TW526295B

TW526295B - Electroplating method using the combination of vibration flow of the plating bath and the pulse form of plating current

Info

Publication number: TW526295B
Application number: TW090112350A
Authority: TW
Inventors: Ryushin Omasa
Original assignee: Nihon Techno Kabushiki Kaisha
Priority date: 2000-05-25
Filing date: 2001-05-23
Publication date: 2003-04-01
Also published as: US20010045360A1; CA2349156A1; KR20010107788A; JP2002121699A; SG94828A1; KR100461908B1; CN1335419A; EP1164208A2; HK1041715A1; EP1164208A3

Description

526295 丨公

L A7 B7 [發明所屬技術領域] 本發明係關於一種電鍍方法，特別是有關電鍍液之物理性條件與電鍍電流之電性條件之特定組合，具有特徵之電鍍方法。 [習知技術及發明欲解決的課題] 以往，於製造電子零件等物纟之領域，乃廣為利用在物品表面形成導電材料膜之電鍍。特別是，在最近為滿足電子零件的小型化及高功態化之要求’作為形成於物品表面（包括通孔之内面或盲孔之内面）的導電圖案要求微細者。例如，對應於隨著半導體裝置之高集裝化的輸入出端子之狹節距化，進行微細化的配線圖案，並隨著此作為通孔或盲孔之内徑要求有100// m以下，再為50 v m以下，更以30 v m以下的小者。又，通孔或盲孔之縱橫比亦要求 5以上更以8以上之大者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 又’例如於半導體裝置的多層配線，係用來減低隨著起因於尚集裝化的配線微細化產生之配線間容量為目的，代替習知之鋁配線而利用銅配線，利用有為了形成如此的多層配線使用電鍍之金屬鑲嵌法。在此方法要求對内徑1 // m以下和極小的盲孔内之銅堆積。又’例如要求有在〇.3mm左右尺寸之晶片零件表面形成1對電極膜。可是’本申請人係以適用於尤其具有微細孔等之微細構造部分的物品提案有有效地電鍍方法（參照日本特開平本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇x297公釐） 1 312616 526295 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（2 ) 11-189880號公報）。在此方法係使電鍍液產生振動流動，併用此及由散氣管的起泡。此方法係除電鍍以外適用於無電電鍍亦有效。然而在此方法，配置散氣管於收容電鍍液之電鍍内，就需要對該散氣管的空氣配管，故需要使電鍍液量及電鍍槽之尺寸較大等，有電鍍裝置大型化的困難點。一方面，用以如上述電鍍之電源，係一般提案了採用直流電源。可是近年來為了提高電鍍之品質，一邊以週期性地變化電鍍電流來進行。於此方法，互相流動正極性之電流及負極性之電流。亦即，以正極性通電而暫時形成的電鍍膜表面之微小凹凸中之凸部，由負極性通電來集中而部分地熔解，由於反覆此作為獲得表面平坦且無微小空洞等缺陷的高品質電鍍膜之目標。可是，以此方法需要除去暫時形成的電鍍膜之表面部，故對於提高成膜速度（亦即，提高電鍍處理速度）不利。最近’導電圖案在愈微細化的傾向，欲形成這樣的導電圖案之電鍍膜之際，容易產生缺陷或膜厚不均勻性，變成維持良好品質之電鍍臈漸漸地困難。又，本申請人提案有一邊振動攪拌電鍍液來進行鍍鉻之電錢法，及收容多數之被電锻物品於桶一邊振動擾摔電鍍液來進行鍍鉻方法（請參照日本特開平7_54192號公報及曰本特開平6-330395號公報）。然而，該等方法之電鍍電流乃採用直流，又橫過縱方向的方_向之尺寸亦即寬度為5mm以下，例如對適用於所謂本紙張尺度ΐ用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公變「 2 312616 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) *费 •訂. ··: -線 526295 A7 B7 五、發明説明（3 ) 〇·3至1.0mm的微小尺寸之被電鍍物品並無具體地揭示。於如此的微小尺寸之被電鍍物品的桶電鍍，係在桶内彼此之被電鍍物品會互相重疊，對需要形成電鍍膜部分之電鍍液通性會極端降下。因此，與寬度比較大的被電鍍物品^ 有不能作比較的技術困難性，對於成膜速度及電鍍膜厚均勻性有予以更加改良之餘地。於是本發明之1個目的，係在於提供一種電鍍方法，其以無缺陷或膜厚不均勻性之微細構造導電圖案，可形成良好品質者。本發明之其他目的，係在於提供一種電鍍方法，其係可以高速獲得良好品質的微細構造之導電圖案之電鍍膜。本發明之再一其他目的，係在於提供一種電鍍方法，其係以比較小的裝置構成有效率地可獲得良好品質的微細構造之導電圖案電鍍膜。 [用以解決課題之手段] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 依本發明，用以達成上述目的者係提供一種電鍍方法，其特徵為：連繫於振動產生裝置而在電鍍液内振動的振動棒，由使固定為一段或多段的振動葉片振動，在該電鍍液一邊產生振動流動’配置或與該電鍍液接觸的被電鍍物品作陰極’且配置成與該電鍍液接觸的金屬構件作陽極，施加電壓於該陰極及陽極之間，並於此際從該陽極藉由該電鍍液 //IL於該陰極的電鍍電流為脈波狀，互相地取在第1值I 1持續第1時間T1的第1狀態，及在與該第1值同樣極性之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 3 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（4 ) 第2值12持續第2時間T2的第2狀態，而該第1值II為第2值12之5倍以上，該第1時間T1係第2時T2之3 倍以上。於本發明之一樣態，係該第1值II為第2值12之6 至25倍，該第1時間T1為第2時間T2之4至25倍。於本發明之一樣態，該第1時間T1為0·01秒至300秒。於本發明之一樣態，該振動葉片係振幅〇·〇5至1〇〇mm及振動次數200至1500次/分所振動。於本發明之一樣態，該電鍍液之振動流動係三維流速為150mm/秒以上。於本發明之一樣態’該振動產生裝置係以1〇至5〇〇Hz振動。於本發明之一樣態’將該被電鍍物品以〇.〇5至5.0mm 振幅及100至3 00次/分之振動次數振動。於本發明之一樣恶’將該被電鍛物品以1 0至1 〇〇 m m搖動幅及1 〇至3 0 -欠/ 分搖動次數搖動。於本發明之一樣態，該被電鍍物品係具有帶5〇 " m以下尺寸之微細構造的被電鍍面。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 於本發明之一樣態，將複數被電鍍物品，保持於以具有得通過電鍍液液體之小開孔且與該被電鍍物品接觸，具有用以對該被電鍍物品流動電鍍電流之導電構件的保持容器中’使該保持容器在該電鍍液中在非垂直方向之旋轉中心周圍旋轉，並於該保持容器内轉動該複數之被電鍍物品，用來反覆各個之被電鍍物品與該導電構件的接觸及隔離。於本發明之一樣態，該被電鍍物品之寬係5mm以本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210><297公釐） 4 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（5 ) [發明之實施形態] 以下，參照圖面說明具體的本發明之實施形態。尚，於圖面具有同樣功能的構件或部分附與相同之符號。第1及2圖表示依發明電鍍方法之第1實施形態所實施電鍍裝置構成之剖面圖，第3圖係其俯視圖。於此等之圖示，12係電鍍槽，在該電鍍槽收容電鍍液 16係振動流動產生部。該振動流動產生部16係具有：藉由防振橡膠安裝於電鍍槽12的基台16a;固定於該基台下端作為振動吸收構件之螺旋彈簧16b ;固定於該螺旋彈簧上端的振動構件16C;安裝於該振動構件作為振動產生裝置之振動馬達16d;安裝上端於振動構件16c的振動傳達桿16e ·，以及於該振動傳達桿之下半部安裝於浸潰在電鍍液14位置的振動葉片16f。在螺旋彈簧16b内可配置如後述第12圖所示之棒狀引導構件。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔} 振動馬達16d係例如由採用反相器的控制以1〇至5〇〇 Hz，理想為20至60Hz，更理想為30至50Hz來振動。在振動馬達16d產生的振動，係藉由振動構件16c及振動傳達桿16e傳達於振動葉片16f。振動葉片16f係在電鍍液 14中以所要之振動次數振動前端緣。該振動係振動葉片 16f從對振動傳達桿16e之安裝部分，往前端緣以「撓曲」般地產生。該振動之振幅及振動次數，係與振動馬達i6d 者不同，但因應於振動傳達路徑之力學特性及電鍍液Μ 之互相作用之特性決定，於本發明以振幅〇〇5至1〇〇瓜^ (例如〇·1至10.0mm)、振動次數2〇〇至15〇〇次/分（例如2〇〇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱） ^ ~' - 526295 A7 B7 五、發明説明（6 至800次/分）為理想。第4圖係振動傳達桿16e對振動構件i6c之安裝部放大剖面圖。於形成在振動傳達桿16e上端的雄螺紋部從振動構件16C之上下兩側藉由振動應力分散構件 16g2 及墊圈 16hl、16h2 螺合螺帽 16U、16i2;16i3 i6i4。例如振動應力分散構件16gl、16g2由橡膠所成。第5圖係振動葉片16f對振動傳達桿i6e之安裝部放大剖面圖。在各個7個振動葉片16f之上下兩側，配置振動葉片固定構件l6j。彼此鄰接的振動葉片i6f之間藉由固定構件16j配置用以間隔設定振動葉片16f之間隔環16卜並於取上部振動葉片16f之上側及最下部振動葉片之下側，配置螺合於形成在振動傳達桿16e上雄螺紋之螺帽 16m 〇第6圖表示振動葉片16f對振動傳達桿16e的安裝部之變形例圖。在此變形例，係由上側及下側之螺帽心個別安裝各振動葉片16f於振動傳達桿16e。尚，在振動葉片16f與固定構件16j之間由以存在著氟系樹脂或氟系橡膠所成彈性構件片16p，故可防止振動葉片16f之破損。如圖不上側固定構件〗6j•之下面（推壓面）係作成凸圓筒圓，下側固定構件16j·之上面（推壓面）作成對應的凹圓筒圓。並由此，依固定構件16」彎曲從上下方向推壓的振動葉片之部分，對水平面使振動葉片16f之前端部形成角度《。該角度α係_30。以上3〇。以下，理想者可為以上2〇。以Τ。尤其，角度α係-30。以上-50。以下或5。 ® ®iii^NS)A4 (210 χ 297 ^ ^ ) 6 ° ^12616

(請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) •線！

訂

— 526295 五發明説明（ :上心以下，理想為_20。以上_10。以下，或為1〇。以、下為理想。作固定構件之推壓面為平面時，又α係〇。角度^係對於所有的振動葉片16f並不需要相同’例如第1圖所示，對於振動葉片16f下方之！至2 片為—值(亦即朝下方：與第6圖所示者反方向)，對於其以外之振動葉片16f可為+值（亦即朝上向：第6圖所示朝向）。作為振動葉片16f可採用具彈性之金屬板，合成樹脂板或橡膠板等。振動葉片⑹之厚度係在振動流動產生部 16作動時又疋成振動葉片⑹之前端緣部呈顫動（制如）現象（如起波浪狀態）。振動葉片16f由不錢鋼板等金屬板所成時，其厚度可為〇.2至2醜。又，由合成樹月旨板或橡膠板形成振動葉片l6f時，其厚度可為〇 5至i〇mm。於第1至3圖，搖動馬達20係藉由連結桿22連接於搖動框架24。該搖動框架24係配置成在執上可作水平方向（於第1圖左右方向）的往復移動。安裝振動馬達28於搖動框架24，在搖動框架24，又與搖動框架24維持絕緣狀癌安裝有陰極匯流條（bus bar)及陽極匯流條32，此等係分別速接於電源電路34之負極端子及正極端子。電源電路77 34為可自交流電壓作成矩形波狀電壓者，如此之電源電路係具有使用電晶體的整流電路者，作為脈波電源裝置為所知。 μ 本發明使用於產生電鍍電流的電源電路（電源裳置）係使用整流（包含附加直流成分）交流來輸出者。而作為如 * 1 — … _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公董） 312616 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

-訂.

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此的電源裝置或整流器，可予利用電晶體調整式電源、降壓方式之電源、開關電源、矽整流器、SCR型整流器、高周波型整流器、反相數位控制方式之整流器（例如（股）中央製作所製之Power Master)、（股）三社電機製作所製之kts 系列、四國電機股份有限公司製之RCV電源、開關調整器式電源與電晶體開關所成電晶體開關作〇N-〇FF來供給矩形波狀之脈波電流者、高頻開關電源（由二極體變換交流為直流後，以功率電晶體施加2〇至3〇KHz之高頻於變壓器再度整流、平滑化來取出輸出、PR式整流器、高頻控制方式之高速脈波PR電源（例如：HiPR系列（股）千代田）等。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 在此，加以說明電流波形。欲用以實現高速化電鍍和電鍍被膜之待性改良，選擇電鍍電流波形為重要。電鍍所需要的電壓/電流條件，係依電鍍之種類或液之組成及電鍍槽之尺寸等而不同，雖不能一概地規定，但於現狀，電鍍電壓有直流之2至1·5 V就可充分涵蓋全體。於是，電鍍用直流電源之定額輸出電壓，在業界以6V、8V、12V、15V4 種成為標準。在此定額電壓以下之電壓乃可加以調整，故對電鍍所要的希望電壓值以選定有若干多餘定額電壓之電源為理想。於業界，電源之定額輸出電流，係標準化至 500A、1000A、2000A至10000A左右，其他就採取訂購生產之形態。並因應於被電鍍物品之種類及表面積，以被電鍍物品所要電流器度X被電鍍物品表面積來決定電源之所要電流容量，而適當地選定相稱於此的標準電源為上策。脈波，原來係稱寬W比週期τ十分短者，但是此定義本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297公釐） 8 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（9 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製並非嚴密者。又，於脈波乃亦包含方形波以外者。用於脈波電路元件之動作速度變高，脈波寬亦變成可處理^ (10 9s)以下。而脈波之寬愈變窄愈變成難以維持前緣及後緣的銳波形。此係包含有高頻率成分所致。作為脈波之種類，有鋸齒波、斜形波、三角波、複合波矩开> 波（方开> 波）等，但於本發明係特別由電氣效率及平滑性等以矩形波為理想。表不脈波電鍍用電源之一例，如第23圖所示，包含開關調整器式直流電源與電晶體開關，並由於電晶體開關的高速ON-OFF，將矩形波狀之脈波電流供給於負載。在陰極匯流條30以機械方式及電性連接用以保持被電鍍物品X之導電性保持構件4〇之上部。被電鍍物品保持構件40之下部係浸潰於電鍍液14中，在此部分以電性連接被電鍍物品X由夾子等所保持。尚，雖未圖示在陽極匯流條32以機械方式及電性連接由被電鍍金屬所成的陽極金屬構件（例如收容於塑膠製籠子的狀態），其下部係浸潰在電鍍液14中。尚，作為對陰極匯流條的安裝被電鍍物品及對陽極匯流條之陽極金屬構件安裝方法，或陰極匯流條及陽極匯流條之形狀及構造，可使用先前眾所知的種種者。第7圖表示安裝被電鍍物品之陰極匯流條之變形例剖面圖。在本例作為導電性之保持構件4〇，具有安裝於陰極匯流條30的上部鈎部4〇a;用於夾持被電鍍物品X的下部夾子部40b ;以及產生該夾子部之夾持力的壓縮彈簧4〇c 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

•訂·

•線 526295 Α7

於第1至3圖，由於作動搖動馬達2〇，搖動框架Μ 及保持構件40進而安裝於此的被電鍍物品χ，係例如搖動幅度10至lOOmm及搖動次數1〇至3〇次/分予以搖動。又，搖動馬達28係例如由採用反相器的控制以1〇至6〇Hz，較佳以20至35Hz振動。產生於振動馬達28的振動，係藉由搖動框架2 4及保持構件4〇傳達於被電鍍物品χ，並由此被電鍍物品X係以振幅〇〇5至5.〇mm(例如〇」至 5.0mm)，振動次數1〇〇至300次/分振動。第8圖表示圖表，係依據由電源電路34施加於陰極匯流條30與陽極匯流條32間的電壓，藉由被電鍍物品χ所 /瓜電鍍電流（電流密度）之變化。如圖示，電鍍電流係以第1 值II持續第1時間Τ1的第1狀態，及以第2值12(<11) 持績第2時間Τ2的第2狀態互相出現的矩形之脈波狀者。於此’第1值II和第2值12為同一極性。II為12之5倍以上（例如6倍以上：6至25倍為例），8至20倍為理想。又，Τ1為Τ2之3倍以上（例如4倍以上：4至25倍為例），經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 6至20倍為理想。由於組合如此的電鍍電流和上述振動流動產生部16的電鍍液14之振動流動，於微細的導電構造圖案之電鍍，亦可獲得良好品質及高成膜速度。第1值II及第1時間Τ1，係因應於電鍍種類（例如，鍍硫酸銅、鏡氰化銅、鍍焦磷酸銅、鍍鎳、鍍黑色鎳、鍍氨基磺酸鎳、鍍鉻、鍍氰化辞、鍍無氰辞、鍍鹼性錫、鍍酸性錫、鍍銀、鍍氰化金、鍍酸性金、鍍銅-鋅合金、鍍鎳 -鐵合金、鍍錫-鉛合金、鍍鈀、焊劑電鍍等）或電鍍液之組本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 10 312616 526295

發明説明（u ) 成等適宜設定，但例如可使π在〇〇1至1〇〇[A/dm2]之範圍内’ T1在0·01至300[秒](例如3至3〇〇[秒])之範圍内。但疋並不限於此，最合適的11、12、11、12，係因應於上述電鍍之種類或電鍍液之組成等亦有在廣範圍作變化，例如伴隨進行電鍍以變化電鍍液之組成來作改變。電鍍液14係因應於應該形成的電鍍膜，與公知之電鍛同樣來選擇。例如進行鍍硫酸鋼時，以通孔液，可採用由硫酸銅硫酸光澤濟氯離子

60 至 l〇〇g/L(公升） 170 至 210g/L 適量 30 至 80mL/L 所成者，而作為普通液採用由硫酸鋼硫酸光澤劑氣離子

180 至 250g/L 45 至 60g/L 適量 20 至 80mL/L (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製所成者又所成者例如，進行鍍鎳時作為旋轉液

硫酸錄： 270g/L 氯化鎳： 68g/L 硼酸： 40g/L 硫酸鎂： 225g/L

而作為普通液可採用由硫睃鎳： 150g/L 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇x297公釐）可採用由 11 312616 526295 五、發明説明（12 氯化銨硼酸

15g/L 15g/L 斤成者，而作為有效液可採用由硫酸鎳氣化銨 PH 液溫度 240g/L 45g/L 4至5 45 至 55 所成者又

°C 例如進行鍍酸性錫時，作為硫酸硫酸亞錫硫酸曱酚磺酸明膠冷-萘酚鹽液可採用由經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 50g/L l〇〇g/L l〇〇g/L 2g/L lg/L 所成者。作為被電鑛物品X，可列舉電子零件、機械零件其他等，雖無特别限定’但顯著地發揮本發明之特徵，為形成具有微細構造的電鑛膜情形’而作為這樣的被電鍍物品之電鍍例，係多層配線基板之内徑100vm以下（例如20至 100/zm ;或特別是5〇//m以下，更r，例如對10" m、5以m、3 // m等）之微小盲孔或通孔（例如> 至100/z m者）之内面上形成電鍍導電膜；配線基板 // m以下（例如20至50/z m ;或特別是30// m以卞趣5( a卜， ' f 20 v m以下，例如用以形成1〇以m、5 μ m等）之古 ____ 、密度本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 312616 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔)

訂

%---- 526295 A7 B7 五、發明説明（13 ) 線圖案之寬3 0 // m以下（特別是20 // m以下，更為10 // m 以下，例如在5 // m、3 // m等）之微小變度槽（例如深7至 70以m者）内形成導電膜；於形成半導體裝置之多層配線之際’以銅鑲喪法形成内徑〇.3/zm左右或其以下之微小的盲孔或極小槽（例如寬〇 · 1以m、深1 · 5 // m者）的埋入導電膜；形成高密度配量半導體裝置之微小電極隆塊等例示。特別是本發明，係適用於高寬高比（例如3倍以上，特別是 5倍以上）之構造時，其改善效果大。又，作為被電鍍物品X，可採用平均直徑5至500 // m 之極小者。於此，所謂平均直徑，係互相以直角相交的3 方向之代表性尺寸之平均值。作為如此之被電鑛物品X，可例示銅粉末或被前處理的鋁粉末及鐵粉末等之金屬粉末、被‘體化處理的ABS樹脂粉末等之合成樹脂粉末，以及被導體化處理的陶瓷晶片等。又，可列舉其他之電子零件、機械零件、金屬粉末合金、微粒子無機/有機顏料、金屬珠等。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 例如，30〇am左右之徑的金屬粒子，例如由於形成 Νι電鍍膜於Cu粒子，或Ni電鍍膜上形成Au電鍍膜或Ag 電鍍膜而可形成複合電鍍膜。又，被電鍍物品為塑膠等之電氣絕緣性者時，雖進行導電性底子附予之處理作為電鍍之前處理，但在微細構造而咼寬度比之電鍍面時，由通常之無電解電鍍進行導電性底子附予處理，亦難於形成均勻良好地導電性底子，因此依電鍍獲付的電鍍膜厚度容易變成不均勻。並用以解除這

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公D 13 312616 526295 B7 A7

樣問題，亦可考量依濺射或真空蒸鍍來進行附予導電性底子’可是在此情況因在減壓裝置内進行處理，故提高了處理裝置之成本’同時有不能大量處理或連續處理之困難點。相對地，由於本發明採用與用以振動流動裝置同樣的裝置，使處理液一邊振動流動，一邊進行無電解電錢等導電性底子附f處理’在微細構造而高縱橫比之電鍍面時亦可附予兩均勻性之高導電性底子。因而，由於組合如此的導電性底子處理及本發明之電鍍方法，可連續地進行自前處理至電鍍處理，飛躍的提高了生產性。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 在本發明之電鍍方法，係由振動流動產生部〗6以電鍍液14產生的振動流動改善了電鍍液對微細構造之凹部内的流通性’同時作成使電鍍電流密度以第1狀態與比該第 1狀態充分地低，可是以同一極性值且比第丨狀態時間充分短的第2狀態之反覆所成脈波狀，故可提高膜厚均勻性，可減低如直流電鍍時的凸部或在邊緣部由形成集中性電鍍膜之膜厚不均勻，或在通孔與盲孔的氣體凹坑等之缺產生’變成可獲致尚表面光澤，又，如反轉極性的脈波狀電鍍電流時不伴隨暫時形成的電鍍膜之一部分熔解，可獲得高成膜速度，能簡單化製造裝置構成。因此，對於廣範的被電鍍物品’可以高良品率而有效率、高速地形成所希望之電鍍膜。又於本發明，由產生在電鍍液14的振動流動之作用，予以靠近被電鍍物品X和陽極金屬構件之距離來提高電流器度時，亦不易發生短路。此事態，亦不致於產生燒焦等本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公I) 14 312616 526295 A7

不良if况以良好或品率且高速地形成電鍍膜為其主要因素。欲良好地獲得這樣的作用，電鍍液14之振動流動之3 維流速以150mm/秒以上為極理想。這樣的高3維流速，係依電鍍液作振動流動而有效果地實現，由通常之攪拌乃難以實現，欲:實現時亦形成需要極大規模的裝置構成的缺失。在本實施形態，由進行搖動框架24之搖動及/或振動的被電鍍物品X之搖動及/或振動，雖可更提高上述效果，但不予進行此等被電鍍物品X之搖動及振動亦能獲得良好的效果。而以不使用搖動框架24、搖動馬達2〇及振動馬達28等，用以支撐陰極匯流條3〇、陽極匯流條32、被電鍍物品X及陽極金屬構件等，裝置構成就更加簡單化。搖動’係被電鍍物品X為全體尺寸比較大或長尺寸之平板狀的多層配線基板等時，由於以沿其面内方向移動，能提高效果。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 第9及10圖依本發明電鍍方法之第2實施形態，表示所實施電鍍裝置之構成剖面圖，第11圖為其俯視圖。本實施形癌’係被電錢物品X之保持及對該被電錢物品之給電樣式，與有關上述第1至8圖說明的第1實施形態者不同，採用所謂旋轉電鍍方式者。於第9至11圖，振動框架44藉由作為振動吸收構件之螺旋彈簧46安裝於電鍍槽12。在振動框架44,安裝有振動馬達48及與此用以取重量平衡之配重49。在振動框本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X297公釐） 15 312616 >26295 A7 B7 ^ 藉由支撐構件50安裝旋轉桶52。該旋轉桶係對支撐構件50女裝成可旋轉，由未圖示之驅動裝置朝第9圖箭頭所示方向旋轉。旋轉桶52内收容多數微小的被電鑛物品 X於旋轉桶52之外周面，形成有用於阻止被電艘物品乂之通過且容許電鍍液14之液體通過的多數小開孔。在旋轉桶52内配置延伸至其下部的陰極導電構件^。該陰極導電構件54係、藉由絕緣被覆配線％在旋轉桶w之旋轉中通過t裝於該旋轉桶的管構件❿内，連接於電源電路 34之負極端子。陰極導電構件54,係旋轉桶旋轉之際亦不旋轉目此伴隨旋轉桶旋轉作轉動的被電鍍物品X，就反覆與陰極導電構件54之接觸及自陰極導電構件Μ之隔離56係下部浸潰於電鍍液14中的陽極金屬構件。該陽極金屬構件56係例如收容於塑膠製之籠子中，藉由絕緣被覆配線56’連接於電源電路34之正極端子。如第9圖所示，陽極金屬構件56係配置於旋轉桶52之兩側。可是，亦可僅配置陽極金屬構件5 6於單側。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 振動馬達48，係例如與上述振動馬ϋ 28 _度之振幅及振動次數振動，被電鍍物品χ以振幅〇〇5至5 〇mm(例如U至5.0mm)、振動次數1〇〇至3〇〇次/分振動。本實施、亦由於振動框架44之振動來進行振動被電鍍物品χ 雖可更加提尚效果，但不進行該被電鍍物品χ之振動亦獲侍良好的效果。並以不使用振動框架44及振動馬達W等，而予以支撐支持構件50及旋轉桶52,藉此裝置構成更加被簡單化。

本紙張尺度適时_家標準（CNS)A4規格⑽χ 297公复y 312616 526295 - 五、發明説明（Π ) :於本實施形態，電鑛電流密度係與有關上述第8圖所 s月同樣來”又疋。於本實施形態在各個被電鍍物品X，各與陰極導電構件54接觸時，第^態與第2狀態或第】狀態與第2狀態之間會流變化過程之電鑛電流，但僅連續顯示接觸時之電流密度，平均上變成如第8圖所示，仍獲得與上述第1實施形態同樣的效果。本實施形態係尤其適於微小尺寸之被電鍍物品X，例如形成於0.6mmx 〇.3mmx 〇.2賴左右尺寸之陶甍晶片電谷器等之晶片零件的電極膜，或形成在直徑〇 5mmx長 2〇_左右之銷的電鍍媒等，同時對多數之被電鍍物品χ 進行形成。如此’作為被電鑛物品其橫過縱方向之方向之尺寸即寬為5mm以下，其中為2mm以下，採用imm以下的微小者時’對均句性及成膜速度之電鑛臈的改善效果大。其他作為被電鍍物品X，係列舉金屬粉末合金、微粒子無機/有機顏料、金屬珠等。實施依本發明電鍍方法，首要當然為進行所要之前處理製程。對於此等前處理，係同樣與先前公知之電铲2 進行即可。 / 又’於本發明方法作為振動流動產生部，係具備有振動葉片用於在鍍液中產生所需要的振動流動，如記載於上述曰本特開平11_18988〇號公報者（例如參照該公報中之第 7圖、第8圖所說明，配置振動葉片在電鍍槽之底部，自振動馬達藉振動傳達框傳達振動於振動葉片，使振動葉片在水平方向振動者）或可適當地使用引用於該公報令記載本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）訂

員工消費合作社印線 312616 526295

於公報者等。一例如，作為振動流動產生部，可使用第21及22圖所八者於此筝圖，由固定於設置在電鍍槽12的支持台13 支持框1 5 ’支撐2個振動流動產生部16。並於振動流動產生部16 ’自振動馬達16d受到振動傳達的振動構件 6c,，安裝上下方向之振動傳達16e，，上端部。振動傳達桿系L伸於電鍍槽12内，而安裝水平方向之振動傳達桿 16e’端部於其下端部。該振動傳達桿i6e，係對2個振動流動產生部16共用，安裝有上下方向之振動葉片16f。並自振動馬達16d藉由振動構件16c，、振動傳達桿16e”、l6e，傳達振動於振動葉片16f，將該振動葉片16f振動於水平方向0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 第12圖表示依本發明使用於實施電鍍方法的電鍍裝置之其他开> 磨剖面圖。第13圖係其截切一部分俯視圖。本形態係振動流動產生部16之構成與上述實施形態不同。亦即對固疋於電鍍槽12上端緣部的安裝構件118予固定螺旋彈菁16b之下端，在固定該螺旋彈簧i6b上端的振動構件16c下側安裝有振動馬達i6d。尚，在螺旋彈簧16b内對女裝構件1 1 8以下端被固定的下側引導構件丨24，及對振動構件16c以上端被固定的上侧引導構件123，互相置以適度之間隔所配置。第14及15圖係依本發明構成使用於實施電鍍方法的電鍍裝置之振動流動產生部，表示安裝於電鍍槽之其他形癌剖面圖，第16圖為其俯視圖。第14及15圖係分別相當本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297公釐） 18 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（l9 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製於第16圖X-X，剖面及Y-Y’剖面。尚，於此等圖，乃省略用以電鍍處理之陰極、陽極及電源電路等圖示。在本實施形態，作為振動吸收構件代替上述螺旋彈菁 iGb係採用橡膠板2及金屬板1，Γ的疊層體3。亦即，疊層體3係以固定於電鍍槽12上端緣部的安裝構件118，藉由防振橡膠112所安裝的金屬板Γ以螺栓131固定，g己置橡膠板2在該金屬板Γ上，該橡膠板2上配置金屬板j，將此等由螺栓116及螺帽117 —體化形成。振動馬達16d係藉由支持構件115螺栓132固定於金屬板1。又’振動傳達桿16e之上端部藉由橡膠環119安襄於疊層體3，特別是金屬板1及橡膠板2。亦即，上側金屬板1亦發揮記載於第1圖，其他實施形態之振動構件16c 功能者，下側金屬板1，也發揮記載於第1圖，其他實施形態之基台16a功能者。而且，包含此等金屬板ι、ι，之疊層體3(主要為橡膠板2)與記載於第1圖，其他的螺旋彈簧16乜同樣發揮振動吸收功能。第17圖表示疊層體3之俯視圖。在對應第11至16 圖形態的第1 7圖（a)之例，於疊層體3形成用以通過振動傳達桿16e之穿通孔5。又第17圖（1))之例，疊層體3由通過穿通孔5的分割線被2分割的2個部分3a、3b所成，並依此在裝置組裝之際可容易地穿通振動傳達桿16e。又，第17圖（c)之例，疊層體3係形成對應電鍍槽12上端緣部的環形狀，形成開口 6於中央部。在第17圖（a)、（b)例，係由疊層體3塞住電鍍槽I] ^ ifcXi適財關家標^^)A4規lG χ 2 ------ 幻 19 312616 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

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線 526295 A7 B7 五、發明説明（) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製之上部，並依此在電鍛處輝+ 之際，能防止自電鍍液14揮散的氣體或飛散的電鍍液洩漏於周圍。第1 8圖表不如此依最臨碰且9體3閉塞（密封）電鍍槽上部狀況剖面圖。在第18圖⑷形態，係橡膠板2於穿通孔5頂接振動傳達桿16e作成密封。又，第18_)之形態，係於疊層體3之開口部6’以安農於該疊層體3及振動傳達梓16e設置用來塞住此等間之空隙的撓性密封構件⑶。第19圖表不作為振動吸收構件之疊層體3之例。第 19圖⑻之例得、為上述第14至16圖之實施形態者在第 19圖⑷之例，疊層體3係由金屬板橡膠板2所成。第 ⑷之例’則疊層體3係由上側金屬板】與上側橡膠板2 及下側金屬板1，及下侧橡膠板2，所成。在第19圖（(1)之例，疊層板3係由上側金屬板！與上側橡膠板2及中間金屬板 1”與下侧橡膠板2’和下侧金屬板丨，所成。於疊層板3的金屬板或橡膠板之數量，例如可為1至5。尚，於本發明，亦可僅由橡膠板來構成振動吸收構件。作為金屬板1、1，、1”之材質，可採用不銹鋼、鐵、鋼、鋁，其他適宜的合金。金屬板之厚度例如為10至40mm。但是，對於疊層體以外之構件其未直接作固定的金屬板（例如上述中間金屬板1”）可弄薄為0 3至1〇mm。作為橡膠板2、2,之材質，可採用合成橡膠或天然橡膠之硫化物，以規定於JISK6386的防振橡膠為理想，更特別以靜剪斷彈性係數4至22kgf/cm2，理想為5至1〇 kgf /cm，伸長2 5%以上者為理想。作為合成橡膠可以例示， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔}

-訂_ -線 526295 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（21 ) 氯丁橡膠、膳橡膠、腈-氣丁橡膠、苯已烯-氣丁橡膠、丙烯腈、丁二烯橡膠、異戊二烯橡膠、乙烯-丙烯-雙烯共聚體橡膠、環氧氣丙烷系橡膠、環氧烷烴系橡膠、氟系橡膠、矽系橡膠、聚氨酯系橡膠、多硫化橡膠、磷腈橡膠。而橡膠板之厚度例如5至60mm。於第19圖（d)之例，疊層體3由上側金屬板1與橡膠板2及下側金屬板1’所成，橡膠板2由上側固體橡膠層2a 與海綿橡膠層2b及下侧固體橡膠層2c所成。亦可除去下側固體橡膠層2a、2c中之一方，更以疊層複數固體橡膠層及複數海绵橡膠層者亦可以。第20圖孫表示於上述實施形態的變形例圖表，依據由電源電路34施加於陰極匯流條30與陽極匯流條32間的電壓，表示藉甴被電鍍物品X流動的電鍍電流（電流密度）變化。在此變形例其第1狀態及第2狀態之電流密度波形，非為如上述第8圖所示矩形狀，產生有若干之脈動者。如此之脈動乃依據電源電路34之構成者，在本發明之電鍍電流亦可為如此的脈動電流。而作為第i狀態及第2狀態之電流值II、12，係可採用在各個狀態之峰值。尚’於本發明作電源電路34,採用具備用以第i狀態之電壓供給系統及用以第2狀態之電壓供給系統者，亦可採用互相自該等2個系統輸出者（亦即，與切換2個電源裝置來使用者等效）。如以上組合電鍍液之振動流動及脈波狀電鍍電流技術，亦可適用於同樣利用在處理液内之通電進行被處理物 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) -訂_ 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公董） 21 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（22 ) 之表面處理的陽極氧化法，或電解研磨法及電解脫脂法。當然，因應於處理内容配置被處理物於陽極側或陰極側。並由此’可良好地進行持微細構造被處理物品之表面處 [實施例] 以下，依實施例說明本發明。實施例1 採用第1至3圖所說明的裝置。在此作為振動馬達16d 採用150 Wx 200 Vx 30者，電鍍槽12採用了容量300公升者，電源電路34採用（股）中央製作所製之P〇wer Master 〇作為被電鑛物品X依常法，採用施予規定前處理的8 英吋（直徑200mm)之矽晶圓，對用以多層配線形成之銅金屬鑲篏法之令，對施予鋼籽層的盲孔進行形成銅埋入導線膜。多數之盲孔係於厚度〇·3 5// m之氮化鈦絕緣層形成内徑 0.24 // m 〇經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

作為電鍍液14係硫酸鋼電鍍之通孔液，使用硫酸銅： 7 5g/L

硫酸： 190g/L

光澤劑：適量氯化離子： 40mL/L 以45Hz振動振動流動產生部16之振動馬達i6(j，使振動葉片16f在電鍍液14中予振動振幅〇2mm及振動次數650次/分。又以25 Hz振動振動馬達28，使被電鍍物品本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 22 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（23 ) X在電鍍液14中以振幅01 5mm及振動次數200次/分作振動。並依三維電磁流速計ACM3 00-A(亞歷克電子股份有限公司製）測量此時之電鍍液中之三維流速為200mm/秒。依電源電路34使圖示於第8圖的II、12、ΤΙ、T2分別成為 Π=6[Α/晶圓]= 3[A/dm2]，Ι2 = 0·6[Α/晶圓]，Tl = l〇 [秒]，T2 = l [秒]，予以流動矩形波狀電鍍電流。進行了 10分鐘處理後形成約l〇em厚之鍍銅膜，並由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了對於所有多數之盲孔形成良好地埋入。比較例1-1 除了 T2 = 0[秒]以外進行與實施例1同樣的處理時，由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了在多數盲孔之—部分（58%)有良好的鍍銅膜之埋入，於剩餘並未有良好的鍍銅膜之埋入。比較例1-2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 除了不予作動振動流動產生部16外進行與實施例1 同樣處理時，由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了在多數盲孔之一部分（10%)形成有良好的鍍銅膜之埋入，但在剩餘則無良好鍍鋼膜之埋入（有依據燒焦等產生不良）。實施例2 採用有關第1至3圖說明的裝置（振動馬達i6a及電鍍槽12及電源電路34與實施例1同樣），對作為被電鍍物品 X採用依常法施予規定前處理的A4版尺寸之多層配線基板，進行對通孔内面形成電鍍導電膜。多數之通孔内徑為本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 23 312616 526295 Α7 Β7 五、發明説明（24 ) 30 // m 0而縱橫比為10。作為電鍍液14採用硫酸銅電鍍之普通液，

硫酸銅： 200g/L

硫酸： 50g/L

光澤劑：適量氯化離子： 60mL/L 以50Hz振動振動流動產生部16之振動馬達16d，在電鍍液14中以振幅〇.2mm及振動次數700次/分振動振動葉片16f。又以25Hz振動振動馬達28,在電鍍液14中以振幅0.15mm及振動次數200次/分來振動被電鍍物品X。再者，驅動榣動馬達20，在電鍍液14中以搖動幅30mm 及搖動次數20次/分來搖動被電鍍物品X。將此時電鍍液中之三維流速以三維電磁流速計ACM300-A測量時為 200mm/秒。並依電源電路34使第8圖示之II、12、ΤΙ、T2分別成為 Il=4[A/dm2]，I2 = 0.4[A/dm2]，Tl = 180[秒]，T2=20 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) [秒]，予以流動矩形波狀之電鍍電流。進行10分鐘處理後，以通電、顯微鏡其他之檢查結果判明了對於多數之通孔99.9%形成有良好鍍鋼膜。比較例2-1 除了 Τ2=0[秒]外進行與實施例2同樣的處理後，由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了在多數通孔3 —部分 (50%)跨及全長形成有良好鍍銅膜，在其餘並無形成良好的鍍鋼膜。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 24 312616 526295 A7 B7

比較例2-2 除了不fM乍動振動流動產生部16外進行與實施例2 同樣處理時’由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了在多數通孔之一部分（10%)形成有良好的鍍鋼臈，但在剩餘則無良好鍛銅膜形成（有依據燒焦等產生不良）。實施例3 採用有關第9至11圖說明的裝置（振動馬達16d及電鍍槽12及電源電路34與實施例同樣），使用依常法將被電鍍物品X施予規定之前處理的尺寸0 6mmx 〇 3mmx 0.2mm之陶瓷晶片800個，在其縱方向的兩端之面及連續於此0.6mmx 0.3mm面之一部分（自兩端面至〇 lmm之區域），進行用以電極膜形成之鍍鎳膜形成。作為鍍鎳之際的電鍍液14，採用了旋轉桶液。

硫酸鎳： 270g/L 氯化鎳： 68g/L 硼酸： 40g/L 硫酸鎂： 225g/L 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 以5 5Hz振動振動流動產生部16之振動馬達i6d，在電鍍液14中以振幅〇.2mm及振動次數750次/分振動了振動葉片16f。又，振動振動馬達48,在電鍍液14中以振幅 0.15 mm及振動次數250次/分來振動被電鍍物品X。此時以二維電磁流速計ACM300-A測量電鍍液中之三維流速為 2 10mm/秒者。作為旋轉桶52係採用網目開口率2〇0/〇者，以1 Orpm為旋轉桶旋轉數。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公董） 25 312616 526295 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（26 由電源電路34使第8圖 ^ ^ ΤΙ Λ ,ΓΛ/^ 2 U、、13、ΤΙ、Τ2 分別成為 Il=0.4[A/dm2]，Ι2=()⑸1 ^ . · lA/dm ]，Tl=20[秒]，Τ2=2 [秒]，予以流動矩形波狀之電鍍電流。並以50°C進行3〇分鐘之虛挪 φ ^ ^ ^ ^ ’處理後，對所有的晶片以通電、顯微鏡其他之檢查結果判好的鍍鎳膜。 …成有約2"m厚之良比較例3 -1 除了 T2=0[秒]外進行盥實喷μ於甘a 、貫施例3同樣的處理後，以通電、顯微鏡其他之檢查結果 4月了在晶片之一部分（12%) 形成有良好的鍍鎳膜，可是在装餘則未有形成良好的鍍鎳膜。比較例3-2 除了不予作動振動流動產生外16外進行與實施例3 同樣的處理時，以通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了在多數通孔之一部分（60%)形成有良好的鍍鎳臈，但在其餘並無形成良好的鍍鎳膜。實施例4 與實施例3同樣，代替鍍鎳進行了鍍錫。作為電鍍液 14採用了酸性鍍錫之硫酸鹽液。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 身· •訂·

硫酸亞錫： 50g/L 硫酸： 100g/L 甲酚磺酸： 100g/L 明膠： 2g/L 泠-萘酚： lg/L 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297公釐）線 26 312616 526295 A7 B7

依電源電路34’將第8圖所示之II、12、τι、T2分別成為 Il=〇.4[A/dm2]，I2 = 〇.〇4[A/dm2]，τΐ=20[秒]，Τ2 = 2 [秒1，予以流動矩形波狀之電鍍電流。以5(TC進行60分鐘之處理後，而由通電、顯微鏡其他檢查之結果，判明了對所有晶片形成有良好的鍍錫膜。比較例4-1 除了 T2=0[秒]外進行與實施例4同樣的處理，而由通電、顯微鏡其他檢查之結果，判明之在晶片之一部分（1〇%) 形成有良好的鍍鎳膜，可是在其餘並無形成鍍鎳膜。比較例4-2 除了不予作動振動流動產生部16外進行與實施例3 同樣處理時，由通電、顯微鏡其他檢查之結果，判明了在多數通孔之一部分（57%)形成有良好的鍍鎳膜，但其餘並無形成良好的鍍鎳膜。實施例5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔} 採用有關第9至11圖說明的裝置（振動馬達16d及電鑛槽12及電源電路34係與實施例1同樣），並依常法作為被電鍍物品X係施予規定之前處理，使用其外徑〇.5mm 0、長20mm之黃銅銷30個，於其外面進行鍍錄膜。作為鍍鎳之際的電鍍液14，係採用旋轉桶液。

硫酸鎳： 270g/L 氯化鎳： 68g/L 硼酸： 40g/L 硫酸鎂： 225g/L 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 27 312616 526295 Α7 Β7 五、發明説明（28 ) 以45Hz振動振動流動產生部16之振動馬達i6d，在電鍍液14中以振幅〇.2mm及振動次數500次/分振動振動葉片16f。又以振動振動馬達48，在電鍍液14中以振幅〇.15mm及振動次數200次/分來振動被電鍍物品X。將此時電鍍液中之三維流速由三維電磁流速計ACM300-A測量為200mm/秒。並採用網目開口率20%者為旋轉桶52，以 lOrpm為旋轉桶旋轉數。復依電源電路34，使圖示於第8圖示之II、12、T1、丁2 分別成為 Il=3[A/dm2]，I2=0.3[A/dm2]，Tl=30[秒]，T2 = 3 [秒]，予以流通矩形波狀之電鍍電流。並以50°C進行20分鐘處理，對於所有銷以膜厚測量、通電 '顯微鏡其他之結果，判明了形成有膜厚均勻性良好的鍍鎳層。比較例5-1 除了以T2 = 0[秒]外進行與實施例5同樣的處理時，由膜厚測量、通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了在銷之經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔} 一部分（17%)形成有良好鍍鎳膜，但在其餘並未形成膜厚均勻性良好的鍍鎳膜。比較例5-2 除了不予作動振動流動產生部16外進行與實施例5 同樣的處理時，由膜厚測量、通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了在銷之一部分（60%)形成有良好的鍍鎳膜，但在其餘並未形成有膜厚均勻性良好的鍍鎳膜。實施例6

526295 Α7 Β7 五、發明説明（29 )

採用有關第9至11圖說明的裝置（振動馬達i6d及電鍍槽12及電源電路34與實施例1同樣），依常法將作為被電鍍物品X於予規定之前處理（包含脫脂處理或帶電處理），採用其直徑3 mm 0之丙烯腈·丁二烯-苯乙烯共聚物 (ABS樹脂）之球體約30000個，在其外面進行形成鍍銅膜。於鍍銅之際作為電鍍液14係採用硫酸銅： 200g/L

硫酸： 50g/L 光澤劑：適量

氯離子： 40mL/L 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 以40Hz來振動振動流動產生部16之振動馬達i6d，在電鍍液14中以振幅〇.2mm及振動次數700次/分振動振動葉片16f。又，予以振動振動馬達48，在電鍍液14中以振幅0.15mm及振動次數250次/分振動被電鍍物品X。並由三維電磁流速計ACM300-A測量該時在電錢液中之三維流速為210mm/秒。使用網目開口率20%作為旋轉桶52 者，並以lOrpm為旋轉桶旋轉數。復依電源電路34，使第8圖所示II、12、ΤΙ、T2分別成為 Il=〇.5[A/dm2]，I2 = 0.04[A/dm2]，Tl=3〇[秒]，丁2 = 3 [秒]，予以流動矩形波狀之電鍍電流。以50C進行30分鐘處理時，對於球體之99.5%由膜厚測量、通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了形成有膜厚均勻性良好的鍍銅膜。比較例6 -1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 29 312616 526295 A7

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製除了以T2 = 0[秒i外沧—&虫h ^ ^ 』外進仃與實施例6同樣的處理膜：測量、通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了：球: 之部为（40%)形成為良好鍍鎳膜，但在其餘未有膜— 均勻性良好的鍍鋼膜。成膜厚比較例6_2 除了未予以作動振動流動產生部16之外進行與例6同樣的處理時’由膜厚測量、通電、顯微鏡其他之檢查結果’ 明了在球體之—部分（5G%)形成有良好的鑛錄膜，在其餘未形成有膜厚均勻性良好的鍍鎳膜。、實施例7 採用有關第1至3圖說明的裝置。在此作為振動馬達 16d使用150Wx 200Vx 30者，使用300公斤容量之電鍍槽12者。又，作為電源電路34，使用了（股）中央製作所製之 Power Master PMD1 型。並依常法作為被電鍍物品X係採用施予規定之前處理的40mm角度、厚lmm之矽晶圓。並在此矽晶圓之表面形成了多數内徑為20 // m、深70 // m之盲孔。作為電鑛液14係採用鍍硫酸銅之通孔液。硫酸銅： 75g/L 硫酸： 190g/L 光澤劑：適量氯離子： 40mL/L 尚，在電鍍槽12内配置陶瓷製散氣管（外徑75mm 0 ; 内徑50mm 0 ;長500mm ;氣孔徑50至60 // m ;氣孔率33 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔} •ill· -訂-

•線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 30 312616 526295 經濟部智慧財產局消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（31 ) 至3 8%)，使電鍍液14内產生氣泡。以40Hz振動振動流動產生部16之振動馬達16d，在電鍍液14中以振幅0.1mm及振動次數650次/分予振動振動葉片16f。又，以25Hz振動75Wx 200VX 30之振動馬達28，在電鍵液14中以振幅〇.15mm及振動次數200次/ 分來振動被電鍍物品X。將此時電鍍液中之三維流速由三維電磁流速計ACM300-A(阿歷克電子股份有限公司製）測量時為200mm/秒。由電源電路34，使第8圖所示π、12、ΤΙ、T2分別成為 I卜1·5[Α/晶圓]，Ι2=0·1[Α/晶圓]，Τ1=0·08[秒;|， Τ2=0·02 [秒]，予以流通矩形波狀之電流。經進行2 · 5小時處理時’對於所有多數之盲孔，由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了其内面形成約7以m 之均勻厚度之鍍鋼膜。比較例7 除了 T2 = 0[秒]外進行與實施例7同樣處理後，由通電、顯微鏡其他之檢查結果，#曰月了盲孔之開口部被電鍍膜所閉塞。實施例8 採用两頻振動馬達作為振動流動產生部16之振動馬達16d，將此以150Ηζ作振動，在電鑛液14中以振幅〇 2匪及振動次數1200次/分振動振動葉片i6f，除以約15小時之處理時間外，進行與實施例7同樣的處理。結果，對於所有多數之盲孔，由通雷、趣嫩 ^电顯微鏡其他之檢查結果，判明本紙張尺度適用中國國家標準—- /A^) 31 312616 請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔 526295 A7 B7 五、發明説明（32 ) 了其内面形成有約7//m均勻的厚度之鍍銅膜。實施例9 採用配線基板用環氧樹脂板作為被電鍍物品X。在環氧樹脂板之表面，形成有多數之内徑15//m、深40//m之盲孔。作為電鍍之前處理，係進行脫脂-水洗-蝕刻-水洗-中和 -水洗-催化·水洗-促進劑·水洗-無電解鍍銅而附與導電性’再者，予進行水洗-活性化水洗-觸擊電鍍。於無電解鍍銅及觸擊電鍍，由與有關第1至3圖說明者同樣的振動流動產生部，使電鍍處理液產生了同樣的振動流動。電鍍係與實施例7同樣地進行。但是再於驅動搖動馬達20’在電鍍液14中以搖動幅3 0 mm及搖動次數20次/ 分搖動被電鍍物品X。將此時電鍍液中之三維流速由三維電磁流速計ACM300-A測量時為200mm/秒。依電源電路34，使第8圖所示II、12、ΤΙ、T2分別成為 Il=4.5[A/dm2]，I2 = 0.4[A/dm2]，Tl=0.08[秒]，Τ2 二〇〇15 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔} [秒]’予以流通矩形波狀之電鍍電流。進行1小時處理時，由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了對於所有多數之盲孔作成良好的埋入。比較你丨8 除了以Τ2 = 0[秒]外進行與實施例9同樣的處理，由通電、顯微鏡其他之檢查結果，判明了雖然盲孔之開口部被電鍍膜所閉塞但在深處殘留有空隙。 [發明之效果]

312616 32 526295 A7 B7 五、發明説明（33 ) 如以上所說明，依本發明之電鍍方法，其電鍍膜導電圖案為微細時，亦無缺陷或膜厚不均勻性可以良好的品質形成電鍍膜。又，依本發明，可以高速獲得良好品質之微細構造之導電圖案電鍍膜。再者，依本發明可有效率地以比較小的裝置構成，獲得微細構造之導電圖案之良好品質電鍍膜。 [圖式之簡單說明] 第1圖依本發明用來實施電錢方法之第i實施形態，表示電鍍裝置之構成剖面圖。第2圖恢本發明用來實施電鑛方法之第！實施形態，表示電鍍裝置之構成剖面圖。第3圖依本發明用來實施電鍍方法之第i實施形態，表示電鍍裝置之構成俯視圖。第4圖係對振動構件之振動傳達桿安装部之放大剖面圖。第5圖係對振動傳達桿之振動葉片安裝部之放大❹ 圖 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製圖第6圖表示對振動傳達桿之振動葉片安裝部之變形例第7圖表示安裝於被電鍍物品之陰極剖面圖。第8圖表示藉由被電鑛物品所流電鍵電流之變化圖表0 匯流條之變形例第9圖表示依本發明電鍍方法 _ 2實施形態所實施本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（34 ) 電鑛裝置之構成剖面圖。第10圖表示依本發明電鍍方法之第2實施形態所實施電鍍裝置之構成剖面圖。第11圖表示依本發明電鍍方法之第2實施形態所實施電鍍裝置之構成俯視圖。第12圖表示使用於依本發明電鍍方法實施之電鍍裝置剖面圖。第13圖係第12圖之電鍍裝置一部分截切俯視圖。第14圖係依本發明使用於實施電鍍方法之電鍍裝置’表示安裝於所構成的振動流動產生部之電鍍槽剖面圖。第15圖係依本發明使用於實施電鍍方法之電鑛裝置’表示安裝於所構成的振動流動產生部之電鍍槽剖面圖。第16圖係依本發明使用於實施電鍍方法之電鍍裝置，表示安裝於所構成的振動流動產生部之電鍍槽俯視圖。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 第17圖（a)至（c)係疊層體之俯視圖。第18圖（a)、（b)表示依疊層體閉塞電鍍槽上部之樣子剖面圖。第19圖（a)至（e)表示疊層體圖。第20圖表示藉由被電鍍物品所流電鍍電流變化之圖表。第21圖表示振動流動產生部之變形例剖面圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2W公营） 34 312616 526295 A7 B7 五、發明説明（35 ) 第22圖表不第21圖之振動流動產生部平視圖第23圖表不脈波電鍍用電源之一例圖。 [符號之說明] 1、Γ、1”金屬板 2a、2c 固體橡膠板 3 疊層體開σ 支持台支持框基台振動構件振動傳達桿 16gl、16g2振動應力分散構件16hi 16il、16i2、16i3、l6i4 螺帽 i6j 6 13 15 16a 16c 16e 2、2, 2b 5 12 14 16 16b 16d 16f 經濟部智慧財產局員工消 t 合作社印製 16k 16p 22 26 30 34 40a 40c 46 49 間隔環彈性構件片連結桿執陰極匯流條電源電路上部鈎部壓縮彈簧螺旋彈簧配重 16m 20 24 28 32 40 40b 44 48 50 橡膠板海綿橡膠層穿通孔電鍍槽電鍍液振動流動產生部螺旋彈簧振動馬達振動葉片 16h2墊圈振動葉片固定構件 16η螺帽搖動馬達搖動框架振動馬達陽極匯流條被電鍍物品保持構件下部夾子部振動框架振動馬達旋轉桶支持構件本紙張尺度適財關家標準（CNS)A4規格⑵心297公董)"~ ----- ’ ^12616 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔} _ •訂.

線 526295 A7 B7 五、發明説明（36 ) 52 旋轉桶 52a 管構件 54 陰極導電構件 54,、 56f絕緣被覆配線 56 陽極金屬構件 112 防振橡膠 116 螺检 117 螺帽 118 安裝構件 119 橡膠環 123 上側引導構件 124 下侧引導構件 131、 132螺栓 136 撓性密封構件 X 被電鍍物品 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) _訂·

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 36 312616

Claims

526295 H3

第90112350號專利申請搴申請專利範圍修正本年月修正經濟部中央標準局員工福利委員會印制衣補I 7 η 22 日 1· 一種電鍍方法，其特徵為，連繫於振動產生裝置在鍵液内作振動的振動棒，由於振動以一般或多段地固定於該棒的振動葉片，邊使該電鍍液產生振動流動，以接觸於該電鍍液所配置的被電鍍物品作為陰極，且配置成與該電鍍液接觸的金屬構件為陽極，在該陰極與陽極之間施加電壓，並於此際自陽極藉由電鍍液往陰極i’lL動之電流為脈波狀，以互相取由第1值I 1持續第1時間T1的第1狀態，及與該第丨值同一極性之第 2值12持續第2時間T2的第2狀態，該第1值^係為第2值12之5倍以上，該第i時間T1係第2時間 T2之3倍以上。 2.如申請專利範圍第1項之電鍍方法，其中第1值n係為第2值12之6至25倍，該第i時間T1係為第2時間T2之4至25倍。 3·如申請專利範圍第1項之電鍍方法，其中第1時間τι 係為〇·〇1秒至300秒者。 4·如申請專利範圍第丨項之電鍍方法，其中振動葉片係以振幅0.05至10.0mm&振動數200至15〇〇次/分振動者。 5.如申請專利範圍第1項之電鍍方法，其中電鍍液之振動流動係三維流速為150mm/秒以上 i紙張尺度適用家鮮（CNS) A4規格（210X297^3* 1 312616 526295 6·如申請專利範圍第1項之電鍍方法，其中振動產生裝置係以10至500Hz振動者。 .如申凊專利範圍第1項之電鍍方法，其中以振幅〇〇5 至5.0mm及振動次數1〇〇至300次/分來振動被電鍍物品者。 •如申請專利範圍第1項之電鍍方法，其中以搖動幅1〇至100mm及搖動次數10至30次/分來搖動被電鍍物品° 9.如申請專利範圍第1項之電鍍方法，其中被電鍍物品係具尺寸50 μ m以下之微細構造的被電鍍面。經濟部中央標準局員工福利委員會印製 1 〇·如申請專利範圍第1至9項中任一項之電鍍方法，其中使複數之被電鍍物品，具能通過電鍍液液體之小開孔且與該被電鍍物品作接觸，用來保持於用以流通電鍍電流於該被電鍍物品具有導電構件之保持容器中，在該電鍍液中使保持容器在非垂直方向之旋轉中心周圍作旋轉，轉動該複數之被電鍍物品於該保持容器内，用來反覆各個被電鍍物品與該導電構件間之接觸及隔離。 11·如申請專利範圍第10項之電鍍方法，其中該被電鍍物品之寬係5mm以下。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 x 297公釐） 2 312616