JP2003124086A

JP2003124086A - 半導体製造関連装置の稼動管理システム

Info

Publication number: JP2003124086A
Application number: JP2001317712A
Authority: JP
Inventors: Atsuhiko Yoshida; 敦彦吉田; Hidejiro Oka; 秀治郎岡; Masaharu Maeda; 正治前田; Tadao Ota; 忠雄太田; Toshiya Murakami; 俊哉村上
Original assignee: OHMIYA KOGYO CO Ltd; OOMIYA KOGYO KK
Current assignee: OHMIYA KOGYO CO Ltd; OOMIYA KOGYO KK
Priority date: 2001-10-16
Filing date: 2001-10-16
Publication date: 2003-04-25

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】稼動データやトラブル情報データ等を携帯情報
端末器でリアルタイムに検出し、表示させる半導体製造
関連装置の稼動管理システムを提供する。【解決手段】複数のボード型パソコン２ａ、２ｂ、２ｃ
で構成されたデータ収集端末器２で、収集した工場Ａ内
の装置や設備の稼動データ等を構内通信網（ＬＡＮ）３
を介してサーバ１のデータベースユニットで記憶し、演
算処理してなり、該サーバ１の出力側に端末アダプタ
（ＴＡ）５及びディジタルＰＢＸ６を接続し、更に、該
ディジタルＰＢＸ６から情報通信網７を介して該サーバ
１からの装置や設備の諸情報データを伝送すると共に、
該サーバ１には表示端末器９から装置や設備のトラブル
対応報告書等を出力表示しまた、メンテナンス情報やト
ラブル履歴を入力して該サーバ１に記憶させる。そし
て、必要に応じて表示端末器９のＷｅｂ画面で集計処理
しグラフを検出し、表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体材
料、磁性材料を切断するワイヤソー装置、ウエーハ製造
装置やその設備等でなる半導体製造関連装置、液晶装置
等の稼動状況を自動的に検出し、表示する稼動管理シス
テムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来に於いては、工場内の設備として、
半導体関連部品生産工程ライン、組立ライン及び完成品
荷積ライン等を経て半導体装置関連装置や液晶装置を生
産しており、例えば当該設備に各パソコンを設置し、設
備等保守担当者は当該パソコンを定期又は不定期に操作
することにより、部品生産装置やライン等の設備の稼動
状況を認識するものであった。又他の方法として当該設
備等保守担当者は各部品生産装置やライン設備の所定時
間や日毎の生産個数又は稼動時間や停止時間を定期的に
集計し、当該装置や設備の稼動状況を把握すると共に、
これらの情報をオペレ−タがパソコンに入力し、データ
加工して稼動グラフや稼動表を作成するものであった。
そして、前記部品生産装置等やライン設備等トラブルが
発生し、稼動停止された場合、その都度装置や設備の管
理責任者等が原因究明を探索し、これの修復を行い、稼
動再開を図るものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術は上述の構
成であるので、次の課題が存在した。半導体製造装置に係る部品生産装置等や設備等の稼動
データの収集方法がリアルタイムでなく設備等の稼動状
況を正確に把握することが困難であった。そのためパソ
コン等で作成した稼動グラフや生産計画グラフ等に即時
性がなくグラフ作成工程も増大し、稼動関連情報に信頼
性が欠けるものであった。各装置や設備の管理者又は担当者は、工場又は事務所
内の特定位置に常に在席しているわけではなく、他の部
署又は工場内を移動して業務をしている場合、前記装置
や設備の稼動状況やトラブル発生等の状況等を即時に認
識することができない問題点があった。各装置や設備の過去のトラブル履歴が蓄積されていな
い場合、装置や設備が修復不能となり又、蓄積されてい
る場合にも多種多量のトラブル履歴を探索することは容
易でなく、当該装置や設備の修復までに膨大な時間を要
して当該装置や設備の稼動効率を低下させる問題点があ
った。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、例えば半導体
材料、磁性材料を切断するワイヤソー装置、ウエハ製造
装置、半導体洗浄装置やその部品又はその設備等でなる
半導体関連装置、液晶装置等の稼動状態を情報端末器の
Ｗｅｂ画面にデータとして検出すると共に、工場又は事
務所等の装置や設備の管理者、保守担当者やクライアン
ト等が所持する携帯情報端末器やクライアント情報端末
器等によって、当該装置等の稼動状況やトラブル状況を
リアルタイムに検出すべくしたシステムを提供すること
を目的としたものであって、次の構成、手段から成立す
る。

【０００５】請求項１記載の発明によれば、データ収集
端末器からの各装置又は設備の稼動データを蓄積するサ
ーバと、該サーバからの装置又は設備管理データを表示
端末器に配信するシステムに於いて、該サーバから情報
通信網を介して、装置関連諸情報データを携帯情報端末
器に配信することを特徴とする半導体製造関連装置の稼
動管理システムである。

