TW482945B - Positive photosensitive composition - Google Patents

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A7 B7 經濟、那中夬榡準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（ 發明之領域t 本發明係關於正型感光組合物，其用於石版印刷術印刷 板與半導體製造，例如，積體電路，及液晶、熱感頭等之 電路板製造，及其他光製處理。 發明之背景 通常使用之正型感光組合物包含鹼溶性樹脂與莕醌二氮 化物化合物作爲感光物質。例如，包含，，酚系酚醛清漆樹 月曰與奈目m二氮化物取代化合物之組合，，之光阻組合物敘述 於’例如’美國專利 3,666,473、4，115，128、與4，173,470。 此外’包含”甲苯酚-甲醛酚醛清漆樹脂與三羥基二苯基酮 1 ’ 2 -奈一氮化物橫酸酯之組合”之最典型組合物之實 例敛述於L . F ·湯普生之”微石版印刷術介紹，，（ACs出版 社，第2卷，1 9期，第112-121頁）。 由上述之觀點’目前已發展許多包含酚醛清漆樹脂與感 光奈酿二氮化物化合物之正型光阻並且實際使用。這些光 阻在具有氣圍爲約〇· 8至2 A m之線寬度之光阻圖樣之形成 已產生令人滿意之結果。 然而，積體電路中之積體程度一再增加，而且對於在 VLSI等半導體基材製造形成具有〇·5 " m或更小之線寬之 超細圖樣已變成必要的。爲了得到必要之解析力，用於影 印石版術之光源之波長一再降低，結果，開始調查遠紫外 線與激發二聚體雷射束（XeC卜KrF、ArF等）。 包含酚趁清漆與萘醌二氮化物化合物之先行技藝光阻不 適合用於藉由使用遠紫外線或激發二聚體雷射束之石版印 -4 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) 210X297公楚） (请先閱讀背面之注意事項存本頁) ,ιτ 482945 A7 五、發明説明（2 ) 刷術之圖樣形成，因爲g分遂清漆與莕醒二氮化物在遠紫外 線區域呈現廣泛吸收，使光較不易到達光阻底部。因此， 光阻具有低敏感度而僅產生尖錐圖樣。 一種排除以上問題之方法爲化學放大光阻組合物，例 如，敘述於美國專利4,491，628與歐洲專利249，139。化學 放大正型光阻組合物爲圖樣形成物質，其中在以如遠紫外 線之輻射照射時，於曝光區域產生酸，而且此酸催化反應 、種，使得以光化射線照射之區域及未照射區域在顯影溶 欣中之溶解度不同，因而在基材上形成圖樣。 濟 部 t 央 標 準 局 員 工 消. 費 合 作 社 印 製 其實例包括化合物之組合，其在使用縮醛或〇，N_縮醛 石物（參見JP-A-48-89003專利；在此使用之名詞"jp _ a丨丨 衣不未檢驗公開日本專利申請案”）、使用正酯或醯胺基 縮醛化合物（參見JP-A-H-UOB4專利）、使用在主幹且有 縮醛或縮酮基之聚合物（參見JPA—53]33429專利）、使用 =醇酸化合物（參見JPI55-12995專利）、使用N_酿基亞 A人酸化否物（參見jp-A_55_126236專利）、使用在主幹具 有=酗心來合物（參見JP_A-56-17345專利）、使用第^烷酯 • 口物（參見JP-A-60_3625專利）、使用矽烷酯化合物（參見 抒及-60-10247專利）、及使用矽烷醚化合物（參見JP-A-60-37549與專利）之光分解時產生酸。 、排除上逑問題之另一種方法爲在室溫長期安定但是在酸 =存在下加熱時分解而變成鹼溶性之系統。其實例包括包 =在曝光時，與具有第三或第二碳（例如，第三丁基或2_ ^ )之自9，或與碳故醋合物，產生酸之化合物之組合

4 9 2 8 4 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 / 五、發明説明（3 之系統，例如，敘述於了？-八-59-45439、了？-八-60-3625、了？- A-62-229242、JP-A-63-27829、JP-A-63-36240、JP-A-63· 250642專利；聚合物工程科學，第23卷，第1〇12頁 (1983) ; ACS論文集，第242卷，第1 1頁（1984);半導體 世界，第91頁（ 1987年1 1月）；巨分子，第21卷，第1475 頁（I988);及SPIE，第92〇卷，第42頁（I988)。由於這些 系統亦具有高敏感度，而且比較苯醌二氮化物/驗齡清漆 樹脂系統，在深UV區域呈現低吸收，其爲應付光源波長 降低之有效系統。 上述之化學放大正光阻粗略分成兩組：三成份系統，其 包含驗;谷性樹脂、在暴露於輕射時產生酸之化合物（光-酸 產生劑）、與具有酸可分解基之驗溶性樹脂之溶解抑制化 合物；及二成份系統，其包含在與酸反應時變成鹼溶性之 樹脂及光-酸產生劑。 在這些一成伤或二成份化學放大正光阻，光-酸產生劑 藉由曝光造成產生酸，然後光阻在酸之存在下熱處理及顯 影而得樹脂圖樣。 ·/' 用於上述化學放大正光阻之已知光_酸產生劑包括N-亞 胺磺酸酯、N-哼磺酸酯、鄰-硝基苄基磺酸酯、及五倍子 酚參甲烷磺酸酯。已作爲具有高光分解效率與影像形^性 質之光-酸產生劑之典型化合物爲全氟化路易士酸之銃與 碘鑕鹽，例如，PIV、AsIV、與·，，其敘述於，例^，、 JP-A-59-45439專利及聚合物工程科學，红，l〇i2 (1983^ 然而，在用於半導體用光阻物質時，這些先行技藝光- -6- Μ氏張尺度適财酬家標準（CNS (2IQx^^· (請先閱讀背面之注意事項再ec本頁)

i 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 酸產生劑具有光-酸產生 等污染之問題。 相對陰離子造成磷、坤、綠 作爲無污钱或破鏘化合物爲敘述於，例如，jp_A63 27829、JP-A-2韻50、Jp_A_2_l5〇848 d_ JW05專利之鹽，其中相 確 酸陰離子。 』乃矾1f况％ =:應注意此先行技藝組合物具有問題，因爲在曝光 時產生（三氟甲燒橫酸在光阻膜中相當快速地擴散，所產 生光阻圖樣之線寬隨曝光至熱處 樣變成具有T-頂表面。 〈時間-乍’或光阻圖 雖然甲苯續酸陰離子作爲锍切鏘鹽之另—種相對陰離 子I使用敘述於，例如，jp-A_2_2585〇、jp_A_i5咖、取 A-6-43653、與JP_A_6_123972專利，此鹽具有問題，因爲 其在-般（光阻溶劑具有不足之溶解度，其加成量有限， 生成不足之敏感度。 此外，JP-A-6-199770專利敘述具有線形烴取代基之芳基 苯橫酸陰離子作爲^或硤錯鹽之另—種相㈣離子之使 用。含锍或碘鑌鹽之芳基苯磺酸陰離子在一般之光阻溶劑 ，、有改良之溶解度。然而，此先行技藝技術亦具有問題， 形成之光阻圖樣隨曝光至熱處理之時間具有降低之線寬或 T -頂表面。 痛然地’光阻圖樣隨曝光至熱處理之時間之以上改變隨 助於影像形成之基（酸可分解基）之種類大爲不同，其藉酸 之作用分解。 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) 21〇χ 297公釐） 請 先 閎 讀 背 面 之 Η 訂

482945 1 . A7 ----------— B7—玉、發明説明（5 ) I- - 經濟部中矣梯#扃|工消費合作社印製 例如，上述使用第三烷酯基作爲酸可分解基之二成份光 阻趨於產生隨曝光至熱處理之時間變成具有丁_頂表面之 光阻圖樣，而且其難以減少τ·頂表面之形成。其爲使用 藉酸之作用低速分解之酸可分解基之固有問題，如第三烷 酯基。特別地，在含此缓慢酸可分解基之光阻圖樣，恰在 曝光後藉酸分解之酸可分解基之量與曝光後藉熱處理分解 之酸可分解基之量之間有極大之差異。結果，較受大氣中 所含胺之污染冬受酸至空氣中之擴散影響之光阻表面，易 於隨曝光至熱處理之時間經過進行外形之改變，即，τ_ 頂表面之形成，實際上不可能在單層綠使用不易 酸:分解基，如第三燒醋基，作爲唯一之影像形成目的用 i酸可分解基，雖然有例外，藉由黏合劑之調整玻璃轉移 點因而降低全部光阻膜之玻璃轉移點及藉由提高膜形成之 洪烤溫度而克服以上之問題。 另一方面，含矽烷醚化合物或縮醛化合物之光阻經常具 有光阻圖樣隨曝光至熱處理之時間經過變成具有降低線寬 之問題。此現象被認爲是因以下機構而發生。在含高速酸 可分解之化合物之光阻中，如矽燒醚或縮酸化合物，化合 物因恰在曝光後產生之酸之分解進行至足以影像形成之程 度。隨曝光至熱處理之時間經過，酸可分解化合物由於酸 之水平擴散而分解，並且在室溫因微量殘留於半曝光區域 足S父之作用而逐漸進一步分解。結果，光阻圖樣變成具有 降低之線寬。然而，已發現以上現象視光-酸產生劑之種 類而進行至不同程度。 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) .....I..... S ---- - · 太

、1T -8- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公董） 482945

'發明説明（6 經濟部中央標準局負工消費合作衽印製 阻:、：;：=其中以此易酸可分解基用於影像形成之光 低… 樣隨曝光至熱處理之時間經過變成具有降 低線見心問題，已菸 ^ 亩二 Λ見/、有乂下又問題。即，由於殘餘之= 圖樣變成具有退化之外形，並且在與基材之二別θ 了如下切結果之_。此新問題已發現爲嚴重的， 1疋在含上述銃或碘鑌鹽型之光·酸產生劑之光阻。 迟之外形退化爲在含锍或碘鏘鹽型光-酸 之嚴重問題。其乃因爲這些光阻特別地/有比= 二他已知先_酸產生劑之綠較高之敏感度及較高之 解析力，雖然尚未了解其原因。另—方面，JP-A_5_181279、Jp_A 5_32359〇 與 jp_A-6_ ,0:66專利揭示光阻外形退化’其隨主要由曝光至熱處理=時間經過發生’可藉由使用兩種光_酸產生劑之 防止。 在JH5-181279專利，其有藉由使用在曝光時產 I €例如，硫酸）（化合物（光、-酸產生劑）及在曝光時 產生弱酸（例如，碳酸）之化合物之組合，隨曝光至熱處理 (時間經過，抑制光阻表面變成溶解性之效果之説明， 即’形成T -表面。 、、p a_5-j23590專利敘述於曝光後改變光阻膜在顯影溶 、'中之/谷解度之技術。在此技術中，組合使用助於影像形 成I化合物（光·酸產生劑）與無助於影像形成之化合物， 以增加曝光後產生之酸之絕對量，因而降低在光阻表面層 '予在於大氣之雜質消耗之私之相對量。因此，依照以上 -9 - (210X297公釐了 (請先閱讀背面之注意事項 本--再一^本頁) 訂 V m* If— > 五、發明説明（7

—ί !- -I 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之參考^料’隨曝光至孰處 變成溶解性，即，變成：成τ ::經過，抑制光阻表面 解析力。 “形成T-頂表面，因而得到提高之 /Jpt6-130666專利’有強酸與弱酸之組合使用在抑制 光阻膜隨曝光至熱處理之時間絲 丁门，，工過進仃性能改變之相同效 果之説明。 然而’依先仃技藝技術之任何化合物組合在解析度及 抑制光阻圖樣隨曝光至熱處理之時間經過具有降低線寬不 足此外，由防止續;^〈觀點，這些先行技藝技術無法產 生令人滿意之結果。 如上所述，在先行技藝技術，尚未完全得知如何設計滿 足所有所述性貝之正型感光組合物，即，高感光度、高解 祈力及P思B暴光至熱處理之時間經過無光阻圖樣線寬之降 低或T-頂光阻圖樣表面之形成，特別是在使用影像形成 用之易酸可分解基之光阻系統，較少之如殘餘直立波與縐 褶之外形退化。 查要 因此，本發明之目的爲排除上述問題及提供一種正型感 光組合物’其具有高敏感度與高解析力，隨曝光至熱處理 之時間經過不造成光阻圖樣線寬之降低或τ-頂光阻圖樣 衣面（形成’而且不造成如殘餘直立波與縐褶之許多外形 退化。 本發明人考慮上述性質之廣泛調查之結果，已發現以一 種化學放大正型光阻完成本發明之目的，其含下式表 -10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規招 請先閱讀背面之注意事項再衣f ) Μ衣 士 m nn nn · ,ιτ

第申請案 說明書 !補充t 五、發明説福+ 不义疏鹽或下式（1，）表示之碘鑌鹽作為第一光-酸產生 劑’其各具有指定之相對陰離子，及以下通式(II)表示之 N-羥基亞胺基磺酸酯型光-酸產生劑作為第二光-酸產生 劑之組合。 本發明提供具有以下組份之組合物。 (A)—種正型感光組合物，其包含： 一種樹脂，其具有可藉酸之作用而分解之基，以增強樹 脂在鹼性顯影溶液中之溶解度，及 式（I)或（Γ)表示之化合物及式（11)表示之化合物，作為 在以光化射線或輻射照射時可產生磺酸之化合物： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

X (工）

(I % X'〇3S:

Rs · 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 其中

Ri 土 R5，其可相同或不同，各表示氩原子、烷基、 基、烷氧基、羥基、鹵原子、或4-12表示^基， R!2表示烷基或芳基，及 R6 土 ’其可相同或不同’各表 環垸 在此 氫原子、烷基、環境 -11 本紙張尺度適用中國国家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 482945 第86113455號專利申請案 縣臂-1 3月） . · . A7 B7 五、 1¾¾ 説明 基、晞基、-COOR^3表示之基（其中Ri3表示烷基或婦 基），或-〇c〇rm表示之基（其中Rm表示烷基或烯基）， 其條件為’ Re至Rs至少之一為烷基、碌烷基…c〇〇Ri3 表tfi基、-〇〇：01114表示之基、或烯基，及在以至以之二 為氫原子時’則剩餘一個表示具有6個碳原子或更多之烷 基、具有5個碳原子或更多之環烷基、具有6個碳原子或 更多疋晞基、-COORh表示之基（其中Ri3為具有5個碳原 子或更多之烷基或烯基）、或_〇c〇Ri4表示之基（其中為 具有5個碳原子或更多之烷基或缔基）；一 0 R9、C 丨—^ I； N-0-S02—Rn (II)

Rl/H … . 10 〇 其中

Cl與C2各為碳原子並且經單键或雙鍵而彼此鍵結， R9與R10，其可相同或不同，滿足任何以下（丨）至（4 ): (1 )R9與R1G各獨立表示氫原子、烷基、環烷基、或芳 基， (2 ) R9與R1Q組合g與C2形成單或多環基，其可含一或更 多之雜原子， (3)R9與R1Q形成含(^與（：2之稠芳族環， (4 )1與R1G至少之一表示含n—磺氧基亞胺基之殘基； 及

Rn表π烷基、鹵化烷基、環烷基、烯基、可具有取代 -12- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 輕濟部中夬標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（10 ) 基之芳基、可具有取代基之芳烷基、或樟腦基。 (B) 如以上（A)所述之正型感光組合物，其含具有3,〇〇〇 或更低分子量之低分子酸可分解溶解抑制化合物，其具有 可被酸分解之基，並且因酸之作用顯示化合物在鹼性顯影 溶液之增強溶解度。 (C) 如以上（A)或（B)所述之正型感光組合物，其含不溶 於水中及溶於鹼性水溶液中之樹脂。 (D )如以上（A )至（C )任何之一所述之正型感光組合物， 其中具有藉酸之作用分解以增強在鹼性顯影溶液中之溶解 度之基之樹脂具有縮酸1基作爲酸可分解基。 (E ) —種正型感光組合物，其包含 式（I)或（I )表7F之化合物及式（II)衣不之化合物，作爲 在以光化射線或輻射照射時產生磺酸之化合物， 一種具有3,000或更低分子量之低分子量酸可分解溶解 抑制化合物’其具有可藉酸分解之基，並且藉酸之作用在 鹼性顯影溶液中顯示增強之溶解度，及 一種不溶於水中及溶於鹼性水溶液中之樹脂。 (F)如以上（A)至（D)任何之一所述之正型感光組合物， 其進一步含具有1，〇〇〇或更低分子量之低分子化合物，其 不溶於水中及溶於鹼性水溶液中。 藉由上述光·酸產生劑組合之使用，即，具有指定相對 陰離子及以上述通式（I)或（I，）表示之鑌鹽型光-酸產生劑 與上述通式（II)表示之N -磺氧基亞胺基型光-酸產生劑， 可得隨曝光至熱處理之時間經過完全無光阻圖型變成具有 -13- 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐 (請先閲讀背面之注意事項再^^本頁) 、可

482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（11 降低線寬或形成T -頂表面問題，及無光阻圖型具有殘餘 直立波而且進行如縐褶之外形退化問題之光阻。因此，可 得具有高敏感度、高解析力、及優良外形之光阻圖樣。以 上爲元全未意料之結果，其完全未由含鑌鹽型光·酸產生 劑或N-磺氧基亞胺基型光-酸產生劑之任何光阻見到。 發明之詳細説明 用於本發明之化合物詳細解釋於下。

Li ]通式（I)或Π，）表示乏光-酸產生劑 通式（I)或（I，）中&至尺5表示之烷基之實例包括具有j至 4個碳原子者，如甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、 第二丁基、與第三丁基。環烷基之實例包括具有3至8個 碳原子者，如環丙基、環戊基、環己基、與環辛基。烷氧 基之實例包括具有1至4個碳原子者，如甲氧基、乙氧 基、丙氧基、丁氧基。鹵原子之實例包括氟、氯、漠、與 峨。-S-Ru中Ru表示之烷基之實例包括具有1至*個碳原 子者，如甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、第二丁 基、與第三丁基，及Ru表示之芳基之實例包括具有6個至 14個碳原子者，如苯基、曱苯基、二甲苯基、菜基、與 萘基。 R6至Rs表示之烷基之實例包括具有1至2 〇個碳原子之線 形或分支烷基。在R0至Rs之二各爲氫原子之情形（例如， R6爲烷基及R7與Rs各爲氫原子），則剩餘一個表示之燒基 較佳爲具有至少6個，較佳爲6至2 0個，更佳爲6至i 6個 碳原子之線形或分支坑基。由防止隨曝光至熱處理之時間 -14 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNs ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再本頁} -訂 482945 ' A7 ---— B7 五、發明説明（I2 ) 經過發生光阻圖樣線寬降低之觀點，具有6至16個碳原子 (分支烷基特佳。如果烷基具有5個或更少之碳原子，在 一般光阻溶劑中無法得到足夠之溶解度。如果烷基具有 21個或更多之碳原子，敏感度與解析力降低。 在R0至Rs中僅一個爲氫原子或均無氫原子之情形（例 如，在h爲氫原子及心與!^各爲烷基或R6SR8&爲烷基 之情形），則IU至之剩餘兩個或全部表示之烷基各較佳 局具有1至1 6個，更佳爲j至丨4個碳原子之線形或分支烷 基。特別地，由敏感度之觀點，具有個碳原子之線 形或分支烷基特佳。如果烷基具有17個或更多之碳原 子’敏感度與解析力降低。 R6至Rs表示之環烷基之實例包括具有3至2 〇個碳原子 者然而，在R6 土 RS之一各爲氫原子之情形（例如，&爲 環烷基及心與心各爲氫原子），則剩餘一個表示之環烷基 具有5個或更多，較佳爲5至2〇個，更佳爲5至16個碳^ 子。如果裱烷基具有4個或更少之碳原子，在一般光阻溶 劑中無法得到足夠之溶解度。如果烷基具有2丨個或更多 之碳原子，敏感度與解析力降低。 维濟部中央標準局員工消費合作社印製 在R6至Rs中僅一個爲氬原子或均無氫原子之情形（例 如，在R6爲氫原子及I與各爲環烷基或I至&各爲環 烷基之情形），則R0至Rs之剩餘兩個或全部表示之環烷= 各較佳爲具有3至16個，更佳爲3至14個碳原子之環浐 基。特別地，由敏感度之觀點，具有3至i 2個碳原子之環 烷基特佳。如果環烷基具有丨7個或更多之碳原子，敏^ ___ 15_ 本紙張尺度適用中關家標準（CNS ) A4規格（2iGX297公瘦) ' —~---- 482945 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（13 度與解析力降低。 I主R8表示之烯基之實例包括具有2至2 〇個碳原子之線 形或分支烯基。在R6至L之二各爲氫原子之情形（例如， R6爲烯基及R7與R8各爲氫原子），則剩餘一個表示之烯基 /、有6個或更多，較佳爲6至2 〇個，更佳爲6至丨6個碳原 子如果烯基具有5個或更少之碳原子，在一般光阻溶劑 中無法得到足夠之溶解度。如果烯基具有2丨個或更多之 碳原子，敏感度與解析力降低。 在I至I中僅一個爲氫原子或均無氫原子之情形（例 如，在I爲氫原子及I與Rs各爲烯基或I至&各爲烯基 之情形），則R0至Rs之剩餘兩個或全部表示之烯基各較佳 爲具有2至丨6個，更佳爲2至14個碳原子之線形或分支烯 基。特別地，由敏感度之觀點，具有2至12個碳原子之線 形或分支烯基特佳。如果烯基具有1 7個或更多之碳原 子，敏感度與解析力降低。 在R6至R8表示之-C〇OR13與-0C0Rl4中Ri3與&表示烷 基之實例包括具有1至20個碳原子之線形或分支燒基。在 R6至Rs之二各爲氫原子之情形（例如，R Λ 八6 -COORu表示 之基及R7與Rs各爲氯原子之情形），則剩餘_個所含 或]^4表示之燒基爲具有5個或更多’較佳爲6至2〇個\ = 佳爲6至丨6個碳原子之線形或分支燒基。如果燒基且有4 個或更少之破原子，在-般光阻溶劑中無法得到足夠之溶 解度。如果烷基具有21個或更多之碳屌 灭原予，敏感度與解 析力降低。 -16 - 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再本買) 訂 A7 B7 五、發明説明（Μ 在R6至Rs中僅一個爲氫原子或均無氫原子之情形（例 如’在R6爲氫原子及R7與R8各爲_COOR13表示之基或反6至 Rs各爲-C00Rls表示之基之情形），則R6至Rg之剩餘兩個 或全评中尺13與R"表示之烷基較佳爲具有1至16個，更佳 爲1至1 4個碳原子之線形或分支烷基。特別地，由敏感度 之觀點’具有1至〗2個碳原子之線形或分支烷基特佳。如 果坑基具有17個或更多之碳原子，敏感度與解析力降 低。 在心至R8表示之_C00R13與-OCOR14中r13與r14表示之 烯基之實例包括具有2至20個碳原子之線形或分支烯基。 在FU至Rs I二各爲氫原子之情形（例如，h爲_c〇〇Ri3表 不I基及R7與Rs各爲氫原子之情形），則剩餘一個所含

Ru或Rm表示之烯基爲具有5個或更多，較佳爲6至2〇 個，更佳為6至1 6個碳原子之線形或分支烯基。如果烯基 具有4個或更少之碳原+，在一般光阻溶劑中無法得到足 夠之溶解度。如果烯基具有21個或更多之碳原子，敏感 度與解析力降七。 在之-爲氫原子或均無氫原子之情形（例如，在 經¾•部中央標準局員工消費合作社印製 R6爲氫原子及R7與r8各爲-CC)r^ 本-、计> ^ 表不心基或R6至R8各 爲-COORu表示之基之情形）， 、 、 ’ 」K6至R8足剩餘兩個或全 邵中Ru與R14表示之稀基較伟皂㈢ 1 !奴佳馬具有2至1 6個，更佳爲2 至1 4個碳原子之線形或分彡燎| . 乂又綿基。特別地，由敏感度之 觀點，具有2至1 2個碳原子之蚱形十\^ & <、、泉形或分支烯基特佳。如果 烯基具有1 7個或更多之碳原子，# ^、 灭原子，敏感度與解析力降低。 本纸張尺度賴中國國家標準（CNS ) ( 17- 482945 A7 B7 五、發明説明（I5 之一爲取代基之情形（即，一個並非氫原子及 其他局氫原子），取代基之較佳實例包括具有6至^ 6個竣 原子之線形或分支烷基及彻Rn表示之基，其中r“具 有6至16個碳原子之線形或分支烷基或烯基。在&至心之 二或全部各爲取代基之情形（即，心至1之二或全部均非. 氫原子）’取代基之較佳實例包括具有1至i 2個碳原子之 線形或分支烷基、-COORu表示之基，其中Rn爲具有J至 12個碳原子之線形或分支烷基，及-〇c〇Ri4表示之基，其 中Rh爲具有1至1 2個碳原子之線形或分支烷基。 通式（I )或（Γ )表示之光-酸產生劑在組合物中之含量基 於所有固體成份之總量希望爲005至2〇重量％。其含量較 佳爲0.1至1 0重量％，更佳爲〇 2至7重量。/〇。 通式（I)或（I ’）表示之光-酸產生劑單獨或以二或更多之 組合使用。 這些化合物之指定實例示於以下，如（I - 1 )至（I - 2 6 )及 (Γ-1)至（Γ-15)。然而，通式（I)或（Γ)表示之光-酸產生 劑不應受其限制。 (請先閲讀背面之注意事項再lUr本頁〕 -訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（I6 P-1]

'〇3s^ υ C12H25

1) c12烷基爲具有任何分支結構之殘基 P-2] 〇3S^〇^C8H17n (請先閲讀背面之注意事項再_舄本頁) 衣· 舄木 P - 3]

〇-?+ °3S-〇T

Cl〇H2i

、1T

[1-4] 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 [I - 5]

ch3

c2h5 〇3s^-c2h5

-19 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 經濟部中央標準局，員工消费合作社印製

(請先閲讀背面之注意事項再本頁) _衣·· 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 訂 482945 A7 B7 五、發明説明（is ) [Ml] ch3

H3CHQ-S+ '°3S^0^ 1)Cl2H25

CH, [M2]

H3CO-^Q-S+ 〇3S^Qf 1) ^12^25

[M3]

{c4u9o^Q^-s h3c °3S~^^~C^3

H3C 41

經濟部中央標準局員工消費合作社印製

151 1 I hs p H303H3ό $0

3 3 Η H 3 H c 03s

1)25 H 2 cl 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐) 482945 A7 B7 五、發明説明（19 ) [1-16]

〇-S+ 〇3S-^Q COOC8HI7r Ρ]7]

O-i* 〇ss-Q COOCH2(CH2)2CH-CH(CH2)2CH3 [1-18]

〇3s^Q COOC18H37n [1-19]

〇-s+ 〇3s-^> 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

C〇〇C12H25n [1-20]

〇-s+ OsS-Q COOCH^CH^CHCCHb), -22 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（21 [Γ]] 0^!±0 °3s-^〇^C8H17" [Γ-2] 0^!±0 °3s-〇"

Ci2H25 [1-3] h3c 03S H3c

ch3 ch3 ch3 (請先閱讀背面之注意事項 -»!裝！ 本頁) dm]

H3C 0~I：L0 CH, h3c

、-IT 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 [1-5] h3c~〇^i：l<〇^ch3 〇3s~<Qr [Γ-6] 1) ^η9ο^0-ι^〇-〇〇4η^ o3s-<QrCl2H25 [Γ-7]

〇3S~Q COOC6Hr

[Γ-SJ

Q^!±0 〇3s~Q COOC^H^ 24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（22 ) [Γ-9]

Ο-ΐΌ '〇3S-Q COOCH2(CH2)6CH(CH3)2 PL10] [Γ-11] [Γ-12]0^!±0 POOQH^

〇3S 03s COOC^^0 COOCH2CH=CH3 cooch2ch-ch3 "o^-O-COOCnH^ DM3]

H3COH〇>-I^<Q-〇CH3 〇3S-<QV-COOCliH 2) 23 P-14] 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 tC4H9〇-<〇M±<Q>-〇C4H9t 〇3SH〇^C〇〇ChH：^) [r -15] H3C~0^I：t〇-CH3 OiSHQ^COOCHH^ -25- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α·4規格（210X297公釐） 482945 A7 ---------B7 五、發明説明（23 ) 『21式απ表示之光產生劑 在通式（11)中足、與反⑴爲情形（1)時，烷基之實例包括 具有1主4個碳原子者，如甲基、乙基、丙基、異丙基、 正丁基：第二丁基、與第三丁基。環烷基之實例包括具有 3至8個碳原子者，如環丙基、環戊基、環己基、與環辛 基。方基之實例包括具有6至14個碳原子者，如苯基、甲 苯基、二甲苯基、菜基、與莕基。 在R9與R1()爲情形（2 )時，其實例包括以下之結構。

03; QC： f；

OD； 在R9與Rio爲情形（3 )時，其實例包括以下之結構 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -26- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐） 482945 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 i、發明説明（24 )

在h與爲情形（4)·時，其實例包括以上關於情形（ι) 至⑺列舉之結構，其各進—步具有至少—個各經單键或 以下任何一價有機基鍵結之N _磺氧基亞胺基殘基。以下 之連接基單獨或以二或更多之組合使用。 二價有機基之實例包括： -0-、-S-、-SO-、-S〇2-、-NH-、-c〇_、c〇2、 -NHS02-、-NHC0-、_NHC02-、及

U、中尺^與心6各表示氫原子或甲基）。在情形，式（Η) 又化合物具有至少兩個如以下例示之化合物（〗Ι·3 3 )至 (ΙΙ-3 5)中之Ν-磺氧基亞胺基結構。 在通式（II)中之Ru表示之烷基之實例包括具有【至“ 個，較佳爲1至16個，更佳爲1至12個碳原子之線形或分 本紙張;適 國家標準（CNS ) M規格（2ι〇χ 297公襲） --—---

482945 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

482945 A7 B7 五、發明说明（26 ) 氯、漠、與破。芳基與芳挺*基可具有二或更多種之取代 基。Ri 1表示之樟腦基示於如以下例示之化合物（〗〗_ 2 〇 )。 通式（II)表示之光-酸產生劑之含量基於所有固體成份 之總量希望爲0.05至2 0重量°/〇。其含量較佳爲〇丨至1 〇重 量％，更佳爲0.2至7重量％。 通式（II )表示之光-酸產生劑對通式（I )或（I，）表示之比 例（（11)/(1)或（I，）之重量比例）較佳爲1/99至99/1，更佳 爲5/95至95/5，最佳爲10/90至90/10。如果各光-酸產 生劑之比例低於1 %，無法得到本發明之效果。 通式（11)表示之化合物之指定實例示於以下如（11 - 1 )至 (11 - 3 5 )。然而，通式（II)表示之光-酸產生劑不應受其限 制0 (請先閱讀背面之注意事項本頁) 、11 經濟部中央標準局員工消費合作社印家 -29- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（21〇X 297公釐） 482945 Μ Β7 五、發明説明（27 ) PI-2] PI-3]

[Π-4] V ρ

F

[ΙΙ-5] 〇 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 [Π - 6]

〇

CH, -30- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（28 ) h3c[II - 8]

0 k-〇-s〇: 〇 〇ch3 α

OCH 3 PI-9] H3co 〇

OCH 3 [II-10]

N-〇-S02-CH3 〇 〇 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 [II-12]

N~〇-S02-C8H17r 〇 〇

N - 〇-S〇2-CF3 〇 -31 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（29

N-〇SOrCH2-<Q) 〇 [II -14] H3C. h3ct p ^N-O-SO；b 〇 請 先 讀 背 φ - 之- 注 意 事 項

[11-16] h3c、 H3c- ] H3C, h3ct X^n-o-so2^Q- OCH- 3 〇 〇

N-O-SO

ch3 o h3c pi -17] h3c， h3c 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 〇 P h3c N-O-SO o h3c

h3c， h3c. 〇 -32- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

F N-O-SO,

-F

F F 482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（31 [11-26] N-〇-S〇2 ch3 [11-27]

〇 N-0-S0: 〇 普 ch3 請 閲 Ί 讀_ 背 面·| 之 注 [11-28]

CH3

[11-30] 項 _i 5 ‘ 頁 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 [11-32] [Π-31]

〇CH3

n-o-so2 普

Cl -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4洗格（2!0X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（33 ) f 3 1其他可用之光-酸產生劑 通式（I)或（Γ)表示之化合物及通式（π)表示之化合物可 組合一或更多種其他化合物使用，其在以光化射線或輻射 照射時分解而產生酸。 視情況使用之光-酸產生劑對依照本發明使用之通式（工） 或（Γ)表示之光-酸產生劑與通式（〗Ζ )表示之總和之比例 (重量比例）爲60/40或以下，較佳爲40/60或以下，更佳 爲2 0 / 8 0或以下。如果依照本發明之光-酸產生劑之比例 低於4 0 / 6 0，無法得到本發明之效果。 組合指定光-酸產生劑使用之此種光-酸產生劑之實例包 括陽離子性光聚合用光引發劑、基團聚合用光引發劑、染 料用光著色劑、光學變色劑、及藉光之作用產生酸之並且 用於微光阻之已知化合物等。這些選用光-酸產生劑可適 當地單獨或如其二或更多之混合物使用。 其指定實例包括鑕鹽，如重氮鹽，其敘述於，例如，S.I.

Schlesinger，Photogr· Sci. Eng·，18，376 (1974)與 T.S. Bal 等 人之Polymer，21，423 (1980);銨鹽，其敘述於，例如美國 專利4,069,055與4,069,056，美國再頒發專利27,992，及曰 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本專利申請案3 -14 0，14 0 ;鱗鹽，其敛述於，例如，D. C.

Necker 等人之Macromolecules，17，2468 (1984)，C.S· Wen 等 人之 Teh，Proc. Conf. Rad. Curing ASIA，ρ· 478 Tokyo，Oct (I988)，及美國專利4,〇69,〇55與4,〇69,〇56 ;破鑕鹽，其敘 述於，例如，J.V. Crivello 等人之Macromolecules，10 (6)， 1307 (1977)，Chem. & Eng· News，Nov. 28，ρ· 31 (1988)，歐 -36- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210^297公釐） ^ ^' 482945 A7 B7 Γ 11 — 五、發明説明（34 ) 洲專利 104，143 ，美國專利 339,049 與 410,201, JP-A-2-150,848 及 JP-A-2-296,514 ;锍鹽 '，其敘述於，例如，J.V. Crivello 等人之 Polymer J·，17，73 (1985)，J.V. Crivello 等人 之 J· Org. Chem·，43，3055 (1978)，W.R. Watt 等人之 J· Polymer Sci.，Polymer Chem· Ed.，22，1789 (1984)，J V· Crivello 等人之 Polymer Bull·，14, 279 (1985)，J.V. Crivello 等人之 Macromolecules，14 (5)，1141 (1981)，J.V· Crivello 等 人之 J· Polymer Sci·，Polymer Chem. Ed·, 17，2877 (1979)， 歐洲專利 370,693，3,902,114，233,567，297,443，與 297,442 ，美國專利 4,933,377 ，161，811 ，410,201 ， 經濟部中央標準局員工消費合作社印¾ 339,049，4,760,013，4,734,444 與 2,833,827，及德國專利 2,904,626，3,604,580 與 3,604,581 ; f酉鹽，其敘述於，例 如，J.V. Crivello 等人之 Macromolecules，10 (6)，1307 (1977) 與 J.V· Crivello 等人之 J. Polymer Sci·，Polymer Chem· Ed.， 17, 1047 (1979);及钟鹽，其敘述於，例如，C.S. Wen等 人之 Teh，Proc. Conf· Rad. Curing ASIA，ρ· 478 Tokyo，Oct· (1988)。其指定實例進一步包括有機鹵化合物，其敘述 於，例如，美國專利3,905,815，JP-B-46-4605 (在此使用 之名詞·’ JP-B，，表示已審查之日本專利公告），斤-八-48-36281，JP-A-55-32070，JP-A-60-239736，JP-A-61-169835， JP-A-61-169837，JP-A-62-58241，JP-A-62-212401，JP-A-63-7〇243，JP-A-63_298339 ;有機金屬化合物/有機鹵化物組 合’其敘述於，例如，K. Meier等人之J. Rad. Curing，13 (4)，26 (1986)，Τ·Ρ· Gill 等人之lnorg. Chem.，19, 3007 (1980)， __37_ 本紙張尺度適用中Ϊ國家CNS ) A4規格了21〇χ 297公釐1 482945 A7 B7 五、發明説明（35 ) D. Astruc，Acc. Chem. Res·，19 (12)，377 (1896)，JP-A-2-161445 ;具有鄰-硝基苄基型保護基之光-酸產生劑，其敘 述於，例如，S. Hayase 等人之 J. Polymer Sci.，25，753 (1987)，Ε· Reichmanis 等人之 J. Polymer Sci.，Polymer Chem· Ed·，23, 1 (1985)，Q.Q. Zhu 等人之 J. Photochem·，36, 85, 39, 317 (1987)，B. Amit 等人之 Tetrahedron Lett.，（24) 2205 (1973)，D.H.R. Barton 等人之 J· Chem Soc·，3571 (1965)，P.M· Collins 等人之 J. Chem. Soc·，Perkin I，1695 (1975)，M. Rudinstein 等人之 Tetrahedron Lett·，（17)，1445 (1975)，J.W. Walker 等人之 J. Am. Chem. Soc.，110，7170 (1988)，S.C. Busman 等人之 J. Imaging Technol·，11 (4)，191 (1985)，H.M· Houlihan 等人之 Macromolecules，21，2001 (1988)，P.M. Collins 等人之 J. Chem. Soc_，Chem. commun·，532 (1972)，S. Hayase 等人之 Macromolecules，18，1799 (1985)，E.

Reichmanis 等人之 JL Electrochem. Soc.，Solid State Sci. Technol·，130 (6)，F.M. Houlihan 等人之 Macromolecules，21， 2001 (1988)，歐洲專利 0,290,750，046,083，156,535， 271,851，與 〇,3 88,343，美國專利 3,901，710 與 4，181，531， JP-A-60-198538，及 JP-A-53-133022 ;光分解而產生磺 酸，並且以亞胺基橫酸酯表示之化合物，其敘述於，例 如，M· Tunooka 等人之 Polymer Preprints，Japan，35 (8)，G. Berner 等人之 J. Rad. Curing，13 (4)，W.J. Mijs 等人之 Coating Technol·，55 (697)，45 (1983)，Akzo，Η· Adachi 等人 之 Polymer Preprints，Japan，37 (3)，歐洲專利 0，199,672， 38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 閲 讀 背 之 . 注 意. 事 項 再一 寫 本 頁 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 482945 A7 B7 五、發明説明（36 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 84,515，199,672，044，115 ，與 0，101，121 ，美國專利 618,564，4,371，605，與 4,43 1，774，JP-A-64-1 8143，JP-A-2-245756，及日本專利申請案3-140109 ;及二颯化合物，其 敘述於，例如，JP-A-61-166544。 此外，可使用藉由將藉酸之作用產生酸之基或化合物加 入聚合物之主幹或側鏈而得之化合物。此聚合化合物之實 例示於，例如，M.E. Woodhouse等人之J. Am. Chem. Soc·, 104, 5586 (1982)，S.P. Pappas 等人之 J. Imaging Sci.，30 (5)， 218 (1986)，S· Kondo 等人之 Makromol. Chem·，Rapid Commun·，9,625 (1988)，Y. Yamada 等人之 Makromol· Chem.， 152，153，163 (1972)，J.V. CrWello 等人之 J. Polymer Sci.， Polymer Chem. Ed.，17, 3845 (1979)，美國專利 3,849，137， 德國專利 3,914,407，斤-八-63-26653，斤-八-55-164824，1卩-A-62-69263，JP-A-63-146038，JP-A-63-163452，JP-A-62-153853，及 JP-A-63-146029。 亦可使用爲藉光之作用產生酸之化合物，例如，敘述於 V.N.R. Pillai 之合成，（1 )，1 ( 1980)、A· Abad 等人之 Tetrahedron Lett., (47) 4555 (1971)、D.H.R. Barton 等人之化 學協會期刊，（C)，329 (1970)、美國專利3,779,778、及歐 洲專利126,712。 上列之以光化射線或輻射照射時產生酸之視情況使用化 合物，特別是有效化合物，解釋於下。 (1 )以下通式（PAG1)表示之經三鹵甲基取代嘮唑衍生物及 以下通式（PAG2)表示之經三鹵甲基取代s -三畊衍生物。 -39 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 請 先 閲 讀 背 δ % 事 項

妾 裝 訂 482945 A7 B7 五、發明説明（37 ) N—N // W C C R201〆、C(Y)3 (PAG1)

N R Λ 202

(Y)3C C(Y)3 (PAG2) 在上式中，R2G1表示經取代或未取代芳基或烯基；R2G2表 示經取代或未取代芳基、烯基、或烷基或-C(Y)3 ;及Y表 示氯或溴原子。 其指定實例示於以下，但是通式（PAG1)或（PAG2)表示 之化合物不應視爲限制之。

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -40 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（38 N—N CH = CH_ C、〇3 一 cci3 (PAG1 -1) CH心 N—N CH=CH-C、 C-CCI3 (PAG1—2) CH3〇 o- N—N^ // u CH 二 CH - C'q/C - CB r3 (PAG1-3) y=. N-N (n)C4H9O^^CH = CH~cf })-CCl3 rPAGl — 4)

f—N CH=CH—vc-cci3 (PAGl-5) -N •CH 二 CH^y-C、〇j： 一 CC】3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(PAG1-6) N—N CH^CH-tf C-CCI3 \(T J (PAG1-7) 二CH = CH—(》-CCl3 (PAG1-8) -41 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 29*7公釐） 482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

482945 A7 B7 五、發明説明（4〇 )

(PAG2-10) (2)以下通式（PAG3)表示之碘鑌鹽及以下通式（PAG4)表示 之疏鹽。

Ar1 r203 \ , …\ I丁 Z 一 A 2/ R204-2； / r205 CPAG3) (PAG4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丹填 裝· 訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 在上式中，Ar1與Ar2各獨立表示經取代或未取代芳基。 較佳取代基包括烷基、南烷基、環烷基、芳基、烷氧基、 硝基、羧基、烷氧基羰基、羥基、硫醇基、與函原子。 R2〇3、R2〇4、與R2〇5各獨立表示經取代或未取代烷基或芳 基，而且較佳爲表示具有6至14個碳原子之芳基、具有1 至8個碳原子之烷基、或其取代衍生物。芳基之較佳取代 基包括具有1至8個碳原子之烷氧基、具有1至4個碳原子 之烷基、硝基、羧基、與自原子。烷基之較佳取代基包括 具有1至8個碳原子之烷氧基、羧基、與烷氧基羰基。 -43- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（41 ) Ζ·表示相對陰離子，特別是全氟烷屬烴陰離子，例如， CF3S03-，或五氟苯磺酸陰離子。 R2〇3、R2G4、與R2〇5之二可經單键或其取代基彼此键結。 Ar1與Ar2可類似地彼此键結。 其指定實例示於以下，但是通式（PAG3)或（PAG4)表示 之化合物不應爲視爲限制之。 請 先 閲 讀 背 面 i 事 項

經濟部中央標準局員工消费合作社印製 -44- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（42

CF3S03 (PAG3-1) QCH3 cF3S03^ (PAG3 - 2)

CF3S〇3

N〇2 CF3SO3 (PAG3-4)

Η3〇~\ //—CH3 CF3SO3 (PAG3-5) 經濟部中央標隼局員工消費合作杜印製

(PAG3-6) CF3SO3 -45- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（43 ⑸ 〇7丑15一^^~:

(n)C7H15 CF3SO3 (PAG3 - 7) C1

CI CF3SO3 (PAG3 - 8) ?3° Vy r，~\ ^CF3 CF3SO3 (PAG3 - 9)

H3C〇〇C , COOCH3 (PAG3-I0) CF3S〇3

Cl

Cl (PAG3 — 11) CF3S〇3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

\\ /；—工 *— —tBu (PAG3-12) CF3SO3 -46- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（44 )

CF3S〇3 CPAG3-13)

CF3S〇3

Cl (PAG3-14)

CF3S〇3 (PAG3 —15)

F F

(PAG3 —16) p p 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 o (PAG3-17)

CsF17S〇3 -47 本紙張尺度適用中S國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（45

Or. s' cf3s〇3 3 (PAG4-1)

•S， C8F17S〇3 (PAG4—2)

S' (PAG4-3)

F F FA />S03

H3C

s y/-〇C2H5j CF3SO3 (PAG4-4)

H3CO

CF3SO3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 H〇

3Hc 一 3 十H SIC (PAG4 — 6) -48- 本紙張尺度適用中國國家標準（eWS ) A4規格（210X297公釐） CF3S〇3 — 482945 A7 B7 五、發明説明（46 )

(PAG4-7) CF3S〇3 H0 CF3SO3 (PAG4 - 8) H3co HO h3co

s· CF3SO3 (PAG4-9) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (n)C4Hg

CF3SO3

CF3SO3 -49- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（48

Cl 0 c-ch2—s. CF3S〇3 CPA G4 -17) 0 厂^ CF3SO3 (PAG4-18)

〇 Π C — CH2-S‘ CF3S03 (PAG4—19)

〇 Π' 丄 C-0¾-干· -(η)〇4ΐΪ9 (n)C4Hg (PAG4-20) CF3SO3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

C8F17SO3

S Ό~ s，

CF3SO3 (PAG4-22) -51 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（49

(s 2CF3SO3'

OC2H5 __ 〇 π

F

F

.F T F (PAG4-25) F 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -52- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（5〇 通式（PAG3)與（PAG4)表示之碘鑕鹽爲已知的。例如， 其可藉由敛述於，例如，J.W. Knapczyk等人之J. Am. Chem. Soc·, 91，145 (1969)，A.L. Maycok 等人之 J. Org. Chem·，35, 2535 (1970)，E. Goethas 等人之 Bull. Soc. Chem. Belg.，73，546 (1964)，H.M· Leicester，J. Ame. Chem. Soc.，51， 3587 (1929)，J.V. Crivello 等人之 J. Polym. Chem. Ed.，18, 2677 (1980)，美國專利 2,807,648 與 4,247,473，及 JP-A-53-101331。 (3 )以下通式（PAG5)表示之二颯衍生物 Ar3-S02-S02-Ar4 在上式中，Ar3與Ar4各獨立表示經取代或未取代芳基。 其指定實例示於以下，但是通式（PAG5)表示之化合物 不應視爲限制之。 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 頁 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -53- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

482945 A7 B7 五、發明説明（52

ch3

s〇2—s〇2 (PAG5-10)

〇CH3 C1

〇CH3

經濟部中央標準局員工消費合作社印製

F F p F

Ff^-S02 —S〇2-^^F

F F F F (PAG5-13) S02-S02 (PAG5-14) -55 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2：[〇X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（53 f 4 1具有藉酸之作用分解以增強在鹼性顯影溶液中之溶解 度之基之樹脂 具有可藉酸之作用分解以增強樹脂在鹼性顯影溶液中之 溶解度之基之樹脂，其可加入依照本發明之化學放大光 阻，爲主幹及/或其側鏈，較佳爲在其側鏈，具有酸可分 解基之樹脂。 可藉酸之作用分解之基較佳爲-COOAQ或-0-BG表示者。 含這些基之基之實例爲-RG-COOAG或Ar-0-BG表示者。 A0表示、或 -C(R°4)(RQ5)-0-R°6，及 B°表示-A。或-C0-0-A。。（R°、R。1 至 R06，及A r具有如以下定義之相同意義。） 酸可分解基之希望實例包括矽烷醚基、異甲苯基、縮醛 基、四氫I喃醚基、四氫旅喃酯基、晞醇醚基、烯醇酯 基、第三燒醚基、第三燒醋基、與碳酸第三燒S旨基。其中 較佳之酸可分解基爲相當易藉酸分解者，如矽烷醚基、縮 醛基、與四氫哌喃醚基，特別是縮醛基。其乃因爲在組合 本發明之光-酸產生劑使用時，此易酸可分解基在製造本 發明之效果較有效，即，高敏感度與高解析力、隨曝光至 熱處理之時間經過無光阻圖樣線寬之降低及無T -頂光阻 圖樣表面之形成，及抑制殘餘直立波與如縐褶之外形退 化。 在這些酸可分解基如側鏈键結至樹脂之情形，此樹脂爲 在側鏈具有-0H或-COOH基之鹼溶性樹脂，較佳爲-Rg-COOH或-Αγ-ΟΗ基。鹼溶性樹脂之實例示於以下。 56 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 Η 賣 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 '發明説明（54 ) w些鹼落性樹脂具有希望爲17〇A/秒或更高較佳爲 m〇a/秒或更南之鹼溶解速率，如在23。〇於〇 26i n四甲 按氫氧化物（TMAH)中所測量。 由ί于到長方形外形之觀點，希望爲具有高遠紫外線或激 發二聚體雷射束穿透率之鹼溶性樹脂。丨厚之樹脂膜 較佳爲在248 nm之波長具有2〇至90%之穿透率。 由以上t觀點，特佳之鹼溶性樹脂爲聚（鄰_、間-或對· 羥基苯乙烯）、其共聚物、氫化聚（羥基苯乙烯）、經南或 认基取代聚（羥基苯乙烯）、部份〇 _烷化或〇 _醯化聚（羥基 苯乙#)、苯乙烯/羥基苯乙烯共聚物、α _甲基苯乙烯/羥 基苯乙烯共聚物、及氫化酚醛清漆樹脂。 具有用於本發明之酸可分解基之樹脂可藉由反應鹼溶性 樹脂與酸可分解基用之前體，或藉由共聚鹼溶性樹脂單體 铃任何之各種單體而得，例如，如歐洲專利254,853、JP- Α-2-25850、JP-A-3-223860、與 JP-A-4-251259 專利所揭 示〇 具有用於本發明之酸可分解基之樹脂之指定實例示於以 下，但是此樹脂不應視爲限制之。 請 閲 讀 背 之 注 I 項

頁 裝 訂 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 -57- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 _^ 五、發明説明（55 -fCH-CH2)~~(CH-CH2h- -fCH-CH2)~~(CH-CH2r

〇tBu (i) 0H

—(CH— CH^)-

〇一 C_〇一 tBu II 〇 (iii)

〇H o-ch~o~ch3· OH CH3 (iv) (CH-CH2)- -(CH-CH2)-(CH-CH2r-

OH

C请先閱讀背ίτ之泣意事項異相寫本頁) 开填寫，' 〇一GIl2 — C 一〇一《Bu !i 〇 (v) ch3 丫 ch3 〇~~CH2~C~0-tBu II 〇 (vi) -iCH-CH2)~(CH- CH2hiCH~ CH2}- ^CH - 0¾}(CH - 0¾ 卜

、1Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 y - w 1 OH 1 OH -C—O — tBu π 〇 (vii)

OH ◦ -CH2-C-〇-tBu li 〇 (viii)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4· (210x297公着） 482945 A7 B7 五、發明説明（56

O-CH9-C-O-C π [ 〇(x)CH3 {CH2CHt-

CH3

(c-ch2}- c〇o—ch3 ch3 -CHh-

I I COOCH3 COOCH3 COO~tBu (xii) CH3 -(CH2-C7- ch3 iCH2-C)- C00-CH2 coo

(xiii) —fCH-CH2)~~(CH-CH2)~~(CH~CH2)~

(xiv) 〇一CH? — C—〇 一 u 11 〇 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 —(CH—CH 汁

f ch- ch2>—(ch- cm— * I I CN CN

(xv) O-CH-O-C2H5 OH ch3 -59- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 Μ Β7 五、發明説明（57 - CH2)-(CH - CH2)~~(CH-CHt- • I I … CN CN ㈣）

OtBu

OH —(CH~CH2)-

fCH~CH2) ^(CH - CHj~ CN CN

OH (xvii) 〇一CIi2 — C 一〇一 tBu il 〇 ch3 一(CH~ CH2) (CH2 - C卜

0®u coo-ch2ch2-oh (xviii) -^CH-CH2>—^cn-CHj-(CH-CHr-◦乂尽人〇〇义以人。

(xix)

OH 〇一C 一〇tBu 11 〇 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(xx) 〇 -60- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（58

ch3 C-CH2)— -fCH-CH2) COO~tBu fCH-CH2 卜

Q — CIi—〇 一 Cqligt 〇JI (xxii) ch3 -iCH-CH2)~~(CH~CH2)

OH

—(CH - CHh〇XnA>〇 I CH3 (xxiii) O^CH? — C-· 0 — Φ11 If 〇 ?h3 -{C- ch2)— -tc- ch2)— COO-tBu COO — ch3 (xxiv)

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、贫叨說明（59 上列之具有藉酸之作用分解以增強在鹼性顯影溶液中之 溶解度之基之樹脂之實例中，較佳爲化合物（ii)、（iv)、 (xiii)、（xv)、（xxii)、（xxv)、與（xxvi)。 關於具有縮醛基作爲酸可分解基之樹脂，上列之以酸可 分解基保護之樹脂中，可藉以下方法加入交聯。以少量加 入分子中含羥基之化合物而以縮醛基保護存在之聚羥基苯 乙烯，於是可得經分子中含羥基之化合物而分子内或分子 間交聯之聚經基苯乙晞鏈。由光阻之耐熱性之觀點，此交 聯系統較佳。 雖然分子中含羥基並且加入以形成交聯之化合物並未特 別地限制，#族化合物爲不希望6勺，因爲其在用於曝光之 紫外線區域非常吸收光化射線或輕射。多經基化合物之實 例包括1，4 - 一羥基裱己烷、2,2 _雙（4，_羥基環己基）丙 烷、三（4 ’ -羥基環己基）乙烷、及異戊四醇。然而，多羥 基化合物不應視爲限制這些實例。 基於接受以縮醛基保護之未保護樹脂之鹼溶性基（例 如，酚系羥基或羧基）數量，分子中含羥基並且用於交聯 之化合物之加成量較佳爲平均〇 〇1至丨〇莫耳％，更佳爲 0.05至5莫耳％ ,最佳爲〇」至3莫耳％。 可被酸分解之基之含量以B/(B + S)表示，其中B爲樹脂 中被酸（酸可分解基）分解之基之數量及§爲未以酸可分解 基保護之鹼溶性基（例如，酚系羥基或羧基）之數量。在非 交聯系統中，酸可分解基之含量較佳爲〇〇5至〇 6，更佳 爲0.1至0.5，最佳爲〇 15至〇45。另一方面，在已加入交 先 閱 讀 背 ιέ 5 項 本 頁 裝 訂 62- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（21〇>< 297公餐 ^(SZ945 A7

482945 A7 B7 五、發明説明（61 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之混合物而使用。例如，可徒用且古』 j仗用具有如縮醛基之易酸分解 基之樹脂及具有如第三垸g旨基之不易酸分解基之樹脂之混 合物。亦可使用非交聯樹脂與交聯樹脂之混合⑯。基於所 有固體成份之總量，這歧樹脂在太恭;、扣曰Λ < 一 W 曰在尽發明中之用量較佳爲 40至98重量％，更佳爲5〇至95首吾。/ U 土 ^ ) f里％。爲了調整鹼溶解 度之目的，不具有酸可分解基之鹼溶性樹脂可進一步加入 組合物。 以下敘述之酸可分解低分子量溶解抑制化合物較佳爲與 酸產生劑及具有酸可分解基之樹脂一起加入組合物。 在此情形，基於感光組合物之總量（除了溶劑），溶解抑 制化合物之含量爲3至4 5重量％，較佳爲5至3 〇重量％， 更佳爲1 0至2 0重量％。 LjJL用於本發明之鹼溶性樹脂 不溶於水及溶於鹼性水溶液之樹脂（以下亦稱爲，，鹼溶性 树脂π)較佳地用於本發明。 用於本發明之驗落性樹脂包括酴酸清漆樹脂、氫化紛趁 清漆樹脂、丙酮-五倍子酚樹脂、聚（鄰-羥基苯乙烯）、聚 (間-每基苯乙烯）、聚（對-羥基苯乙烯）、氫化聚（輕基苯 乙埽）、經自素或烷基取代聚（羥基苯乙烯）、羥基苯乙少希 /Ν-取代順丁烯二醯亞胺共聚物、鄰/對_與間/對-羥基苯 乙烯共聚物、部份0 -烷化聚（羥基苯乙晞）[例如，〇 ·甲 基化、〇-(卜曱氧基）乙基化、〇-(1-乙氧基）乙基化、〇 2_四氫哌喃化、與0-(第三丁氧基羰基）甲基化聚（幾基笨 乙埽），其具有5至3 0莫耳％羥基之取代程度]、〇-酿化聚 -64- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐 讀 先 閲

Si 之 注 意 事 項 裝 訂 482945 第86113455號專利申請案 中文說明書修正頁（9〇年12月） (經基苯乙缔）[例如，〇-甲驢化與〇-(第三丁氧基）談化 聚（羥基苯.乙烯），其具有5至3〇莫耳％羥基之取代程 度]、苯乙晞/順丁晞二奸共聚物、苯乙婦/經基苯乙缔共 聚物、α-甲基苯乙烯’羥基苯乙婦共聚物、羧化甲基丙缔 私系樹月曰、及其何生物。然而，用於本發明之鹼溶性樹脂 不應視為限於這些實例。 特佳之鹼溶性樹脂為酚醛清漆樹脂、聚（鄰-羥基苯乙 晞γ聚（間-羥基苯乙埽）、聚（對_羥基苯乙婦）、這些羥 基苯乙烯之共聚物、部份〇-烷化或〇-醯化聚(羥基苯乙 =)、苯乙婦/經基苯乙缔共聚物、及α甲基苯乙締/經基 苯乙婦共聚物。紛駿清漆樹脂藉由在酸觸媒之存在下，加 成縮合-或更多特定單體作為主要成份與一或更多醛而 特定單體之實例包括羥化芳族化合物，如酚、甲酚 即，間-甲酚、對-甲紛、與鄰·甲酚，二甲苯酚，例如 2 ’ 5 一甲苯g分、3，5 _二甲苯g分，3，4 _二甲苯驗、與2 ^ 二甲苯紛，職紛，例如，間-乙基紛、對-乙基酚、· 乙基酚、對-第三丁基酚、對_辛基酚、與2，、5-三甲 酚，烷氧基紛，例如，對-甲氧基盼、間-甲氧基齡、3，: 一甲氧基酉分、2 -甲羞装I 浓甘立、 氧基—4 -甲基酚、間-乙氧基酚、對-氧基紛：間-丙氧基紛、對-丙氧基酚、間-丁氧基紛、. 對-丁氧基齡，—基酚，例如，2 ·甲基小異丙基酉分 及其他之焱化芳族’其包括間-氯酚、對·氯酚、鄰_ 紛、二經基聯苯、聯紛A、苯酉分、間苯二紛、與

裝 訂

k -65-

五、發明説明（63 ) 紛。這些化合物可單獨或如其二或更多種之混合物使用。 酚趁清漆樹脂用之主要單體不應視爲限於以上實例。 請 λ 閱 、 讀-卜 背 I 面 之」' 注 意 事 項 趁之實例包括甲趁、對甲趁、乙搭、丙趁、苯甲 基乙备、β -苯基丙趁、yj 裳其石欣 3k , 本基丙輅、鄰_羥基苯甲醛、 間-羥基苯甲醛、對-羥基苯甲醛、鄰_氯苯甲醛、 甲趁 '對·氯苯甲酸、鄰_硝基苯甲趁、間“肖基苯甲齡、 對-硝基苯甲醛、鄰-甲基苯甲醛 '間_甲基苯甲醛、對_ 基苯甲酸、對-乙基苯甲酸、對·正丁基苯甲搭、祕、氯 乙搭、及由其衍生之縮趁，如氣乙搭二乙基縮搭。其中_ 佳爲甲搭。 人 這些趁可單獨或以其二或更多之組合使用。酸觸媒之實 例包括氫氯酸、硫酸、甲酸、乙酸、與草酸。 訂 如此得到之紛臨清漆樹脂之重量平均分子量希望爲 1，000至3〇,〇〇〇。如果其重量平均分子量低於1〇〇〇，顯影 時在未曝光部沸之膜還原趨於變大。如果其重量平均分= 里超過30,000，顯影速率太低。酚醛清漆樹脂之分子量之 特佳範圍爲2,000至20,000。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 上示紛酸清漆樹脂以外作爲鹼溶性樹脂之聚（羥基苯乙 婦）及其衍生物與共聚物各具有2,〇〇〇或更高，較佳爲 5,000至200,000，更佳爲10,000至1〇〇〇〇〇之重量平均分子 量。由得到具有改良耐熱性之光阻膜之觀點，其重量平均 分子量希望爲25,000或更高。 重量平均分子量在此表示經凝膠穿透層析術之測量及由 標準聚苯乙晞計算而測定。 -66- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（64 ) 在本發明中’這些鹼溶性樹脂可如其二或更多之混合物 使用。在使用驗溶性樹脂及具有藉酸之作用分解以增強在 驗性顯影溶液中之溶解度之基的樹脂之混合物之情形，基 於感光組合物之總量（除了溶劑），鹼溶性樹脂之加成量較 佳爲達80重量％，更佳爲達6〇重量％，最佳爲達重量 %。超過80重量％之量爲不希望的，因爲光阻圖樣遭受厚 度降低’生成影像形成之麻煩。 在使用驗溶性樹脂而無具有藉酸之作用分解以增強在驗 性顯影溶液中之溶解度之基的樹脂之情形，鹼溶性樹脂之 加成I較佳爲4 0至9 0重量％，更佳爲5 〇至8 5重量％，最 佳爲6 0至8 0重量❶/〇。如果其量小於4 〇重量％，造成如降 低敏感度之不希望結果。另一方面，如果超過9〇重量 %，光阻圖樣遭受厚度降低，在影像形成生成麻煩。 愛明之低1子量酸可分解溶解抑制化合物 低分子量酸可分解溶解抑制化合物較佳地用於本發明。 用於本發明之低分子量酸可分解溶解抑制化合物爲在分 子結構中具有至少兩個酸可分解基，而且其中兩個酸可分 解基彼此最遠以至少8個鍵結原子分離之化合物。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在本發明中’酸可分解溶解抑制化合物希望爲分子結構 中具有至少兩個酸可分解基及其中兩個酸可分解基彼此最 逆以至少1 〇個，較佳爲至少i丨個，更佳爲至少〗2個键結 原子分離之化合物，或具有至少三個酸可分解基及其中兩 個酸可分解基彼此最遠以至少9個，較佳爲至少j 〇個，更 佳爲至少11個鍵結原子分離之化合物。分離兩個酸可分 ________ -67- ( cns ) A4^m (210 [297 公^ 邮2945 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（65 解基彼此最遠之键結原子之上限較佳爲5〇個，更佳爲3〇 個。 、 在酸可分解落解抑制化合物具有三個或更多，希望爲四 個或更多酸可分解基之情形，在酸可分解基彼此分離至少 特定距離時，化合物呈現對鹼溶性樹脂之非常改良之溶解 抑制效果。其在酸可分解溶解抑制化合物具有兩個酸可分 解基之情形亦爲眞實的。 在本發明中酸可分解基間之距離以存在於基間除了含於 基中之原子之鍵結原子數表示。例如，在下示之各化合物 (1 )與（2 )中，酸可分解基間之距離爲4個鍵結原子。在化 合物（3 )中，此距離爲1 2個键結原子。 2 3 A0-〇〇C-1CH2-2CH2-3CH2-4CHZ-CO〇-A0

(3) ⑴ ⑵ 酸可分解基：-COO-A。、-0-B。 雖然用於本發明之酸可分解溶解抑制化合物在相同之苯 環上可具有兩個或更多酸可分解基，其較佳爲具有其中各 68 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 ----——-- - 五 '發明説明（66 ) 苯裱不具有超過一個酸可分解基之骨架之化合物。用於本 發月之可分解溶解抑制化合物之分子量爲3,〇〇〇或更 低’較佳爲500至3,〇〇〇，更佳爲1〇〇〇至2,500。’ 在本發明之較佳具體實施例，含酸可分解基之基之實 例’即 ’ -COO-A0 或-O-B0，包括-R0_c〇〇-A0 或-Ar-O-B0 表 示之基。 在上式中，Α。表示 _ C(R〇1)(R02)(R。3)、-Si(R01)(R〇2)(R〇3)、或 -C(R )(r05)_O-R06，及 B。表示 A。或 _c〇 〇 A〇。 RQ1、R〇2、R〇3、R〇4、與r〇5可爲相同或不同，而且各表示 氫原子、烷基、環烷基、烯基、或芳基，及R〇6表示烷基 或芳基，其條件爲尺〇1至尺〇3至少之二並非氫原子，及尺…至 二或尺“至尺06之二可彼此键結以形成環。R表示具有 2或更高價數之視情況取代脂族或芳族烴基，及-Αγ_表示 具有2或更鬲價數之視情況取代單或多環芳族基。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 坑基較佳爲具有1至4個碳原子者，如甲基、乙基、丙 基、正丁基、第二丁基、或第三丁基。環烷基較佳爲具有 3至1 0個碳原子者，如環丙基、環丁基、環己基、或環癸 基。烯基較佳爲具有2至4個碳原子者，如乙烯基、丙缔 基、#丙基、或丁烯基。芳基較佳爲具有6至14個碳原子 者，如苯基、二苯基、甲苯基、異丙苯基、或蔥基。 取代基之實例包括羥基、鹵原子（氟、氯、溴、與碘）、 硝基、氰基、上列之烷基、烷氧基、如甲氧基、乙氧基、 羥基乙氧基、丙氧基、羥基丙氧基、正丁氧基、異丁氧 基、第一丁乳基、與第三丁氧基，燒氧基羰基，如甲氧基 -69- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公舞） 482945 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（67 ) 羰基與乙氧基羰基，芳烷基，如芊基、苯乙基、與異丙苯 基，芳烷氧基、醯基，如甲醯基、乙醯基、丁醯基、苯甲 醯基、氰醯基、與戊醯基，醯氧基，如丁醯氧基，上列之 婦基、晞氧基，如乙晞氧基、丙晞氧基、婦丙氧基、與丁 烯氧基，上列之芳基、芳氧基，如苯氧基，及芳氧基羧 基，如苯甲酿氧基。 酸可分解基之希望實例包括矽烷醚基、異丙苯酯基、縮 酸基、四氫味喃醚基、晞醇醚基、稀醇g旨基、第三燒醚 基、第三燒@旨基、與第三燒碳酸S旨基。其中較佳爲第三燒 酯基、第三烷碳酸酯基、異丙苯酯基、四氫哌喃醚基、與 縮酸基。 希望之酸可分解溶解抑制化合物包括由以下指定之專利 文件中所示之多羥基化合物得到之化合物，或以上示之保 護基键結全部之酚0H基，即，-ΕΛοΟΟ-Α0或BG表示之 基；此專利文件包括 JP-A-1-289946、JP-A-1-289947、JP-A-2-2560、JP-A-3-128959、JP-A-3-158855、JP-A-3-179353、 JP-A-3-191351 > JP-A-3-200251 ^ JP-A-3-200252 - JP-A-3-200253、JP-A-3-200254、JP-A-3-200255、JP-A-3-259149、 JP-A-3-279958 > JP-A-3-279959 ^ JP-A-4-1650 - JF-A-4-1651、JP-A-4-11260、JP-A-4-12356、JP-A-4-12357、及日本 專利 t % ^ 3-33229 - 3-230790 - 3-320438 > 4-25157 - 4-52732 、 4-103215 、 4-104542 、 4-107885 、 4-107889 、與 4-152195 。 其中較佳爲由示於 JP-A-1-289946、JP-A-3-128959、JP-A- -70- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 针填寫太 482945 A7 B7 五、發明説明（68 ) 3-158855、JP-A-3-179353、JP-A-3-200251、JP-A-3-200252、 JP-A-3-200255 - JP-A-3-259149 - JP-A-3-279958 - JP-A-4-1650、JP-A-4-11260、JP-A-4-12356、JP-A-4-12357、日本專 利申請案 4-25157、4-103215、4-104542、4-107885、4-107889、與4-152195之多羥基化合物得到之化合物。 特別地，此酸可分解溶解抑制化合物由通式（I)至（XVI) 表示。 (請先閲讀背面之注意事項\^寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印制衣 -71 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（69 )

-72-

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4^ ( 210X29?公釐） 482945 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

482945 A7 B7 五、發明説明（71 )

[VH] (R134)ml >108,

[Vm] 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (R102〇)pl Λ39、

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135

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〇R1〇1)〇l R138)ql (R )「1 [IX] -74- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（72

[X]

[XI] (請先閱讀背面之注意事項\^寫本頁) 裝·

[ΧΠ] 訂 •ΙΛ. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

-75 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 五、發明説明（73 在上式中， R 、R1Q2、Rl〇s、與R130可爲相同或不同，而且各表系氬 原。工子、-R°-CO〇.C(R01)(R02)(R03) 或-C〇-0- C(R )(R〇2)(r〇3)，其中 R〇、r01、r〇2、與 r〇3 具有以上定義 之相同意義； r 1 〇〇 矣- T-CO.、_c〇〇_、_NHCONH_、-NHCOO-、

S 、- SO-、- S〇2-、- S03-、或以下表示之基 >150 在此 〇爲-至6 ’其條件爲在G爲2時，R150與R151至少之一爲 烷基， R150與R151可爲相同或不同，而且各表示氫原子、烷 基、烷氧基、-OH-、-COOH-、-CN-、鹵原子、-R152-COOR153 或 _反154_〇台， R與R154各表示伸虎基，及 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

R

R 153 表示氳原子、烷基、芳基、或芳烷基； R"、R103 129 至 Rl〇7、R109、Rlll 至 R118、R121 至 r123、尺128至

R131 至 R 134

R 138 至R141、R143可爲相同或不同，而且 143 各表示氫原子、羥基、烷基、烷氧基、醯基、醯氧基、芳 基、芳氧基、芳燒基、芳燒氧基、鹵原子、硝基、羧基、 氰基、或-N(R155)(r156)(在此R155與R156各表示Η、烷基、 -76- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4g ( 210Χ 297公釐 482945 A7 B7 五、發明説明（74 或方基）； Ruc表示單鍵、伸烷基、或以下表示之基 R157^©^159·

R 158 在此 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 R157與R159各可爲相同或不同，而且各表示單鍵、伸烷 基、- 0-、-S-、_C0_、或羧基，及 R 8表不氫原子、烷基、烷氧基、醯基、醯氧基、芳 基、硝基、羥基、氰基、或羧基，其條件爲，各羥基可被 酸可分解基（例如，第三丁氧基羰基甲基、四氫哌喃基、 1-乙氧基-1-乙基、或丨_第三丁氧基乙基）取代； R119與R120可爲相同或不同，而且各表示亞甲基、經低_ 碳烷基取代亞甲基、自亞甲基、或卣烷基，其條件爲， ··低碳：fe基”在此表示具有1至4個碳原子之燒基； r124至r127可爲相同或不同’而且各表示氫原子或燒基； R135至R"7可爲相同或不@，而且各表示氫原子、垸基、 烷氧基、醯基、或醯氧基； R142 表示氫原子、4。-(：00-(：(汉〇1取〇2)化〇3)、 c〇_〇 (:化01)^02)#03)，或以下表示之基 β · -77- (請先閱讀背面之注意事項\^寫本頁) I 1 - * 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) 格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（75

鍵結至-0 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 R 44與R145可爲相同或不同，而且各表示氫原子、低碳 烷基、低碳_烷基、或芳基； R146至R149可爲相同或不同，而且各表示氫原子、輕基、 鹵原子、硝基、氰基、羰基、烷基、烷氧基、烷氧基羰 基、芳烷基、芳烷氧基、gl基、醯氧基、烯基、烯氧基、 芳基、芳氧基、或芳氧基羰基，其條件爲，相同符號表示 之四種基不需爲相同； Y 表示-C0-或-S〇2-; Z與B各表示單键或; A表示亞甲基、經低碳烷基取代亞甲基、齒亞甲基、或 鹵燒基； E表示單键或氧基亞甲基； 在任何a至z及ai至71爲2或更大之整數時，括號内之基 可爲相同或不同； ^q、s、t、v、gi、至π、klsml、〇i、qi、sl、 與Ul各表示0或1至5之整數； r、u、w、x、y、ζ、&1至£1、pl、u^、及 ___ ·78_ 本紙張尺度適财縣（CNS) A4規格（21GX297公瘦）----- 482945 A7 B7 五、發明説明（76 ) XI各表示0或1至4之整數； jl、nl、zl、a2、b2、c2、與d2各表示〇或1至3之整 數； zl、a2、c2、與d2至少之一爲1或更大； yl爲3至8之整數； (a+b) 、 （e+f+g) 、 （k+1+m) 、 （q+r+s) 、 （w+x+y)、 (cl+dl)、（gl+hl+il+jl)、（〇l+pl)、及（sl+ti)各 爲2或更大； (j 1 +n 1 )爲3或更小； (r + u)、（w + z)、(x + a 1 ) 、（y + bl)、（cl + el)、 (d 1 + f 1 )、（ p 1 + r 1 )、（ t 1 + v 1 )、及（x 1 + w 1 )各爲 4 或更 小，其條件爲，通式（V)，（w + z)及（x + al)各爲5或更 小；及 (a + c)、（b + d)、（e + h)、（f+i)、（g+j)、（k + n)、 (l + o)、（m + p)、（q + t)、（s + v)、（gl+kl)、（hl+11)、 (il+ml)、（ol+ql)、（sl+ul)各爲 5 或更小。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ••I裝· 再填寫火

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

R 154 R 165 R 163 164 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2⑴公瘦） cm) 482945 A7 B7 五、發明説明（77 在式（xm)中， y r160表示有機基、單键、_s-、_so_、或 —Ιο R101表示氫原子、單價有機基、或以下表示之基

,163 Ό J

r164 165 R R 163 R 164 RJ 請 先 閲 讀 背 δ 之 注 意 事 項 頁 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在此 R162至R166可爲相同或不同，而且各表示氫原子、羥基、 鹵原子、烷基、烷氧基、烯基、-0-1^-(：00-(^(β^χι^χκ03)、或-o-co-o-ccroMrMxr。3)，其條件爲， &162至 R166 至少之二爲-〇_R0-C〇〇-C(R01)(R02)(R03)、或-0- CO-O-CXRWXB^XRG3)，及相同符號表示之四或六種取代 基不需爲相同，及 X表示二價有機基；及e2表示0或1。 -80- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 祁2945 A7 B7 五、發明説明（78

R 169 168

173 R 在式（XIV)中， R-至f可爲相同或不同，而且各表示氫原子、Μ 自原子、燒基 '燒氧基、或晞基’其條件爲，相二 示之四或六種取代基不需要相同； 現表 R-至R-各表示氫原子、燒基、或以下表示之基 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 、可 R167r168

/170 R169 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 R173 中至少之二各表示-0-R〇_C〇〇_C(R〇1)(R〇2)(R〇3) •O-CO-O-qR’O^XR，，及其餘各表示羥基； f2與h2各表示0或1 ;及 g2表示0或1至4之整數。 -81 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X 297公梦 或 482945 A7 B7 五、發明説明（79 )

R y / 丄 R P / / 丄

R R

R R R

(請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 179

r178 181 r179

178 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在式（XV)中， R174至R18Q可爲相同或不同，而且各表示氫原子、羥基、 鹵原子、烷基、烷氧基、硝基、或烯基、芳基、芳烷基、 烷氧基羰基、芳羰基、醯氧基、醯基、芳烷氧基、或芳氧 基，其條件爲，相/同符號表示之四或六種取代基不需爲相 同；及 RH8中至少之二各表示-〇_R0-C〇〇-C(R01)(R02)(R03)、或 >02、 >03 ，及其餘各表示羥基 -82- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7

K

五、發明説明（SO ,182 R183 >184

R

在式（XVI)中， R1S2表示氫原子或烷基、其條件爲，R182表示之原子或基 不需爲相同； R183至R180各表示羥基、氫原子、鹵原子、烷基、或烷氧 基，其條件爲，相同符號表示之三種取代基不需爲相同； 及 R187中至少之二各表示、或 -O-CO-O-qK^XK^XR。3)，及其餘各表示羥基。 較佳化合物之骨架之指定實例示於以下。 (請先閱讀背面之注意事項\^寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -83- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(請先閱讀背面之注意事項本頁) 五、發明説明

、1T -84- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（82

•ch2 7H2 RO~<P 》0R 尸 ch2 ch3 Λ ch2 ⑺

(請先閱讀背面之注意事項^^寫本頁)

訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(9)-85- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（83

,〇R

OR (請先閱讀背面之注意事項寫本頁)

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

-86- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（84 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

OR(15) -87- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T __ 482945 A7 B7 五、發明説明（85 )

OR OR

CH— CH2 一 CH 一 CH3

OR (16)

OR

OR

OR (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝. ^^^寫太 訂 d 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(18) -88- .本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ29<7公釐） *^

OR 482945 A7 B7 五、發明説明（86 ) 經濟部中央標準局眞工消費合作社印製

-89- (請先閲讀背面之注意事項\_寫本頁) 裝· \^^寫太 訂 d 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（87

OR 3 CH2) (2

K 〇 OR 3 Η )eg

(請先閲讀背面之注意事項\?1|寫本頁) 、11 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

90 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规/格（210 X 297公釐） 黉►)* 482945 A7 B7 五、發明説明（88 )

OR

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CH3 C I ch3 ch3 (26) H3 CH3 RQ—

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(讀先閱讀背面之注意事項寫本頁) ,裝·

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訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

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91 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（89

OR

(請先閱讀背面之注意事項^^寫本頁) 裝· \木 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

OR -92 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（9〇 )

•OR H3G ch3 (36) OR 〇

OR (請先閱讀背面之注意事項本頁) --Ί .

OR 0 R 190

OR 、1Τ 經濟部中央標準局真工消費合作社印製

R 190

-93- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 Χ297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（91 )

經濟部中央標準局員工消費合作社印製

-94- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（92

OR

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(請先閱讀背面之注意事項 丨_裝-- 寫本頁) 、^τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

OR

OR -95- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（93 )

(45)

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OR (請先閲讀背面之注意事項^^寫本頁) -_裝_ 寫太 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

96- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（94 )

C1

(請先閲讀背面之注意事項

、1T 經濟部中央標準局員工消费合作社印製

-97 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（95

R R0 (52)

OR (請先閲讀背面之注意事項

OR

訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

RO

NH N^N NH N NH

(54)

OR -98- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 A7 B7 96 /\ 明説 明發五 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝_

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iA -99- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（97

OR R〇

OR (請先閲讀背面之注意事項 裝— 寫本頁)

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OR 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

OR -100- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 482945 A7

B7五、發明説明（98 )OR OR 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

-101 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項^^寫本頁) » 裝· ΙΛ 482945 A7 B7 五、發明説明（99 在化合物（1)至（63)中，R表示氫原子、>> -Ch2-COO-C(CH3)2C6H5、韻2_c〇〇_C4H9t、_c〇〇 c此、 以下表示之基 …0、 或 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 其條件爲，R之至少之二或視結構而定之至少之三非爲氖 原子，及R表示之取代基不需爲相同的。 匕在上述溶解抑制化合物組合酸產生劑化合物與鹼溶性樹 月曰用於本發明之情形，基於感光組合物之所有固體成份之 總！，溶解抑制化合物之加成量爲5至5 5重量％，較佳爲 8至4 5重量％，更佳爲1 0至3 5重量％。 參及溶於鹼性水溶浚之低分子量化合物 爲了改良敏感度、防止光阻圖樣隨曝光至熱處理之時間 、’’二過k雙線寬降低或變成具有T -頂表面、及抑制殘餘直 乂波與如縐褶之外形退化之目的，較佳爲加入不溶於水及 溶於驗性水溶液之低分子量化合物。 基於所有樹脂成份之總量，此不溶於水及溶於驗性水溶 液之低分子量化合物之加成量較佳爲1至4 0重量％，更佳 爲2至3〇重量。/。，最佳爲3至2〇重量％。超過40重量❶/〇之 量爲不希望的，因爲光阻圖樣遭受膜厚之大量降低，生成 影像形成之麻煩。 較佳之不溶於水及溶於鹼之低分子量化合物爲每分子具 -102- 尽，，樣尺及適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公董) (請先閱讀背面之注意事項^;寫本頁) 裝· 訂 d 482945 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 A7 ___ _B7__ 五、發明説明（100 ) 有達6 0個碳原子及2至8個酚系羥基者。 亦較佳之不溶於水及溶於鹼之低分子量化合物爲其中紛 系藉基對芳族環之比例爲0· 5至1 ·4，及每分子各具有丨2至 6 0個碳原子及2至1 0個酚系羥基者。這些低分子量化人物 可單獨或以其二或更多之組合使用。這些化合物特佳爲， 在加入不溶於水之鹼溶性樹脂時，提高樹脂之鹼溶解速率 者。一或更多種這些低分子量化合物之使用增強本發明之 效果。 如果低分子量化合物具有超過6 0個碳原子，本發明之 效果降低。如果化合物具有少於1 2個碳原子，組合物變 成具有如降低耐熱性之缺點。不溶於水及溶於驗之低分子 量化合物每分子應具有至少兩個輕基，以產生本發明之效 果。然而，如果化合物具有超過1 0個羥基，失去其加成 效果。如果酚系羥基對芳族環之比例低於0.5，無法得到 不溶於水驗溶性低分子量化合物之加成效果。超過丨4之 比例爲不希望的，因爲組合物具有不良之安定力，使其難 以得到上述之效果。 不溶於水及溶於驗之低分子量化合物之實例包括多經基 化合物。其較佳實例包括酚、間苯二酚、1，3，5 -苯三 酚、2，4，2，，4，-聯苯基丁四醇、4，4，-硫雙（1，3 -二羥基） 苯、2,2f，4,4· -四羥基聯苯醚、2,2'，4,4f -四羥基二苯基 亞砜、2,2，，4,41-四羥基二苯基颯、參（4-羥基苯基）甲 烷、1，1-雙（4-羥基苯基）環己烷、4,4·-(α -甲基亞芊基） 聯苯、參（4 -經基苯基）-1,3,5 -三異丙基苯、 -103- I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐1 ~ (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝. d 482945 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（101 ) 泛，參（4 -羥基苯基）-1-乙基-4-異丙基苯、 1，2,2-參（羥基苯基）丙烷、1，1，2-參（3,5-二甲基-4-輕 基苯基）丙烷、2,2,5,5-肆（4-羥基苯基）己烷、1，2-肆 (4-羥基苯基）乙烷、1，1，3-參（羥基苯基）丁烷、及α“， 以f，α π -肆（4 -羥基苯基）-對-二甲苯。 用於本發明之具有g分系經基之此不溶於水驗溶性低分子 量化合物可易由熟悉此技藝者合成，例如，參考敘述於 JP-A-4-122938、jrP-A-2-28531、JP-A-2-242973、JP-A-2-275995、JP-A-4-251849、JP-A-5-303199、JP-A-5-22440、jp-A-6-301204、美國專利 4,916,210、5,210,657、5,318,875、 與歐洲專利219,294。 f 8 1可用於本發明之其他成拾 本發明之感光組合物可視情況地含其他成份，如染料、 顏料、塑化劑、界面活性劑、感光劑、與有機鹼性化合 物。 用於本發明之希望之有機鹼性化合物爲鹼性比酚強之化 合物，特別地，含氮鹼性化合物。較佳之化學環境包括下 式（A)至（E )表示之結構 r251 R250——r252 (A) 在式（A)中，R250、R25i、與义252可爲相同或不同，而且各 表示氫原子、具有1至6個碳原子之烷基、具有1至6個碳 原子之胺烷基、具有丨至6個碳原子之羥烷基、或具有6至 -104- 尺度適用中國國家標準（α^Τ^^7ΤΓ〇-χ297公&--- — (請先閲讀背面之注意事項一寫本頁} 丨裝 一 本 -訂 ____37 _482945 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 五、發明説明（1〇2 ) 2 0個碳原子之經取代或未取代芳基，其條件爲，R254與 R255可彼此鍵結以形成環。 -N-C = N'- -(B) I I 二c-N=c- …（C) I I 二 C 一N- …（D) .r254 r255 j 1 i R253-C-N-C - R256 -(E) (在式（E)中，R253、R254、R255、與R256可爲相同或不同， 而且各表示具有1至6個碳原子之燒基。） 較佳之有機鹼性化合物爲含氮鹼性化合物，其每分子具 有二或更多個具有不同化學環境之氮原子。特佳爲含至少 一個經取代或未取代胺基及至少一個含氮環結構之化合 物，及具有至少一個烷胺基之化合物。此較佳化合物之實 例包括經取代或未取代胍、經取代或未取代胺基吡啶、經 取代或未取代胺烷基吡啶、經取代或未取代胺基吡咯啶、 經取代或未取代吲峻、經取代或未取代p比峻、經取代或未 取代吡畊、經取代或未取代嘧啶、經取代或未取代嘌呤、 經取代或未取代咪唑啉、經取代或未取代吡唑啉、經取代 或未取代六氫吡畊、經取代或未取代胺基嗎啉、及經取代 或未取代胺烷基嗎啉。較佳取代基包括胺基、胺烷基、燒 —-105- 本纸張 標準（cns ) —--- (請先閲讀背面之注意事項^^寫本頁) 裝· 訂 482945 Μ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（1〇3 ) 胺基、胺芳基、芳胺基、烷基、烷氧基、醯基、醯氧基、 芳基、芳氧基、硝基、輕基、與氰基。特佳有機鹼性化合 物之指定實例包括胍、1，1-二甲基胍、i JJ，％四甲基 胍、2 -胺基吡啶、3 -胺基吡啶、4 -胺基吡啶、2 -二甲基 胺基吡啶、4 -二甲基胺基吡啶、2 -二乙基胺基吡啶、2_ (胺基甲基）ϊ?比淀、2 -胺基-3-曱基p比淀、2 -胺基-4-甲基 比淀、2 -胺基-5 -甲基p比咬、2 -胺基-6 -甲基p比淀、3 -胺 基乙基吡啶、4 -胺基乙基吡啶、3 -胺基吡咯啶、六氫吨 畊、N - ( 2 -胺基乙基）六氫吡啶、n - ( 2 -胺基乙基）六氫吡 呢、4 -胺基- 2,2,6,6 -四甲基六氫吡啶、4 -六氫吡啶基六 氫吡哫、2 -亞胺基六氫吡啶、1 - ( 2 -胺基乙基）吡咯啶、 吡唑、3 -胺基-5 _甲基吡啶、5 -胺基-3 _甲基_卜對-甲笨 基峨唾、吡畊、2 -(胺基乙基）-5 -甲基吡畊、嘧咬、2，4 _ 二胺基嘧啶、4，6 -二羥基嘧啶、2 -吡唑啉、3 _ p比峻淋、 N-胺基嗎啉、(胺基乙基）嗎啉。然而，用於本發 明之有機鹼性化合物不應限於這些實例。 含氮鹼性化合物可單獨或以其二或更之組合使用。含氣 鹼性化合物之加入量通常爲每1〇〇重量份感光樹脂組合物 (除了溶劑）爲0.001至10重量份，較佳爲001至5重量份。 如果其量小於0.001重量份，無法得到本發明之效果。另 一方面，如果其超過10重量份，易於造成降低之敏感度 及4貝害曝光邵份之顯影力。 適用於本發明之染料爲油溶性染料與鹼性染料。其實例 包括油黃#1〇1、油黃#103-、油粉紅#312、油綠BG、油莊 -106 本紙張尺度適财顯家標準（CNS )八4胁（21GX297公缝） f諳先閲讀背面之注意事項本頁j 裝 、π B7 五、發明説明（104 ) BOS、油藍#603、油黑B Y、油黑B s、油黑T-5〇5 (其均 由東方化學工業有限公司’曰本）、結晶紫（CI 42555)、甲 基紫（CI 42535)、rhodamine B (CI 4517〇B)、孔雀綠（CI 42000)、與亞曱基藍（CI 52015)。 可進一步加入如以下所示之光譜敏感劑以使使用之光· 酸產生劑敏感，而在比遠紫外線較長之波長之區域呈現吸 收，於是可使本發明之感光組合物對^或卜線敏感。適用 於本發明之光譜敏感劑之實例包括二苯基酮、p，p，_四甲 基二胺基二苯基酮、p，p’ -四乙基胺基二苯基酮、2_氯硫 α山酮、蒽酮、9-乙氧基蒽、蒽、哀、二苯幷蒽、啡嘍 畊、二苯乙二酮、吖哫橘、苯幷黃素、cet〇黃素τ、 9，1 〇 -二苯基蒽、9 -第酮、苯乙酮、菲、2 _硝基苐、5 _硝 基宽莕、醌、2 -氯-4 -硝基苯胺、ν -乙醯基-對-硝基苯 胺、對-硝基苯胺、Ν -乙醯基-4-硝基-1-葚基胺、苦胺、 1醌、2 -乙基蒽醌、2 -第三丁基蒽醌、丨，2 _苯幷蒽醌、 甲基-1，3 -二氮-1，9 -苯幷蒽酮、二亞芊丙酮、L2 -莕 酿、3，3 ·-羰基雙（5，7 -二甲氧基羰基薰草素）、與蔻。然 而’用於本發明之光譜敏感劑不應視爲限於這些實例。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 這些光譜敏感劑亦可作爲吸光劑，以吸收光源放射之遠 紫外線。在此情形，吸收劑降低來自基材之反射及減少光 阻膜内多重反應之影響，因而產生減少直立波之效果。 對於基材之應用，本發明之感光組合物以在其中溶解上 述成份之溶劑中之溶液形式使用。溶劑之較佳實例包括二 氯乙晞、環己酮、環戊酮、2 -庚酮、r -丁内酯、甲乙 -107- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 482945 Α7 Β7 五 、發明説明（1〇5 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 明、乙二醇單甲醚、乙 .w 酿、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲酸 乙酸酯、甲苯、乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、甲氧基 丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙醋、 丙酮酸丙酯、Ν,Ν -二甲基曱醯胺、二甲基亞職、N -甲基 p比咯啶酮、與四氫呋喃。這些溶劑可單獨或如其混合物而 使用。溶劑之較佳實例包括酯，如乙酸2 -甲氧基乙g旨、 乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲氧基丙酸 甲醋、與乙氧基丙酸乙酯。此溶劑之使用爲有別的，因爲 依知本發明之通式（I)或（II)表示之光-酸產生劑具有與之 良好之相容性及在其中較佳之溶解度。 界面活性劑可加入溶劑。界面活性劑之實例包括非離子 性界面活性劑，如聚氧化乙烯烷醚，例如，聚氧化乙晞月 桂醚、聚氧化乙烯硬脂醚、聚氧化乙烯鯨蠟醚、與聚氧化 乙烯油醚，聚氧化乙烯烷芳醚，例如，聚氧化乙烯辛基酚 醚與聚氧化乙烯壬基酚醚，氧化乙烯/氧化丙烯嵌段共聚 物、葡萄糖醇/脂肪酸醋，例如，單月桂酸葡萄糖醋、單 棕櫚酸ϋ糖酯、單硬脂酸葡萄糖酯、單油酸葡萄糖酯、 三油酸葡萄糖g旨、與三硬脂酸葡萄糖酷，1聚氧化乙缔_ 葡萄B糖醇/脂肪酸醋，例如，聚氧化乙缔單月桂酸葡萄糖 醋、/我化乙缔單掠櫚酸葡萄糖醋'聚氧化乙晞單硬脂酸 葡萄糖酯、聚氧化乙缔二油酸 平災h b A 一一 /由I雨匄糖酯、與聚氧化乙烯三 硬脂鉍匍匄糖酯；蠢仆庳R _ , 貺化學界面活性劑，如F-T〇PEF301、 EF303、與 EF352 f 曰太 μ Α 本New Akita化學公司製造）、 吁千 ___ -108- 本紙張尺度顧帽 (請先閱讀背面之注意事項1¾¾本頁} 裳 訂----- • ·111-* mt vm· ?-—1 Kn tm 111· 482945 A7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（l〇6 ) Megafac F171與F173 (日本大日本墨水與化學品公司製 造）、Fluorad FC430與FC431 (日本住友3 Μ有限公司製 造）、朝日 Guard AG710 與 Surflon S-382、SC101、SC102、 SC103、SC104、SC105、與SC100 (日本朝日玻璃有限公 司製造）；有機矽氧烷聚合物KP341 (曰本Shin-Etsu化學 有限公司製造）；及丙烯基或甲基丙烯基（共）聚合物 Polyflow 7 5號與9 5號（日本Kyoeisha化學有限公司製 造）。界面活性劑之加入量通常爲每1〇〇重量份本發明組合 物之固體成份爲2重量份或更少，希望爲1重量份或更 少0 界面活性劑可單獨或以其二或更多之組合加入。 藉由以適當之塗覆裝置，例如，旋塗器或塗覆器，將上 述感光組合物應用於如精確積體電路元件製造用之基材上 (例如，矽/二氧化矽塗層），經罩將塗層暴露於光，然後 烘烤及將塗層顯影，可得令人滿意之光阻圖樣。 作爲本發明感光組合物用之顯影溶液，可使用無機鹼之 鹼性溶液，例如，氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸 j、偏矽酸鈉，或氨水、第一胺，例如，乙胺或正丙胺， =二胺，例如，二乙胺或二正丁胺，第三胺，例如，三乙 胺或I基二乙基胺，醇胺，例如，二甲基乙醇胺或三乙醇 ^第四銨鹽，例如，四甲銨氫氧化物或四乙銨氫氧化 物，環形胺，例如，吡咯或六氫吡啶等。 作爲顯影溶液之鹼性水溶液可含適量之醇與界面活性 劑0 -109- 本紙張尺度適财1 mSi cnsTT^ (請先閲讀背面之注意事項寫本頁} 1 裝· 、1Τ —I- I -i ...... 1· …二二 111 五、發明説明（l〇7 )

本發明在以下來者余心丨γ A 應視爲限制之。1而更詳細地解釋，但是本發明不 實例 以300耄升之蒸餾水稀 — .^ ^ 哪釋33·2克二苯基锍氯化物之4 5 % 美：二f1 ]時《時間逐滴加入藉由將17·4克商業十二 土，：(軟型)溶於300毫升蒸餾水而製備之水溶液。 ,、’、、、餾水仴洗生成之黏性白色沉澱，繼而溶於甲醇中，然 後由蒸餾水結晶。所得固體在5〇r眞空乾燥而得3〇克之 化合物（1-1)如白色固體。 金成例（2 ):化舍物（I - 9、合咩 π在裝有攪拌器、冷凝器、溫度計、與點滴裝置之反應容 。。中引入15.1商業二異丙基苯場醯氯及毫升之異丙 醇。將内容物均質化。在3〇分鐘之時間於生成之均質溶 液逐滴藉由將4克氫氧化鋼溶於25〇毫升蒸館水而製 備之水’奋液。此混合物在丨〇〇 t加熱揽拌5小時。藉眞空 热餾自生成溶液去除溶劑，並且將3〇〇毫升之蒸餾水加入 殘渣。 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 藉由以300毫升之蒸餾水稀释33 2克三苯基銃氯化物之 4 5 %水落液而製備之水溶液在3 〇分鐘之時間逐滴加入水 解t三異丙基苯磺醯氯水溶液。以蒸餾水清洗生成之黏性 白色沉澱，繼而溶於甲醇中，然後由蒸餾水結晶。所得固 體在50 °C眞空乾燥而得32克之化合物（卜9)如白色固體。 全一成J列（^合物_ 2 6 )之合成 -110- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)八4規格（2ί0χ297公瘦） 482945 A7 五、發明説明（108 ) 以300毫升之蒸餾水稀釋33.2克三苯基銃氯化物之4 5 〇/。 水溶液。在1小時之時間逐滴加入藉由將18.9克商業十一 基4 -羧基苯磺酸鈉溶於300毫升蒸餾水而製備之水溶液。 以桑館水〉目洗生成之黏性白色沉殿’繼而溶於甲醇中，然 後由条館水結晶。所得固體在5 0 °C眞空乾燥而得3 3克之 化合物（1-26)如白色固體。 4 合成例（4 ):化合物Π，- 5 )之厶忐 進行如合成例（1 )之相同步驟，除了使用二苯基碘鑕鹽 取代二本基統氯化物。如此，合成化合物（I，_ 5 )。 合成例（5 ):化合物（11 - 1 )之合成 在I有回流冷疑器、溫度計、點滴裝置、與揽掉器之四 頭燒瓶中引入5克之N -無基§太醯亞胺、5 · 8克之對-甲苯續 醯氯、與100毫升之丙酮。在3 〇分鐘之時間攪拌逐滴加入 3·26克t三乙胺。此混合物在室溫持續攪拌i小時。所得 反應混合物倒入蒸餾水中以進行結晶，而且藉過濾取出生 成之粒狀沉殿。如此，得到9· 6克之化合物（1丨）。 合成例（6 ):化合物（11 _ 1 5 )乏厶忐 · 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 在裝有回流冷凝器、溫度計、點滴裝置、與攪拌器之四 頸燒瓶中引入28.4克之N-羥基胺（氫氯酸鹽）與1〇〇毫升之 番餾水。在20分鐘之時間逐滴加入藉由將15 8克氫氧化鈉 落於5 0耄升蒸餾水而製備之水溶液。加成完成後，加入 ：)〇克又甲基順丁烯二酐。此混合物在室溫持續攪拌3小 時:然後進-步加熱及回流攪拌3小時。反應完成後，氮 氯酸水溶液加入反應混合物。生成混合物以氯化鈉飽和然 ___ _ 111 - 錄尺度適用中a A4規格--------- 五、發明説明（1〇9) 後以乙酸乙酯萃取。得到之乙酸乙酯溶液濃縮而得甲基順 丁烯二酐之N-羥化醯亞胺之粗結晶。此反應產物由甲苯 再結晶而得3 2克甲基順丁烯二酐之N_羥化醯亞胺之粗結 曰卩 在相同之裝置中引入5克以上得到之甲基順丁晞二酐之 N -羥化醯亞胺、7.3克之對_甲氧基苯磺醯氯、與1〇〇亳升 之丙酮。在3 0分鐘之時間攪趨逐滴加入3 76克之三乙 胺。此混合物在室溫連續攪拌1小時。所得之反應混合物 倒入蒸餘水中以進行結晶，而且藉過濾取出生成之粒狀沉 殿。如此’得到1 〇· 2克之化合物（11 5 )。 免成例（7 ):化合物（11 - 1 6、乏厶成 進行如合成例（6 )之相同步驟，除了使用2 _菜基磺醯氯 取代對-甲氧基苯續醯氯。如此，合成化合物（Z ^〗6 )。 免成例（8 ):鹼溶性樹脂a之合成 以下成份溶於120毫升之乙酸丁酯。 對-乙臨氧基苯乙烯 27.5克（〇· 17莫耳） 苯乙烯 3·15克（0.030莫耳） 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 以2小時之間隔，在氮流中於8 〇。(：在溶液攪拌加入0.033 克之偶氮基雙兴丁腊（ΑΙΒΝ)三次。最後一次加成後，混 合物連續攪拌2小時以進行聚合反應。生成之反應混合物 倒入600亳升之己烷以沉澱白色樹脂。 所得樹脂乾燥然後溶於150毫升之甲醇。加入，包括7.7克 (0.19莫耳）氫氧化鈉與5 〇毫升水之溶液。回流加熱混合物 3小時以將樹脂水解，繼而以200毫升之水稀釋，然後以 -112- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 29*7公釐） 482945 Μ Β7 五、發明説明（110 ) 氫氯酸中和而沉澱白色樹脂。 藉過濾取出沉澱之樹脂，以水清洗，然後乾燥而得2工 克之樹脂。經NMR光譜儀發現此樹脂由對-羥基苯乙烯單 位與苯乙烯單位以约8 5 / 1 5之比例組成。經GPC發現樹脂 具有27,000之重量平均分子量。其分子量分布爲丨9。 全成例（9 ):樹脂A (具有可藉酸之作用分解以增強在驗性 塵影溶液中之溶解度之基之樹脂）之合成 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在250毫升之無水四氫呋喃中溶解48.1克之聚（對-輕基 苯乙烯）（重量平均分子量11,000 ;分子量分布丨1〇 ;加熱 眞空乾燥後使用）。在維持於室溫之此溶液加入〗7 5克之 第三丁基乙烯基醚與0.19克之對-甲苯磺酸單水合物。以 氮取代容器中之氣氛後，容器密封而且内容物在室溫攪掉 2 0小時。然後，反應混合物以三乙胺中和然後攪拌倒入 含3公升離子交換水與3克三乙胺之溶液中。藉過遽取出 沉殿之樹脂，以水清洗，然後在7 〇 °C眞空乾燥。如此， 得到5 6克之白色樹脂。其經NMR光譜儀確定2 6 %之起始 樹脂之OH基已被第三丁基-乙基化（第三丁基縮駿 化）。〇?〇顯7^：樹脂具有15,〇〇〇之重量平均分子量，1‘25之 分子量分布，及3 8 %之保護程度。 合成例（1 0 ):樹脂B之合成 以下之成份溶於250毫升之無水四氫唉喃。 聚（對-無棊苯乙婦）（重量平均分子量1 ， 分子量分布1.10 ;加熱眞空乾燥後使用） 481克 1，4-二經基環己燒 〇47克 -113- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公慶 482945 A7 B7 五、發明説明（ill 在維持於室溫之此溶液加入1 4.0克之第三丁基乙烯基 酸與0.19克之對-甲苯續酸單水合物。以以氮取代容器中 之氣氛後，容器密封而且内容物在室溫授拌2〇小時。然 後，反應混合物以三乙胺中和然後攪拌倒入含3公升離子 交換水與3克三乙胺之溶液中。藉過濾取出沉澱之樹脂， 以水清洗，然後在7 0 °C眞空乾燥。 如此，得到5 6克之白色樹脂。其經NMR光譜儀確定 27 %之起始樹脂之0H基已被第三丁基4 -乙基化（第三丁 基縮醛化）。GPC顯示樹脂具有33,000之重量平均分子 量，1.75之分子量分布，及32%之保護程度。 金成例（1 1 ):樹脂C之合成 進行如合成例（1 〇 )之相同步驟，除了使用日本之日本蘇 打有限公司經陰離子性聚合製造之VP-8〇〇〇 (重量平均分子 1 8，500，分散程度1 η )作爲未保護起始樹脂。如此合成 樹脂C，其具有29,000之重量平均分子量，丨乃之分子量 分布，及3 2 %之保護程度。 舍成2 解抑制化合物Π )之合成 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在300毫升之N，N-二甲基乙醯胺溶解42.4克（〇·10莫耳）之 1-[α -甲基 羥基苯基）乙基]-4-[α，，α，·雙（4"一 羥基苯基）乙基]苯。加入49 5克（〇 35莫耳）之碳酸鉀與 84.8克（0.33莫耳）之溴乙酸異丙苯酯。生成之混合物在 120°C攪拌7小時，然後倒入2公升之離子交換水中。此混 合物以乙酸中和然後以乙酸乙酯萃取。濃縮由萃取生成之 乙酸乙酯溶液，並且以管柱層析術（管柱填料，矽膠；顯 114-

木纸張尺度適财關家縣210X297公釐Y 482945 A7 B7 五、發明説明（112) 影溶劑，乙酸乙酯/正己烷=3 / 7 (體積比））純化殘渣。如 此’得到7 0克之溶解抑制化合物（1 8 )(各R爲-CH(CH3)0- c2h5) 〇 ^^1113):溶解抑制化合物（ii)之合成 在400毫升之二乙醚溶解2〇克之“，反，，“，，_參（4·羥基苯 基）1，3，5 -三異丙基苯。在氮流中於此溶液加入3 i 6克之 〇，4 -二氫-2 Η -呱喃及催化量之氫氣酸。此混合物回流反 應2 4小時。反應完成後，加入少量之氫氧化鈉，並且過 遽生成之混合物。藉蒸館自遽液去除溶劑，並且以管柱層 析術純化殘餘之反應產物及乾燥而得溶解抑制化合物（3 j ) (各R爲THF基）。 盛AiL·金物（光阻）之製備與評估 使用示於以上合成例之依照本發明之化合物，及進一步 使用以下指定之鹼溶性低分子量化合物與三苯基咪唑（TPI) 作爲添加物，製備感光組合物。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 各光阻藉由將表示1所示之固體成份溶於9.5克之丙二醇 單甲醚乙酸酯及經〇·2 " m過濾器過濾溶液而製備。此光 阻溶液以旋塗器應用於矽晶圓，而且塗層在11〇乇以眞空 吸氣型加熱板乾燥9〇秒而得具有〇83 A m厚度之光阻膜。 所得之光阻膜使用248 nm KrF激發二聚體雷射束步進器 (NA = 0.42)暴露於光。曝光後，光阻膜立即各以1〇〇<)(：：眞 空吸氣型加熱板加熱6 〇秒，繼而在四甲銨氫氧化物 (TMAH)之2.38%水溶液中浸潰6〇秒，以水清洗30秒，然 後乾燥。藉以下之方法評估如此得到之矽晶圓上之光阻圖 -115-

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 tr形、敏感度、及解析力，並且比較。所得之結果示 、對於外形，以掃描電子顯微鏡檢驗如此得到之矽晶圓上 〈光阻圖樣’並且目視評估s £ Μ照片，特別是駐波與縐 一關於駐波，被判斷為通過之圖樣之，，A，，表示，及被判 2為不通過者以"B，，表示。關於崩壞，其中觀察到崩壞之 圖樣以"C”表示，其中未觀察到崩壞者以"a”表示。在圖 樣界面遭受顯著之下切及可能崩壞之圖樣以” b，，表示。 敏感度以再製0.〇5 _厚標記圖樣所需之曝光量表示。 解析力以在再製0.35 遮蔽圖樣所需之曝光量之臨界 解析度表示。 線寬差異 ' 1^之相同方式進行曝光後，光阻膜靜置2小時然後 以相同之方式加熱。然後，綠膜立即以上示之顯影溶液 顯，。測量所得之各〇.35 _遮蔽圖樣之線寬，並且計算 此貫測值與、經曝光後立即加熱所得對應之0.35 _遮蔽圖 樣間（差異。差異低於1〇%之光阻圖樣以，，A，，表示，及差 異為1 0 %或更大者以"B，，表示。 -116- 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

482945

A

7 B 五、發明説明（ll4 ) 表1 光阻配方 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 光-酸產生劑 ⑴，（I，） 光-酸產生劑 (ID 樹脂 溶解抑制 化合物 絵溶性 樹脂 鹼溶 性低 分子 化合 物 ΤΡΙ (mg ) 種類 量 (mg) 種類 量 (ag) 種類； 量丨 (g) 量 —(g)—- Ex. 1 1-1 50 15 70 B 2.18 10 Ex. 2 1-9 50 15 70 3 2.18 10 Ex. 3 1-26 50 15 70 3 2.18 10 Ex. A 1，-5 50 15 70 3 2.18 - 10 Ex. 5 1-1 50 1 70 B 2.18 10 Ξχ. 6 1-26 AO 16 80 3 2.18 10 Ξχ. 7 1-1 40 1/15 40/40 C 2.18 10 Ξχ. 8 1-9 A0 1/15 A0/40 C 2.18 10 Ξχ. 9 1-26 50 1/15 35/35 C 2.18 10 Εχ. 10 1-1 10 16 110 C 2.18 10 Ex.ll 1-1 no 15 10 A 2.18 10 Εχ.12 1-1 100 15 20 A 2.18 10 Ex. 13 1-1 60 15 · 60 C 1.9 (i) 0.2 D 0.1 g iO Εχ. ΙΑ 1-1 60 15 60 B 1-9 (i) 0.2 〇·! g 10 Εχ. 15 1-1 90 16 30 (i) 0. A a 2.0 § 10 Ξχ. 16 1-1 100 16 20 (ii) 0. A a 2.0 & 10 Coho . Εχ. 1 III 125 IV 125 3 2.5 10 Conp. Εχ. · 2 ill 12.5 V 280 3 2.5 10 Corap . Εχ/ 3 III 120 V 120 3 2.5 10 Comp . Ex/ A 1-1 120 3 2.18 10 Comp . Ex. 5 ΙΙ-i 120 3 2.18 10 -117- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 482945 A7 B7 五、發明説明（115 ) 比較性感光物質（III): 三苯基疏triflate 比較性感光物質（IV): 異三聚氰酸參-2，3 -二溴丙酯 比較性感光物質（V): 5 -重氮 merdorum 鹼溶性樹脂b : VP-8000，日本蘇打有限公司製造 鹼溶性低分子量化合物： -甲基- π(4·-羥基苯基）乙基]-雙（4"- 羥基苯基）乙基]苯 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -118- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210'乂 297公釐） 482945 利申請案 58年3月） A7B7 表2 光阻之評估結杲 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁

敏感度 (=J / cn2) 解析力 (μ=ΐ) 曝光後立即 加熱及曝光 後2小時加' 外形 熱之間之 線寬差異. 外形 駐波 崩壞 Ξχ.' 1 32 0.27 A 長方形 A A Zx. 2 33 0.27 A 長方形 A A Ξχ. 3 3L 0.27 A 長方形 A A 三·χ.4 30 0.27 A 長方形 A A Ξχ. 5 29 0.27 A 長方形 A A Ιχ. ό 34 0.26 A 長方形 A A Ξχ. 7 33 0.27 A 長方形 A A Ξχ. 3 0.27 A 長方形 A A Ξχ. 9 33 0.27 A 長方形 A A 三·χ_ 10 3么 0.23 λ 長方形 A A Ξχ. 11 23 0.25 Λ 長方形 A A Ξχ. 12 29 0.2S A 長方形 A A Ξχ. 13 3 1 0.27 A '長方形 A A Ξχ. ΙΑ 32 0.27 A 長方形 A A Ξχ. 15 23 ί 0.27 A 長方彤 A A Ξχ. 15 27 0.27 A 長方形 A A Co=p · Ξχ. 1 25 0.29 3 長方形 A C Cc^p . Ξχ. 2 匕0 0.32 3 長方形 Λ c Ccnp. Ξχ. 3 25 0.30 B 梯形 Λ c CC二3 · Ξχ： ^ 26 0.25 3 長方影 3 c Co^.p . Ξχ: 3 36 0.3 L A 長方形 Λ A -119- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 482945 A7 B7 五、發明説明（in 表2所示之結果顯示，本發明之光阻爲具有高敏感度與 高解析力，減少隨由曝光至熱處理之時間經過降低之線 寬，並且給予具有令人滿意之外形之光阻圖樣，其具有可 允許程度之殘餘直立波及不遭受縐褶之感光組合物。 如上所證明，本發明之化學放大正型感光組合物在敏感 度及解析力爲優良的，隨由曝光至熱處理之時間經過不進 行光阻圖樣線寬之降低或T -頂光阻圖樣表面，而且減少 直立波與縐褶。 雖然本發明已詳細及參考其指定具體實施例而敘述，可 進行各種改變與修改而不背離其精神與範圍對於熟悉此技 藝者爲明顯的。 請 先 閲 讀 背 5 意 事 項

妾 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 120 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 482945 A8 B8 C8 D8 第86113255號專利申請案 申凊專利範圍修正本(90 ^ 12月）

   申請專利範圍 一種正型感光組合物，其包含： 一種樹脂，其具有選自矽烷醚基、枯酯基、縮醛 基、四氫吡喃醚基、四氫吡喃酯基、烯醇醚基、烯醇 酉旨基、第三烷醚基、第三烷酯基、碳酸第三烷酯基的 可藉酸之作用而分解之基，以增強樹脂在驗性顯影溶 液中之溶解度；及 基於組合物中所有固體成份之總量為0.05至20重量％ 之式（I)或（I ’）表示之化合物及相對上述式⑴或式（Γ)化 合物重量比為10/90至90/1 0之式（II)表示之化合物，作 為在以光化射線或輻射照射時可產生磺酸之化合物：

   其中 l至R5 基、乙基 丁基，及 R6 至 Rg 其可相同或不同，分別表示氫原子或甲 丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三 其可相同或不同，分別表示氫原子、當其中 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐）

   有兩個為氫原子時表示碳數目6〜16之烷基，當其中只 有一個為氫原子時或均非為氫原子時表示碳數目1〜1 2 之^°基、或-〇CORm表示之基（其中R14表示碳數目6〜 1 6之烷基）； *c, (Η) ^-〇-S〇2^ru Ο 其中 ci與C2各為碳原子並且經單鍵或雙鍵而彼此鍵結， R9與Ru)，其可相同或不同，各分別獨立表示氫原子 或甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、 第三丁基；及 Ru表示可具有取代基之苯基或莕基。 2·根據申請專利範圍第1項之正型感光組合物，其含具有 3,000或更低分子量之低分子酸可分解溶解抑制化合 物，其具有可被酸分解之基，並且顯示因酸之作用在 鹼性顯影溶液中之增強溶解度。 3.根據申請專利範圍第丨項之正型感光組合物，其含不溶 於水及溶於鹼性水溶液之樹脂。 4·根據申請專利範圍第丨項之正型感光組合物，其中具有 藉酸之作用分解以增強在鹼性顯影溶液中之溶解度之 基之樹脂具有縮醛基作為酸可分解基。 5.根據申請專利範圍第1項之正型感光組合物，其進一步 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 4^2945 六、申請專利範圍 8 8 8 8 A B c D 含具有1，〇〇〇或更低分子量之低分子化合物，纟不溶於 水及溶於鹼性水溶液。 、 一種正型感光組合物，其包含 、基於組合物中所有固體成份之總量為0.05至20重量％ 之式（I)或（I )表π之化合物及相對上述式⑴或式（】，）化 合物重量比為10/90至90/10之式（11)表示之化合物，作 為在以光化射線或輻射照射時可產生磺酸之化合物： Rl0 X (I)

   0 ^5

   其中 I至I，其可相同或不同，分別表示氫原子或 基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第 丁基，及 R6 土 R8，其可相同或不同，分別表示氫原子、售 中有兩個為氫原子時表示碳數目6〜16之烷基，當# 只有一個為氫原子時或均非為氫原子時表示碳數目 12足烷基、或_〇c〇Ru表示之基（其中Ri4表示碳數 -3 482945 A BCD 申請專利範圍 1 6之烷基）； R ⑴二2~t N-O-SOn—R: ;ι 其中 C ι與C2各為碳原子並且經單鍵或雙鍵而彼此键結， R9與Rio，其可相同或不同，各分別獨立表示氫原子 或甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、 第三丁基；及 Ru表示可具有取代基之苯基或莕基； 一種具有3,000或更低分子量之低分子酸可分解溶解 抑制化合物，其具有可藉酸分解之基，並且藉酸之作 用在驗性顯影溶液中顯示增強之溶解度；及 一種不溶於水中及溶於鹼性水溶液中之樹脂，其係選 自包括酚醛清漆樹脂、氫化酚醛清漆樹脂、丙酮-五倍 子酚樹脂、聚（鄰-羥基苯乙烯）、聚（間_羥基苯乙 烯）、聚（對-羥基苯乙婦）、氫化聚（羥基苯乙烯）、經 鹵素或烷基取代聚（羥基苯乙烯）、羥基苯乙缔/ N _取 代順丁晞二酿亞胺共聚物、鄰/對-及間/對_某苯 乙烯共聚物、部份0 -烷化聚（羥基苯乙埽）、苯乙婦/ 順丁晞二酐共聚物、苯乙烯/羥基苯乙埽共聚物、α _ 甲基苯乙烯/羥基苯乙烯共聚物、羧化甲：丙烯酸系 482945 8 8 8 8 A B c D 六、申請專利範圍 樹脂、及其衍生物之集團。 7.根據申請專利範圍第6項之正型感光組合物，其進一步 含具有1，000或更低分子量之低分子化合物，其不溶於 水及溶於驗性水溶液。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）