TW503154B - LSI device polishing composition and method for reproducing LSI device - Google Patents

LSI device polishing composition and method for reproducing LSI device Download PDF

Info

Publication number
TW503154B
TW503154B TW090102253A TW90102253A TW503154B TW 503154 B TW503154 B TW 503154B TW 090102253 A TW090102253 A TW 090102253A TW 90102253 A TW90102253 A TW 90102253A TW 503154 B TW503154 B TW 503154B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
honing
copper
acid
composition
item
Prior art date
Application number
TW090102253A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitomo Shimazu
Takanori Kido
Nobuo Uotani
Original Assignee
Showa Denko Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Showa Denko Kk filed Critical Showa Denko Kk
Application granted granted Critical
Publication of TW503154B publication Critical patent/TW503154B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
    • C09G1/00—Polishing compositions
    • C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1436—Composite particles, e.g. coated particles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
    • C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
    • H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
    • H01L21/321—After treatment
    • H01L21/32115—Planarisation
    • H01L21/3212—Planarisation by chemical mechanical polishing [CMP]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 ____B7 _ 五、發明説明（1 ) 技術領域 本發明係於L S I裝置製造步驟爲硏磨金屬層及障壁 膜而用的組成物，尤其適用於硏磨前述金屬層係銅、薄膜 爲钽或氮化鉬類合鉬之合金而成的多層金屬層及薄膜之硏 磨用組成物，及採用該硏磨用組成物以製造L S I裝置之 方法。 發明之背景 L S I裝置雖係年年高積體化，然而至於支持此之基 礎技術之一者，可舉出爲硏磨加工。在L S I裝置步驟， 隨著設計規則微細化供形成微細配線而用的嵌埋金屬硏磨 (damascene，金屬鑲嵌法）等的硏磨加工技術之應用正予 .進展著。於L S I之高積體化係增大半導體表面之凹凸， 藉由此凹凸引起的階段差引起佈線之斷線、電阻値之增加 、電移棲的發生、而成爲可靠性降低等的問題之原因。因 此，減少各層間之凹凸的平坦化技術即成爲必要的。其中 一者爲C Μ P (化學機械性硏磨）技術。 至於佈線材料，係耐電移棲性良好，且低電阻之銅在 性能上優越。機械上銅的相互連接可適當的形成之有效果 的電漿鈾刻、或銅之濕飩刻的公知技術由於目前未存在， 故銅之C Μ Ρ係以供L S I上的銅之相互連接的適當形成 而用的現實方法被提出著。因此，爲於L S I上形成銅之 相互連接而可使用的適當C Μ Ρ組成物乃被要求著。 採用銅作爲佈線材料的情形，由於銅對層間絕緣膜之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）冬 . 辦衣 ； 訂 —. "線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 A7 B7 五、發明説明（2 ) 擴散係數較大，在形成供防止銅之擴散而用的任何障壁金 屬上，進行銅之成膜。至於障壁金屬，則可舉出障壁性較 高的Ta、 TaN有力的材料。然而，於CMP之際， T a或T a N以較難硏磨去除，即成爲問題所在。障壁金 屬及銅之硏磨速度比若較小時，則通常至完全去除障壁金 屬生成形成凹坑、沖蝕的現象。 以一次的C Μ P同時硏磨去除銅及障壁金屬的情形， 則以二次的C Μ Ρ分別硏磨去除障壁金屬及銅的情形之任 一者，均在硏磨去除障壁金屬.之階段，由T a或T a Ν而 成的障壁金屬之硏磨速度及銅之硏磨速度之比在1 · 〇以 上，由於能抑制形成凹坑狀等現象係較佳。 然而，在習用的硏磨用組成物並未能獲得此種性能， 成爲實用化之妨礙，例如，電子期刊主辦的「金屬C Μ P 徹底檢證」演講預稿輯（1 9 9 8年2月2 7日）第8 4 頁所記載的Cabot製造的CMP淤漿—「EP — C4 1 1 0 」係T a及銅之硏磨速度比爲1 / 1 2。 又，並無與障壁金屬之硏磨速度有關的記載，惟用作 與本案發明有關的習用技術，則有下述二件。 一者爲由本發明人等提出申請的日本特開平1 〇 — 4 6 1 4 0號公報，在此揭示含有羰酸、氧化劑、水之中 性硏磨L S I裝置用組成物。 目前一者爲日本特開平8 — 4 5 9 3 4號公報，揭示 有採用含有胺基之表面處理劑處理的硏磨粒之硏磨L S I 裝置用組成物。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 5 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（3 ) 由本發明人等提出的日本特開平1. 0 — 1 6 1 4 0號 ，係揭示有含有羰酸、氧化劑、水的中性硏磨L S I裝置 用組成物，然而並無與以偶合劑處理的硏磨粒之使用，又 亦無與以偶合劑處理的硏磨粒之使用有關的記載，又亦無 與障壁金屬之硏磨有關的記載’再者以N a Ο Η、K〇Η 等的鹼金屬氫氧化物、N a 2 c 〇 3、Κ 2 C Ο 3等的鹼金屬 碳酸鹽、Mg (〇Η) 2、Ca (〇H) 2等的鹼土金屬氫 氧化物、2 ，2，6，6 —四甲基—4 —羥基哌啶、2， 2 ，6 ，6 —四甲基哌啶、2 ，2 ，6 ，6 —四甲基一4 —哌啶酮、2，2，6，6 —五甲基一2，3，4，5 — 四氫嘧啶、1.’9 —二重氮—2，2，8，8，10， 1 〇 —六甲基—螺〔5 · 5〕十一院一4 一酮、6 —重氮 —7，7·—二甲基螺〔4 · 5〕癸烷一 9 一酮等受阻胺選 出的至少一種以上的鹼性物質調配P Η，可降低銅之硏磨 速度一事經予教示的內容亦未見記載。因此以該公報單獨 並不容易完成本發明，並不損及本發明之可專利性。 另一方面，於日本特開平8 — 4 5 9 3 4號公報內， 則揭示有採甩含有胺基之表面處理劑處理的硏磨粒，並進 行半導體基體之金屬配線層表面的硏磨。 此技術係予詳細記載於該公報詳細說明書（第2頁右 欄第.1 6〜4 2行），使在酸性溶液中的氧化矽微粒子之 分散性提高，可抑制被稱作L S I裝置之多層佈線層及層 間絕緣膜表面之刮痕的損傷之發生者。至於其手段，係揭 示著以含有胺基之有機的化合物進行表面處理，使於表面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）_ 6 - _ 批衣 Ί I 訂 . I I線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 ___B7 ___: 五、發明説明（4 ) 上形成鹼性層的氧化矽微粒子。在實施例，利用溶液反應 ，使用以r -胺基丙基三乙氧基矽烷或N - 2 -胺基乙基 - 3 -胺基丙基三甲氧基矽烷表面處理的矽微粒子，已硏 磨鎢佈線層之製程係予記載著。 此技術並不損及本發明之可專利性。理由如下所述。 (1 )經予記載該公報詳細說明書的技術。係使在酸 性溶液中的氧化矽微粒子之分散性提高者，例如實施例1 所記載般，於淤漿內，添加有 K2[Fe(CN)6] + KH2P〇4，pH5.0 呈酸 1生 另一方面，本發明之組成物，係以調整成中性〜弱鹼 性，可控制障壁金屬及銅之硏磨速度比，由可降低銅之溶 解速度者，以使用酸性爲前提之由該公報完全未見有教示 〇 . (2 )於該公報說明書內，與配線層金屬或障壁金屬 之硏磨速度有關的記載則完全未有。在實施例，雖記載有 已硏磨鎢佈線層之製程，惟評估係僅以刮痕而已。 另一方面，本發明之技術課程，係爲抑制形成凹坑等 問題，由控制由T a或T a N而成的障壁金屬的硏磨速度 及銅之硏磨速度之比，完全未有由該公報所教示的事物。 (3 )於該公報詳細說明書內，雖然記載有表面處理 劑之種類、表面處理之方法，但卻無有關表面處理劑之記 載。 於本發明可得效果之處理量，對硏磨粒係〇 . 0 0 1 〜5 0質量％，並非由該公報所教示者。 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ I I I ..................... I I i I I I —I I 訂— . I I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 發明之摘述 本發明之目的，係提供於銅佈線L S I裝置之障壁金 屬材料有力的T a或T a N之研磨速度較大的形成凹坑、 沖蝕較難發生的銅之硏磨L S I裝置用硏磨劑組成物、及 採用該種硏磨組成物之L S I裝置之製造方法。 本發明人等’爲解決上述課題，經精心努力的結果， 以含有水、硏磨粒、有機酸、氧化劑且鹼性物質經予調整 至ρΗ5 · 5〜10 · 0較宜爲pH5 · 5〜9 · 0的硏 磨L S I裝置用組成物，發現顯示出用作l S I裝置硏磨 用的優越性能。 在本發明，能以提高由T a或T a N而成的障壁金屬 之硏磨速度係必需的。使含有有機酸及氧化劑，以調整成 P Η 5 · 5 〜1 0 · 0，較宜爲 p Η 5 · 5 〜9 · 0，欲 得所期待的硏磨速度係可能的。 另一方面，爲控制減低銅之硏磨速度，於調配Ρ Η時 ，以使用N a OH、Κ〇Η等的鹼金屬氫氧化物、 N a 2 C〇3、K2 C 〇3等的驗金屬碳酸鹽、