【０００６】請求項２記載の発明によれば、前記データ
収集端末器がボード型パソコンで構成されたことを特徴
とする請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムである。

【０００７】請求項３記載の発明によれば、前記表示端
末器が装置又は設備管理データを集計及び／又は表作成
しかつ表示するパソコンで構成されたことを特徴とする
請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理システム
である。

【０００８】請求項４記載の発明によれば、前記表示端
末器がトラブル履歴及び／又はメンテナンス情報を入力
すると共にトラブル対応報告書を作成しかつ表示するパ
ソコンで構成されたことを特徴とする請求項１記載の半
導体製造関連装置の稼動管理システムである。

【０００９】請求項５記載の発明によれば、前記携帯情
報端末器が個人携帯システム（ＰＨＳ）、携帯電話及び
／又は携帯情報端末（ＰＤＡ）で構成されたことを特徴
とする請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムである。

【００１０】請求項６記載の発明によれば、前記情報通
信網が総合ディジタル通信網(ＩＳＤＮ)、フレームリレ
ー網、高速ディジタル回線、インターネット回線又はイ
ンターネットプロトコル仮想私設網（ＩＰ−ＶＰＮ）で
構成されたことを特徴とする請求項１記載の半導体製造
関連装置の稼動管理システムである。

【００１１】請求項７記載の発明によれば、前記装置関
連諸情報データが設備稼働データ、トラブル内容データ
及び／又はトラブル履歴データでなることを特徴とする
請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理システム
である。

【００１２】請求項８記載の発明によれば、前記携帯情
報端末器の表示部が前記装置関連諸情報データのうち稼
動グラフ及び／又は日報、月報データを表示することを
特徴とする請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管
理システムである。

【００１３】請求項９記載の発明によれば、データ収集
端末器からの各装置又は設備の稼動データを蓄積するサ
ーバと、該サーバからの装置又は設備管理データを表示
端末器に配信するシステムに於いて、該サーバから情報
通信網を介して、装置関連諸情報データをクライアント
情報端末器に配信すること特徴とする半導体製造関連装
置の稼動管理システムである。

【００１４】請求項１０記載の発明によれば、前記クラ
イアント情報端末器が固定式パソコン又は携帯情報端末
器で構成されたことを特徴とする請求項９記載の半導体
製造関連装置の稼動管理システムである。

【００１５】請求項１１記載の発明によれば、前記クラ
イアント情報端末器がレーザプリンタを付設したことを
特徴とする請求項９記載の半導体製造関連装置の稼動管
理システムである。

【００１６】請求項１２記載の発明によれば、前記クラ
イアント情報端末器の表示部が前記装置関連諸情報デー
タのうち稼動グラフ及び／又は日報、月報データを表示
することを特徴とする請求項９記載の半導体製造関連装
置の稼動管理システムである。

【発明の実施の形態】本発明に係る半導体製造関連装置
の稼動管理システムの実施の形態について添付図面を参
照して説明する。

【００１７】

【発明の実施の形態１】図１は、本発明に係る半導体製
造関連装置の実施の形態１を示すシステム構成図であ
る。これについて詳述する。図１は例えば、半導体製造
装置及びその部品の生産工場Ａと、該生産工場Ａを管理
する事務所Ｂを示している。

【００１８】１はサーバであって、ｗｗｗサーバやデー
タベースサーバ等でなる。該サーバ１は、ｗｗｗブラウ
ザ上で動作する例えば、Ｊａｖａ言語即ち、Ｃ言語であ
って、ネットワーク、インターネット等の通信網に対応
して、ＨＴＭＬ言語の中から簡単に呼出して当該コンピ
ュータの実行すなわち、グラフィックの描画等の処理実
行等をすることができる構成である。またサーバ１はデ
ータベースサーバによれば、例えば、基本ソフト(ＯＳ)
としては、ハードウエアに依存しない移植性の高いＣ言
語で記述されたＵＮＩＸ（登録商標）系の低い性能のコ
ンピュータであっても、ネットワーク機能やセキュリテ
ィに優れかつ非常に安定して軽快に動作するＬｉｎｕｘ
を使用している。又、データベースは、例えばオラクル
製の基本ソフト（ＯＳ）を使用している。そして、当該
サーバ１は、後述するデータベースユニットを備えてお
り、半導体製造関連装置や設備の移動データ、トラブル
内容データ、トラブル履歴データ等の諸情報データを蓄
積している。そして、サンプリングデータベース、パラ
メータデータベース、日報、月報、年報データを記憶し
たデータベースを構成している。

