TW506036B - Clean box - Google Patents

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TW506036B
TW506036B TW089106953A TW89106953A TW506036B TW 506036 B TW506036 B TW 506036B TW 089106953 A TW089106953 A TW 089106953A TW 89106953 A TW89106953 A TW 89106953A TW 506036 B TW506036 B TW 506036B
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TW
Taiwan
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annular groove
sealing member
container body
clean box
outer cover
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Application number
TW089106953A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Okabe
Toshihiko Miyajima
Hiroshi Igarashi
Original Assignee
Tdk Corp
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506036 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1 ) 發明之背景 1 .發明之領域 本發明係有關於一種密封容器之方法，該方法係適合 供一淸淨箱使用，用以運送及貯存多種之將被處理的物品 ，例如爲在一用以製造一半導體的過程中之半導體晶圓， 一電子零件相關產品，一光碟或類似物，亦有關於一種依 據本方法之容器，特別是一淸淨箱。 2 .相關背景技術 近來，在例如爲半導體裝置製造過程或類似物之需要 一高水平淸淨環境的製造方法中，已採用例如爲一微環境 或一局部淸淨空間的方法，除了製造周遭環境被維持在一 淸淨條件下之外，整體工廠並未維持淸淨。簡言之，僅有 個別處理設備的內部係被維持淸淨，且經由使用內部被維 持淸淨之容器（於後稱之爲淸淨箱）來進行在個別處理設 備之間（淸淨設備）運送與貯存將被處理之物品。 一般而言，淸淨箱具有於一表面處開啓之一矩形容器 本體及供密封容器本體用之可分開外蓋。爲使維持該箱之 內部淸淨，提供一用以密封在外蓋與本體之間的一間隙之 機構，以防止灰麈或類似物自外側進入內部。習知的，一 例如爲一〇形環之彈性密封構件係被裝配在箱本體或外蓋 上，以使在外蓋被關閉的條件下環繞箱本體之一開口，且 密封構件係由在箱本體與外蓋之間工作的例如爲一閂鎖機 構之機械機構所變形’以因而獲致一密封力。但是，由該 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ·11!11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 506036 A7 B7 五、發明說明（2 ) 種機構所可獲致之密封力係有限的。例如，被使用在半導 體裝置之製造方法中的習知淸淨箱，遭受密封不足的問題 ，因此，雖然在某些情況中，已將該箱之內部以非氧化氣 體更換以預防被接收在該箱內之半導體晶圓的天然氧化， 但在習知淸淨箱的密封系統內，換置條件不能維持長時期 〇 相反的，在共同讓與日本專利申請案公開號碼 1 0 — 3 2 1 6 9 6中，揭示一種由真空吸入密封在箱本 體與外蓋之間的一間隙之系統。此一系統將簡要說明。圖 1與2顯示具有一開口於其之底部之真空吸入式淸淨箱。 圖1係淸淨箱的一側視橫剖面圖，且圖2係一外蓋之平面 圖。 如示於圖1，淸淨箱1 0 0係由具有開口於側面表面 之一（於圖1之範例中係底部表面）的實質上之矩形箱本 體1 0 1，及供關閉箱本體1 0 1之開口用的一外蓋 1 0 2所構成。在示於圖1之範例中，以一相等間距固持 被接收在箱內之半導體晶圓的一擱板狀載具1 0 3，係被 固定在外蓋1 2上。供真空吸入用之環形槽1 1 〇係被形 成在外蓋1 0 2之面向箱本體之一表面（上部表面）的周 圍部份中。