Mg (ΟΗ) 2、C a (OH) 2等的鹼土金屬氫氧化物、 2 ，2 ，6 ，6 —四甲基—4 —羥基哌啶、2 ，2 ’ 6 ， 6 —.四甲基哌啶、2，2 ，6 ，6 —四甲基一 4 —哌啶酮 、2，2，4，4，6 —五甲基一2，3，4，5 —四氫 嘧啶、1 ，9 —二重氮一2 ，2 ，8 ，8 ，10 ，1 〇一 六甲基—螺〔5 . 5〕十一烷一 4 —酮、6 —重氮—7， 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-8 - . 裝 ^ —訂I I I .線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 A7 B7 五、發明説明（6 ) 7 —二甲基螺〔4 · 5〕癸烷一9 一酮等受阻胺選出的至 少一種以上的鹼性.物質爲宜。 -------券-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又本發明之組成物係p Η 5 · 5〜1 0 · 〇 ’宜爲 ρ Η 5 · 5〜9 · 0時呈現中性〜弱鹼性，故腐蝕性極低 ’無銅之溶解性的問題。銅之溶解性係在室溫之浸漬試驗 可予評估，以重量法可算出溶解速度（蝕刻速度）。在本 發明之硏磨用組成物，銅之溶解速度係5 n m /分鐘以下 ，宜爲3 n m /分鐘以下，更宜1 n m /分鐘以下，實質 上不溶解銅。 亦即本發明係 〔1〕以含有水、硏磨粒、有機酸、氧化劑、且鹼性 物質經予調整至PH5.5〜10.0爲特徵之形成金屬 佈線層而用的硏磨L S I裝置用組成物。 〔2〕以含有水、硏磨粒、有機酸、氧化劑、且鹼性 物質經予調整至Ρ Η 5 . 5〜9 . 0爲特徵之形成金屬佈 線層而用的硏磨L S I裝置用組成物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔3〕如〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用組 成物，於絕緣膜上介由T a或丁3?^而成的障壁金屬，爲 硏磨銅經予堆積的銅系金屬佈線層而用的。 〔4〕一種硏磨L S I裝置用組成物，其特徵在於絕 緣膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬爲硏磨銅經予堆 積的銅系金屬佈線層而用的〔1〕或〔2〕記載之硏磨 L S Γ裝置用組成物由T a或T a N而成的障壁金屬之硏 磨速度及銅之硏磨速度之比在1 · 〇以上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -g _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 _ B7 __ 五、發明説明（7 ) 〔5〕一種硏磨L S I裝置用組成物，其特徵在於絕 緣膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬爲硏磨銅經予堆 積的銅系金屬佈線層而用的〔1〕或〔2〕記載之硏磨 L S I裝置用組成物，由T a或T a N而成的障壁金屬之 硏磨速度及銅之硏磨速度之比在1 . 0以上，銅之溶解速 度爲5 n m /分鐘以下。 〔6〕一種硏磨L S I裝置用組成物，其特徵在於絕 緣膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬爲硏磨銅經予堆 積的銅系金屬佈線層而用的〔1〕或〔2〕記載之硏磨 L S I裝置用組成物，由T a或T a N而成的障壁金屬之 硏磨速度及銅之硏磨速度之比在1 . 0以上，銅之溶解速 度爲lnm/分鐘以下。 〔7·〕以〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用組 成物，其中前述鹼性物質係K〇Η。 〔8〕如〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用組 成物，其中前述鹼性物質係由2，2 ，6 ，6 —四甲基一 4 —羥基哌啶、2，2，6 ，6 —四甲基哌啶、2，2， 6 ，6 —四甲基—4 —哌啶酮、2 ，2 ，4，4，6 ，6 —五甲基一2，3，4，5 —四氫嘧啶、1，9 —二重氮 —2 ，2 ，8 ，8 ，1 0 ，1 0 —六甲基一螺〔5 · 5〕 十一院—4 —酮、6 —重氮—7，7 —二甲基螺〔4 · 5 〕癸烷一9 一酮、1—重氮一2，2 —二甲基螺〔5 .5 〕十一烷一4一酮選出的至少一種以上的受阻胺。 〔9〕如〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用組 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） _ 1 〇 _ . I I ΊI 訂 ~. 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 Α7 Β7 五、發明説明（8 ) 成物，其中前述硏磨粒係由二氧化矽、氧化鋁、氧化鈽、 二氧化欽、二氧化銷、複合金屬氧化物、金屬氫氧化物選 出的至少一種以上的化合物爲主成分。 〔1 0〕如〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用 組成物，其中前述硏磨粒係以氣相法製造的氧化矽。 〔1 .1〕如〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用 組成物，其中前述硏磨粒係經偶合劑進行表面處理者。 〔1 2〕如〔1〕或〔2〕.記載之硏磨L S I裝置用 組成物，其中前述硏磨粒係經具有至少一個以上的胺基之 偶合劑進行表面處理者。 〔1 3〕如〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用 組成物，其中前述有機酸係由蘋果酸、尼古丁酸、葡糖酸 、檸檬酸、酒石酸、琥珀酸、醋酸、草酸、己二酸、丁二 酸、癸酸、己酸、辛酸、戊二酸、乙醇酸、甲酸、富馬酸 、馬來酸、丙二酸、酞酸、丙酸、丙酮酸選出的至少一種 以上之有機酸。 〔1 4〕如〔1〕或〔2〕記載之硏磨L S I裝置用 組成物，其中前述氧化劑爲過氧化氫。 〔1 5〕一種L S I裝置之製造方法，其特徵在於絕 緣膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬以硏磨用組成物 硏磨銅經予堆積的銅系金屬佈線層之方法，前述硏磨用組 成物係含有水、硏磨粒、有機酸，且鹼性物質係經予調整 成 p Η 5 · 5 〜1 0 · 0。 〔1 6〕一種L S I裝置之製造方法，其特徵在於絕 I---------^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） _巧巧 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（9 ) 緣膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬以硏磨用組成物 研1磨銅經予堆積的銅系金屬佈線層之方法，前述硏磨用組 $物係含有水、硏磨粒、有機酸、且鹼性物質係經予調整 成 PH5.5 〜9.0。 〔1 7〕如〔1 5〕或〔1 6〕記載之L S I裝置之 製造方法，係於含有設於絕緣膜之凹處的全面上設置由 T a或T a Ν而成之障壁金屬層，於其障壁金屬層上堆積 銅並以銅完全嵌埋凹處內之後，採用前述硏磨組成物硏磨 障壁金屬層上之銅及障壁金屬並使已嵌埋於前述絕緣膜之 凹處內的銅選擇的殘存著，形成嵌埋銅佈線層。 圖式之簡單說明 第1圖係利用本發明之銅佈線層之形成方法之步驟圖 〇 第2圖係利用本發明之銅佈線層的形成方法之步驟圖 〇 第3圖係利用本發明之銅佈線層的形成方法之步驟圖 〇 第4圖係利用本發明之銅佈線層的形成方法之步驟圖 潑明之詳細記載 本發明係含有水、硏磨粒、氧化劑、有機酸、以鹼性 物質，爲形成經予製備成p Η 5 · 5〜1 0 · 〇，較宜爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-12 - I— I I —裝 ； 訂 , 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 A7 B7 五、發明説明（10) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) P Η 5 . 5〜9 . 0的金屬佈線層而用的硏磨L s I裝置 組成物，前述金屬佈線層，係於絕緣膜上介由T a或 T a N而成的障壁金屬，可較宜使用於銅經予澱積的銅系 金屬/佈線層之情形。由T a或T a N而成的障壁金屬之 硏磨速度，及銅之硏磨速度之比在1 . 0以上時，爲使能 抑制形成凹坑、沖蝕、更合適使用。以此硏磨速度之比在 1·0〜2·0之範圍內爲尤宜。 在本發明，宜爲將硏磨用組成物之p Η調整5 . 5〜 1 0 · 0較宜爲5 · 0〜9 · 0，更宜爲6 · 0〜9 · 0 ，更宜爲7 · 0〜9 · 0。ρ Η若較5 · 5小時，則有銅 之溶解速度變大的疑慮，故若較1 0 · 0大時，則硏磨作 業時之危險性增大，廢液處理之負載會增大所致。 又爲較低的控制銅之硏磨速度，於ρ Η調整方面，較 宜使用N a Ο Η，Κ〇Η等鹼金屬之氫氧化物， N a 2 C 0 a . K2C〇3等之鹼金屬碳酸鹽、 M g (〇Η ) 2、 C a (〇Η ) 2等的鹼金屬氫氧化物、2 ，2，6 ，6 —四甲基一4 -羥基哌啶、2，2 ，6 ，6 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 —四甲基一4 —哌Β定酮、2 ，2 ，4，4，6 —五甲基一 2，3，4，5 — 四氫嘧啶、1，9 —二重氮—2，2, 8，8，1 0，1 0 —六甲基一螺〔5 · 5〕十一烷一 4 —酮、6 —重氮一 7，7 —二甲基螺〔4 · 5〕癸院—9 -酮等受阻胺選出的至少一種以上的鹼性物質。Κ Ο Η在 硏磨L S I裝置方面係有使用實績，故較合適。又受阻胺 由於不含有對裝置特性給予惡劣影響之金屬成分，故較合 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ q ~ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 __ _ B7 五、發明説明（11 ) 適使用。 P Η調整法並未予特別限定，可於組成物內添加鹼性 物質，或以應添加的鹼性物質之全部或部分爲有機酸之鹽 可予添加。又經予添加的鹼性物質係以與有機酸反應並以 鹽類存在即可。 其次對本發明所使用的硏磨粒予以說明。 於本發明，硏磨粒之種類並未予特別限定，惟以由二 氧化矽、氧化矽。氧化鈽、二氧化鈦、氧化锆、複合金屬 氧化物、金屬氫氧化物選出的至少一種以上之化合物係較 合適使用。 其中，以氣相法製造的金屬氧化物粒子，以可抑制損 傷之發生且提高障壁金屬之硏磨速度係較容易的，故可較 .合適使用。在氣相法，通常以氯化物等爲原料並藉由加水 分解反應，可予製造金屬氧化物粒子，惟若未反應的氯大 量殘存時，則因淤漿之黏度有變高的傾向，故並不宜，又 因有腐蝕銅之顧慮，故並不合適。至於殘存氯濃度以在 0.3質量％以下爲宜。 又以氣相法製造的金屬氧化物粒子之中，二氧化矽粒 子因係以偶合劑容易進行表面處理，故可更合適的使用。 至於前述硏磨粒之二次粒子粒度分布，雖可利用動態 光散射法予以測定，惟最大値（d m a X )宜爲在5 // m以 下，較宜爲在3//m以下，更宜爲1 以下。若超過5 // m時，則因硏磨表面上形成較易受微小的損傷，故並不 宜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ g - 裝 „ "订 . 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 B7 五、發明説明（12) 又，於前述硏磨粒之二次粒子粒度分布方面，平均値 (d5〇)宜爲〇 · 0 1〜1 · 〇#m，較宜爲〇 · 1〜 〇 · 5#ηι，未滿0 · 01/zm時，則較難獲得障壁金屬 較高的硏磨速度，若超過1 # m時，則硏磨表面上形成較 易受微小的損傷’故並不宜。 前述硏磨粒之比表面積値，宜爲5〜4 0 0 m 2 / g， 較宜爲2 0〜3 5 0m2/g，更宜爲5 0〜3 Ο Ο m 2 / g。在此，此表面積係以被稱作Β Ε Τ法之氮吸附法 測定的値。此表面積若未滿5 m 2 / g時，則因硏磨表面上 形成較易受微小的損傷，故並不宜。又此表面積若超過 4 0 0 m 2 / g時，則較難獲得障壁金屬較高的硏磨速度， 又欲降低殘存氯濃度一事係成爲較困難所致。 其次說明本發明較宜使用於硏磨粒內之偶合劑。 在本發明，雖需提高由T a或T a N而成的障壁金屬 之硏磨速度，惟爲提高障壁金屬之硏磨速度，以偶合劑對 硏磨粒進行表面處理爲宜。 以偶合劑進行表面處理一事，使硏磨粒及樹脂製的小 塊試樣之親和性變高，硏磨粒成爲可予良好的保持於小塊 試樣。結果，有助於硏磨之硏磨粒的比例變高，使障壁金 屬之硏磨速度提高。又若以含有胺基之偶合劑處理時，則 可使硏磨粒表面帶正電。在T a或T a N之硏磨，使表面 上已生成的T a 2〇5與硏磨粒接觸，進行硏磨，惟因 T a 2 0 5帶負電，故與帶正電之硏磨粒間之親和性較高。 亦即若以含有胺基之偶合劑處理時，則可提高硏磨粒及障 裝 ^ 訂 » 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） _ 15 - 503154 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五， 、發明説明 ( 13) 1 I 壁 金 屬 之 親 和性 ，結: 果可提高障壁金屬之硏磨速度。 1 I 本 發 明 所 使 用 的 偶 合 劑 j 可 舉 出 有 矽 烷 系 偶 合 劑 鈦 1 1 1 酸 鹽 系 偶 合 劑 祉 m 酸 鹽 系 偶 合 劑 9 鋁 系 偶 合 劑 磷 酸 鹽 系 1 I 請 圓 | 偶 合 劑 等 0 至 於 石夕 院 系 偶 合 劑 之 例 可 舉 出 有 • 乙 烯 基 先 閲 1 I 讀 1 1 氯 矽 烷 、 1 2 — 二 氯 乙 基 二 氯 矽 垸 1 — 氯 乙 基 二 氯 矽 背 面 1 I 院 2 — 氯 乙 基 三 氯 矽 烷 乙 基 二 氯 矽 院 3 3 ， 3 — 之 注 意 1 I 二 氟 丙 基 二 氯 矽 院 2 — 氰 基 乙 基 三 氯 矽 烷 烯 丙 基 二 氯 事 項 再 1 1 矽 烷 3 — 溴 丙 基 三 氯 矽 垸 Λ 3 — 氯 丙 基 三 氯 矽 烷 正 丙 填 寫 本 1 裝 基 二 氯 矽 院 、 3 — 氰 基 丙 基 二 氯 矽 院 > 正 丁 基 三 氯 矽 院 - 頁 1 1 異 丁 基 氯 矽 院 、 戊 基 二 氯 矽 院 、 己 基 三 氯 矽 烷 對 由 苯 1 基 二 氯 矽 烷 6 — 二 氯 甲 矽 基 — 2 — 原 冰 片 烯 2 — 二 氯 1 I 甲 矽 基 原 冰 片 烯 - 庚 基 二 氯 矽 烷 Λ 2 — ( 4 — 氯 己 烯 基 醚 1 訂 1 .) 二 氯 矽 院 辛 基 二 氯 矽 院 Λ 氯 苯 基 乙 基 二 氯 矽 院 Λ 十 四 1 烷 基 三 氯 矽 院 十 八 院 基 二 氯 矽 院 二 十 院 基 二 氯 矽 烷 1 1 一 十 二 基 二 氯 矽 烷 氯 甲 基 三 甲 氧 基 矽 院 甲 基 二 甲 氧 基 1 I 矽 烷 硫 醇 基 甲 基- .—‘ 甲 氧 基 矽 院 乙 烯 基 二 甲 氧 基 矽 烷 、 線 I 乙 基 二 甲 氧 基 矽 院 3 ， 3 > 3 — 二 氟 丙 基 二 甲 氧 基 矽 烷 1 1 2 — 氰 基 乙 基 二 甲 氧 基 矽 院 % 3 — 氯 丙 基 三 甲 氧 基 矽 烷 1 1 、 3 — 硫 醇 基 丙 基 三 甲 氧 基 矽 烷 3 — 胺 基 丙 基 二 甲 氧 基 1 1 矽 烷 2 — 胺 基 乙 基 胺 甲 基 二 甲 氧 基 矽 院 丁 基 三 甲 氧 基 1 I 矽 烷 3 — 二 氟 乙 氧 基 丙 基 三 甲 氧 基 矽 院 、 3 — ( 胺 基 乙 1 1 | 基 胺 基 丙 基 ) 二 甲 氧 基 矽 院 、 苯 基 二 甲 氧 基 矽 烷 3 — 環 1 1 氧 丙 氧 基 丙 基 三 甲 氧 基 矽 1 完 3 — 烯 丙 基 胺 基 二 甲 氧 基 矽 1 1 院 己 基 二 甲 氧 基 矽 院 3 — 嗎 啉 基 丙 基 三 甲 氧 基 矽 院 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _化_ 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14) 3〜六氫吡啡基丙基三甲氧基矽烷、3. —〔 2 —（ 2 —胺 基乙_胺基乙基胺基）丙基〕三甲氧基矽烷、2 -（ 3， 4〜環氧基環己基）乙基三甲氧基矽烷、3 -六氫吡啶基 丙基S甲氧基矽烷、3 -苯基胺基丙基三甲氧基矽烷、3 一氯己基胺基三甲氧基矽烷、〇，〇’ 一二乙基S —（2 一Ξ乙氧基甲矽基乙基）二硫代磷酸鹽、3一苄基胺基丙 基三甲氧基矽烷、3 -甲基丙烯氧基丙基三甲氧基矽烷、 甲基Ξ乙氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙基三乙氧基 砂烷、3-氯丙基三乙氧基矽烷、丙基三乙氧基矽烷、3 一胺基丙基三乙氧基矽烷、2 —2 —胺基乙基硫代乙基 )三乙氧基矽烷、戊基三乙氧基矽烷、4 —氯苯基三乙羞 基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、苄基三乙氧基矽烷、6-三 .乙氧基甲矽基一 2 —原冰片烯、辛基三乙氧基矽烷、3 -(二乙氧基甲Ϊ夕基丙基）-對-硝基苯甲醯胺、十二院基 三乙氧基矽烷、十八烷基三乙氧基矽烷、烯丙基三乙氧基 石夕院、3 -環氧丙氧基丙基三乙氧基砂院、3 -甲基丙烯 氧基丙基三乙氧基矽烷、3 —（胺基乙基胺基丙基）三乙 氧基矽烷、甲基三丙氧基矽烷、乙烯基參（2 -甲氧基乙 氧基）矽烷、3—環氧丙氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3 一甲基丙烯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3 —（胺基乙基 胺基丙基）甲基二甲氧基矽烷等。又矽氮烷及其縮合物等 之衍生物、氯矽烷及其縮合物等之衍生物、烷氧基矽烷及 其縮合物等的衍生物等之構造中具有加水分解基之矽烷， 係一般並非被分類成矽烷系偶合劑，惟在本發明係可利用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210';<297公釐）