【００１９】２はデータ収集端末器であって、例えば、
複数のボード型パソコン２ａ、２ｂ、２ｃで構成されて
いる。該データ収集端末器２は、前記ボード型パソコン
２ａ〜２ｃのようにコンパクトな産業用ボードコンピュ
ータである。該パソコン２ａ〜２ｃはハードディスクを
不要として、データや基本ソフト(ＯＳ)を保存し、耐久
性の高いコンパクトなフラッシュカードや不揮発性メモ
リカードを使用することができる。また、該データ収集
端末器２は、ボード型パソコン２ａ〜２ｂを使用するこ
とにより、冷却ファンを不要として消音効果を挙げる構
成としてもよい。尚、図１に示すデータ収集端末器２
は、３個のボード型パソコン２ａ〜２ｃで構成したが、
本発明の実施の形態はこれに限定されることなく、工場
Ａ内の装置や設備等や設備保守担当者数又は装置や設備
からの情報データの種類等に応じて適宜数設定されるも
のとする。

【００２０】３は構内通信網（ＬＡＮ）で構成され、前
記サーバ１は構内通信網（ＬＡＮ）３を介して、前記デ
ータ収集端末器２を接続しており、該サーバ１は該デー
タ収集端末器２から収集した各種の工場Ａ内の設置や装
置の稼動データを前記構内通信網（ＬＡＮ）３で伝送し
て導入し、サーバ１内のデータベースユニットに記憶さ
せる。又、前記データ収集端末器２の相互間も他の構内
通信網(ＬＡＮ)４で接続構成し、情報を交換することが
できる。

【００２１】５は端末アダプタ（ＴＡ）であり、前記サ
ーバ１に通信線で接続されており、例えばインターフェ
ースをもつ端末や通信装置を総合ディジタル通信網(Ｉ
ＳＤＮ)、専用線などのディジタル回線終端装置（ＰＳ
Ｕ）に接続するためのインターフェース変換装置であ
る。

【００２２】６は前記端末アダプタ（ＴＡ）５の出力側
に接続されたディジタルＰＢＸであり前記サーバ１や前
記端末アダプタ（ＴＡ）からのアナログ信号をディジタ
ル信号に変換し、内蔵した大規模集積回路（ＬＳＩ）で
実装するスイッチで変換処理を行う装置である。

【００２３】７は情報通信網であって、例えば、総合デ
ィジタル通信網（ＩＳＤＮ）、フレームリレー網、高速
ディジタル回線、インターネット回線又はインターネッ
トプロトコル仮想私設網（ＩＰ−ＶＰＮ）等で構成され
る。該情報通信網７は、前記ディジタルＰＢＸ６に接続
しており、前記サーバ１からの装置や設備に於いて、ト
ラブル等の情報を伝送する機能がある。尚、前記ディジ
タルＰＢＸ６を省略する場合は、前記情報通信網７は前
記端末アダプタ（ＴＡ）５に直接接続する構成とするこ
ともできる。

【００２４】８は工場Ａ内の装置や設備の保守担当者等
が所持している携帯情報端末器であって、前記情報通信
網７を介して前記サーバ１からの諸情報データ、特に、
装置や設備のトラブル関連情報をデータに導入してい
る。そして、例えば個人携帯システム（ＰＨＳ）、携帯
電話又は携帯情報端末（ＰＤＡ）等で構成される。該情
報端末器８は、例えば、工場Ａ内の半導体製造関連装置
や部品又は組立ラインや設備等にトラブルが発生した場
合、トラブル内容をリアルタイムに該情報端末器８の表
示部８ａに受信し表示する。また他の実施例として、前
記したように携帯情報端末（ＰＤＡ）である場合、その
表示部に装置や設備等の装置又は設備管理データ、例え
ば、稼動データや稼動履歴グラフ、生産計画グラフ、日
報、月報、年報等のデータをＷｅｂ画面で表示すること
もできる。

【００２５】９は事務所Ｂ内に設置した表示端末器であ
って、メンテナンス用パソコン９ａ及び例えば、ノート
型のデータ表示パソコン９ｂ等複数個又は多数個のパソ
コンで構成されている。そして、該メンテナンス用パソ
コン９ａ、データ表示パソコン９ｂの相互間は別の構内
通信網（ＬＡＮ）１０で接続構成し、情報データの交換
を行なってもよい。該表示端末器９は、前記サーバ１に
接続している構内通信網（ＬＡＮ）３に接続される。該
メンテナンス用パソコン９ａは例えば、装置や設備のト
ラブル対応報告書を作成し、過去のトラブル履歴やメン
テナンス情報や設備等の対処方法情報を入力し、前記サ
ーバ１に伝送し、記憶させる機能がある。また、該メン
テナンス用パソコン９ａは装置情報データの監視条件、
例えば、装置や設備の故障監視データ、異常温度や異常
電圧又はトラブル監視時間帯等設定することができる。

【００２６】また、データ表示パソコン９ｂは、前記サ
ーバ１から伝送された設備や装置の稼動データ等の管理
データの表示を行う。そして、前記サーバ１に接続し
て、ブラウザソフトで、インターネット上の各種情報リ
ソースにアクセスする通信プロトコルであるＵＲＬでリ
ソースの名前を指定して、所定期間の稼動データ等を抽
出し、これを集計処理しグラフ等を表示する。

