KR20010049984A - 트랩 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 진공 펌프를 통해 밀폐형 밀봉 챔버를 배기시키기 위한 배출 경로;상기 배출 경로와 상기 배출 경로 부근에 배치된 재생 경로에 가로질러 연장된 밀폐형 밀봉 트랩 컨테이너;상기 트랩 컨테이너안에 배치되어, 배출 가스에 있는 생성물을 부착하고 상기 배출 가스로부터 상기 생성물을 제거하며, 상기 배출 경로 또는 상기 재생 경로에 선택적으로 위치되는 트랩 유닛;상기 트랩 유닛의 양측에 배치되고 상기 트랩과 함께 일체로 이동되는 밸브 요소; 및상기 밸브 요소의 외주면상에 장착되어, 상기 트랩 유닛이 이동될 때 상기 트랩 컨테이너의 내주면위로 슬라이드 하도록 하는 밀봉 재료를 포함하여 이루어지는 트랩 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 배출 경로에서의 트랩핑 동작과 상기 재생 경로에서의 재생 동작을 동시에 수행하도록 적어도 두 개의 트랩 유닛이 상기 트랩 컨테이너에 배치되는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 밀봉 재료는, 상기 트랩 컨테이너의 내주면을 향해 팽창되도록 상기 밸브 요소의 외주면상에 장착되는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 제 3항에 있어서,상기 밀봉 재료는, 상기 밀봉 재료가 방사상으로 팽창될 때에만 상기 트랩 컨테이너의 내주면에 접촉하여 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 제 3항에 있어서,상기 밸브 요소는 상기 밀봉 재료를 바깥쪽으로 프레스 함으로써 상기 밀봉 재료를 방사상으로 팽창시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 트랩 장치.
- 제 5항에 있어서,상기 밀봉 재료를 방사상으로 팽창시키기 위한 상기 수단은,서로 마주보는 한쌍의 부재, 또는 서로 멀어지거나 더 가까와지는 테이퍼 표면을 구비한 한쌍의 부재를 상대적으로 이동시키고,상기 테이퍼 표면은 서로 마주 보며 또한 수평 단면에서 바깥쪽으로 갈수록 넓어지는 V자 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 진공 펌프를 통해 밀폐형 밀봉 챔버를 배기시키기 위한 배출 경로;입구와 출구를 구비하고, 상기 배출 경로의 일부분을 구성하는 밀폐형 밀봉 트랩 챔버;트랩 컨테이너내에 배치되어, 배출 가스에 있는 생성물을 부착하고 상기 배출 가스로부터 상기 생성물을 제거시키는 트랩 유닛; 및상기 트랩 컨테이너의 흡입 포트에 배치되어, 상기 배출 가스가 상기 트랩 유닛의 내부를 향해 흐르도록 상기 흡입 포트내에서의 배출 가스 흐름을 조절하는 스로틀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 제 7항에 있어서,상기 트랩 유닛이 곡선 모양의 트랩 표면을 갖는 배플 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 제 8항에 있어서,상기 트랩 표면이 원호 모양이고, 상기 원호의 축선이 상기 배출 경로를 가로지는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 진공 펌프를 통해 밀폐형 밀봉 챔버를 배기시키기 위한 배출 경로;입구 및 출구를 구비하며, 상기 배출 경로의 일부분을 구성하는 밀폐형 밀봉 트랩 컨테이너;상기 트랩 컨테이너에 배치되어, 배출 가스에서의 생성물을 부착하고 상기 배출 가스로부터 상기 생성물을 제거시키기 위한 트랩 유닛; 및상기 배출 포트에서 배출 가스의 흐름을 억제하기 위해 상기 트랩 컨테이너의 배출 포트에 배치된 억제부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 제 10항에 있어서,상기 트랩 유닛이 곡선 모양의 트랩 표면을 갖는 배플 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
- 제 11항에 있어서,상기 트랩 표면이 원호 모양이고, 상기 원호의 축선이 상기 배출 경로를 가로지르는 것을 특징으로 하는 트랩 장치.
Applications Claiming Priority (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11-220132 | 1999-08-03 | ||
JP22013299 | 1999-08-03 | ||
JP11-254070 | 1999-09-08 | ||
JP25407099 | 1999-09-08 | ||
JP2000062588 | 2000-03-07 | ||
JP2000-062588 | 2000-03-07 | ||
JP2000201511A JP2001107858A (ja) | 1999-08-03 | 2000-07-03 | トラップ装置 |
JP2000-201511 | 2000-07-03 | ||
JP2000-205634 | 2000-07-06 | ||
JP2000205634A JP3942344B2 (ja) | 1999-09-08 | 2000-07-06 | 切替式トラップ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010049984A true KR20010049984A (ko) | 2001-06-15 |
KR100665385B1 KR100665385B1 (ko) | 2007-01-04 |
Family
ID=27529687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020000045108A KR100665385B1 (ko) | 1999-08-03 | 2000-08-03 | 트랩 장치 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6554879B1 (ko) |
EP (1) | EP1074287A3 (ko) |
KR (1) | KR100665385B1 (ko) |
CN (1) | CN1208114C (ko) |
TW (1) | TW499546B (ko) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000256856A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-19 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理装置用真空排気システム及び減圧cvd装置及び減圧cvd装置用真空排気システム及びトラップ装置 |
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DE102005000126A1 (de) * | 2005-09-22 | 2007-03-29 | Hilti Ag | Schnellkupplungsanschlussteil mit Filter |
KR100642528B1 (ko) * | 2006-07-13 | 2006-11-10 | 주식회사 미래보 | 반도체 생산장비에서의 자동교체식 부산물 포집장치 및그의 제어 방법 |
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CN112240835A (zh) * | 2019-07-19 | 2021-01-19 | 青岛海尔滚筒洗衣机有限公司 | 一种洗衣机的气检装置 |
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Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58106186A (ja) | 1981-12-18 | 1983-06-24 | Hitachi Ltd | トラツプ装置 |
JPS6071002A (ja) | 1983-09-27 | 1985-04-22 | Toshiba Corp | 真空用コ−ルドトラップ |
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JP3544604B2 (ja) | 1996-12-16 | 2004-07-21 | 株式会社荏原製作所 | 切替式トラップ装置 |
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JP3227105B2 (ja) | 1997-03-24 | 2001-11-12 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気システム |
JP3162648B2 (ja) | 1997-03-24 | 2001-05-08 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置 |
JP3162647B2 (ja) | 1997-03-24 | 2001-05-08 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置 |
JP3188235B2 (ja) | 1997-12-22 | 2001-07-16 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置 |
JP3874524B2 (ja) | 1998-01-22 | 2007-01-31 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置及びトラップ方法 |
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-
2000
- 2000-08-01 US US09/630,639 patent/US6554879B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-02 TW TW089115470A patent/TW499546B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-08-03 EP EP00116812A patent/EP1074287A3/en not_active Withdrawn
- 2000-08-03 KR KR1020000045108A patent/KR100665385B1/ko active IP Right Grant
- 2000-08-03 CN CNB001262874A patent/CN1208114C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1074287A3 (en) | 2003-03-12 |
TW499546B (en) | 2002-08-21 |
CN1284613A (zh) | 2001-02-21 |
US6554879B1 (en) | 2003-04-29 |
EP1074287A2 (en) | 2001-02-07 |
CN1208114C (zh) | 2005-06-29 |
KR100665385B1 (ko) | 2007-01-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131218 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141205 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151201 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161129 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181129 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
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