In I ί Γϋ nn--^mi I ................... ϋϋ in mi (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（15) 的。至於鈦酸鹽系偶合劑之例’可舉出有新戊基（二烯丙 基）氧基三（二氧基）焦磷酸鹽鈦酸鹽等。至於鋁系偶合 劑之例子，可舉出乙醯基烷氧基鋁二異丙酸鹽等。至於磷 酸鹽系偶合劑之例子，可舉出二丁基一 2 一甲基丙烯醯氧 基二乙基磷酸鹽等。其中矽烷系偶合劑，係工業上最常被 使用的，在成本面’種類之豐富面’到手之容易面係有利 的。此等的矽烷系偶合劑之中’宜爲烷氧系矽烷、例如乙 烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、2 —（ 3 ，4 -環氧基環己基）乙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙 基三乙氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基甲基二乙氧基矽烷 、3—甲基丙烯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯氧 基丙基三乙氧基矽烷、3—甲基丙烯氧基丙基甲基二甲氧 基矽烷、3-甲基丙烯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3-胺基丙基三甲氧基矽烷、2-胺基乙基胺基甲基三甲氧基 矽烷、3 -（胺基乙基胺基丙基）三甲氧基矽烷、3 -〔 2 - ( 2 -胺基乙基胺基乙基胺基）丙基〕三甲氧基矽烷 、3 -苯基胺基丙基三甲氧基矽烷、3 -環己基胺基丙基 三甲氧基矽烷、3 -戊基胺基丙基三甲氧基矽烷、3 -胺 基丙基三乙氧基矽烷、2 — ( 2 —胺基乙基硫代乙基）三 乙氧基矽烷、3 -（胺基乙基胺基丙基）三乙氧基矽烷、 3 —（胺基乙基胺基丙基）甲基二甲氧基矽烷、3 —氯丙 基三甲氧基矽烷、3 -氯丙基三乙氧基矽烷、硫醇基甲基 二甲氧基5夕垸、3 -硫醇基丙基二甲氧基5夕院。再者，3 —(胺基乙基胺基丙基）甲基二甲氧基矽烷、3 -（胺基 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格( 210X 297公釐）Γη ο . "~ , n 裝 ^ 訂 * I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 A7 B7 五、發明説明（16) (請先閲讀背面之注意事項存填寫本頁) 乙基胺基丙基）三甲氧基矽烷、3 -（胺基乙基胺基丙基 )三乙氧基矽烷、3 -胺基丙基三甲氧基矽烷、3 -胺基 丙基三乙氧基矽烷等之具有胺基之矽烷偶合劑，由於在水 溶液中的穩定性較高，於以水爲分散劑之本發明的硏磨材 組成物內，可最有利的使用。 此等偶合劑之適當的使用量，雖係依使用的偶合劑之 種類，表面處理方法，成爲表面處理之對象的硏磨粒之物 性者，惟對硏磨粒，宜爲0 . 0. 0 1〜5 0質量％，較宜 爲0 · 01〜30質量％，更宜爲0 . 1〜20質量％。 於未滿0 . 0 0 1質量％時，由於較難獲得所謂硏磨粒及 小塊試樣間之親和力的提高效果，故並不宜。另一方面， 若超過5 0質量％時，硏磨粒係具有撥水性，有未能懸浮 .於水中的顧慮，又偶合劑成爲合妨礙硏磨粒及被加工物之 障壁金屬之直接接觸，有帶來硏磨速度降低之顧慮。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於本發明之利用偶合劑之表面處理方法，並非特予限 定者。以V型摻合機等強制攪拌硏磨粒，同時以乾燥空氣 或氮氣等使偶合劑溶液噴霧，進行充分混合後，爲使硏磨 粒表面之縮合反應而進行約1 0 0〜2 0 0 °C之熱處理之 乾式法，使硏磨粒分散於水等於成爲淤漿狀態時添加偶合 劑溶液，固液分離後，使在約1 0 0〜2 0 0 t乾燥的濕 式法等工業上經予確立的一般技巧係可予利用的。再者， 於本發明，以利用通常的偶合劑之表面處理進行的上述約 1 0 0〜2 0 0 t之熱處理係可予省略的。亦即，於使硏 磨粒懸浮於水的淤漿內。僅單單混合指定量之偶合劑，亦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-19 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 ___ B7 _ 五、發明説明（17) 具有由偶合劑而得的表面處理之效果。 含有以本發明之偶合劑進行表面處理的硏磨粒之硏磨 用組成物，如上述般，使以偶合劑進行表面處理的硏磨粒 分散於水、宜爲純水內而得。又由使硏磨粒懸浮於水的淤 漿而成之硏磨用組成物內混入指定量的偶合劑之情形，硏 磨粒之利用偶合劑進行的表面處理之一定效果，故使用此 作爲本發明之硏磨用組成物亦可。無機化合物之分散技巧 並未予特別限定，可利用通常的攪拌機、均質機、渦輪混 合器、介質攪拌磨輪等公知的分散機器。又，此際若添加 被指適於聚羧酸鹽、萘磺酸鹽甲醛縮合物等水系淤漿的公 知分散劑亦可。再者爲去除較粗的凝集粒子，進行沈降分 級或過濾亦可。 於本發明，硏磨粒濃度宜爲0 · 1〜2 · 〇質量％， 較宜爲0 · 5〜15質量％，更宜爲1 · 〇〜10質量％ 。硏磨粒濃度若較0 · 1質量％小時，則由於障壁金屬之 較高的硏磨速度成爲較難獲得，故即使超過2 0質量％時 ’由於即使超過2 0質量％，由於增量引起的障壁金屬之 硏磨速度之提高較少，並不經濟所致。 其次說明本發明使用的有機酸。 有機酸係與氧化劑同時予以添加，於增大障壁金屬之 硏磨速度方面係有效果的。 有機酸，雖然並未予特別限定者，惟羧酸係在工業規 模上可價廉的容易到手，由於較少安全面上的問題，可較 宜使用。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 20 _ — •I I I I n I I I I n J 1 訂 ! I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 B7 五、發明説明（18) 至於此種羧酸，可舉出有蘋果酸、尼克丁酸、葡糖酸 、檸檬酸、酒石酸、琥珀酸、醋酸、草酸、己二酸、酪酸 、癸酸、己酸、辛酸、戊二酸、乙二酸、甲酸、順丁烯二 酸、丙二酸、苯二甲酸、丙酸、丙酮酸、可單獨使用亦可 複合組合使用。 有機酸之濃度宜爲0 · 0 1〜2 0質量％，較宜爲 0 · 1〜15質量％，更宜爲0 · 5〜10質量％。若未 滿0 · 0 1質量％時，則成爲較難獲得障壁金屬之較高的 硏磨速度，故若超過2 0質量％時，則硏磨時會有銅溶解 的顧慮，故並不合宜。有機酸之部分或全部係與鹼性物質 反應並以鹽之形式存在亦可。 其次說明本發明使用的氧化劑。 氧化劑係於C Μ P時，促進金屬之氧化反應，具有可 提高硏磨速度之效果。使用的氧化劑若爲水溶性時’則並 未予特別限制，例如可舉出過氧化氫、過錳酸鉀等過錳酸 化合物、鉻酸鈉等的鉻酸化合物、硝酸等的硝酸化合物、 過氧化二硫酸等過氧酸化合物、過氯酸等的過氧酸化合物 、鐵氰化鉀等的過鍍金屬鹽、過醋酸、硝基苯等的有機系 氧化劑等。此等之中，過氧化氫係不含有金屬分，反應之 際生成的副產物或分解物係無害的，在半導體產業亦有使 用作淸洗用藥劑等的實績’故係尤宜的。 前述氧化劑之濃度宜爲〇 · 〇 1〜2 0質量％ ’較宜 爲0 .1〜15質量％’更宜爲〇 · 5〜10質量％。若 未滿0 · 0 1質量％時，則障壁金屬之較高的硏磨速度係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（BOX297公釐）-21 - I ^ 訂 . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（彳9) 變成較難獲得所致，若超過2 0質量％時，則在硏磨時會 有銅溶解的顧慮，故並不合宜。 於本發明之硏磨組成物，使用氧化劑之過氧化氫時， 爲防止由於儲存中的過氧化氫之分解引起的組成變動，藉 由添加指定濃度之過氧化氫水及過氧化氫，個別的製備成 爲指定的硏磨組成物之組成物，正在使用之前混合兩者並 進行化學的機械硏磨爲宜。 又，本發明之硏磨用組成物係混合黏度調整劑，p Η 調整劑、緩衝劑、螯合劑、界面活性劑、有機酸及其鹽等 ，各該領域公知的各種添加劑亦可。 本發明之硏磨組成物，係爲形成L S I裝置之金屬佈 線層而予使用者，較詳細而言係以於絕緣體上介由T a或 .T a N而成的障壁金屬而形成銅經予堆積的銅系金屬佈線 層爲目的。 若參閱圖面並予說明時，則如圖般於政晶圓1上以熱 氧化法等形成二氧化砂膜，於該二氧化砂膜2中形成已固 應佈線圖形之凹處3。凹部之形成係以微影法可予形成。 其次，如第2圖般，於含有凹部3之二氧化矽膜2之 全面上形成由T a或T a N而成的障壁金屬層4。障壁金 屬係以防止銅擴散（反應）於二氧化矽中爲目的者，障壁 金屬層之厚度係一般以約5〜2 0 0 nm即可。障壁金屬 層4形成係可利用濺鍍法或C V D法等而成。 形成障壁金屬層4後，全面的堆積銅，完全以銅嵌埋 凹部3內。此時，銅5係不僅凹部3內，亦堆積於二氧化 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） .22 " "" ^^1 I II 訂— — I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 503154 A7 __ B7 __ 五、發明説明（20) 矽膜2上的障壁金屬層4之上的全面。銅層5之堆積，若 爲完全嵌埋於凹部3內的方法時，則以濺鍍，C V D或電 鍍等任一種方法均可。 若參閱第3圖，第4圖時，則採用本發明之硏磨組成 物，進行硏磨銅層5。銅層係如第3圖之5 a ，5 b般依 序予以硏磨，再者予以硏磨至與障壁金屬層4之表面相同 高度爲止。硏磨係採用硏磨小塊試樣及硏磨組成物以硏磨 矽晶圓表面，故晶圓表面係如5. a ，5 b般，基本上可予 平坦的硏磨著，硏磨係與機械性硏磨作用亦同時具有化學 性硏磨之作用，僅銅之情形係予平坦的硏磨，惟同時硏磨 銅層5及障壁金屬層4時，不一定以相同硏磨速度經予硏 磨之理。