【００２７】１１は、前記事務所Ｂ内の保守担当者等が
所持している携帯情報端末器であって前記情報通信網７
を介して前記サーバ１からの諸情報データ、特に、装置
や設備のトラブル関連情報をデータに導入している。そ
して、例えば、個人携帯システム（ＰＨＳ）、携帯電話
又は携帯情報端末（ＰＤＡ）等で構成される。該情報端
末器８は、例えば、工場Ａ内の半導体製造関連装置や部
品又は組立ラインや設備等にトラブルが発生した場合、
トラブル内容をリアルタイムに該情報端末器８の表示部
８ａに受信し表示する。また他の実施例として、前記し
たように携帯情報端末（ＰＤＡ）である場合、その表示
部に装置や設備等の装置又は設備管理データ、例えば、
稼動データや稼動履歴グラフ、生産計画グラフ、日報、
月報、年報等のデータをＷｅｂ画面で表示することもで
きる。尚、前記携帯情報端末器１１は、当該事務所Ｂ内
の専用の端末器に限定せず、前記工場Ａ内の情報端末器
８と兼用してもよく、いずれか一方を省略することがで
きる。そして、設備等保守担当者等は事務所Ｂや工場Ａ
を移動しながら当該携帯情報端末器１１を有効活用する
ことができる。

【００２８】本発明に係る半導体製造関連装置の実施の
形態１の動作について説明する。サーバ１では、データ
収集端末器２を構成する複数のボード型パソコン２ａ〜
２ｃから伝送された装置や設備の諸情報データをデータ
ベースユニットに蓄積する。一方、該サーバ１は表示端
末器９のメンテナンス用パソコン９ａから伝送された装
置や設備の過去のトラブル履歴データ、メンテナンス情
報データ等をデータベースユニットに蓄積する。そし
て、前記データ収集端末器２のボード型パソコン２ａ〜
２ｃでは一つの方法としては、前記装置や設備の稼動関
連詳細情報をイントラネット内で上位のホストコンピュ
ータから自動的に入力することや、他の方法としては、
オンラインで当該ホストコンピュータに該稼動関連詳細
情報を信号として処理されないので、オペレータによっ
て該ボード型パソコン２ａ〜２ｃのタッチパネル画面で
の項目選定により入力する。而して入力された装置や設
備の稼動関連詳細情報は構内通信網（ＬＡＮ）３を介し
て伝送され、前記サーバ１のデータベースユニットに記
憶される。このように、装置や設備の諸情報データが前
記データ収集端末器２で収集される。

【００２９】また前記サーバ１では、基本ソフト（Ｏ
Ｓ）としてＬｉｎｕｘ等を採用し、これによって、半導
体製造関連装置の標準通信プロトコルやインターネット
プロトコル（ＴＣＰ／ＩＰ）に適合した、例えば、ＳＥ
ＣＳインターフェース等の各種の通信機器を利用して、
工場Ａ内に設置したホストコンピュータと該通信機器間
を流れている通信データに着目して、装置や設備の稼動
データ又は異常情報データ等の収集や監視を行なう。更
に前記半導体製造関連装置の標準通信プロトコルに適合
しない場合は、アナログ信号、ディジタル信号、シリア
ル信号又はパラレル信号に応じて入出力装置（Ｉ／Ｏ装
置）を組合わせて、前記装置や設備の稼動データ等のデ
ータ収集や異常情報データの監視を行うこともできる。

【００３０】また、工場Ａ内の装置や部品の製造ライン
では、２４時間連続運転する必要があり、サーバ１の基
本ソフト（ＯＳ）として前述の特徴すなわち、Ｃ言語体
系であって、ネットワーク機能やセキュリティに優れ、
安定した動作を行うＬｉｎｕｘ系を採用したので1つの
当該データ収集端末器２に対して、装置コスト（ライセ
ンス料を含む）を低減させる効果が狙えた。

【００３１】尚、前記データ収集端末器２では、収集し
た装置や設備の稼動データ等から装置の異常やトラブル
等によりデータに顕出されるいわゆるアラームコードを
解析し、これを前記サーバ1に構内通信網（ＬＡＮ）３
を介して伝送する。

【００３２】次に、表示端末器９の動作について説明す
る。該表示端末器９のデータ表示パソコン９ｂは、例え
ば前述したようにノート型パソコンで構成され、前記サ
−バ１から伝送された設備や装置の稼動データ等の管理
データの表示を行う。そして、前記サーバ１に接続し
て、ブラウザソフトで、インターネット上の各種情報リ
ソースにアクセスする通信プロトコルであるＵＲＬでリ
ソースの名前を指定して、所定期間の稼動データ等を抽
出し、これを集計処理しグラフ等を表示する。そして、
具体的には、図２に示すように該データ表示パソコン９
ｂのＷｅｂ画面９ｃに例えば、稼動履歴グラフを現出さ
せ、事務所Ｂ内のオペレータや管理担当者等は工場Ａ内
の装置や設備の稼動状況を認識する。図２に示す例は、
設備グループ名「拡散グループ」、装置名「Ｅｍｃｏｒ
ｅ３号機」に関し、某月の１日〜１２日までの稼動状況
をバーグラフで示したものである。また、他の稼動デー
タとしては、当該Ｗｅｂ画面に装置や設備の生産計画グ
ラフ(図示せず)、日報、月報及び／又は年報グラフ(図
示せず)、更には装置や設備の電力量消費等のトレンド
グラフ(図示せず)を現出させることもできる。また、該
データ表示パソコン９ｂは、データログを収集し演算を
行い、その集計データを日報、月報として稼動状況を印
刷し、設備や装置の稼動効率、又は評価効率をグラフ等
により自動的に当該Ｗｅｂ画面に現出させ、当該グラフ
等を必要に応じてプリントアウトすることもできる。

【００３３】またメンテナンス用パソコン９ａは、前記
サーバ１から伝送された装置や設備のトラブル情報デー
タに基づき、これを解析、演算して報告書を作成し、該
メンテナンス用パソコン９ａのＷｅｂ画面に表示すると
共に、設備等の過去のトラブル履歴データやトラブル解
消方法などの対処方法又はその他メンテナンス情報デー
タをオペレータ等により入力され、この情報を前記サー
バ１に構内通信網(ＬＡＮ)３を介して伝送される。更
に、メンテナンス用パソコン９ａは、装置や設備の異常
温度、例えば５０（℃）、通電電圧３０ボルト(ｖ)、時
刻ＡＭ１：００〜ＡＭ２：００のように監視条件を設定
し、前記データ表示パソコン９ｂのＷｅｂ画面等によ
り、装置や設備の故障監視データのトレンドグラフとし
て、現出させ、トラブル発生原因の究明のための情報と
して利用することができる。そして、後述する携帯情報
端末器１１と併用して使用すれば、工場Ａ内の現場状況
や故障当時の環境データを確認しながら故障原因の究明
をすることができる。

【００３４】次に、前記携帯情報端末器８、１１につい
てその動作を説明する。携帯情報端末器８、１１は個人
携帯システム(ＰＨＳ)、携帯電話、又は携帯情報端末
（ＰＤＡ）等でなり、汎用のパソコンとは相違してお
り、送受信可能なメモリが限定され、例えばｉモード通
信等に適応させた装置や設備のトラブル履歴等をサーバ
１の情報データから受信する。そして、工場Ａ内の装置
や設備にトラブルが発生した場合、事務所Ｂや工場Ａ内
管理者は例えば、携帯電話等を使用して直ちにトラブル
内容を装置の保守担当者にメールを送信する。そして保
守担当者等が所持している携帯情報端末器８、１１によ
りその場所から前記サーバ１にアクセスし、当該トラブ
ル内容を表示部８ａ、１１ａに検出し表示する。例え
ば、トラブル表示サンプルとしては、図３の（ａ）
（ｂ）及び（ｃ）に示すような表示内容である。図３
（ａ）はトラブル履歴であり、異常状況が発生した機種
「１号機」の「発生」日時、「回復」日時、「恒温槽温
度異常」等である。図（ｂ）はトラブル内容であって、
「異常発生機１号機」、日時つまり「２００１／０７／
１４」「１０：００」、異常内容「恒温槽温度異常」で
ある。また、図（ｃ）は設備や装置の最新稼動状況を示
すものであって、日時や「メンテナンス中」等の表示で
ある。

【００３５】このように、装置や設備の保守担当者等
は、トラブル履歴やメンテナンス情報をリアルタイムに
確認し迅速にトラブル機種の修復行為等をすることがで
きるので、トラブルに基づく停止要因が発生してから各
種機種の再始動までの時間を極めて短縮化でき、装置や
設備の稼働率を高めることができる。更に、装置や設備
の情報データ中のアラームコードを解析すれば、保守担
当者等は機種や装置の異常予告を事前に認識でき、突発
的なトラブルやトラブル回避をすることができる。尚、
前記装置や設備の保守担当者は前記携帯情報端末器８、
１１の表示部８ａ、１１ａで表示されるトラブル内容よ
り更に詳細内容を認識したい場合は、前記事務所Ｂ内等
に設置している固定式パソコンや前記表示端末器９のＷ
ｅｂ画面で表示させて認識することができる。また、当
該固定式パソコンや表示端末器９のパソコン等にパスワ
ードやＩＤ番号等設定することにより、特定の担当者の
みＷｅｂ画面でトラブル関連情報等を検出させるように
してもよい。尚、上記の実施の形態１に於いて、工場Ａ
と事務所Ｂ間のシステムであるが、本システムは工場Ａ
間同志や事務所Ｂ間同志又は営業所と本社間等各事業所
間等の形態にも適用することができる。

【００３６】

【発明の実施の形態２】次に図４に基づき本発明に係る
半導体製造関連装置の稼動システムの実施の形態２につ
いて説明する。図４に示す本発明に係る実施の形態２は
本発明システムを外部に設置したクライアント情報端末
器でもって、当該クライアントが管理する工場Ａ内の装
置や設備の稼動データ等を検出し、表示する場合に適用
する構成である。

【００３７】１２はサーバであって、前記サーバ１と同
一の構成及び機能を有しており、ｗｗｗサーバやデータ
ベースサーバ等でなる。該サーバ１２は、データベース
ユニット１３を備えており、例えば、サンプリングデー
タ、パラメータデータ及び日報、月報データ等を記憶す
る第１、第２、第３データベース１３ａ、１３ｂ、１３
ｃ等を有している。該データベースユニット１３は工場
Ａ内の装置や設備の稼動データ等の各種データを構内通
信網(ＬＡＮ)を経て導入し、これを記憶している。又、
１４は情報通信網であって、各種の情報通信網、例え
ば、総合ディジタル通信網(ＩＳＤＮ)、高速ディジタル
回線やサーバ１２のデータベースユニット１３のデータ
ベースが、例えばオラクル製の基本ソフト（ＯＳ）であ
れば、オラクルＳＱＩネット網等で構成する。１５は前
記情報通信網１４に接続されたクライアント情報端末器
であり、固定式パソコンや携帯情報端末器等で構成され
る。該クライアント情報端末器１５は、その表示部１５
ａで前記サーバ１２から前記情報通信網１４を介して、
工場Ａ内の装置や設備の諸情報データ、稼動データ等を
検出し表示させ、又、当該各種データの監視をする。更
に、該クライアント情報端末器１５は装置や設備のトラ
ブル履歴や稼動履歴グラフ、生産計画グラフ、日報、月
報、年報データ等を集計しかつ表作成を行い、表示部１
５ａから表示する。その他、該クライアント情報端末器
１５は設備の故障等各種のトレンドやアラーム表示、マ
スタ定数管理又は帳票出力も行うことができる。尚、前
記クライアント情報端末器１５はサーバとして契約した
各業種の多数のクライアントで構成することもでき多数
の情報端末器１５でなると共に、これと情報データ交換
を行う他の携帯電話や個人携帯システム(ＰＨＳ)、携帯
情報端末(ＰＤＡ)を設置することができる。そして、装
置又は設備の稼動データ等を広域かつ多種に利用するこ
とも可能である。

【００３８】１６は前記クライアント情報端末器１５に
接続されたレーザプリンタであり、装置や設備の各種の
稼動データや集計データを日報、月報として稼動状況を
印刷表示する。更には装置や設備の運転データや稼動効
率、評価効率等グラフとしてプリントアウトし、これを
装置や設備の管理に利用することができる。

【００３９】本発明に係る半導体装置の稼動システムの
実施の形態２に於いて前記クライアント端末器１５から
サーバ１４の各情報データを取込む手順としては、前記
クライアント情報端末器１５がインターネットエクスプ
ローラやネットケープ等インターネットブラウザを使用
すると表示部１５ａから当該諸情報データを閲覧するた
めの専用ソフトをインスツールすることなくサーバ１４
にアクセスすることができる。そして、該クライアント
情報端末器１５はブラウザが動作するパソコン等端末器
である限り、該情報データログの収集や演算機能を発揮
させることができる。尚、図４に示す本発明に係る実施
の形態２のクライアント情報端末器１５の他の動作等は
図１に示す情報端末器８、１１と略同一であるのでその
説明を省略する。

【００４０】

【発明の効果】本発明に係る半導体製造関連装置の稼動
管理システムは上述の構成、動作を有するので次の効果
を奏する。

【００４１】請求項１記載の発明によれば、データ収集
端末器からの各装置の稼動データを蓄積するサーバと、
該サーバからの装置又は設備管理データを表示端末器に
配信するシステムに於いて、該サーバから情報通信網を
介して、装置関連諸情報データを携帯情報端末器に配信
することを特徴とする半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムを提供する。このような構成としたので、工場内
等に於ける半導体製造関連装置の稼動状況を外部のパソ
コンや移動する携帯端末器等でリアルタイムに監視で
き、トラブルが発生した際にも迅速に対処することがで
きる効果がある。

【００４２】請求項２記載の発明によれば、前記データ
収集端末器がボード型パソコンで構成されたことを特徴
とする請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムを提供する。このような構成としたので、装置や
設備の諸情報データが高品質に収集するシステムとする
ことができると共に、クライアントやメンテナンスが増
加した場合にも費用の低減を図り、本システムの拡張に
際してもコストを低減して実施化容易にする効果がある
また、ハードディスクを不要として、データや基本ソフ
ト(ＯＳ)を保存し、耐久性の高いコンパクトなフラッシ
ュカードや不揮発性メモリカードを使用することができ
る。また、該データ収集端末器は、ボード型パソコンを
使用することにより、冷却ファンを不要として消音効果
を奏する。

