TW486410B - Working apparatus - Google Patents

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__— 五 '發明說明（1) ft 明之領域 本發明係有關於一種工作裝置，例如為被使用以加工一 ^有一IC(積體電路）之晶圓的背表面之單表面研磨裝置， 以加工一圓形薄板之邊緣的邊緣研磨裝置，及供以多種 /工工具執行多種加工的切削機。 知技術之 在製造一積體電路）端中，例如在一1C被製造於一鏡 面矽晶圓的單一表面上之後，在矽晶圓之另一表面上執行 :磨作業’以做為一晶圓背表面加工作業。於此情況，首 ，’使用一粗磨石粗略地切削矽晶圓之單一表面，即為， 月表面。在完成粗切削作業之後，使用一完工磨石研磨因 而獲致之粗切削表面，以因而執行一完工處理。 而且’在研磨例如為一半導體晶圓的圓形薄板中，首先 立行表面研磨。在完成表面研磨後，研磨半導體晶圓之外 邛周邊邊緣。習知的，在該種晶圓邊緣研磨中，僅執行粗 研磨，但，近來，在晶圓邊緣研磨中亦已需要完工研磨。 因而，在晶圓邊緣研磨作聿中亦兩至 η^ ^ ^ ^ τ亦而要百先粗略地研磨晶 g邊、味，且而後，在晶圓之粗略研磨邊緣上執 磨。 當晶圓之單表面被研磨時’習知的，使用例 心軸之單表面研磨裝置。在此一單表 : 「 磨石被裝配在二心袖之一上，而一完工在2 〜軸上。i ’使用被裝配在—心軸上之粗磨石粗略地研磨

89128007.ptd 第7頁 之結構及大的尺寸了 ’〜，I體早表面研磨裝置具有複雜 以輸送工件；^ -i。而且，其進一步需要使用一輸送設備 T 〃、一心軸之間。 次進行進s步iii二研置使用一心軸的情況中，每 作者必須耗費許多勞力鱼日更換磨叾。如此，產生使操 須由操作者人工地更換了:=的問題。而且，因為磨石必 研磨作業。 彳于需要長的時間以完成全部之 為解決前述問題，例如， 一一 知的單表面研磨機。此一 P —A- 1 -257555中揭不一已 石’每-為互相不同直柝：表面研磨機包括多數之杯型應 及用以個別地驅動這此二2 =同種類且互相同心地裝設； 杯型磨石依據工件之；動機構。 機的情況匕的：磨㈣。在此-單表面研;

衣置（即為，整體單表面研磨機）可被I

89128007.ptd JUMUl

五 、發明說明（4) 具有不同粗糙度之第二磨石更換_ 可敕挪一 兴磨石日守執行研磨作鞏， t體以南效率執行研磨作業。 〃 例之詳細説明 :二參照所附圖式’於下將詳細說明用以執行本發明 棋式0 圖1係被使用為一依據本發明之工作奘 奘班 ， 丄1卞衣罝的早表面研磨 衣置之丽視圖，圖2係單表面研磨桊罟夕m府如八 圖，曰岡q尨甘七τ二θ 1Μ衣置之研磨部份的前視 Μ 且圖3係其之一平面圖。 如示於圖1，單表面研磨裝置Μ包含一研磨部、一自 工具更換設備2、及一磨石堆料機3。 如示於圖2，在研磨部份1中，奘訊 ^ 轅夕,1Λ τ衣叹一可裱繞一縱軸Ζ1旋 ^心軸10。如示於圖1，以旋轉方式支承心軸1〇用的一 ^ 1 〇 A，係被裝配在一心軸直立移動裝置丨丨的一移動基 ^、2上，且亦於其内配合一用以旋轉地驅動心軸1 〇之心軸 =達1 0B。在移動基座丄2上，裝配—滾珠螺栓丨3。此一球 狀螺拴1 3被螺入一旋轉地（環繞其本身之軸線）支承在一箱 形框架F上的滾珠螺釘1 4内；且，經由旋轉滾珠螺釘丨4， :轴ίο可被上下地移動通過滾珠螺栓13、移動基座12、及 護罩10A。而且，在箱形框架F中，裝設一馬達15。一驅動 帶輪1 6被裝設在馬達1 5之驅動軸上，而一從動帶輪丨7被裝 設在滾珠螺釘1 4的上部末端部份上。進一步的，驅動帶輪 16與從動帶輪17均經由一帶18互相連接。且，經由驅動馬 達1 5，滾珠螺釘1 4可被旋轉通過帶1 8。 而且，如示於圖1與2，心軸1 〇之下部末端（前導末端）部

4SR4 U1 五、發明說明（5)

伤係被固定一完工磨石構件2 〇。如示於圖4A，完工磨石構 件20包含7*環形磨石基座21 ;且，如示於圖5，在環形磨 石基座2 1被每一具有一六角形孔之螺栓b、b固著至心軸i 〇 的情況中，完工磨石構件2〇係被固定至心軸1〇。係為一杯 型之中空圓筒形完工磨石22的完工磨石22被固定至環形磨 石基座2 1。至於完工磨石2 2，係使用具有一粒度為# 2 〇 〇 〇 左右之微細磨石。而且，在磨石基座21中，形成多數之加 工液體供應孔2 1 a、2 1 a，其均被開啟地置於完工磨石2 2之 内側，且，可自磨石基座2丨的上部表面側將例如為水之加 工液體經由加工液體供應孔21a、21a喷射出至完工磨石 2 2。進一步的，在心軸丨〇中，形成一與完工磨石2 2同軸且 由:具有錐形形狀之裝配孔所構成的工具裝配部份25。工 具衣配部份2 5之上方，裝設一已知的由一拉桿2 6與滾珠 27、27所組成之夾持機構28。

=且，如示於圖2與5，在由完工磨石構件2〇執行一完工 研^ =業之前的粗研磨作業中，一粗磨石支架3 〇被裝配在 =^I配部份2 5上，且其可被裝配進入及移除自工具裝配 部份^5。如示於圖“，此一粗磨石支架3〇包含一可被嵌入 j二衣配部伤2 5内之錐柄部份3丨，及一被形成在柄部份3 J （圖^中之下方）的夾緊部份32。夾緊部份32可被於後 口才冊之衣δ又在一自動工具替換設備2中的二個持臂5 1、5 2 。在粗磨石支架3〇部份上，裝配一環形磨石基座33 ^部份32之進一步向前處；且，固定一中空圓筒形粗 " 至磨石基座3 3。至於粗磨石3 4，可例如使用具有一

第11頁 五、發明說明（6) 粒度為#60 0左右之粗磨石。 中裝設一牽弓丨才主碟 進 乂的，在柄部份31之後方 被配按且裝配進示於圖2，當粗磨石支架 拉桿26拉動且以滾珠2;衣己二：2』：門牽弓丨柱螺栓35係由 架3。可被失持 H、之間，目此，粗磨石支 '給定位置處。於此時，如:二且：；而被裝配於其之 石支架30之柄部份31的 面2接觸。為此原因，粗磨 錐形表面25B均未互相接· / 裝配部份25之 支架30均經由其個別之平面一互、衣配。卩伤25與粗磨石 裝配部份25與粗磨石支架3〇; : = 然，在工具 接觸的情況中，柄部份31之錐形面別之平面表面互相 25之錐形表面25B係局部地或整體地 =^具裝配部份 進一步的，如示於圖5，粗磨石古加3 不重要 裝設在一箱彤框牟"Rn 支木30之下方裝設一被 〜Γ (上的喷嘴2〇b。當由fe a w拙 仃一粗研磨作業時，例如為水之加工 /、磨石34執 石以下方之喷嘴_向上嘴射至粗磨石34體自被襄設紳 有:t ’另一粗加工工具的一第二粗磨石支年30，你豆 上相同於粗磨石支架3〇之結構 j，係具 支木3 〇,具有示於圖4B的外部形狀，且勹人、、一弟一粗磨石 一夾緊部份32、一磨石基座 "一柄部份31、 :被裝配至磨石基座33之教磨 磨石支架30之粗磨石34具有更微細之粗糙产、破固定至粗 被固定至粗磨石支架30之教磨石34 ^ ^此，在將 度係例如為# 6 0 0之

的128007. ptd i n 五、發明說明（7) h況中’將被固定至粗磨石支架3 〇 具有例如為# 1 2 0 0粒度之粗磨石。之粗廇石34 ，係使用 進一步的，當使用完工磨石22執 — 如示於圖7，可被裝配至 丁 一元工研磨作業時， ^ ^ #33，„ „ ^ Λ 7"25 " ^ ^ 7，此一外蓋構件36包含一主俨部彳八Qf上。如示於圖6與 38。主體部份37與外蓋t / 及一外蓋支架部份 相地分離。主體部份以r二 相同於示於圖4Β中之粗磨石支架之 ；；$二貝上具有 且，於主體部份37之後方（圖7中之上方;穿1二25。而 栓3 9，其具有相同於被裝設在粗磨 - 弓I柱螺 ^35 . 〇 , ,, ffl7 , , # ^ :勒五以滾珠27、27置入其之間，因此，外蓋構 持至工具裝配部份25，且因而被裝配於豆之一 6 處。 八 &疋位置 而且，在外蓋支架部份3 8中形成一夾緊部份，其實質上 具有相同於粗磨石支架30之夾緊部份32的形狀；^，二菩 支架部份3 8可由於後討論之被裝設在一自動工具更換設^ 中的臂51、52所固持。而且，在外蓋支架部份38之上部部 伤中’提供四上部突起38A ;且，在外蓋支架部份μ之下 部部份中，亦提供四下部突起38B。更精確言之，在主體 部份37之下部表面中，於相對應自外蓋支架部份38突出的

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五、發明說明（8) 上部突起3 8 A的其之位罢考 取彡+ 7 7

B? μ ^ n? 处形成可個別地與上部突起38A 接之配接孔37A。即為，在外蓋支架部份38之上部突 38A均配接進入這些配接孔37A内的情況中， =傾與外蓋支架部份38,可被連接在：離= 本體。 q 正口 進一步的，在主體部份37之前方表面（下部表面）上， 成-軸環部份37B。此—軸環部份3 7B係被形成使得當主於 部份37被裝配進入心軸10之工具裝配部份25内時，軸環^ 份37B可被與工具裝配部份25之表面25A表面接觸。文 而且，如示於圖1與2，於心軸1〇之下方裝設一真空固持 與旋轉設備40，可真空吸入與旋轉一矽晶圓s，其之一表 面將被研磨；換言之，矽晶圓S之一表面係被使用為依據 本發明之一工件。此一真空固持與旋轉設備4 〇包含一護罩 41，且於護罩41上方裝配一可環繞直立軸旋轉之方式的旋 轉台42。如示於圖3，在旋轉台42中，形成多數的真空吸入 孔42a。這些真空吸入孔42a均個別地連接至一空氣泵（未 示於圖），且均被建構使得經由施加一負壓至空氣泵時， 其可吸入且固持被置於旋轉台42上之矽晶圓S，如示於圖3 中之虛線。護罩41之下方裝設一馬達43 ;且，此一馬達43 係經由一旋轉軸4 4連接至旋轉台。經由旋轉馬達4 3，旋轉 台42可經由旋轉軸44而被旋轉。而且，在置入馬達43與護 罩41之間的旋轉軸44中，裝設一減速齒輪45，被使用以傳 遞馬達4 3之旋轉且減速該馬達。進一步的，如示於圖3， 在箱形框架F中形成一排放孔46，被使用以排放在已被使

89128007.ptd 第14頁 五、發明說明（9) 用以執行一研磨作業之後的例如為研磨流體之液體廢料。 而且，在完工磨石構件20中之完工磨石22具有相同於在 粗磨石支架3 0中之粗磨石3 4的直徑，而此一直徑係被設定 為相等或大於將被研磨或加工之依據本發明的工件之圓形 矽晶圓S的一表面之直徑。且，如示於圖2，當使用磨石 2 2、3 4研磨石夕晶圓s的一表面時，磨石2 2、3 4之位置均被 設定使得磨石22、34之厚度的中心位置係通過矽晶圓s的 旋轉中心之縱軸Z 2。 橫向於研磨部份1 (圖丨中之左側上）裝設自動工具更換設 備其被使用以第二粗磨石支架3 〇,或其他加工工具更換 被衣配進入工具裝配部份2 5之粗磨石支架3 〇，及更換外蓋 f件36。而且，進一步的橫向於自動工具更換設備之處， 磨二堆料機3，其中，貯放二或更多種類之包含外 孤構件3 6與粗磨石支架3 〇的加工工具。 如示於圖8與9，白·#A-r « ° #自動工具更換設備2包含第一與第二固 符霄b 1、5 2，其可個别从 51、52係自其之個縱軸Z3轉動。此二固持臂 外延伸…在固持^中广:而以其之徑向方向個別地向 均被裝設固持構件5 3、5 4 •之個別的外部末端部份上， 個持爪53A、53B所構成， 持臂51之縱向方向延伸之一 一可對稱地相關於沿著第一’ 構件5 3關閉之情況中，示、軸線開啟與關閉。且，在固持 份32與示於圖6之外蓋構1"於圖4β之粗磨石支架3〇的夾緊部 持爪53Α、53Β所固持"。二36之外蓋支架部份38，可被固 另一固持構件5 4具有相同於 。如示於圖9，固持構件5 3係由 固

C:\2D-C0DE\90-03\89128007.ptd II·

第15 頁 五、發明說明（10) 一一' " :?構件53之結構；即A ’固持構件54可對稱地相關於沿 =弟二固持臂5 2之縱向方㈣線延伸之—軸線開啟與關 且，在固持構件54之前導末端部份，係類似於第一固 持構件5 3的裝設有二固持爪。 而且，第一固持閉51之下方裝設一轉動台55，其被使用 以轉動第一固持臂51。固持臂51、52均個別地置於被裝設 在轉動台55上之一無柱氣缸（1'〇(11^3〇71111(1^)的移動基 座56、57上。在這些無柱氣紅移動基座56、57均被滑動之 情況中，固持臂5 1、5 2可被個別地移動在其之縱向方向 中。轉動台55之下方裝設一馬達58。此一馬達58係經由第 一旋轉軸60A與第二旋轉軸60B而被連接至轉動台55。 而且，第一旋轉軸6 0 A與第二旋轉軸6 〇 B均經由一聯結器 6 1互相連接。且，經由驅動馬達5 8，轉動台5 5可經由第一 與第二旋轉軸6 0 A與6 0 B環繞一縱軸Z 3而被轉動。在轉動台 5 5以此方式轉動的情況中’固持臂5 1、5 2可被轉動。而 且’在第一旋轉軸60A中裝設一減速齒輪59。此一減速齒 輪59係被使用以減速馬達58之旋轉速率至一給定速率。 進一步的，這些轉動台55與馬達58係均被裝配在一直立 地移動基座6 2上。且在直立地移動基座6 2上，裝配滑件 6 3、6 3。這些滑件6 3、6 3可沿著被固定地固著至箱形框架 F的執條6 4之直立方向中滑動。而且，直立地移動基座6 2 係被建構使得在直立地移動氣缸（未示於圖）被操作時可移 動於直立方向中。因而，在直立地移動氣缸（未示於圖）被 操作以因而移動直立地移動基座6 2於直立方向的情況中，

89128007.ptd 第16頁 五、發明說明（u) 固持臂5 1 、5 2、1 其他加工工具、:固，臂5 1、5 2所固持之粗磨石支架3 0、 磨石堆料機3夕盍構件36，均被移動在直立方向中。 份1之相對側上i、f由自動工具更換設備2而装設在研磨部 存基座65，苴勺人〇不於圖9，在磨石堆料機3中裝設一貯 30的加工工具二】用以貯存多數之包含多數之粗磨石支架 及用以貯存外罢播=之加工工具貯存部份65Α、65Β……， 這些加工工具f Λ 3 6於其内之一外蓋構件貯存部份6 6。 66均被沿著由因=邛伤65Α、65β......及外蓋構件貯存部份 至轉:上=台55所轉動且第-固持臂51係完全地移動 =.55外側之徑向方向時）。而且，在個別加工工且 K; = ……中’例如，可貯存個㈣包含互相 地包if二 粗磨石支架。但是，亦可貯存個別 沾Λ 3 有相冋粗糙度之粗磨石的多數粗磨石支架於個別 的加工工具貯存部份65Α、65Β......中。 如示於圖8與9，在加工工具貯存部份65Α上，突出地提 供多數之（於本實施例中為三）支承座65a。如示於圖8，這 些支承座均個別地被裝設在貯存於加工工具貯存部份6 5 A 内的粗磨石支架3 〇之粗磨石3 4的内側。粗磨石支架3 〇之磨 石基座3 3的底部部份係由支承座6 5 a所支承，而粗磨石支“ 架30係被貯存於加工工具貯存部份65A内。因而，當粗磨 石支架30之粗磨石34被貯存時，未與加工工具貯存部份 65A接觸而係平衡在空氣中，因而預防粗磨石34被磨損戍 損壞。 … 五、發明說明（12) 而且’雖然未顯示，苴〜 65C ...中亦突出地設似之 ”貯存部份65B、 個別地被貯存在其之聯合的加支/工座且r而且，當磨石支架 :時，類似的，個別地由這口 2份65B、65C ... Γ:存在加工工具貯存部麵651 ^ 存接觸而係平衡=氣；未與 70。如示於圖10A，工此工具刷射子存^内’貯存一刷子構件 夾緊部份-、及-：子一基 = 冓， 包含顆粒之刷子74。. , A在刷子基座73上裝設 检I在刷子構件47。：：些 72及牽引柱螺拴75均個別地 二邛伤71、夾緊部份 3〇的柄部份31、夾緊部丄:；匕不於_之粗磨石支架 …i子基座仍= 主螺栓35相同之形狀。 座33的形狀，但與磨石基座33不同，架30之磨石基 份(未示於圖），以供嵌入含有顆大量之孔部 入。這些孔部份均被形成為一環形，日t 4的尼龍線嵌 看刷子基座73時，不能見到在刷子/因而丄當自上方觀 龍線。順帶地，於圖丨〇β中，為便於"解Λ之中央部份的尼 係被畫成大於其之實際厚度。且、 ，尼龍線Ν之原度 工工具貯存部份65C内時，刷子基户^子構件70被貯存於加 部份係由支承座（未示於圖）所支土丄3之底部部份的中央 刷子74的前導末端磨擦加工工|扩^因而，預防含有微粒 如_之放大顯示，被裝配在;^ 子基座73上之含有顆 89128007.ptd 第〗8頁

五、發明說明（13) Μ粒^子74，係由以鑽石顆粒㈣、DM…鑲嵌之大量尼龍線 、···所構成，因此，含有顆粒刷子74可提供尼龍線N之 :二性以及鑽石顆粒DM之優異研磨能力。該種含有顆粒刷 、、」可例如由下列方式製造。即為，首先’鑽石顆粒⑽被 由熔化成液態之尼龍材料構成之溶劑中。在溶劑被 乂一，形成擠出且然後被硬化的情況中，製造出具有緊密 :::鑽石顆粒之一尼龍線N。多數之因而製造的尼龍線N 被水集在一起且裝配至刷子基座73上，因此，可製造含有 顆粒之刷子7 4。 、 :興帶地，其並非經常必要使用包含尼龍線之刷子為含有 顆粒刷子74 ’而亦可使用其他合適之刷子。而且，至於應 被混合且固定進入刷子内之顆粒，較佳的，可使用顆 粒或Si〇2顆粒，但此並非限制性的。即為，依據情況，亦 可將已知顆粒混合且固定進入刷子内。 例如，依據本發明之顆粒，不只可使用前述之鑽石顆粒 與Si〇2 顆粒，亦可使用Al2〇3、Zr〇2、Sic、CM、B4c、Fe2〇3 Cr2 03、Ce02、ZrB2、TiB2&TiC之微細粒子或顆粒。至於 顆粒之尺寸，平均顆粒直徑可相等或少於1〇 ；較佳的 ，可相等或少於5/zni ;更佳的，可相等或少;且， 理想的’其可相等或少於〇. 2㈣。但是，依據將被拋光或 研磨之物件，可合適地選擇平均顆粒直徑。至於顆粒之形 狀，較佳的，可選擇球面形狀或接近於球面形狀之形狀。 但是，依據將被研磨之物件，亦可使用具有其他形狀之顆 粒。

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第19頁 五、發明說明（14) 順帶地，在加工一 要’亦可貯存包含_抛=部份65A、65B...中，如果需 粗磨石支架30及刷子構件之拋光工具或蝕刻工具以取代 而且在外蓋構件貯存# 蓋構件36被貯存於外苗错=知66中財存外盍構件36。在外 地提供在外蓋構件貯存部份66内時，由於被個別 3 8B，外蓋構件36 # 夕盍支架部份38上的下部突起部份 卜盍構件36係被固持為直立地。 持臂ΗίΪ完件53被轉動台55所轉動且第一固 獲致的由轉ϊ台55外側之徑向方向時，所 設-外蓋 J;:5二;6出7?:::的=^^ 中，於研磨心八〗Φ/Λ 在此一外盍支架貯存部份67 時，可貯存多二J完工磨石20執行完工研磨作業 外蓋構件36的外蓋支架部份38。當貯存 部份38Β均個刀別地嵌入入夕並盖支4架人貯存部份67内日夺’下部突起 fi 7 xb 人一之聯合的被形成於外蓋支架貯存 = ::= 未體 =:。且，形成在被裝配於工 在外蓋支架部份38上的1;突起 可預防其之共同位置關係被移位。 ’被配置使付 作J在，力下將說明具有前述結構之單表面研磨裝置Μ的 f使用單表面研磨褒置Μ執行一單表面研磨作業時，做 為一工件之將被研磨的矽晶®S，由一機械手臂（未示於 圖）輸送且放置於被裝設在研磨部份丨中的真空固持與旋轉 第20頁 89128007.ptd

1M 五、發明說明（15) 裝置40之旋韓 ίβ ώ 6 ^ ^ 口 上。已被置於旋轉台4 2上之石夕晶圓s， 空吸入疋此口 42的真空吸入孔42a所施加之一負壓而被真 :磨，且：：：巧之一表面，首先被一粗磨石粗略地 地研磨；且'，另一具有適當但不同粗糙度之粗磨石粗略 噩線诂m ’而後’石夕晶圓S之因而被粗略研磨之表面， 心=;::=行；：研磨。當使用完工磨石構件 液= …卜蓋構件心；= 粗磨石支s過n:最初執行的粗研磨作業中所使用的 份25内。現在，把If配至形成在心軸1〇中的工具襄配部 3的加工工具貯存部支；…系被嶋 別地示於圖1 2 A至半，多-不於圖11之流程圖及個 支架3。進入工且二=圖’於下將說明自裝配粗磨石 的作業之程序内的作業至執行—粗研磨作業 示於圖12Δ中之虛線，自動工具更 石支架3。的第—固持臂51，係被設定在奥相;^ 二工具貯存部份65A中的粗磨石支架、被二存， ”置^後’開啟第-固持臂51之固持構。^份32 ;悲，弟一固持臂51被轉動且移動至被使 由此— 磨作1的粗磨石支架30所貯存的磨石堆料=3執J丁 —粗研 工具貯存部份65A的位置（步驟1)。於此，告弟—加工 被轉動時，第一固持臂5 1被移動在轉動△ 少固持臂5 1 中’且因而，縮減第一固持臂51之轉動：徑。二：二： 89128007.ptd 第21頁 五、發明說明（16) 田第一固持臂5 1被轉動時，防一 被貯存在加工工呈貯, 、 寺構件5 3抵靠向 因為敝-固持臂以 固持細所固持之出不第只可降低由第-::險性，且可減少轉動第==:二，件53的 ::因為第二固持臂52係被開啟且亦移動-步 内方向中，類似於第— 轉動口 5 5之向 靠向被貯存在加工工且六 ’ 口頁防第二固持臂52抵 示於圖m之實線Λ存部份6中的粗磨石支架。如 存部份心的固固第一加工工具貯 因而固持粗磨石支¥3() 寺構件53破關閉，以 .^ ^ ^ 又木30之夾緊部份32(步驟2)。 在粗磨石支架3。之夾緊部份32被固 ） 基座62被一裝設在自動 後，直立地移動 -(未示於圖)向二備r的直立地⑽ 直立地移動基座62i匕圖，之貫線所示之位置。由於 固持臂5"皮向上移；向i:，；f粗磨石支架3°之第- 持任何物件且固持構件54被維持於開啟臂52未固 圖12A之虛線，經由操作無桿氣缸 接下來，如示於 一固持臂51在轉動台55之炉 弟一私動基座56，第 然後，如示於圖12B之實線 向中向内移動（步驟4)。 固持臂51被向上移動至相對應於心軸 ：口 55第一 進一步的，如示於圖]3β之實線， （^驟5)。 台55之徑向方向完全地向外 動土座56以轉動 也门夕卜私動，因此，由第一固持構件 第22頁 C: \2D-CODE\90-03\89128007.ptd 五、發明說明（17) _ ^ ^固持之粗磨石支架3 ◦，係被置於在研磨部份1中的心 軸10之正下方（步驟6)。 ! 2 Β=Λ石支Λ3 0被置於心轴10之正下方時’如示於圖 驟7)。\，〜轴10被心軸直立地移動設備11向下移動（步 m :山心軸10向下移動之情況中’粗磨石支架30之柄呷 形成於心軸1〇中的工具裝配部㈣内，因： 具緊部份32的背表面32Α可被快速接觸-份32的背表面32 :石支木3〇之夾緊部 中，拉㈣被拉動且觸粗磨具石衣支配4 τ臺〜5Α的情况 機構28所限制，以固支木3〇之牵引柱螺栓35被失持 =磨石支架3◦係固定地裝配至心㈣的工具裝配: 將被力(間，：由-機械手臂(未示於圖），輸送― 空固持及旋:將被研磨之構件）的石夕晶圓S至真 置於旋轉台42丄 之叙轉台42。在妙晶圓s被輸送且放 形成在旋轉台42中==經由空氣栗（未示於圖），自被 晶圓S，因此，、/、工吸入孔42 a個別地施加負壓至石夕 而且，如干/曰曰圓3可被真空吸入至旋轉台42。 卿失持之;虛線’在粗磨石支架3〇被夹持機 支架3〇(步驟9)。第接下\持構件53被開啟以因而釋放粗磨石 56被向内地移向轉動4’，如且示於圖13c之虛η 動，因此，第ϋ : 弟一固持臂51因而被向内移 口持#51被移回（步驟1〇)。在第一固持臂