本發明之硏磨組成物係由硬質的T a或T a N而 .成的障壁金屬與較柔軟的且亦不易爲酸所侵蝕的銅間之硏 磨速度予以設成相同般者。又，被使用作佈線層之銅若受 酸予以腐蝕時，則成爲裝置之劣化原因，故該點亦需予防 止則令人期待的。如此，採用本發明之硏磨組成物並同時 硏磨銅及障壁金屬時，則如第4圖所示，二氧化砂膜2上 之障壁金屬層4經予硏磨時，凹部3內的銅6之表面係實 質上具有與二氧化矽膜2之表面一致並可成平坦狀，且利 用硏磨組成物亦可防止腐蝕的特徵。 實施發明而採的最佳形態 以下，舉出實施例再詳細說明本發明，惟本發明並非 受此等實施例任何限定者。 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） » I ^ "訂 . 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -24- A7 B7 五、發明説明（21) (實施例1 ) 使以氣相法製造的二氧化砂（比表面積値2 3 0 m2/g，d 5 〇 = 0 . 1 2 // m . dmax=〇 · 41//m ，殘存氯濃度〇 · 1質量％ ) 3 k g懸浮於7 k g之純水 中，使用一般的攪拌機攪拌3 0分鐘，而得淤漿。於此淤 漿內添加矽烷偶合劑（日本Unika (股）製造，八— 1 1 2 0，3 —（胺基乙基胺基丙基）三甲氧基矽烷 3 0 0 g )，再攪拌2 0 0小時後，過瀘出固形分，以 1 2 0 °C熱處理2小時，而得經予矽烷偶合劑表面處理的 二氧化矽硏磨粒。此時矽烷偶合劑係對二氧化矽硏磨粒爲 10質量％之使用量。 如此而得的二氧化矽硏磨粒爲4質量％，蘋果酸1質 量％，利用K〇Η調整pH或8 · 5，再者製造由含有過 氧化氫2質量％之純水而成的硏磨液。 進行此硏磨用組成物之對C u、T a的硏磨評估。 〔硏磨條件〕 被硏磨材：附有C u膜之晶圓 於直徑1 5 c m矽晶圓上堆積熱氧化膜1 〇 〇 nm，TaN 膜 50nm、Cu 膜 11〇〇 n m並予製作 附有T a膜之晶圓 於直徑1 5 c m矽晶圓上堆積熱氧化膜1 〇 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I I 1111:::. I ^ I 11 11 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 A7 B7 五、發明説明（22) nm，Ta膜500nm並予製作 硏磨小塊試樣：Rodelnitter公司製造的I C 1 0 0 0 / S U B A 4 0 〇 硏磨機：硏磨L S I裝置用單面硏磨機（Speedfam (股） 公司製造，型式號碼SH — 2 4 ) 定盤旋轉速度：7 0 r p m 加工壓力：3 0 0 g f / c m 2 淤槳供給速度：1 〇 〇 m L / m i η 硏磨時間：6 0 s e e 〔評估項目及評估方法〕 硏磨速度：板片電阻測定裝置 (C u膜、T a膜：由板片電阻値換算成膜厚 ，以硏磨時間除去除量可予算出） C u溶解速度：將附有C u膜之晶圓小片浸漬於供硏磨試 驗用的淤漿（溫度：2 0 °C ) 1 h r，測 定浸漬前後的試料重量，由表面積、比重 、浸漬時間用下式予以算出。 溶解、、束庐.浸漬前重量—浸漬後重量 • it重X試料表面積X浸漬時間 損傷：光學顯微鏡觀察（以1 〇 〇倍觀察晶圓表面） 進行上述的硏磨試驗，而得表1之結果。 (實施例2 ) 除用2質量％取代二氧化矽硏磨粒之4質量％外，餘 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I--------— 裝 — I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A7 — _ ____—_ B7 ^ 五、發明説明（23) 以與實施例1相同的條件製造淤漿，進行與實施例i相同 的硏磨性能評估，而得表1所示的結果。 (實施例3 ) 除表面處理劑使用量對硏磨粒設爲1 5質量％以外， 餘以與實施例2相同的條件製造淤漿，進行與實施例i相 同的硏磨性能評估，而得表1所示的結果。 (實施例4 ) 除調整P Η成7 · 0以取代8 · 5外，餘以與實施例 2相同的條件製造淤漿，進行與實施例1相同的硏磨性能 評估，而得表1所示的結果。 (實施例5 ) 除調整Ρ Η成6 · 0以取代8 · 5外，餘以與實施例 2相同的條件製造淤漿，進行與實施例1相同的硏磨性能 評估，而得表1所示的結果。 (實施例Θ ) 除使用酒石酸取代蘋果酸外，餘以與實施例2相同的 條件製造淤漿，進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而 得表1所示的結果。 (實施例7 ) 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) Α4規格（210>< 297公釐1 -26- '^' . 裝 I —^ 訂 . ~線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（24) 除使用己二酸取代蘋果酸外，餘以與實施例2相同的 條件製造激漿’進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而 得表1所示的結果。 (實施例8 ) 除使用蘋果酸1 〇質量％取代蘋果酸1質量％外，餘 以與實施例2相同的條件製造淤漿，進行與實施例1相同 的硏磨性能評估’而得表1所示的結果。 (實施例9 ) 除使用2 ’ 2 ’ 6，6 —四甲基一 4 一羥基哌D定取代 K〇Η並調整ρ Η外，餘以與實施例2相同的條件製造淤 漿，進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而得表1所示 的結果。 (實施例1 0 ) 除使用比表面積1 6 C m 2 / g之二氧化矽取代比表面 積2 3 0 m 2/ g之二氧化矽外，餘以與實施例2相同的條 件製造淤漿，進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而得 表1所示的結果。 (實施例1 1 ) 除使用二氧化鈦（比表面積値2 0 〇 m 2 / g，廿5 〇 =0 ·1 ，dmax=0 · 4 3#m ’ 殘存氯濃度 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-27 - I— I n I I ϋ —Ί I ^ I — I I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 Α7 Β7 五、發明説明（25) 0 · 2質量％ )外’餘以與實施例2相同的條件製造淤漿 ’進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而得表1所示的 ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 結果。 (實施例1 2 ) 除使用氧化銘（比表面積値2 〇 〇 m 2 / g，d 5 〇 = 〇 · 13#m，dmax=〇 ·45//ιη，殘存氯濃度 〇 · 1質量％ )外，餘以與實施例2相同的條件製造淤漿 ，進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而得表1所示的 結果。 (實施例1 3 ) 除使用草酸取代蘋果酸外，餘以與實施例2相同的條 件製造淤槳’進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而得 _ 1所示的結果。 (實施例1 4 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 與實施例1相同，惟對硏磨粒不進行表面處理，製造 淤漿，進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而得表丨所 示的結果。 ‘ (實施例1 5 ) 除調整P Η成9 · 5以取代8 · 5外，餘以與實施例 2相同的條件製造淤漿進行與實施例1相同的硏磨性能評 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）-28 - 卿154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（26) 估’而得表1所示的結果。 (比較例1 ) 除p Η調整成5 · 0以取代8 · 5外，餘以與實施例 2相同的條件製造淤漿進行與實施例1相同的硏磨性能評 估，而得表1所示的結果。得知C u之溶解速度正變大。 (比較例2 ) 除利用氨水取代Κ Ο Η調整ρ Η外，餘以與實施例2 相同的條件製造淤漿進行與實施例1相同的硏磨性能評估 ’而得表1所示的結果。得知C u之溶解速度正變大。 (比較例·3 ) 除使用殘存氯濃度0 · 5質量％之二氧化矽、酒石酸 取代殘存氨濃度0 · 1質量％之二氧化矽、蘋果酸外，餘 以與實施例2相同的條件製造淤漿進行與實施例1相同的 硏磨性能評估，而得表1所示的結果。 (比較例4 ) 與實施例1 3相同，惟在不使用有機酸下製造勝漿， 進行與實施例1相同的硏磨性能評估，而得表1所示的結 果。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）_ 29 - ----------裝 ； 訂 I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 A7 B7 五、發明説明（27) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
T嗽 損傷 <±Λ^ uU^ UU^ UU， i±J^ i±J^ tU， t±J^ i±J^ lU^ tU^ UJ/ tU， tU^ t±J， m- ffi- S Ά Ά ffl- Ά Ά S m： m： a- m： ΛΓΙν νΓι^ ^Τί> χΓ1> νΓ1> νΓί^ >ΓΓ1^ ntIv χγί'ν ^ΤΙ'ν ♦ ι<， UJ， UJ/ UJ， & & S xrl'N ^Tl'x ^T1> Cu 溶解速度 (nm/分） c<j 寸 οο cNcsi mcsico 〇〇〇〇〇〇〇<〇〇〇〇〇 〇'〇 ο 寸d 。 (S cn 〇4 r—3 選擇比 Ta/Gu ΟΟ CO CD 's〇 〇〇 ΐ—ΐ C3 ^—ΐ ΟΟ ι—ί t..............< τ.............< ι..............ί \....... f ι-i \............( τ—< \..............i r™™< ，..............i γ·_Η r.............( ι..............i t丨丨丨丨丨…i CSI 寸 O 〇 〇 r-ί 〇 硏磨速度(nm/分） (3 oownc^i 寸 OO 寸 C^OOCNC^IOOONO^O 寸cn寸寸寸cncnmcoco寸。奇寸co 卜csi CO C<1 ^~~1 CNl ^Οί r^i>-c^cNicncnc^〇Nmv〇r-H〇<ii〇^-ir-^ oo 寸 寸 寸 〇 卜 ί〇 CO 1/-)寸 1 1 \〇 in to ir^ un v〇 oo oo oo ι>^ λ〇 〇6〇6cx3〇6o6o6o6o6cx)〇n Cp O u〇 \n wo uri cx5 oo 〇6 有機酸 質量％ ί- 〇 pppppoo^opppp. op r—H ，_.............i ΐ"·Ή i—^ t..............i iH ，丨丨丨丨丨丨H t.............i \..............\ t-H \..............4 τ—< i..............i r_H \丨丨丨丨丨丨丨 i 〇 〇 P 1 τ—H i............4 ί—Η 1 種類 氍氍氍瀣氍觀氍氍氍氍氍氍氍氍 mV m]Z tnlZ tn]Z rnjZ 1 Π 1 1 tn]Z trtlZ ni]Z tn]Z tnlZ ΐπ]Ζ m]Z 觀觀颧爾鶴製ΐυ觀觀鸛餾觀蚺鲲觀 蘋果酸 蘋果酸 酒石酸 te J \ NN 硏磨粒 表面處理 (質量％)_ 1 OOW^OOOO. 〇〇〇〇〇〇 宙二 〇 T"™......'i τ......Ή τ..........Η τ·1· 4 τ™Η τ.......Η τ·ηΉ τ~™Η τ~~Η τ_·丨丨丨丨丨丨丨丨i t™~H τ™™4 τιγ丨丨丨丨丨xf™}-% r"·丨丨丨丨崎 〇 〇 〇 〇 τ™Η ί—Η ί—H r—1 比表面積 (m2/g) 〇〇〇〇〇 〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇 cocncncncncocncnco^ooococnco C^C<ICNlCNlCSlCslCslCS|CNlr-HC<lCNlO<lCNlCsI 〇 〇 〇 〇 cn cn co cn CN| C<1 C<l C<l 硏磨粒濃度 價量％) 寸 CNICS1C<1C<ICS1C<ICS10<I 寸 寸 C<1 Csl CN csl C<1 硏磨粒之 種類 (質量％) 给给给给给給给给给给鬆 给给给 祕祕鹏驅祕驅鹏鹏驅鹏鹏S祕鹏鹏 11 11 11 11 I] 11 11 11 11 11 lUfll 11 11 二氧化矽 二氧化矽 二氧化石夕 二氧化矽 d d .㈣鎰. 佩:Η 〇 ί~t 〇〇 m 寸 1~~1 CN CO 寸 V〇 O' OO ON 1~~1 1It1 ,1 r—i ,1 孽匡孽孽孽寒孽蒙孽匡孽孽孽匡寒· 辑滔辑滔㈣㈣㈣辑㈣滔辑㈣㈣㈣㈣ |i( |i( 1¾ Κ |ι( |1； |1( 11 |i( |ι( Κ |ΐ( |ΐ( {$ι( |ΐ( t i 〇<i co 寸 Ttnf rflii" Ι1Π! ίΙΠΙ J_J ^LJ JJ j_4 -LA -------丨—裝----J—-I訂—丨--丨—線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 30 - 503154 A7 B7 五、發明説明（28) 且上述的實施例係就T a之硏磨予以評估，惟對T a N亦與T a爲相同的硏磨速度係通常爲人所知的。 產業上之可利用性 若依本發明時，T a ，T a N等的障壁金屬之硏磨速 度高，且與銅間之硏磨速度之配衡亦優越，可防止形成凹 孔，同時亦可防止銅之沖蝕，故在L S I裝置以金屬鑲嵌 法尤其有用的。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）_ 31 -

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 · 一種爲形成金屬佈線層而用的硏磨L S I裝置用 組成物，其特徵在於含有水、硏磨粒、有機酸、氧化劑， 且鹼性物質經予調整至p Η 5 · 5〜1 0 . 0。 2 · —種爲形成金屬佈線層而用的硏磨L S I裝置用 組成物，其特徵在於含有水、硏磨粒、有機酸、氧化劑， 且鹼性物質經予調整至ρ Η 5 · 5〜9 . 0。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I裝 置用組成物，係於絕緣膜上介由T a或T a Ν而成的障壁 金屬，爲硏磨銅經予堆積的銅系金屬佈線層而用的。 4 · 一種硏磨L S I裝置用組成物，其特徵在於絕緣 膜上介由T a或Ta N而成的障壁金屬爲硏磨銅經予堆積 的銅系金屬佈線層而用的申請專利範圍第1項或第2項之 硏磨L S I裝置用組成物，由T a或T a N而成的障壁金 屬之硏磨速度及銅之硏磨速度之比在1 . 0以上。 5 · —種硏磨L S I裝置用組成物，其特徵在於絕緣 膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬爲硏磨銅經予堆積 的銅系金屬佈線層而用的申請專利範圍第1項或第2項之 硏磨L S I裝置用組成物，由T a或T a N而成的障壁金 屬之硏磨速度及銅之硏磨速度之比在1 · 0以上，銅之溶 解速度爲5 nm/分鐘以下。 6 · —種硏磨L S I裝置用組成物，其特徵在於絕緣 膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬爲硏磨銅經予堆積 的銅系金屬佈線層而用的申請專利範圍第1項或第2項之 硏磨L S I裝置用組成物，由T a或T a N而成的障壁金 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -32- ---------------------^-------I 1^. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 屬之硏磨速度及銅之硏磨速度之比在1 · 0以上，銅之溶 解速度爲1nm/分鐘以下。 7 ·如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I裝 置用組成物，其中鹼性物質係Κ Ο Η。 8 ·如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I裝 置用組成物，其中前述鹼性物質係由2，2，6 ，6 -四 甲基一 4 —羥基哌啶、2 ，2 ，6 ，6 —四甲基哌啶、2 ，2，6，6 — 四甲基一4 —哌陡酮、2，2，4，4, 6 —五甲基一2，3，4，5 —四氫嘧啶、1，9 —二重 氮—2，2 ，8，8，10，10 —六甲基一螺〔5.5 〕十一烷一4 一酮、6 —重氮—7，7 —二甲基螺〔4· 5〕癸烷一9 —酮、1 一重氮一 2，2 —二甲基螺〔5· 5〕十一烷一 4 一酮選出的至少一種以上的受阻胺。 9 .如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I裝 置用組成物，其中前述硏磨粒任由二氧化矽、氧化鋁、氧 化鈽、二氧化鈦、二氧化锆、複合金屬氧化物、金屬氫氧 化物選出的至少一種以上的化合物爲主成分。 1 0 ·如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I 裝置用組成物，其中前述硏磨粒係以氣相法製造的二氧化 石夕。 1 1 .如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I 裝置用組成物，其中前述硏磨粒係經偶合劑進行表面處理 者。 1 2 ·如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I ----------!-裝i ------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 -33- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 503154 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 裝置用組成物，其中前述硏磨粒係經具有至少一個以上的 胺基之偶合劑進行表面處理者。 1 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I 裝置用組成物，其中前述有機酸係由蘋果酸、尼古丁酸、 葡糖酸、檸檬酸、酒石酸、琥珀酸、醋酸、草酸、己二酸 、丁二酸、癸酸、己酸、辛酸、戊二酸、乙醇酸、甲酸、 富馬酸、馬來酸、丙二酸、酞酸、丙二酸、丙酮酸選出的 至少一種以上之有機酸。 1 4 ·如申請專利範圍第1項或第2項之硏磨L S I 裝置用組成物，其中前述氧化劑爲過氧化氫。 1 5 · —種L S I裝置之製造方法，其特徵在於絕緣 膜上介由T a或T a N而成的障壁金屬以硏磨用組成物硏 磨銅經予堆積的銅系金屬佈線層之方法，前述硏磨用組成 物係含有水、硏磨粒、有機酸，且鹼性物質係經予調整成 ρΗ5·5 〜1〇.〇。 