如示於圖2，做爲個別彈性密封構件之〇形環 均被沿著環形槽1 1 0而裝配在環形槽1 1 0之內側與外 側。在示於圖2之外蓋1 0 2關閉淸淨箱本體1 0 1之開 口的條件中，環形槽1 1 0之內部空間係由箱本體之凸緣 部份1 0 1 a關閉在其之上部部份，即爲，由箱本體之凸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 T叫^___ 1年日修正 Α7 Β7 補充 五、發明説明（3 ) I.-5--J—------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 緣部份1 0 1 a所形成之吸入空間，且環形槽1 1 〇被真 空吸入使得外蓋1 〇 2被吸至箱本體1 〇 1。由一機構（ 未示於圖）通過被提供與環形槽1 1 〇連通之空氣通路 1 1 2，自外蓋之背部表面進行真空排氣。 因而，環形槽被抽空，因此，外蓋1 〇 2被吸至淸淨 相本體1 0 1之凸緣部份1 〇 1 a，以因而獲致一緊密密 封。 依據真空吸入之供淸淨箱用的外蓋之密封系統，其吸 力係非常強且卓越。但是，在前述習知系統中，因爲個別 之密封構件（◦形環）1 〇 5 a，1 〇 5 b均被提供在環 形槽之內側與外側，以個別地供密封環形槽之真空吸入空 間之用，故密封部份需要一相當大之寬度。依此，供箱本 體1 0 1用之凸緣部份1 〇 1 a需要大至某種程度之一寬 度。此會成爲減少淸淨箱尺寸的障礙。 而且，在製造淸淨箱中，除了供真空吸入用的槽之外 ，需要機製供密封構件（0形環）用之二槽。大數量之製 造步驟亦產生問題。這些問題應加以解決。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明之槪要說明 針對前述之缺點，本發明之一目的係提供一種具有簡 單機制之密封方法，用以密封例如爲一淸淨箱之容器的一 外蓋，且應用一真空吸入系統使可以限制密封配置於一較 小區域內，以及提供一種應用該種密封方法所製造之特別 是一淸淨箱之容器。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 506036 A7 B7 五、發明說明（4 ) 依據本發明，一容器（較佳爲一淸淨箱）包含於一表 面處開啓之一容器本體及供關閉容器本體之開口的一外蓋 。一環形槽被形成在容器本體與外蓋的至少其中之一內以 使環繞該開口。一彈性密封構件沿著其之全體長度被裝設 在環形槽內。彈性密封構件之一寬度方向中的一橫剖面， 在環形槽的一深度方向中之尺寸，係具有相對地厚之末端 部份及一相對地薄之中間部份。因而，當外蓋關閉容器本 體之開口時，沿著密封構件之中間部份界定一環形吸入空 間。而且，吸入空間係由在容器本體與外蓋之間的密封構 件之二末端部份彈性變形所密封。進一步的，淸淨箱具有 一進氣/排氣口，用以由外側執行吸入空間的抽空/釋放 0 因而，該特有形態之彈性密封構件係被裝設在可提供 吸入空間之環形槽本身內，因而可以真空吸入方式達成密 封，且不需要提供額外之供密封構件用之槽。依此，可賦 予在狹窄寬度中具有高密封能力之有效的密封。 在本發明之實施例中，環形吸入空間由密封構件之中 間部份在環形槽之深度方向中被分隔爲二空間，密封構件 之中間部份係被提供具有至少一通孔，且該二被分隔之空 間經由通孔而互相連通。更佳的，多數之通孔實質上以一 相等之間距沿著密封構件之環形形態而形成。 依據本發明，提供一種用以密封一容器的方法，該容 器包括一於一表面處開啓之一容器本體及供關閉容器本體 之開口的一外蓋，其中，一環形槽被形成在容器本體與外 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^OJ ϋ n n n 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 506036 A7 B7 五、發明說明（5 ) 蓋的至少其中之一內以使環繞該開口，及一彈性密封構件 沿著其之全體長度被裝設在環形槽內，彈性密封構件之一 寬度方向中的一橫剖面’在環形槽的一深度方向中之尺寸 ，係具有相對地厚之末端部份及一相對地薄之中間部份， 因而，當外蓋關閉容器本體之開口時，沿著密封構件之中 間部份界定一環形吸入空間，且吸入空間係由在容器本體 與外蓋之間的密封構件之二末端部份彈性變形所密封。該 方法包括由真空排氣該吸入空間而密封容器的步驟。 圖形之簡要說明 圖1係在一習知真空吸入系統中之具有一密封部份之 一淸淨箱的側視橫剖面圖； 圖2係示於圖1中之習知淸淨箱外蓋的頂部平面圖； 圖3係依據本發明之一實施例的一淸淨箱之側視橫剖 面圖； 圖4係示於圖3中之淸淨箱外蓋的頂部平面圖；及 圖5係一側視圖，顯示做爲一外部配置之一真空排氣 機構，及示於圖3之淸淨箱的真空吸入密封部份之細部（ 淸淨箱部份係以橫剖面顯示·）。 主要元件對照表 10 淸淨箱 11 淸淨箱本體 1 1 a 凸緣部份 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐）-8 - ί ---------；----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂i i. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 506036 A7 _B7 _ 五、發明說明（6 ) 12 外蓋 1 2 a表面 13 擱板狀載具 15 氣體通路 16 真空口 17 抽空機構 2 0 環形槽 20a 進氣/排氣口 21 密封構件 21a 厚部份 2 1b 中間部份 2 1c 通孔 3 1 閥本體 3 1a 封閉凸緣部份 31b 圓筒形部份 3 1c 結合凸緣 3 2 線圈彈簧 3 3 〇形環 3 5 通路 3 6 引動器 3 6a 氣缸部份 3 7 鈎臂 3 8 〇形環 4 0 上部板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公爱) ----------^^ --------訂 ---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 506036 A7 B7 五、發明說明（7 ) 1 0 0 淸 淨 箱 1 0 1 箱 本 體 1 0 1 a 凸 緣 部 份 1 0 2 外 芸 1 0 3 擱 板 狀 載 具 1 0 5 a 密 封 構 件 1 0 5 b 密 封 構 件 1 1 〇 環 形 槽 1 1 2 空 氣 通 路 S 1 空 間 S 2 空 間 S 3 空 間 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 較佳實施例之詳細說明 參照圖3至5，現在將說明做爲本發明之一實施例的 供在半導體裝置製造過程中被使用以運送及貯存一半導體 晶圓之一淸淨箱。圖3係淸淨箱之側視橫剖面圖。淸淨箱 具有依據本發明之一密封部份。淸淨箱1 〇係由一在一側 面開啓（於本範例中係一底部表面）之實質上爲方形的淸 淨箱本體1 1 ，及一用以封閉淸淨箱本體1 1之一開口的 外蓋1 2所構成。形成沿著淸淨箱本體之一底部部份開口 擴大之一凸緣部份1 1 a。 以一相等間距固持被接收在淸淨箱內之半導體晶圓的 一擱板狀載具1 3，係被固定在外蓋1 2上。如示於圖3 訂 11 考 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -10 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 506036 A7 __ B7 五、發明說明（8 ) 與4 一環形槽2 0被形成以供沿著外蓋1 2之面向淸淨箱 本體之一表面的周圍部份真空吸入。環形槽2 0係被形成 在淸淨箱本體1 1被外蓋1 2封閉之情況下可直接地與淸 淨箱本體1 1之凸緣部份1 1 a接觸的一位置處，因此， 環形槽可環繞淸淨箱之開口。具有一特殊橫剖面形態之一 環形彈性密封構件2 1，係沿著環形槽2 0之環形形態而 埋置。密封構件2 1係由例如爲橡膠之彈性材料製成。 參照圖5，現在將詳細說明供淸淨箱用之一密封機構 ’圖5係一側視剖面圖，顯示供真空排氣環形槽用之一機 構（於後詳述）及淸淨箱之環形槽2 〇附近之主要部份的 橫剖面。環形槽2 0係被形成在具有一實質上之矩形橫剖 面的外蓋1 2中。被配接在環形槽2 0內之一密封構件 2 1具有一啞鈴形態之橫剖面。即爲，密封構件之橫剖面 係被形成使得在環形槽之一深度方向中（圖5之垂直方向 )的一厚度，係在環形槽之寬度方向中（圖5之水平方向 )的二末端處增加，且連接於二末端處之厚部份2 1 a之 一中間部份2 1 b係被減薄。通孔2 1 c以相等間隔沿著 密封構件之周圍方向斷續地形成（示於圖4 )。由圖4可 淸楚看出，於本實施例中，沿著周圍方向形成2 4通孔 2 1 c。圖5係於存在通孔2 1 c的位置處之一剖面圖。 在不存在通孔2 1 c的位置處之一橫剖面中（未示於圖） ’中間薄部份2 1 b係未被通孔2 1 c所中斷之連續地連 接厚部份2 1 a。密封構件2 1於其之下部部份處結合至 環形槽2 0之一底部表面。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11- s mMMmmm mmmmi _·ϋ 11« en mmmmmmm mmmt n «II HI kBPF— · i— n —fli n n n n Γ I I— mmmmmw emmmm i In -V-D (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 506036 A7 __ B7 五、發明說明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在外蓋1 2未裝配至淸淨箱本體1 1上之條件下，在 密封構件2 1之二末端處的厚部份2 1 a具有之厚度使得 厚部份之一厚度以某種程度突出超過外蓋1 2之環形槽 2 0所形成於其上之一表面1 2 a的平面。當外蓋1 2將 被裝配在淸淨箱本體1 1上時，於密封構件之二末端處的 厚部份2 1 a均由淸淨箱本體之凸緣部份1 1 a壓下且彈 性地變形而下降至表面1 2 a之平面，以因而授與密封力 〇 如示於圖5，在外蓋1 2密封淸淨箱本體1 1之條件 下，於環形槽2 0之上部部份處的開口部份，係由淸淨箱 本體之凸緣部份1 1 a所封閉。於此條件下，在淸淨箱本 體之凸緣部份1 1 a與密封構件2 1之上部部份之間形成 一空間S 2，且在環形槽2 0之底部表面與密封構件2 1 之下部部份之間界定一空間S 1。自上方觀看，這些空間 S 1與S 2形成實質上沿著前述之密封構件的中間部份界 定之環形空間，以使成爲供真空吸入用之空間。空間S 1 與S 2均經由被斷續地提供在密封構件2 1之中間薄部份 2 1 b中的通孔2 1 c而互相連通。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一進氣/排氣口 2 0 a係被形形成在環形槽2 0之底 部表面的某一位置處，以供抽空/釋放環形槽之內部，即 爲，空間S 1與S 2。進氣/排氣口 2 0 a經由被提供在 外蓋1 2之內部中的氣體通路1 5與被提供在外蓋1 2之 下部表面中（外部表面）的一真空口 1 6連通。真空口 1 6與一抽空機構1 7合作。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12- 506036 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ7 B7 五、發明說明（1〇 ) 參照圖5 ’現在將說明用以抽空環形槽2 〇之內部的 一機構。外蓋1 2之真空口 1 6及與其相關並被置於外側 之抽空機構1 7均示於圖5。一般的，抽空機構係被形成 爲供開啓/關閉淸淨箱用的一裝載口之一部份，其係用以 揀取在淸淨箱內之半導體晶圓，並將之裝載於半導體製造 設備上。 如示於圖5，真空口 1 6經由進氣/排氣口 2 0 a與 環形槽2 0連通’且氣體通路1 5係被提供在外蓋1 2之 內部。真空口包含一被提供可移動在垂直方向中的閥本體 3 1。閥本體3 1係由用以關閉與環形槽2 0連通之通路 1 5的一封閉凸緣部份3 1 a ，相對之結合凸緣3 1 c， 及用以連接凸緣部份3 1 a與3 1 c之一圓筒形部份 3 1 b。封閉凸緣部份3 1 a之下部表面（在面向通路 1 5之表面的相對側面上），係由一線圈彈簧3 2所向上 地偏壓。即爲，閥本體3 1 —般係在閥本體3 1關閉通路 1 5之方向中被壓下，且由封閉凸緣部份3 1 a氣密地密 封該通路1 5。一 0形環3 3被提供在封閉凸緣部份 3 1 a之上部表面上，以供維持該氣密。 供自外側抽空/釋放淸淨箱之環形槽2 0的抽空機構 1 7，具有一引動器3 6 (氣缸），以供釋放由前述閥本 體3 1所關閉之通路1 5。一氣壓允許引動器3 6之一氣 缸部份3 6 a可環繞該軸而樞轉地移動，且可縱向地移動 在線性方向中。一鈎臂3 7被提供於氣缸部份3 6 a之上 部部份。氣缸係被操作以被定位於圖5之雙點虛線所示之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) -13- " (請先閱讀背面之注意事項④填寫本頁) 裝 訂--- 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 506036 A7 _一……——_____——— B7 五、發明說明（11 ) 一位置處，因此，钓臂可與閥本體結合凸緣部份3 1 C結 合。於此條件下’當引動器3 6被操作在線性方向中以拉 下該臂3 7時’鈎臂3 7與結合凸緣部份3 1 c結合，因 此’整體之閥本體3 1拉拒彈簧3 2之擴張力而被拉動。 因而’由封閉凸緣3 1 a所封閉之通路1 5被釋放，因此 ’環形槽2 0之空間S 1經由通路1 5與一空間S 3連通 。因而，可由與空間S 3連通之通路3 5抽空環形槽2 0 (空間S 1與S 2 )，或相反地經由將氣體導入被維持在 真空條件下之環形槽2 0內以釋放該真空。 一〇形環3 8被提供在抽空機構1 7之一上部板4 0 之一上部表面處環繞真空口 1 6，作用以密封在外蓋1 2 與該表面之間的空間。 真空口 1 6與抽空機構1 7之結構已於上說明。但是 ，事實上，在淸淨箱之外蓋1 2內，通路1 5與環形槽 2 0之內部係被維持於抽空的。依此，閥本體3 1之封閉 凸緣3 1 a經由在內側與外側之壓差（即爲，在空間S 3 與通路1 5之側面上的空間之間的壓差），而被強力地壓 向通路1 5之側面上。無須任何對策，其因而很困難由鈎 臂3 7向下地移動閥本體3 1。 依此，爲使用開啓淸淨箱1 〇之外蓋1 2，採取下列 方法。首先，經由通路3 5抽空該空間S 3 ’以經由封閉 凸緣3 1 a排除或緩和壓差。因而，經由在前述步驟中之 鈎臂，可由閥本體3 1 (封閉凸緣3 1 a )釋放通路1 5 之封閉。在釋放通路1 5之封閉之後’空間經由通路3 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -14- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 — — — — — — 506036 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ7 B7 五、發明說明（12) 而被釋放至大氣’或氣體被經由通路3 5導入，空間S 3 ，通路1 5 ’及環形槽2 0 (空間S 1與S 2 )均被維持 相等於大氣壓力。因而，在外蓋1 2與淸淨箱本體1 1之 間的真空吸入密封被釋放，以使因而可開啓外蓋1 2。 相反的，用以抽空環形槽2 0且吸入外蓋1 2與淸淨 箱本體1 1之方法係如下述。首先，在封閉凸緣3 1 a係 被維持於開啓之條件下，通路3 5被連接至真空源，因此 ’經由空間S 3與通路1 5抽空環形槽2 0。其次，引動 器3 6被操.作以釋放在鈎臂與結合凸緣3 1 c之間的結合 。其結果，閥本體3 1由彈簧3 2之力向上地移動，因此 ’封閉凸緣3 1 a關閉通路1 5。而後，如果通路3 5被 釋放至大氣，通路1 5被維持在真空條件下，且空間S 3 被維持在大氣壓力中，因此，經由在內側與外側之間的壓 差，封閉凸緣3 1 a緊密地關閉通路1 5。 因而，在環形槽2 0內之空間S 1與S 2，係經由被 開啓至環形槽2 0之進氣/排氣口而被抽空且排出氣體， 因此，外蓋1 2被真空吸入至淸淨箱本體1 1。因而，在 外蓋1 2與淸淨箱本體1 1之間的界面被緊密地密封。實 際上，已確認可以比組合地使用一般之0形環與一機械鎖 機構的習知密封系統，獲致強烈許多之密封力。 直到現在，本發明均依據其之實施例加以說明。但是 ，很淸楚的，本發明並不限制於實施例之細部。例如，供 真空排氣該空間S 1與S 2之進氣/排氣口，可被提供在 淸淨箱本體之側面上。更特別的，進氣^/排氣口可被提供 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 鶴15 - * 0 n ·_ϋ ϋ ϋ n n n ϋ n n ϋ iF— · n n n n I n ·1 Jg· ·1 n n 1 i·— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 奢· 506036 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（13 ) 在面向凸緣部份之環形槽2 0之一位置處，即爲，與空間 S 2連通之位置。於此情況，進氣/排氣口例如經由被提 供在凸緣部份1 1 a之頂部表面中的真空口，而由位於外 側之真空排氣機構在淸淨箱本體側面上執行真空排氣。 而且，在前述實施例中，環形槽2 0與密封構件2 1 均被形成在外蓋1 2中，但其可被提供在淸淨箱本體之側 面上，即爲，面向外蓋1 2之淸淨箱本體的凸緣部份 1 1 a之位置處。亦於此情況中，進氣/排氣口及供抽空 環形槽用之氣體通路可被提供在外蓋側或淸淨箱本體側上 〇 而且，依據前述實施例之淸淨箱係具有一開口於下部 表面中之形式。但是，本發明並不限制於此。例如，當然 ，本發明可應用至具有一開口於上部表面中之形式的淸淨
AvSr · 相0 而且，在前述實施例中，密封構件之橫剖面係被成形 爲一啞鈴。本發明並不限制於此。可採用任何其他之橫剖 面，只要在寬度方向中之二末端部份均爲厚的，且其間的 中間部份爲薄的，因此，可在環形槽之內形成吸入空間。 例如，可形成一橫剖面，其中，密封構件之橫剖面的中間 薄部份，將被帶入與環形槽之底部表面密切地接觸（即爲 ，密封構件之橫剖面實質上爲U形）。即爲，前述實施例 中的空間S 1被免除，且僅形成空間s 2。於此情況，如 果被開啓至環形槽之內部空間的進氣/排氣口係被提供在 淸淨箱側面上，且供環形槽用之進氣/排氣係由淸淨箱本 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -16 - ------------裝----- -· (請先閱讀背面之注意事項#|填寫本頁) 訂--------- 506036 A7 B7 ___ 五、發明說明（14 ) 體側面進行，可免除在該實施例中的被提供在密封構件 2 1之中間薄部份2 1 b內的通孔2 1 c。在進氣/排氣 口係被提供在外蓋側面上的情況中，通孔可僅被提供在進 氣/排氣口之一位置處。 在依據本發明之供容器用之密封系統中’密封構件之 橫剖面具有相對於在寬度方向中之二末端部份之一中間薄 部份，因此，密封構件可被裝設在環形槽內以供真空吸入 之用。依此，不需要機製一供密封構件用之分開的槽，以 因而協助製造。此外，因爲供真空吸入部份用之安裝區域 可被製成簡潔，其亦可能將容器製成簡潔。 進一步的，可維持由真空吸入之密封系統的優點，且 可確保比機械鎖系統獲致強許多之密封效果。密封系統係 極優異的，特別是做爲淸淨箱，因爲其不只可防止灰麈， 亦防止會導致化學污染之多種有機或無機物質的進人。而 且，在內部空氣以例如爲非氧化氣體的氣體更換之情況中 ，其可維持換置條件一段長期時間。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） _ 17

Claims (1)

  1. A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍 附件2A : 第89106953號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國91年5月修正 1 · 一種淸淨箱，包括於一表面處開啓之一容器本體 及供關閉容器本體之開口用的一外蓋，其中，一環形槽被 形成在容器本體與外蓋的至少其中之一內以使環繞該開口 ’及一彈性密封構件沿著其之全體長度被裝設在環形槽內 ’彈性密封構件之一寬度方向中的一橫剖面，在環形槽之 一深度方向中的尺寸，係具有相對地厚之末端部份及一相 對地薄之中間部份，因而，當外蓋關閉容器本體之開口時 ，沿著密封構件之中間部份界定一環形吸入空間，且吸入 空間係由在容器本體與外蓋之間的密封構件之二末端部份 彈性變形所密封，且容器具有一進氣/排氣口，用以由外 側執行吸入空間之真空排氣/真空釋放。 2 .如申請專利範圍第1項之清淨箱，其中，環形吸 入空間由密封構件之中間部份在環形槽之深度方向中被分. 隔爲二空間，密封構件之中間部份係被提供具有至少一通 孔，且該二被分隔之空間經由通孔而互相連通。 3 .如申請專利範圍第2項之淸淨箱，其中，多數之 通孔實質上以一相等之間距沿著密封構件之環形形態而形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） |_rII,-----0------IT------'#1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
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