JP3439294B2 - 弾性表面波フィルター - Google Patents
弾性表面波フィルターInfo
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- JP3439294B2 JP3439294B2 JP08864596A JP8864596A JP3439294B2 JP 3439294 B2 JP3439294 B2 JP 3439294B2 JP 08864596 A JP08864596 A JP 08864596A JP 8864596 A JP8864596 A JP 8864596A JP 3439294 B2 JP3439294 B2 JP 3439294B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波共振器
を直列腕と並列腕に接続して構成される共振器結合型の
弾性表面波フィルターに関するものである。
を直列腕と並列腕に接続して構成される共振器結合型の
弾性表面波フィルターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、自動車用電話機等の通信機器にお
いては、共振器フィルター、信号処理用遅延線等の回路
素子として、弾性表面波素子が広く応用されている。例
えば図９に示す弾性表面波素子は、圧電性を有する基板
(１)の表面に簾状の電極(２)及び格子状の反射器(３)
(３)を形成して、共振器を構成している。
いては、共振器フィルター、信号処理用遅延線等の回路
素子として、弾性表面波素子が広く応用されている。例
えば図９に示す弾性表面波素子は、圧電性を有する基板
(１)の表面に簾状の電極(２)及び格子状の反射器(３)
(３)を形成して、共振器を構成している。
【０００３】又、図８の如く、梯子型回路の直列腕(４)
と並列腕(５)に夫々、共振器(６)(７)を配置することに
よって、フィルターを構成することが可能である。この
様な共振器結合型の弾性表面波フィルターは、挿入損失
が少なく、整合回路が不要である等の利点を有している
ため、広く普及している。共振器結合型弾性表面波フィ
ルターにおいては、直列腕共振器(６)の共振周波数ｆrs
と並列腕共振器(７)の反共振周波数ｆapとを略一致させ
ることによって、バンドパスフィルター特性を実現す
る。
と並列腕(５)に夫々、共振器(６)(７)を配置することに
よって、フィルターを構成することが可能である。この
様な共振器結合型の弾性表面波フィルターは、挿入損失
が少なく、整合回路が不要である等の利点を有している
ため、広く普及している。共振器結合型弾性表面波フィ
ルターにおいては、直列腕共振器(６)の共振周波数ｆrs
と並列腕共振器(７)の反共振周波数ｆapとを略一致させ
ることによって、バンドパスフィルター特性を実現す
る。
【０００４】共振器結合型弾性表面波フィルターの設計
を行なう上でのパラメ−タとしては、直列腕共振器の共
振周波数ｆrsと並列腕共振器の共振周波数ｆrpの差Δｆ
（Δｆ＝ｆrs−ｆrp）や、各共振器の電極対数及び開口
長から決定される静電容量Ｃos、Ｃop等があり、従来よ
り弾性表面波フィルターに用いられている基板（３６°
Ｙ−Ｘ ＬiＴaＯ3、６４°Ｙ−Ｘ ＬiＮbＯ3、及び４１
°Ｙ−Ｘ ＬiＮbＯ3）については、設計パラメ−タの最
適な範囲が明らかにされている(特開平５−１８３３８
０号、特開平６−６９７５０号等)。
を行なう上でのパラメ−タとしては、直列腕共振器の共
振周波数ｆrsと並列腕共振器の共振周波数ｆrpの差Δｆ
（Δｆ＝ｆrs−ｆrp）や、各共振器の電極対数及び開口
長から決定される静電容量Ｃos、Ｃop等があり、従来よ
り弾性表面波フィルターに用いられている基板（３６°
Ｙ−Ｘ ＬiＴaＯ3、６４°Ｙ−Ｘ ＬiＮbＯ3、及び４１
°Ｙ−Ｘ ＬiＮbＯ3）については、設計パラメ−タの最
適な範囲が明らかにされている(特開平５−１８３３８
０号、特開平６−６９７５０号等)。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の弾性
表面波フィルターの高周波化に応じるべく、更に高音速
を得るためのカット面について研究が行われており、そ
の結果、タンタル酸リチウム(ＬiＴaＯ3)、ニオブ酸リ
チウム(ＬiＮbＯ3)、及び四硼酸リチウム(Ｌi2Ｂ4Ｏ7)
については、従来よりも高音速のカット面が発見されて
いる。即ち、タンタル酸リチウムについては、弾性表面
波の伝搬方向がオイラ角表示で(９０°、９０°、３１
°)であり、ニオブ酸リチウムについては、弾性表面波
の伝搬方向がオイラ角表示で(９０°、９０°、３７°)
であり、四硼酸リチウムについては、弾性表面波の伝搬
方向がオイラ角表示で(０°、４５°、９０°)である。
表面波フィルターの高周波化に応じるべく、更に高音速
を得るためのカット面について研究が行われており、そ
の結果、タンタル酸リチウム(ＬiＴaＯ3)、ニオブ酸リ
チウム(ＬiＮbＯ3)、及び四硼酸リチウム(Ｌi2Ｂ4Ｏ7)
については、従来よりも高音速のカット面が発見されて
いる。即ち、タンタル酸リチウムについては、弾性表面
波の伝搬方向がオイラ角表示で(９０°、９０°、３１
°)であり、ニオブ酸リチウムについては、弾性表面波
の伝搬方向がオイラ角表示で(９０°、９０°、３７°)
であり、四硼酸リチウムについては、弾性表面波の伝搬
方向がオイラ角表示で(０°、４５°、９０°)である。
【０００６】しかしながら、上記カット面を有するタン
タル酸リチウム基板、ニオブ酸リチウム基板、或いは四
硼酸リチウム基板を用いた共振器結合型弾性表面波フィ
ルターについては、それらの設計パラメ−タの最適範囲
が未だ明らかにされていない。本発明の目的は、高音速
のカット面を有するタンタル酸リチウム基板、ニオブ酸
リチウム基板、或いは四硼酸リチウム基板を用いた共振
器結合型弾性表面波フィルターにおいて、必要とされる
設計パラメ−タ、特に直列腕共振器及び並列腕共振器の
共振周波数の最適範囲を明らかにし、これによって共振
器結合型弾性表面波フィルターの高性能化を図ることで
ある。尚、本発明では、弾性表面波フィルターの性能を
判断する第１の指標として、その通過帯域内特性におけ
るリップルと挿入損失を採用し、第２の指標として、整
合状態を表わす電圧定在波比(ＶＳＷＲ；Voltage Stand
ing Wave Ratio)を採用した。
タル酸リチウム基板、ニオブ酸リチウム基板、或いは四
硼酸リチウム基板を用いた共振器結合型弾性表面波フィ
ルターについては、それらの設計パラメ−タの最適範囲
が未だ明らかにされていない。本発明の目的は、高音速
のカット面を有するタンタル酸リチウム基板、ニオブ酸
リチウム基板、或いは四硼酸リチウム基板を用いた共振
器結合型弾性表面波フィルターにおいて、必要とされる
設計パラメ−タ、特に直列腕共振器及び並列腕共振器の
共振周波数の最適範囲を明らかにし、これによって共振
器結合型弾性表面波フィルターの高性能化を図ることで
ある。尚、本発明では、弾性表面波フィルターの性能を
判断する第１の指標として、その通過帯域内特性におけ
るリップルと挿入損失を採用し、第２の指標として、整
合状態を表わす電圧定在波比(ＶＳＷＲ；Voltage Stand
ing Wave Ratio)を採用した。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】共振器結合型弾性表面波フ
ィルターの場合、図１０に示す様に、直列腕共振器の共
振周波数ｆrsと並列腕共振器の共振周波数ｆrpの差Δｆ
(以下、単に共振周波数差という)に関して、その値が大
きい程、通過帯域内特性におけるリップルＡが増大し、
その値が小さい程、挿入損失Ｂが増大することが知られ
ている。一方、直列腕共振器の静電容量Ｃosと並列腕共
振器の静電容量Ｃopに関しては、これらの値の変化によ
ってＶＳＷＲが変化することが知られている。
ィルターの場合、図１０に示す様に、直列腕共振器の共
振周波数ｆrsと並列腕共振器の共振周波数ｆrpの差Δｆ
(以下、単に共振周波数差という)に関して、その値が大
きい程、通過帯域内特性におけるリップルＡが増大し、
その値が小さい程、挿入損失Ｂが増大することが知られ
ている。一方、直列腕共振器の静電容量Ｃosと並列腕共
振器の静電容量Ｃopに関しては、これらの値の変化によ
ってＶＳＷＲが変化することが知られている。
【０００８】一般的には、リップルＡは２.０ｄＢ以
下、挿入損失Ｂについては５.０ｄＢ以下に抑えること
が設計上、望ましい。又、ＶＳＷＲに関しては、２.０
以下の値に抑えることが設計上、望ましい。そこで本発
明においては、種々の設計パラメータを与えた多数の試
作品を作製し、これらの試作品についての実験結果に基
づいて、リップル及び挿入損失を上記の限界値以下に抑
えることの出来る共振周波数差Δｆの最適範囲を明らか
にし、更には、ＶＳＷＲの値を上記の限界値以下に抑え
ることの出来る直列腕共振器及び並列腕共振器の静電容
量Ｃos、Ｃopの最適範囲を明らかにした。
下、挿入損失Ｂについては５.０ｄＢ以下に抑えること
が設計上、望ましい。又、ＶＳＷＲに関しては、２.０
以下の値に抑えることが設計上、望ましい。そこで本発
明においては、種々の設計パラメータを与えた多数の試
作品を作製し、これらの試作品についての実験結果に基
づいて、リップル及び挿入損失を上記の限界値以下に抑
えることの出来る共振周波数差Δｆの最適範囲を明らか
にし、更には、ＶＳＷＲの値を上記の限界値以下に抑え
ることの出来る直列腕共振器及び並列腕共振器の静電容
量Ｃos、Ｃopの最適範囲を明らかにした。
【０００９】即ち、タンタル酸リチウム基板を用いた弾
性表面波フィルターにおいては、弾性表面波の伝搬方向
がオイラ角表示で(４０度乃至９０度、４０度乃至９０
度、０度乃至６０度)及びこれと等価な範囲内に設定さ
れると共に、共振周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0及び
静電容量比Ｐをパラメータとして、下記数７で規定され
る範囲に設定されている。
性表面波フィルターにおいては、弾性表面波の伝搬方向
がオイラ角表示で(４０度乃至９０度、４０度乃至９０
度、０度乃至６０度)及びこれと等価な範囲内に設定さ
れると共に、共振周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0及び
静電容量比Ｐをパラメータとして、下記数７で規定され
る範囲に設定されている。
【００１０】
【数７】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax
ここで、
Δｆ＝ｆrs−ｆrp
Δｆmin＝(−０.００１５８＋０.０１１６Ｐ−０.００
４２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０７７８−０.０７３６Ｐ＋０.０２５２
Ｐ2)×ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos
４２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０７７８−０.０７３６Ｐ＋０.０２５２
Ｐ2)×ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos
【００１１】更に具体的には、直列腕共振器の静電容量
Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopは、下記数８で規
定される帯状の範囲内に設定されている。
Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopは、下記数８で規
定される帯状の範囲内に設定されている。
【数８】
Ｃop＝−０.４９Ｃos＋(４９７８±２８５０）／ｆ0
【００１２】ニオブ酸リチウム基板を用いた弾性表面波
フィルターにおいては、弾性表面波の伝搬方向がオイラ
角表示で(４０度乃至９０度、４０度乃至９０度、０度
乃至６０度)及びこれと等価な範囲内に設定されると共
に、共振周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0及び静電容量
比Ｐをパラメータとして、下記数９で規定される範囲に
設定されている。
フィルターにおいては、弾性表面波の伝搬方向がオイラ
角表示で(４０度乃至９０度、４０度乃至９０度、０度
乃至６０度)及びこれと等価な範囲内に設定されると共
に、共振周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0及び静電容量
比Ｐをパラメータとして、下記数９で規定される範囲に
設定されている。
【００１３】
【数９】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax
ここで、
Δｆ＝ｆrs−ｆrp
Δｆmin＝(０.０２６２＋０.０２４５Ｐ−０.００２１
Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.３０３−０.２６９Ｐ＋０.０８２Ｐ2)×
ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos
Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.３０３−０.２６９Ｐ＋０.０８２Ｐ2)×
ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos
【００１４】更に具体的には、直列腕共振器の静電容量
Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopは、下記数１０で
規定される帯状の範囲内に設定されている。
Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopは、下記数１０で
規定される帯状の範囲内に設定されている。
【数１０】
Ｃop＝−０.９３Ｃos＋(３８９５±１４２５）／ｆ0
【００１５】四硼酸リチウム基板を用いた弾性表面波フ
ィルターにおいては、弾性表面波の伝搬方向がオイラ角
表示で(０度乃至５０度、１５度乃至７５度、４０度乃
至９０度)及びこれと等価な範囲内に設定されると共
に、共振周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0及び静電容量
比Ｐをパラメータとして、下記数１１で規定される範囲
に設定されている。
ィルターにおいては、弾性表面波の伝搬方向がオイラ角
表示で(０度乃至５０度、１５度乃至７５度、４０度乃
至９０度)及びこれと等価な範囲内に設定されると共
に、共振周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0及び静電容量
比Ｐをパラメータとして、下記数１１で規定される範囲
に設定されている。
【００１６】
【数１１】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax
ここで、
Δｆ＝ｆrs−ｆrp
Δｆmin＝(−０.００００２＋０.００６４２Ｐ−０.０
０２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０３０５−０.０１６１Ｐ＋０.００２１
Ｐ2)×ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos
０２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０３０５−０.０１６１Ｐ＋０.００２１
Ｐ2)×ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos
【００１７】更に具体的には、直列腕共振器の静電容量
Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopは、下記数１２で
規定される帯状の範囲内に設定されている。
Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopは、下記数１２で
規定される帯状の範囲内に設定されている。
【数１２】
Ｃop＝−０.４７Ｃos＋(３０７８±９１２）／ｆ0
【００１８】弾性表面波フィルターの設計においては、
先ず、要求されるフィルターの仕様から中心周波数ｆ0
及び帯域外抑圧が決まり、更に、その帯域外抑圧に応じ
た静電容量比Ｐが決まることになる。そこで、決定され
た中心周波数ｆ0及び静電容量比Ｐを上記数７、数９或
いは数１１に代入して、基板の材質に応じた共振周波数
差Δｆの最適範囲(Δｆmin〜Δｆmax)を算出し、この範
囲内の値として共振周波数差Δｆを決定する。
先ず、要求されるフィルターの仕様から中心周波数ｆ0
及び帯域外抑圧が決まり、更に、その帯域外抑圧に応じ
た静電容量比Ｐが決まることになる。そこで、決定され
た中心周波数ｆ0及び静電容量比Ｐを上記数７、数９或
いは数１１に代入して、基板の材質に応じた共振周波数
差Δｆの最適範囲(Δｆmin〜Δｆmax)を算出し、この範
囲内の値として共振周波数差Δｆを決定する。
【００１９】次に、中心周波数ｆ0の近傍値として、直
列腕共振器の共振周波数ｆrs(≒ｆ0)を決定すれば、決
定された共振周波数差Δｆから、並列腕共振器の共振周
波数ｆrp(＝ｆrs−Δｆ)を決定することが出来る。
列腕共振器の共振周波数ｆrs(≒ｆ0)を決定すれば、決
定された共振周波数差Δｆから、並列腕共振器の共振周
波数ｆrp(＝ｆrs−Δｆ)を決定することが出来る。
【００２０】この様にして得られた直列腕共振器の共振
周波数ｆrs及び並列腕共振器の共振周波数ｆrpに基づい
て、直列腕共振器及び並列腕共振器を設計することによ
って、リップルが２.０ｄＢ以下に抑えられると同時
に、挿入損失が５.０ｄＢ以下に抑えられることにな
る。
周波数ｆrs及び並列腕共振器の共振周波数ｆrpに基づい
て、直列腕共振器及び並列腕共振器を設計することによ
って、リップルが２.０ｄＢ以下に抑えられると同時
に、挿入損失が５.０ｄＢ以下に抑えられることにな
る。
【００２１】更に、決定された静電容量比Ｐを満足し、
且つ上記数８、数１０或いは数１２によって規定される
帯状範囲に含まれることとなる、直列腕共振器の静電容
量Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopの値を決定す
る。
且つ上記数８、数１０或いは数１２によって規定される
帯状範囲に含まれることとなる、直列腕共振器の静電容
量Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopの値を決定す
る。
【００２２】この様にして得られた直列腕共振器の静電
容量Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopに基づいて、
直列腕共振器及び並列腕共振器を設計することによっ
て、ＶＳＷＲが２.０以下に抑えられることになる。
容量Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopに基づいて、
直列腕共振器及び並列腕共振器を設計することによっ
て、ＶＳＷＲが２.０以下に抑えられることになる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、高音速のカット面を有
するタンタル酸リチウム基板、ニオブ酸リチウム基板、
或いは四硼酸リチウム基板を用いた共振器結合型弾性表
面波フィルターにおいて、直列腕共振器及び並列腕共振
器の共振周波数を最適範囲に設定して、リップル及び挿
入損失を同時に抑えることが出来る。
するタンタル酸リチウム基板、ニオブ酸リチウム基板、
或いは四硼酸リチウム基板を用いた共振器結合型弾性表
面波フィルターにおいて、直列腕共振器及び並列腕共振
器の共振周波数を最適範囲に設定して、リップル及び挿
入損失を同時に抑えることが出来る。
【００２４】
【発明の実施の形態】本発明に係る共振器結合型弾性表
面波フィルターは、図８に示す如く梯子型回路の直列腕
(４)と並列腕(５)に夫々、１ポ−ト共振器(６)(７)を接
続して構成される。各１ポ−ト共振器(６)(７)は図９に
示す如く、基板(１)上に簾状電極(２)と格子状反射器
(３)(３)を形成したものである。
面波フィルターは、図８に示す如く梯子型回路の直列腕
(４)と並列腕(５)に夫々、１ポ−ト共振器(６)(７)を接
続して構成される。各１ポ−ト共振器(６)(７)は図９に
示す如く、基板(１)上に簾状電極(２)と格子状反射器
(３)(３)を形成したものである。
【００２５】尚、タンタル酸リチウム基板においては、
弾性表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(４０度乃至９
０度、４０度乃至９０度、０度乃至６０度)の範囲、望
ましくは(９０度、９０度、３１度)となる様に電極が形
成される。又、ニオブ酸リチウム基板においては、弾性
表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(４０度乃至９０
度、４０度乃至９０度、０度乃至６０度)の範囲、望ま
しくは(９０度、９０度、３７度)となる様に電極が形成
される。更に四硼酸リチウム基板においては、弾性表面
波の伝搬方向がオイラ角表示で(０度乃至５０度、１５
度乃至７５度、４０度乃至９０度)の範囲、望ましくは
(０度、４５度、９０度)となる様に電極が形成される。
これによって、超音速の弾性表面波(縦波成分が横波成
分より優勢である擬似弾性表面波)が得られる。
弾性表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(４０度乃至９
０度、４０度乃至９０度、０度乃至６０度)の範囲、望
ましくは(９０度、９０度、３１度)となる様に電極が形
成される。又、ニオブ酸リチウム基板においては、弾性
表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(４０度乃至９０
度、４０度乃至９０度、０度乃至６０度)の範囲、望ま
しくは(９０度、９０度、３７度)となる様に電極が形成
される。更に四硼酸リチウム基板においては、弾性表面
波の伝搬方向がオイラ角表示で(０度乃至５０度、１５
度乃至７５度、４０度乃至９０度)の範囲、望ましくは
(０度、４５度、９０度)となる様に電極が形成される。
これによって、超音速の弾性表面波(縦波成分が横波成
分より優勢である擬似弾性表面波)が得られる。
【００２６】本実施例においては、先ず、共振周波数差
Δｆについて、リップルを２.０ｄＢ以下、挿入損失を
５.０ｄＢ以下とするための最適範囲を、複数の試作品
を用いた実験によって決定した。
Δｆについて、リップルを２.０ｄＢ以下、挿入損失を
５.０ｄＢ以下とするための最適範囲を、複数の試作品
を用いた実験によって決定した。
【００２７】図１は、タンタル酸リチウム基板を用いた
中心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィ
ルターについて、試作品による実験の結果を表わしてい
る。即ち、図１のグラフは、横軸に静電容量比Ｐ、縦軸
に共振周波数差Δｆをとって、これらの値を徐々に変化
させた複数の試作品について、リップル及び挿入損失を
測定し、リップルについては２.０ｄＢ以下、挿入損失
については５.０ｄＢ以下の条件を満たす試作品を○
印、それ以外の試作品を×印でプロットしたものであ
る。上記の条件を満たす最適なΔｆ(ＭＨｚ)の範囲は、
Ｐ＝０.５にて、６≦Δｆ≦９０、Ｐ＝０.７５にて、９
≦Δｆ≦７０、Ｐ＝１.０にて、１１≦Δｆ≦５６、Ｐ
＝１.２５にて、１２≦Δｆ≦４８となる。尚、図１の
グラフの上方の曲線は、リップルについての限界を表わ
しており、下方の曲線は挿入損失についての限界を表わ
している。そこで、これらの上限値及び下限値に夫々、
最小二乗法を適用することによって、共振周波数差Δｆ
の最適範囲として、下記数１３が得られる。
中心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィ
ルターについて、試作品による実験の結果を表わしてい
る。即ち、図１のグラフは、横軸に静電容量比Ｐ、縦軸
に共振周波数差Δｆをとって、これらの値を徐々に変化
させた複数の試作品について、リップル及び挿入損失を
測定し、リップルについては２.０ｄＢ以下、挿入損失
については５.０ｄＢ以下の条件を満たす試作品を○
印、それ以外の試作品を×印でプロットしたものであ
る。上記の条件を満たす最適なΔｆ(ＭＨｚ)の範囲は、
Ｐ＝０.５にて、６≦Δｆ≦９０、Ｐ＝０.７５にて、９
≦Δｆ≦７０、Ｐ＝１.０にて、１１≦Δｆ≦５６、Ｐ
＝１.２５にて、１２≦Δｆ≦４８となる。尚、図１の
グラフの上方の曲線は、リップルについての限界を表わ
しており、下方の曲線は挿入損失についての限界を表わ
している。そこで、これらの上限値及び下限値に夫々、
最小二乗法を適用することによって、共振周波数差Δｆ
の最適範囲として、下記数１３が得られる。
【００２８】
【数１３】−３＋２２Ｐ−８Ｐ2≦Δｆ≦１４８−１４
０Ｐ＋４８Ｐ2
０Ｐ＋４８Ｐ2
【００２９】更に、上記数１３を中心周波数ｆ0(ＭＨ
ｚ)で規格化すると、下記数１４が得られる。
ｚ)で規格化すると、下記数１４が得られる。
【数１４】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax
ここで、
Δｆmin＝(−０.００１５８＋０.０１１６Ｐ−０.００
４２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０７７８−０.０７３６Ｐ＋０.０２５２
Ｐ2)×ｆ0
４２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０７７８−０.０７３６Ｐ＋０.０２５２
Ｐ2)×ｆ0
【００３０】図２は、ニオブ酸リチウム基板を用いた中
心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィル
ターについて、試作品による実験の結果を図１と同様に
表わしている。リップルについては２.０ｄＢ以下、挿
入損失については５.０ｄＢ以下の条件を満たす最適な
Δｆ(ＭＨｚ)の範囲は、Ｐ＝０.５にて、７２≦Δｆ≦
３５９、Ｐ＝０.７５にて、８３≦Δｆ≦２８０、Ｐ＝
１.０にて、９２≦Δｆ≦２２０、Ｐ＝１.２５にて、１
０２≦Δｆ≦１８０となる。そこで、これらの上限値及
び下限値に夫々、最小二乗法を適用することによって、
共振周波数差Δｆの最適範囲として、下記数１５が得ら
れる。
心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィル
ターについて、試作品による実験の結果を図１と同様に
表わしている。リップルについては２.０ｄＢ以下、挿
入損失については５.０ｄＢ以下の条件を満たす最適な
Δｆ(ＭＨｚ)の範囲は、Ｐ＝０.５にて、７２≦Δｆ≦
３５９、Ｐ＝０.７５にて、８３≦Δｆ≦２８０、Ｐ＝
１.０にて、９２≦Δｆ≦２２０、Ｐ＝１.２５にて、１
０２≦Δｆ≦１８０となる。そこで、これらの上限値及
び下限値に夫々、最小二乗法を適用することによって、
共振周波数差Δｆの最適範囲として、下記数１５が得ら
れる。
【００３１】
【数１５】５０＋４７Ｐ−４Ｐ2≦Δｆ≦５７６−５１
２Ｐ＋１５６Ｐ2
２Ｐ＋１５６Ｐ2
【００３２】更に、上記数１５を中心周波数ｆ0(ＭＨ
ｚ)で規格化すると、下記数１６が得られる。
ｚ)で規格化すると、下記数１６が得られる。
【数１６】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax
ここで、
Δｆmin＝(０.０２６２＋０.０２４５Ｐ−０.００２１
Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.３０３−０.２６９Ｐ＋０.０８２Ｐ2)×
ｆ0
Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.３０３−０.２６９Ｐ＋０.０８２Ｐ2)×
ｆ0
【００３３】図３は、四硼酸リチウム基板を用いた中心
周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィルタ
ーについて、試作品による実験の結果を図１と同様に表
わしている。リップルについては２.０ｄＢ以下、挿入
損失については５.０ｄＢ以下の条件を満たす最適なΔ
ｆ(ＭＨｚ)の範囲は、Ｐ＝０.５にて、５≦Δｆ≦４
５、Ｐ＝０.７５にて、７≦Δｆ≦３７、Ｐ＝１.０に
て、８≦Δｆ≦３２、Ｐ＝１.２５にて、９≦Δｆ≦２
６となる。そこで、これらの上限値及び下限値に夫々、
最小二乗法を適用することによって、共振周波数差Δｆ
の最適範囲として、下記数１７が得られる。
周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィルタ
ーについて、試作品による実験の結果を図１と同様に表
わしている。リップルについては２.０ｄＢ以下、挿入
損失については５.０ｄＢ以下の条件を満たす最適なΔ
ｆ(ＭＨｚ)の範囲は、Ｐ＝０.５にて、５≦Δｆ≦４
５、Ｐ＝０.７５にて、７≦Δｆ≦３７、Ｐ＝１.０に
て、８≦Δｆ≦３２、Ｐ＝１.２５にて、９≦Δｆ≦２
６となる。そこで、これらの上限値及び下限値に夫々、
最小二乗法を適用することによって、共振周波数差Δｆ
の最適範囲として、下記数１７が得られる。
【００３４】
【数１７】−０.０５＋１２Ｐ−４Ｐ2≦Δｆ≦５８−３
１Ｐ＋４Ｐ2
１Ｐ＋４Ｐ2
【００３５】更に、上記数１７を中心周波数ｆ0(ＭＨ
ｚ)で規格化すると、下記数１８が得られる。
ｚ)で規格化すると、下記数１８が得られる。
【数１８】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax
ここで、
Δｆmin＝(−０.００００２＋０.００６４２Ｐ−０.０
０２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０３０５−０.０１６１Ｐ＋０.００２１
Ｐ2)×ｆ0
０２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０３０５−０.０１６１Ｐ＋０.００２１
Ｐ2)×ｆ0
【００３６】本実施例においては、次に、直列腕共振器
及び並列腕共振器の静電容量Ｃos、Ｃopについて、ＶＳ
ＷＲを２.０以下とするための最適範囲を決定した。
及び並列腕共振器の静電容量Ｃos、Ｃopについて、ＶＳ
ＷＲを２.０以下とするための最適範囲を決定した。
【００３７】図４は、タンタル酸リチウム基板を用いた
中心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィ
ルターについて、試作品による実験の結果を表わしてい
る。即ち、図４のグラフは、横軸に直列腕共振器の静電
容量Ｃos（ｐＦ）、縦軸に並列腕共振器の静電容量Ｃop
（ｐＦ）をとって、これらの値を徐々に変化させた複数
の試作品について、ＶＳＷＲを測定し、その測定値が
２.０以下の条件を満たす試作品を○印、それ以外の試
作品を×印でプロットしたものである。
中心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィ
ルターについて、試作品による実験の結果を表わしてい
る。即ち、図４のグラフは、横軸に直列腕共振器の静電
容量Ｃos（ｐＦ）、縦軸に並列腕共振器の静電容量Ｃop
（ｐＦ）をとって、これらの値を徐々に変化させた複数
の試作品について、ＶＳＷＲを測定し、その測定値が
２.０以下の条件を満たす試作品を○印、それ以外の試
作品を×印でプロットしたものである。
【００３８】尚、静電容量Ｃos、Ｃop（ｐＦ）は、図９
に示す電極対の数をＮ、開口長をＷ（μm）としたと
き、下記数１９から算出することが出来る。
に示す電極対の数をＮ、開口長をＷ（μm）としたと
き、下記数１９から算出することが出来る。
【数１９】Ｃ＝４×１０-4×Ｎ×Ｗ
【００３９】図示の如く、上記条件を満たす試作品は、
図中に実線で示す帯状の領域に存在し、その帯状の範囲
は、下記数２０によって表わすことが出来る。
図中に実線で示す帯状の領域に存在し、その帯状の範囲
は、下記数２０によって表わすことが出来る。
【００４０】
【数２０】Ｃop＝−０.４９Ｃos＋２.６２±１.５
【００４１】更に、上記数２０を中心周波数ｆ0(ＭＨ
ｚ)で規格化すると、下記数２１が得られる。
ｚ)で規格化すると、下記数２１が得られる。
【数２１】
Ｃop＝−０.４９Ｃos＋(４９７８±２８５０）／ｆ0
【００４２】図５は、ニオブ酸リチウム基板を用いた中
心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィル
ターについて、試作品による実験の結果を図４と同様に
表わしている。ＶＳＷＲの測定が２.０以下の条件を満
たす試作品は、図中に実線で示す帯状の領域に存在し、
その帯状の範囲は、下記数２２によって表わすことが出
来る。
心周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィル
ターについて、試作品による実験の結果を図４と同様に
表わしている。ＶＳＷＲの測定が２.０以下の条件を満
たす試作品は、図中に実線で示す帯状の領域に存在し、
その帯状の範囲は、下記数２２によって表わすことが出
来る。
【００４３】
【数２２】Ｃop＝−０.９３Ｃos＋２.０５±０.７５
【００４４】更に、上記数２２を中心周波数ｆ0(ＭＨ
ｚ)で規格化すると、下記数２３が得られる。
ｚ)で規格化すると、下記数２３が得られる。
【数２３】
Ｃop＝−０.９３Ｃos＋(３８９５±１４２５）／ｆ0
【００４５】図６は、四硼酸リチウム基板を用いた中心
周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィルタ
ーについて、試作品による実験の結果を図４と同様に表
わしている。ＶＳＷＲの測定が２.０以下の条件を満た
す試作品は、図中に実線で示す帯状の領域に存在し、そ
の帯状の範囲は、下記数２４によって表わすことが出来
る。
周波数１.９ＧＨｚの共振器結合型弾性表面波フィルタ
ーについて、試作品による実験の結果を図４と同様に表
わしている。ＶＳＷＲの測定が２.０以下の条件を満た
す試作品は、図中に実線で示す帯状の領域に存在し、そ
の帯状の範囲は、下記数２４によって表わすことが出来
る。
【００４６】
【数２４】Ｃop＝−０.４７Ｃos＋１.６２±０.４８
【００４７】更に、上記数２４を中心周波数ｆ0(ＭＨ
ｚ)で規格化すると、下記数２５が得られる。
ｚ)で規格化すると、下記数２５が得られる。
【数２５】
Ｃop＝−０.４７Ｃos＋(３０７８±９１２）／ｆ0
【００４８】従って、基板の材質に応じて、共振周波数
差Δｆを、上記数１４、数１６或いは数１８で規定され
る範囲に決定することによって、通過帯域内特性におけ
るリップルが２.０ｄＢ以下に抑えられると同時に、挿
入損失が５.０ｄＢ以下に抑えられる。更に、直列腕共
振器と並列腕共振器の静電容量を、上記数２１、数２３
或いは数２５で規定される帯状範囲に設定することによ
って、ＶＳＷＲが２.０以下に抑えられる。
差Δｆを、上記数１４、数１６或いは数１８で規定され
る範囲に決定することによって、通過帯域内特性におけ
るリップルが２.０ｄＢ以下に抑えられると同時に、挿
入損失が５.０ｄＢ以下に抑えられる。更に、直列腕共
振器と並列腕共振器の静電容量を、上記数２１、数２３
或いは数２５で規定される帯状範囲に設定することによ
って、ＶＳＷＲが２.０以下に抑えられる。
【００４９】図７は、上記設計パラメータの決定方法に
基づいて、共振器結合型弾性表面波フィルターを実際に
設計する際の手順を表わしている。先ずステップＳ１に
て、要求されるフィルターの仕様に基づいて、中心周波
数ｆ0と、帯域外抑圧Ｄが決まる(図１０参照)。次にス
テップＳ２にて、予め判明している帯域外抑圧と静電容
量比の関係(例えば直線関係)から、前記決定された帯域
外抑圧(例えば２０ｄＢ)に応じた静電容量比Ｐ(例えば
０.７５)が決まる。
基づいて、共振器結合型弾性表面波フィルターを実際に
設計する際の手順を表わしている。先ずステップＳ１に
て、要求されるフィルターの仕様に基づいて、中心周波
数ｆ0と、帯域外抑圧Ｄが決まる(図１０参照)。次にス
テップＳ２にて、予め判明している帯域外抑圧と静電容
量比の関係(例えば直線関係)から、前記決定された帯域
外抑圧(例えば２０ｄＢ)に応じた静電容量比Ｐ(例えば
０.７５)が決まる。
【００５０】続いて、ステップＳ３にて、決定された静
電容量比Ｐを満足し、且つ上記数２１、数２３或いは数
２５によって規定される帯状範囲に含まれることとな
る、直列腕共振器の静電容量Ｃos及び並列腕共振器の静
電容量Ｃopの値を決定する。例えば図４からは、Ｐ＝
０.７５のとき、Ｃop＝１.２、Ｃos＝１.６に決定する
ことが出来る。
電容量比Ｐを満足し、且つ上記数２１、数２３或いは数
２５によって規定される帯状範囲に含まれることとな
る、直列腕共振器の静電容量Ｃos及び並列腕共振器の静
電容量Ｃopの値を決定する。例えば図４からは、Ｐ＝
０.７５のとき、Ｃop＝１.２、Ｃos＝１.６に決定する
ことが出来る。
【００５１】その後、ステップＳ４にて、上記数１９を
用いて、電極の開口長Ｗ及び対数Ｎを決定する。例え
ば、並列腕については、Ｃop＝１.２から、Ｗ＝８０μ
m、Ｎ＝３８が得られ、直列腕については、Ｃos＝１.６
から、Ｗ＝４０μm、Ｎ＝１００が得られる。
用いて、電極の開口長Ｗ及び対数Ｎを決定する。例え
ば、並列腕については、Ｃop＝１.２から、Ｗ＝８０μ
m、Ｎ＝３８が得られ、直列腕については、Ｃos＝１.６
から、Ｗ＝４０μm、Ｎ＝１００が得られる。
【００５２】一方、ステップＳ５では、決定された中心
周波数ｆ0及び静電容量比Ｐから、上記数１４、数１６
或いは数１８に基づいて、共振周波数差Δｆを決定す
る。例えばＰ＝０.７５の場合、図１からは、Δｆ＝３
０ＭＨｚが得られる。
周波数ｆ0及び静電容量比Ｐから、上記数１４、数１６
或いは数１８に基づいて、共振周波数差Δｆを決定す
る。例えばＰ＝０.７５の場合、図１からは、Δｆ＝３
０ＭＨｚが得られる。
【００５３】次に、ステップＳ６にて、電極ピッチを決
定する。この際、中心周波数ｆ0の近傍値として、直列
腕共振器の共振周波数ｆrs(≒ｆ0)を決定し、この決定
された共振周波数差Δｆから、並列腕共振器の共振周波
数ｆrp(＝ｆrs−Δｆ)を決定する。そして、これらの共
振周波数から、直列腕共振器及び並列腕共振器の電極ピ
ッチ、更には電極幅及び電極間のスペースを決定する。
定する。この際、中心周波数ｆ0の近傍値として、直列
腕共振器の共振周波数ｆrs(≒ｆ0)を決定し、この決定
された共振周波数差Δｆから、並列腕共振器の共振周波
数ｆrp(＝ｆrs−Δｆ)を決定する。そして、これらの共
振周波数から、直列腕共振器及び並列腕共振器の電極ピ
ッチ、更には電極幅及び電極間のスペースを決定する。
【００５４】上記設計手法によれば、リップルを２.０
ｄＢ以下、挿入損失を５.０ｄＢ以下に抑えると同時
に、ＶＳＷＲを２.０以下に抑えることの出来る、高性
能の弾性表面波フィルターを容易に設計することが出来
る。
ｄＢ以下、挿入損失を５.０ｄＢ以下に抑えると同時
に、ＶＳＷＲを２.０以下に抑えることの出来る、高性
能の弾性表面波フィルターを容易に設計することが出来
る。
【００５５】上記実施の形態の説明は、本発明を説明す
るためのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を
限定し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。
又、本発明の各部構成は上記実施の形態に限らず、特許
請求の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能で
あることは勿論である。
るためのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を
限定し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。
又、本発明の各部構成は上記実施の形態に限らず、特許
請求の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能で
あることは勿論である。
【図１】タンタル酸リチウム基板を用いた弾性表面波フ
ィルターにおいて、横軸に静電容量比Ｐ、縦軸に共振周
波数差Δｆをとって、リップル及び挿入損失に関する条
件の適否とその限界を表わすグラフである。
ィルターにおいて、横軸に静電容量比Ｐ、縦軸に共振周
波数差Δｆをとって、リップル及び挿入損失に関する条
件の適否とその限界を表わすグラフである。
【図２】ニオブ酸リチウム基板を用いた弾性表面波フィ
ルターについての同上のグラフである。
ルターについての同上のグラフである。
【図３】四硼酸リチウム基板を用いた弾性表面波フィル
ターについての同上のグラフである。
ターについての同上のグラフである。
【図４】タンタル酸リチウム基板を用いた弾性表面波フ
ィルターにおいて、横軸に直列腕共振器の静電容量Ｃo
s、縦軸に並列腕共振器の静電容量Ｃopをとって、ＶＳ
ＷＲに関する条件の適否とその限界を表わすグラフであ
る。
ィルターにおいて、横軸に直列腕共振器の静電容量Ｃo
s、縦軸に並列腕共振器の静電容量Ｃopをとって、ＶＳ
ＷＲに関する条件の適否とその限界を表わすグラフであ
る。
【図５】ニオブ酸リチウム基板を用いた弾性表面波フィ
ルターについての同上のグラフである。
ルターについての同上のグラフである。
【図６】四硼酸リチウム基板を用いた弾性表面波フィル
ターについての同上のグラフである。
ターについての同上のグラフである。
【図７】本発明に係る弾性表面波フィルターの設計手順
を表わすフローチャートである。
を表わすフローチャートである。
【図８】共振器結合型弾性表面波フィルターの基本構成
を示す図である。
を示す図である。
【図９】１ポート共振器の電極構成を示す図である。
【図１０】共振周波数差Δｆとリップル及び挿入損失と
の関係を説明するグラフである。
の関係を説明するグラフである。
(１) 基板
(２) 簾状電極
(３) 格子状反射器
(４) 直列腕
(５) 並列腕
(６) 直列腕共振器
(７) 並列腕共振器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小林 泰三
大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号
三洋電機株式会社内
(72)発明者 竹内 孝介
大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号
三洋電機株式会社内
(72)発明者 柴田 賢一
大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号
三洋電機株式会社内
(72)発明者 池田 雅巳
大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号
三洋電機株式会社内
(72)発明者 田中 敏晴
大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号
三洋電機株式会社内
(72)発明者 清水 康敬
東京都世田谷区梅丘３丁目１番10号
(56)参考文献 特開 平８−340232（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−69750（ＪＰ，Ａ)
當沢茂孝、四方敦博、清水康敬，Ｌｉ
ＴａＯ３とＬｉＮｂＯ３基板を伝搬する
漏洩弾性表面波の検討，第15回超音波エ
レクトロニクスの基礎と応用に関するシ
ンポジウム，超音波シンポジウム運営委
員会、応用物理学会，1994年11月29日,
ＰＢ−12，ｐ．185−186
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 9/64
H03H 9/25
Claims (6)
- 【請求項１】 弾性表面波共振器を直列腕と並列腕に接
続して構成され、各弾性表面波共振器は、タンタル酸リ
チウムからなる基板の表面に励振用の電極が形成され、
弾性表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(４０度乃至９
０度、４０度乃至９０度、０度乃至６０度)及びこれと
等価な範囲内である弾性表面波フィルターにおいて、直
列腕共振器の共振周波数ｆrsと並列腕共振器の共振周波
数ｆrpとの周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0、直列腕共
振器の静電容量Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopを
パラメータとして、下記数１で規定される範囲に設定さ
れていることを特徴とする弾性表面波フィルター。 【数１】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax ここで、 Δｆ＝ｆrs−ｆrp Δｆmin＝(−０.００１５８＋０.０１１６Ｐ−０.００
４２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０７７８−０.０７３６Ｐ＋０.０２５２
Ｐ2)×ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos - 【請求項２】 直列腕共振器の静電容量Ｃos及び並列腕
共振器の静電容量Ｃopが、下記数２で規定される帯状の
範囲内に設定されている請求項１に記載の弾性表面波フ
ィルター。 【数２】 Ｃop＝−０.４９Ｃos＋(４９７８±２８５０）／ｆ0 - 【請求項３】 弾性表面波共振器を直列腕と並列腕に接
続して構成され、各共振器は、ニオブ酸リチウムからな
る基板の表面に励振用の電極が形成され、弾性表面波の
伝搬方向がオイラ角表示で(４０度乃至９０度、４０度
乃至９０度、０度乃至６０度)及びこれと等価な範囲内
である弾性表面波フィルターにおいて、直列腕共振器の
共振周波数ｆrsと並列腕共振器の共振周波数ｆrpとの周
波数差Δｆが、中心周波数ｆ0、直列腕共振器の静電容
量Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopをパラメータと
して、下記数３で規定される範囲に設定されていること
を特徴とする弾性表面波フィルター。 【数３】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax ここで、 Δｆ＝ｆrs−ｆrp Δｆmin＝(０.０２６２＋０.０２４５Ｐ−０.００２１
Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.３０３−０.２６９Ｐ＋０.０８２Ｐ2)×
ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos - 【請求項４】 直列腕共振器の静電容量Ｃos及び並列腕
共振器の静電容量Ｃopが、下記数４で規定される帯状の
範囲内に設定されている請求項３に記載の弾性表面波フ
ィルター。 【数４】 Ｃop＝−０.９３Ｃos＋(３８９５±１４２５）／ｆ0 - 【請求項５】 弾性表面波共振器を直列腕と並列腕に接
続して構成され、各弾性表面波共振器は、四硼酸リチウ
ムからなる基板の表面に励振用の電極が形成され、弾性
表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(０度乃至５０度、
１５度乃至７５度、４０度乃至９０度)及びこれと等価
な範囲内である弾性表面波フィルターにおいて、直列腕
共振器の共振周波数ｆrsと並列腕共振器の共振周波数ｆ
rpとの周波数差Δｆが、中心周波数ｆ0、直列腕共振器
の静電容量Ｃos及び並列腕共振器の静電容量Ｃopをパラ
メータとして、下記数５で規定される範囲に設定されて
いることを特徴とする弾性表面波フィルター。 【数５】Δｆmin≦Δｆ≦Δｆmax ここで、 Δｆ＝ｆrs−ｆrp Δｆmin＝(−０.００００２＋０.００６４２Ｐ−０.０
０２１Ｐ2)×ｆ0 Δｆmax＝(０.０３０５−０.０１６１Ｐ＋０.００２１
Ｐ2)×ｆ0 Ｐ＝Ｃop／Ｃos - 【請求項６】 直列腕共振器の静電容量Ｃos及び並列腕
共振器の静電容量Ｃopが、下記数６で規定される帯状の
範囲内に設定されている請求項５に記載の弾性表面波フ
ィルター。 【数６】 Ｃop＝−０.４７Ｃos＋(３０７８±９１２）／ｆ0
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08864596A JP3439294B2 (ja) | 1995-04-10 | 1996-04-10 | 弾性表面波フィルター |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-109980 | 1995-04-10 | ||
| JP10998095 | 1995-04-10 | ||
| JP08864596A JP3439294B2 (ja) | 1995-04-10 | 1996-04-10 | 弾性表面波フィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08340234A JPH08340234A (ja) | 1996-12-24 |
| JP3439294B2 true JP3439294B2 (ja) | 2003-08-25 |
Family
ID=26430002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08864596A Expired - Fee Related JP3439294B2 (ja) | 1995-04-10 | 1996-04-10 | 弾性表面波フィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3439294B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3227649B2 (ja) * | 1997-08-07 | 2001-11-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
| JP2000286676A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波フィルター |
| JP3391309B2 (ja) | 1999-09-02 | 2003-03-31 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置及び通信機装置 |
| AU2001259447A1 (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-13 | Sawtek, Inc. | Surface acoustic wave devices using non-symmetric optimized cuts of a piezoelectric substrate |
| KR100450906B1 (ko) * | 2002-08-09 | 2004-10-01 | 엘지이노텍 주식회사 | 최적 컷팅된 ｓａｗ 장치 및 방법 |
-
1996
- 1996-04-10 JP JP08864596A patent/JP3439294B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 當沢茂孝、四方敦博、清水康敬，ＬｉＴａＯ３とＬｉＮｂＯ３基板を伝搬する漏洩弾性表面波の検討，第１５回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム，超音波シンポジウム運営委員会、応用物理学会，１９９４年１１月２９日，ＰＢ−１２，ｐ．１８５−１８６ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08340234A (ja) | 1996-12-24 |
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