説明（2 ) 控制系統與裝備控制器如相對於裝置控制器之上層順序控 制器一起提供。裝備控制器通常控制整個半導體製造裝 置。在孩鬆弛地連接型控制系統中，控制器之間的通訊是 根據用在網路中的通訊協定所執行。用於操作處理室和傳 輸機構之程式、參數資料、控制資訊等等經由網路傳輸。 當控制器間通訊係經由如上所述之網路時，需要花幾秒 到幾十秒的等級（取決於設計）直到一控制器檢查通訊連 接是否在其他控制器之間已經建立。此外，對於一控制器 來説不可能去分辨當網路連接不能建立時，其他控制器是 否關機或是故障發生在網路之中。並且，除非經由網路否 則担制器的異常狀態不能被檢查。此外，分辨控制器不能 連接的情況和控制器發生故障的情況也是困難的。 所以，當異常發生在某控制器中或異常發生在網路中在 複數個的控制器經由網路連接之半導體製造裝置的傳統控 制系統中時，幾秒到幾十秒等級的時間過去直到一控制器 識別異常的發生在遠端控制器或是網路中，即是，直到已 經決定通訊連接不能建立。然而，在決定通訊連接的建立 之時間期間，其他處理室或是傳輸機構繼續執行平常的操 作，最壞的是，一個不預期的問題可能發生在最壞的情況 之下。並且，因爲它不能指定異常的產生來源是否是網路 還是控制器，問題可能發生在復原時。 發明揭露 本發明的一般目的係提供一改善的和有用的上述問題已 在其中消除之連鎖系統。 533457

本發明的-更特定的目的係提供—種當異常發生在控制 杏時，其可以在複數個控制器經由網路連接之半導體製造 裝置的控制系統中，可以分辨異常發生在其之㈣器的連 鎖系統。 爲了達成上述目的，根據本發明提供一種半導體製造裝 置，其包括：一處理系統包含至少一執行半導體製造製程 之處理A，一拿取一將在該處理室内或外處理之物件之傳 輸系統；以及包括至少一裝置控制器之控制系統，其控制 该處理系統和該傳輸系統以及一裝備控制器，其管理該裝 置控制器而該裝置控制器和該裝備控制器經由網路通訊地 連接，其中經由網路連接之裝置控制器和裝備控制器，也 經由一硬線連接以傳送在裝置控制器和裝備控制器内部的 狀態訊號至控制系統。因此，每個裝置控制器的存在和控 制器之間的連接狀態可以被積測而不需使用經由網路的通 訊0 根據本發明的一觀點之半導體製造裝置其特徵爲：該控 制系統尚包括一第一路徑，其經由硬線傳送該裝置控制器 的狀態訊號至該裝備控制器，和一第二路徑，其經由硬線 傳送該裝備控制器的狀態訊號至該裝置控制器。 第一路徑最好包括一傳送狀態訊號在裝置控制器和其他 裝置控制器之間的狀態訊號之路徑。因此，因爲所有裝置 控制器可以獲得其他裝備控制器的狀態訊號，每個裝置控 制器可以根據控制系統的狀態取得安全性的評估。 此外，最好裝備控制器包括袭置，其根據從裝置控制器 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公爱） 533457 A7 _____B7 五、發明説明（4 ) 傳送的狀態訊號，爲了一進一步的製程，用以決定通訊連 接是否可以在裝置控制器之間建立。因此，裝備控制器可 以避免浪費由嘗試在裝置控制器和其通訊連接不能建立之 間的通訊連接所產生的時間。 並且，最好裝置控制器包括裝置，其用以根據從裝備控 制器傳送的狀態訊號，決定進一步製程的内容。因此，裝 置控制器可以根據裝備控制器的狀態或反映在裝備控制器 中的裝置控制器的狀態，在異常的時間點選擇性地履行安 全評估。 此外’根據本發明之另一觀點，提供一種半導體製造裝 置的控制系統的起始方法，其包括一包含至少一執行半導 體製造製程之處理室的處理系統；一拿取一將在該處理室 内或外處理之物件之傳輸系統；以及包括複數個裝置控制 器之該控制系統，其控制該處理系統和該傳輸系統，以及 一管理該裝置控制器的裝備控制器，該裝置控制器和該裝 備控制器經由網路通訊地連接，該方法的特徵爲；一起始 該裝備控制器之步驟；一偵測經由硬線連接到每一該裝置 控制器的狀態訊號之步驟；一根據該裝置控制器的狀態訊 號’從該裝置控制器之中識別其可以載入程式之裝置控制 器的步驟’；一在該裝備控制器和該被識別的裝置控制器 之間經由该網路建立通訊連接之步驟；經由該網路從該装 備控制器載入將被執行的程式到該被識別的裝置控制器且 開始該程式之步驟；一偵測經由硬線連接到該裝備控制器 之該被識別的裝置控制器之狀態訊號的步驟；以及一根據 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公爱） 533457 A7

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述，一起與随附的圖 周式簡述 不閱讀時而變得更明顯 圖1係爲圖顯示根據本發 體製造裝置的機構部分。 明之一第一具體實施例的半導 圖2係爲根據本發明之第— 置的控制系統的説明結構圖。 圖3係爲用以解釋根據本發 鎖單元之圖。 圖4係爲用以解釋根據本發 鎖單元之圖。 具體實施例的半導體製造裝 明之一第二具體實施例之連 明之一第三具體實施例之連 圖5係爲根據本發明土 狀 梵月 < 一罘四具體實施例之裝備控制器 的結構圖。 一第五具體實施例之裝置控制器 圖6係爲根據本發明之 的複合圖。 圖7係爲根據本發明> g、E! _ β 、I钵+甓明之一弟六具體實施例之半導體控制 裝置之控制系統的起始方法的流程圖。 圖8係爲根據本發明之-第七具體實施例，根據半導體 製造裝置的控制系統的連鎖方法的操作之循序圖。 f行本發明之昜佳模式 參考圖式，現在將會描述本發明之具體實施例。在圖式 中，相等部分會給相同參考號碼。 圖1係爲根據本發明之一第一具體實施例之半導體製造 裝置的機構部分的平面圖。參照圖1，將會描述多重室半 導體製造裝置，特別地，—群組工具裝22。群組工具裝 -9- 533457 五、發明説明（ 置2由應用許多種類的· 程或是蚀刻製程，到如同被億：如薄膜沉積製程、擴散製 =。和—將晶圓從處理系統”進帶出之傳輸系 二眞空可以裝入其中之傳送室8和經由個 別閘極活栓10A-10D遠拄$丨丨穡、、，、Λ

運接到傳运罜8之4個處理室12A_12D 。在處理室12A-12D，妇π + τ 冋或不同種類的熱處理應用到晶 固:。提供容器14A⑽，晶圓w在其上放置，在相對應 =至12A.12D。提供伸縮自如和可旋軸傳送臂部分16在傳 裝 迗1：8。傳送臂部分16傳送晶圓在室i2A_i2D和隨後描述 之裝載鎖室之間。

傳輸系統6包括卡E容器在其上放置之卡匿台18和爲了 2遞晶圓w移動傳輸臂部分20之傳輸台22。卡匣台以和 谷杏桌24 —起提供使得複數個卡匣容器（在此情況，最多 4個容器）26A-26D可以放在其上。每個卡匣容器26A-26D 如此的組成使得例如，最多2 5個晶圓w可以以相等的間 距容納。 提供一導引執28延伸沿著直方向在中央部分在傳輸台 2 2。上述傳輸臂部分2 〇由導引執2 8滑動地支撑。導引軌 2 8與球螺桿3 〇 一起提供作爲以平行方式之移動機構。以 上提及之傳輸臂部分2 0的基部3 4安裝於球螺样3 〇。因 此’傳輸臂部分2 0就藉由驅動提供在球螺样3 0末端上的 驅動馬達3 2可沿著導引執2 8移動。 一定位器3 6提供在傳輸台2 2的另一端上作爲定位晶圓 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 533457

之万向,位裝置。此外，兩個裝載鎖室38a和則，其中 可》成眞工’提供在傳輸台2 2的中間以連接上述傳送室8 之間：在每個裝載鎖室3 8八和3⑶中，提供晶圓w放置在 /、上之傳輸主體桌4 〇 A和4 〇 B。此外，提供閘極活栓 42A 42B和44A、44B在每個裝載鎖室38A*38B之前 和之後，閘極活栓用以與傳送室8或傳輸台22通訊。 上面提及的傳輸臂部分20具有一伸縮自如和多重關節 的傳輸臂主體46和一分叉48裝載在臂主體以的一端。晶 圓W直接在分叉48上托住。 足位器36具有由驅動馬達所旋轉之旋轉參考座60。當 晶圓W置於其上時，旋轉參考座6 〇會旋轉。一用以偵測 印圓W周邊之光學感應器62提供在旋轉參考座6〇的周 圍。並且，一高度偵測器提供在定位器3 6的入口的側邊 該南度偵測器包括一雷射元件68輸出一雷射光束 6 6 ’用於水平高度之偵測和一接收雷射光束6 6之光接受 元件7 0。 群組工具裝置2具有一控制傳輸系統之操作的裝置控制 器（在圖中未顯示）。裝置控制器根據在軸位置資訊中獲得 的資訊和由每個偵測部分所獲得的資訊控制晶圓w的傳 輸0 圖2係爲根據本發明之第一具體實施例的半導體製造裝 置的控制系統的方塊圖。該控制系統包括：一控制傳輸系 統6之裝置控制器1 2 1 ; —裝置控制器1 2 2，其控制執行 單一半導體製造製程如薄膜沉積製程之第一處理室；—裝 __ -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

裝 % 533457 A7 ________B7 五、發明説明（9 ) 置控制器1 2 3 ’其控制執行製程如擴散製程之第二處理 室；以及相對於分別處理室之裝置控制器。此外，控制系 統尚包括整合地管理在全部半導體製造裝置上的資訊之裝 備控制器1 1 0而該裝備控制器1丨0可以連接到一半導體製 造裝置在其中安裝之工廠的主電腦（在圖中未顯示）。 裝備控制器110和裝置控制器i21、122和123相互地 經由網路連接’通常是一 L A N型網路1 3 2如乙太網路。網 路1 3 2可以以’例如星型方式構成。圖2顯示星型網路 1 3 2。在此時，控制系統具有一其爲線集中器之樞紐1 3 〇 和一裝備控制器110和裝置控制器121、122和123經由 樞紐1 3 0連接。 由裝置控制器所執行的程式和關於該程式的參數經由網 路1 3 2從裝備控制器1 1 〇下載至每個裝置控制器丨2 i、 122和123 〇並且 > 在處理下之評估資料從每個裝置控制 器121、122和123上傳至裝備控制器11〇。 此外，根據本發明之第一具體實施例之控制系統尚包括 一連鎖單元200。裝備控制器110和裝置控制器121、 1 2 2和1 2 3經由硬線2 0 2連接到連鎖單元2 0 0。連鎖單元 2 0 0經由硬線2 0 2傳送控制器的狀態訊號。控制器的狀態 訊號包括，例如，指示硬體的準備是否已經完成之資訊和 指示軟體的準備是否完成之資訊。假如控制器的狀態訊號 指示既不是軟體準備好狀態也不是硬體準備好狀態，此表 示軟體沒有載入控制器或者有軟體問題發生在控制器。 如上所述，因爲裝備控制器1 1 〇和裝置控制器1 2 1、 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐） 533457 A7 __________B7 五、發明説明（ΊΟ ) 1 2 2和1 2 3由硬線連接，且經由硬線狀態訊號可以在之間 交換’其它控制器的連線狀態和操作狀態可以偵測到而不 需使用經由網路1 3 2之通訊。 連鎖單元200包括一第一路徑和一第二路徑，第一路徑 經由硬線2 0 2傳送上述裝置控制器丨2 11 2 2和1 2 3的狀 態訊號至上述之裝備控制器1 1 〇，第二路徑經由硬線2 〇 2 傳送上述的裝備控制器i丨〇的狀態訊號至上述裝置控制器 121、122 和 123 〇 因爲裝備控制器1 1 〇能夠知道在控制系統中所有裝置控 制器的狀態，裝備控制器丨i 0可以根據從每個裝置控制器 1 2 1、1 2 2和1 2 3接收之狀態訊號決定其自己的狀態訊號 傳送給裝置控制器。提供給每個控制器的訊號可以藉由改 變在連鎖單元2 0 〇中的硬線的連線方式而改變。 例如，有一僅由硬線構成之迪利（Dizzy )鏈連線當作容 易實現形式之連鎖單元200。當裝置控制器的連線順序固 定時，迪利鏈連線係爲一有效的連線形式。 此外，連鎖單元2 0 〇可能從外部接收一連鎖訊號，且可 能組成以提供藉由結合狀態訊號之連鎖訊號給每一控制 圖3係爲根據本發明之一第二具體實施例的連鎖單元 200的圖。在現在之具體實施例中，冑了簡單化的緣故， 僅有顯示裝備控制器110和兩個裝置控制器121和122。 然而’裝置控制器的數目沒有限制。連鎖單元2⑽包括一 連鎖板204和一連接器部分2〇6。裝備控制器和兩個 -13-

533457 A7 ___B7 _ 五、發明説明（11 ) 裝置控制器121和122經由連接器部分206和連鎖板204 由硬線連接。 在連鎖板204上，訊號MC#1JTATUS 、訊號 MC#2—STATUS和訊號EC一STATUS分另丨J代表第一裝置控制 器1 2 1的狀態訊號、第二裝置控制器1 2 2的狀態訊號和裝 備控制器1 1 0的狀態訊號。更特定地説，訊號 MC#1_STATUS包括訊號MC#1_HARD_RDY指示硬體的操 作狀態和訊號MC#l_SOFT—RDY指示第一控制器1 2 1的軟 體的操作狀態。相似地，訊號MC#2_STATUS包括訊號 MC#2一HARD—RDY指示硬體的操作狀態和訊號 MC#2一SOFT一RDY指示第二控制器1 2 2的軟體的操作狀 態。 另一方面，裝備控制器1 1 0的狀態訊號EC_STATUS包括 訊號EC—HARD—RD Y指示裝備控制器1 1 0的硬體的操作狀 態，訊號EC_S0FT—RD Y指示裝備控制器1 1 〇的軟體的操 作狀態和訊號MCJRSTn用以強制地重設每個裝置控制 器。根據這樣的連接形式，從所有裝置控制器的狀態訊號 提供給裝備控制器1 1 0且裝備控制器1 1 0的狀態訊號提供 給所有的裝置控制器。 圖4係爲根據本發明之一第二具體實施例之連鎖早元 2 0 0的圖。在圖4，爲了簡化的緣故，只有顯示裝備控制 器110和兩個裝置控制器121和122。然而，裝置控制器 的數目沒有限制。連鎖單元200包括一連鎖板214和一連 接器部分2 1 6而裝備控制器1 10和兩個裝置控制器1 2 1和 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 533457 A7 B7

122藉由硬線經由連鎖板214和連接器部分216連接。 顯示在連鎖板214上的訊號之意義與根據本發明之第二 具體實施例參照圖3解釋之連鎖單元的情形相同。在現在 具體實施例的情況下，裝備控制器i 1 〇和所有裝置控制器 相互地連接。並且，某控制器的狀態訊號分散到所有其他 控制器。即是，關於所有其他控制器的狀態訊號提供給某 控制器。 因此’因爲所有裝置控制器可以獲得不只裝備控制琴 1 1 0且其他裝置控制器的狀態訊號，每個裝置控制器可以 根據連接狀態選擇性地執行操作。 圖5係爲根據本發明之一第四具體實施例的裝備控制器 1 1 〇的結構圖。裝備控制器1 1 〇經由網路例如乙太網路連 接到裝置控制器121於傳輸系統，到裝置控制器於第一處 理室’以及到裝置控制器1 2 3於第二處理室。於傳輸系統 之裝置控制器121、於第一處理室之裝置控制器和於第二 處理室之裝置控制器1 2 3分別地控制顯示在圖1之傳輸系 統機構部分6、處理室12A和處理室12B。 裝備控制器1 1 0具有一記憶體裝置1 1 2例如硬碟單元、 磁碟早元或一 1C記憶體單元和許多種半導體製造裝置 操作所需的資訊都儲存在記憶體裝置1 1 2。即是，記憶體 裝置1 1 2儲存，例如，用於裝備控制器丨丨〇操作的程式， 由傳輸系統裝置控制器121執行之裝置操作程式，用以操 作傳輸系統，和相對應的裝置操作條件參數、由裝置控制 杳122和123執行之裝置操作程式，用以控制處理室122 -15- 533457

和1 2 3的製程和相對應的裝置操作條件參數、使用者的特 定方法和裝置登錄資料。 裝備控制器1 1 〇有一 CPU 111，用以執行上述程式和經 由網路1 3 2下載許多種儲存在記憶體裝置1 1 2的資訊到裝 置控制器121、122和123或是從裝置控制器121、122 和1 2 3獲得許多種資訊且儲存資訊在記憶體i丨4或記憶體 裝置112中。裝備控制器11〇尚包括一由顯示器、键盤等 等所構成的輸入/輸出裝置113而使用者可以經由輸入/輸 出裝置113設定和編輯儲存在上述記憶體裝置ιι2中的許 多程式和參數。 此外’根據本發明之一第四具體實施例，裝備控制器 包括一連鎖部分115且根據從上述裝置控制器m、 1 2 2和1 2 3傳送的每個裝置控制器的狀態訊號，判斷通訊 連接是否可以爲進一步的製程在上述裝置控制器之間建 互。因此’裝備控制器11〇可以避免浪費由嘗試建立在裝 備控制器間不能建立的通訊連線所導致的時間。並且，裝 置控制器的啓動可以實現且下載程式的裝備控制器之起始 程序可以有效地執行。 圖6係爲根據本發明之一第五具體實施例之裝置控制器 γ例如，於傳輸系統之傳輸系統）121之方塊圖。裝置控制 詻1 2 1有一由快閃記憶體、EpR〇M、eer〇m等所構成的 記憶體1 5 2。記憶體〗5 2儲存裝置控制程式。並且，裝置 操作條件參數在記憶體152發展。_cpu 151藉由執行儲 存在記憶體1 5 2的裝置控制程式藉由指到在記憶體〗5 2裡 -16 - 533457 A7

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533457 A7 __ B7 五、發明説明（15 ) 訊號被偵測到（步驟2 )。下一步，根據狀態訊號，其在程 式可以載入的狀態之裝置控制器可以從裝置控制器中分辨 出（步驟3 )。其中程式可能載入的狀態相等於指示硬體的 操作狀態之訊號MC一SOFT一RDY在裝置控制器的狀態訊號 中是打開的之狀態和指示軟體操作狀態的訊號 MC—HARD一RDY在裝置控制器的狀態訊號是關閉的之狀 態。 下一步，裝備控制器經由網路建立通訊連接在分辨的裝 置控制器（步驟4)。之後，由分辨的裝置控制器所執行的 程式從裝備控制器下載至裝置控制器（步驟5)。之後，執 行經由網路下載至裝置控制器的程式（步驟6 )。 爲了獲得分辨的裝置控制器的操作狀態，裝備控制器偵 測經由硬線連接之裝置控制器的狀態訊號（步驟7 )。因爲 在此台中’通訊連接建立在裝備控制器和裝置控制器之 間’裝備控制器也可以經由網路獲得裝置控制器的狀態。 然而，從減少處理時間之觀點，最好經由硬線偵測狀態訊 號。 下一步，判斷裝置控制器是否正常地執行下載的程式 (步驟8)。當訊號MC一SOFT一RDY是開的且訊號 MC一HARD—RDY是開的時，就可判斷裝置控制器係根據下 載的程式正常地操作。 當判斷裝置控制器係正常地操作時，裝備控制器前進程 序到步驟1〇以判斷是否有還沒有處理的裝置控制器（步驟 ίο)。當如此的裝置控制器仍然存在時，程序回到步驟 1 -18- 尽紙浪尺度適财S ®家鮮(CNS) A4規格(21G X挪公石 533457 A7 B7 五、發明説明（16 ) 2。當所有的裝置控制器都結束時，一連串的順序就結 束0 另一方面，假如判斷出裝置控制器並沒有正常地執行下 載的程式，用爲強制地重設之訊號MC一RST從裝備控制器 送給裝置控制器以恢復裝置控制器的錯誤狀態（步驟9 )。 因此’藉由獲得藉由硬線連接到裝備控制器之裝置控制 器的狀態訊號，裝備控制器可以在控制系統中下載於裝置 控制器的程式且能夠讓裝置控制器執行該程式。因此，起 始根據控制系統的組成設定可以適當地且有效率地執行。 圖8係爲根據本發明第七具體實施例之半導體製造裝備 之控制系統的操作的連鎖方法之循序圖。參考圖8，將會 描述當錯誤發生在某裝置控制器中，連鎖的方法。 首先，假如軟體錯誤發生在裝置控制器，使用一熟知的 技術如看門狗計時器偵測軟體上的錯誤。之後，裝置控制 器之軟體準備好的訊號MC 一 SOFT 一 RDY改變到關閉（步驟 2 〇 )。該訊號經由硬線傳送到裝備控制器。 裝備控制器從裝置控制器的狀態訊號偵測關於軟體是否 準備好（步驟2 1 )。其他裝置控制器藉由裝備控制器的款 體準備好訊號MC—SOFT_RDY關閉會被通知有軟體問題發 生在系統中而一個強制的重設訊號經由硬線傳送到錯誤在 其中發生之裝置控制器（步驟22) ^經由硬線接收強制的 重設訊號之錯誤產生來源的裝置控制器執行強制的重設程 序且等待下一指令（步驟23)。 、 另一方面，在接收到裝備控制器的狀態訊號時，在個別 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 533457

的控制器基礎上’其他裝置控制器執行一合適的風險背離 的=序（例如到一安全的地方或程序之後停止），且等待下 才曰二（步驟2 4 )。因此，當錯誤發生時，使用硬線之高 速和高安全性連鎖操作可以實現。 應d:意’在本具體實施例中，當偵測到裝置控制器的 岸人m錯〃吳時，其他裝置控制器藉由改變裝備控制器的狀態 訊號會被通知錯誤的發生。然而，例如，假如狀態訊號相 互地以硬、、泉連接於每個裝置控制器，之後所有裝置控制器 可以f接地識別錯誤在其中發生之裝置控制器。結果，根 據錯誤產生來源可以採取風險背離程序。 因此，當異常在控制系統中偵測時，因爲裝置控制器在 個別控制器的基礎上可以選擇性地執行連鎖操作，安全評 估根據情況，例如移到安全位置、回到重新開始可以執行 的位置之後等待或是等待在人可以容易接近的狀態中，可 以個別地採取。 如上所述，在根據本發明之半導體製造裝置中，經由網 路連接之裝備控制器和裝置控制器，其也由硬線連接，而 裝置控制器和裝備控制器的狀態訊號傳送到控制系統。因 此，在控制系統之中，每個裝置控制器的存在和操作狀態 和控制器間的連線狀態可以根據狀態訊號而被偵測，不需 使用經由網路的通訊。所以，因爲控制器的異常或網路的 異常可以在不是以網路通訊建立所需的時間等級（幾秒或 是幾十秒）而是少於1秒的等級被偵測，而關於異常的發 生可以採取立即的反應且採取需要的評估。因爲裝備控制 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 533457 A7 B7 五、發明説明（18 ) 器或所有裝置控制器的狀態訊號可以經由硬線提供給每個 裝置控制器，每個裝置控制器在以個別控制器的基礎上， 可以立即採取安全評估。 本發明並不限制於特定地揭露的具體實施例，且變化或 修改可以在不需背離本發明的範圍而達成。 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

Claims (1)

1. 533457 cr 第_1145〇7號專利申請案 V 中文申請專利範圍修正本（91年8月） 申請專利範園 1· 一種半導體製造裝置，其包括： 一處理系統包含至少一執行半導體製造製程之處 室； 一傳輸系統拿取一將在處理室内或外處理之物件； 一控制系統包括至少一裝置控制器，其控制該處理 系統和該傳輸系統和一管理該裝置控制器之裝備控制 器’該裝置控制器和該裝備控制器經由一網路可通訊 地連接， 。 其特徵為： 該控制系統尚包括一第一路徑，其經由硬線傳送該 裝置控制器的狀態訊號至該裝備控制器，和一第二路 徑，其經由硬線傳送該裝備控制器的狀態訊號至該裝 置控制器。 2.如申凊專利範圍第1項之半導體製造裝置，其特徵為該 第一路徑包括一路徑，其傳送在該裝置控制器和其他 裝置控制器之間的狀態訊號。 3·如申請專利範圍第1或2項之半導體製造裝置，其特徵 為該裝備控制器包括裝置，其根據從該裝置控制器傳 送的狀態訊號，於一進一步的製程，用以決定通訊連 接是否可以在該裝置控制器之間建立。 4·如申請專利範圍第1或2項之半導體製造裝置，其特徵 為該裝置控制器包括裝置，根據從該裝備控制器傳送 的狀態訊號用以決定進一步製程的内容。 5.如申請專利範圍第3項之半導體製造裝置，其特徵為該 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

   裝 訂

   533457 A8 B8 C8 p_____ _D8_ 六、申請專利範圍 裝置控制器包括裝置，根據從該裝備控制器傳送的狀 態訊號用以決定進一步製程的内容。 6· —種半導體製造裝置之控制系統的起始方法，其包 括：一包含至少一執行半導體製造製程之處理室的處 理系統；一拿取將在該處理室内或外處理之物件之傳 輸系統；以及包括複數個裝置控制器之該控制系統， 其控制該處理系統和該傳輸系統，以及一管理該裝置 控制器的裝備控制器，該裝置控制器和該裝備控制器 經由網路通訊地連接， 其特徵為： 一起始該裝備控制器之步驟； 一偵測經由硬線連接到該裝備控制器的每一裝置控 制器的狀態訊號之步騾； 一根據該裝置控制器的狀態訊號，從該裝置控制器 之中識別可以載入程式的裝置控制器的步騾； 一經由該網路在該裝備控制器和該被識別的裝置控 制器之間建立通訊連接之步騾； 一經由該網路從該裝備控制器載入將被執行的程式 到該被識別的裝置控制器且開始該程式之步驟； 一偵測經由硬線連接到該裝備控制器之該被識別的 裝置控制器之狀態訊號的步騾；以及 一根據該被識別之裝置控制器的狀態訊號決定該被 識別的裝置控制器是否執行過該程式的步驟。 7· —種半導體製造裝置之控制系統之連鎖方法，其包 -2 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 533457六、申請專利範圍 A BCD 括：一包含至少一執行半導體製造製程之處理室的處 理系統；一拿取將在該處理室内或外處理之物件之傳 輸系統；以及包括複數個裝置控制器之該控制系統， 其担制該處理系統和該傳輸系統，以及一管理該裝置 控制器的裝備控制器，該裝置控制器和該裝備控制器 經由網路通訊地連接， 其特徵包括： 一設定代表異常在異常發生之該裝備控制器其中之 一的狀態訊號之步騾； 一經由硬線傳送代表該裝置控制器其中之一的異常 狀態訊號到該裝備控制器之步騾； 一經由硬線從該裝備控制器傳送代表異常之狀態訊 號到連接到該裝備控制器之所有該裝置控制器之步騾； 以及 執行一連鎖操作在代表異常之狀態訊號從該裝備控 制器經由硬線傳送到其之每個該裝置控制器之步驟。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐）