JP7096627B1 - クリーナヘッド及び除塵装置 - Google Patents

Abstract

【課題】極めて薄いフィルム基材であっても、基材対応面が接触せず、除塵できるクリーナヘッドを提供する。【解決手段】多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体20，20を設け、微小厚さ寸法εのエアー層Ａ0を形成した。【選択図】図２

Description

本発明は、クリーナヘッド及び除塵装置に関する。

従来、プラスチック等の基材51の表面を清浄にするために、図11に例示したようなクリーナヘッド52が使用されている。基材51に対して、矢印57のようにエアーを噴出し、粉塵を矢印58のように、吸引する。基材51は、矢印58の方向に吸込まれないように、大きな張力Ｔ₅₁，Ｔ₅₁を与えている（特許文献１参照）。

特開平９－３８６０８号公報

即ち、従来例を示す図11に於て、空気を媒体とした洗浄装置（クリーナヘッド52）にあっては、必ず吸引ポート（吸引スリット）59が存在する。
この吸引ポート（吸引スリット）59によって、基材51が（矢印58の方向に）吸着されることを、防ぐために、図11に示すようにバックアップロール60を設置し、かつ、大きな張力Ｔ₅₁，Ｔ₅₁を付加する必要があった。
また、図12に示すように、基材51が液晶ガラス基材の場合には、吸着テーブル61を必要とする。つまり、浅い凹所62を形成した吸着テーブル61に液晶ガラス基材51を設置して、矢印Ｖ₆₂のように真空排気することによって、基材51を固定保持する必要がある。

しかしながら、図11に示したように基材51が極めて薄い―――厚さが５μｍ以下の―――フィルムについても、除塵したいという要望がある。このような極薄フィルムの基材51では張力Ｔ₅₁を限りなく零とせねばならない（基材51の破損が発生する）。
勿論、張力Ｔ₅₁が限りなく零となれば、極薄フィルム（基材51）は、図11に示した吸引ポート（スリット）59に吸着して接触し、傷が付く等の問題が発生する。
また、図12に示した吸着テーブル61については、ガラス基材51の面積が、最近、特に増加し（例えば、２ｍ² ～１０ｍ² ）、吸着テーブル61を大型化せねばならない。このような大型化に伴って、吸着テーブルの製作に多大な費用が発生したり、組立及びレベル調整にも多大な工数（手間）が発生するという問題が生じている。

そこで、本発明は、エアーを吐出する吐出スリットと、粉塵と共にエアーを吸引する吸引スリットを、具備するスリットプレートを、内部が吸引空間と吐出空間に区画形成されているクリーナヘッドボディの一外面に、固着したクリーナヘッドに於て；上記スリットプレートは、小間隙をもって並設した複数のプレート単体から成り、かつ、隣設される上記プレート単体の相互間の上記小間隙をもって、上記吐出スリット・吸引スリットを形成し；さらに、上記吸引スリットを形成する隣り合った吸引スリット形成用プレート単体は、多孔質セラミックから成ると共に、裏面側からの圧縮エアーを受けて、被除塵用基材に対応する表て側の基材対応面の多数の微細孔から圧縮エアーを噴出して、基材と上記基材対応面との間に微小間隙を維持する微小厚さのエアー層を形成するように構成した。

また、上記スリットプレートの横断面において、左右中央位置に吸引スリットを形成し、左右側方位置に一対の吐出スリットを形成し；多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体が、横断面において、左右中間位置に、配設されている。
また、上記スリットプレートの横断面において、左右中央位置に吐出スリットを形成し、左右側方位置に一対の吸引スリットを形成し；４個全てのプレート単体が多孔質セラミックから成る。

また、多孔質セラミックから成るプレート単体は；圧縮エアーを受ける裏面に溝開口部を有すると共に、上記基材対応面に接近する方向に延伸状の圧縮エアー誘導溝を、有する。
また、上記圧縮エアー誘導溝は、プレート単体の内部に上記溝開口部よりも大きい断面形状の膨出部を有する蟻溝型である。
また、蟻溝型の上記圧縮エアー誘導溝は、上記基材対応面に接近状かつ略平行状の溝奥面を、具備する。
また、多孔質セラミックから成る上記プレート単体は、上記基材対応面及び圧縮エアー誘導溝を除く全残部の外面を、被覆するエアー洩れ封止コーティング層を、備えている。
また、上記クリーナヘッドボディは細長状箱体から成り、上記プレート単体は長尺体から成る。

また、本発明に係る除塵装置は、（上述の）クリーナヘッドを具備し；上記クリーナヘッドボディは細長状箱体から成り、かつ、上記スリットプレートは長尺体から成り；圧縮エアーを供給する圧縮エアーパイプを、上記クリーナヘッドボディに沿って配設し；多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体の裏面に、所定ピッチをもって多数の管継手を取着し、各管継手と上記圧縮エアーパイプとを、細パイプを介して、接続した。
また、クリーナヘッドを、２台具備し、被除塵用基材の両面に１台ずつ対称に配設した。

本発明によれば、極めて薄いフィルム基材―――例えば５μｍ以下の厚さ―――であっても、クリーナヘッドの基材対応面に接触することを確実に防止できる。
しかも、極めて薄いフィルム基材に対して、小さな張力のままにて、確実に安定した除塵を実現できる。
さらに、液晶ガラス基材の場合には、吸着テーブルを使用せずに済み、基材の大面積化にも確実かつ柔軟に対応できる。そして、大面積の吸着テーブルの省略によって、設備費の著しい低減が可能となり、特殊な技能を要する微妙な吸着テーブルレベル調整作業も、省略できる。

本発明の実施の一形態を示す一部断面正面図である。 図１の要部拡大断面図である。 他の実施形態を示す一部断面正面図である。 図３の要部拡大断面図である。 他の実施例を示す要部断面図である。 除塵装置の一実施形態を示す側面図である。 除塵装置の正面図である。 別の実施形態を示す要部断面図である。 さらに別の実施形態を示す要部断面図である。 さらに他の実施形態を示した断面図である。 従来例を示す断面図である。 他の従来例を示す断面図である。

以下、図示の実施の形態に基づき本発明を詳説する。
図１と図２、又は、図３と図４に於て、１はクリーナヘッドボディであって、断面形状が矩形の周囲壁１Ａを有し、内部が吸引空間１Ｖと吐出空間１Ｐ，１Ｐに、区画壁１Ｂ，１Ｂにて区画形成されている。

このクリーナヘッドボディ１の一外面２にスリットプレート10が（図示省略のボルト等の固着手段をもって）固着されている。一外面２とは、図例ではクリーナヘッドボディ１の底壁３の外面（下面）である。
スリットプレート10は、エアーを吐出する吐出スリット５，５と、粉塵と共にエアーを吸引する吸引スリット７を、備えている。

そして、スリットプレート10は、小間隙Ｔ₅ ，Ｔ₇ をもって（左右に）並設した複数のプレート単体12，12，12，12から成る。また、隣設されたプレート単体12，12の相互間の上記小間隙Ｔ₅ ，Ｔ₇ によって、吐出スリット５・吸引スリット７を形成する。
吸引スリット７の小間隙Ｔ₇ は、吐出スリット５の小間隙Ｔ₅ よりも、（一般的に）大きな寸法とする。
吐出スリット５は、断面形状が、上半の垂直線部と、下半の内方へ傾斜した傾斜線部と、からなる折れ線形状として、下方への噴出エアーが、中央にある吸引スリット７の方向に流れるようにしている。

そして、４個のプレート単体12，12，12，12の内で、吸引スリット７を形成している隣り合った（一対の）吸引スリット形成用プレート単体20，20は、多数の連通状の細孔を有する多孔質セラミックから成る。
また、吸引スリット形成用プレート単体20の外側から接近して、吐出スリット５を形成する外側プレート単体21は、細孔の無い（鉄鋼等の）金属やセラミック等とする。
そして、多孔質セラミックから成る（一対の）吸引スリット形成用プレート単体20，20は、その裏面側（上面側）から圧縮エアーを受けて、被除塵用基材25に対応（対面）する表て側の基材対応面13の多数の微細孔から、（短い多数の小矢印をもって示す如く）圧縮エアーを噴出する。

このような基材対応面13の多数の微細孔から（小矢印をもって示す如く）噴出した圧縮エアーによって、基材25と基材対応面13との間に、微小厚さ寸法εの圧縮エアー層Ａ₀ を形成する。
言い換えると、吸引スリット形成用プレート単体20，20に於て、多孔質セラミックの多数の微細孔から（図２，図４に於て短い多数の小矢印をもって示した如く）圧縮エアーを噴出することによって、基材対応面13に沿った微小厚さ寸法εのエアー層Ａ₀ が形成される。

従って、図２に示したように、（例えば、厚さ５μｍ以下の）薄いプラスチック等の平面状の基材25であって、張力をほとんど付与できない場合であったとしても、図２の状態から、微小厚さ寸法εのエアー層Ａ₀ を越えて基材対応面13に接近することを、防止できる。
あるいは、吸着テーブルを省略して、平坦載置面（図示省略）にガラス基材25を載置するだけで、図２に示す如く微小厚さ寸法εのエアー層Ａ₀ を越えてガラス基材25が接近することを防止し、基材対応面13への接触を完全に防止できる。
なお、図２では図示省略したが、簡易低真空吸着テーブルの上にガラス基材25を載置しても良い。即ち、従来の「高真空」吸着テーブルが不要となって、低真空の簡易な吸着テーブルで十分であり、（ａ）真空ユーティリティ容量の低減、（ｂ）吸着テーブルの表面加工精度の低減、（ｃ）分割構造の大面積の吸着テーブルの場合、レベル調整が重要となるが、そのレベル調整の容易化、及び、その他の著大な効果が発揮される。

次に、図４にあっては、バックアップロール14を付設し、フィルム（基材25）に張力Ｔ₂₅を付与しているが、この張力Ｔ₂₅が著しく小さい場合であっても、微小厚さ寸法εの基材分離用エアー層Ａ₀ の存在によって、極薄のプラスチックフィルム基材25が基材対応面13へ接近することを完全に防止できる。
そして、図１～図４にあっては、上記スリットプレート10の横断面において、左右中央位置に吸引スリット７を形成し、左右側方位置に一対の吐出スリット５，５を形成し、多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体20，20が、横断面において、左右中間位置に、配設されている。

次に、図８又は図９に示す他の実施形態では、スリットプレート10の横断面において、左右中央位置に、吐出スリット５を形成し、左右側方位置には一対の吸引スリット７，７を形成している。
そして、４個全てのプレート単体12，12，12，12が多孔質セラミックから成る。
４個のプレート単体12，12，12，12は、図８，図９からも分るように、吸引スリット形成用プレート単体20に該当しているので、４個全てを多孔質セラミックとした。これによって、（２個の）吸引スリット７，７の近傍において、基材25が基材対応面13に接近（接触）することを、防止できる。
その他の作用・効果は、図１～図４で説明した内容と同様である。例えば、基材対応面13の多数の微細孔から、（短い多数の小矢印をもって示した如く）圧縮エアーが噴出し、基材25と基材対応面13との間に、微小厚さ寸法εのエアー層Ａ₀ を形成している。

ところで、図１～図４、及び、図８，図９に示したように、多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体20は、圧縮エアーを受ける裏面15に、溝開口部31を有する圧縮エアー誘導溝30が、凹設されている。
即ち、この圧縮エアー誘導溝30は、前記基材対応面13に接近する方向に延伸状である。
図３，図４，図５（Ｂ），図９等にあっては、この圧縮エアー誘導溝30は、裏面15から垂直方向に延伸するストレート溝の場合を例示している。
また、図１，図２，図５（Ａ）（Ｃ），図８に示すように、圧縮エアー誘導溝30は、プレート単体20の内部に、溝開口部31よりも大きい断面形状の膨出部32を有する蟻溝型とすることも、望ましい。
さらに、図２，図５（Ａ）（Ｃ），図８に示したように、蟻溝型の圧縮エアー誘導溝30は、基材対応面13に対して、接近状かつ略平行状の溝奥面33を、備えることが、好ましい。

次に、図５、及び、図８，図９に於て、断面太線を持って示すように、多孔質セラミックから成る上記プレート単体20は、上記基材対応面13及び圧縮エアー誘導溝30を除く全残部の外面を、被覆するエアー洩れ封止コーティング層８を、備えている。
また、図６，図７及び図１，図３に示す実施形態では、上記クリーナヘッドボディ１は細長状箱体から成り、上記プレート単体12は長尺体から成る。

そして、本発明の除塵装置40は、上述のクリーナヘッドを具備し、クリーナヘッドボディ１は細長状箱体から成り、かつ、スリットプレート10は（略同じ長さの）長尺体から成る（図６参照）。
吸引スリット形成用プレート単体20に圧縮エアーを供給するための圧縮エアーパイプ41を、クリーナヘッドボディ１の長手方向に沿って、取付金具42にて固着する。
図１，図３，図６，図７では、クリーナヘッドボディ１の上壁の上面に、固着している場合を例示した。

ところで、吸引スリット形成用プレート単体20の裏面（上面）15に、所定ピッチをもって、多数の管継手43を取着する。
そして、各管継手43と、上記圧縮エアーパイプ41とを、細パイプ44を介して、接続する。なお、図１～図４では、クリーナヘッドボディ１の内部の吐出空間１Ｐ内に、細パイプ44の一部位が侵入状として、配管されている。また、図８，図９では、クリーナヘッドボディ１の内部の吸引空間１Ｖ内に、細パイプ44の一部位が侵入状として、配管されている。
このようにして、一本の大径の圧縮エアーパイプ41内の圧縮エアーは、多数本の細パイプ44を介して、吸収スリット形成用プレート単体20に、供給される。

次に、図10は別の実施形態を示す。即ち、クリーナヘッド６，６を２台有すると共に、被除塵用基材25が差込まれる小空隙を形成しつつ、上記クリーナヘッド６，６を、上下対称として配設している。
使用状態下では、被除塵用基材25の上下にクリーナヘッド６，６が上下対称に配設されている。
クリーナヘッド６としては、中間の２個のプレート単体12，12が多孔質セラミックの吸引スリット形成用プレート単体20，20であると共に、左右外側のプレート単体12，12も多孔質セラミックとする。
図10では、クリーナヘッドボディ１等を、図示省略したが、図８に具体的に示した構成のクリーナヘッド６，６を、基材25に関して、上下対称に配設することも、望ましい。また、図示省略するが、図２に示したクリーナヘッド６，６を、基材25に関して、上下対称に配設しても良い。

本発明は、以上詳述したように、エアーを吐出する吐出スリット５と、粉塵と共にエアーを吸引する吸引スリット７を、具備するスリットプレート10を、内部が吸引空間１Ｖと吐出空間１Ｐに区画形成されているクリーナヘッドボディ１の一外面２に、固着したクリーナヘッドに於て；上記スリットプレート10は、小間隙Ｔ₅ ，Ｔ₇ をもって並設した複数のプレート単体12，12，12，12から成り、かつ、隣設される上記プレート単体12，12の相互間の上記小間隙Ｔ₅ ，Ｔ₇ をもって、上記吐出スリット５・吸引スリット７を形成し；さらに、上記吸引スリット７を形成する隣り合った吸引スリット形成用プレート単体20，20は、多孔質セラミックから成ると共に、裏面側からの圧縮エアーを受けて、被除塵用基材25に対応する表て側の基材対応面13の多数の微細孔から圧縮エアーを噴出して、基材25と上記基材対応面13との間に微小間隙を維持する微小厚さεのエアー層Ａ₀ を形成するように構成したので、極めて薄い（例えば５μｍ以下）フィルム基材25についてフィルム張力を極端に小さくすることが可能となり、破損を防止できると同時に、クリーナヘッドが接触することを、確実に防止することが、可能である。また、大型の液晶ガラス基材を保持するための大型吸着テーブルが不要となり、多額の製作費を節約でき、かつ、組立・レベル調整作業を省略できる。
特に、図２，図４，図８，図９に於て、吸引スリット７へ吸引されるエアーの吸引流れ―――矢印Ｆ₇ 参照―――によって、基材25が吸上げられようとすることを、微小厚さεのエアー層Ａ₀ が確実に阻止して、基材25が基材対応面13に接触することを防止できる。

また、上記スリットプレート10の横断面において、左右中央位置に吸引スリット７を形成し、左右側方位置に一対の吐出スリット５，５を形成し；多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体20，20が、横断面において、左右中間位置に、配設されている構成であるので、（図１～図４に示したように）多孔質セラミック製プレート単体20の個数が最小（２個）で済む。しかも、基材25が接触する虞のある箇所は、中央の吸引スリット７の近傍一箇所のみであるので、各部の寸法の設定、及び、圧縮エアーの圧力と風量の制御が容易である。
また、上記スリットプレート10の横断面において、左右中央位置に吐出スリット５を形成し、左右側方位置に一対の吸引スリット７，７を形成し；４個全てのプレート単体12，12，12，12が多孔質セラミックから成るので、（図８，図９に示したように）基材対応面13に於て、圧縮エアーの噴出する面積の割合が高く、エアー層Ａ₀ の微小厚さ寸法εが安定状態に保たれ、基材25が基材対応面13に対して不安定姿勢で接触する危険を確実に避けることができる。

また、多孔質セラミックから成るプレート単体12は；圧縮エアーを受ける裏面15に溝開口部31を有すると共に、上記基材対応面13に接近する方向に延伸状の圧縮エアー誘導溝30を、有するので、外部から圧送されてくる圧縮エアーが、多孔質セラミックの内部へ浸入し易く、確実に基材対応面13にまで到達し、（図２，図４，図８，図９に示した小矢印のように）基材対応面13から効率よく噴出する。

また、上記圧縮エアー誘導溝30は、プレート単体20の内部に上記溝開口部31よりも大きい断面形状の膨出部32を有する蟻溝型であるので、外部から圧送されてくる圧縮エアーが、多孔質セラミックの内部へ浸入する内面積が著しく増加し、効率的に基材対応面13にまで送って、噴出させることが、できる（図２，図４，図８，図９の小矢印参照）。
また、蟻溝型の上記圧縮エアー誘導溝30は、上記基材対応面13に接近状かつ略平行状の溝奥面33を、具備するので、圧縮エアー誘導溝30の溝奥面33と、基材対応面13との間隔寸法が小さくなり、（薄い肉厚の多孔質壁を介して）基材対応面13から、均等かつ効率良く、圧縮エアーを噴出可能となる。

また、多孔質セラミックから成る上記プレート単体20は、上記基材対応面13及び圧縮エアー誘導溝30を除く全残部の外面を、被覆するエアー洩れ封止コーティング層８を、備えているので、外部から圧送される圧縮エアーは、誘導溝30から多孔質内部に浸入し、基材対応面13へのみ、無駄なく（有効に）流れて噴出する。
また、上記クリーナヘッドボディ１は細長状箱体から成り、上記プレート単体12は長尺体から成るので、被除塵用基材25が大きな幅寸法のフィルムや大型のガラス基材に対して、効率良く除塵することが可能である。

また、本発明に係る除塵装置は、上記クリーナヘッドボディ１は細長状箱体から成り、かつ、上記スリットプレート10は長尺体から成り；圧縮エアーを供給する圧縮エアーパイプ41を、上記クリーナヘッドボディ１に沿って配設し；多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体20の裏面15に、所定ピッチをもって多数の管継手43を取着し、各管継手43と上記圧縮エアーパイプ41とを、細パイプ44を介して、接続したので、全体は細長型であるが、横断面がコンパクトな寸法となり、設置に場所を取らずに済む。しかも、基材25が大きな幅寸法のフィルムや大型ガラス基材等に対して、効率良く除塵することができる。特に、プレート単体20が長尺体であっても、エアー層Ａ₀ を形成する圧縮エアーを、長手方向の全ての各部位から、均等に噴出させることが、できる。
従って、大きな幅寸法のフィルムや大面積のガラス基材等に対して、（ムラなく）均等に美しく全面の除塵を行うことができる。
また、クリーナヘッド６，６を、２台具備し、被除塵用基材25の両面に１台ずつ対称に配設したので、（図10に示したように）被除塵用基材25を（ローラー等で）支持せず、空中での洗浄を行い得る。また、構造の簡素化が図られる。

１ クリーナヘッドボディ
１Ｐ 吐出空間
１Ｖ 吸引空間
２ 一外面
５ 吐出スリット
６ クリーナヘッド
７ 吸引スリット
８ コーティング層
10 スリットプレート
12 プレート単体
13 基材対応面
15 裏面
20 吸引スリット形成用プレート単体
25 被除塵用基材
30 圧縮エアー誘導溝
31 溝開口部
32 膨出部
33 溝奥面
41 圧縮エアーパイプ
43 管継手
44 細パイプ
Ａ₀ エアー層
Ｔ₅ ，Ｔ₇ 小間隙
ε 微小厚さ（寸法）

Claims (10)

1. エアーを吐出する吐出スリット（５）と、粉塵と共にエアーを吸引する吸引スリット（７）を、具備するスリットプレート（10）を、内部が吸引空間（１Ｖ）と吐出空間（１Ｐ）に区画形成されているクリーナヘッドボディ（１）の一外面（２）に、固着したクリーナヘッドに於て、
   上記スリットプレート（10）は、小間隙（Ｔ₅ ）（Ｔ₇ ）をもって並設した複数のプレート単体（12）（12）（12）（12）から成り、かつ、隣設される上記プレート単体（12）（12）の相互間の上記小間隙（Ｔ₅ ）（Ｔ₇ ）をもって、上記吐出スリット（５）・吸引スリット（７）を形成し、
   さらに、上記吸引スリット（７）を形成する隣り合った吸引スリット形成用プレート単体（20）（20）は、多孔質セラミックから成ると共に、裏面側からの圧縮エアーを受けて、被除塵用基材（25）に対応する表て側の基材対応面（13）の多数の微細孔から圧縮エアーを噴出して、基材（25）と上記基材対応面（13）との間に微小間隙を維持する微小厚さ（ε）のエアー層（Ａ₀ ）を形成するように構成したことを、
   特徴とするクリーナヘッド。
2. 上記スリットプレート（10）の横断面において、左右中央位置に吸引スリット（７）を形成し、左右側方位置に一対の吐出スリット（５）（５）を形成し、
   多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体（20）（20）が、横断面において、左右中間位置に、配設されている請求項１記載のクリーナヘッド。
3. 上記スリットプレート（10）の横断面において、左右中央位置に吐出スリット（５）を形成し、左右側方位置に一対の吸引スリット（７）（７）を形成し、
   ４個全てのプレート単体（12）（12）（12）（12）が多孔質セラミックから成る請求項１記載のクリーナヘッド。
4. 多孔質セラミックから成るプレート単体（12）は、
   圧縮エアーを受ける裏面（15）に溝開口部（31）を有すると共に、上記基材対応面（13）に接近する方向に延伸状の圧縮エアー誘導溝（30）を、有する請求項１，２又は３記載のクリーナヘッド。
5. 上記圧縮エアー誘導溝（30）は、プレート単体（20）の内部に上記溝開口部（31）よりも大きい断面形状の膨出部（32）を有する蟻溝型である請求項４記載のクリーナヘッド。
6. 蟻溝型の上記圧縮エアー誘導溝（30）は、上記基材対応面（13）に接近状かつ略平行状の溝奥面（33）を、具備する請求項５記載のクリーナヘッド。
7. 多孔質セラミックから成る上記プレート単体（20）は、上記基材対応面（13）及び圧縮エアー誘導溝（30）を除く全残部の外面を、被覆するエアー洩れ封止コーティング層（８）を、備えている請求項４，５又は６記載のクリーナヘッド。
8. 上記クリーナヘッドボディ（１）は細長状箱体から成り、上記プレート単体（12）は長尺体から成る請求項１，２，３，４，５，６又は７記載のクリーナヘッド。
9. 請求項１，２，３，４，５，６又は７記載のクリーナヘッドを具備した除塵装置であって、
   上記クリーナヘッドボディ（１）は細長状箱体から成り、かつ、上記スリットプレート（10）は長尺体から成り、
   圧縮エアーを供給する圧縮エアーパイプ（41）を、上記クリーナヘッドボディ（１）に沿って配設し、
   多孔質セラミックから成る吸引スリット形成用プレート単体（20）の裏面（15）に、所定ピッチをもって多数の管継手（43）を取着し、各管継手（43）と上記圧縮エアーパイプ（41）とを、細パイプ（44）を介して、接続したことを特徴とする除塵装置。
10. 請求項１，２，３，４，５，６又は７記載のクリーナヘッド（６）（６）を、２台具備し、被除塵用基材（25）の両面に１台ずつ対称に配設したことを特徴とする除塵装置。

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