CN100429887C

CN100429887C - 刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法

Info

Publication number: CN100429887C
Application number: CNB2006100113166A
Authority: CN
Inventors: 徐华; 丁力; 贾培发; 王家廞; 赵雁南
Original assignee: Tsinghua University; Beijing North Microelectronics Co Ltd
Current assignee: Tsinghua University; Beijing North Microelectronics Co Ltd
Priority date: 2006-02-09
Filing date: 2006-02-09
Publication date: 2008-10-29
Anticipated expiration: 2026-02-09
Also published as: CN1937505A

Abstract

本发明涉及微电子领域。本发明公开的一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法，包括：包括集群控制器、工艺模块控制器，连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输。方法：1)准备工作步骤；2)网络测试连接工作步骤；3)具体通信工作步骤：即进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互。

Description

刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法

技术领域

本发明涉及微电子领域，具体涉及集成电路刻蚀机(商业机)集群控制器(CTC)与工艺模块控制器(PMC)之间的信息通讯系统。本发明还涉及集成电路刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统的方法。

背景技术

在200mm集成电路刻蚀机(商业机)设备中，主要分为集群控制器(CTC)，工艺模块控制器(PMC)和传输模块控制器(TMC)三个部分，分别进行集中监控，对腔室设备的控制和对机械臂传输设备的控制。其中CTC作为最核心的控制设备协调控制着PMC和TMC，使得三个部分能够很好的协作完成刻蚀的任务。

在控制关系中，CTC与PMC之间的关系最为紧密，这就涉及到CTC与PMC间通信模块的设计问题。设计出的通信模块应该能够很好的支持CTC对PMC的控制，同时能够及时准确地将PMC产生的数据和信息反馈给CTC。

在实际的刻蚀环境中，CTC控制程序与PMC控制程序处于不同的计算机上，它们之间通过以太网进行连接。而环境中对网络的影响可以忽略不计。

CTC对PMC的控制主要表现在指令的分配和数据与警告的监控。

1指令

指令是单向传输的，即从CTC发送指令给PMC，指导PMC进行各种操作。

指令包括一定的指令特征(如名称等)用于区分不同的指令，同时包含一定的参数以明确的将指令执行到特定程度(如PINUP操作中设定上升的高度参数)。在特殊情况下，指令可以没有参数部分。

2数据

PMC负责将设备上的数据采样读取出来，数据在刻蚀机系统中有四种类型：整型(int)、浮点型(float)、布尔型(boolean)、字符串型(string)。通过通信模块让CTC部分能够得到这些数据，以达到监控数据的功能。

同样对于指令参数的类型也仅有以上四种类型。

3警告

PMC中可能会在一些意外情况下出现运行的错误，从而产生一些特定的报警信息。PMC可能会根据警告自动恢复，但有些情况下需要CTC的进一步控制。因此就需要CTC通过通信模块能够监控这些警告，从而完成一定的操作或者对PMC进一步进行控制。

基于以上的通信信息内容，通信模块需要达到一定的功能和性能要求。

4准确性

准确性包括两个方面的情况：一方面是在单CTC控制多PMC的情况时，需要准确的将控制信息传送给指定的PMC，不能出现传输给其他的PMC的情况；另一方面，CTC与PMC间的控制是敏感和重要的，因此需要通信模块在传输过程中保证信息的不失真和不丢失。

5实时性

作为实时控制系统，本身应该具有较高的实时性。PMC和TMC对机械进行控制，在时序上有很严格的要求，也就需要很高的实时性(一般要求响应时间在ms级甚至更高)。但是在CTC与PMC的控制关系中，通过逻辑关系进行控制，在拓扑顺序上要求严格，但在时序要求上要求并不高，因此对实时性要求没有严格的要求。正因为如此，通信模块对实时性要求也不需要太高，将响应时间保持在s级就可以满足要求。

在实际的系统中，由于CTC和PMC可能由不同的厂家提供产品，因此需要有一种统一格式来约束通信模块。一般都使用Semi标准或者其他已有的国际标准为基础，来实现CTC与PMC间的通信。但准确性、实时性不够理想。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的是提供一种具有准确性、实时性的刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统，本发明的目的还提供刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统的方法。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采取以下方案：

本发明的刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统，包括集群控制器、工艺模块控制器和连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，所述以太网的Web服务的客户端建立在所述集群控制器端；Web服务的服务端建立在所述工艺模块控制器端，所述通讯系统还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输。

其中，所述通讯模块包括属性数据服务接口、指令数据服务接口、数据项数据服务接口、警告数据服务接口和中间文档，其中，

——属性信息服务接口用于集群控制器将要查询的属性名称发送给工艺模块控制器，工艺模块控制器将属性名称对应的值返回给集群控制器；

——指令信息服务接口用于集群控制器在控制过程中向工艺模块控制器发送操作指令，指导工艺模块控制器对工艺进行控制；

——数据项信息服务接口，由集群控制器提供待查询数据项的名称，工艺模块控制器接收到此名称后在数据项存储结构中查找对应项，将对应的数据项数据转换为字符串型，传递给所述客户端。

——警告信息服务接口，由集群控制器给出任何输入参数，工艺模块控制器在接收了服务调用后，查找警告记录将两次服务调用间的警告信息以字符串的形式反馈给集群控制器；

——中间文档，用于存放属性、指令、数据项和警告数据，以实现控制器之间通过文件进行数据交流。

其中，所述中间文档使用XML文档。

刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统的方法，有以下步骤：

1)准备工作步骤；

2)网络测试连接工作步骤；

3)具体通信工作步骤：即进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互。

其中，所述准备工作步骤包括：

A)启动Web服务器，以提供网络服务；

B)启动工艺模块控制器控制程序，对工艺模块控制器进行必要的预处理；

C)在工艺模块控制器端生成四个XML文档分别存放属性、指令、数据项和警告信息。

D)启动集群控制器。

其中，所述网络测试连接工作步骤包括：

a)集群控制器发出服务请求，用来获取需控制的工艺模块控制器基本信息；

b)Web服务器收到查询属性信息请求后，查找相应XML文档中的信息，并返回；

c)网络测试连接正常的情况下，建立独立线程，用于监控警告信息的状况。

其中，所述具体通信工作步骤包括集群控制器端的流程：

I)集群控制器向Web服务器提出服务请求；

II)Web服务器分析请求，进入相应处理函数；

III)处理函数查找相应XML文档，并对信息进行分析，返回所需信息；

IV)Web服务器返回从处理函数处得到的返回信息，或者错误信息；

V)集群控制器获得反馈信息。

其中，所述具体通信工作步骤包括工艺模块控制器端的流程：

α)工艺模块控制器查找相应XML文档，更新相应信息并且获取指令信息；

β)解析指令信息；

γ)控制工艺模块完成指令。

其中，所述XML文档的读写操作，使用DOM解析XML文档的内容，并根据四种不同类型的XML文档数据，编写和实现四个XML文档处理类。

(三)有益效果

与已有技术相比，由于采用以上方案，本发明的优点在于：1)由于Web服务建立在简单对象访问协议(SOAP)协议和超文本传输协议(HTTP)协议之上的，这两个协议能够保证数据的正确接收和发送，因此使用本发明开发的通信模块，在信息传递的准确性上是能得到保证的。2)在实时性上，从测试的结果看来，首次连接时间能够保证在1秒以内，而之后的通信效果则比较好，与套接字(Socket)连接速度相仿。3)在通用性上，从设计看来是用Web服务提供远程服务能在Java语言、VC.NET语言环境下进行开发，若使用Java语言则还能跨系统平台进行开发。另外，设计中涉及的文档尽量使用XML格式，能够与其他程序进行交互。4)克服了通讯系统封闭性的问题。

附图说明

图1是本发明通讯机理图；

图2是本发明服务接口调用示意图。

具体实施方式

以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1所示，本发明的通讯模块包括属性数据服务接口、数据项数据服务接口、警告数据服务接口、中间文档。

如图2所示，本发明的方法包括：

1)准备工作

A)启动Web服务器，以提供网络服务；

B)启动工艺模块控制器控制程序，对工艺模块控制器进行必要的预处理，如预热工艺腔室等；

D)启动集群控制器；

2)网络测试连接工作

a)集群控制器发出服务请求获取需控制的工艺模块控制器基本信息。若集群控制器与网络连接正常，应能得到Web服务器的反馈信息；

b)Web服务器收到查询属性信息请求后，查找相应XML文档中的信息，并返回。若XML文档配置正确，则能提取正确的工艺模块控制器信息；

3)具体通信工作

进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互。包括两个方面的处理：集群控制器端和工艺模块控制器端，具体流程分别如下：

集群控制器端：

I)集群控制器向Web服务器提出服务请求；

II)Web服务器分析请求，进入相应处理函数；

V)集群控制器获得反馈信息；

工艺模块控制器端：

α)工艺模块控制器查找相应XML文档，更新相应信息(属性信息、数据信息、警告信息)并且获取指令信息；

β)解析指令信息；

γ)控制工艺模块完成指令。

在进入具体控制流程后，不断通过调用服务中的指令接口和数据接口实现对PMC的实时控制。以送碟片进入腔室的过程为例：首先调用指令接口，将送片指令传输给PMC；之后不断检查腔室状态的标志量(BOOL DiskInChamber)，直到该数据为“TRUE”的时候，确认碟片已经进入腔室；在碟片进入腔室之后则可以进行后继工作，如开始进行加工工艺过程，将任务启动(startJob)指令发送给PMC。

所述一个线程是给定的指令的序列(即所编写的代码)，一个栈(在给定的方法中定义的变量)，以及一些共享数据(类一级的变量)；线程也可以从全局类中访问静态数据，其公开的参考文献有：BomirF.Bic，Alan C.Shaw，操作系统原理(英文影印版)，清华大学出版社，2004-1-1

下面对本发明的实施例作进一步说明。

本发明所涉及的通讯子系统，需要考虑跨语言平台的通讯(前提条件)和通用性的问题，一般在实现方式上选择了基于Web Services方式的通信设计方案。

一、前提条件

实际系统中使用的CTC程序是自主开发的基于VC的程序，而PMC端的程序是基于Brooks公司的Control Vision Java开发的程序。在设计通信过程中必须注意在不同语言中设定能够通用的方案。同时CVJ部分的源程序无法得知，只能够基于原有的类的基础上进行继承和添加，在设计通信方案时也需要注意这个因素。

考虑到将来的开发和发展，尽量将通信模块独立出来，并能够使用通用的标准以方便和其他厂商或自身其他产品的兼容。

二、通信模块设计

在综合各方面因素后，选择使用Web服务方式作为本应用场合中通信模块的技术路线，完成对通信模块的设计。整个通讯子系统的通讯机理如图1所示。

(一)服务设计

1、通信中的数据分类

从CTC与PMC的数据通信要求看来，主要有四方面数据的交互。

1)属性数据

在刻蚀设备中往往有多台PMC，而每一台PMC的功能属性可能都不相同，例如操作响应时间，系统使用平台等。对于CTC来说，必须能够区分不同的PMC(e.g通过查询名称属性)，获取PMC的基本属性(e.g PMC的运行平台属性)，协调控制各PMC(e.g协调各PMC的本机时间属性)。这些属性数据一般仅在CTC与PMC建立连接时进行查询，因此对属性数据的查询也可以看作确认CTC与PMC正确连接的检测方法之一。

通信中CTC将要查询的属性名称发送给PMC，PMC将属性名称对应的值返回给CTC。为了统一属性值的操作接口，设计属性的名称和值都为字符串类型。对于一些数值型的属性值，只需要根据不同的类型从返回的字符串中析取出来。

2)指令数据

在刻蚀机系统中，CTC作为上层控制软件，在整体上控制PMC和TMC，而PMC仅仅控制对应的反应腔室。为了控制的需要，CTC必须在控制过程中向PMC发送一些操作指令，指导PMC对反应进行控制。指令发送之后，PMC并不需要向CTC返回任何数据(指令的执行是需要时间的，所以不能立即返回结果，执行结果可以通过其他方式解决)。PMC不需要也不能够对CTC进行控制，从这个角度来说指令数据的传输是单方向的(从CTC发送向PMC)。

指令可能存在参数，参数的数目和类型根据指令的变化而变化，对于一些指令可能不具备参数。参数是指令的不可缺少的一部分，参数确定了操作的程度、性质甚至是操作对象。因此指令数据中也需要包括参数内容。

指令数据设计为字符串类型，在字符串中除了包含指令名称等指令属性外还包含了参数的类型和数值。这样的设计可以不需要根据参数的个数来分类指令，从而减少了指令数据传递的接口。需要增加的处理仅仅是在PMC接收到指令数据后，将参数的类型和数值根据指令数据格式提取出来。

3)数据项数据

PMC在控制反应设备时不断地从底层的设备中采样数据，CTC需要获取这些数据项的值，一方面为上层控制提供参考，可根据某些数据项的数值确定控制条件是否满足，另一方面以可视化的界面展示给工艺操作人员，方便人员进行数据记录和监控。

数据项数据在刻蚀系统中只有四种类型，如果对每种类型的数据都提供一个服务接口，则会显得冗余。从另外一个角度考虑，由于CTC和PMC的程序开发人员对于特定数据项的数据类型是已知的，可以将这四种类型的数据转化成字符串类型的数据，是用统一的服务接口进行传递，而在接收端和发送端对数据进行类型上的转化。

CTC向接口提供数据项名称作为参数，服务接口返回数据项数据的字符串类型。

4)警告数据

在PMC控制过程中，底层的设备可能因为各种因素出现意外，在PMC检测到异常后会产生警告，一方面PMC会自动执行一些操作来恢复异常，另一方面PMC通过通信接口将警告通知CTC。CTC在接收到警告之后，对警告进行分析和记录，在有必要的情况下，进一步给PMC发送指令处理异常情况。

一般的警告数据包括了一个警告的各方面信息，主要包括了警告的名称，警告的产生时间，警告的具体错误内容以及警告的严重程度(警告等级)。前面三个信息主要被CTC用来记录，而最后一个信息则提示CTC处理过程不同，例如对于高级别的警告可能需要直接停机处理，而对于低级别的警告值需要等待某个数据项的数值达到要求。

在上面的设计中提到，PMC在接收到指令值后需要有一定的时间让设备进行对应的操作，因而不能立即给出执行结果。这里可以利用警告的机制将指令执行结果通知给CTC。可以将指令的返回信息设置为最低级别的警告信息。

设计警告数据传输接口的时候，CTC不需要向PMC发送任何信息，只需要不断的查询警告服务接口捕获警告信息。警告服务接口的返回值设计为字符串型，字符串中包括了上面提到的几个警告信息。后面将详细给出字符串格式。

2、Web服务的服务端与客户端

Web服务中必须存在服务端和客户端。一般来说，服务端提供具体操作，而客户端则对服务进行调用。根据上面对数据的分析，可以知道在刻蚀机系统中PMC作为既数据的主要来源又作为对硬件设备直接操作者，因此将Web服务的服务端建立在PMC端；CTC作为上层总体控制软件，几乎所有数据都从PMC或TMC处获得，而其对PMC和TMC的控制也体现在指导后者执行某些操作，因此将Web服务的客户端建立在CTC端。这与传统技术路线(基于Socket设计)的设计思路是不同的。

3、服务接口的设计

通过上面对通信中使用的数据进行分类，也分析了如何从数据角度设计服务接口。下面将详细说明服务接口的设计。

1)属性数据服务接口String getProperty(String name)；

其中客户端需要提供待查询的属性名称，而在调用该服务后，得到的返回值是属性名称对应的属性值。服务端在接收到服务接口调用后，在存储结构中查找属性名称对应的数据记录条，将其值转换为字符串类型返回给服务接口。对于个别情况，例如获得PMC设备编号属性，应该得到整型数据，则可以通过字符串分析函数得到(Java中可以使用Integer类的parseIntegere函数)。

2)指令数据服务接口int sendCommand(String cmd，Stringarguments)；

由于Web服务中所有的服务接口必须返回一个值(即不支持无类型返回值void)，因此将服务接口的返回值设计为int型，在一般情况下(网络状态正常)返回值应该是1。

客户端提供的信息包括两个部分：字符串类型的cmd包含指令的基本属性，例如名称，编号等；另一部分字符串类型的参数(Arguments)包含了指令的参数，当指令没有参数的时候arguments的值为空(null)。

3)数据项数据服务接口String requireData(String name)；

与属性数据服务类似，客户端需要提供待查询数据项的名称，服务端接收到此名称后在数据项存储结构中查找对应项，将对应的数据项数据转换为字符串型，通过服务接口传递给客户端。

4)警告数据服务接口String queryAlarm()；

与其他的服务不同的是，警告数据服务部需要客户端给出任何输入参数，服务端在接收了服务调用后，会查找警告记录将两次服务调用间的警告信息以字符串的形式反馈给客户端。

(二)中间文档设计

在Java下设置Web服务需要知道程序的源码，而受客观原因的影响，现在无法完全得知CVJ PMC部分的源码。则需要考虑使用其它的办法解决这个问题。

考虑将Web服务部分独立成为一个进程，完成服务端的功能，而逻辑控制部分独立的存在，两者之间通过文件进行数据交流。同时为了能够有统一的文档结构使用XML文档。

对于服务的客户端来说根本没有影响，也就是说CTC端根本不需要关心PMC是如何提供服务和实现服务的。对于服务端来说将原先同一进程内不同线程间的数据交互变成了同一机器上不同进程间的数据交互，其他工作原理没有任何改变。

对于XML文档的处理，可以使用Java提供的JAXP类库开发。能够保证代码的简单和准确。针对上面分析的四种不同的数据，设计了四个不同的XML文档分别进行记录。

(三)设计实现

根据上面的设计，在实现中主要包括了两个部分，第一是对中间XML文档的读写操作，第二是部署服务。

对于XML文档的读写操作，使用了JAXP开发包，使用DOM解析XML文档的内容。根据四种不同类型的XML文档数据，编写和实现了四个XML文档处理类(类的名称如下：AlarmDealer，CommandDealer，DataDealer，PropertyDealer)。需要特别指出的是，在对指令数据进行处理时使用了自己设计的指令类，因为指令不像其他参数有特定的类型，对于指令来说，除了基本的名称和编号外还有不定长度的参数数组。为了将对指令的操作封装起来，设计了指令类，在类中使用一个Object[]类型的数组，对整型参数来说使用Integer类来表示，浮点型参数用Double类表示，布尔型用Boolean类表示，字符串用String类表示。同时指令类也提供了添加参数、获取参数、获取名称等操作，方便后期开发人员的开发工作。

对于服务的部署来说，使用了Sun公司提供的Application Server来进行部署工作，其中只需要对服务的端口和服务器操作权限进行一些设置。详细设置参见《Demo使用手册》。

本发明实施例的效果在于：

1、准确性

Web Services是建立在SOAP协议和HTTP协议之上的，这两个协议能够保证数据的正确接收和发送，因此使用Web Services技术来开发通信模块，在信息传递的准确性上是可以得到保证的。

2、实时性

Web Services的最大的缺点是其消耗的网络时间比较长(相对于Socket直接连接产生的时间消耗)，尤其是在首次调用Web Services的时候，需要在服务端启动一个类似Servlet的程序，因此需要更长的时间。从测试的结果看来，首次连接时间能够保证在1秒以内，而之后的通信效果则比较好，与套接字(Socket)连接速度相仿。

对于这个通信模块的应用场合来说这样的时间消耗是可以接收的，因为CTC对PMC的控制主要是在拓扑结构上的控制，对实时性的要求并不是很高。按照以往的通信设计(原理机CTC与PMC的通信实现)来说只要能够满足在毫秒级时间内进行数据反馈，就可以接受。从测试效果来说使用Web Services技术设计通信模块能够满足500ms更新一次数据(即原来通信模块的设计要求)。

所述套接字(Socket)可以看成在两个程序进行通讯连接中的一个端点，一个程序将一段信息写入Socket中，该Socket将这段信息发送给另外一个Socket中，使这段信息能传送到其他程序中，其公开的参考文献有：(美)W.Richard Stevens，Bill Fenner，AndrewM.Rudoff，UNIX网络编程卷I套接字联网API(英文版第三版)，机械工业出版社，2004-7-1

3、通用性

使用Web Service技术具有很强的通用信。从现在的设计看来是用Web Service提供远程服务可以在Java语言、VC.NET语言环境下进行开发，若使用Java语言则还可以跨系统平台进行开发。

另一方面，设计中涉及的文档尽量使用XML格式，能够与其他程序进行交互。

作为设计中通信模块的双方相互独立，彼此不需要得到对方是如何实现操作的，在开发的角度来说使得开发进程可以并行处理。同时这样的开发模式允许客户使用不同的Web服务客户端来连接PMC的Web服务。

总体来说使用Web Service方式开发的通信模块具有较高的通用性。

三、数据格式设计

在调用Web Services提供的服务的时候，需要有参数的输入，同时也有数据的返回，因此数据的格式需要在CTC和PMC间达成一致。同时所有的数据需要在对应的XML文档中进行记录，也需要将XML文档的格式确定下来。

1属性

属性相关的数据存储在名称为Property.xml的文档中，格式如下：

<PMC>

<属性名称>属性值</属性名称>

<name>PMCDEMO</name>

<system>Windows</system>

</PMC>

调用获取属性服务时需要输入字符串类型的属性名称，同是返回字符串类型的属性值。

例如：

String name＝new String(“system”)；

String result＝pmc.getProperty(name)；

得到的result值为”Windows”。

2指令

指令的信息被存储在名称为cmd.xml的文档，格式如下：

</Arguments>

</Arguments>

</command>

</Commands>

调用获取属性服务时需要输入字符串类型的指令名称和字符串类型参数，同时返回整型数来描述操作是否成功。

每一个参数由两部分构成，参数类型以及参数值。格式为“参数类型：参数值”。不同的参数间使用空格分离。

例如：

String name＝new String(“PinUp”)；

String args＝new String(“int:10 boolean:true”)；

int result＝pmc.sendCommand(name，args)；

得到的result值应该为1。

3数据

PMC采集到的数据存储在名称为a.xml的文档，格式如下：

<dataitem name＝″数据项名称″id＝″数据项编号″type＝″数

据项类型″>

</dataitem>

</PMC

调用获取数据项值服务时需要输入字符串类型的数据项名称，同时返回字符串类型的数据项值。

例如：

String name＝new String(“temprature”)；

String result＝pmc.requireData(name)；

double dResult＝Double.parseDouble(result)；

得到的result值为”24.0”，由于实现已经知道返回值为float型的数据可以使用相应的处理函数得到数值型的数据项值。

4警告

警告的信息被存储在名称为alarm.xml的文挡中，格式如下：

<time>警告产生时间</time>

</alarm>

<info>JustATest</info>

</alarm>

</Alarms>

调用获取警告服务时不需要输入任何参数，单是返回得到的字符串包含了所有警告的信息。这个字符串包括的若干条警告信息，由’\n’来分隔。每一个警告由五部分构成，警告的名称，警告的编号，警告的产生时间，警告的级别，警告的内容，不同的部分之间使用’，’来分隔。格式为“name：警告的名称，id：警告的编号，time：警告的产生时间，level：警告的级别，info：警告的内容”。

例如：

String result＝pmc.qureyAlarm()；

String[]alarms＝result.split(“\n”)；

String[]information＝alarms[1 ].split(“，”)；

得到的result值应该为(五个部分的顺序不定)：

”id：2005，name：test，time：20050608-14:20:00，level：0，info：JustATest”

可以利用Java中String类的split函数(VC中也有类似的函数)分隔成一个个小的部分逐个进行处理。

值的注意的是时间的格式并没有在程序中定死，为了双方能够互相理解时间的含义，请实现协商好格式。例如本例中时间表是的格式为YYYYMMDD-HHMMSS。

Claims

1、一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统，包括集群控制器、工艺模块控制器和连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，其特征在于：所述以太网的Web服务的客户端建立在所述集群控制器端，Web服务的服务端建立在所述工艺模块控制器端，所述通讯系统还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输，所述通讯模块包括属性数据服务接口、指令数据服务接口、数据项数据服务接口、警告数据服务接口和中间文档，其中，

——属性数据服务接口用于集群控制器将要查询的属性名称发送给工艺模块控制器，工艺模块控制器将属性名称对应的值返回给集群控制器；

——指令数据服务接口用于集群控制器在控制过程中向工艺模块控制器发送操作指令，指导工艺模块控制器对工艺进行控制；

——数据项数据服务接口，由集群控制器提供待查询数据项的名称，工艺模块控制器接收到此名称后在数据项存储结构中查找对应项，将对应的数据项数据转换为字符串型，传递给所述客户端；

——警告数据服务接口，由集群控制器给出任何输入参数，工艺模块控制器在接收了服务调用后，查找警告记录将两次服务调用间的警告信息以字符串的形式反馈给集群控制器；

2、如权利要求1所述的一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统，其特征在于：所述中间文档使用XML文档。

3、用于权利要求1至2之一所述的刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统的方法，其特征在于包括：

1)准备工作步骤，包括：

A)启动Web服务器，以提供网络服务；

B)启动工艺模块控制器控制程序，对工艺模块控制器进行预处理；

C)在工艺模块控制器端生成四个XML文档分别存放属性、指令、数据项和警告信息；

D)启动集群控制器；

2)网络测试连接工作步骤，包括：

c)网络测试连接正常的情况下，建立独立线程，用于监控警告信息的状况；

3)具体通信工作步骤，即进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互，所述具体通信工作步骤包括集群控制器端的流程：

I)集群控制器向Web服务器提出服务请求；

II)Web服务器分析请求，进入相应处理函数；

V)集群控制器获得反馈信息；

所述具体通信工作步骤包括工艺模块控制器端的流程：

β)解析指令信息；

γ)控制工艺模块完成指令。

4、如权利要求3所述的一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统的方法，其特征在于：所述XML文档的读写操作，使用DOM解析XML文档的内容，并根据四种不同类型的XML文档数据，编写和实现四个XML文档处理类。