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附件3·第89106106號專利申請案 中文說明書修正頁A7民國91年2月^正 B7 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 本發明係關於電極的連接方法以及利用這種連接方法 連接端子相互間之小間距用連接器、小間距變換裝置、微 型機器、壓電致動器、靜電致動器、噴墨頭、噴墨印表機 、液晶裝置、電子機器。 〔背景技術〕 近年，電子機器顯著進展，隨著其小型輕量化、大容 量化而提升其每單位面積上的集成度。但是其周邊設備的 技術相對地進步遲緣，特別是在目前尙未針對連接部的端 子電極的微細化提出有效方案。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如針對內藏壓電元件，利用此壓電元件的振動吹出 墨水之列印頭（以下，稱爲列印手段部），或液晶裝置的 L C D格之連接對象物，微細化年年都有進步；對應於此 微細化而端子電極的間隔變小，不過用來連接這種連接對 象物與驅動電路’目前爲止是安裝由可撓性基板所形成之 連接器’利用該連接器變換配線圖案的間距而進行與前述 驅動電路的連接。 依據圖面詳述，第1 7圖爲連接對象物1及由可撓性 基板所形成的連接器之要部擴大圖；如第1 7圖所示，關 於列印手段部或液晶裝置的L C D格之連接對象物1 ，在 其表繞設設複數條連結到元件之配線2。 另則’對連接對象物1施行連接之連接器4，其材質 係由聚乙胺所形成之可撓性基板。然後，在這個基板的一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 霸4 508877 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（2 ) 端形成能與被形成在前述連接對象物1的端部之端子電極 3疊合之端子電極5，並且在與此端子5相反側的端部形 成比該端子電極5還寬幅且具有寬廣的間隔之端子電極6 。然後設置配線6 A使端子電極5與端子電極6連結，在 該配線6 A的繞設途中進行寬度或間隔的變更。 第1 8圖係表示連接對象物1與連接器4連接的順序 之說明圖。如第1 8圖所示，前述過連接對象物1與連接 器4連接時，首先呈端子電極3位於上面側在接合台7上 設置連接對象物。接著被設在接合器4之端子電極5與前 述端子電極3進行位置對位，使兩者疊合。然而在端子電 極3與端子電極5之間塗敷含導電性粒子之接著劑，介由 導電性粒子導通兩電極。 此處，在疊合兩電極的上方，即是在連接器4中端子 電極5的上方，設置能昇降之接合工具8 ·然而在接合工 具8的內部內藏有加熱器9，移動這個加熱器9就能使接 合工具8的先端部加熱。 然後令此樣的接合工具8下降就能達到導電性粒子與 兩電極的密接，並且達到加熱器所造成接著劑縮短乾燥時 間，進行兩電極的連接。然而兩電極進行連接之際，不一 定需要含導電性粒子的接著劑，不夾隔接著劑疊合兩電極 進行加壓及加熱，也能溶接同時使其金屬接合。 然而，此處則是舉例說明用壓電元件的列印頭（列印 手段部）或液晶裝置的L C D格，不過基板上形成微細的 運動機構部，傳達能量（施加電壓）之配線拉引到這個運 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5 - <請¾閱I背面之注意事項本頁) 裝 · --線. 508877 A7 ____ ______ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（3) 動機構部之微型機器，或用壓電元件之壓電致動器和用靜 電振動子之靜電致動器以及用靜電致動器之列印頭，或用 這些致動器之印表機，或搭載這些機器之電子機器等都是 應用同樣的技術進行接合。 但是關於前述過的連接器或電極的連接方法，仍存有 如下述的技術課題。 第19 (a) ，19 (b)圖表示第18圖中C-C 斷面圖；如同已敘述過關於列印手段部或液晶裝置的 L C D格等之連接對象物1，微細化年年都有進步；對應 於此微細化而端子電極3的間隔1 〇變小。因而構成連接 對象物1的材質（主要是矽）與構成連接器4的材質（主 要是聚乙胺）之熱膨脹係數不同，則爲了使兩者連接而使 其接近接合工具8時，受到內藏在該接合工具8之加熱器 9的影響，如第1 9 ( b )圖所示連接器4側的熱膨脹變 大’相對端子電極3之端子電極5變動位置，恐會造成兩 端子間的電阻値增大或接合不良以及與鄰接端子的短路等 之故障。然而，經本發明者進行種種的檢討，用聚乙胺之 連接器其配線間距6 0 v m附近爲極限已被確認。 另外’關於電極的連接方法，連接兩端子之際利用內 藏在接合工具8的加熱器9進行加熱，不過經由該加熱器 9進行加熱則連接器4側相對於連接對象物1側變爲高溫 ，而在連接對象物1與連接器4之間產生溫度差，構成連 接器4的材質比構成連接對象物1的材質還增大熱膨脹係 數，則連接時端子電極3與端子電極5的偏離更加變大。 (請先閱讀背面之注意事項
本頁) --線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱> .0 508877^ >少修.正 月
A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（4) 本發明者進行種種的檢討，確認了第1 9 ( b )圖中a的 位置的溫度爲3 6 0 °C〜4 0 0 °C，b的位置的溫度爲 1 8 0 °C〜2 3 0 °C，c的位置的溫度爲1 6 0 °C程度。 然則，關於應用微型機器及微型機器處理技術所製成 之致動器等，由於與外部基板的連接利用可撓性基板或線 接合或電纜線的焊接等的方法進行連接，所以與運動機樽 部或是致動器部位作比較，增大配線端子面積。然後爲了 形成運動機構部或是致動器類，由於必須經過異方性蝕刻 爲代表之精密加工，並且必要高價的材料或高價的機械， 所以期望是將配線端子部的面積極小面積化且有效率地進 行製造。 ， 〔發明開示〕 本發明的目的係爲提供就是熱膨脹係數不同的連接對 象物相互間連接端子電極時，也能夠抑止這些連接端子電 極相互間的位置偏離之電極的連接方法，及就是加諸熱應 力也能夠縮小連接端子電極相互間的位置偏離之小間距用 連接器、以及間距變換裝置、微型機器、壓電致動器、靜 電致動器、噴墨頭、噴墨印表機、液晶裝置、電子機器等 〇 (1 )本發明一種實施形態之小間距用連接器係由下 述的構成所形成。即是基板上形成有複數個第1端子電極 及複數個第2端子電極，且形成有爲了導電連接前述第1 端子電極與前述第2端子電極的配線之小間距用連接器； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -7 -
ί請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 508877 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（5 ) 也是前述配線具有變換前述第1端子電極間的間距及前述 第2端子電極間的間距之功能而形成之小間距用連接器。 (2 )本發明其他形態之小間距用連接器，如同前述 第（1 )項，其中前述基板係以矽所形成。 (3 )本發明其他形態之小間距用連接器，如同前述 第（1 )項，其中前述第1端子電極被設成各別端子電極 間的間距爲6 0 /z m以下。 (4 )本發明其他形態之小間距用連接器，·如同前述 第（1 )項，前述第2端子電極被設定成各別端子電極間 的間距爲8 Ο μ m以上。 (5 )本發明其他實施形態之小間距用連接器，如同 前述第（1 )項，其中構成前述第2端子電極，作爲用來 與可撓性基板，帶狀搭載組件等的可撓性基板連接之端子 電極。 針對本發明的前述（1 )〜（5 )項，以矽形成經由 配線變換第1端子電極間的間距及前述第2端子電極間的 間距之小間距用連接器的基板，因而縮小熱膨脹率；進而 能利用與形成半導體裝置的順序同樣的手法形成該連接器 ，而能夠容易地形成小間距的配線。 另外，小間距用連接器其第1端子電極的端子間距被 設定爲6 0 // m以下。此6 Ο μ m以下的小間距之端子電 極，過去的連接器則是無法形成’利用本發明的小間距用 連接器首度能能夠達成。 另外，小間距用連接器其第2端子電極的端子間距被
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -8 - 508877 A7 __ B7 ____ 五、發明說明（6 ) 設定爲8 0 以上。此樣將第2端子電極的端子間距加 寬到80 //rn以上，第2端子電極與可撓性基板，帶狀搭 載組件等的可撓性基板側端子的間距配合變爲容易，能夠 安定進行與這些可撓性基板的連接。 (6 )本發明其他形態之間距變換裝置，基板上形成 有複數個第1端子電極及複數個第2端子電極；由爲了導 電連接前述第1端子電極與前述第2端子電極而形成配線 之小間距用連接器，及具有與前述第1端子電極導電連接 的外部電極之連接對象物所形成。 (7 )本發明其他形態之間距變換裝置，如同前述第 (6 )項，其中前述基板，具有其熱脹係數相等於前述連 接對象物的熱膨脹係數，或是比前述連接對象物的熱膨脹 係數還小之特性。 (8 )本發明其他形態之間距變換裝置，如同前述第 (6 )項，其中利用相同材料形成前述基板及前述連接對 象物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ---------1---Γ裝—— (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) -丨線· (9 )本發明其他形態之間距變換裝置，如同前述第 (6 )項，其中利用矽形成前述基板及前述連接對象物。 l· (1 0 )本發明其他形態之間距變換裝置，如同前述 第（6 )項，其中介由導電性構件導電連接前述第 電極與前述外部電極。 針對本發明的前述（6 )〜（1 0 )項，因小間g巨帛 連接器的基板，具有其熱膨脹係數略相等於連接對象 熱膨脹係數，或是熱膨脹係數比前述連接對象物g &胃 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> 7〇Ζ -------- 508877 A7 __ _________________________ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（7 ) 性’所以經由加壓及加熱連接連接器側的第1端子電極與 連接對象物側的外部電極之際，能夠將兩者間幾乎相同量 延伸而變動所疊合之電極相互間的相對位置之狀況抑制在 最小限度。 •另外’利用相同材料形成小間距用連接器的基板及連 接對象物，就能夠抑制所疊合電極相互間相對位置的變動 〇 另外，用高傳熱性的矽作爲小間距用連接器的基板及 連接對象物的材料，因而能更提高放熱效果，可以防止因 溫度上升而增大電阻値。 另外，介由導電性構件連接連接器側的第1端子電極 與連接對象物側的外部電極，因而能夠更確實兩者間的導 電連接。 (1 1 )本發明其他形態之電極的連接方法，其特徵 爲：當連接被形成在具有間距變換功能的小間距用連接器 之端子電極與被形成在連接對象物之外部電極時，根據前 述小間距用連接器與前述連接對象物的熱膨脹係數之差設 定加熱條件，將連接前述端子電極與前述外部電極之領域 加熱加壓。 (1 2 )本發明其他形態之電極的連接方法，如同前 述第（1 1 )項，其中依照前述加熱條件，以第1加熱器 加熱前述端子電極側，以第2加熱器加熱前述外部電極側 〇 針對本發明的前述（1 1 )，（ 1 2 )項’若接合對 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) -丨裝 •線- -T · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -1〇 - 508877 A7 __ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（8 ) 象物不同則熱膨脹係數也不同。因而，在前述端子電極側 及前述外部電極側分別獨立設置加熱器，根據前述小間距 用連接器與前述連接對象物的熱膨脹係數之差設定加熱條 件控制這些加熱器，熱膨脹係數較小的接合對象物側設爲 高溫側，熱膨脹係數較大的接合對象物側設爲低溫側，設 定些兩者間的溫度而使端子電極的間隔成爲相等。由於此 因’能夠使被形成在接合對象物之端子電極的間隔分別相 等；就是熱膨脹係數不同的接合對象物也能夠確實地使端 子電極相互間連接。 (1 3 )本發明其他形態之微型機器係由下述的構成 所形成。即是具有運動機構部及形成有複數個第1端子電 極的第1基板之微型機器；也是具有爲了與前述複數個第 1端子電極導電連接而形成第2端子電極之第2基板，在 前述第2基板上形成有複數個第3電極及爲了導電連接前 述第2端子電極與前述第3端子電極之配線，前述配線具 有變換前述第2端子電極間的間距及前述第3端子電極間 的間距之功能而形成之微型機器。 針對本發明的前述（1 3 )項，因微型機器個別構成 形成有該運動機構部之第1基板及對外部進行連接之第2 基板，所以能夠將第1基板的面積抑制在最小限度。 (1 4 )本發明其他形態之壓電致動器係由下述的構 成所形成。即是具有壓電元件及形成有複數個第1端子電 極的第1基板之壓電致動器；也是具有爲了與前述複數個 第1端子電極導電連接而形成第2端子電極之第2基板， 請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 裝 -丨線· -Γ . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -11 - 508877 A7 B7 五、發明說明（9 ) •--I I I I I ---f i I (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 在前述第2基板上形成有複數個第3端子電極，及爲了導 電連接前述第2端子電極與前述第3端子電極之配線，前 述配線具有變換前述第2端子電極間的間距及前述第3端 子電極間的間距之功能而形成之壓電致動器。 (1 5 )本發明其他形態之靜電致動器係由下述的構 成所形成。即是具有靜電振動子及形成有複數個第1端子 電極的第1基板之靜電致動器；也是具有爲了與前述複數 個第1端子電極導電連接而形成第2端子電極之第2基板 ，在前述第2基板上形成有複數個第3端子電極及爲了導 電連接前述第2端子電極與前述第3端子電極之配線，前 述配線具有變換前述第2端子電極間的間距及前述第3端 子電極的間距之功能而形成之靜電致動器。 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 • L· (1 6 )本發明其他形態之噴墨頭係由下述的構成所 形成。即是具有壓電元件及形成有複數個第1端子電極的 第1基板，利用前述壓電元件使其吐出墨水滴之噴墨頭； 也是具有爲了與前述複數個第1端子電極導電連接而形成 第2端子電極之第2基板，在前述第2基板上形成有複數 個第3端子電極及爲了導電連接第2端子電極與前述第3 端子電極之配線，前述配線具有變換前述第2端子電極間 的間距及前述第3端子電極間之功能而形成之噴墨頭。 (1 7 )本發明其他形態之噴墨頭係由下述的構成所 形成。即是具有靜電振動子及形成有複數個第1端子電極 的第1基板，利用前述靜電振動子使其吐出墨水滴之噴墨 頭；也是具有爲了與前述複數個第1端子電極導電連接而 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐》 -12 - 508877 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7五、發明說明（1〇) 形成第2端子電極之第2基板，在前述第2基板上形成有 複數個第3端子電極及爲了導電連接前述第2端子電極與 前述第3端子電極之配線，前述配線具有變換前述第2端 子電極間的間距及前述第3端子電極間的間距之功能而形 成之噴墨頭。 (1 8 )本發明其他形態之噴墨印表機係由下述的構 成所形成。即是具有設有壓電元件及形成有複數個第1端 子電極的第1基板之噴墨頭而形成之噴墨印表機；具有爲 了與前述複數個第1端子電極導電連接而形成第2端子電 極之第2基板，在前述第2基板上形成有複數個第3端子 電極及爲了導電連接前述第2端子電極與前述第3端子電 極之配線·，前述配線具有變換前述第2端子電極間的間距 及前述第3端子電極間的間距之功能而形成之噴墨印表機 〇 . (1 9 )本發明其他形態之噴墨印表機係由下述的構 成所形成。即是具有設有靜電振動子及形成有複數個第1 端子電極的第1基板之噴墨頭所形成之噴墨印表機/也是 具有爲了與前述複數個第1端子電極導電連接而形成第2 端子電極之第2基板，在前述第2基板上形成有複數個第 3端子電極，及爲了導電連接前述第2端子電極與前述第 3端子電極之配線，前述配線具有變換前述第2端子電極 間的間距及前述第3端子電極間的間距之功能而形成之噴 墨印表機。 針對本發明的前述（14) ，（16) ，（18)項 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐> -13- ---------·---Γ 裝 i — (請先閱讀背面之注意事項本頁) 訂·· Φ •線. 508877 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（11) ，因個別構成形成有壓電元件之第1基板及對外部進行連 接之第2基板，所以能夠將第1基板的面積抑制在最小限 度。 另外，針對本發明的前述（1 5 ) ，(17)，( 1 9 )項，因個別構成形成有靜電振動子之第1基板及對 外部進行連接之第2基板，所以能夠將第1基板的面積抑 制在最小限度。 (2 0 )本發明其他形態之液晶裝置係由下述的構成 所形成。即是液晶挾持在第1基板與第2基板之間，前述 第2基板當中在一者的基板形成有複數個第1端子電極之 液晶裝置；也是具有爲了與前複數個第1端子電極導電連 接而形成第2端子電極之第3基板，在前述第3基板上形 成有複數個第3端子電極及爲了導電連接前述第2端子電 極與前述第3端子電極之配線，前述配線具有變換前述第 2端子電極間的間距及前述第3端子電極間的間距之功能 而形成之液晶裝置。 針對本發明的前述（2 0 )項，因液晶挾持在第1基 板與第2基板之間，並且個別構成前述第2基板當中在一 者的基板上形成有複數個第1端子電極之所謂的液晶格及 對外部進行連接之第3基板，所以能夠將液晶格中第1端 子電極所占用的面積抑制在最小限度。因而就是與過去相 同面積的液晶格也能夠大幅確保該液晶格之液晶顯示部位 。另外由於容易增加連接部的端子數，因而能夠縮小像素 間距，且能夠高精細化。 ---------ί — ΙΓ 裝--- (請先閱讀背面之注意事項jUk本頁) -i線· -L. Γ · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -14 - 508877 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（12) (2 1 )本發明其他形態之電子機器係由下述的構成 所形成。即是具有液晶裝置之電子機器；也是前述液晶裝 置具有第1基板及第2基板，液晶挾持在第1基板與第2 基板之間，前述第1基板或是前述第2基板當中在一者的 基板上形成有複數個第1端子電極，具有爲了與前述複數 個第1端子電極導電連接而形成第2端子電極之第3基板 ，在前述第3基板上形成有複數個第3端子電極及爲了連 接前述第2端子電極與前述第3端子電極之配線，前述配 線具有變換前述第2端子電極間的間距及前述第3端子電 極間的間距之功能而形成之電子機器。 針對本發明的前述（2 1 )項，因具有液晶裝置的電 子機器，該液晶裝置液晶挾持在第1基板與第2基板之間 ，並且各別構成前述第1基板或是前述第2基板當中在一 者的基板形成有複數個第1端子電極之所謂的液晶格’及 對外部進行連接之第3基板，所以能夠將液晶格中第1端 子電極所占用之面積抑制在最小限度。此結果’電子機器 容易小型化。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係爲表示本發明實施形態1之間距變換裝置， 也是表示小間距用連接器，及連接這個連接器其連接對象 物的端子部位之正面圖。 第2圖係爲表示連接連接對象物與小間距用連接器的 順序之說明圖。 (請先閱讀背面之注意事項η 裝—— ▼寫4頁) 訂· •線. Γ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -15 - 508877 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 _五、發明說明（13) 第3圖係爲第2圖中d部擴大圖。 第4 ( a )及4 ( b )圖係爲連接對象物與小間距用 連接器的連接過程之第2圖中B - B線斷面圖。 第5 ( a )〜5 ( c )圖係爲表示實施形態1其小間 距用連接器的製造順序之過程說明圖。 第6 ( a )〜6 ( c ))圖係爲表示實施形態1其小 間距用連接器的製造順序之過程說明圖。 第7 ( a )及7 ( b )圖係爲表示本發明的實施形態 2其微型機器之作爲一例的微型泵之說明圖。 第8圖係爲表示本發明旳實施形態3其作爲其他例的 光調變裝置之要部組裝分解斜視圖。 第9圖係爲表示本發明的實施形態4的壓電致動器之 說明圖。 第1 0圖係爲表示本發明的實施形態5的用壓電致動 器的噴墨頭之槪念圖。 第11 (a)及11 (b)圖係爲表示本發明的實施 形態6的用靜電致動器的噴墨頭構造之說明圖。 第1 2圖係爲表示本發明的實施形態7其噴墨頭的組 裝例之說明圖。 第1 3圖係爲表示實施形態7的噴墨印表機之說明圖 〇 第1 4圖係爲表示本發明的實施形態8的液晶裝置之 說明圖。 ’ 第1 5圖係爲表示本發明的實施形態9的液晶裝置之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公f > -16- f請先閱讀背面之注意事項Η 裝i. 本頁) 線· Γ 508877 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（14) 6兌明圖。 第1 6圖係爲表示本發明的實施形態1 〇的利用液晶 裝置之電子機器的一例之行動電話之說明圖。 第1 7圖係爲過去的連接對象物及由可撓性基板所形 成的連接器之要部擴大圖。 第1 8圖係爲表示連接過去的連接對象物與連接器的 順序之說明圖。 第19 (a)及19 (b)圖係爲表示過去的連接對 象物與連接器的連接過程之第18圖中C-C斷面圖。 符號說明 1 連接對象物 3 端子電極 ‘ 4 連接器 5 端子電極 6 端子電極 6 A 配線 7 接合台 8 接合工具 9 加熱器 2 0 小間距用連接器 2 2 基板 2 2 A 緣部 ’ 2 2 B 端部 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 裝 •線· * 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -17 · A7 _____B7 2 4 金 屬 配 線 2 6 連 接 對 象 物 2 8 丄山 m 子 電 極 3 0 端 子 電 極 3 2 端 子 電 極 3 4 接 合台 3 6 下 部 加 熱 器 3 8 導 電 性粒 子 4 0 接 著 劑 4 2 接 合 工 具 4 4 上 部 加 熱 器 4 6 半 導 體 晶 圓 4 8 切 割 線 5 0 絕 緣 膜 5 2 金 屬 膜 5 4 光抗 蝕 劑 膜 508877 五、發明說明（15) ---------.---Γ 裝 i — (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) --線· 〔實施形態〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (實施形態1 ) Γ · 第1圖係爲表示本實施形態之間距變換裝置，也是表 示小間距用連接器及連接這個連接器之連接對象物的端子 部位之正面圖。如第1圖所示本實施形態之小間距用連接 器2 0形成爲在基板2 2的表面形成金屬配線2 4之形態 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -18- 508877 A7 B7 五、發明說明（16) I n n n I 1« I I »ι^ϋ n .1 I n (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 基板2 2係由長方形的單結晶矽所形成，將半導體裝 置形成在其表面之半導體晶圓切割成格子狀而進行製作。 然後在其表面呈橫切基板2 2設置複數條金屬配線，在該 金屬配線2 4的單側端部，即是在基板2 2的緣部2 2A ，形成有能與被設在連接對象物2 6之端子電極2 8疊合 的成爲接合部之端子電極3 0。也就是端子電極3 0被設 定成與端子電極2 8的間距（例如，端子間距6 0 # m ) 成爲相同間距（端子間距6 0 m )。另則，在與基板 2 2中的端子電極3 0相反側的端部2 2 δ，從端子電極 --線· 3 0開始形成有具有與端子電極同數的電極不過其寬度及 間距擴張到8 0 # m以上之端子電極3 2，與可撓性基板 或帶狀搭載組件等的可撓性基板側端子的間距配合變爲容 易，而能夠安定地進行與這些可撓性基板的連接。即是被 設在基板2 2的表面之金屬配線2 4，從緣部2 2A至緣 部2 2 B之間配線寬與配線相互間的間隔，從連接對象物 2 6側之微細端子電極的小間距變成爲撓性基板側端子電 極的擴大間距，從端子電極3 0導通到端子電極3 2 / 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制农 然而，形成有端子電極2 8之連接對象物2 6係在利 用與基板2 2同樣的材料所形成之矽基板上設置壓電元件 ，經由此壓電元件的振動而吹出墨水之列印頭（以下，稱 爲列印手段部）；電壓施加到端子電極2 8就能移動（振 動）被設在連接對象物2 6之壓電元件。 其次，列舉具有前述的構成之小間距用連接器2 0與 連接對象物2 6的連接，根據第2〜4圖說明本發明其電 未纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮1 :19 - 508877 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（17) 極的連接方法。第2圖係爲夾著導電性構件疊合連接對象 物2 6的端子電極2 8與小間距用連接器2 0的端子電極 3 0，經由加壓及加熱進行連接的過程之說明圖。第3圖 係爲第2圖中d部之擴大圖。第4圖係爲第2圖中B — B 斷面圖。 - 如這些圖所示，當小間距用連接器2 0連接到連接對 象物2 6之際，首先在接合台3 4的上面設置連接對象物 2 6。在接合台3 4的內部設置下部加熱器3 6 ,使其移 動該下部加熱器3 6，因而能對連接對象物2 6等進行加 熱。 在被設置於接合台3 4的上面之連接對象物2 6的上 方，配置連接器2 0使連接器側的端子電極3 0疊合到這 些端子電極2 8。此處則是在端子電極2 8與端子電極 3 0之間，如第3圖所示塗敷含導電性粒子3 8之連接 4 0 ;從連接器2 0的背面側加壓該連接器2 0，導電性 粒子3 8就與端子電極2 8或端子電極3 0接觸，介由導 電性粒子3 8導通這些端子電極相互間。另外含導電性粒 子3 8之接著劑4 0，經由移動下部加熱器3 6或內藏在 後述的接合工具的加熱器而促進硬化。 在端子電極3 0的上方，即是在小間距用連接器2 0 的上方配置接合工具4 2 ;此接合工具4 2被安裝在直線 導引（未圖示），沿著直線導引能昇降接合工具4 2。然 後使接合工具4 2下降，而從背面側推壓小間距用連接器 2 0，夾隔導電性粒子3 8使所疊合之端子電極2 8與端 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) -·裝 --線. -L. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -20 - 508877 A7 ___Β7^____ 五、發明說明（18) ---------.---Γ裝—— (請先閱讀背面之注意事項Jli寫本頁) 子電極3 0密接。另外在接合工具4 2內藏有上部加熱器 44，移動該上部加熱器44，加熱接合工具4 2的先端 ’就能進行小間距用連接器2 0側的加熱。 然則，上部加熱器4 4及下部加熱器3 6，經設定溫 度使其當下降接合工具4 2而該接合工具4 2的先端推壓 基板2 2的背面側之際，以端子電極2 8與端子電極3 0 的境界線爲中心其周圍的溫度成爲均等，即是在基板2 2 與連接對象物2 6之間不致產生溫度差。然而，上部加熱 器4 4及下部加熱器3 6之設定溫當然是被設定在達到接 著劑4 0的促進硬化之溫度以上。 此樣，上部加熱器4 4及下部加熱器3 6進行溫度設 定後，使接合工具4 2下降，進行端子電極2 8與端子電 極30的連接，從第4 (a)圖所示的狀態轉變爲第4 ( b )圖所示的狀態。 •線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而’此處則是端子電極2 8與端子電極3 0的連接 ，用含導電性粒子3 8之異方性導電接著劑或是將異方性 導電接著劑形成爲薄膜狀之異方性導電膜，介由被含在接 著劑中之導電性粒子3 8使其密接，但並不一定需要導電 性粒子3 8。未夾隔導電性粒子3 8時，擇取利用相互間 溶接或是壓接使其金屬接合所連接之端子電極2 8與端子 電極3 0之形態。 此處則是以相同的材料（矽）構成基板2 2及連接對 象物2 6 ’使其連接端子電極2 8與端子電極3 0之際， 基板2 2與連接對象物2 6的加熱溫度相等，而在兩者之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐> -21 - 508877 A7 —一 —___B7 _ 五、發明說明（19) -----!·---Γ 裝--- (請先閱讀背面之注意事項本頁) 間不致產生溫度差，所以加熱所形成的延伸率相等，端子 電極2 8與端子電極3 0的相對位置不致發生變動。因而 能確實地進行兩端子電極的接合；電極連接時能夠防止造 成電阻値增大或接合不良以及與鄰接端子的短路等之故障 °然而，本實施形態則是舉例以矽作爲構成基板2 2及連 接對象物2 6的材料作說明。此情況，依據本發明者進行 種種的檢討，配線間距爲2 5 // m以下，例如就是配線間 距爲1 5 // m程度進行連接也能夠確實地連接已被確認。 從此情況推測澈是配線間距爲1 5 // m以下進行連接，在 能分解連接的範圍也能連接。 ;線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 L. 然而，基板2 2及連接對象物2 6不一定必要相同材 質，就是兩者的材質不同，隨著此不同材質之熱膨脹係數 具有差異，加熱時設定溫度差也能夠確賓地接合基板2 2 與連接對象物2 6。即是使其變動上部加熱器4 4及下部 加熱器3 6的輸出値，且在基板2 2與連接對象物2 6之 間積極地使其產生溫度差。具體上，設定被配置在熱膨脹 係數較小側之加熱器的溫度使其成爲高溫側，設定被配置 熱膨脹係數較大側之加熱器的溫度使其成爲低溫側。此樣 積極地使其產生溫度差，吸收因熱膨脹係數相異所形成之 延伸率，兩端子電極的相對位置'相等就能夠確實地接合， 且能夠防止造成電極連接時所發生電阻値增大或接合不良 以及與鄰接端子的短路之故障。 G 其次，說明本實施形態小間距用連接器的、製造方法。 第5，6圖係表示本實施形態小間距用連接器的製造順序 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210、297公釐> -22 - ' 508877 A7 B7 五、發明說明（2〇) ---------Γ----- (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 之過程說明圖。然而在於這些圖中，表示從第1圖中A -A斷面方向逐一將金屬配線形成在基板的順序；各圖中的 虛線表示爲了與鄰接所形成之小間距用連接器進行分離之 切割線4 8。 首先，在以第5 ( a )圖所示的單結晶矽所形成之半 導體晶圓46的表面，如第5 (b)圖所示形成5000 〜2 0 0 0 0 A厚度的絕緣膜5 0。例如用經由C V D法 所堆積之 B P S G ( Boron-Phospho-Silicate Glass )，或乾 式熱氧化或者是濕式熱氧化而形成上述絕緣膜5 0亦可。 此樣在半導體晶圓4 6的表面形成絕緣膜5 0後，將 設有絕緣膜5 0之半導體晶圓4 6配置在壓力2〜5m Tori·，溫度150〜300 °C的氬氣氣相中，八1 — Cu，Al-Si-Cu，Al-Si.，Ni ，Cr ， 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A u等設爲標靶，以D C 9〜1 2 KW的輸入電力進行濺 射，用來形成具有與這些標靶相同組成的金屬配線之金屬 膜5 2堆積2 0 0〜20 0 0 0 A。然而除了前述以外， 以C II爲基層堆積A 1約1 0 0 0A作爲金屬膜5 0亦可 。此狀態顯示在第5 ( c )圖中。 然後，在絕緣膜5 0的上面形成金屬膜5 2後，如第 6 ( a )圖所示在金屬膜5 2的上部塗敷光抗飩劑膜5 4 。其後，如第6 ( b )圖所示經由光蝕法進行圖案處理， 除去形成金屬配線的部分以外之光抗蝕劑膜5 4，並且以 光抗蝕劑膜5 4作爲光罩蝕刻金屬膜5 2。其後，如第6 (b ) ，6 ( c )圖所示除去經蝕刻金屬膜5 2所形成的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱> - 23- 508877 A7 B7 五、發明說明（21) 金屬配線2 4上部之光抗鈾劑膜5 4 ’接著沿著切割線 4 8進行切割作業，從半導體晶圓4 6截取小間距用連接 --------Γ I —I-· · 1 I (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 器。 (實施形態2 ) 第7圖係爲關於作爲本實施形態的微型機一例之微型 泵；第7 (a)圖表示微型泵之上面圖’第7 (b)圖表 示其斷面圖。 微型泵係爲以2片的玻璃基板1 0 2及1 〇 3呈包夾 狀挾持經由微型機器加工方法所加工的矽基板1 0 1之構 造；由吸入側泵1 0 4吸入流體，朝吐出側泵1 〇 5吐出 流體。 -•線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 L. 其動作原理··電壓施加到被張貼在形成於矽基板 1 0 1中央部的隔片1 〇 6之壓電元件1 0 7，經由彎曲 變化壓力室1 0 8內的壓力，與該壓力室1 〇 8空間上連 接著之吸入側閥膜1 0 9及吐出側閥膜1 1 1使其變位’ 因而開閉吸入閥1 1 2及吐出閥1 1 3，從吸入側管路 1 0 4流體壓送到吐出側管路1 〇 5。然而’在於第7 ( b )圖，壓力室1 0 8及吸入側閥膜1 〇 9上側的空間與 吐出側閥膜1 1 1下側的空間爲連接著。 在於此例也是夾隔與前述的第1 ’ 2，3圖所示同樣 的小間距用連接器進行加壓·加熱時的溫度管理，同時進 行與外部的配線，防止接合之際相互間端子相對位置的變 動。然後，此樣另外設置小間距連接器就能夠製造小型的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · 24 - 508877 A7 B7 五、發明說明（22) 微型泵。 然後，接合微型泵側的端子電極及小間距連接器側的 端子電極之際，夾隔導電性構件，即是夾隔含導電性粒子 之異方性導電接著劑或異方性導電接著劑形成爲薄膜狀之 異方性導電膜時，介由異方性導電接著劑或異方性導電膜 使其密接這些所連接之端子電極相互間；未夾隔異方性導 電接著劑或異方性導電膜時，利用溶接或是壓接使其金屬 接合所連接之端子電極相互間。 (實施形態3 ) 第8圖係表示作爲本實施形態的其他例之光調變裝置 其要部之組裝分解斜視圖。 此光調變裝置，大體上係由矽基板2 0 0，玻璃基板 2 2 0以及外蓋基板2 5 0所構成。 矽基板2 0 0具有被配列在矩陣上之複數個微小鏡片 2 0 2。此複數個微小鏡片1 0 2當中，沿著一方向例如 沿著第8圖的X方向所配列之微小鏡片2 0 2利用連接桿 2 0 4連結著。進而，包圍配置有複數個微小鏡片2 0 2 的領域設置框狀部2 0 6。在此框狀部2 0 6分別連結著 複數根連接桿2 0 4的兩端。另外微小鏡片2 0 2，在與 連接桿2 0 4之連結部分的周圍形成有間隙，而形成此間 隙就能容易朝連接桿2 0 4的軸線周圍方向傾斜驅動。進 而在微小鏡片2 0 2的表面形成反射層2 0 2 a。然後傾 斜驅動微小鏡片2 0 2，就能變化對這個微小鏡片2 0 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> (請先閱讀背面之注意事項Η 裝—— f本頁) --線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 508877 A7 B7 五、發明說明（23) 所入射光的反射方向。然後控制朝向預定反射方向使光反 射之時間，就能夠進行光的調變。用來傾斜驅動此微小鏡 片2 0 2之電路被形成在玻璃基板2 2 0。 玻璃基板220，在中央領域具有凹部222，在其 周圍具有上突部2 2 4。上突部2 2 4的一邊開口作爲電 極取出口 2 2 6 ;在此電極取出口 2 2 6的外側形成有與 凹部2 2 2連接之電極取出板部2 2 8。另外玻璃基板 2 2 0的凹部2 2 2，具有在於X方向與相鄰的· 2個微小 鏡片2 0 2間之連接桿2 0 4對向的位置，形成比凹部 2 2 2還突出，具有與上突部2 2 4的頂面相同高度之多 數個支柱部2 3 0。進而在玻璃基板2 2 0的凹部2 2 2 及電極取出板部2 2 8上形成有配線圖案部2 3 2，此配 線圖案部2 2 3，在與夾著連接器2 0 4之兩側的微小鏡 片2 0 2背面對向之位置，分別具有第1 ，第2的位址電 極2 3 4，2 3 6。然後，沿著Y方向所配列之第1位址 電極2 3 4被共通連接到第1共通配線2 3 8。同樣地， 沿著Y方向所配列之第2位址電極2 3 6被共通連接到第 2共通配線2 4 0。 在具有前述構造之玻璃基板2 2 0的上面陽極接合矽 基板2 00。此時，矽基板200的連接桿204之兩端 部及框狀部2 0 6與玻璃基板2 2 0的上突部2 2 4接合 。進而，矽基板2 0 0的連接桿2 0 4之中間部與玻璃基 板2 2 0之支柱部2 3 0陽極接合。更其後，在矽基板 200的框狀部206上接合外蓋基板250。然後，與 (請先閱讀背面之注意事項Η 裝—— j寫本頁) _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -26 - 508877 A7 __________________ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（24) 框狀部2 0 6連結著之各個連接桿1 〇 4的兩端部’在於 從框狀部2 0 6隔離的位置切割。進而包含開口形成在玻 璃基板2 2 0的上突部2 2 4之電極取出口 2 2 6之周緣 部利用封合材被封合密閉，而完成光調變裝置。然後，在 已完成之光調變裝置的第1共通配線2 3 8及第2共通配 線2 4 0，連接與前述的第1 ，2，3圖所示同樣的小間 距連接器；介由小間距連接器與搭載驅動I C之帶狀搭載 組件等之可撓性基板連接，從外部所發出的訊號輸入到光 調變裝置。 在於此例，也是在各共通配線2 3 8，2 4 0與小間 距連接器連接時進行溫度管理同時進行這些的連接，防止 接合之際相互間端子相對位置的變動。然後，此樣另外設 置小間距連接器就能夠將玻璃基板2 2 0中配線端子所占 用的面積抑制在最小限度，且能夠製造小型的光調變裝置 。然而，光調變裝置側的成爲端子電極之共通配線2 3 8 ，2 4 0與小間距側之端子電極接合之際，夾隔導電性構 件，即是夾隔含導電性粒子之異方性導電接著劑或異方性 導電接著劑形成爲薄膜狀之異方性導電膜時’介由異方性 導電接著劑或異方性導電膜使其密接這些所連接之端子電 極相互間；未夾隔異方性導電接著劑或異方性導電膜時， 利用溶接或是壓接使其金屬接合所連接之端子電極相互間 (實施形態4 ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -27 - (請先閱讀背面之注意事項
本頁) •線· 508877 A7 ----- B7 五、發明說明（25) 第9圖係表示本實施形態的壓電致動器之說明圖。 壓電致動器具備··兩側形成有外部電極3 0 2 e， 302f (圖中粗線所示的部位）之壓電振動子302, 及保持此壓電振動子3 0 2之保持構件3 1 0。在保持構 件310形成有突起部311，壓電振動子302在突起 部3 1 f的接合領域A接合到保持構件3 1 0。壓電振動 子302的外部電極302e，302f從壓電振動子 3 0 2的兩側面分別延長到第1面3 0 2 b的中程。另外 ’被形成在保持構件3 1 0之以粗線所示之電極3 1 0 a ’ 3 1 〇b也是從兩外緣延長到突起部3 1 1的中程。然 後，在設於突起部3 1 1之接合領域A剛體地接合壓電振 動子3 0 2與保持構件3 1 0，並且連接壓電振動子的外 部電極302e，302f與保持構件的電極310a， 310b，而使其導通這些電極。進而，在保持構件 310的電極310a ，310b連接與前述的第1 ，2 ，3圖所示同樣的小間距連接器3 2 0，介由小間距連接 器3 2 0而與帶狀搭載組件等的可撓性基板連接，從外部 所發出的訊號輸入到壓電致動器。 在於此例，也是當保持構件3 1 0的電極3 1 0 a ， 3 1 0 b與小間距連接器3 2 0連接時進行溫度管理’並 且進行這些電極的連接，防止接合之際相互間端子電極相 對位置的變動。然後，此樣另外設置小間距連接器就能夠 將壓電致動器中配線端子所占用的面積抑制在最小限度並 且能夠製造小型的壓電致動器，且能夠降低製造成本。然 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> ，28 - (請先閱讀背面之注意事項Η 裝--- 1 寫本頁} i線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508877 Α7 Β7 五、發明說明（26) 而，壓電致動器側的端子電極3 1 0 a ，3 1 0 b與小間 距連接器3 2 0側的端子電極接合之際，夾隔導電性構件 ，即是夾隔含導電性粒子之異方性導電接著劑台將異方性 導電接著劑形成爲薄膜狀之異方性導電膜時，介由異方性 導電接著劑或異方性導電膜使其密接這些所連接之端子電 極相互間；未夾隔異方性導電接著劑或異方性導電膜時， 利用溶接或是壓接使其金屬接合所連接之端子電極相互間 (請先閱讀背面之注意事項Η 裝—— 曹寫纟頁) (實施形態5 ) 第1 0圖係表示用前述第9圖的壓電致動器之本實施 形態的噴墨頭之槪念圖；與前述第9圖相同部位附註相同 圖號。 ••線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -L · 此噴墨頭4 0 0在利用流路形成構件4 0及振動板 4 0 2所形成之墨水流路4 0 4的先端，接合配置噴嘴 4 0 6之噴嘴板4 0 8 ;在其相反側的端邊’配置墨水供 給部4 1 0。然後，壓電致動器設置成銜接機械性作用面 4 1 2及振動板402，配置成與墨水流路4 1 0對面。 然後，壓電振動子302其兩側的外部電極302e ， 302f與保持構件310的電極310a ，310b連 接，保持構件310的電極31〇a ，310b介由與前 述的第1 ，2，3圖所示同樣的小間距連接器3 2 0 (參 照第9圖）而與帶狀搭載組件等的可撓性基板連接，從外 部所發出的訊號輸入到壓電致動器。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ^29- 508877 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（27) 在於此構成，墨水塡充在墨水流路4 1 0內（至噴嘴 406的先端爲止），驅動前述壓電致動器，則機械性作 用面4 1 2高效率地同時發生膨脹變形及鬆弛變形，得出 第1 0圖中上下方向的非常大的有效變位。經由此變形， 如圖中的點線所示對應於機械性作用面4 1 2而振動板 4 0 2變形，墨水流路4 1 0內使其產生較大的壓力變化 (體積變化）。藉由此壓力變化而從噴墨406朝圖中箭 頭指示方向吐出墨水滴，不過經由其高效率的壓力變化， 墨水吐出也非常有效率。 然後，此樣因另外設置小間距連接器就能夠將壓電致 動器中配線端子所占用的面積抑制在最小限度，所以能夠 製造小型的噴墨頭。然而，如同已敘述過，壓電致動器側 的端子電極3 1 0 a ，3 1 0 b與小間距連接器3 2 0側 的端子電極接合之際，夾隔導電性構件，即是夾隔含導電 性粒子之異方性導電接著劑或將異方性導電接著劑形成爲 薄膜狀之異方性導電膜時，介由異方性導電接著劑或異方 性導電膜使其密接這些所連接之端子電極相互間；未夾隔 異方性導電接著劑或異方性導電膜時，利用溶接或是壓接 使其金屬結合所連接之端子電極相互間。 (實施形態6 ) 第1 1 ( a ) ，1 1 ( b )圖係表示用微型機器加工 技術所製成之靜電致動器的構造之說明圖。 * 靜電致動器5 6係爲用於噴墨印表機之噴墨頭，也是 (請先閱讀背面之注意事項w 裝--- f寫本頁) 訂· -線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -30- 508877 A7 B7 五、發明說明（28) 經由微型機器處理技術之微細加工技術所形成微小構造之 致動器。 I 騰 I I I I !| I I f i I (請先閱讀背面之注咅？事項vm寫本頁) 此種微小構造的致動器係利用靜電力作爲其驅動 '源° 利用該靜電力吐出墨水滴5 8之噴墨頭6 0，其連通到噴 嘴之墨水流路6 4的底面被形成作爲能彈性變形的成爲振 動子之振動板6 6，在該振動板6 6隔著一定的間隔（圖 中，參照尺寸Q )對向配置基板，在這些振動板6 6及基 板的表面分別配置對向電極9 0。 然後，電壓施加到對向電極，利用彼此間所產生之靜 電力，振動板6 6被靜電吸引到基板6 8側且振動。藉由 此振動板6 6的振動，變動所發生墨水流路6 4的內壓， 因而從噴嘴6 2吐出墨水滴。 i線· 然則，噴墨頭6 0係爲夾隔矽基板7 0，上側相同地 具有矽製的噴嘴板7 2並且在下側分別積層矽酸玻璃製的 玻璃基板7 4之3層構造。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此處，在中央的矽基板7 0，加工作爲經由從其表面 施予蝕刻而獨立的5個墨水室7 6，及連結此5個墨水室 7 6的1個共通墨水室7 8，及連通到此共通墨水室7 8 及各墨水室7 6之墨水供給路8 0等的功能之溝。 這些溝利用噴嘴板7 2阻塞，區隔形成各部位。另外 從矽基板7 0的背側施予蝕刻而形成獨立的5個振動室 7 1 〇 在噴嘴板7 2，噴嘴6 2形成在對應於各墨水室7 6 的先端部之位置且連通到各墨水室7 6。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -31 - 508877 A7 B7 五、發明說明（29) 另外，從墨水槽（未圖示），墨水通過墨水供給口 8 2 ’供給到共通墨水室7 8。 •然而，封合部8 4封合以對向電極9 0及矽基板7 〇 所形成之微細間隙。 另外，各別玻璃基板7 4之對向電極9 0，拉引到圖 中左側的端部側，形成微細間距的端子電極8 6，連接到 本實施形態之以第2基板爲基材之小間距連接器8 8。然 而，進行溫度管理同時進行上述的連接，防止接合之際相 互間端子電極相對位置的變動。 依據上述能以小間距進行連接，且就是墨水室的全寬 縮小形成也能連接。然而，玻璃基板7 4側的端子電極 8 6與小間距連接器8 8側的端子電極連接之際，夾隔導 電性構件，即是夾隔含導電性粒子之異方性導電接著劑或 將異方性導電接著劑形成爲薄膜狀之異方性導電膜時，介 由異方性導電接著劑或異方性導電膜使其密接這些所連接 之端子電極相互間；未夾隔異方性導電接著劑或異方性導 電膜時，利用溶接或是壓接使其金屬接合所連接之端子電 極相互間。 (實施形態7 ) 然則，用前述實施形態5的壓電致動器之噴墨頭 4 0 〇 (第1 0圖）或用實施形態6的靜電致動器之噴墨 頭6 0 (第1 1圖），如第1 2圖所示被安裝在盒匣1 5 0 1。然而，此處則是表示用壓電致動器之噴墨頭 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -32 - -------!.---Γ 裝--- (請先閱讀背面之注意事項本頁) 0 i線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508877 A7 B7 五、發明說明（3〇) 4 0 0的適應例。盒匣5 0 1能自由移動地安裝在導引軌 道5 0 0，朝利用滾筒5 0 3所送出之用紙5 0 4的寬邊 方向控制其位置。此第12圖的機構被裝備在第13圖所 示的噴墨印表機。然而，前述噴墨頭4 0 0也能夠搭載作 爲行式印表機的列印頭。該情況則不需要盒匣。另外，此 處則是用壓電致動器，已舉例說明過往噴頭方向吐出墨水 滴的型式之噴墨頭4 0 0及用噴墨頭之行式印表機5 1 0 ，不過用前述實施形態6之靜電致動器而從表面側吐出墨 水滴的型式之噴墨頭6 0的情況也是同樣的構成。 (實施形態8 ) 第1 4圖係表示本實施形態之液晶裝置的一例之說明 圖，也是表示完成陣列過程及格過程，在模組過程的階段 ，也就是安裝驅動系的電子電路等使其能夠導電控制液晶 格之前的狀態。 液晶裝置6 0 0具備：液晶格6 0 2，及小間距連接 器604，及搭載驅動IC606之帶狀搭載組件608 等。液晶格6 0 2係將液晶材料注入到第1基板6 0 2 a 與第2基板6 0 2 b間且封閉，在一者的第1基板 6 0 2 a (在第1 4圖中，位於上側的基板）上，形成像 素電極，連接到像素電極之薄膜電晶體，導電連接到薄膜 電晶體的源極和閛極之源極線和資料線等，在他者的第2 基板6 0 2 b (在第1 4圖中，位於下側的基板）上，例 如配置對向電極，濾色器等。然後，在模組過程，疊合被 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> 〇3 - ---------·---Γ 裝--- (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 訂： •線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508877 A7 ____B7___ 五、發明說明（31 ) 形成在液晶格6 0 2之端子電極（間距爲6 0 // m以下） --------.---Γ 裝--- (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 6 1 〇與成爲第3基板之小間距連接器6 0 4其微細間距 之端子電極（間距爲60//m以下）612，或是夾隔導 電性構件疊合這些端子電極6 1 0，6 1 2，經加熱及加 壓而被連接。另外從小間距連接器6 0 4其微細間距之端 子電極匕12的他者擴大延伸出之配線圖案的末端之端子 電極（間距爲8 0 # m以上）6 1 4與帶狀搭載組件 6 0 8之端子電極6 1 6連接，因此導通端子電極6 1 0 與驅動I C 6 0 6。 --線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然後，此樣另外設置也是第3基板之小間距連接器 6 0 4就能夠將液晶格6 0 2中端子電極6 1 0所占用的 面積抑制在最小限度。因而就是爲與過去相同面積的液晶 格也能夠大幅確保該液晶格的顯示部位。另外，由於能以 小間距進行連接所以能夠增加連接部的端子數。因此能夠 縮小配線間距及像素運間距，且能夠高精細化。進而若是 利用熱膨脹係數略相等的構件或是小間距連接側熱膨脹係 數比液晶格還小的構件形成液晶格及小間距連接器6 0 4 ，則液晶格側的端子電極與接合到前述端子電極之小間距 連接器側的端子電極接合之際，液晶格與小間距連接器的 熱膨脹係數略相等，或是小間距連接器側的熱膨脹係數變 小，而能夠防止接合之際相互間端子電極相對位置的變動 〇 然而，液晶格6 0 2的端子電極6 1 0與小間距連接 器6 0 4的端子電極6 1 2接合之際，夾隔導電性構件， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -34 - 508877 A7 B7 五、發明說明（32) 即是夾隔含導電性粒之異方性導電接著劑或將異方性導電 接著劑形成爲薄膜狀之異方性導電膜時，介由異方性導電 接著劑或異方性導電膜使其密接這些所連接之端子電極相 互間；未夾隔異方性導電接著劑或異方性導電膜時，利用 溶接或是壓接使其金屬連接所連接之端子電極相互間。 (實施形態9 ) 第1 5圖係表示本實施形態之液晶裝置的其他例之說 明圖；也是表示完成陣列過程及格過程，在模組過程的階 段，也就是安裝驅動系的電子電路等使其能夠導電控制液 晶格之前的狀態。 此液晶裝置7 0 0，增加連接部的端子數而縮小像數 間距，促使高精細化；具備：液晶格7 0 2，及小間距連 接器704，及搭載驅動IC706a和706b，連接 到小間距連接器7 0 4的兩側之帶狀搭載組件7 0 8 a和 7 0 8 b。液晶格7 0 2係將液晶材料注入到第1基板 7 〇 2 a與第2基板7 0 2 b間且封閉；在一者的第1基 板7 0 2 a (在第1 5圖中位於上側的基板）上，形成像 素電極，連接到像素電極之薄膜電晶體，導電連接到薄膜 電晶體的源極和閘極之源極線和資料線；在他者的第2基 板7 0 2 b (在第1 5圖中位於下側的基板）上’例如配 置對向電極，濾色器等。然後，在模組過程’疊合被形成 在液晶格7 0 2之端子電極（間距爲6 0 // m以下V 7 1 〇與成爲第3電極3之小間距連接器7 〇 4的微細間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -35 - ----1----·---Γ ·裝 --- (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 訂： --線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508877 A7 B7 五、發明說明（33) -----I---1---Γ * 裝 i I (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 之端子電極（間距爲60//m以下）712，或是夾隔導 電性構件疊合這端子電極7 1 〇，7 1 2，經由加壓及加 熱被連接。另外從小間距連接器7 0 4的微細間距之端子 電極7 1 2的他方擴大延伸出之配線圖案末端側被區隔成 左右分別形成在端子電極（間距爲8 0 // m以上） 714a ，714b，與左右的帶狀搭載組件708a ， 708b之端子電極716a ，716b連接，因此導通 端子電極710與各驅動IC706a，706b。 --線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然後，另外設置也是第3基板之小間距連接器7 0 4 ，就能夠增加液晶格7 0 2之端子電極7 1 0個數。因此 ，縮小配線間距及像素間距，能夠高精細化。進而若是利 用熱膨脹係數略相等的構件，或是利用小間距連接器側熱 膨脹係數比液晶格還小的構件，形成液晶格7 0 2及小間 距連接器7 0 4，則接合液晶格側的端子電極與接合到前 述端子電極之小間距連接器側的端子電極之際，液晶格及 小間距連接器的熱膨脹係數略相等，或是小間距連接器側 的熱膨脹係數較小，而能夠防止接合之際相互間端子電極 相對位置的變動。 然而，液晶格7 0 2的端子電極7 1 0與小間距連接 器7 0 4的端子電極接合之際，夾隔導電性構件，即是夾 隔含導電性粒子之異方性導電接著劑或將異方性導電接著 劑形成爲薄膜狀之異方性導電膜時，介由異方性導電接著 劑或異方性導電膜使其密接這些所連接之端子電極相互間 :未夾隔異方性導電接著劑或異方性導電膜時，利用溶接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱> -36- 508877 A7 B7 五、發明說明（34 ) 或是壓接使其金屬接合所連接之端子電極相互間。 (實施形態1 0 ) 第1 6圖係表示利用實施形態8所示的液晶裝置或實 施形態9所示的液晶裝置之電子機器的一例之行動電話。 液晶裝置用於第1 6圖所示行動電話8 0 0的顯示部 8 0 2。因此，藉由使用小間距用連接器，縮小液晶裝置 的像素間距而能夠高精細化，且能夠實現備有小型且淸晰 的顯示部802之行動電話800。 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項
I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 適 度 尺 張 紙 本 (CN 準 標 家 21 /V 格 規 釐 公 97 37