1 6 · —種L S I裝置之製造方法，其特徵在於絕緣 膜上介由T a或T a Ν而成的障壁金屬以硏磨用組成物硏 磨銅經予堆積的銅系金屬佈線層之方法，前述硏磨用組成 物係含有水、硏磨粒、有機酸、且鹼性物質係經予調整成 p Η 5 · 5 〜9 · 0。 1 7 ·如申請專利範圍第1 5或第1 6項之L S I裝 置之製造方法，係於含有設於絕緣膜之凹處的全面上設置 由T a或T a Ν而成之障壁金屬層，於其障壁金屬層上堆 積銅並以銅完全嵌埋凹處內之後，採用前述硏磨組成物硏 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) -34: — — — — — — — — — — — —— > 1 ! I I I i I — — — — — — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 503154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 磨障壁金屬層上之銅及障壁金屬並使已嵌埋於前述絕緣膜 之凹處內的銅選擇的殘存著，形成嵌埋銅佈線層。 - ----------II— --------^ --------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -35- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
TW090102253A 2000-02-04 2001-02-02 LSI device polishing composition and method for reproducing LSI device TW503154B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000067743 2000-02-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW503154B true TW503154B (en) 2002-09-21

Family

ID=18586892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW090102253A TW503154B (en) 2000-02-04 2001-02-02 LSI device polishing composition and method for reproducing LSI device

Country Status (6)

Country Link
US (2) US6547843B2 (zh)
EP (1) EP1193745A4 (zh)
KR (1) KR100504359B1 (zh)
AU (1) AU3057601A (zh)
TW (1) TW503154B (zh)
WO (1) WO2001057919A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI842954B (zh) * 2019-11-15 2024-05-21 日商Ｊｓｒ股份有限公司 化學機械研磨用組成物以及化學機械研磨方法

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1193745A4 (en) * 2000-02-04 2003-05-14 Showa Denko Kk POLISHING PASTE FOR LSI MANUFACTURING AND LSI MANUFACTURING METHOD
JPWO2003038883A1 (ja) 2001-10-31 2005-02-24 日立化成工業株式会社 研磨液及び研磨方法
KR100451986B1 (ko) * 2001-12-31 2004-10-08 주식회사 하이닉스반도체 반도체 소자의 저장전극 콘택 플러그 형성방법
JP2003277731A (ja) * 2002-03-26 2003-10-02 Catalysts & Chem Ind Co Ltd 研磨用粒子および研磨材
JP4554142B2 (ja) * 2002-04-30 2010-09-29 日揮触媒化成株式会社 基板洗浄用粒子および該基板洗浄用粒子を含む洗浄材、基材の洗浄方法
JP2003338469A (ja) * 2002-05-21 2003-11-28 Fujitsu Ltd 研磨剤、研磨方法および洗浄方法
KR20040000009A (ko) * 2002-06-19 2004-01-03 주식회사 하이닉스반도체 플라티늄-ｃｍｐ용 용액
US6746498B1 (en) * 2002-12-12 2004-06-08 Intel Corporation Abrasive with a modified surface and a method for making it
JP4267331B2 (ja) * 2003-01-14 2009-05-27 株式会社荏原製作所 基板の処理方法及びエッチング液
US20040140291A1 (en) * 2003-01-20 2004-07-22 Swanson Eric D. Copper etch
US7964005B2 (en) * 2003-04-10 2011-06-21 Technion Research & Development Foundation Ltd. Copper CMP slurry composition
US7044836B2 (en) * 2003-04-21 2006-05-16 Cabot Microelectronics Corporation Coated metal oxide particles for CMP
US7485241B2 (en) 2003-09-11 2009-02-03 Cabot Microelectronics Corporation Chemical-mechanical polishing composition and method for using the same
US20050090106A1 (en) * 2003-10-22 2005-04-28 Jinru Bian Method of second step polishing in copper CMP with a polishing fluid containing no oxidizing agent
KR20050050703A (ko) * 2003-11-26 2005-06-01 매그나칩 반도체 유한회사 반도체소자의 인덕터 형성방법
US7465408B1 (en) * 2003-12-03 2008-12-16 Advanced Micro Devices, Inc. Solutions for controlled, selective etching of copper
US20050279964A1 (en) * 2004-06-17 2005-12-22 Ming-Tseh Tsay Chemical mechanical polishing slurry for polishing copper layer on a wafer
JP2006269910A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Fuji Photo Film Co Ltd 金属用研磨液及びこれを用いた研磨方法
US20060266737A1 (en) * 2005-05-27 2006-11-30 Hanestad Ronald J Process for removal of metals and alloys from a substrate
JP2007173370A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Fujifilm Corp 研磨液
US8025811B2 (en) * 2006-03-29 2011-09-27 Intel Corporation Composition for etching a metal hard mask material in semiconductor processing
JP2007273910A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Fujifilm Corp 研磨用組成液
JP2008288398A (ja) * 2007-05-18 2008-11-27 Nippon Chem Ind Co Ltd 半導体ウェハーの研磨用組成物、その製造方法、及び研磨加工方法
US9028572B2 (en) * 2007-09-21 2015-05-12 Cabot Microelectronics Corporation Polishing composition and method utilizing abrasive particles treated with an aminosilane
JP2009123880A (ja) * 2007-11-14 2009-06-04 Showa Denko Kk 研磨組成物
US8518281B2 (en) * 2008-06-03 2013-08-27 Kesheng Feng Acid-resistance promoting composition
US8252687B2 (en) * 2008-09-19 2012-08-28 Cabot Microelectronics Corporation Barrier slurry for low-k dielectrics
US8232648B2 (en) 2010-06-01 2012-07-31 International Business Machines Corporation Semiconductor article having a through silicon via and guard ring
TWI605112B (zh) 2011-02-21 2017-11-11 Fujimi Inc 研磨用組成物
US8778212B2 (en) * 2012-05-22 2014-07-15 Cabot Microelectronics Corporation CMP composition containing zirconia particles and method of use
CN106010297B (zh) * 2016-06-20 2018-07-31 上海新安纳电子科技有限公司 一种氧化铝抛光液的制备方法
KR102634300B1 (ko) * 2017-11-30 2024-02-07 솔브레인 주식회사 연마용 슬러리 조성물 및 고단차 반도체 박막의 연마 방법
KR102410845B1 (ko) * 2021-01-08 2022-06-22 에스케이씨솔믹스 주식회사 반도체 공정용 조성물 및 이를 이용한 반도체 소자 제조방법
CN115198276B (zh) * 2022-07-11 2024-03-19 深圳市永霖科技有限公司 一种用于处理钛合金的抛光液及其制备方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5575885A (en) * 1993-12-14 1996-11-19 Kabushiki Kaisha Toshiba Copper-based metal polishing solution and method for manufacturing semiconductor device
US5858813A (en) * 1996-05-10 1999-01-12 Cabot Corporation Chemical mechanical polishing slurry for metal layers and films
US6039891A (en) * 1996-09-24 2000-03-21 Cabot Corporation Multi-oxidizer precursor for chemical mechanical polishing
US6309560B1 (en) * 1996-12-09 2001-10-30 Cabot Microelectronics Corporation Chemical mechanical polishing slurry useful for copper substrates
US5954997A (en) * 1996-12-09 1999-09-21 Cabot Corporation Chemical mechanical polishing slurry useful for copper substrates
US6063306A (en) * 1998-06-26 2000-05-16 Cabot Corporation Chemical mechanical polishing slurry useful for copper/tantalum substrate
JP2000160139A (ja) * 1998-12-01 2000-06-13 Fujimi Inc 研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法
JP2000306873A (ja) * 1999-04-20 2000-11-02 Tokuyama Corp 研磨方法
JP4156137B2 (ja) * 1999-07-19 2008-09-24 株式会社トクヤマ 金属膜用研磨剤
JP4555936B2 (ja) * 1999-07-21 2010-10-06 日立化成工業株式会社 Ｃｍｐ研磨液
JP2001068438A (ja) * 1999-08-24 2001-03-16 Speedfam Co Ltd 化合物半導体ウェーハ研磨用組成物およびそれによる化合物半導体研磨方法
EP1193745A4 (en) * 2000-02-04 2003-05-14 Showa Denko Kk POLISHING PASTE FOR LSI MANUFACTURING AND LSI MANUFACTURING METHOD
US6574843B1 (en) * 2001-07-12 2003-06-10 Thomas J. Meadows Method and apparatus for installing and replacing valve stems

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI842954B (zh) * 2019-11-15 2024-05-21 日商Ｊｓｒ股份有限公司 化學機械研磨用組成物以及化學機械研磨方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1193745A4 (en) 2003-05-14
KR100504359B1 (ko) 2005-07-28
US20030153188A1 (en) 2003-08-14
KR20010110720A (ko) 2001-12-13
US6844263B2 (en) 2005-01-18
US6547843B2 (en) 2003-04-15
US20020017064A1 (en) 2002-02-14
WO2001057919A1 (fr) 2001-08-09
AU3057601A (en) 2001-08-14
EP1193745A1 (en) 2002-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW503154B (en) LSI device polishing composition and method for reproducing LSI device
JP5013732B2 (ja) 化学機械研磨用水系分散体、化学機械研磨方法、化学機械研磨用キット、および化学機械研磨用水系分散体を調製するためのキット
US6653267B2 (en) Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing used for polishing of copper
US6315803B1 (en) Polishing composition and polishing process
EP1386949B1 (en) Use of an aqueous dispersion for chemical mechanical polishing and process for producing a semiconductor device
TW583301B (en) Polishing composition and polishing method employing it
JP4814784B2 (ja) モジュラーバリヤ除去研磨スラリー
TWI244496B (en) Prevention of precipitation defects on copper interconnects during CMP by use of solutions containing organic compounds with silica adsorption and copper corrosion inhibiting properties
KR100611264B1 (ko) 반도체 장치의 제조에 사용하는 화학 기계 연마용 수계분산체
TWI458816B (zh) 研磨用組成物及使用該研磨用組成物之研磨方法
KR20060119774A (ko) 화학 기계 연마용 수계 분산체 및 화학 기계 연마 방법, 및화학 기계 연마용 수계 분산체를 제조하기 위한 키트
JP2007266500A (ja) タッチアップｃｍｐ用スラリーおよび半導体装置の製造方法
US20070037892A1 (en) Aqueous slurry containing metallate-modified silica particles
US20050022456A1 (en) Polishing slurry and method for chemical-mechanical polishing of copper
JP2006202892A (ja) 化学機械研磨方法
TW419737B (en) Abrasive composition for polishing LSI device and polishing method
JPWO2007126030A1 (ja) 酸化物結晶微粒子及び該微粒子を含む研磨用スラリー
WO2007048316A1 (fr) Pate d'abrasion chimique-mecanique pour couche barriere au tantale
JP3849091B2 (ja) 化学機械研磨用水系分散体
TW201202402A (en) Polishing agent and polishing method
JP2009272418A (ja) 研磨剤組成物および半導体集積回路装置の製造方法
JP2011108811A (ja) 研磨剤、研磨剤セットおよび研磨方法
JP2010103409A (ja) 金属用研磨液及びこの金属用研磨液を用いた研磨方法
CN1288927A (zh) 化学机械研磨组合物
JP2021027223A (ja) 砥粒及び化学機械研磨用組成物

Legal Events

Date Code Title Description
GD4A Issue of patent certificate for granted invention patent
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees