TW483239B - Surface acoustic wave device and communication device - Google Patents
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Description
483239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（I ) 發明背景 發明之領域 本發明係關於一種諸如表面聲波共振器、表面聲波濾 波器、切變裝置或其它適當裝置的表面聲波裝置，特別係 關於一種使用切變水平波（S H (Shear Horizontal)波〃 )的表面聲波裝置。 相關先前技術之說明 傳統上，表面聲波裝置已廣泛地用於行動通訊裝備中 作爲帶通濾波器使用。習知表面聲波共振器係包含具有I D T (指狀換能器）的表面聲波裝置，該I D T係由具有 彼此叉合之電極指針的指狀電極所組成，且係置於壓電基 板上，而表面聲波濾波器係使用該表面聲波共振器。 在此種表面聲波裝置中，已知一種技術，其中，在具 有Euler角度（〇°，一 90。，〇°)作爲壓電基 板之Y - X钽酸鋰基板上傳播且具有相當大衰減的漏隙表 面聲波係藉由設置具有預設厚度且由金、鉅、鎢或其它適 當金屬等質量負載大之金屬製成的I D T轉換成爲無傳播 損耗的L 〇 v e波型式之表面聲波。 圖1 1係顯示當在Y切X傳播型式，亦即具有（〇 ° ，一 9 0 °，0 ° )之E u 1 e r角度的鉅酸鋰基板上設 置金電極時，機電耦合係數k與金電極之膜厚Η/λ (電 極膜厚/受激表面聲波之波長）的變化圖。 如圖1 1所示，當金電極之膜厚Η/λ係0 · 〇 3或更 -----^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 483239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（》） 小時會產生_隙表面聲波。在至少〇·〇 〇 4的H/；UsSI 內可產生Love波。圖12係顯示在如圖11之1 目同條 件下，該漏隙表面聲波之傳播損耗（衰減吊數^的特性圖 。實線係表示當電極在電路短路狀態下的，播減二而虛 線係表示當電極在電路開路狀態下的傳潘ί貝耗。姻1三 所示’在電路短路狀態中，在約大於〇· 0 3 3之Η/λ範 圍內的傳播瑱耗爲零，而在電路開路狀態中，在約至少0 · 〇 〇 4之Η / λ麵內的傳播賴鮮。因此’爲使用無 傳播損耗之S ϋ型式的表面聲波，在電路短路狀悲之金電 極厚度Η/λ至少需〇· 〇 3 3，而該數値係依照I DT之 金屬化比値而定。此外，對例如鉅、鎢或其它密度低於金 之適當材料而言，厚度Η/λ需大於0· 〇 3 3 ° 然而，隨著I D Τ之厚度增加，製程準確度則降低。 因此，無法獲得足夠大之厚度。除非膜厚足夠大，不然無 法獲得零傳播損耗，例如對金電極而言，厚度Η/λ至少 爲 0 · 0 3 3。 從另一方面來說，在一般準確度下所製造出的I D Τ 之指狀電極之膜厚Η/λ(電極厚度/受激SH波長）最 大可達0.0 5。當傳播損耗係希望爲零時，所需之膜厚Η / λ至少爲0 · 0 3 3。因此，能以高準確度形成I D Τ之 指狀電極之膜厚的範圍係非常地狹窄。 此外，若I D Τ係以例如鉅或鎢等密度稍低於金之電 極材料形成時，則與金電極相比較，電極厚度需進一步增 加。因此，在能準確地製造該膜的膜厚範圍內，傳播損耗 4 1本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Q χ 297公® ) ~"' -----^^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _______B7______ 五、發明說明（力） 無法降低爲零。 當考慮到具有相當高之密度例如金的材料與通常在表 面聲波裝置之I D T所使用之例如鋁的電極材料相比較時 ’ IDT之膜厚、指狀電極寬度及指狀電極間距的稍微變 化將造成頻率差異。因此，在形成I D T之後，係藉由修 剪I D 丁而調節頻率。然而，例如以金形成之I D T具有 約0 · 0 3 4之Η/λ但頻率小於所欲之數値時，需實行此 種頻率調整，其將導致膜厚Η/ λ小於〇 . 〇 3 3。亦即， 無法將傳播損耗設定爲零。 發明槪要 爲克服上述問題，本發明較佳實施例係提供一種表面 聲波裝置，其中，I D Τ係以高準確度製成，在I D Τ及 壓電基板中傳播損耗係約爲零，而用於頻率修剪之調節範 圍基本上係寬於習知技術之表面聲波裝置。 根據本發明之一個較佳實施例，一個表面聲波裝置係 包含鉅酸鋰基板及一設置於該鉅酸鋰基板上之指狀換能器 。該指狀換能器至少包含金、銀、鉅、鉬、銅、鎳、鉻、 鋅及鎢之其中一種，而該指狀換能器係具有約〇·〇5或 更小之正規化膜厚Η/λ，以激發切變水平波。 若該指狀換能器係包含金以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（0°，125°— 146°，0。士5。）之 E u 1 e r角度，而該正規化膜厚Η/λ最好係在約〇. 〇 0 1至約0 . 0 5的範圍內。 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) " -----------------------------線 i^_w. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（w) 若該指狀換能器係包含銀以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（0。，125°— 140。，0。±5。）之 E u 1 e r角度，而該正規化膜厚Η/λ最好係在約〇 · 〇 0 2至約〇 . 〇 5的範圍內。 若該指狀換能器係包含鉅以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（0°，125°— 140。，〇。±5。）之 E u 1 e r角度，而該正規化膜厚Η/λ最好係在約〇 ·〇 0 2至約〇. 〇 5的範圍內。 右g亥指狀換能益係包含組以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（〇°，125° — 134°，〇°土5。）之 E u 1 e r角度’而g亥正規化肖旲厚Η / λ最好係在約〇 . 〇 0 5至約0· 0 5的範圍內。 若該指狀換能器係包含銅以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（0°，125° — 137。，〇。±5。）之 E u 1 e r角度，而該正規化膜厚Η/λ最好係在約〇 . 〇 〇 3至約0 . 0 5的範圍內。 若該指狀換能器係包含鎳以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（0。，125°— 133。，〇。±5。）之 E u 1 e r角度，而該正規化膜厚Η/λ最好係在約〇 ·〇 〇 6至約〇 . 0 5的範圍內。 若該指狀換能器係包含鉻以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（〇°，125。一147°，〇。±5。）之 E u 1 e r角度，而該正規化膜厚Η/λ最好係在約〇·〇 〇 3至約〇·〇5的範圍內。 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------------^—訂---------線·· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（5) 若該指狀換能器係包含鋅以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（0°，125° — 137°，0。±5。）之
Eu 1 e r角度’而该正規化肖旲厚Η / λ最好係在約〇 · 〇 0 3至約0. 0 5的範圍內。 若該指狀換能器係包含鎢以作爲主要成分，該基板最 好係具有約（0°，125° — 138°，〇°±5。）之 E u 1 e r角度，而該正規化膜厚Η/λ最好係在約〇 ·〇 0 2至約0. 0 5的範圍內。 上述表面聲波裝置係適合使用在通訊裝置內。 如本發明之較佳實施例，在具有適當E u 1 e r角度 之钽酸鋰基板上，以比重大的例如金、銀、钽、鉬、銅、 鎳、鉻、鋅、鉑、鎢或其它適當材料之電極材料以適當之 膜厚形成I D T，藉此激發具有低損耗之S Η波。因此， 可明顯地減少漏隙表面聲波成分。可製造出傳播損耗相當 低的表面聲波裝置。 此外，即使當膜厚相當小時，傳播損耗大致上仍爲零 。因此，與習知表面聲波裝置不同的是，即使藉由修剪I D Τ修改膜厚以控制頻率，亦可避免傳播損耗惡化。因此 ’頻率修剪之條件範圍遠寬於習知表面聲波裝置。 從接下來參考的較佳實施例之詳細說明將可更明瞭本 發明的其它特點、特性、原件及優點。 圖式簡單說明 圖1係如本發明第一個較佳實施例之表面聲波共振器 __ Ί 本紙張尺度ϋ!7國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' ' -----------------^---訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483239 Α7 Β7 五、發明說明（ 的平面圖。 圖2係如本發明第二個較佳實施例之縱向耦合式表面 聲波共振爐波器的平面圖。 圖3係如本發明第三個較佳實施例之橫向耦合式表面 聲波共振濾波器的平面圖。 圖4係如本發明第四個較佳實施例之階梯式表面聲波 濾波器的平面圖。 圖5係如本發明第五及第六個較佳實施例之通訊裝置 的方塊圖。 圖6係顯示當本發明較佳實施例之表面聲波裝置之電 極在電路短路狀態時，IDT之正規化膜厚以及傳播損耗 之間關係的特性圖。 圖7係顯示當本發明較佳實施例之表面聲波裝置之電 極在電路開路狀態時，IDT之正規化膜厚以及傳播損耗 之間關係的特性僵。 圖8係顯示本發明較佳實施例之表面聲波裝置之I 〇 Τ正規化膜厚Η/λ以及機電耦合係數之間關係的特性圖 圖9係顯示當本發明較佳實施例之表面聲波裝置之電 極在電路短路狀態時，IDT之正規化膜厚Η/λ以及傳 播損耗爲零之切角之間關係的特性圖。 圖10係顯示當本發明較佳實施例之表面聲波裝置之 電極在電路開路狀態時，IDT之正規化膜厚Η/λ以及 傳播損耗爲零之切角之間關係的特性圖。 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（π ) 圖1 1係顯示在Y切X傳播鉅酸鋰基板上I D T之正 規化膜厚Η/λ以及機電耦合係數k之間關係的特性圖。 圖12係顯示在Y切X傳播鉅酸鋰基板上表面聲波裝 置之I D T之正規化膜厚Η/λ以及傳播損耗之間關係的 特性圖。 元件符號說明 1 · · ·表面聲波共振器 2 · · ·壓電基板 3 · · · I D Τ 4 · · ·反射器
1 1 ···縱向耦合式表面聲波共振濾波器 1 2 · · ·壓電基板 13a'13b---IDT 1 4 · · ·反射器
2 1 ···橫向耦合式表面聲波共振濾波器 2 2 · · ·壓電基板 23a^23b---IDT 2 4 a、2 4 b · · ·反射器
3 1 ···階梯式表面聲波濾波器 3 2 · · ·壓電基板 33a^33b---IDT 3 4 a、3 4 b · · ·反射器 4 1 · · ·通訊裝置 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） -----------------—訂---------線 4^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483239 A7 Β7 4 2 4 3 4 4 4 5 4 6 4 7 五、發明說明（ 表面聲波濾波器 表面聲波濾波器 切變裝置 天線 接收電路 傳輸電路 較佳實施例之詳細說明 在下文中，將參考附圖而詳細說明本發明之較佳實施 例。 圖1係如本發明第一個較佳實施例之表面聲波裝置式 之表面聲波共振器的平面圖。 如圖1所示，作爲範例的表面聲波共振器1係包含至 少一個I D T 3以及在該I D T 3兩側之反射器4， 其皆設置在由具有約（〇°，126°，0°)之Eul e r角度之單晶钽酸鋰製成的壓電基板2上。 該I D T 3的配置係一組包含金、銀、鉅、鉬 、鎳 '鉻、鋅及鎢中至少一種爲主要成分的指狀電極 各自之指狀電極的指狀梳齒部份係彼此相對地排列。 組成I D T 3之指狀梳齒部份的電極指針最好具有 約5 %或更小之正規化膜厚η/λ，且最好係具有小於〇. 05之正規化膜厚Η/λ(電極厚度/受激SH波長）。 在此範圍中，電極指針能以高準確度排列。 圖2係如本發明第二個較佳實施例之表面聲波裝置之 -----^^-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 銅 且 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製
483239 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 縱向耦合式表面聲波共振濾波器的平面圖。 如圖2所示，作爲範例的縱向耦合式表面聲波共振濾 波器1 1係包含至少兩個I D T 1 3 a及1 3 b以及在 該IDT 13a、13b兩側之反射器1 4，其皆設置 在由具有約（0。，126°，0° )之Euler角度 之單晶鉅酸鋰製成的壓電基板1 2上。 該IDT 13a及13b最好係由包含金、銀、鉅 、鉬、銅、鎳、鉻、鋅及鎢中至少一種爲主要成分的電極 材料所製成，其配置係使得一組指狀電極的各自之指狀電 極的指狀梳齒部份係彼此相對地排列。此外，該I D T 1 3 a、1 3 b係在表面聲波傳播方向上以所欲之距離而 大致上彼此平行地排列。在此較佳實施例中同樣地，組成 每個IDT 13a及13b之指狀梳齒部份的電極指針 最好具有約5 %或更小之正規化膜厚Η/λ，且最好係具 有小於0· 0 5之正規化膜厚Η/λ (電極厚度/受激S Η 波長）。在此範圍中，能以高準確度製成電極指針。 圖3係如本發明第三個較佳實施例如表面聲波裝置之 橫向耦合式表面聲波共振濾波器的平面圖。 如圖3所示，作爲範例的橫向耦合式表面聲波共振濾 波器2 1係包含至少兩個IDT 23a及23b以及在 該IDT 23a、23b兩側之反射器2 4 a、2 4 b ，其皆設置在由具有約（0。，126。，〇°)之Eu 1 e r角度之單晶鉅酸鋰製成的壓電基板2 2上。 該IDT 23a及23b最好係由包含金、銀、钽 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----^^---------^ AW (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483239
五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 '鉬、銅、鎳、鉻、鋅及鎢中至少一種爲主要成分的電極 材料所製成’其配置係使得一組指狀電極的各自之指狀電 極2 3 a、2 3 b的指狀梳齒部份係彼此相對地排列。此 外’該IDT 23a、23b係在與表面聲波傳播方向 大致上垂直之方向上排列。如第一及第二較佳實施例，在 此較佳實施例中，組成每個ID丁 23a、23b之指 狀梳齒部份的電極指針最好具有約5 %或更小之正規化膜 厚Η/ λ ’且最好係具有小於〇 · 〇 5之正規化膜厚η / λ (電極厚度/受激SΗ波長）。在此範圍中，能以高準確 度製成電極指針。 圖4係如本發明第四個較佳實施例如表面聲波裝置之 階梯式表面聲波濾波器的平面圖。 如圖4所示，作爲範例的階梯式表面聲波濾波器3 1 係包含IDT 33a'33b以及在該I D T 3 3a 、3 3 b兩側之反射器3 4 a、3 4 b，其皆設置在由具 有約（0°，126°，0°)之Euler角度之單晶 組酸鍾製成的壓電基板3 2上。 該IDT 33a、33b每個最好係由包含金、銀 、組、鉬、銅、鎳、鉻、鋅及鎢中至少一種爲主要成分的 電極材料所製成，其配置係使得一組指狀電極的各自之指 狀電極的指狀梳齒部份係彼此相對地排列。I D T 3 3 a係串聯排列，而I D T 3 3 b係並聯排列以提供階梯 構造。如第一、第二及第三較佳實施例，在此較佳實施例 中，組成每個IDT 33a、33b之指狀梳齒部份的 12 裝-----1 —訂---------線 11^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 483239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____ B7____ 五、發明說明（Λ ) 電極指針最好具有約5%或更小之正規化膜厚Η/λ，且 最好係具有小於〇 · 〇 5之正規化膜厚Η/λ (電極厚度/ 受激SΗ波長）。在此範圍中，能以高準確度製成電極指 針。 接者’將說明本發明之第五及第六個較佳實施例。圖 5係顯示如本發明五個較佳實施例之切變裝置以及如本發 明第六個較佳實施例之通訊裝置的方塊圖。 如圖5所示，通訊裝置4 1係配置成，包含用於接收 之表面聲波濾波器4 2以及用於傳輸之表面聲波濾波器4 3的切變裝置4 4之天線端係連接至天線4 5，切變裝置 4 4之輸出端係連接至接收電路4 6，而輸出端係連接至 傳輸電路4 7。在該切變裝置4 4中，接收表面聲波瀘波 器4 2以及傳輸表面聲波濾波器4 3係包含如本發明第一 至第四個較佳實施例之表面聲波濾波器1 1至2 1中任一 個或其組合。 接著，將參考範例說明正規化膜厚Η/λ (電極厚度 /受激S Η波長）。 圖6係顯示當設置在具有約（〇。，1 2 6 ^，〇。 )之E u 1 e r角度之單晶鉅酸鋰上的薄膜之正規化膜厚 Η/λ (電極厚度/受激SH波長）在約〇· 〇 〇以及約〇 •〇5之間包含在壓電基板上無設置電極之情況（η/入= 〇）變化時，傳播損耗的變化圖。該電極係在電路短路狀 態。 如圖6所示，對任何材料而言’隨著厚度增加，傳播 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 ----- -----^---------^ C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 483239 A7 五、發明說明（) 損耗逐漸地增加。然而，基本上傳播損耗小於在圖i 2中 由實線標示的習知L 〇 v e波濾波器之傳播損耗。如圖6 所示，當考慮金時，傳播損耗在Η/〇 2 5時最大 。在此情況中，傳播損耗係約Q · 〇 4 d Β / λ。因此，與 在圖1 2中由實線標不的習知l 〇 v e波濾波器在η/入 = 0·025時G_32d B/q傳播損耗以及Q. 7 d Β 之最大傳播損耗相比較時’傳播損耗係大大地改善。 圖7係顯示當設置在具有約（〇。，i 2 6。，〇。 )之E u 1 e r角度之單晶鉅酸鋰上的薄膜之正規化膜厚 Η/λ (電極厚度/受激SH波長）在約〇· 〇 〇以及約〇 • 0 5之間包含在壓電基板上無設置電極之情況（Η/λ = 0 )變化時，傳播損耗的變化圖。該電極係在電路開路狀 如圖7所示，對任何材料而言，隨著厚度增加，傳播 損耗逐漸地增加。然而，基本上傳播損耗小於在圖丨2中 由虛線標示的習知L 〇 v e波濾波器之傳播損耗。如圖7 所示，當考慮金時，傳播損耗在ii/ λ=〇·〇29時最大 。在此情況中，傳播損耗係約〇· i 4 2 d Β/λ。因此， 與在圖1 2中由虛線標不的習知l 〇 ν e波濾波器在Η/ λ=0·029時〇.8dB / λ之傳播損耗以及丄· jl 8 d B之最大傳播損耗相比較時，傳播損耗係大大地改善。 此乃因在具有（0°，一 90。，〇。）之Eule r角度的習知鉅酸鋰基板上係激發l 〇 v e波，而在本發 明較佳實施例之表面聲波裝置中，係使用具有非常低之傳 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----；-------------^— —訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483239 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（，Λ 播損耗的S Η波。在此，已關金。但本並非限定於 金°在例如銀、钽、鉬、銅、鎮、鉻、辞、鉛、錫或其它 適虽材料的其它材料情況中，侧樣地㈣s赚。因此 ，類似於當使用金時，傳播損耗係大大地改善。 在各種本發明較佳實施例之表面聲波裝置中足以支撐 S Η波的fl吴厚係依照電極材料而變。例如，Α數値對 金而言至少約〇 · 〇 〇丨，對銀而言至少約〇 · 〇 〇 2，對 鉅而言至少約0 · 〇 〇 2，對鉬而言至少約〇 · 〇 〇 5，對 銅而言至少約0 · 〇 〇 3，對鎳而言至少約〇 · 〇 〇 6，對 鉻而曰至少約0 · 〇 〇 3，對鋅而言至少約〇 · 〇 〇 3，而 對鎢而言至少約〇· 〇 〇 2。當考慮到傳播損耗以及機電耦 合係數時，Η/λ數値最好係稍高於這些數値。 圖8係顯示每種電極材料之機電耦合係數與各種膜厚 的變化特性圖。基板材料、切角及傳播方向係與圖6及圖 7相同。如圖8所示，對任何金屬材料而言，可獲得相當 大的機電齡健。此外，如圖8所示，若與例如銘等比 重較低之金屬材料的機電耦合係數相比較，其它比重較高 之金屬材料的機電耦合係數係較高的。 一 圖9及圖1 〇係顯示膜厚以及當傳播損耗爲零時切角 Θ的特性圖。圖9及圖丄〇係分別顯示當電極在電路短路 狀_以及笔路開路狀態時，傳播損耗爲零時的切角。在I D T實際使用上，區分爲有電極指針以及無電極指針的區 域。依照金屬触値，麵！ D τ顧有細9以及圖丄 0所示兩者之間的特性。依照（0Θp ) u i e ------------裝-----L---訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 15 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483239 A7 B7 五、發明說明（θ) r角度指示系統係將切角設定在（0°，Θ，0° ±5° ) ，其中，0係可變的，P表示傳播方向，而約± 5 °之角 度誤差係在傳播損耗的容忍度內。 在圖9及圖1 0中，可看出在使用金作爲I D T之電 極的情況中，若依照（Φ , 0，φ )之E u 1 e r角度指 示系統，則在約（0°，125Q — 14 6°，0。土5° )可獲得傳播損耗爲零之切角。 此外，可看出在使用銀作爲I D T之電極的情況中， 若依照（0，0，P )之E u 1 e r角度指示系統，則在 約（0 °，1 2 5 ° — 1 4 0 °，0。± 5。）可獲得傳播 損耗爲零之切角。 可看出在使用鉅作爲I D T之電極的情況中，若依照 (0，θ，p)之Euler角度指示系統，則在約（〇。 ,125° - 140。，0°土 5°)可獲得傳播損耗爲零 之切角。 可看出在使用鉬作爲I D 丁之電極的情況中，若依照 (0，0，φ)之E u 1 e r角度指示系統，則在約（〇 ° ，125°— 134。，〇°±5°)可獲得傳播損耗爲零 之切角。 可看出在使用銅作爲I D T之電極的情況中，若依照 (0，θ，φ)之Euler角度指示系統，則在約（〇。 ,125° — 137。，〇°±5°)可獲得傳播損耗爲零 之切角。 可看出在使用鎳作爲I D T之電極的情況中，若依照 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵G X 297公髮)'~" -----·——^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 483239 A7 B7 五、發明說明（β) (0，0，P)之E u 1 e r角度指示系統，則在約（0 ° ，125°— 133°，0°±5°)可獲得傳播損耗爲零 之切角。 可看出在使用鉻作爲I D T之電極的情況中，若依照 (0，0，P)之Euler角度指示系統，則在約（〇° ，125° - 147°，0°±5°)可獲得傳播損耗爲零 之切角。 可看出在使用鋅作爲I D T之電極的情況中，若依照 (0，0，P)之Euler角度指示系統，則在約（0 ° ，125° - 137°，0°±5°)可獲得傳播損耗爲零 之切角。 可看出在使用鎢作爲I D T之電極的情況中，若依照 (0，0，P)之E u 1 e r角度指示系統，則在約（0 ° ，125°— 138°，0°±5Q)可獲得傳播損耗爲零 之切角。 因此，藉由使用具有如圖9及圖1 0所示之切角以及 具有上述膜厚之電極材料的钽酸鋰基板，可製造出一種具 有大致爲零之傳播損耗的表面聲波裝置。 此外，可獲得大於鋁的機電耦合係數，其能實現插入 損耗較小的表面聲波濾波器。 在本發明之第一至第六個較佳實施例中，係說明具有 反射器的表面聲波裝置。但本發明並非受限於此種裝置， 其能應用於無反射器的表面聲波裝置。 雖然已揭示本發明之較佳實施例，但依照此處所揭示 17 ------------裝.—：.—訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 483239 A7 _ B7 五、發明說明（> ) 之原理所進行的各種變動均認爲係在接下來申請專利範圍 的範圍內。因此，應瞭解到，僅由申請專利範圍可限定本 發明之範圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ~ n a— n ϋ i-i n mmmmmm w ψ I n n l n n n I . ;σ-5¾ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
Claims (1)
- 483239A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第89117151號申請案，申請專利範圍修正本 1 ·—種表面聲波裝置，其包含： — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一個鉅酸鋰基板；以及 一個設置在該鉅酸鋰基板上之指狀換能器，該指狀換 能器至少包含金、銀、钽、鉬、銅、鎳、鉻、鋅及鎢之其 中一種爲主要成分；其中 該指狀換能器係具有至少約0.05之正規化膜厚Η/ λ ，以激發切變水平波。 2 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 指狀換能器係包含金以作爲主要成分，該基板最好係具有 約(0 ，125 — 146°，0° ±5。）之Euler角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.001至約〇·〇5的範圍內。 3 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 線· 指狀換能器係包含銀以作爲主要成分，該基板最好係具有 約(0 ，125 — 14〇°，〇° 土5。）之Euler角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.002至約〇·〇5的範圍內。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 指狀換成益係包含組以作爲主要成分，該基板最好係具有 約(0。，125° —140°，0° ±5。）之 Euler 角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.002至約〇·〇5的範圍內。 5 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 指狀換能器係包含鉬以作爲主要成分，該基板最好係具有 約（0。，125° — 134。，0° ±5。）之 Euler 角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.005至約〇·〇5的範圍內。 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483239 A8 B8 C8 ___ D8 六、申請專利範圍 6 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 指狀換能器係包含銅以作爲主要成分，該基板最好係具有 約（0。，125。一 137°，〇° ±5。）之 Euier 角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.003至約〇·〇5的範圍內。 7 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 指狀換邊益係包含鎳以作爲主要成分，該基板最好係具有 約（0。，125° — 133°，〇° ±5。）之 Euler 角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.006至約〇·〇5的範圍內。 8 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 指狀換能益係包含鉻以作爲主要成分，該基板最好係具有 約(0 ，125° 一 147°，〇。±5。）之 Euler 角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.003至約〇·〇5的範圍內。 9 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中，該 指狀換㊆器係包含鋅以作爲主要成分，該基板最好係具有 約(0 ’ 125。-137。，0。±5。）之 Euler 角度，而該正規 化膜厚Η/ λ最好係在約0.003至約〇.〇5的範圍內。 10 ·如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中， 該ί曰狀換㉟器係包含鎢以作爲主要成分，該基板最好係且 有約(0 ’125 - 138 ，0 ±5。）之Eulei·角度，而該正 規化膜厚Η/ λ最好係在約0.002至約〇·〇5的範圍內。 11 · 一種通訊裝置，其包含一連接在傳送電路或接收 la路與天線之間的表面聲波裝置，該表面聲波裝置，包含 —個钽酸鋰基板；以及 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） '---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ii- i線 483239 A8 B8 C8 D8 t、申請專利範圍 一個設置在該鉬酸鋰基板上之指狀換能器，該指狀換 能器至少包含金、銀、钽、鉬、銅、鎳、鉻、鋅及鎢之其 中一種爲主要成分；其中 該指狀換能器係具有至少約0.05之正規化膜厚Η / λ，以激發切變水平波。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 參 --線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐)
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