【００４３】請求項３記載の発明によれば、前記表示端
末器が装置又は設備管理データを集計及び／又は表作成
しかつ表示するパソコンで構成されたことを特徴とする
請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理システム
を提供する。このような構成としたので、表示端末器に
よって装置や設備の管理データをオペレータや管理者の
目視により直ちに認識することができ、遠隔地に於いて
各装置等を迅速かつ合理的に管理することができる効果
がある。

【００４４】請求項４記載の発明によれば、前記表示端
末器がトラブル履歴及び／又はメンテナンス情報を入力
すると共にトラブル対応報告書を作成しかつ表示するパ
ソコンで構成されたことを特徴とする請求項１記載の半
導体製造関連装置の稼動管理システムを提供する。この
ような構成としたので、装置や設備トラブルが発生した
際、スピーディにその原因解析を行いかつ修復処理をす
ることができ、装置等の稼動効率を向上させる効果があ
る。

【００４５】請求項５記載の発明によれば、前記携帯情
報端末器が個人携帯システム（ＰＨＳ）、携帯電話及び
／又は携帯情報端末（ＰＤＡ）で構成されたことを特徴
とする請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムを提供する。このような構成としたので、汎用の
携帯情報端末器で本システムを実施容易にすると共に、
工場や事務所間の移動の激しい設備等の保守担当者等で
ある場合も各諸情報データを検出し表示を容易にならし
める効果がある。

【００４６】請求項６記載の発明によれば、前記情報通
信網が総合ディジタル通信網(ＩＳＤＮ)、フレームリレ
ー網、高速ディジタル回線、インターネット回線又はイ
ンターネットプロトコル仮想私設網（ＩＰ−ＶＰＮ）で
構成されたことを特徴とする請求項１記載の半導体製造
関連装置の稼動管理システムを提供する。このような構
成としたので、各種の既存の情報通信網に適用するシス
テムとしたので、移動する携帯端末器を利用して遠隔地
域間でも設備費が嵩むことなく、利用できるシステムを
実現する効果がある。

【００４７】請求項７記載の発明によれば、前記装置関
連諸情報データが設備稼働データ、トラブル内容データ
及び／又はトラブル履歴データでなることを特徴とする
請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理システム
を提供する。このような構成としたので、設備や装置に
関連するデータの主要データ、特に、稼動データやトラ
ブルデータを検出し、表示させ、設備や装置の稼動効率
や寿命等を把握することができる効果がある。

【００４８】請求項８記載の発明によれば、前記携帯情
報端末器の表示部が前記装置関連諸情報データのうち稼
動グラフ及び／又は日報、月報データを表示することを
特徴とする請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管
理システムを提供する。このような構成としたので、メ
モリ容量の比較的小さい携帯情報端末器でもって稼動グ
ラフや日報、月報データ等を検出し、表示でき、保守担
当者等が移動しながらでも管理できる効果がある

【００４９】請求項９記載の発明によれば、データ収集
端末器からの各装置の稼動データを蓄積するサーバと、
該サーバからの装置又は設備管理データを表示端末器に
配信するシステムに於いて、該サーバから情報通信網を
介して、装置関連諸情報データをクライアント情報端末
器に配信すること特徴とする半導体製造関連装置の稼動
管理システムを提供する。このような構成としたので、
サーバと契約したクライアントを多数設置することがで
き、システム自体が他の企業体にもそのまま適用できシ
ステムの市場化を拡大し、附属機器の生産や販売等の活
性化を図ることができる効果がある。

【００５０】請求項１０記載の発明によれば、前記クラ
イアント情報端末器が固定式パソコン又は携帯情報端末
器で構成されたことを特徴とする請求項９記載の半導体
製造関連装置の稼動管理システムを提供する。このよう
な構成としたので、クライアントがすでに稼動している
パソコン等の情報端末器をそのまま本システムに流用す
ることができ、新設費用を全く不要とする効果があり、
本システムの実施化が容易となる。

【００５１】請求項１１記載の発明によれば、前記クラ
イアント情報端末器がレーザプリンタを付設したことを
特徴とする請求項９記載の半導体製造関連装置の稼動管
理システムを提供する。このような構成としたので汎用
のレーザプリンタで装置や設備の各種情報データや集計
グラフ等をクライアント情報端末器から即時に印刷で
き、プレゼンテーション等にこれを利用できると共に装
置や設備の稼動データを別置保管することができる効果
がある。

【００５２】請求項１２記載の発明によれば、前記クラ
イアント情報端末器の表示部が前記装置関連諸情報デー
タのうち稼動グラフ及び／又は日報、月報データを表示
することを特徴とする請求項９記載の半導体製造関連装
置の稼動管理システムを提供する。このような構成とし
たので、多数設置されたクライアントに対し、一斉に設
備や装置の稼動グラフや日報データ等表示するので設備
や装置の管理の一元化が図られ、大規模な工場の各種の
半導体製造装置関連装置や設備に於いても適用させる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムの実施の形態１を示す構成図である。

【図２】本発明に係る半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムの実施の形態１に備えたデータ表示パソコンのＷ
ｅｂ画面であって稼動履歴グラフの一例を示す図であ
る。

【図３】本発明に係る半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムの実施の形態１に備えた情報端末器の表示部がト
ラブル表示サンプルであり、（ａ）はトラブル履歴、
（ｂ）はトラブル内容、（ｃ）は最近稼動状況を示す図
である。

【図４】本発明に係る半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステムの実施の形態２を示す構成概要図である。

【符号の説明】

１サーバ２データ収集端末器２ａ、２ｂ、２ｃボート型パソコン３構内通信網（ＬＡＮ）４構内通信網（ＬＡＮ）５端末アダプタ（ＴＡ）６ディジタルＰＢＸ７情報通信網８携帯情報端末器８ａ携帯情報端末器の表示部９表示端末器９ａメンテナンス用パソコン９ｂデータ表示パソコン９ｃデータ表示パソコンのＷｅｂ画面１０構内通信網１１携帯情報端末器１１ａ携帯情報端末器の表示部１２サーバ１３データベースユニット１３ａ第１データベース１３ｂ第２データベース１３ｃ第３データベース１４情報通信網１５クライアント情報端末器１５ａクライアント情報端末器の表示部１６レーザプリンタＡ工場Ｂ事務所

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者前田正治広島県福山市大門町５丁目６番45号大宮工業株式会社内 (72)発明者太田忠雄広島県福山市大門町５丁目６番45号大宮工業株式会社内 (72)発明者村上俊哉広島県福山市大門町５丁目６番45号大宮工業株式会社内Ｆターム(参考） 5B089 JA35 JB15 KB04 5H223 AA05 DD03 DD07 EE29 EE30

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】データ収集端末器からの各装置又は設備の
稼動データを蓄積するサーバと、該サーバからの装置又
は設備管理データを表示端末器に配信するシステムに於
いて、該サーバから情報通信網を介して、装置関連諸情
報データを携帯情報端末器に配信することを特徴とする
半導体製造関連装置の稼動管理システム。
【請求項２】前記データ収集端末器がボード型パソコン
で構成されたことを特徴とする請求項１記載の半導体製
造関連装置の稼動管理システム。
【請求項３】前記表示端末器が装置又は設備管理データ
を集計及び／又は表作成しかつ表示するパソコンで構成
されたことを特徴とする請求項１記載の半導体製造関連
装置の稼動管理システム。
【請求項４】前記表示端末器がトラブル履歴及び／又は
メンテナンス情報を入力すると共にトラブル対応報告書
を作成しかつ表示するパソコンで構成されたことを特徴
とする請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理シ
ステム。
【請求項５】前記携帯情報端末器が個人携帯システム
（ＰＨＳ）、携帯電話及び／又は携帯情報端末（ＰＤ
Ａ）で構成されたことを特徴とする請求項１記載の半導
体製造関連装置の稼動管理システム。
【請求項６】前記情報通信網が総合ディジタル通信網
(ＩＳＤＮ)、フレームリレー網、高速ディジタル回線、
インターネット回線又はインターネットプロトコル仮想
私設網（ＩＰ−ＶＰＮ）で構成されたことを特徴とする
請求項１記載の半導体製造関連装置の稼動管理システ
ム。
【請求項７】前記装置関連諸情報データが設備稼働デー
タ、トラブル内容データ及び／又はトラブル履歴データ
でなることを特徴とする請求項１記載の半導体製造関連
装置の稼動管理システム。
【請求項８】前記携帯情報端末器の表示部が前記装置関
連諸情報データのうち稼動グラフ及び／又は日報、月報
データを表示することを特徴とする請求項１記載の半導
体製造関連装置の稼動管理システム。
【請求項９】データ収集端末器からの各装置又は設備の
稼動データを蓄積するサーバと、該サーバからの装置又
は設備管理データを表示端末器に配信するシステムに於
いて、該サーバから情報通信網を介して、装置関連諸情
報データをクライアント情報端末器に配信すること特徴
とする半導体製造関連装置の稼動管理システム。
【請求項１０】前記クライアント情報端末器が固定式パ
ソコン又は携帯情報端末器で構成されたことを特徴とす
る請求項９記載の半導体製造関連装置の稼動管理システ
ム。
【請求項１１】前記クライアント情報端末器がレーザプ
リンタを付設したことを特徴とする請求項９記載の半導
体製造関連装置の稼動管理システム。
【請求項１２】前記クライアント情報端末器の表示部が
前記装置関連諸情報データのうち稼動グラフ及び／又は
日報、月報データを表示することを特徴とする請求項９
記載の半導体製造関連装置の稼動管理システム。