TW495595B - Gate valve for semiconductor process system - Google Patents

Description

495595 五、發明說明（） <技術領域> 本發明針對用於半導體晶片等被處理基板施行處理之 半導體處理系統，關於對負荷鎖定室或處理室所使用之閘 闊。尚且，在此所謂半導體處理，即因於半導體晶片或LCD 基板等被處理基板上將半導體層、絕緣層、導電層等依照 給定之模式成型，於該被處理基板上，用於製造包含半導 體裝置或連接於半導體裝置上之配線、電極等構造物，為 此所實施之種種處理謂之半導體處理。 <技術背景> 習知係使用連結構件或使用凸輪構件作為閘閥之驅動 機構。例如，特開平5-196450號公報中，展示了如第1〇圖 之使用連結構件之閘閥。特開平1 〇-159999號公報中，則展 示出如第11A、B圖之使用凸輪構件之閘閥。 第10圖所示之閘閥1 〇〇裝設於負荷鎖定室11 〇與處理室 120之間。閘閥100包含了收容於閘室106之基體1〇2及閥體 105。基體102與促動器101相連接。沿著閘室1〇6之負荷鎖 定室110側之壁面，配設有導引軌道107,基體102可依其升 降。於基體102之上下，透過連桿1〇3、1〇4與閥體105相連 結。基體102與閥體105更藉由彈簧108相連結。由於閥體1〇5 ，處理室120之開口部121可被開關。 當處理室120之開口部121關閉時，促動器1〇1將一起驅 動基體102及閥體105，沿著導引執道107上升。就算闊體1〇5 上端之滾輪109接觸至閘室106之天花板，基體ι〇2仍繼續上 升。因此，閥體105雖然不繼續上升，但藉由使滾輪1〇9之 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧时瘦局3、工消費合作社印製 4 495595 五、發明說明ζ ) A7 Β7 滾動同時抵抗彈簧108 ’向處理室120之開口部121接近。基 體102到達上升頂端時，基體ι〇2與閥體1〇5之高度將相同。 此時，透過上下之連桿1〇3、1〇4，閥體1〇5將被強押至處理 室120之開口部121，並關閉開口部121。 欲將開口部121開啟時，促動器ι〇1將逆方向驅動，基 體102將下降。因此，閥體1〇5將透過彈簧1〇8被吸引至基體 102側，並將開口部121開啟。再者，當基體1〇2下降時，在 彈簧108之作用下，閥體105將回歸至初始狀態。 如第10圖所示，即特開平弘19645〇號公報所展示之閘 閥100，於閥體105之旁邊，除了連結構件外使用導引軌道 107和彈簧1〇8等零件，實現了基體1〇2和閥體1〇5之滑動動 作及與開口部之接離動作。因此，滾輪1〇9撞擊閘室1〇6之 内壁，將有容易產生粒子之問題出現。 另一方面，第11A、B圖所示之閘閥200包含用於開關 開口部210之閥體201。於閥體201之上下分別固定左右一對 之側板202。於各側板202上，形成具有特殊形狀之第i導引 溝203。 另外，閘閥200包含了閥體驅動桿棒2〇5，此桿棒具有 分別對應於各第1導引溝203之特殊形狀之第2導引溝2〇4。 閥體201與闊體驅動205透過插入於第丨、第2導引溝2〇3、2〇4 之軸狀之車輪206相連結。各側板202與閥體驅動桿棒2〇5 更透過彈篑207相連結。 第11B圖為一放大圖，示出第]、第2導引溝2〇3、2〇4 與車輪206之關係。由第11B圖所明示，當開口部21〇開啟 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐

·—--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --D*" ·- --線. 495595 A7 B7 經濟部智慧財產局3、工消費合作、社印製 五、發明說明纟) 時，由側面觀看兩導引溝203、204，可發現兩溝槽相互倚 靠著。 ° 欲關閉開口部210時，閥體驅動桿棒2〇5將驅動之，閥 體201將保持與閥座211間之空隙存在之狀態下下降。閥體 201接觸至開口部210下方之制止器212時，閥體驅動桿棒 205將抵抗彈簧207而下降。此時，車輪206將透過第}導引 溝203僅只於側板202朝開口部210側移動，最後將對於閥座 211壓制閥體201。 欲開啟開口部210時，閥體驅動桿棒205將上升。此時 ，車輪206將透過彈簧207於第1導引溝203内上升，將閥體 201從閥座211拉遠離。再者，當閥體驅動桿棒2〇5上升時， 車輪206維持如第11B圖所示之狀態之同時，保持著閥體 201與開口部210之間之空隙，使閥體2〇1上升並回歸至初始 狀態。 第11A、B圖所示，即特開平ι〇-159999號公報所展示 之閘閥200，實現了透過第1、第2導引溝203、204之闊體201 之上昇下降動作以及與開口部間之離接動作。因此，導引 溝不得不經過高精密之處理，另外，於閥體2〇 1及開口部210 之附近，亦有容易產生粒子之問題存在。 <發明的開示> 本發明之目的在於提供一種半導體處理系統之閘闊， 可以使閥座（開口部）以及閥體之附近不易產生粒子。 本發明之第1觀點’係一種半導體處理系統之閘闊，具 有：基座軛，係可在第1方向上移動而接近及遠離包圍開口 〜代張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -----------------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧W產局3'工消費合作社印製

^之閥座，且該閥座並係具有-配設成面對第i基準面之第 '第1止動器，係用以限制該基座輛在該閥座側之 移動限界者；搖_ ’係安裝於前述基座耗上，而可在與 第1基準面垂直之第2基準©上旋動者；閥體，係裝設於前 述搖動軛_L „玄閥體並具有第2密封面，用以與前述第1密 封面相卡合而閉鎖前述開口部；連桿構件，係用以連接前 述基座㈣搖_，該連桿構件並於巾間部分藉彎曲形成 可以伸縮；及驅動構件，係連接於該中間部分，俾在前述 第1方向上移動前述中間部分者；付勢構件，係可相對於前 述搖動輕之旋動動作’而賦予前述基座輛-抵抗力者，·並 :之設置成，當前述開口部關閉時，可藉前述驅動構件將 前述中間部分往前述_侧驅動，從而先將前述基座輕移 動至=及前述第丨止動器為止，接著藉前述連桿構件之伸縮 ’使前述搖動輊旋動，進而使前述閥體座落於前述間座上 ，使前述第1及第2密封面相互卡合。 本發明之第2觀點，係在第！觀點中，更具有一對前述 閥座呈相對固定之導引部，而使前述基座輕可沿導引部移 動。 义本發明之第3觀點，係在“觀點中，更在前述基座軛 與前述搖動輛間配設有一阻尼器’用以吸收在前述付勢構 件之作用下前述搖動軛對前述基座軛旋動時所生之衝擊。 本發明之第4觀點，係在第！觀點中，其中前述驅動構 件具有連接於前述中間部分之往返桿棒。 本發明之第5觀點，係在第4觀點中，其中前述往返

Ά紙K度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）

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述中：Γ:成：前述中間部分之長孔，前述往返桿棒與前 本發刀在則述長孔所容許之範圍内可以相對的移動。 本發明之第6觀點’係在第4觀點中，其中前述往返桿 =對前述中間部分隔著位置調整構件而連接，前述往返 :棒與前述中間部分之連接位置係可透過前述 件做調整。 本發月之第7觀點，係在第4觀點中，其並對應於前述 閥體座洛前述_時前料桿構件之伸縮狀態，而於前述 往返桿棒之衝程的一方設有限界。 本發明之第8觀點，係在第1觀點中，更具有一第2止動 =用Χ對應於則述閥體座落前述閥座時前述連桿構件之 伸縮狀態’而限制前述中間部份在前述閥座側之移動 本發明之第9觀點，係在第8觀點中，其中前述第2止動 器係固定於前述基座輕上。 本發明之第10觀點，係在第1觀點中，其中前述付勢構 件係連接刚述基座耗與前述搖動輛者。 經濟部智慧財產局_、工消費合作社印製 -------------裝----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之第11觀點，係在第1觀點中，其中前述連桿構 件係包含有可以旋動的安裝在前述基座軛及前述搖動軛分 別之前述第2基準面上之第1及第2握桿，而前述中間部分係 將前述第1及第2握桿在第2基準面上，在可旋動下相互連接 〇 本發明之第12觀點’係在第1觀點中，其中前述第1方 向實質的係與第1基準面相互平行。 度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495595 五 、發明說明（) 本發明之第U觀點，係在^觀點中，其巾前㈣體盘 前述連桿構件，其前述搖動概隔著安裝於前述基座輛位置 之第1及第2位置連接於前述搖動軛。 ，本發明之第14觀點，係在第！觀點中，其中前述開口部 形成於收納被處理基準板之氣密室的側壁，而前述開口部 係為了通過前述被處理基準板可之開口部。 本發明之第15觀點，係在第i觀點中，其中前述闊座盘 前述閥體係設定成使前述氣密室内之真空狀態與前述氣密 室外之大氣狀態相隔離。 本發明之第16觀點，一種半導體處理系統之閘閥， 有： 基座軛’係可在第i方向上移動而接近及遠離包圍開 部之閥座’且該閥座並係具有一配設成面對第丨基準面之 1密封面； 第1止動器，係用以限制該基座軛在該閥座側之移動 界者； 具 口 第 限 經濟部智慧財產局_工消費合汴社印製

搖動軛，係安裝於前述基座軛上，而可在與第丨基準面 垂直之第2基準面上旋動者；閥體，係裝設於前述搖動輕上 ，該閥體並具有第2密封面，用以與前述第丨密封面相卡合 而閉鎖前述開口部；連桿構件，係用以連接前述基座軛與 搖動軛，該連桿構件並於中間部分藉彎曲形成可以伸縮，· 而前述連結構件係包含有可以旋動的安裝在前述基座軛及 前述搖動軛分別之前述第2基準面上之第i及第2握桿，而前 述中間部分係將前述第丨及第2握桿在第2基準面上，在可旋 Μ--------^---------^--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

各纸献㈣財關家鮮（CNS)A4祕⑵Q χ观公爱） A7 ^----— R7 五、發明說明f ) $下相互連接；及驅動構件，係連接於該中間部分，俾在 前述第1方向上移動前述中間部分者；付勢構件，係可相對 於前述搖動扼之旋動動作，而賦予前述基座輛-抵抗力； 並=之設置成，當前述開口部關閉時，可藉前述驅動構件 將則述中間部分往前述閥座側驅動，從而先將前述基座輕 移動至=及前述第1止動器為止，接著藉前述連桿構件之伸 縮，使前述搖動輛旋動，進而使前述間體座落於前述間座 上，使前述第1及第2密封面相互卡合者。 <圖面的簡單說明> 第1A〜C圖為關於本發明之第2實施型態，表示半導體 處理系統之閘閥之概略構造之縱截側面圖。 第2圖為關於第1實施型態，表示將閘閥之内部構造在 打開開口部之狀態下，由上方來看之透視圖。 第3圖為表示將第2圖所示之内部構造，在第2圖所示之 狀態下由下方來看之透視圖。 第4圖為表示將第2圖所示之内部構造，在關閉開口部 之狀態下由上方來看之透視圖。 第5圖為表示將第2圖所示之内部構造，在第4圖所示之 狀態下由下方來看之透視圖。 第6A〜C圖為在關於本發明之第2實施型態中，表示半 導體處理系統之閘閥之概略構造之縱截側面圖。 第7A、B圖為關於本發明之第2實施型態之閘閥中，概 略地表示空氣促動器之往返桿棒與連結構件之仲介零件之 間之關係之平面圖以及縱截正面圖。 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·- 丨線. 經濟部智慧財產局P'工消f合作社印製 10

495595 五、發明說明έ ) 第8Α〜C圖為關於本發明之第3實施型態，表示半導體 處理系統之閘閥之概略構造之縱戴側面圖。 第9Α〜C圖為關於本發明之第4實施型態，表示半導體 處理系統之閘閥之概略構造之縱截側面圖。 第10圖為表示習知之閘閥之一例之概略構造之截面圖 第11A、B圖為表示習知閘閥之其他例之概略構造圖。 <實施發明的最佳型態> 以下針對本發明之實施例參照圖表進行說明。然而， 以下之說明中，針對具有相同機能以及構造之構成要素， 給予相同之符號，應必要性進行重複說明。 第1A〜C圖為關於本發明之第1實施型態，表示半導體 處理系統之閘閥之概略構造之縱戴側面圖。另外，第2圖以 及第3圖為第1型態之閘閥之内部構造以開口部開啟之狀態 分別由上方及下方顯示之透視圖。第4圖以及第5圖為第2 圖所示之内部構造以開口部關閉之狀態分別由上方及下方 顯示之透視圖。 針對此型態，例如閘閥20對於形成於密閉之負荷鎖定 至12側壁之開口部14被裝設。負荷鎖定室12連接於位於開 口部14反側之成膜裝置或蝕刻裝置等處理室。典型地，開 口部14使用於用以通過如半導體晶片、Lcd用基板等被處 理基板W。 於負荷鎖定室12之側壁上，包含著開口部14之同時， 裝設有與後述閥體24共同作用用以密閉地開關開口部14之 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧时產局3、工消費合作社印製 11 495595 A7 --------- B7__ 五、發明說明《) 閥座22。即閥體24以及閥座22被設定於用以隔離負荷鎖定 室12内之真空環境與負荷鎖定室12外之大氣環境。閥座22 具有為了與閥體24接合之垂直之第1密封面22a。在此，為 使閘閥20之構造明確化，第1密封面22&將面對垂直之第1 基準面RP1(參照第2圖）平行地被裝設。 於開口部14下側之負荷鎖定室12中，為了可收納閘閥 20之主要零件，筐體16將以可脫落式地安裝固定於上。第2 圖乃至第5圖中，為了顯示閘闊2〇之内部構造，雖然只顯示 了筐體16之一部分，但實際上筐體16以為了隱藏内部構造 而構成。筐體16之負荷鎖定室12側之側壁（第11A〜C圖中 之左側）上，與第1基準面RP1平行地，為了延續於其垂直 下方’文裝有導引部26。即導引部26相對於閥座22而被固 定。 經濟部智慧財產局m、工消費合作社印製 I I II---------- I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -線· 於導引部26上，安設有因沿此垂直方向之移動對於閥 座22可接近以及可遠離之基座軛28。基座軛28之上端具有 朝向與負何鎖定室12反側之方向水平地延伸之一對臂標3 2 ’其尾端軸支撐著搖動軛34。即搖動軛34，為了於與第j 基準面RP1垂直之第2基準面RP2(參照第2圖）上可旋動性 ，如因螺检結合’被安裝於基座輛28上。 搖動輛34貫穿了形成於筐體μ之開口部向其上方延 伸，於其上端裝設有閥體24。閥體24具有與閥座22之第j 密封面22a接合用以閉鎖開口部14之第2密封面24a。於閥體 24之密封面24a上，裝設有用於將開口部14密閉地封閉之〇 環 24b。 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 12 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495595 A7 B7 五、發明說明彳〇 ) 基座軛28與搖動軛34，針對下端部，由於一對之連桿 構件36而相互連結著。連桿構件36可因其中間部份之彎曲 而自由伸縮。具體而言，各連桿構件36，如因螺栓之結合 ，包含了分別安裝於基座軛28以及搖動軛34之第2基準面 RP2上可旋動之第1以及第2操控桿42、44。第1以及第2操 控桿42、44，因構成連桿構件36彎曲之中間部份之仲介零 件38，如螺栓之結合，使在第2基準面RP2上可旋動而相互 連結。 於基座軛28之臂樑32與連桿構件36之間，基座軛28與 搖動軛34因兼具彈簧與阻尼之構件46而被連接。另一方面 ，構件46為一以給予相對於基座軛28之搖動軛34之迴旋動 作所產生之抵抗力為機能之可伸縮彈簧（付勢構件）。另外 ，構件46亦為一以吸收於構件46之伸縮彈簧之作用下、對 於基座軛28、當搖動軛34旋動之際所產之衝擊為機能之阻 尼器。 為使其位於基座軛28與搖動軛34之間，於筐體16上固 定有以驅動閥體24為機能之空氣促動器52。空氣促動器52 延續於其下方且具有桿棒54可於基座軛28與搖動軛34間之 空間往返移動。桿棒54之下端因例如螺栓與螺母之結合而 連接於連桿機構36之仲介零件38。 於導引部26之上端部，設置有針對沿著導引部26之基 座軛28之閥座22側用以規定移動界限之一對的第1止動器 56。另外，於連桿構件36之些許上方、基座軛28之上裝設 有針對仲介零件38之閥座22側用以規定移動界限之一對的 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 13 495595 五、發明說明q 第2止動器58。 接著，針對閘閥20之動作進行說明。然而，以下之空 氣促動器52之驅動將於控制裝置（無圖示）之控制下進行。 如第1A圖之圖所示，當負荷鎖定室14之開口部14開啟 時二氣促動器52之桿棒將呈現最突出之狀態。於是，基 座軛28裝設於導引部26之下端，此外，連桿構件％亦於可 動作範圍内呈現最彎曲狀態。因此，搖動軛34將針對筐體 16内並更勝垂直狀態以臂樑32之先端部之軸支點為中心朝 順時針方向旋動些許，呈現傾斜之狀態。 線 其次，當開口部14閉鎖時，空氣促動器52之桿棒54將 退縮，連桿構件36之仲介零件38將被拉至閥座22側。此時 ，因兼具彈簧以及阻尼器之零件46之作用，給予了抵抗力 以抗相對基座轭28之搖動輕34之旋動動作之故，連桿構件 36將無伸長（第1以及第2操控桿42、44間之内角0將變大） 之可此’沿著導引部2 6之基座轭2 8之上昇動作將先行開始 。沿著導引部26之基座軛28之上昇，如第1B圖所示，將持 續至基座扼28接觸到第1止動器56為止。然而，基座輛28 接觸到第1止動器56之時閥座22對面之位置。 基座軛28接觸到第1止動器56之後，空氣促動器52之桿 棒54將更往内退縮，此時，於基座軛28停止之狀態了，仲 介零件38將被拉至閥座22側。因此，連桿構件36將伸長（ 第1以及第2操控桿42、44間之内角0將變大），搖動輪34 將以臂樑32之先端部之軸支點為中心朝逆時針方向旋動。 此結果如第1C圖所示，由於閥體24移動至閥座22側並座落 14 495595

衿其上之動作，第1以及第2密封面22a、24a將相互接合， 開口部14將被閉鎖。 即將開口部14關閉時之閘閥2 〇之動作分作為一。第一 階段為因桿棒54之退縮，基座軛28以及搖動軛34之整體將 上升，至基座軛28接觸至第1止動器56而停住為止之階段。 第二階段為當基座軛28停住後，因桿棒54之退縮，僅只仲 介零件38上升至與第2止動器58接觸而停住為止之階段。 閥體24 ,針對上述第二階段，因伴隨仲介零件％之上 昇造成連桿構件36之伸長之故，將隔著搖動軛連桿34向前 方移動，於如第⑴圖以及第4圖所示之上升端，將開口部 Μ閉鎖。於^： ’閥體24座落於閥座22上時之連桿構件批 伸縮狀態與由第2止動器58所規定於連桿構件36之仲介零 件38之閥座22側之移動界限，為使兩者相互一致，須事先 作設定。 ' 經濟部智慧轉產局員工消費合作社印製

另外，開口部14開放時之閘閥動作將依與此相反之路 徑以兩階段來進行。即首先，因桿棒54之伸長，於兼具彈 簧與阻尼g之零件46之作肖下，連桿構件鱗先行退縮。 因此’閥體24將隔著搖_34移動至後方，於如第⑶圖所 示之上升端，將從開口部14遠離。此時，基座_處於相 對第1止動器56停止之狀態。接著，由於桿棒M之伸長，基 座軛28以及搖動軛34之整體將下降，如第ia圖以及第2圖 所示將開口部14完全開啟。 於第1型悲之閘閥20中，閥體24從驅動部被隔離，且無 與閥座22以外之部份接觸之可純。因此，_22以及闕

錢張尺变適財關家鮮（CNS)A錢格⑽X 297公玉

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ n ·1 n _ 訂— ;線· 15 經濟部智慧財產局3工消費合作社印製 495595 A7 B7 五、發明說明) 體24之附近並無產生粒子之可能，因粒子而污染整各負荷 鎖定室12内之可能性將降低。尚且，筐體16之下方裝設有 風扇（圖無示），從筐體16上方之開口部17流入之空氣可因 此風扇由筐體16之下方流出。於是，於驅動部產生之粒子 將不會流至閥座22以及閥體24。 第6 Α〜C圖為關於本發明之第2實施型態之半導體處 理系統之閘閥之概略構造之縱截側面圖。此型態之閘閥7〇 ，與第1型態20相比較，雖然關於主構造零件之裝設實質上 為相同的，但於細節上仍有幾處相異點。 具體而言，於此型態之閘閥70中，並無使用於連桿構 件36之仲介零件38之閥座22側用於規定移動界限之第2止 動器58。替代之，對應閥體24座落於閥座22時之連桿構件 36之伸縮狀態，設定了空氣促動器52之往返桿棒54之衝程 之一方之界限。即當桿棒54退縮至最大值時，設定成閥體 24將剛剛好座落於閥座22上。 另外，如第7A圖所示，於連桿構件36之仲介零件“上 與第2基準面RP2(參照第2圖）相平行之方向（連桿構件％ 之伸縮方向）上，形成長長的長孔72，桿棒54之尾端貫穿其 長孔72。再者，如第7B圖所示，於貫穿長孔72之桿棒54之 尾端，橫跨相當大之範圍形成了公螺栓部74。 公螺栓部7心由仲介零件38之上側，與具有套筒部^ 及凸緣部75b之套筒螺釘帽相螺合。另外於公螺检部科，由 仲介零件之下側，與具有較長孔72之直後大之貫通螺母 76相螺合。套筒部〜貫穿了長㈣，下側之螺母76將接觸 t紙張尺度翻巾關家鮮(CNS)A4規格（21Qx 297公爱「 -------------i--------^-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 16 經濟部智慧时產局3'工消費合作社印製 495595 A7 B7 _ 五、發明說明彳4 ) 至套筒部75a為止栓入公螺栓部74。尚且，針對組裝狀態而 言，套筒部75a、凸緣部75b以及螺母76與仲介零件38對應 部份之間，設定成形成有幾分的間隔。於是，桿棒54與套 筒螺釘帽75以及貫通螺母76，可沿著長孔72移動。 因如此之構造，當桿棒54與仲介零件38實質上沿著桿 棒54之較長方向一起移動之同時，長孔72將於容許範圍内 ，於第2基準面RP2上（連結構件36之屈伸方向）將可相對地 移動。閥之開關動作中，因連桿構件36之屈伸，仲介零件 38之位置將沿著長孔72作些許的移動。於是，由於長孔72 之形成，伴隨連桿構件36之伸縮橫跨桿棒54可減輕橫方向 之負荷。 另外，桿棒54尾端之公螺栓部74與套筒螺釘帽75以及 貫通螺母76為以調整位置為機能之構造。即桿棒54與仲介 零件38之連接位置可因此位置調整構件而被調整。於是， 就算空氣促動器52之往返桿棒54之衝程為被固定者，由於 使用此位置調整構件，將可實質的調整桿棒54之衝程之長 度。即因此位置調整構件，閥體24座落於閥座22時之連桿 構件36之伸縮狀態可容易地與空氣促動器52之往返桿棒54 之衝程之一方之界限作對應。 此外，於閘閥70中，替代前述之兼具彈簧與阻尼器之 零件46，分別裝設了可伸張彈簧47與阻尼器48。彈簧47的 兩端連接於基座軛28與搖動軛34。另外，阻尼器48由裝設 於基座軛28上之氨基甲酸乙酯修補片48a、與對應於此氨基 曱酸乙酯修補片48a之裝設於搖動軛34上之螺栓48b所形成 木紙張尺度適用由國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 17 495595 A7 B7 經濟部智慧时4¾¾工消t合作社印製 五、發明說明（：5 。因阻尼器48，規定了連桿構件36之屈伸之同時，吸收了 由連桿構件36屈伸及搖動輛34旋動之際所產生之衝擊。 閘閥7 0之動作原理基本上與閘閥2 〇相同。即亦針對閘 閥70而言，閥體24從驅動部被隔離，並無接觸閥座22以外 之部份之可能性。因此，於閥體24以及閥座22之附近亦將 不會產生粒子，將負荷鎖定室12内因粒子而污染之可能性 亦降低。 第8A〜C圖為關於本發明之第3實施型態之半導體處 理系統之閘閥之概略構造之縱戴側面圖。此型態之閘闊8 〇 中’與第1型態之閘閥20相比較，基座軛28以及搖動軛34 之配置和空氣促動器52之方向等呈現相反之狀態。 具體而言’於此型態之閘閥80中，與筐體16之負荷鎖 定室12相反之側壁（第8A〜C圖中之右側）上，為了延續於 其下方裝設有導引部26。導引部26安裝有可於沿著此導引 部26之垂直方向上移動之基座軛28，於基座軛28之下端具 有朝向負荷鎖定室12側水平延伸之一對臂樑32，其尾端軸 支著搖動耗34。 搖動輛34之上端部安裝有閥體24。於上端部附近，基 座軛28與搖動軛34因一對之連桿構件36而相互連結著。此 連^干構件3 6由於中間部份之可灣曲性而可伸縮。具體而言 ，各連桿構件36包含了可分別於基座軛28與搖動軛34上旋 動而裝設於其上之第1以及第2操控桿42、44。第！以及第2 操控桿42、44，因仲介零件38，相互可旋動的連接。 基座軛28與搖動軛34更因於上端部附近之兼具彈簧與 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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495595 五、發明說明（7 ) 現象。 · 具體而言，此型態之閘閥90中，與筐體16之負荷鎖定 室12相反之側壁（第9A〜C圖中之左側）上，為使之延續於 其下方裝設有導引部26。於導引部26上安裝有沿此導引部 26並於垂直方向上可移動之基座軛28。於基座軛28之上端 具有朝向負荷鎖定室12側水平延伸之一對臂樑32，其尾端 軸支著搖動耗34。 搖動軛34之上端部安裝有閥體24。於下端部附近，基 座軛28與搖動連桿34因一對之連桿構件36而相互連結著。 此連桿構件36由於中間部份之可灣曲性而可伸縮。具體而 吕，各連桿構件36包含了可分別於基座軛28與搖動軛34上 旋動而裝設於其上之第1以及第2操控桿42、44。第1以及第 2操控桿42、44 ,因仲介零件38，相互可旋動的連接。 基座輛28與搖動輛34更因於下端部附近之壓縮彈簣49 而相互連接。為使位於基座軛28與搖動軛34之間，於筐體 16上固定有空氣促動器52。空氣促動器52於其下方延伸且 具有可在基座軛28與搖動軛34間之空間中於垂直方向上可 往返移動之桿棒54。桿棒54之下端部連接於連桿構件36之 仲介零件38。 於導引部26之上端部，裝設有用於規定沿著導引部26 之基座轭28之閥座22側之移動界限之一對之第i止動器56 。尚且’關於仲介零件38之閥座22側之移動範圍，由於空 氣促動器52之往返桿棒54之衝程之一方之範圍而規定。 於閘閥90中，搖動軛34將因壓縮彈簧49於第9A〜C圖 表紙狀变適用中國國家標準（CNS)A4規格⑽χ 297公髮） ---------------------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧时產局3、工消費合作社印製 20 495595

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中之逆時針方向上而被給予付勢力。當開口部14開啟時( 第9A圖），空氣促動器52之桿棒54將最凸出，連桿構件 將伸至最長。因此，於筐體16中，搖動軛34將較垂直狀態 更逆時針方向地旋動一些，呈現傾斜之狀態。另一方，當 開口部14關閉時（第9C圖），空氣促動器52之桿棒54將最退 縮，連桿構件36將灣曲。因此，搖動軛34將抵抗壓縮彈簧 49之付勢力於順時針方向上旋動，其結果閥體以將座落於 閥座22上。 其他亦有幾處相異點，然閘閥90之動作原理基本上與 閘閥20之原理相同。即針對閘閥90，閥體24亦從驅動部被 隔離’亦無與閥座22以外之部份接觸之可能。因此，於閥 體24以及閥座22之附近亦將不會產生粒子，將負荷鎖定室 12内因粒子而污染之可能性亦降低。 尚且’針對上述各實施型態，雖使用了作為驅動機構 之空氣促動器52，然替代之亦可使用油壓汽缸等其他驅動 機構。另外，針對上述各實施型態，雖使用了彈簧作為抵 抗搖動輕3 4之旋動動作來給予抵抗力之付勢構件，然而亦 可使用由橡膠等彈性體製成之構件。再者，針對上述各實 施型態，雖然閥座22之第1密封面22a呈現垂直，但本發明 亦可適用於第1密封面22a對於垂直面有傾斜之場合。此時 ，搖動軛34之軸支點之位置與閥體24之距離和閥體24之密 封面24a之傾斜度將可適度的調整。 關於其他，本發明並不被限定於上述各實施型態，於 實施階段中，在不脫離主旨之範圍内可以有種種之變化。 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 21 495595 A7 _ B7_ 五、發明說明彳9 ) 另外，亦可在可能之限度下適度地組合各實施型態，此時 便可得到組合後之效果。 經濟部智慧財生局3、工消費合作社印製 元件符號對照 12 負荷鎖定室 90 閘閥 14 開口部 100 閘閥 16 框體 101 促動器 17 開口部 102 基體 20 閘閥 103 連桿 22 閥座 104 連桿 22a 第1密封面 105 閥體 24 閥體 106 閘室 24a 第2密封面 107 導引軌道 24b 0環 108 彈簧 26 導引部 109 滚輪 28 基座輛 110 負荷鎖定室 32 臂樑 120 處理室 34 搖動軏 121 開口部 36 連桿構件 200 閘闊 38 仲介零件 201 閥體 42 第1操縱桿 202 側板 44 第2操縱桿 203 第1導引溝 46 舞具彈簧與阻尼之構 204 第2導引溝 件 205 閥體驅動桿棒 47 可伸張彈簧 206 車輪 48 阻尼器 207 彈簧 48a 氨基甲酸乙酯修補片 210 開口部 48b 螺栓 211 閥座 49 壓縮彈簧 212 制止器 52 空氣促動器 RP1 第1基準面 54 ' Ji返桿棒 RP2 第2基準面 56 '第1止動器 W 被處理基板 58 第2止動器 Θ 第1以及第2操 70 閘閥 之内角 72 長孑L 74 公螺栓部 75 套筒螺釘帽 75a 套筒部 75b 凸緣部 76 貫通螺母 80 閘閥 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 22

Claims (1)

1. '申請專利範圍 • 一種半導體處理系統之閘閥，具有·· 一基絲，係可在第1方向上移動而接近及遠離包 圍開口部之閥座，且該閥座並係具有_配設成面對第】 基準面之第1密封面； 第1止動器，係用以限制該基座軛在該閥座側之移 動限界者； 一搖動軛，係安裝於前述基座軛上，而可在與第1 基準面垂直之第2基準面上旋動者； 一閥體，係裝設於前述搖動軛上，該閥體並具有 第2密封面，用以與前述第！密封面相卡合而閉鎖前 開口部； 一連桿構件，係用以連接前述基座軛與搖動軛， 該連桿構件並於中間部分藉彎曲形成可以伸縮；及 一驅動構件，係連接於該中間部分，俾在前述第1 方向上移動前述中間部分； —付勢構件，係可相對於前述搖動軛之旋動動作 ，而賦予前述基座軛一抵抗力者； 並將之設置成，當前述開口部關閉時，可藉前述 驅動構件將刖述中間部分往前述閥座側驅動，從而先 將前述基座軛移動至觸及前述第丨止動器為止，接著藉 前述連桿構件之伸縮，使前述搖動軛旋動，進而使前 述閥體座落於前述閥座上，使前述第丨及第2密封面相 互卡合者。 2·如申請專利範圍第丨項之閘閥，更具有一對前述閥座呈 六、申請專利範圍 相對固疋之導引部，而使前述基座輛可沿導引部移動 3·如2請專㈣”丨項所記載之_，更在前述基座輛 與前述搖動軛間配設有一阻尼器，用以吸收在前述付 勢構件之作用下前述搖動輛對前述基座輛旋動時所生 之衝擊。 •如申吻專利範圍第丨項之閘閥，其中前述驅動構件具有 連接於前述中間部分之往返桿棒。 5·如申請專利範圍第4項之_，其中前述往返桿棒係貫 穿形成於前述中間部分之長孔，前述往返桿棒與前述 中間部分在前述長孔所容許之範圍内可以相對的移動 6·如申請專利範圍第4項之_，其中前述往返桿棒係對 則述中間邛分隔著位置調整構件而連接，前述往返桿 棒與前述中間部分之連接位置係可透過前述位置調整 構件做調整。 7· ^申請專利範圍第1項之閘閥，其並對應於前述閥體座 洛則述閥座時前述連桿構件之伸縮狀態，而於前述往 返桿棒之衝程的一方設有限界。 8·如申請專利範圍第1項之閘閥，更具有一第2止動器， 用以對應於前述閥體座落前述閥座時前述連桿構件之 伸縮狀態，而限制前述中間部份在前述閥座側之移動 限界。 9·如申請專利範圍第8項之閘闊，其中前述第2止動器係 地尺準^^見格(210_ X 297公釐） ^595 ^595 經濟部智慧財產局員工消費合汴，社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 固疋於則述基座扼上。 10·如申請專利範圍第1項之閘閥，其中前述付勢構件係連 接前述基座軛與前述搖動軛者。 11·如申請專利範圍第1項之閘閥，其中前述連結構件係包 含有可以旋動的安裝在前述基座軛及前述搖動軛分別 之前述第2基準面上之第1及第2握桿，而前述中間部分 係將刚述第1及第2握桿在第2基準面上，在可旋動下相 互連接。 12.如申請專利範圍第1項之閘闊，其中前述第1方向實質 的係與第1基準面相互平行。 13·如申請專利範圍第1項之閘閥，其中前述閥體與前述連 桿構件，其前述搖動軛隔著安裝於前述基座軛位置之 第1及第2位置連接於前述搖動輛。 14·如申請專利範圍第1項之閘閥，其中前述開口部形成於 收納被處理基準板之氣密室的側壁，而前述開口部係 為了通過前述被處理基準板可之開口部。 15.如申請專利範圍第14項之閘閥，其中前述閥座與前述 閥體係設定成使前述氣密室内之真空狀態與前述氣密 室外之大氣狀態相隔離。 16 · —種半導體處理系統之閘闊，具有： 一基座軛，係可在第1方向上移動而接近及遠離包 圍開口部之閥座，且該閥座並係具有一配設成面對第工 基準面之第1密封面； 第1止動器，係用以限制該基座輛在該閥座側之移 请尺度適用由國國家標進（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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   一連桿構件’係用以連接前述基座輛與搖動軛，該 連桿構件並於中間部分藉彎曲形成可以伸縮；而前述連 結構件係包含有可以旋動的安裝在前述基座軛及前述 搖動軛分別之前述第2基準面上之第丨及第2握桿，而前 述中間部分係將前述第1及第2握桿在第2基準面上，在 可旋動下相互連接；及 .... 一驅動構件，係連接於該中間部分，俾在前述第1 方向上移動前述中間部分者； 一付勢構件，係可相對於前述搖動軛之旋動動作， 而賦予前述基座軛一抵抗力者； 並將之設置成，當前述開口部關閉時，可藉前述驅 動構件將前述中間部分往前述閥座侧驅動，從而先將前 述基座輛移動至觸及前述第1止動H為止，接著藉前述 連，構件之伸縮，使前述搖動贼動，進而使前述間體 座落於前述閥座上，使前述第1及第2密封面相互卡合者 ^--------^---------Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   家鮮（CNS)A4 規格（2lQ χ 297 w 26