89128007.ptd 第23頁 五、發明說明（18) 5 1被移回之情況中，如千於m，〇 r ^ ^ δ 你署 ^ ,e 7、、圖1 2 C ’複罩1 〇 A與心轴1 〇被下 移至一位置，使得粗廢石古加 、 支木30之粗磨石34的下部表面可 接觸被真空固持及旋轉梦罟4 ^ 吉 ^ ^ ^ ^ 、疋得衣置40所真空固持的做為將被加工 ^、、，將被研磨之構件）的—矽晶圓S之表面（步驟 s 〜由1 0矛夕向下方之後，心軸馬達1 0 B被驅動以因而 軸Z1旋轉心軸10，於同時，馬達43被驅動以因而環 ;縱軸22旋轉該旋轉台42 ’因此，可開始在石夕晶圓s之一 二士 $ ^ :磨之作業（步驟1 2 )。而後，加工液體自喷嘴 2〇B_(圖2射出至粗磨石支架3〇之粗磨石34。 、’、二由鈾述過^，當粗磨石支架3 〇被裝配在工具裝配部份 25上且完成粗磨石支架3〇的粗研磨作業時，以不同於粗磨 石支架30之粗糙度的第二粗磨石支架3〇,更換粗磨石支架 ，且由第=粗磨石支架3〇,再次粗研磨矽晶圓s。 接下來麥妝示於圖1 4之本過程的流程圖與示於圖1 5 a 至15C的單表面研磨裝置M的圖示，於下將說明包含以第二 ^，石支架30更換粗磨石支架3〇的步驟至使用第二粗磨石 支名30執行一粗研磨作業之步驟的過程，圖i5A至i5c係 個=地顯示由單表面研磨裝置M所執行之步驟。 當在研磨部份1中執行粗磨石支架30之粗研磨作業時， f自動工具更換設備2中’為使可快速地以第二粗磨石支 430更換粗磨石支架3〇，第二粗磨石支架3〇，已被第二固 持臂52之固持構件54所固持。因而，首先地，第二固持臂 5 2被轉動與私動至磨石堆料機3内第二， 貯存的第二力m貯存部份65B之位置（//jt接下

1S4 I n 五、發明說明（19) $，第二固持臂52被下移且因 ::=(步驟22)。而後，如示於_之虛線第固 = Γ=::，持第二粗磨石支架3。，= 以此方式固持的情況中，如示於圖15A，第二 :2^)上方ώ’且因而在轉動台55的徑向方向中向内移動(步 。由於此一過程’第二粗磨石支架3〇 52所固持。在第二粗磨石 弟一口持# (，中，第-固持仙=移動 :研=業Γΐ成單表面研磨裝置Μ等待粗磨石㈣^ 而後，在完成粗磨石支架30之粗研磨作業後， 二軸10與旋轉台42之旋轉運動（步驟2 ^ 如示於_，心軸^ 士地移動，直到被裝配在心軸10之工具襄配部份2 ，：支架30之夾緊部份32被設定在幾乎相同於第:

I f置處為止(步驟27)。在粗磨石支架3。之夾緊部份32 被叹疋在幾乎相同於第一固持臂5丨的位 W 一固持臂51被以轉動台55的徑向方向命冰^情況中，第 固持構件53被關閉，以因而固持粗磨：$第-32(步驟28)。在第一固持構件53以2==之夾緊部份 3〇之夾緊部份32之後，心轴1〇之拉桿/ 寺粗磨石支架 放粗磨石支架30之牵引柱螺栓35，^被^下推出’以釋 構28之粗磨石支架3。的被夹持狀態(步“除二 ==幾

89128007.ptd 第25頁 五、發明說明（20) 石3 0之夾持狀態後，心軸1 〇被移向上 支架30被自工具裝配部份25拉出。_ /μ卜粗磨石 5i寻皮以轉動台55的徑向方向向内移動(步^ ’第^持臂 持臂5 1被移動以因而後退粗磨石支架^ 贫_弟—固 52被轉動且移動至心軸1〇之位置，^ 後，^二固持臂 支：30 i 一相對應於心軸1〇之位置（步驟 ” 不於圖15C，第二固持臂52被以轉 如 移動（步驟33)且第二粗磨石支年3〇, 口=仫向方向向外 下古二Μ 又木川被移動至心軸1 〇之Π： LV之Λ，：軸10山被向下移動（步驟34)且第二粗磨石支 部严31卩知31被肷入心軸10的工具裝配部份25。在柄 邛伤3 1被肷入工具裝配部份2 & 柄 的牵引柱胃λ 後，第二粗磨石支架3〇， 粗磨石支架30, 。 U而允許夾持機構28夾持第二 被二牛粗磨石支架3〇,被夾持的情況中，第二固持構件 〇，J36) ?此，第二固持構件54釋放第二粗磨石 以2翻在釋放第二粗磨石支架3 〇,之後，第二固持臂52 於之徑向方向向内移動（步驟37)。接下來，如示 ^圖15C，心軸1〇被向下移動（步驟38)且由第二粗磨石支 ^接觸所。固持之粗磨石34的下部表面係被搞至與石夕晶圓S表 7 且’經由驅動心軸馬達1 〇 B，心軸10被環繞縱軸 命疑轉且旋轉台42被環繞縱軸Z2旋轉，因而開始使用第二 磨石产，〇,之粗研磨作業（步驟39)。 gp 述過程，在第二磨石支架3 0，被裝配進入工具裝 配伤2 5且缺你—#给— …、佼70成弟一磨石支架3 〇，之一給定粗研磨作

Mila 五、發明說明（21) 業的情況中，第二磨石支牟 ，且執行由完工磨石構件2^〇^皮自工具裝配部份25移除 磨石構件20之完工研磨作章押凡工研磨作業。當使用完工 切割粉末及研磨液體所沾;；f預防工具裝配部份25被 配部份25上；即為，工具萝j卜盍構件36被裝配至工具裝 蓋，以因而仵護工且梦^ f部份25被以外蓋構件％覆 接下示二::=:^污。_ 1 7〇的個別顯示單表面研磨聲、心耘圖及不於圖1 7Α至 將說明由單表面研；g 過程步驟的圖式，於下 月由早表面研磨I置]^所執行之過苴 _ 石支架30,係自工具裝配部份25 & β二 磨 至工且妒配邱彳八„ μ r丨如25私除，外蓋構件36被裝配 磨作業。、° ，使用完工磨石構件20執行完工研 雖=二磨石支架3〇’之粗研磨作業 π，在自動工具更換設備2中，外蓋構件36 :二…中執 臂5 1之第一固持構件5 3所固持， ^ 、 q η，7 4 A u此第二粗磨石支架 至工Λ Λ具裝配部份25移除，且外蓋構件36可被裝配 i祐：=份25上。但是，在第—固持構件53中，仍固 ::使用在先前粗研磨作業中的粗磨石支架3。。因而，首 應於磨石堆料機3之第一加工工具貯/部石上 :相對 驟41)。在粗磨石支架3〇被移至一相對庳=、立步 貯存部舰的位置之後，第-固持臂5;以二 向方向向外移動（步驟42)以因而移動粗磨石支竿口3〇至第二 加工工具貯存部份65A之正上方位置。當粗磨石支㈣係

89128007.ptd 第27頁 五、發明說明（22) 置於加工工具貯存部份65A之正上方時，筮门杜 移向下方（步驟〇， 上方卞弟一固持臂51被 工具貯存部物)内。，妾粗下磨 4 4 )以因而釋放第 弟固持臂5 3被開啟（步驟 式’第-粗磨Λ—架:^ r，…第-固持構一成為二 ‘持任何物件之狀況的情況中 55轉動，因此，第—固持啟’第-固持臂51被轉動台 66(步驟45)。在第—f移動至外蓋構件0部份 66之後，第一固拄播f持# 1被移動至外蓋構件貯存部份 之外苗支"f、38/冓牛破關閉，以因而固持外蓋構件36 固持，如示於圖1 7A，第一 mς】尨、+人 此万式被 47)，因此，第一固持劈持#係被向上移動（步驟 浐叙 持#51係以轉動台55之徑向方向向内 2二ί 外蓋構件36被第一固持臂51固持。在外 盍構件3 6被苐一固持臂^彳同j主 ％ — 至心^ η沾你半持後，第二固持臂52被移動 H ^置（ν驟48)。且，然後，單表面研磨裝置Μ 荨待供使用第二粗磨石支架3〇，完成粗研磨作業。 :後’當使用第二粗磨石支架3〇,完成給定之粗研磨作 二日寸:均導致心軸1〇與旋轉台42之旋轉運動（步驟49)。在 1用第二粗磨石支架3 〇,以此方式完成給定之粗研磨 ，情況中，心軸10被向上移動直到被裝配在心軸1〇之工具 裝配部份25中的第二粗磨石支架3〇,之夾緊部份32實質上、

89128007.ptd m 第28頁 五、發明說明（23) 抵達相同於第一固持臂5 1的高度位置處為止（步驟5〇 )。在 心軸1 0被向上移動至此一位置時，第二固持臂5 2以轉動台 55之徑向方向向外移動以因而關閉第二固持構件54，因 此，第二粗磨石支架3〇,之夾緊部份32被第二固持構件54 所固持（步驟51)。在第二粗磨石支架3〇，之夾緊部份32被 以此方式固持的情況中，心軸丨〇之拉桿26被推出，以因而 移除由夾持機構28夾持第二粗磨石支架3〇，（步驟52)。接 下來，如不於圖17A，心軸1〇被向上移動（步揍53)且粗磨 石支架30被自工具裝配部份25拉出。進一步的，第二固持 #52被以轉動台55之徑向方向向内移動（步驟54)。即為， f第：㈣臂52被移動且第二磨石支架3〇,被後退的情況 L第一固持臂51被轉動且移動至心軸10之位置，且外蓋 筹仵d b係被置於心軸1 0之正下方。 二由圖;7B之虛、線，心軸10被移向下方（步驟 被嵌入形成'在？二向Φ下移動’外蓋構件36之主體部份37 〇R ^ ^ 中的工具裝配部份2 5内。在外蓋槿株 36之主體部份37被嵌入工具内在卜盍構件 拉動以因而限制外蓋構件36 二 =2桿26被 構件36可被爽持機構28爽持(步牵二广39，因此，外蓋 向構Γ6被以此方式爽持的情況中，心軸1〇被再-欠 外蓋構件36的主體部份37，= 機構28所夾持之 勺破向上移動。雖然外蓋構件 五、發明說明（24) 3之主體部份37被向上移動， 仍遺留被第一固持構件53所固f構件3之外蓋支架部份38 蓋支架部份38與主體部份37均互’因此，外蓋構件36之外 中此一外蓋支架部份38並非必相分離。在完工研磨作業 置於研磨部份1中的愔 ’且在外蓋支架部份38被 因而，外蓋支架部份二後… 中的外蓋支架貯存部份67内。=J在形成於磨石堆料機3 外蓋支架部份38之第一固持臂^不於圖17C ’固持 向内移動(步驟59)。在第一固持臂心向方向 後，轉動台55被轉動以因而移動第一 ^移，之 貯存部份67的位置（步驟6〇)。接下來，第 ^卜^架 下:多動(步驟⑴，且外蓋支架部份38 貯=二 支架貯存部份67中(步驟62)。以此方式，:u 架部份38被貯存在外蓋支架貯存部份67中，外蓋支 38可被預防自第一固持臂51掉落。 ” 4伤 另一方面，心軸10與被裝配在其之工具裝配部份“上 外蓋構件36之主體部份37，而後被向下移動（步驟63)，且 完工磨石構件20之完工磨石22的下部表面係被攜至與矽晶 圓S的表面接觸。且，心軸1〇被環繞縱軸Z1旋轉，旋轉台 4 2被環繞縱軸Z 2旋轉，因而，開始使用完工磨石構件2 〇之 完工研磨作業（步驟64 )。在完工研磨作業執行中，加工液 體自喷嘴20A經由個別地形成在完工磨石構件2〇中的加工 液體供應孔21a喷射至完工磨石22。 且，在以此方式執行完工研磨作業時，外蓋構件36之外 89128007.ptd 第30頁 五、發明說明（25) 蓋支架部份38係被貯存在外蓋支架貯存部份6?中，使得外 蓋支架部份38維持被第一固持臂5丨所固持。而後，在完工 研磨作業終止的情況中，完成研磨矽晶圓S表面之全體過 程。接下來’參照示於圖丨8之流程圖，於下將說明含蓋使 用完工磨石構件2 〇在晶圓s表面上執行完工研磨作業之步 驟及至完成研磨過程的步驟之過程。 如不於圖1 8 ’在使用完工研磨構件2 〇之完工研磨作業被 ，止的情況中，外蓋構件36之外蓋支架部份38被裝配至外 蓋構件36之主體部份37上，且然後，主體部份37被自工具 裝配部份25移除。為此目標，在使用完工磨石構件2〇之完 工研磨作業被終止之前，外蓋支架部份38被移動至心軸1〇 的位置。精確言之，首先，固持外蓋支架部份38之第一固 持# 5^被向上移動（步驟7丨），且然後，外蓋支架部份3 8被 自=蓋支架貯存部份6 7取出。在外蓋支架部份3 8被然後自 =f支架貯存部份67取出之後，轉動台55被轉動，以因而 3動且移動第-固持臂51至心軸1〇的位置（步驟72 磨 凌置Μ等待供經由完工磨石構件2〇完成完工研磨作業。 =，在使用完工磨石構件2〇之完工研磨作業被終止的 中，心軸10與旋轉台42之旋轉運動均被導致停止（步 因。且，在心軸10與旋轉台42之旋轉運動均被停 =止完工研磨作業的情況中，心軸1〇被向上移動至一 1於弟-固持臂51之位置（步驟74)。接下來1 5 1以轉動a 5 5夕灰a古 U捋# =動口 55之瓜向方向向外移動，且外蓋構件36 菩 支木。卩份38被置於外蓋構件36之主體部份37的正下方位^

U1 五、發明說明（26) (步驟7 5 )。然後，心軸丨〇被向下移動（步驟7 6 )且 37被裝配在外蓋構件36之外蓋支架部份38上。接也部份 由推出心軸10的拉桿26，牵引柱螺栓39之限制被移二，經 因而移除外蓋構件36的主體部份37被夾持機構以 (步驟77)^。在移除該種夾持後，心軸1()被向上“持 78)且外蓋構件36之主體部份37被自心 v騍 向向内移動(步驟79)。接下來，轉動台55被轉動^向方 二移動進第：固持臂51至外蓋構件貯存部祕 二1 K f~固持臂51被向下移動的情況，Λ卜向方 = = 蓋構件貯存部 、工田開啟第一固持構侔Η，、步 存進入外蓋構件目八六* 再千3外盖構件3 6 在研磨部份丨中的了直存/份66内（步驟81)。❿後，自被= 圖)移除負麼：Ϊ固持與旋轉褒置4°之空氣泵(Ϊ供 間的真空狀況，因^破壞或移除在旋轉⑽與^^於 手臂(其亦未示於口二：晶圓3可被移除。且，由々 後被輸送至用以執：出°亥因而被研磨之矽晶圓S，且： 如此，完成的清潔過程之-清潔4 的步驟範圍之—彳^磨作業的步驟至執行完工研磨 二σ 系列研磨步驟。 π位作業 而且，如示於圖19 — 構件7◦之刷栻作業的;：中、， 用刷子構件70刷 :在完成完工研磨作業之後， 構件7〇之刷找：：：:，的完工研磨表面。 配部 89128007.ptd 第32頁 發明說明（27) 份25之外蓋構件36 份72被第二固持m7日”刷子構件70之夾緊部 蓋構側係由第構件54所固持。且，當外 貯存進入外蓋構件貯存 持構件53所固持且然後被 被裝配進人卫且事s ，刷子構件7〇之柄部份7! 柱螺栓75被裝設;然後，刷 刷子構件，ί二I:機構28所限制，因此， 而被縮回且心軸10被移動以因 研磨夺面粒刷子74攜至與石夕晶，的前述 此狀態，在旋轉心軸10且矽晶圓s俜在 如示於圖2°，可在秒晶圓s表面= 辈^二為使強化由含有顆粒刷子74執行之刷拭作 液體自噴嘴20C喷射或喷灑在石夕晶圓§之研磨 ί74们Ϊ 3有顆粒刷子74上。在以此方式使用含有顆粒刷 子74刷拭石夕晶圓S之研磨表面情況中，石夕晶圓s之研磨表面 I成為一進一步較高水平表面，其不具有加工畸變且具有 面的抗挽強度。 在矽sa圓S之完工研磨表面使用含有顆粒刷子7 4刷拭的 情況中，例如，可預防在粗研磨步驟中產生之顯微裂紋進 步务展’因而可預防顯微裂紋損壞石夕晶圓s之表面。而 且，在矽晶圓S之表面係使用含有顆粒刷子74刷拭的情況 中，當與完工磨石2 0比較時，於相同顆粒尺寸下可獲致大 約為一半之表面粗糙度。因而，由於刷拭效，可獲致一 進一步較高水平表面狀態。

89128007.ptd 第33頁 於尼龍線 之研磨表 進一步較 〜拋光步 可協助清 可使用固 一操作者 工具裝配 作業不需 的情況 刷子7 4可 效地使 進v的在執行此—刷栻處理的情況巾 Ν:Λ撓Λ及鑽石顆粒DM之優異研磨力：晶二 具有加工畸變且具有強化抗 同水千表面。而且，可排除例如為一蝕刻〇 驟之後處理步驟以及化學處理步驟。進一牛的 潔加工構件（矽晶圓s)之表面。 v 、’ 此外，因為固持含有顆粒刷子74之刷子構 持臂51、52裝配進入心軸1〇之工具裝配部份25 0 不需使用大量時間與人工於裝配刷子構件7 〇進入 部=25。而且，因為使用含有顆粒刷子74之刷栻 要高精確性，即使在含有顆粒刷子74係稍微擺動 中，不會下降刷拭作業之效果。因而，含有顆粒 被妥適地裝配進入工具裝配部份2 5内且因可被有 用0 接下來，於下將說明依據本發明之一工作裝置的第二具 體例。在本具體例中，使用一示於圖21與22中之邊緣研^ 裝置EM為工作裝置。 如示於圖2 1，被使用為依據本發明之工作裝置的此一邊 緣研磨裝置EM，包含一基座80，及形成在基座80中之一邊 緣研磨部份81。而且，於邊緣研磨部份81之上方，裝設一 可吸入及固持構成一圓形薄板之碎晶圓S的晶圓固持裝置 90 〇 在邊緣研磨部份81中，裝設一心軸8 2使得其之一轴線係 延伸在水平方向中；且，在心軸82之後方，裝設一被使用

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發明說明（30) _ 具更換設備（未示於圖）。_動 — 建構使得其可固持粗磨 ς腎=#之固持臂係被 動工具更換設備，可；用緊部份87β。至於自 =換設備2的固持臂51、52可環繞延伸平二的自動X 才”或粗磨石支架87之旋轉轴線的 、-磨石 自動工具更換設備，，此一自動工轉之- 於此將省略。 /、更換没備之說明 而且，如示於圖22，冬你田— _ 研磨作業時，一外蓋構用:工磨石構件84執行-完工 血·構件8 8被裝配在工呈梦g立 土 一外蓋構件88具有與被使用在示於圖6中、之‘习上。 的外蓋構件％之主體部份37與外蓋支 體之形狀。且，外蓋構件88具有與粗磨石： 整合本 8 7 A幾乎相同之圓錐，且 支木8 7之柄部份 裝配部份85内。在外/構1V88件^可被嵌入工具 ，其被裝設在粗磨石支；Γ中牵引柱螺咖 87D ^ 〇 ^ , # /as Λν? ^ ±f ^ 架87之夾緊部份87的形狀之一夾3 $八千相同於粗磨石支 件88可由被裝設在自動工1 二:77 且因而，外蓋構 持臂所固持。 /、 、°又備（未示於圖）中的一固 而且，晶圓固持裝置90包含一可拙严^ 支承㈣。在支承軸91之下；夺繞-縱軸24旋轉的 晶，之吸入㈣。在吸入下塾2表的面^^ 之吸入槽(未示於圖）；且，=2由的轉下:上面中… 壓，矽晶圓S可被吸入且固持在 ^瑕*吸入槽進入負 U符在吸入墊92的下部表面。而

五、發明說明（31) --- 且，支承軸91包含一直立地移動機構93。此—直立地移動 機構93包含一軌條93Α及二滑件93Β ;即為，在二滑件93β 均沿著軌條9 3 Α滑動的情況中，經由支承軸9丨，被吸入塾 92吸入且固持之矽晶圓s可被移動在直立方向中。進一步 的，直立地移動機構9 3上方裝設一被使用以旋轉支承轴^ i 之馬達9 4。經由驅動馬達9 4，支承軸9 1可被旋轉，因此， 被吸入塾92吸入且固持之矽晶圓s與吸入墊92，均可被環 繞縱轴Z 4旋轉。 現在，於下將說明具有前述結構之邊緣研磨裝置麗 業。 圖2 3 A至2 3 C均為依據本發明之一邊緣研磨裝置的側視 圖’個別地顯示將由本邊緣研磨裝置執行之過程步驟。 在邊緣研磨作業之執行階段中，粗磨石支架8 7未被裝配 在心軸82之工具裝配部份85中。自此一裝態，粗磨石^架 87係由一固持臂（未示於圖）所固持；且，如示於圖23A /、 粗磨石支架8 7被置於工具裝配部份8 5之前方且心轴§ 2被向 前移動。在心軸82被向前移動的情況中，粗磨石支架87的 柄部份87A被嵌入工具裝配部份85内。在粗磨石支架87的 柄。卩8 7 A被肷入工具k配部份μ内之後，粗磨石支架8 了之牵 弓I柱螺栓87D被拉桿86A拉動且滾珠86B被置於其之間，以 口而夾持粗磨石支架8 7 ’因此，粗磨石支架8 7可被裝配至 =具裝配部份8 5内。在粗磨石支架8 7被裝配進入工具裝配 4份85内之後，自圖23A的狀態，心軸82被移至左側，直 到粗磨石8 7 C之末端部份直疊在矽晶圓S的末端部份上為止

第37頁 五、發明說明（32) (當自上方觀看時，如示於圖23B)。 於此狀態’石夕晶圓S之邊緣被研磨。當研磨石夕晶圓$之邊 緣時’心轴8 2被說轉以因而旋轉粗磨石8 7 C環繞其之一水 平軸線。而後，心軸8 2被在其之前後方向中重複地前後移 動，且與心軸82之重複周期為同步的，晶圓固持裝置⑽I 一直立地移動構件（未示於圖）係在其之直立方向中重複地 上下移動。經由以此方式移動心軸82與直立地移動構件3 粗磨石8 7C相關於矽晶圓s沿著矽晶圓S之邊緣移動。以此 方式，執行矽晶圓S之邊緣的研磨作業之粗研磨作業。 在終止矽晶圓S之邊緣的給定粗研磨作業的情況中， 磨石支架8 7之夾緊部份8 7B被裝設在自動工具更換," 示於圖）中的固持臂所固持，心軸82被縮回，且粗磨/禾 架87被自心軸82的工具裝配部份85移除。而後 位外蓋構件88在粗磨石彻存在的= ‘工：==:動二入心軸 —以外蓋構件88 ;= 皮:上因而夾持外蓋構件 蓋構件88被夾持之後，自^ H 入於其之間。在外 回，因此，具更換裝置之固持臂被縮 之位置。 ^動至固持臂不會干擾完工研磨作業 於此一狀態’類似於粗研磨作、 旋轉完工磨石構件84環繞其之—水：:轉以因而 八十軸線。而後，心軸8 2 五、發明說明（33) 在其之前後方向中重複地前後移動，且與心軸8 2之重複周 期為同步的，晶圓固持裝置9 〇之直立地移動構件在其之直 立方向中重複地上下移動。以此方式，執行矽晶圓S之邊 緣的完工研磨作業。如此，完成供矽晶圓S之邊緣研磨的 全體過程。 在前述說明中，已顯示粗研磨作業也與完工研磨作業之 過程均各執行一次。但是，在某些情況中，依據石夕晶圓S 之製造條件，粗研磨作業被執行二次或更多。例如，首先 使用具有# 6 〇 〇之量的大粒度之粗磨石執行粗研磨作業，接 下來’使用具有# 1 20 0之量的中粒度之粗磨石執行另一粗 研磨作業。而後，以具有#2 0 0 0之量的粒度之完工磨石執 行完工之研磨作業。 而且，至於外盖構件，不只可使用被使用在第一具體例 中的外蓋構件，亦可使用如示於圖24A與24B中的其他修正 版本的外蓋構件。 八 少 現在，圖2 4 A與2 4 β均為供使用在本發明中的外蓋構件 另:具體例的個別之分解立體圖。 構件 « I 中之外蓋構件100包含一主體部份101與-外 、木 而且，在主體部份1 〇 1之後端部份中，裝設一 可L :1二 夾r持機構28(圖2)所限制的牽引柱螺栓101D 所制成二卜—糸由例如為可被一磁石所吸入之鐵的材料 一 \ ,石所構成。而且，由一磁石構成之外蓋支 木口[Μ刀1 02係例如由一電磁石所形成，其被安排使得不只

五、發明說明（34) 可產生磁力且亦可消除磁力。在外蓋構件丨〇 〇中，當裝配 主體部份1 0 1至示於圖7的工具裝配部份2 5上時，在外芸支 架部份1 0 2係由自動工具更換設備2的固持臂51 ( 5 2 )所固持 的情況中，由於來自外蓋支架部份丨02之磁力，主體部份 1 〇 1被吸入。且，當主體部份101被嵌入工具裝配部份2 5的 情況中’在來自外蓋支架部份102之磁力被消除的情況 中’外蓋支架部份102可被自主體部份1〇1移除。 而且 示於圖24B之外蓋構件1〇3包含 ^ 一 ^ 主體部份1 0 4與 一外盍支架部份1 〇 5。而且，存在於主體部份丨〇 4側上的外 蓋支架部份105位置處，裝設一具有τ形之結合突起（當自 其之側表面觀看時）且係被使用以預防外蓋支架部份1〇5自 主體部份1 04移除。結合突起丨06係由一以直角延伸至外罢 支架部份105之表面的縱向軸線部份1〇^與一以直角延π 至縱向軸線部份10^之橫向軸線部份1〇66所構成。而且， 在與外蓋支架部份105接觸之主體部份1〇4的表面中，切判 之可Λ接t突起106於其内之結合孔107。參照結^ 的P \ 形成一以主體部份104之深度方向延伸 長之結合部份107a，在結合部份ma之終端中， 均具有扇狀形狀之結合部份㈣、107c(當自上

St心 1合部份1〇7a之開口的長度係被設定此微地 大於結合突起丨0 6之橫向鮎岣 一试奶 之深产方命中沾旦命 泉份106β，而結合部份1 又 ° 、、又，係被設定幾乎相等於处合邻彳八1 η r 之縱向軸線部份1〇6Α。♦社人& 、、、 邵仏1〇6 結合部份购的最深部ς:=106被嵌入結*孔1〇了之 可’在結合突起1 0 6相關於結

五 發明說明 (35) 合部份1 0 7b、1 0 7c旋轉大約9 0。的情況中，結合突起1 〇 6 被允許抵達結合部份丨〇7b、丨〇7c之壁表面，因此，可因而 限制結合部份1 〇 β之旋轉運動，且可預防結合突起丨〇 6在其 之控向方向中被移除。 在當外蓋構件1 〇 3未被裝配在心軸1 0的工具裝配部份2 5 上日^的情況中’被提供在外蓋支架部份丨〇 5中之結合突起 1 〇 6係配接進入形成在主體部份丨〇 4中的結合孔丨〇 7内，且 因而外蓋支架部份105被裝配在主體部份1〇4上。而且，在 主體部份1 04被嵌入工具裝配部份2 5上後，裝配外蓋構件 1 03主工具裝配部份25上，而外蓋支架部份1 05被固持臂 5 1 (f 2 )所固持，心軸丨〇被些微地旋轉。反應心軸丨〇之些微 地旋轉’外蓋支架部份1 0 5係相關於主體部份1 0 4旋轉，因 此’結合突起106之橫向軸線部份丨06B的方向被允許相同 於結合孔107之結合部份l〇7a的方向。於此狀態，在心軸 ίο被向上移動的情況中，結合突起106自結合孔1〇7移除。 以此方式，外蓋支架部份105可被自主體部份1〇4分離。 進一步的，在第一具體例中之心軸1〇的工具裝配部份託 可被修正為如示於圖2 5。 如不於圖25，心軸1〇之前導末端部份，由螺栓6通過苴 之磨石基座11 5 A而將做為一完工加工工具之完工磨石丄^ 固定。進一步的，在位於完工磨石丨丨5向内之心軸i 〇 :末端部份中，开》成一工具裝配部份116，一 :T之工具以可經由其之支架部份以更換的方式被 其内。卫具裝配部份丨16之内部周邊表面係被形錐、

五、發明說明（36) :的且ΐ具裝？部份116係被裝設使得與完工磨石115為同 ^ : ί卫具裝配部份116之内部部份中提供—由滾珠1 1 2 ili u所構成的夾持機構C。在粗磨石了被裝配至 H目、2配"卩伤116内的情況中，粗磨石τ之支架部份Ta係由 一衣配部份116之内部周邊表面、滾珠112、與夾持桿 以所明之雙表面限制方式被夾持至心軸1 〇。 接下來，參照圖26與27，將說明依據本發明之一切削 機0 如示於圖27，一切削機μ包含一基座2〇1。在此一基座 201上，以可被前後及左右移動之方式裝設一柱2〇2(亦示 於圖26中），且，在柱2〇2上，以可上下移動的方式支承一 心軸頭2 03。而且，在心軸頭2〇3上，以可旋轉方式裝設一 心轴2 0 4。以前述方式可移動地附接一粗磨石τ至心軸2 〇 4 之前導末端部份。以此狀態，經由旋轉心軸2〇4，完工磨 石2 0 5與粗磨石τ可被以一整合本體一起旋轉。 而且’在粗磨石τ被裝配在工具裝配部份2 0 6中的情況， 如不於圖2 6之虛線，粗磨石Τ係被放置比完工磨石2 0 5更按 件於一工件W( 一將被加工之構件）。且，當柱202被移動在 工件W之方向中時，工具τ(即為，粗磨石）被允許在工件ψ 上執行一給定粗研磨作業。於後，在粗磨石Τ被裝配在工 具裝配部份20 6中的情況，粗磨石τ被心軸2 0 4旋轉以因而 粗略地研磨工件¥。另一方面，在粗磨石Τ未被裝配在工具 裝配部份2 0 6中的情況，完工磨石τ被心軸旋轉以因而完工 研磨工件W。

89128007.ptd 第42頁 迎 64ία 五、發明說明（37) 而且’在基座201上，裝設一包含一水平部份的框架 2 0 7，而框架2 0 7之水平部份的末端部份向上延伸至心軸頭 2 0 3上方的位置。於一被提供在框架2〇7之水平部份的末端 部份且亦被提供在心軸頭2 〇 3上方的位置處，支承一工具 更換設備2 0 8，使得其可環繞通過該裝置2 〇 8之縱向方向且 亦延伸平行於心軸204的軸線之一軸線而被旋轉。進一步 的，在工具更換設備208之二末端部份中，個別地形成工 具固持部份208Α、2〇8Β。且，在心軸2〇4被固持於其之上 部位置的情況中，在工具更換設備2〇8被旋轉的情況中， 一粗磨石τι存在於一工具更換位置？1處且一粗磨石τ2存在 工具更換位置Ρ2處，更精確言之，二粗磨石Τ1與Τ2的 夾緊部份均同時地由工具更換設備2〇8之工 2 0 8Α、2 08Β個別地固持，^ ^ ^ ^ ^ 與更換。 因此’-粗磨石了丨射2可被移除 tΪ : 20 7之水平部份上，裝設-工具裝載器2〇9。此-=具衣載器2 0 9係被使用以輸送被貯存在一所謂線性匡形 ^ =具H21G(其被形成為_伸長平板且延伸在心轴⑽ 2 i 0之上部邊緣部份中^ T成至且換古位置P1。在工具昆 ^ ΛΑ m ^ 形成多數之具有給定節距於其之 0a;且，這些固持槽2i〇a均個別必開啟於相 :，即為在向上方向★。互相具有不同粗糙度之粗 磨石ΐ，均被個別地固持且貯存在固持槽21〇&中。 =下來’於下將說明使用依據本發r m研磨一 工件的程序。

第43頁 五、發明說明（38) 即為’用以執行第一粗研磨作業之一給定磨石T，被自 工具匣210由工具裝載器209輸送至工具更換位置P1。於此 情況’依據工件W與研磨程度妥適地決定粗磨石；且一般 而言’使用具有相當大粗糙度之粗磨石T。於工具更換位 置P1處，被工具裝載器2 0 9輸送至此的粗磨石T，係由工具 更換設備208之工具固持部份2 08A所固持。於後，沒有粗 磨石T被裝配至心軸2 0 4的工具裝配部份2 〇 6中，且因而， 為裝配粗磨石T進入工具裝配部份2 〇 6内，心軸2 0 4被移動 至工具更換位置P2。 接下來，在粗磨石T被工具固持部份20 8A所固持且沒有 粗磨石被工具固持部份208B所固持的情況中，工具更換設 備208被旋轉。且，存在於工具更換位置ρι之粗磨石τ被移 動至工具更換位置P 2，且然後被裝配進入心軸2 〇 4之工具 裝配部份2 0 6内。在工具更換位置p 2處，粗磨石τ被裝配在 心軸2 0 4之工具裝配部份2 0 6中，且因而被夾持至心軸 2 0 4，不只心軸基座2 〇 3被移向下方且柱2 〇 2亦被向前移 動’因而研磨工件W。於此情況，在粗磨石τ被裝配在工具 裝配部份2 0 6中的狀態，被裝配在工具裝配部份2 〇 6中之粗 磨石T，係被放置比完工磨石2 〇 5更接近工件W。因而，經 由旋轉心軸2 0 4，可使用粗磨石T粗略地加工該工件w。在 使用粗磨石T執行一給定研磨作業時，工具裝載器2 〇 9回到 工具匣210之位置，且輸送接下來將使用之粗磨石τ至工具 更換位置P1。 在以此方式完成或使用第一粗磨石T的研磨作業之情況

89128007.ptd 第44頁 五、發明說明（39) ------- 中〜軸基座2 0 3被移動，且被裝配在心軸2 〇 4之工具裝配 4伤2 0 6中之粗磨石因而被移動至工具更換位置p 2。於 後已由工具#載态209輸送接下來將使用之粗磨石τ至工 具，換位置P1。由於粗磨石τ接下來將被使用，使用具有 比第一粗磨石的粗糙度小之粗磨石。但是，雖然第二粗磨 石具有比第一粗磨石小的粗糙度，其並非小至高研磨精確 性所需之被提供於一完工磨石中的粗糙度。 現在’工具更換設備2 0 8自示於圖2 6與2 7中之狀態旋轉 18 0 ’因此’工具固持部份2 0 8 Β係位於工具更換位置ρ 1 處，而設備2 0 8之工具固持部份2 〇 8 Α係位於工具更換位置 P2處。因而，可被工具裝載器209輸送至工具更換位置ρι 且尚未使用之粗磨石T係被工具固持部份208B所固持，且 於同時，被心軸基座2 03輸送至工具更換位置P2且已使用 之粗磨石T，係被工具固持部份2 〇 8 A所固持。 在粗磨石T均被以此一方式個別地固持之後，工具更換 設備2 0 8被旋轉1 8 0 ° ，因此，工具固持部份2 0 8 A被移動至 工具更換位置P1，而工具固持部份20 8B被移動至工具更換 位置P2。於工具更換位置P1處，使用後之粗磨石τ係由工 具裝載器2 0 9所接收，且然後被輸送至工具匣2 1 0中的一給 定位置且被貯存於該處。另一方面，於工具更換位置P 2 處，被使用前之粗磨石T裝配在心軸2 0 4之工具裝配部份 2 0 6内。且，心軸基座2 0 3被向下移動，以因而更向前地移 動柱20 2，因此，重新開始在工件W上之研磨作業。

在重複數次前述之類似作業情況中，即將執行在工件W

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上之完工研磨。當執行工件W上之完工研磨時，心軸基座 20 3被移動，且被裝配至心軸2 04的工具裝配部份2 06内並 已於先前階段中使用過之粗磨石T被輸送至工具更換位置 P2 °於此情況，一新的粗磨石T並未被工具裝載器2 0 9輸送 至工具更換位置P1。接下來，在粗磨石T被輸送至於工具 更換位置P2處的工具更換設備2〇8之工具固持部份2〇8A(或 20 8B)之後’心軸基座2〇3被向下移動，且柱2〇2被向前移 動’以因而移動心軸2〇4至工件w的位置。 於後’因為完工磨石2〇5係被裝配在心軸2〇4上，在心軸 2 0 4被旋轉以因而旋轉完工磨石2 〇 5的情況中，可執行在工 件W上完工加工作業。 ^今’已說明依據本發明之一工作裝置的較佳具體例。 但是，本發明並不侷限於前述具體例。例如，粗磨石支架 可被不只一次或二次的更換，而係可二或更多次的更換。 而且，在完成完工研磨作業之後，例如為一拋光布或一拋 光墊之不需要高裝配準確性的拋光工具，可被裝配在工具 裝配部份上且可使用該種拋光工具執行一拋光作業。進二 步的’在所示具體例中，使用一工具更換臂為自動工具更 換設備，且使用該臂自磨石堆料機取出粗磨石支架。^旦 是’此非限制性的，且可使用被使用在一般切削機中的一 無臂匣。 ^ 而且，依據本發明，其亦可應用其他之結構；例如，可 將具有相同粗度之多數的磨石預先貯存在磨石堆料機中， 且可經由順序地使用這些具有相同粒度之磨石執行所示之

類似研磨作業。進一步的，可準備多數 磨石’且在一磨石被使用且磨損之後， 粒度之新磨石。 之具有相同粒度之 可使用一具有相同 另一方面，在所不具體例中，使用— 嬰 ^^ 研磨裝置為工作裝 置，且個別地使用一完工磨石與一粗磨 . W石為完工加工工且 與粗加工工具。但是，此非限制性的 /、 " J 且例如可佶用一切 削機為工作裝置。在使用切削機的愔、、 丁曰 β ^ 丨月/兄中，做為完工加工 工具，不止是完工磨石，一需要高精確 中石Μ 4 ,, λα . iL 隹復的銑刀亦可被固 疋至做為一心軸的一主轴。而且，做. 9 t _ 人脅粗加工工具，不只 疋粗磨石，一不需要咼準確度之工具亦 ^ ^ /、亦可被裝配至工具裝 配部份内。 如前已述的，依 磨裝置，經由旋轉 研磨一工件的一表 成在心軸中；且， 配研磨工具至工具 更換被裝配在工具 ’提供一單表面研 的研磨工具以因而 工具裝配部份被形 ’不只可移除地裝 以一第二研磨工具 具。 據本發明之第^一觀點 一被裝配在一心轴中 面’其特徵在於，. 一自動工具更換設備 裝配部份内，且亦可 裝配部份中的研磨工 在本發明之第一觀點中’在一研磨工具可被裝配之 中’形成例如為一磨石裝配部份之工具裝配部份.且，_ 被裝配進入工具裝配部份内之例如為—磨石的研磨工呈 可使用一自動工具更換設備所更換。由此，可使用二，、’、 軸，且當與使用二心轴之結構比較時，八麯 留 〜 王篮t早表面研麻 裝置可被縮減尺寸。 1Μ 而且，可協助更換一磨損研磨工呈之你酱 <作菜，一操作者可

89128007.ptd 第47頁 五、發明說明（42) 無須大量之時間與勞力便可進行研磨工具更換作業，且可 在短時間内再執行研磨作業。進一步的，因為可在以具有 不同粗糙度之第二磨石更換一磨石時執行研磨作業，可整 體以高效率執行研磨作業。 依據本發明之第二觀點，在前述本發明之第一觀點中的 單表面研磨裝置中，一特定研磨工具係被固定地裝設在心 轴中；且，當一研磨工具被裝配在工具裝配部份中時，工 件係使用被裝配在工具裝配部份中之研磨工具研磨；且， 當無研磨工具被裝配在工具裝配部份中時，使用被固定地 裝設在工具裝配部份中之特定研磨工具研磨工件。 在本發明之第二觀點中，一特定研磨工具被固定地裝設 於心軸中，且因而，在特定研磨工具之情況中，固定地裝 配例如為需要高研磨精確性之一完工磨石的磨石，可強化 研磨作業之精確性。而且，在特定研磨工具之情況中，固 定地裝配一很少更換之研磨工具或係經常使用之研磨工 具，可減少研磨工具之更換作業。 依據本發明之第三觀點，在前述本發明之第二觀點中的 單表面研磨裝置中，被固定地裝設在心軸中之研磨工具係 一完工磨石。 在使用一完工磨石執行一完工研磨作業的情況中，需要 高研磨精確性。針對此，在前述本發明第三觀點的表面研 磨裝置中，完工磨石被固定地裝設在心軸中。由此，減少 由於在完工磨石被裝配至工具裝配部份内的情況中由於可 能發生之震動或裝配誤差而降低研磨作業之精確性的可能

89128007.ptd 第48頁 η 五、發明說明（43) 性。因而，可以高精確性執行完工研磨作業。 依據本發明之第四觀點，在前述本發明之第三觀點的單 表面研磨裝置中，被裝配進入工具裝配部份内之研磨工具 係一粗磨石。 在本發明之第四觀點中，完工磨石係被固定至心軸，粗 磨石可被裝配至工具裝配部份内，且粗磨石可被更換。由 此’於執行第一粗研磨作業階段中，粗磨石被裝配至工具 裝配部份内，且使用因而裝配之粗磨石執行一粗研磨作 業。在完成粗研磨作業之後執行一完工研磨作章 可使用完工磨石執行完工研磨作業。以此方】工 作業便可接續地執行自粗研磨作業至完工 内之研磨作業，可強化研磨作業之效率。a作業的犯圍 依據本發明之第五觀點，在前述本發明之任一第一至第 四觀點的單表面研磨裝置中，將被裝配進入工具裝配 内之研磨工具係一含有顆粒刷子。 ，，成使用完工磨石之完工研磨作業之後，因而完工之 ^ ^面係使用含有顆粒刷子刷拭，以因而可 d面=丨強Λ工件之裂斷強度（即為，當工件裂 光作業之後處理以及在該一後乍業 :為；表面。在本發明之第五觀‘匕， 部份内，：執二子在工具裝配 在該位置上連續地執行刷栻:：後因 89128007.Ptd 第49頁 1 η 五、發明說明（44) 刷子係被裝 比較時，可 之必要性。 用以執行刷 依據本發 表面研磨裝 一均固定地 至於被使 由大量尼龍 或Si02顆粒 胺；順帶地 中之聚合物 依據本發 六觀點的單 外蓋構件， 於使用完 份係被開啟 工研磨作業 明之第七觀 被裝配至且 石執行完工 份上的情況 依據本發 括下列步驟 省略將：：：：：而：工具裝配部份中的情況 而且，使::；r完栻目的 拭作業。 2石之心軸，亦可被使 在前述本發明之第五觀點的單 德山揚=有顆粒刷子係由大量尼龍線構成，每 鈒肷鑽石顆粒或Si 02顆粒。 用在本發明之含有顆 線構成之刷子，且每L ’較佳的’可使用 。於此，"尼龍”之：義：定地鑲嵌鑽石顆粒 方 義係已知的纖維狀態聚醯 ，聚醯胺係具有—NH rn „ λΛ M ^ 頁C0—聯結於其之主要鏈 的屬名。 明之第七觀點，在前述本發明之任-第一至第 表面研磨裝置中，一用 弟 用以覆盍工具裝配部份之 可被裝配至且自工具裝配部份上移除。 執：完工研磨作業期間’在工具裝配部 或露出之情況中’恐怕工具 中導致之切削粉太所、t 一 日攸牡兀 點中，一用以覆 且：。以上硯點，在本發 自工具裝配部份之外蓋構件可 上私除。因而，在使用完工磨 研磨作業中，於外蓋構件被裝配在工具裝配部 ，可預防工具裝配部份被切削粉末沾污。 明之第八觀點’提供一種單表面研磨方法，包 •裝配一研磨工具至形成在一心軸中之工具裝

C:\2D-CODE\90-03\89128007. 第50頁 五、發明說明（45) 配部份内，且使用研磨工具研磨一工件之單表面；使用〜 自動工具更換設備，以一第二研磨工具更換被裝配在工具 裝配部份中的研磨工具，且裝配第二研磨工具至工具袭^ 部份内；且，而後，使用被裝配在工具裝配部份中的第二 研磨工具，研磨工件之被一次研磨的單表面。 在本發明之第十一觀點中，因為可使用一自動工具更換 設備自動地更換研磨工具，操作者不需以手更換。因而，' 當執行自一工件粗研磨作業至一工件完工研磨作業的範圍 内之工件研磨作業時，可平順地更換研磨工具。而且，即 使在研磨工具磨損且劣化之情況中，可以一新研磨工具平 順地更換劣化之研磨工具。 ' 依據本發明之第九觀點，提供一種單表面研磨方法，包 括下列步驟·裂配一粗磨石至形成在一心轴中之工呈裝西 部份内，且使用粗磨石研磨一工件之單表面；使用一自動 工具更換設備，以一第二研磨工具移除被裝配在工具裝配 部份中的粗磨石，而後，使用一被固定地裝設在心軸中= 完工磨石，完工研磨工件的粗略研磨表面。 在本發明之第九觀點中，不只可以系列之作業接續地執 行自粗研磨作業至完工研磨作業的範圍之研磨作業，而 且’因為完工磨石被固疋至心軸，可以高精確性執行完工 研磨作業。 依據本發明之第十觀點’提供一種單表面研磨方法，包 括下列步驟：裝配一粗磨石至形成在一心軸中之工具裝配 部份内，且使用粗磨石研磨一工件之單表面；使用一自動

89128007.ptd 第51頁 ±SJi4U)

五、發明說明（46)

工具更換設備，以一第二研磨工具移除被裝配在工具裝配 部份中的粗磨石；使用一被固定地裝設在心轴中之完工磨 石，完工研磨工件的粗略研磨表面；裝配一含有顆粒刷子 至形成在一 有顆粒刷子 在本發明 作業後，經 面，工件之 度。而且， 後處理以及 潔工件之被 之後，含有 含有顆粒刷 心軸中 刷拭工 之第十 由使用 表面才貝 不只可 在該一 研磨表 顆粒刷 子在該 之工具裝 件之完工 觀點中， 含有顆粒 壞可被移 省略例如 後處理中 面 進一 子係被裝 位置上刷 配部份内；且，而後，使用含 研磨表面。 在使用完工磨石完成完 刷子刷栻工件之完工研 除，因此可強化工件之 為一蝕刻作業或一拋光 所需要之化學物，亦可 步的，在完工研磨作業 配至工具裝配部份内， 栻工件之被研磨表面。 工研磨 磨表 裂斷強 作業之 協助清 被終止 且使用 因而， 不必要移動工件至工具裝配部份以外之供刷拭工件用的其 他刷拭位置’而可使用含有顆粒刷子在該位置上刷拭完工 研磨工件。而且，因為被使用以旋轉完工磨石之心軸亦可 被使用在刷拭作業中，可預防單表面研磨裝置整體尺寸成 為過大。 依據本發明之第十一觀點，在前述本發明之第九或十觀 點的單表面研磨方法中，當使用完工磨石完工研磨工件之 粗略地研磨表面時，用以覆蓋工具裝配部份之一外蓋構件 係被裝配在工具裝配部份上。 在本發明之第十一觀點中，當使用完工磨石執行完工 磨作業時，外蓋構件被裝配至工具裝配部份上。由此，

五、發明說明（47) 預防於執行完工研磨作業期間露出工具裝配部份，因而， 可預防工具裝配部份被經由完工研磨作業產生之切削粉末 所沾污。 依據本發明之第十二觀點，提供一用以旋轉一被裝配至 一心軸内的工具以因而加工一工件的工作裝置，其中，在 心軸中，固定地裝配一完工加工工具且形成一可移除地裝 配一粗加工工具於其内的工具裝配部份，且其中，一用以 覆蓋工具裝配部份之外蓋構件，可被裝配至且自工具裝配 部份上移除。 依據本發明之第十二觀點，於執行完工加工作業期間用 以覆蓋工具裝配部份之外蓋構件，可被裝配至且自工具裝 配部份上移除。由此，當使用一被固定至心軸的完工磨石 執行完工研磨作業時，經由裝配外蓋構件至工具裝配部份 上，工具裝配部份被外蓋構件覆蓋。此可預防工具裝配部 份被沾污。 依據本發明之第十三觀點，在前述本發明之第十二觀點 的工作裝置中，固定地被裝配進入心轴内之完工加工工具 包含一完工磨石。 在本發明之第十三觀點中，固定地被裝配至心軸内之完 工加工工具包含一完工磨石。因為其之本質，完工磨石需 要高完工精確性，且因而，較佳的，完工磨石係被固定至 心轴〇 依據本發明之第十四觀點，在前述本發明之第十二或十 三觀點的工作裝置中，粗加工工具包含一粗磨石。

89128007.ptd 第53頁 五、發明說明（48) 在本么月之第十四觀點中，使用一粗磨石為粗加工工呈 。粗磨石不需要如完工磨石般的高加工準確性， ：、 ί ί Ϊ t =至,具裝配部份内，且無論何時被使用，均不 i之方式被：題。目而，可方便地使用可輕易地以另二更 、&據i ρ ΐ配至工具裝配部份内的一磨石為粗磨石。 的工作裝置中，Π加Π:述本發明之第十二觀點 工工且包含一杯φ]4 β工具匕3 一杯型完工磨石且粗加 八已3 杯型粗磨石，且豆中，力田k油丨4 + 略地研磨工件之單#面夕& /、中在使用杯型粗磨石粗 工件被粗略研；：ί:之後’使用杯型完工磨石完工研磨 工’完工加工工具包含-杯型完 合供使用在例如為：：=二—杯型粗磨石。此一具體例係適 研磨作業中。#、 。之工件的單表面被研磨之單表面 依據本發明之第十六 、、 的工作裝置中，a工 ”、’ ’在刚述本發明之第十二觀點 工工具包含_碟：粗二:：工具包含-碟形完工磨石、粗加 中，在使用碟形粗磨石^且工件係一圓形薄板，且其 用碟形完工磨石^ 〃略地研磨圓形薄板之邊緣後，使 在本發明之第:研磨圓形薄板之粗略研磨的邊緣。 j〜乐十六觀點中，心 磨石且粗加工工具係一 $ /凡工加工工具係一碟形完工 使用在被使用以；^磨由2形粗磨石。此一具體例係適合供 的一邊緣研磨裝置P 圓开》薄板構成的工件之邊緣部份 依據本發明之第十七 規^ ’在前述本發明之任一第十二

89128007.ptd 第54頁 五、發明說明（49) 至十六觀點的工作裝置中，二或更多 具之加工工具，均可移除地被裝配至 在本發明之第十七觀點中，二或更 工具之加工工具均可移除地被裝配至 此，例如，在使用包含一粗磨石的一 磨作業之後，一刷拭構件可被裝配至 而執行一刷拭作業。而且，可使用多 之粗磨石，逐步地平順執行一粗研磨 完成完工研磨作業後，包含一拋光布 具可被裝配至工具裝配部份内，以因 此It況，因為刷拭作業不需如完工研 由加工精確性之觀點言之，刷拭構件 份内且由刷栻構件執行刷拭作業係不 依據本發明之第十九觀點，在前述 的工作裝置中，二或更多種類的包含 具均可移除地被裝配至工具裝配部份 的加工工具之一係一具有含有顆粒刷 中，、在使用杯型完工磨石完工研磨工 刷拭工具刷栻工件之完工研磨表面。 在本舍明之第十九觀點中，在使用 磨工件之單表面後，使用刷拭工具刷 =可移除工件之完工研磨表面的加工 工件之撓曲強度（工件裂斷時之強度） 為飯刻步驟或一拋光步驟之後處理 種類的包 工具裝配 多種類的 工具裝配 粗加工工 工具裝配 數之具有 含粗加工工 部份内。 包含粗加工 部份内。由 具執行粗研 部份内以因 不同粗糙度 作業。進一步的，在 或一拋光墊的拋光工 拭作業。於 高精確性， 工具裝配部 而執行刷 磨作業之 被裝配至 重要的。 本發明之 粗加工工 内，且二 子之刷栻 件之單表 杯型完工 拭工件之 變形，因 °而且， 步驟及化 第十五觀點 具之加工工 或更多種類 工具，且其 面後，使用 磨石完工研 完工表面。 此，可強化 可消除例如 學物，且此

第55頁 五、發明說明（50) 外’可協助清潔工件表面之作業。 依據本發明之第二十觀點，在前述本發明之第十九觀點 的工作裝置中，含有顆粒刷子係由大量之固定有鑽石顆粒 或Si 〇2顆粒的尼龍線所構成。 如同本發明之第十九觀點，可合適地使用由大量之固定 有鑽石顆粒或Si〇2顆粒的尼龍線構成之刷子為被使用於本 發明中之含有顆粒刷子。 一依據本發明之第一丨—規點_ π《/+、 :ϋϊ點的工作裝置中，進一步包含-自動工具更換 二、U二苗3 ΐ裝配至工具裝配部份的加工工具或外蓋構 新；^ i s件或一新加工工具更換、且裝配外蓋構件或 新加工工具至工具裝配部份。 ui)本發二十—觀點中，裝設一自動工具更換設備 的一加工工且1 "\自動地更換將被裝配至工具裝配部份 備，可自動且接續地二構件::由於提供自動工具更換設 的步驟。 、丸订含盖粗加工作業至完工加工作業 依據本發明之第二+ 一 觀點的工作裝置中了 2二觀點，在前述本發明之第二十一 臂，其包含一固持構動工具更換設備包括一可轉動固持 在固持臂的每一外部 L可固持加工工具及外蓋構件，且 在本發明之第-十 而4彳77處裝設有固持構件。 可轉動固持臂，其包:觀點中，自動工具更換設備包括一 持構件，且在固持^=可固持加工工具及外蓋構件之固 ϋ母一外部末端部份處裝設有固持構

第56頁 S R 4 I n 五、發明說明（51) _^ 件。由此，例如，在被裴配進入工具裝配部份内之— 被一固持構件固持時’一將被裝配進入工 二工具 :新工具可被另-固持構件所固持。如此，以 執行自動工具更換。 T間中 依據本發明之第二十三觀點，在前述本發明之 一 觀點的工作裝置中，固持構件可相關於沿著固持十一 方向延伸的一軸線而對稱地開啟與關閉，且當固 =向 =末端部份被關閉時’加工工具或外蓋構件被固 在本發明之第一十二觀點中，固持構件、 持臂之縱向方向延伸的—軸線而對稱地；門沿著固 固持構件被關閉時，粗加工工 ，、關閉，且當 在未固持加工工具之固持椹杜^皮固持構件固持。因而， 轉動固持臂時’可減少固持構：：ί;c況中’當 徑。此使可縮小工作裝置 别涂末鸲邛份的轉動半 依據本發明之第_ + ^體之尺寸。 或二十三觀點的：；以點、，㈣述本發明之第二十二 被使用以沿著固持臂之二進一步包含一滑件機構，盆 在本發明之第二十四觀；ί向壯移動固持構件。 以沿著固持臂之縱向方向移，衣設一滑件機構，其被使用 構’在固持加工工具之 2持構件。由於提供滑件機 之轉動中心的情況中，可小+破移動使得接近於固持臂 轉動半徑。如此，可進一 + =固持加工工具之固持構件的 依據本發明之第二十五鲕小工作裝置整體之尺寸。 親點，在前述本發明之任一第十 ml 89128007.ptd 第57頁 五、發明說明（52) 二至二十四觀點的工作 — 含加工工具及外蓋構件^ ，進一步包含一堆料機，包 在本發明之第二十五觀：：別，貯入之貯存部份。 種類之包含粗加工工具：:、”，1設「堆料機，二或更多 卫具更換設備被設定使得D::具可被貯入其内。在自動 況中，…且平順出粗加工工具的情 工具。 執仃M其他粗加工工具更換粗加工 依據本發明之第二+丄4 觀點的工作裝置甲，堆H點，在前述本發明之第二十五 被轉動時由轉動構件所變存部份均被沿著當固持臂 在本發明之第二十二^出之+徑而配置。 著當固持臂被轉“；：【二件：：：之貯存部份均被沿 工作裝置整以；移動距離太長，因而，可進-步減少 依據本發明之镇- 或二十六觀％觀點，在前述本發明之第二十五 入工具裝配外蓋構件包含-將被裝配ΐ 固持之外蓋支架部份，皮自動工具更換設備所 份分離之方式裝配， 卜盍支木部份係被以可自主體部 貯存部份’當；蓋構堆：機中形成一外蓋支架 份内時，自主體部份分離之：:!：被裳配進入工具裝配部 在本發明之第_ s外盍支架部份可被貯存。 進入工具裝配:=觀點中’外蓋構件包含-將被裝配 所固持之外蓋主：部：；體被自動工具更換” 田主體部份被裝配進入工具 89128007.ptd 第58頁 五、發明說明（53) I配部份内時，外蓋支架部份自 〆兄，於執行一加工作業期間並不 T料機中，形成一外蓋支架貯存 支架部份於其内。當執行一完工 支架時，外蓋支架部份可被貯入 一依據本發明之第二十八觀點， 一至二十七觀點的被使用在—工 含一將被裝配進入工具裝配部份 動工具更換設備所固持之外蓋支 、在本發明之第二十八觀點中， 進入工具1配部份内的主體部份 備所固持之外蓋支架部份。由此 成於心軸的工具裝配部份内，而 更換設備固持時，主體部份可能 内。 依據本發明之第二十九 觀點的被使用在一工作裝置‘中的 係體部份分離的方式被 在本發明之第二十九觀點中， 體部份分離的方式被裝配。 工加工作業期間被裝配至心 要將被自動工呈舌^ ^ 具更換設備固持的 當主體部份於執行一 6 τ ^符的 «ν . 丁 70工加工作 編日"蓋支架部份可被自 主體部份移除 需要外蓋支架 部份以貯存不 加工作業期間 外蓋支架貯存 在前述本發明 作裝置中的外 内之主體部份 架部份。 外盖構件包含 及一將被自動 ，當外蓋構件 外蓋支架部份 被裝配至工具 在前述本發明 外蓋構件，外 裝酉己。 外蓋支架部份 ，當主體部份 工具裝配部份 外蓋支架部份 業期間被装配 主體部份分離 。於此情 部份，但在 需要之外蓋 不需要外蓋 部份内。 之任一第十 蓋構件，包 及一將被自 一將被裝配 工具更換設 被裝配至形 被自動工具 裝配部份 之第二十六 蓋支架部份 係以可自主 於執行一完 内時，不需 。因而，在 至工具裝配 且移除。

89128007.ptd 第59頁 五、發明說明（54) 元件編號之說明 1 研磨部份 2 自動工具更換設備 3 磨石堆料機 10 心軸 10A 護罩 10B 心袖馬達 11 心軸直立移動裝置 12 移動基座 13 滾珠螺栓 14 滾珠螺釘 15 馬達 16 驅動帶輪 17 從動帶輪 18 帶 20 完工磨石構件 20A 喷嘴 20B 喷嘴 20C 喷嘴 21 環形磨石基座 21a 加工液體供應孔 22 完工磨石 25 工具裝配部份 25A 表面

C:\2D-CODE\90-03\89128007.ptd 第60頁 五、發明說明（55) 2 5 B 錐形表面 26 拉桿 27 滾珠 2 8 夾持機構 30 粗磨石支架 3 0’ 粗磨石支架 31 錐柄部份 31 A 錐形表面 32 夾緊部份 3 2 A 背表面 33 環形磨石基座 3 4 粗磨石 3 4’ 粗磨石 35 牽引柱螺栓 36 外蓋構件 3 7 立體部份 3 7 A 配接孔 3 7 B 轴環部份 38 外蓋支架部份 38A 上部突起 38B 下部突起 39 牽引柱螺栓 40 真空固持與旋轉設備 41 護罩

C:\2D-CODE\90-03\89128007.ptd 第61頁 五、發明說明（56) 42 旋轉台 42a 真空吸入孔 43 馬達 44 旋轉軸 45 減速齒輪 46 排放孔 51 第一固持臂 52 第二固持臂 53 第一固持構件 53A 固持爪 53B 固持爪 54 第二固持構件 54A 固持爪 54B 固持爪 55 轉動台 56 移動基座 57 移動基座 58 馬達 59 減速齒輪 60A 第一旋轉轴 60B 第二旋轉軸 61 聯結器 62 移動基座 63 滑件

C:\2D-CODE\90-03\89128007.ptd 第62頁 五、發明說明（57) 64 執 條 65 貯 存 基 座 65A 加 工 工 具 貯 存 部 份 65B 加 工 工 具 貯 存 部 份 65C 加 工 工 具 貯 存 部 份 65D 加 工 工 具 貯 存 部 份 6 5a 支 承 座 66 外 蓋 構 件 貯 存 部 份 67 外 蓋 支 架 貯 存 部 份 70 刷 子 構 件 71 柄 部 份 72 夾 緊 部 份 73 刷 子 基 座 74 刷 子 75 牽 引 柱 螺 栓 80 基 座 81 邊 緣 研 磨 部 份 82 心 轴 83 馬 達 84 完 工 磨 石 構 件 84A 環 形 磨 石 基 座 84B 碟 形 完 工 磨 石 85 工 具 裝 配 部 份 86 牽 引 柱 螺 栓 夾 持 機

89128007.ptd 第63頁 五、發明說明（58) 86A 拉 桿 86B 滾 珠 87 粗 磨 石 支 架 87A 柄 部 份 87B 夾 緊 部 份 87C 碟 形 粗 磨 石 87D 牽 引 柱 螺 栓 88 外 蓋 構 件 88D 牽 引 柱 螺 栓 90 晶 圓 固 持 裝 置 91 支 承 軸 92 吸 入 墊 93 直 立 地 移 動 機構 93A 軌 條 93B 滑 件 94 馬 達 100 外 蓋 構 件 101 立 體 部 份 102 外 蓋 支 架 部 份 103 外 蓋 構 件 104 立 體 部 份 105 外 蓋 支 架 部 份 106 結 合 突 起 106A 縱 向 軸 線 部 份

89128007.ptd 第64頁 五、發明說明（ ：59) 106B 橫 向 轴 線 部 份 107 結 合 孔 107a 結 合 部 份 107b 結 合 部 份 107c 結 合 部 份 112 滾 珠 113 夾 持 桿 115 完 工 磨 石 115A 磨 石 基 座 116 工 具 裝 配 部 份 201 基 座 202 柱 203 心 轴 頭 204 心 轴 205 完 工 磨 石 206 工 具 裝 配 部 份 207 框 架 208 工 具 更 換 設 備 208A 工 具 固 持 部 份 2 08B 工 具 固 持 部 份 209 工 具 裝 載 器 210 工 具 匣 210a 固 持 槽 Z1 縱 轴

89128007.ptd 第65頁 五、發明說明（60) Z2 縱軸 Z3 縱轴 Z4 縱軸 F 箱形框架 S 政晶圓 Μ 單表面研磨裝置 Β 螺栓 Ν 尼龍線 DM 鑽石顆粒 EM 邊緣研磨裝置 T 粗磨石（工具） ΤΙ 粗磨石 Τ2 粗磨石 Ρ1 工具更換位置 Ρ2 工具更換位置 W 工件 C 夾持機構 Ta 支架部份 101D 牽引柱螺栓 Μ 切削機（重複） 203 心轴基座（重號）

89128007.ptd 第66頁

a

的 一單表面研 研磨部份之 心軸之放大 圖1係被使用為依據本發明之一工作裝 磨裝置之前視圖； 、 圖2係被形成在前述單表面研磨裝置中 前視圖； 圖3係前述研磨部份之平面圖； 圖4 A係一完工磨石構件之立體圖； 圖4 B係一粗磨石支架之立體圖； 圖5係具有一粗磨石支架被裝配於其上 剖面圖； 圖6係-供使用在本發明中之外蓋構 圖”系具有前述外蓋構件被裝配 刀解立體圖’ 剖面前視圖； 的一心軸之放大 圖8係一自動工具更換設備及一磨石 圖9係前述自工卫具更換㈣及磨石^ ^的前視圖； 圖10A係一刷拭構件之立體圖； 隹枓機的前視圖； 圖1 0B係一刷子之放大圖； 圖11係一過程之流程圖，包含护 軸的工且梦配邱彳八命 已3衣配粗磨石構件至一心 竿由的工具威配4知内的 磨作業的步驟； 便用祖逭石構件開始-粗研 圖12Α至12C均為單矣而讲府姑恶 包含裝配一粗磨视圖’，示前述之 至使用粗磨石構件開於 裳配部份内之步驟 m 1 μ $ ί π μ i = 粗研磨作業的步驟之過程； 包含裝配-粗磨石構件曼一、、f: f千面圖，，不刖述之 牛至 〜軸的工具裝配部份内之步驟

圖式簡單說明 至使用粗磨石構件開始一粗研磨作業的步驟之過程； 圖1 4係一過程之流程圖，包含以一第二磨石支架更換粗 磨石支架之步驟至使用第二磨石支架執行一粗研磨作業的 步驟； 圖15A至15C均為單表面研磨裝置之平面圖，顯示包含以 一第二磨石支架更換粗磨石支架之步驟至使用第二磨石支 架執行一粗研磨作業的步驟之前述過程； 圖1 6係一過程之流程圖，包含使用第二磨石支架執行一 粗研磨作業的步驟至使用一完工磨石構件執行一完工研磨 作業的步驟； 圖1 7A至1 7C均為單表面研磨裝置之側視圖，顯示包含使 用第二磨石支架執行一粗研磨作業的步驟至使用一完工磨 石構件執行一完工研磨作業的前述過程； 圖1 8係一過程之流程圖，包含使用完工磨石構件執行一 完工研磨作業的步驟至完成研磨作業之步驟； 圖1 9係單表面研磨裝置之一過程的流程圖，包含執行一 刷拭作業的步驟； 圖2 0係單表面研磨裝置之側面圖，顯示執行刷拭作業之 步驟； 圖2 1係被使用為依據本發明之一工作裝置的一邊緣研磨 裝置之前視圖； 圖2 2係邊緣研磨裝置之前視圖，顯示一外蓋構件被裝配 至一心軸的工具裝配部份上之裝態； 圖23A至23C均為邊緣研磨裝置之側視圖，顯示將由邊緣

89128007.ptd 第68頁 圖式簡單說明 研磨裝置所執行之一研磨過程； 圖24A與24B均為供使用在本發明中之一外蓋構件的其他 具體例之分解立體圖； 圖2 5係一與粗磨石支架配接之修正心轴的放大剖面前視 圖； 圖2 6係在依據本發明之一切削機中的一心軸之鄰近部份 的側視圖；及 圖2 7係依據本發明之圖2 6的切削機之前視圖。

89128007.ptd 第69頁

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1 · 一種工作裝置，用以加工一工件，包括： 一心軸，固定地裝配一以一特定方式加工工件用的第一 加工工具，其中，該心軸形成具有一可裝配一第二加工工 具於其上的工具裝配部份。 2 ·如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，該第一加 工工具與該工具裝配部份均被互相同心地裝設，且被裝配 至該工具裝配部份上之該第二加工工具，係被裝設在相關 於該第一加工工具之工件側上。 3. 如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，該第一加 工工具係一完工加工工具。 4. 如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，該第一加 工工具係一具有一完工磨石之完工加工工具。 5 ·如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，該第二加 工工具係一具有一粗磨石之粗加工工具。 6. 如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，進一步包 括： 一外蓋構件，可裝配至該工具裝配部份上，用以覆蓋該 工具裝配部份。 7. 如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，該第二加 工工具係一具有一含有顆粒之刷子之刷拭工具。 8. 如申請專利範圍第7項之工作裝置，其中，該刷子係 由多數之至少固定有鑽石顆粒或S i 02顆粒的尼龍線建構。 9 ·如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，該第一加 工工具係一杯型完工磨石，該第二加工工具係一杯型粗磨

   C:\2D-CODE\90-03\89128007.ptd 第70頁 六、申請專利範圍 石，該工作裝置係用以加工工件之單表面的一單表面研磨 裝置。 1 0.如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，工件係一 圓形薄板，該第一加工工具係一碟形完工磨石，該第二加 工工具係一碟形粗磨石，且該工作裝置係用以研磨圓形薄 板之邊緣的一邊緣研磨裝置。 1 1 ·如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，進一步包 括 · 一可裝配至該工具裝配部份上之第三加工工具；及 一自動工具更換設備，移除被裝配至該工具裝配部份上 之該第二加工工具，且裝配該第三加工工具至該工裝配部 份上。 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項之工作裝置，其中，進一步 包括： 一可裝配在該工具裝配部份上之外蓋構件，其中該自動 工具更換設備移除被裝配至該工具裝配部份上的該第二加 工工具與該外蓋構件的其中之一，並裝配該外蓋構件與該 第三加工工作的其中之一至該工具裝配部份上。 13.如申請專利範圍第12項之工作裝置，其中，該自動 工具更換設備包括一可轉動固定臂，具有一固持該加工工 具與該外蓋構件的固持構件，且該固持構件係被裝設在該 固持臂之一外部末端部份上。 1 4.如申請專利範圍第1 3項之工作裝置，其中，該固持 臂均關於一沿著該固持臂之縱向方向延伸的轴線而對稱地

   C:\2D-CODH\90-03\89128007.ptd 第Ή頁 六、申請專利範圍 開啟與關閉，且該固持構件經由關閉該固持構件之前導末 端部份而固持該加工工具與該外蓋構件的其中之一。 1 5.如申請專利範圍第1 1項之工作裝置，其中，進一步 包括： 一堆料機，包含貯存該至少一加工工具與該外蓋構件於 其内的貯存部份。 1 6,如申請專利範圍第1 5項之工作裝置，其中，該外蓋 構件包含一將被裝配至該工具裝配部份上之立體部份及一 被該自動工具更換設備所固持之外蓋支架部份，該外蓋支 架部份係被附接至該立體部份使得可自該立體部份分離， 且該堆料機包含一外蓋支架貯存部份，當該外蓋構件之該 立體部份被裝配至該工具裝配部份上時，用以貯存自該立 體部份分離之該外蓋支架部份。 1 7.如申請專利範圍第1項之工作裝置，其中，該工作裝 置係一切削機。 1 8. —種工作方法，用以經由使用依據申請專利範圍第1 項之工作裝置加工一工件，包括下列步驟： 由被裝配至該心軸之該工具裝配部份上之該第二加工工 具加工工件的一第一步驟；及 由該第一加工工具加工工件的一第二步驟。 1 9.如申請專利範圍第1 8項之工作方法，其中，該第一 步驟由做為該第二加工工具之具有一粗磨石的一粗加工工 具執行工件之單表面的粗研磨，且該第二步驟由做為該第 一加工工具之具有一完工磨石的一完工加工工具執行工件

   89128007.ptd 第72頁 六、申請專利範圍 之單表面的完工研磨，因而，執行工件之單表面研磨。 2 0.如申請專利範圍第1 9項之工作方法，其中，進一步 包括下列步驟： 在該第一步驟之後，移除被裝配至該工具裝配部份上之 該粗磨石； 在該第二步驟之後，裝配一具有含有顆粒之刷子的刷拭 工具至該工具裝配部份上；及 由被裝配至該工具裝配部份上之該刷拭工具工件之單表 面。 2 1.如申請專利範圍第1 8項之工作方法，其中，工件係 一圓形薄板，該第一步驟由做為第二加工工具之具有一粗 磨石的一粗加工工具執行圓薄板之一邊緣的粗研磨，且該 第二步驟由做為該第一加工工具之具有一完工磨石的一完 工加工工具執行圓形薄板之邊緣的完工研磨，因而，執行 工件之邊緣研磨。 2 2.如申請專利範圍第1 8項之工作方法，其中，該第一 步驟由做為該第二加工工具之多數的個別具有互相不同之 粗糙度的粗磨石之粗加工工具執行工件之粗研磨，且該第 二步驟由做為該第一加工工具之具有一完工磨石的一完工 加工工具執行工件之完工研磨。 2 3.如申請專利範圍第1 8項之工作方法，其中，在該第 二步驟中，一外蓋構件被裝配至該工具裝配部份上。

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