499546 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1 ) [發明領域] 本發明係關於一種使用於抽真空系統（evacuating system)之分離捕捉裝置，其中該抽真空系統係用以抽吸使 用於半導體製造裝置或類似裝置之真空腔室。 [相關技術之說明] 一種習知之抽真空系統將針對第16圖來加以說明如 下。在第16圖中，密閉式密封腔室201係包含用於半導體 製造處理之加工腔室，諸如使用在蝕刻裝置或化學汽相沈 積（CVD)裝置之腔室。該密閉式密封腔室201係經由排放 路徑202而連接至真空泵203。該真空泵203係用以增加 由位在密閉式密封腔室201中之處理腔室排放至大氣壓力 之氣體壓力。一種油封式旋轉真空泵在以前係用以做為真 空泵203。如今’該真空栗203主要係由一種乾式泵（dry pump)所構成。 若該密閉式密封腔室201所需要之真空度係高於真空 泵203最終的真空，則一諸如渦輪分子栗（turbo-molecular pump)之超高真空泵係額外地配置在真空泵203之上游。 在排放氣體處理裝置204中，視加工處理類型而定，由於 具有毒性或爆炸性而無法直接排放至大氣中之氣體成分， 係藉由諸如吸附、分解或吸收作用之加工方式來加以處 理。僅無害的氣體係可以由排放氣體處理裝置204排放至 大氣中。在排放路徑202之適當部位係設有必要之閥體。 該習知抽真空系統係具有以下之缺點。 在習知的抽真空系統中，若反應副產物係包含一種具 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 V «I ϋ n ——訂—------線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1 311677 499546 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（2 有高昇華溫度之物質時，則該物質之氣體在壓力增加的同 時係會被固化，並且沉積在真空泵中。這容易造成該真空 泵故障。 舉例來說，當採甩一般用於鋁蝕刻之處理氣體 或Cl,時，該處理腔室係將剩餘的處理氣體BC込或以 及反應副產物A1C1S經由真空泵而排放出去。Alcl3不會沉 積在真空泵之抽吸側，這係因為其分壓較低所致。然而， 當AICI3係在加壓情況下來加以排放時，則其分壓便會增 加而造成A1C1S沉積且黏附至真空泵之内壁，而造成真空 泵產生故障。在用以鍍覆SiN薄膜之c：vD裝置中所產生 之諸如（N^LSiF6以及NH4C1等反應副產物亦會產生相同 之問題。 以前曾經提出加熱該真空泵之方法，以使反應副產物 能以氣態之方式通過該真空泵而不會有固態物質沉積在真 空泵。該方法係可以有效地防止固態物質沉積在真空泵 中。然而’所產生之問題係在於固態物質會沉積在配置在 真空泵下游之排放氣體處理裝置中，因而會將排放氣體處 理裝置中之填充層（filled layer)加以堵塞。 一種解決方式係在真空泵之上游或下游安裝分離捕捉 裝置（trap apparatusp該分離捕捉裝置係會將產物捕捉至 一捕捉器中，因而可以將會產生固態物質之部分（成份）事 先移除，以藉此保護位在排放路徑上之各種不同裝置。然 而，一般而言，此種習知的分離捕捉裝置係具有較差的捕 捉效能，大約會有60%之排放氣體成份流經該分離捕捉裝 本#我張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公釐） -I —I! — — t---I —--I I I I--I (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 499546 A7 - ----------------------------- —. B7 五、發明說明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 置而不會被捕捉至捕捉器中，且會附著至下游之管路及裝 置。這主要係因為所排放之氣體會流經位在容器内壁與分 離捕捉裝置之捕捉器之間之捕捉效率較差的部位，且流經 該分離捕捉裝置而不會被捕捉。 [發明概要] 本發明係有鑑於上述之缺點而發展出來。因此，本發 明之一目的係要提供一種分離捕捉裝置，其在薄膜鍍覆加 工或類似加工中係可以增加捕捉效率，且同時仍可維持在 猪閉式费封腔室之傳導速率，並且可增加真空泵的使用壽 命，且可保護一有毒物質清除裝置，此外，其亦可降低設 備成本以及運轉成本。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依照本發明之第一態樣，其係提供一種分離捕捉裝 置，包括：排放路徑，用以藉由真空泵而抽空一密閉式密 封腔室；密閉式密封之捕捉容器，其係延伸通過該排放路 袓以及配置在該排放路徑旁邊之再生路徑；捕捉器，其係 配置在該捕捉容器中，用以使排放氣體中之反應產物附著 於其上，並且將該反應產物由排放氣體中移除，該捕捉器 係可以選擇式地定位在該排放路徑或該再生路徑；閥體元 件’其係配置在該捕捉斋之兩側’且係可以與該捕捉器一 體式地移動；以及密封材料，其係安裝在該閥體元件之外 周面上，以在該捕捉器移動時滑動通過該捕捉容器之内周 面。 藉由以上之設計’由於捕捉器之外徑係設計成與該捕 捉容器之内徑相近，因此導入至具有捕捉器之捕捉容器中 311677 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規袼（210 X 297公釐） 499546
五、發明說明（4 ) (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 之排放氣體的接觸率便可以增加。因此，在排放氣體中之 反應產物的捕捉效率便可以提升，且同時仍可以維持排放 氣體之導率（conductance)，並且可以維持預定的排放效能 而不會影響到在密閉式密封腔室中之加工處理或真空I# 性能。再者，由於該捕捉器係選擇性地定位在排放路徑或 再生路徑，因此該捕捉之再生便能以連續的方式來進行， 且因此該捕捉再生工作便可以簡化。 該密閉式密封腔室可包含用於半導體製造裝置或類似 裝置之加工處理腔室。若有需要，亦可以設置用以將有毒 物質由加工處理氣韙中移除之排放氣體處理裝置。該真空 栗敢好係包含乾式果’其在排放路徑上係未採用潤滑油， 以防止由於潤滑油的逆擴散而污染到該腔室。 依照本發明之第二態樣’其係提供一種分離捕捉裝 置’其中至少兩個捕捉器係配置在該捕捉容器中，以同時 在該排放路徑上進行捕捉操作以及在該再生路徑上進行再 生操作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藉由以上之設計，由於其不需要中斷該裝置以進行捕 捉器之再生操作，以及免除了準備一捕捉器來加以更換之 需要，甚至在長時間操作的情況下亦然，因此在該密閉式 密封腔室中便可以進行連續且穩定的操作。再者，藉由採 用用以控制該切換時間的適當裝置，該系統便可以相當簡 單地達到自動化操作之目的。 #該捕捉器係用以做為溫度捕捉器 unit)時，一熱媒質係可以由外部導入至捕捉器中。液化氣 本紙張尺度刺+ ® S家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 4 311677 499546 A7 五、發明說明（ (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 體（例如’液態氮）之汽化熱、冷卻水或冷卻劑係可用以做 為該熱媒質。在另一方法中，電熱元件（peltier元件）、脈 衝管冷卻器（pulse tube refrigerator)或類似裝置係可以在 捕捉器中產生低溫，而不需要其本身具有熱媒質的流動。 在再生部分中，如同在捕捉器的例子中，亦可以採用 熱媒質，或者係採用加熱器、電熱元件、自發性溫度上升 元件（spontaneous temperature rising element)或類似元 件在再生操作中’用於再生之熱媒質（通常係氣體）係可 以採用再生氣體或類似物。或者，該熱媒質以及再生氣體 係了以刀別回收。在彼此分開地回復的例子中，其係另外 設有再生媒質路徑。 一氣缸係可切換且驅動該捕捉器。在此例中，其係可 以採用包含有電磁閥以及速度控制器之空氣驅動控制裝置 來進行控制。再者，該空氣驅動控制裝置係可以藉由排序 器（sequencer)或通過繼電器之控制訊號來加以控制。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 舉例來說，用以藉由全自動方式而不需要手動方式來 進行捕捉器之切換操作之方法，係包括設置用以偵測在捕 捉器之前的壓力與在捕捉器之後之壓力之間的壓力差之感 測器，且當所偵測的值到達一預定值時便進行切換，以及 包括一種更實用的方法，其中該適當的切換時間係預設 的。當針對一再生路徑設置一排放路徑時，由於捕捉時間 係相同於再生時間，因此再生之效能係比捕捉之效能還 兩’使得再生操作係會比捕捉操作還容易來完成。 依照本發明之第三態樣，其係提供一種分離捕捉裝 本ϋ適用中 各⑽ x 29fi：釐)---；-— 499546 A7 五、發明說明（6 ) 置，其中該密封材料係安裝在該闕體元件之外周面上，而 可以朝向該捕捉谷器之内周面而擴張。該密封材料之擴張 係可以使該密封材料與捕捉容器之内周面形成緊密的接 觸’當該闕體元件處在停止狀態時(密封狀態），這可以確 保具有充份的密閉式密封。當閥體元件移動時，密封材料 係會徑向地收縮，以降低密封材料由閥體元件之外周面突 伸出之部分。因此，由於閥體元件移動時所造成之負載便 會降低，使得密封材料之耐用性可以增加。
I f 訂 雪 I I I 在本發明之-較佳態樣中，該密封材料係僅有當該密 封材料徑向擴張時’其才會與該捕捉容器之内周面相接 觸。藉由此一設計’當閥體元件處在停止狀態時（密封狀 態），其係可以具有充份的密閉式密封。當閥體元件移動 時’在密封部位上之負載便可以減小。 依照本發明之第四個態樣，其係提供一種分離捕捉裝 置，其中該《71：件係、包含藉由向外擠麼該密封材料而使 該密封材料徑向擴張之裝置。藉由上述之設計，間體元件 之内部空間便可以有效地利用，因此可以形成一種小 分離捕捉裝置。 、在本發明之一較佳態樣中，該用以徑向擴張該密封材 料之裝置係可相對地移動一對互相面對之構件，或者係一 對具有斜面之構件使之彼此遠離或彼此靠近者，其中該斜 面係互相面對，且具有朝外展開之V形橫截面形狀。/ 藉由上述之設計，機械式地使一對構件互相接近係可 讓密封材料藉由垂直表面或斜面而徑向地擴張。再者，使 本紙張尺度適财®ϋ#準（CNS)A4規格（21G X 297公釐） 〇 坩‘ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 499546 A7 '------— B7 _____ 五、發明說明（7 ) 一對構件沿朝向彼此遠離之方向來移動，係可藉由密封材 料之彈性力而使密封材料徑向地收縮。 依照本發明之第五個態樣，其係提供一種分離捕捉裝 置，包括：排放路徑，用以藉由真空泵而抽空一密閉式密 封腔室；密閉式密封之捕捉容器，其具有入口以及出口， 並且構成該排放路徑之一部分；捕捉器，其係配置在該捕 捉容器中，用以使排放氣體中之反應產物附著於其上，以 及將該反應產物由該排放氣體中移除；以及節流部分，其 係配置在該捕捉容器之吸入口，用以調節在該吸入口中之 排放氣體的流動，使得該排放氣體流向該捕捉器的内部。 藉由上述之設計，排放氣體之流動係可以在節流部分 來加以調節，以使其朝向捕捉器内部來流動，並且經由入 口而導入捕捉容器，且接著再次地散開而流經捕捉容器。 因此’排放氣體之大部分係可以與捕捉器相接觸，以增加 捕捉效率而不會過大地降低導率。該節流部分之開口面積 最好係在捕捉容器中之入口處的通道面積的80%至90%。 依照本發明之第六個態樣，其係提供一種分離捕捉裝 置，包括：排放路徑，用以藉由真空泵而抽空一密閉式密 封腔室；密閉式密封之捕捉容器，其具有入口以及出口， 並且構成該排放路徑之一部分；捕捉器，其係配置在該捕 捉容器中，用以使排放氣體中之反應產物附著於其上，以 及將該反應產物由該排放氣體中移除；以及抑制部分，其 係配置在該捕捉容器之棑放口，用以抑制在該排放口中之 排放氣體之流動。 杰紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 7 311677 ^---I I--------- ! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（8 ) 藉由以上之設計 # 、 彳皮導入捕捉容器之排放氣體的流動 出：被抑制’且因此其不會順利地由捕捉容器之出口流 因此排放乳體係會在該捕捉容器中停留一段較長的 因此該捕捉效率便可以因為排放氣體與捕捉器有 乂長時間的接觸而有所增進。 在本發明之一較佳態樣中，該捕捉器係包含具有彎曲 、捕捉表面之折流板。藉由此—設計，其係形成—弯曲的 #捉通道，以增加在排放氣體中之氣體分子與捕捉表面碰 撞的機會，藉此增加該捕捉效率。 在此例中’該捕捉表面係呈弧形之形狀，該弧之中心 轴係橫越過該排放路徑。藉由上述之設計，具有f曲之捕 捉表面之折流板係能以較為簡單之方式來形成。 本發明上述及其他的、特徵及優點，係可以配合後附 之圖式而由以下之說明中獲得更深入之瞭解，其中在圖式 中所不之本發明較佳實施例僅係做為示例性說明。 [圖式之簡單說明] 第1圖係一系統示意圖，其中顯示具有本發明第一實 施例之分離捕捉裝置之抽真空系統； 第2A圖係第1圖所示之分離捕捉裝置的截面側視 圖； 第2B圖係第2A圖所示之分離捕捉裝置之部分放大截 面視圖； 第3圖係第1圖所示之分離捕捉裝置之截面前視圖； 第4圖係依照本發明第二實施例之分離捕捉裝置的截 / 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 8 311677 ---II I — I I I —Aw - I I II I I I ^ illlm (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .發明說明（9 ; 面前視圖； 面前=圖係依照本發明第三實施例之分離捕捉裝置之截 第 6 圖係 一 AJt. - ^ 系統不思圖，其中顯示具有依照本發明第 四實施例之分離捕捉裝置的抽真空系統； 五實I t —系統示意圖’其中顯示具有依照本發明第 五實施例之分離捕捉裝置的抽真空系統； 第8圖係_千笛7 _ 的·；、 顯弟圖所示之分離捕捉裝置之主要部分 的戴面視圖； 賞I刀 圖係通過第8圖之剖面線A-A之戴面視圖； 移動狀態：圖截面視圖，其中顯示當-閥體元件處在 之密封：料加以將配置在第8圖所示之分離捕捉裝置中 崔封材枓加以徑向擴張之裝置； 第10B圖係一截面視 m ^ ^ 停止狀態（密封狀離）時，用 顯备一闕體凡件處在 捕捉裝置中將配置在第8圖所示之分離 捉裝置中之密封材料加以徑向擴張之裝置； 第11圖係一截面視圖，发中 一密封材粗夕I ，、 本發明用以徑向擴張 雀釕材枓之第二裝置的主要部分； 第12A圖係一截面視圖，i 張一密丨地 八肀顯不本發明用以徑向擴 張在封材料之第三裝置的主要部分； 圖；第咖圖係通過第12A圖之剖面線b_b所取之載面視 移二圖係一截面視圖’其中顯示當闕體元件係處在 ，本發明用以徑向擴張一密封材料之第四裝置 巧尺度適用_(CNS)A4規格(2i? X 297公釐） __ y 311677 -------1----裝-------丨訂--1-----線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁：> 499546 統。 A7 — --21___^~-_ 五、發明說明（10 ) 的主要部分； 第13B圖係一截面視圖，其中顯示當閥雜元件係處在 停止狀態（密封狀態）時，本發明用以徑向擴張〆密封材料 之第四裝置的主要部分； 第14A圖係一截面視圖，其中顯示當閥體元件係處在 移動狀態時，本發明用以徑向擴張一密封材料之第五裝置 的主要部分； 第14B圖係一截面視圖，其中顯示當閥體元件係處在 停止狀態（密封狀態）時，本發明用以徑向擴張一密封材料 之第五裝置的主要部分； 第15圖係一圖表，其中顯示在第j圖至第3圖所示之 抽真空系統中之捕捉效率及傳導速率的測量結果；以及 第16圖係一系統示意圖，其中顯示一習知之抽真空系 [元件符號說明] 10 分離捕捉裝置 12, 201密閉式密封腔室 14,203真空泵 16,202排放路徑 18 再生路徑 20,204棑放氣體處理裝置 22 清潔液體管路 24 乾燥氣體管路 26a，26b，28a，28b 控制閥 30 阻塞板 32 捕捉容器 34 捕捉器 36 軸桿 38 注入管 38a 入口 40 排出管 40a 出σ 42 清潔液體注人α 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297 311677 ----------丨丨-Iglp.裝----I----訂 -------線 請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 499546 五、發明說明（11 ) A7 B7 44 清潔液體排出口 46 乾燥氣體吹 48 乾燥氣體排出口 50 閥體元件 50a 氣體流動凹槽 50b 通孔 51 密封件安裝凹槽 52 密封材料 54 捕捉/再生腔室 56 端板 58a，58b，58c 折流板 60a至60d捕捉通道 62 導引部分 64 熱媒質通道 66,70 孔 68,72 調節板 80 流動控制氣體口 82a，82b，84a，84b 控制 90,92 圓盤體 94 圓柱狀部分 96 可動環圈 98 墊圈 90a，92a，96a，96b 斜面 100 圓盤狀主體 100a 環狀周緣凹槽 102 雙金屬 11〇，112圓盤體 114 彈簣 116 環圈 118 墊圈 120 0形環 122 覆蓋材料 I------ - ----裝 i —丨 1丨丨訂----1----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [較隹實施例之詳細說明] 依照本發明實施例之分離捕捉裝置將在下文中參考所 附之圖式來坪加說明。在各圖式中’類似或相同之零件將 以相同之元件標號來加以標示。 第1圖至第3圖係顯示依照本發明之第一實施例之分 離捕捉裝置。該分離捕捉裝置10係延伸通過排放路徑16 以及再生路徑18，其中該排放路徑16係用以藉由真空栗 14來抽空翁閉式德、封腔室12，而該再生路徑18則传配置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 11 311677 499546 A7 B7 五、發明說明（12 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在排放路徑16附近。在此實施例中，該真空泵14係單級 真空泵。或者，亦可以採用多級真空泵。排放氣體處理裝 置20係配置在真空泵14之下游，該排放氣體處理裝置20 係用以由排放氣體中移除有毒物質。該再生路徑18係具有 清潔液體流通之管路22，以及乾燥氣體流通之管路24。在 清潔液體管路22中，在其入口側及排放侧係分別配置有控 制閥26a及26b。在乾燥氣體管路24中，在其抽吸侧及排 放侧係分別配置有控制閥28a及28b。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第2A圖及第2B圖所示，該分離捕捉裝置1〇係包 含大致為圓柱形之捕捉容器32、軸桿36、捕捉器（trap unit)34以及一空氣缸（圖上未顯示），其中該捕捉容器32 之兩端係由阻塞板30加以密閉式密封，而該軸桿36係沿 著該捕捉容器32之中心軸而刺穿過該捕捉容器32，該捕 捉器34係安裝在軸桿36上，且配置在捕捉容器32中，而 該空氣缸則係用以做為驅動裝置，以使該軸桿3 6可以沿著 捕捉容器32之中心軸而往復地移動。與該排放路徑16相 連通之注入管38及排出管40係分別經由入口 38a及出口 40a而連接至捕捉容器32。再者，該捕捉容器32係具有清 潔液體注入口 42及清潔液體排出口 44與該清潔液體管路 22相連通，且具有乾燥氣體吹氣口 46以及乾燥氣體排出 口 48與該乾燥氣體管路24相連通。 一對圓盤狀閥體元件5〇、5〇係固定在該軸桿36上。 每一閥體元件50係位在該捕捉器34之兩側，且具有比該 捕捉容器32之内徑略小的外徑。如第2B圖所示，密封件 巧張尺度ϋ家鮮- 311677 12 499546 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 --—--— B7 五、發明說明（13 ) 女裝凹槽51係形成在閥體元件5〇之整個外周面，且密封 材料52係安裝在該密封件安裝凹槽51上。舉例來說，該 密封材料52最好係採用〇形環或帽蓋型密封件—° seal)。每一密封材料52係具有一厚度，使得當該密封材 料52安裝在密封件安裝凹槽51上時，該密封材料w係會 被密封件安裝凹槽51以及捕捉容器32之内周面所擠壓。 密封材料52與捕捉容器32之内周面之間的緊密接觸係可 以將捕捉容器32之内周面與閥體元件5〇之外周面之間的 間隙加以密封。藉由在該捕捉容器32之内周面鍍覆Tdl⑽ 或類似物質，閥體元件50即可报容易地滑動，並且亦可以 加強其抗化學腐蝕性。 藉由以上之設計’其中具有捕捉器34之密閉式密封捕 捉/再生腔室54即形成在該捕捉容器32中之一對閥體元件 5〇、50之間。當該捕捉器34位在對應於排放路徑16之排 放位置時，該密閉式密封捕捉/再生腔室54即用作捕捉腔 室，而當捕捉器34位在對應於再生路徑18之再生位置時， 該密閉式密封捕捉/再生腔室54則用作再生腔室。 因此’位在闕體元件50之外周面上之密^村料^係 可以免除由該捕捉容器32之内周面突伸出而形成在該捕 捉位置與再生位置之間的構件。因此，即使該捕捉器： 之外徑匀係大致相等於該捕捉容器32之内徑t，該捕捉 器34之移動亦不會受阻。在捕捉器34與捕捉容器32之間 的間隙係小到可使由捕捉器34旁邊流過而未與捕捉器 相接觸之排放氣體與整體導入氣體之比例得以降低。°這可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）_ ^^—-- - 13 311677 β- Μ--------^----— —^__w— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 499546 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（14 ) 以增加捕捉之效率。 溫度感應器（Tc)係位在該捕捉器34之一預定位置上， 而壓力感應器（P)則位在該排放路徑16上之捕捉器34的上 游或下游處。溫度及壓力差便可以由這些感應器偵測。 如第3圖所示，該捕捉器34係包含一對安裝在軸桿 36上之端板56 ’其彼此係呈軸向相對之配置關係，且包含 延伸在這些端板56之間的折流板（baffle plate)58a、58b、 58c(在第3圖之實施例中係顯示總共有六個板體），其係以 水平對稱之方式來加以配置，藉此在相鄰折流板之間、在 折流板58a與軸捍36之間、在折流板58c與捕捉容器32 之内壁之間形成捕捉通道60a、60b、60c、6Od，以使捕捉 谷器32之上方部分與下方部分得以連通。在此一實施例 中，該折流板58a、58b、58c係具有大約呈半圓形之水平 截面形狀，且與該軸桿36呈同心配置。因此，捕捉通道 60a、60b、60c、60d係形成環繞軸桿36之旁通通道。 在中間的折流板58a、58b之上方及下方端部係設有垂 直延伸之導引部分62。該折流板58a、58b、58c及端板56 係由具有良好熱傳係數之材料所製成。該折流板58a、 58b、58c係可以藉由端板56而與軸桿36形成熱傳導來加 以冷卻。 軸桿36之中係形成有可流通冷卻熱媒質的通道64。 冷卻熱媒質係包含諸如液態氮、冷卻空氣或水之液體，其 係用以供應至熱媒質通道64中。 一對調節板68、68係配置在捕捉容器32之入口 38a，
Aw ^ -—--------— (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 14 311677 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 499546 A7 —------l 五、發明說明（15 ) 且構成孔66’以做為用以在寬度方向上窄化入口 38a之節 流部分。孔（節流部分）6 6《寬度A㈣計成大致相同於該 最外側折流板58c之開口寬度。在節流板68、68之間之間 隙的寬度A與注入管38之寬度B之比值A/B，亦即面積 的縮減，係大約在80%至90%之間。 如此建構成之分離捕捉裝置的操作方式將說明如下。 如第2A圖所示，當該捕捉器34係位在該排放路徑16中 之位置時，該密閉式密封捕捉/再生腔室54係用以做為捕 捉腔室。諸如液態氮之冷卻熱媒質係流經軸桿中之熱媒 質通遒64，以冷卻鵁捕捉器34。 當真空泵14運轉時，由密閉式密封腔室12所排放出 來之氣體係經由排放路徑16而被導入至捕捉容器32中。 該排放氣體係流經該 注入管38，並且到達由該調節板68、 68所形成之孔（節流部分）66。該孔（節流部分）66係縮減排 放氣體之流動寬度，且同時增加該排放氣體之流動速度。 接著，排放氣體便會流進捕捉容器32。 由孔66流出之排放氣體係向下游流動，且其流動寬度 係增加的。該排放氣體之一部分係流經位在中央侧之捕捉 通道60a、60b、60c。其餘的排放氣體則係流經最外側之 捕捉通道60d。該已經沿著由折流板58a、58b、58c所形 成之彎曲捕捉通道60a、60b、60c、60d而流動之排放氣體， 係隨著與折流板58a、58b、58c相接觸而被冷卻。在排放 氣體中容易凝結之成份係會沉積在折流板58a、58b、58c 上，且會附著在折流板58a、58b、58c之内部及外部表面 I IAW ^ -----------11-- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 15 311677 499546 A7 B7 五、發明說明（16 ) 上。 在此一實施例中，由於排放氣體之流動寬度係受到孔 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 66所縮減，因此排放氣體流經位在中央側之捕捉通道 60a、60b、60c相對於整體排放氣體之比例便可以增加。 位在外側之捕捉通道60d中，僅有面向經過加熱以防止沉 積之捕捉容器32之折流板58c係用以冷卻該排放氣體。因 此’該捕捉通道60d之捕捉效率係小於其他捕捉通道6〇a、 60b、60c之捕捉效率。於是，藉由增加排放氣體其流經中 央側之捕捉通道60a、60b、60c相對於整體排放氣體之比 例，即可增進整體捕捉器之捕捉效率。 再者，流出孔66之排放氣體係具有散佈在寬度方向上 之速度分量。因此，該排放氣體與位在捕捉器34之上方部 分之折流板58a、58b、58c之内側表面碰撞之機會便會增 加。這可以增進整體捕捉器之附著效率。 再者’在此實施例中，由於捕捉通道6〇a、6〇b、6〇c、 60d係呈弧狀之彎曲形狀，因此在排放氣體中之氣體分子 與該由折流板58a、58b、58c之内部及外部表面所構成之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 捕捉表面相碰觸之機會便會增加，進而增加了氣體分子之 捕捉效率。此一捕捉動作不僅係可以藉由冷卻而捕捉氣體 分子，且亦可以藉由吸附作用而將顆粒捕捉在捕捉表面 上。 …再者，由於捕捉器34之外徑匀係設計成相近於該捕 捉容器32之内徑I，因此該由捕捉器34旁邊流過而未與 捕捉器34相接觸之排放氣體與整體導入氣體之比例係相 胃本紙張尺度顧巾g g^^CNs)A4規格⑽χ撕公爱）- --—ZZ-- 499546 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 17 311677 A7 五、發明說明（17 ) 當小。因此’在排放氣體中之反應產物的捕捉效率便可以 k升’且仍可以保持該分離捕捉裝置之導率（c〇n(juetance)。 本案發明人針對捕捉NH4C1來進行實驗。結果，可以獲得 焉達98°/〇之捕捉效率。再者，已經證實，在此例中之導率 值（level of the conductance)係相當良好，而不會產生任何 與半導體製造設備之操作有關之問題。 當該捕捉操作完成時，捕捉器34之冷卻動作便停止， 且接著運轉該空氣缸以移動軸桿36，藉此將該捕捉器34 移動至再生路徑18側。在此一狀態下，該清潔液體管路 22與乾燥氣體管路24便與捕捉/再生腔室54相連通，清 潔液體便可以由清潔液體注入口 42導入至捕捉/再生腔室 54。所捕捉之反應產物係溶解在清潔液體中，或者係藉由 清潔液體之物理動作而與板體分離，然後隨著清潔液體而 由清潔液體排出口 44排出。因此，所捕捉之反應產物便被 清除。在完成清潔之後，例如氮氣之乾燥氣體，係經由乾 燥氣體吹氣口 46而徙應至捕捉/再生腔室54中，以將該捕 捉器34以及捕捉/再生腔室54内部空間加以乾燥。接著， 乾燥氣體便由乾燥氣體排出口 48排放出去。在完成乾燥之 後，捕捉器34便會回到排放路徑16侧，以準備進行下一 次之捕捉操作。 該捕捉/再生腔室54係藉由安襞在閥體元件5〇上之密 封材料52而保持密閉式密封狀態，以藉此防止在捕捉或再 生期間，巧染物由外部進入至排放路徑16或再生路徑^ 第4圖係顯示依照本發明第二實施例之分離捕捉裝 用中國國家標準（cNs)^Tii (210 x 297公釐） ---- I I I I 1 1 - I I I I I I I ^ ·111!1! (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 499546 五、發明說明（18 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 置。在此一實施例中，一對調節板72、72係配置在捕捉容 器32之出口 40a而構成孔70’該孔7〇係用以做為一抑二 部分（suppression section) ’以抑制排放氣體之流動該孔 7〇係可以縮減排出口 40a之寬度，以抑制流經排出口 之排放氣體的流動。其他之結構係與本發明第一實施例相 同。 依照本發明之第二實施例，由密閉式密封腔室12排放 出來之排放氣體係流入且經過該捕捉容器32，並且由排出 口 40a流出。在此同時，排放氣體之流動係受到孔（抑制部 分）7〇的抑制。藉由上述之設計，該排放氣體係會在捕捉 容器32中停留一段較長的時間。再者，除了上述增加流經 位在中央側之捕捉通道60a、60b、6〇e之排放氣體比例之 效果以及具有良好捕捉效率之效果外，延長排放氣體與位 在該捕捉器34中之折流板58a、58b、58c之内部及外部表 面相接觸之時間，係可以進一步地增進捕捉效率。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第5圖係顯示依照本發明第三實施例之分離捕捉裝 置。該分離捕捉裝置係取代在第二實施例中之孔（節流部 分）62 ’而在捕捉容器32中之入口 38a的右侧及左側壁體 上形成流動控制氣體口 80，以在垂直於排放氣流之方向上 供應流動控制氣體。該流動控制氣體口 係連接至流動控 制氣體源’其係在預定的壓力及流率條件下供應諸如氮氣 之惰性氣體。該由流動控制氣體口 80所供應之流動控制氣 體之壓力及流率係設計成使得該流動控制氣體僅會流經最 外側之捕捉通道60d。其他之結構係與本發明第二實施例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 18 311677 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 499546 A7 __ Dy . .................. "-I 丨圓丨圓1 -. — 五、發明說明（19 ) 相同。 依照此一實施例，由密閉式密封腔室12所排放出來之 排放氣體係與該流動控制氣體一起流入至捕捉容器3 2 中，其中該流動控制氣體係具有預定之壓力及流率，且其 係由位在捕捉容器32中之注入口 38a處之右侧及左侧之流 動控制氣體孔口 80所導入。因此，排放氣體主要係流經位 在中央侧之捕捉通道60a、60b ' 60c，而很少會流經最外 側之捕捉通道60d。相反地，流動控制氣體主要係流經最 外側之捕捉通道60d，而很少會流經位在捕捉通道6〇d内 侧之捕捉通道60a、60b、60c。 因此，由於排放氣體很少流經位在捕捉容器3 2壁體侧 且幾乎未具有捕捉能力之最外侧捕捉通道6〇d，因此便可 以防止捕捉效率降低。如在第二實施例之例子中，除了由 於當排放氣體流經捕捉容器32且由排放口 40a流出時，藉 由孔（抑制部分）70抑制流動而使該排放氣體在捕捉容器32 中停留較長的時間的優點以外，第三實施例之上述效果係 可以更進一步地增進捕捉效率。 弟6圖係顯示依照本發明第四實施例之分離捕捉裝 置。在分離捕捉裝置10中，再生位置係位在捕捉容器32 之排放位置的兩側。該排放路徑1 6係連接至排放位置，且 該再生路徑18係連接至兩再生位置。該軸桿36係具有兩 個捕捉器34、34，且三個閥體元件50、50、50係分別值 在左側捕捉器34之左側、右侧捕捉器34之右側、以及在 兩捕捉器34、34之間的位置。該密封材料52係安裝在密 ------III — —Aw ill — —--t· — ! —---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 19 311677 499546 A7 ______B7_ 五、發明說明（20 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 封件女裝凹槽51 (參照第2B圖），密封件安裝凹槽51係設 在母一閥體元件50之外周面上。因此，三個閥體元件5〇、 50 50以及捕捉谷器32之内壁係形成兩個捕捉/再生腔室 54、54,每一捕捉/再生腔室54係由密封材料52加以密閉 式地密封。 在此一實施例中，具有控制閥26a、26b之清潔液體管 路22係接合具有控制閥28a、28b之乾燥氣體管路24，然 後該接合在一起之管路便分歧成兩個再生路徑18、丨8而進 入至分離捕捉裝置10中。該分歧之再生路徑18係在分離 捕捉裝置10之下游倒彼此匯合在一起，然後該結合之路徑 便被分歧成清潔液體管路22及乾燥氣體管路24。在分離 捕捉裝置10之再生路徑18、18的上游及下游係設有控制 閥 82a、82b、84a、84b。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依照此一實施例，在第6圖所示之狀態中，左側捕捉 器34係定位在左側之再生路徑18且進行再生。該右侧捕 捉器34係定位在排放路徑16中，且進行捕捉。之後，軸 桿36係移動使得左侧捕捉器34係定位在排放路徑16中， 並且進行捕捉，而右側捕捉器34則係定位在右侧再生路徑 18且進行再生。因此，在再生操作與捕捉操作之間的變換 係可使捕捉操作連續地進行，且免除了要中斷該裝置以進 行捕捉器34之再生操作以及準備一捕捉器來加以更換之 需要，甚至在長時間操作的情況下亦然，而可使該密閉式 密封腔室12可以持續地進行。 第7圖至第10B圖係顯示依照本發明之第五實施例之 家鮮(⑽織格⑽•公幻 499546 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 311677 A7 五、發明說明（21 ) 分離捕捉裝置。在第7圖至第10B圖所示之分離捕捉裝置 10之結構基本上係與第6圖所示之分離捕捉裝置相同。詳 言之，再生位置係位在捕捉容器32之排放位置的兩側。該 排放路徑係連接至排放位置，且該再生路徑18係連接 至兩個再生位置。該軸桿36係具有兩個捕捉器34、34， 且三個閥體元件50、50、50係分別位在左側捕捉器“之 左側、右侧捕捉器34之右側、以及在兩捕捉器34、34之 間的位置。該密封材料52係安裝在密封件安裝凹槽51上， 密封件安裝凹槽51係位在每一閥體元件5〇之外周面上。 因此，三個閥體元件50、50、50以及捕捉容器32之内壁 係形成兩個捕捉/再生腔室54、54，每一捕捉/再生腔室54 係由密封材料52加以密閉式地密封。 在此一實施例中，具有控制閥26a、26b之清潔液體管 路22以及具有控制閥28a、28b之乾燥氣體管路24係分別 連接至分離捕捉裝置10。在此一實施例中，捕捉器34之 外梭係設計成接近捕捉容器32之内徑。因此，如第9圖所 不’該間隙d係可以設計成較小，以增加捕捉效率。 如在第10A圖及第1 0B圖詳細地顯示，該閥體元件5 〇 係具有一對圓盤體90、92。藉由驅動用以使軸桿36(參閱 第7圖至第9圖）移動及往復運動之作為驅動裝置之氣缸 (圖上未顯示），該圓盤體90、92即可朝向一方向來移動， 其中該方向係可使該圓盤體90、92互相接觸或互相分離之 方向。其中圓盤體90，係具有圓柱狀部分94，其係延伸向 另一圓盤體92。具有尖頂（steeple)截面形狀之可動環圈96 本紙 (CNS)A4 規格⑽ x 297 公羞） Μ----------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 499546 A7 ....................................... ............................. B7 五、發明說明（22 ) 係與該圓柱狀部分94之外周面鬆散地銜接。再者，墊圈 98係插置在圓盤體90、92之間，以使其可以定位在該圓 柱狀部分94之内周面上。 再者斜面90a係形成在圓盤體90面向可動環圈96 之斜面96a之部位上，使得由斜面9〇a及96a所形成之空 間係朝外擴寬而形成一 v形橫截面形狀。斜面92a係形成 在圓盤體90面向圓盤體92之另斜面96b之部位上，使得 由斜面92a及96b所形成之空間係朝外展開而形成一 v形 橫截面形狀。兩密封材料52、52係設置成可以分別抵靠在 互相面對之斜面90a及96a，以及抵靠在互相面對之斜面 92a 及 96b 。 因此，如第10A圖所示，當一對圓盤體9〇、92係朝 向彼此遠離之方向而移動時，其中一密封材料52係容置在 由該斜面90 a及96b所包圍之區域中，而另一密封材料52 則容置由斜面92a及96b所包圍之區域中。在此例中，該 密封材料52係配置成使得密封材料52之外周面係朝外突 伸出一相當小之範圍。當一對圓盤體90、92係朝向彼此而 移動更為接近時，如第10B圖所示，該密封材料52係會 被該斜面90a、96a、92a、96b擠壓，且因此可以徑向地擴 張’使得其中一密封材料52係與三個表面形成緊密地接 觸’亦即斜面90a、96a以及捕捉容器32之内周面，如同 與所謂之三角形凹槽的情況一樣。同樣地，另一密封材料 52係與三個表面形成緊密地接觸，亦即，斜面92a、96b 以及捕捉容器32之内周面。藉此，便可以達到可靠的密封 I 裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 22 311677 499546 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（23 ) 以及雙層之密封結構。 在此實施例中，該捕捉操作以及再生操作之方式，義 本上係與在第6圖所示之第四實施例之操作方式相同。然 而，在氣缸（圖上未顯示）被驅動以移動該軸桿36之前，闕 體元件50之圓盤體90、92係朝向彼此遠離之方向來移動， 使得密封材料52係分別容置在由斜面9〇a、96&所包圍之 部位以及由斜面92a、96b所包圍之部位。在軸桿^移動 之後’該對圓盤體90、92係朝向彼此接近之方向來移動， 使得該密封材料52係分別地壓抵在斜面9〇a、96b且壓抵 在斜面92a、96b上，並且因此徑向地伸張。藉此，密封材 料52係會分別地與三個表面緊密地接觸，亦即，斜面9〇a、 96a以及捕捉容器32之内周面，以及與三個表面形成緊密 接觸，亦即，斜面92a、96b以及捕捉容器32之内周面， 以進行密封。 如上所述，密封材料52係徑向地伸張而與捕捉容器 32之内周面緊密地接觸，因此當閥體元件5〇處在停止狀 態時（密封狀態）’便可以達到充份的密閉式密封。再者， 當閥體元件50移動_，密封材# 52係徑向地收縮以降低 由閥體元件50之外周面突伸出之部分。因此，密封材料 52其由於在閥體元件5〇移動時滑動所產生之磨擦力，以 及諸如當密封材料52通過不同部位之間（諸如注入管刊、 排出管40、清潔液體注入口 42、清潔液體排出口 44、乾 燥氣體吹氣口 46、乾燥氣體排出口 48)所造成之衝擊力的 負載便可以降低’使得該密封材料52之㈣度可以增加。 本紙張^度適財國國家標準^S)A4規格咖χ 2 了 — 幻 23 311677 ------------Μ--------訂----I----線HP"" (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁)
499546 五、發明說明（24 ) 在此一實施例中，其係形成有一雙層的密封。然而， 使用在本實施例中之可動環圈係可以省略，而形成單一密 封結構，其中該單一密封材料係插置在該對圓盤體之個別 斜面之間。 第11圖係第五實施例之第二修飾實施例。如第〗丨圖 所示該费封材料52係可以徑向地伸張。在第丨丨圖中， 閥體元件50係具有氣體流動凹槽50a形成於其中，且該氣 體流動凹槽50a係經由通孔5〇b而與位在閥體元件5〇之外 周面上之费封件安裝凹槽5丨相連通。在此一修飾實施例 中，當閥體元件50係在中止狀態時（密封狀態），一加壓氣 體係v入至氣體流動凹槽50a中，以將密封材料52朝外施 壓，並且以其氣體壓力而使該密封材料52徑向地擴張，藉 此該密封材料便可以與捕捉容器32之内周面形成緊密的 接觸。當閥體元件50移動時，氣體便停止導入，且該密封 材料52便藉由密封材料52之彈性力而徑向地收縮，以減 v其朝外犬伸之部分，藉此降低由於滑動而在密封材料Μ 上之負載。 圖及第12Β圖中係顯示第五實施例之第三修飾 實施例如第12Α圖及第12β圖所示，該密封材料52係 可以徑向地擴張。環狀周緣凹槽1GGa係位在—圓盤狀主體 _之外周面’且半分開雙金屬（half spHt Μ_ι)ι〇2係 與該環狀周相槽⑽a之㈣鬆散地純在—起，以構成 -闕體元件50。該雙金屬1〇2係藉由加熱或者係供應一電 流而向外打開。在此一修飾實施例中，當閥體…。係位 本紙張—尺度翻T關家標準（CNS)A4規袼（21_G x 2 - ； 24 311677 -----------Aw M. ------- ^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^40 ^40
五、發明說明（25 ) 在中止狀癌（费封狀態）時，該雙 ^ 茨I i屬102係被加熱或供應 -電流’並因此以力量F而向外打開。因此，該密封材料 Η係藉由雙金屬1G2之力量F而被朝外加壓，並且徑向伸 張，且因此可以與捕捉容器32之内周面形成緊密接觸。當 閥體兀件50移動時，加熱或供應電流便停止，且該密封材 料52係藉由密封材料52之彈性力而徑向地收縮，以降低 其朝外突伸之部分，藉此減少由於滑動而在密封材才㈣ 上所產生之負載。 第13A圖及第13B圖係顯示第五實施例之第四修飾實 施例。如第13A圖及13B圖所示，該密封材料52係可以 徑向地擴張。在第13A圖及第13β圖中係顯示在第8圖所 不之二個閥體7G件50。每一閥體元件5〇皆包含一對圓盤 體110、112。位在右侧之閥體元件5〇以及位在左側之閥 體元件50係具有彈簧114插置在圓盤體11〇、112之間， 以使圓盤體110、112朝向彼此遠離之方向來移動。因此， 以作為驅動裝置之氣缸驅動軸桿36作往復運動（參閱第8 圖），該圓盤體110、112即可籍由彈簧114之彈力而朝向 彼此遠離或接近之方向來移動。 環圈116係插置在介於圓盤體11〇、112之間的位置。 密封材料52係分別配置在介於環圈116與圓盤體11〇、112 之間的位置。再者，墊圈118係插置在圓盤體u〇、112 之間。 如第13A圖所示，在該對圓盤體i1〇、U2朝向彼此 遠離之方向移動的狀態下，該密封材料52係分別容置在由 I----Aw ---I----------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 25 311677 499546 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 五、發明說明（26 ) 該環圈116之兩侧邊與圓盤體110、112之間所界定之區 域’且不會被擠壓。詳言之，該密封材料52係未與捕捉容 器32之内周面相接觸，且係以一自由的狀態容置於其中。 當一對圓盤體11〇、112接著朝向彼此而靠近時，如第13B 圖所示’該密封材料52係分別由環圈116以及圓盤體 110、112所加壓而因此徑向地擴張，藉此造成每一密封材 料52之外周面與捕捉容器32之内周面相接觸。因此，便 可以達到可靠的密封以及雙層密封結構。 在此一修飾實施例中，在該氣缸（未顯示於圖中）被驅 動以移動該軸桿36之前（參照第8圖），在每一閥體元件5〇 中之圓盤體110、112係可以朝向遠離彼此之方向來移動， 使得該密封材料係可分別以自由狀態容置在由環圈ιΐ6之 兩側邊與圓盤體110、112所形成之部位中。在軸桿36移 動之後，一對圓盤體110、112係朝向彼此而移動，使得該 密封材料52係分別受到環圈116以及圓盤體11〇、^^所 加壓，並因而徑向地擴張。因此，每一密封材料52之外周 面係與該捕捉容器32之内周面相接觸，以執行密封之作 用。 如上所述，該密封材料52係徑向朝外擴張，且與該捕 捉容器32之内周面相接觸，且因此當該闕體元件5〇處在 一停止狀態（密封狀態）時，便可以達到足夠的密閉式密 封。再者’當閥體元件50移動時’在密封材料52上之負 載便可以減少’使得該密封材料52之耐用度得以增加。、 第14A圖及第14B圖第五實施例之第五修飾實 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210^7公釐） _ 26 3Π67Γ -----------.裝·-------訂---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 499546 A7 ---—~21_____ 五、發明說明（27 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 施例。如第i4A圖及第14B圖所示，該密封材料52係可 以徑向地擴張。該密封材料52，亦即，所謂的帽蓋型 (cap-type)密封材料’係包含〇形環12Q以及覆蓋材料 122 ’以覆蓋該〇形環12〇之外部周緣部分並保護該。形 環120。該帽蓋型密封材料係具有較佳的耐用性。立他之 結構係與第13A圖及第13B圖所示者相同。 土如第14A圖所示，在該對圓盤體110、112朝向彼此 m離之方向移動的狀態下，該密封材料52係分別容置在由 該環圈116之兩侧邊與圓盤體11〇、112之間所界定之區 域二且不會被擠壓。當一對圓盤體11〇、112接著朝向彼此 而#近時，如第14B圖所示，該密封材料52係分別由環 圈116以及圓盤體U0、112所加壓而因此徑向地擴張藉 此造成每一密封材料52之外周面與捕捉容器32之内周面 相接觸。因此，便可以達到可靠的密封以及雙層密封結構。 (實例） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在第1圖至第3圖所示之分離捕捉裝置中，由節流板 68、68所形成之孔（節流部分）66的寬度Αχ長度係46mm X 125mm(實例 l)，46mmX 95mm(實例 2)，46mmx 75匪（實 例3) ’且最外侧折流板58c係具有ι77ιηηι之外徑D以及 61 mm之長度。在此一分離捕捉裝置中，其係測量該 之捕捉效率以及導率。在此例中，25〇C的水係用以做為冷 部液體，其係以2.5公升/分鐘之流率供應至軸桿36之熱 媒質通道64中。 因此，在實例1中’該捕捉效率係8〇0/〇，且導率在開 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 27 311677 499546 A7 B7 五、發明說明（28 ) 始階段係34200公升/分鐘，而在捕捉操作之後係27 500公 升/分鐘。在實例2中，該捕捉效率係83%，且導率在開始 階段係32100公升/分鐘，而在捕捉操作之後係268〇〇公升 /分鐘。在實例3中，該捕捉效率係88%，且導率在開始階 段係30200公升/分鐘，而在捕捉操作之後係24200公升/ 分鐘。這些結果係顯示在第15圖中。 如上所述，依照本發明，流入具有捕捉器之捕捉容器 中之排放氣體之接觸率便可以提升。因此，在排放氣體中 之反應產物之捕捉效率係可以提升，且該排放氣體之導率 仍可以維持。因北，在使用此分離捕捉裝置之抽真空系統 中’該真空泵之·使用壽命便可以增加，且有毒物質清除裝 置亦可以受到保護而增加操作可靠性，並且不會影響到真 空泉之性冑b ’使付整體系統之設備成本以及運轉成本可以 降低。 雖然本發明之特定實施例係已參考圖式而詳加說明如 上’然而應瞭解的是，亦可以實施不同的變化及修舞，而 不會脫離本發明後附之申請專利範圍。 — — — — — — 1 — — — 1 I I 1 1 曹 I — — — — — — — I· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 TTT577 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）