TW442342B - Dust collector - Google Patents

Dust collector Download PDF

Info

Publication number
TW442342B
TW442342B TW088115382A TW88115382A TW442342B TW 442342 B TW442342 B TW 442342B TW 088115382 A TW088115382 A TW 088115382A TW 88115382 A TW88115382 A TW 88115382A TW 442342 B TW442342 B TW 442342B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
workpiece
chamber
exhaust
suction
air
Prior art date
Application number
TW088115382A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomoo Muto
Original Assignee
Huegle Electronics Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huegle Electronics Kk filed Critical Huegle Electronics Kk
Application granted granted Critical
Publication of TW442342B publication Critical patent/TW442342B/zh

Links

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

-~i~___ 五'發明說明(1) 發明所屬技術領域 本發明係有關於利用潔淨空氣吸除附著於PDP(電漿顯 示面板)或LCD(液晶顯示器)顯示裝置用之玻璃基板等之工 件表面之塵埃之除塵裝置。 習知技術 在噴射空氣後吸該空氣而除去附著於表面大致平坦之 工件之表面之塵埃之除塵裝置上,例如記載於如特開平 7-60211號公報(特願平5_240672號)的已知。 本除塵裝置在構造上,沿著工件之移動方向配置排氣 室和吸氣室後’將這些室之各端部和送風機進行配管連 接,排出、吸入空氣。 發明所欲解決之課題 在上述之習知技術,因在排氣室及吸氣室之和送風機 之配管連接部附近排氣力、吸氣力都最強,而愈遠離這些 配管連接部排氣力、吸氣力愈降低,有工件之寬度愈長沿 著寬度方向之除塵力愈不均勻之問題。尤其,在工件之寬 度為3 5 0 mm以上之p D p顯示裝置等大型玻璃基板之除塵1法 適用。 又,因係沿著工件之移動方向進行供氣和排氣之配管 之構造,在配管用需要很大之空間,有所謂的足跡變大之 缺點。 因此’本發明提供一種除塵裝置,不管工件之寬度,
第4頁 A423 4 2 五、發明說明(2) " '一* 、除塵效果,而且可令配 可得到大致均勾且穩定之除塵力 管之配置空間減少。 用以解 為 明,係 氣室、 室及吸 氣口和 工件之 用之配 之配管 又 載所示 大致等 此 工件之 可令處 決課題 了解決 有關於 和該排 氣室沿 該工件 移動方 管孔, 孔》 ,本發 ,希望 邊梯形 外,如 寬度方 理寬度 之手段 上述之課題,如申請專利範圍第丨項之發 包括内藏超音波產生器而且具有排氣口之排 氣室接鄰而且具有吸氣口之吸氣室,該排氣 著工件之移動方向配置,而且在排氣口及吸 之間保持既定之間隔而成之除塵裝置,在自 向所看到排氣室之大致上端中央部配置排氣 而且在吸氣室之大致上端中央部配置吸氣用 明之除塵裝置,如申請專利範圍第2項之記 自工件之移動方向將排氣室及吸氣室形成為
P 申請專利範圍第3項之記載所示,藉著沿著 向配置多組由排氣室及吸氣室構成之組,也 寬之工件。 發明之實施例 以下依照圖面詳述本發明之實施例。圖丨係 施例之主要部分之立體圖,圖2係圖1之中央縱向剖面ζ 〇 在這些,自側面看(工件之移動方向F)大致 形之排氣室4及吸氣室5沿著工件之移動方向F成一體並
第5頁 442342 --------
五、發明說明(3) 設0 5之下端部之寬度和工件之寬度*大致相等 二由:2:知兩室4、5利用隔間壁6分開成等容積等在— 4、5之上端中央部形成 上未示 至 及,氣口連接之直徑約1〇_之配管孔2、3相在機送之= 排齓口和配管孔2之間為 給潔淨空 = 器(圖上未示)。 文表MU過慮 又,如圖1所示,兩室4、5之下端部兩端利用端板9、 10終端。11、12用以將該除塵裝置裝在周圍之支撐 安裝孔。 ' 此外’在圖2,在兩室4、5之下端部形成寬度和工件 之寬度大致相等之底板7。該底板7和工件2〇之表面之間 隔保持在約2 πι πι。 在排氣室4之底板7在其寬度方向之全長形成排氣口 4A,在吸氣至5之底板7—樣在其寬度方向之全長形成吸氣 π 5A β 由圖2得知’兩室4、5成為下端部之截面積比上端部 小之形狀。 在排氣室4之内部,在排氣口4Α之上方配置用以供給 排氣超音波頻率之振動之超音波產生器8。該超音波產生 器8具有排氣口4Α之全長之長度。 在此,兩室4、5、配管孔2、底板7等利用鋁形成 βα 一體0 此外,1 3係裝在兩室4、5之外侧之消音蓋r在圖1權
第6頁 t 442342 五、發明說明(4) 宜上省略圖示。 在本實施例,自工件20之移動方向F着,大致等邊梯 形之兩室4、5之底角設成45度,但是該角度可按照工件2〇 之寬度或工件20之上方空間之寬窄設成任意值。例如,在 上方空間窄之情況,若將該底角設成3 0度可保持除塵裝置 之南度低。 其次’說明本實施例之作用,自送風機送來之潔淨空 氣經由HEPA過遽器被引入排氣室4内,利用超音波產生器§ 產生超音波振動,自排氣口 4A向工件20方向排氣。 利用該排氣除去附者於工件20之表面之塵埃,自接鄰 之吸氣口 5A將負壓狀態之空氣吸入吸氣室5内後,自配管 孔3排氣。 那時,在本實施例,因在排氣室4及吸氣室5之上端中 央部配置配管孔2、3,排出、吸入空氣,在排氣口 4A及吸 氣口 5A各自在幾乎全長(即,工件2〇之寬度可得到均勻 之排氣力、吸氣力。 若依據發明者之實驗,對於寬度ff為6111之工件2〇,沿 著工件20之寬度方向每隔2ia在3處設置了本發明之除塵裝 置之結果,確認了可得到均勻之除塵效果。
圖3係表示|本發明之別的實施例D 在圖3,1A係沿著工件2〇之寬度方向配置了多組(在本 實施例為4組)上述之兩室4、5及配管孔2、3除塵裝置,對 於別的構成元件賦與和圖〗、圖2相同之符號。像這樣在設 置了多組兩室4、5之情況,希望依據送風機之負載條件設
_^ άά? Άά 五、發明說明(5) 置偶數組。 若依據本實施例,對於寬度W為6m之工件20,確1 利用單一之除塵裝置也可得到均勻而且穩定之除塵效&果7 發明之效果 若依據如上述之本發明 中央部配置送風機連接用之 央部供給空氣後排出,可使 之排氣力及吸氣力大致均勻 玻璃基板等寬度寬之工件, 力。 又,因將配管構造集中 跡變小,佔有空間可變窄。 ’因在排氣室及吸氣室之上端 配管孔,使得自各室之上端中 得沿著工件之寬度方向之空氣 。因而,對於PDP顯示裝置用 也可得到均勾且穩定之除塵 於各室之中央部上方,可使足 圖式簡單說明 示本發明之實施例之主要部分之立體圖。 圖2係圖1之縱向剖面圖。 圖3係4示本發明< $的實施例之主要部分之側視 符號說明 1、 1Α〜除塵裝置 2、 3 -配管孑匕 4〜排氣室
442342 五、發明說明(6) 4 A〜排氣口 吸氣室 5A〜吸氣口 6〜隔間壁 7 ~底板 8〜超音波產生器 9、1 0〜端板 11、1 2〜安裝孔 1 3〜消音蓋 2 0〜工件
1
第9頁

Claims (1)

  1. 442342 六、申請專利範圍 1. 一種除塵裝置,包括内藏超音波產生器而且具有排 氣口之排氣室以及該排氣室接鄰而且具有吸氣口之吸氣 室,該排氣室及吸氣室沿著工件之移動方向配置,而且在 排氣口及吸氣口和該工件之間保持既定之間隔而成, 其特徵在於: 在自工件之移動方向所看到排氣室之大致上端中央部 配置排氣用之配管孔,而且在吸氣室之大致上端中央部配 置吸氣用之配管孔。 2. 如申請專利範圍第1項之除塵裝置,其中自工件之 移動方向將排氣室及吸氣室形成為大致等邊梯形。 3. 如申請專利範圍第1或2項之除塵裝置,其中沿著工 件之寬度方向配置多組由排氣室及吸氣室構成之組。
    第10頁
TW088115382A 1998-06-25 1999-09-07 Dust collector TW442342B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17824598A JP2000005715A (ja) 1998-06-25 1998-06-25 除塵装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW442342B true TW442342B (en) 2001-06-23

Family

ID=16045134

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW088115382A TW442342B (en) 1998-06-25 1999-09-07 Dust collector

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2000005715A (zh)
TW (1) TW442342B (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2003221273A1 (en) * 2003-02-08 2004-08-30 Quanta Display Inc. Automatic air bath cleaning apparatus and method for assembling liquid crystal display device
JP4653169B2 (ja) * 2005-07-07 2011-03-16 ヒューグルエレクトロニクス株式会社 スポットクリーナ
JP4771419B2 (ja) * 2006-06-21 2011-09-14 ヒューグルエレクトロニクス株式会社 クリーニングヘッド
JP5889537B2 (ja) * 2011-03-23 2016-03-22 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンダ
WO2012132347A1 (ja) * 2011-03-29 2012-10-04 シャープ株式会社 偏光板貼り付け装置
JP5893882B2 (ja) * 2011-09-28 2016-03-23 東京エレクトロン株式会社 パーティクル捕集装置及びパーティクルの捕集方法
CN105127167B (zh) * 2015-09-29 2017-11-14 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 清洁组件及具有其的光伏组件清洁装置
CN115050235B (zh) * 2022-06-20 2024-02-09 山东法尔消防科技服务有限公司 消防火灾模拟评估展示仪及操作方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000005715A (ja) 2000-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW442342B (en) Dust collector
TWI308129B (en) Substrate transferring apparatus
TWI287472B (en) Spot cleaner
KR101499114B1 (ko) 고열분진발생장치의 흄 제거를 위한 이중후드 구조
JP4647378B2 (ja) 乾燥装置
KR100768922B1 (ko) 나이프를 가진 기판용 제진 장치
KR100566032B1 (ko) 제진장치
KR100603434B1 (ko) 플라즈마 세정장치
KR0173766B1 (ko) 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치
JP2004226574A (ja) 基板洗浄装置および基板処理施設
JPH11332217A (ja) 電力変換装置
KR20100100660A (ko) 팬 필터 유닛, 반도체 제조 장치, 플랫 패널 디스플레이 제조 장치 및 청정화 공기의 제조 방법
JPH07198165A (ja) 空気調和機の室外ユニット
JP3120798B2 (ja) 空気調和装置の室内機
JP5288002B2 (ja) フィルタ装置、及び、電子装置用筐体
KR102633779B1 (ko) 반도체 제조용 챔버 에어공급장치
JP7096627B1 (ja) クリーナヘッド及び除塵装置
CN210660513U (zh) 一种具有过滤和降噪效果的空压机
CN212494315U (zh) 一种风淋室壳体结构
JPH0775650B2 (ja) 空気清浄装置
JP5826669B2 (ja) 空気清浄機
JP2004355921A (ja) 常圧プラズマ処理装置
KR20030074542A (ko) 엘씨디 패널의 제진장치
KR200332664Y1 (ko) 엘씨디 패널의 제진장치
CN117840131A (zh) 宽幅超声波除尘器

Legal Events

Date Code Title Description
GD4A Issue of patent certificate for granted invention patent
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees