JP2000005715A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
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- JP2000005715A JP2000005715A JP17824598A JP17824598A JP2000005715A JP 2000005715 A JP2000005715 A JP 2000005715A JP 17824598 A JP17824598 A JP 17824598A JP 17824598 A JP17824598 A JP 17824598A JP 2000005715 A JP2000005715 A JP 2000005715A
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- air discharge
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの幅方向に沿ったエアー吐出力及び吸
引力を均一化し、かつ、配管構造を両チャンバーの中央
部上方にまとめてフットプリントを小さくする。 【解決手段】 超音波発生器８が内蔵され、かつエアー
吐出口４Ａを備えたエアー吐出チャンバー４と、このエ
アー吐出チャンバー４に隣接され、かつエアー吸引口５
Ａを備えたエアー吸引チャンバー５とを有し、両チャン
バー４，５がワーク２０の走行方向に沿って配置される
と共に、エアー吐出口４Ａ及びエアー吸引口５Ａと前記
ワーク２０との間に所定の間隔を保有してなる除塵装置
に関する。ワーク２０の走行方向から見たエアー吐出チ
ャンバー４のほぼ上端中央部にエアー吐出用の配管孔２
を配置し、かつ、エアー吸引チャンバー５のほぼ上端中
央部にエアー吸引用の配管孔３を配置する。
引力を均一化し、かつ、配管構造を両チャンバーの中央
部上方にまとめてフットプリントを小さくする。 【解決手段】 超音波発生器８が内蔵され、かつエアー
吐出口４Ａを備えたエアー吐出チャンバー４と、このエ
アー吐出チャンバー４に隣接され、かつエアー吸引口５
Ａを備えたエアー吸引チャンバー５とを有し、両チャン
バー４，５がワーク２０の走行方向に沿って配置される
と共に、エアー吐出口４Ａ及びエアー吸引口５Ａと前記
ワーク２０との間に所定の間隔を保有してなる除塵装置
に関する。ワーク２０の走行方向から見たエアー吐出チ
ャンバー４のほぼ上端中央部にエアー吐出用の配管孔２
を配置し、かつ、エアー吸引チャンバー５のほぼ上端中
央部にエアー吸引用の配管孔３を配置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＰＤＰ（プラズマ
ディスプレイパネル）表示装置やＬＣＤ（液晶ディスプ
レイ）表示装置用のガラス基板等のワーク表面に付着し
た塵埃を清浄エアーにより吸引除去する除塵装置に関す
る。
ディスプレイパネル）表示装置やＬＣＤ（液晶ディスプ
レイ）表示装置用のガラス基板等のワーク表面に付着し
た塵埃を清浄エアーにより吸引除去する除塵装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】表面がほぼ平坦なワークの表面に付着し
た塵埃をエアーを噴射し、このエアーを吸引して除去す
る除塵装置としては、例えば特開平７−６０２１１号公
報（特願平５−２４０６７２号）に記載されたものが知
られている。この除塵装置では、ワークの走行方向に沿
ってエアー排出室とエアー吸入室とが配置されており、
これらの各端部をブロワーに配管接続してエアーを排
出、吸引する構造となっている。
た塵埃をエアーを噴射し、このエアーを吸引して除去す
る除塵装置としては、例えば特開平７−６０２１１号公
報（特願平５−２４０６７２号）に記載されたものが知
られている。この除塵装置では、ワークの走行方向に沿
ってエアー排出室とエアー吸入室とが配置されており、
これらの各端部をブロワーに配管接続してエアーを排
出、吸引する構造となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術で
は、エアー排出室及びエアー吸入室におけるブロワーと
の配管接続部近傍が排出力、吸引力共に最も強く、これ
らの配管接続部から遠くなるほど排出力、吸引力が低下
するため、ワークの幅が長くなるほど幅方向に沿って除
塵力が不均一になる問題があった。特に、ワークの幅が
３５０ｍｍ以上になるＰＤＰ表示装置等の大型ガラス基
板の除塵には適用不可能であった。また、ワークの幅方
向に沿ってエアー供給及び排出の配管を行う構造である
ため、配管用に多大な空間が必要になり、いわゆるフッ
トプリントが大きくなるという不都合があった。
は、エアー排出室及びエアー吸入室におけるブロワーと
の配管接続部近傍が排出力、吸引力共に最も強く、これ
らの配管接続部から遠くなるほど排出力、吸引力が低下
するため、ワークの幅が長くなるほど幅方向に沿って除
塵力が不均一になる問題があった。特に、ワークの幅が
３５０ｍｍ以上になるＰＤＰ表示装置等の大型ガラス基
板の除塵には適用不可能であった。また、ワークの幅方
向に沿ってエアー供給及び排出の配管を行う構造である
ため、配管用に多大な空間が必要になり、いわゆるフッ
トプリントが大きくなるという不都合があった。
【０００４】そこで本発明は、ワークの幅に関わらずほ
ぼ均一で安定した除塵力、除塵効果を得ることができ、
しかもを配管の配置空間を減少させることができる除塵
装置を提供しようとするものである。
ぼ均一で安定した除塵力、除塵効果を得ることができ、
しかもを配管の配置空間を減少させることができる除塵
装置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、超音波発生器が内蔵され、
かつエアー吐出口を備えたエアー吐出チャンバーと、こ
のエアー吐出チャンバーに隣接され、かつエアー吸引口
を備えたエアー吸引チャンバーとを有し、前記エアー吐
出チャンバー及びエアー吸引チャンバーがワークの走行
方向に沿って配置されると共に、前記エアー吐出口及び
エアー吸引口と前記ワークとの間に所定の間隔を保有し
てなる除塵装置において、前記ワークの走行方向から見
た前記エアー吐出チャンバーのほぼ上端中央部にエアー
吐出用の配管孔を配置し、かつ、前記エアー吸引チャン
バーのほぼ上端中央部にエアー吸引用の配管孔を配置し
たものである。
め、請求項１記載の発明は、超音波発生器が内蔵され、
かつエアー吐出口を備えたエアー吐出チャンバーと、こ
のエアー吐出チャンバーに隣接され、かつエアー吸引口
を備えたエアー吸引チャンバーとを有し、前記エアー吐
出チャンバー及びエアー吸引チャンバーがワークの走行
方向に沿って配置されると共に、前記エアー吐出口及び
エアー吸引口と前記ワークとの間に所定の間隔を保有し
てなる除塵装置において、前記ワークの走行方向から見
た前記エアー吐出チャンバーのほぼ上端中央部にエアー
吐出用の配管孔を配置し、かつ、前記エアー吸引チャン
バーのほぼ上端中央部にエアー吸引用の配管孔を配置し
たものである。
【０００６】なお、本発明の除塵装置は、請求項２に記
載するように、エアー吐出チャンバー及びエアー吸引チ
ャンバーを、ワークの走行方向から見てほぼ等脚台形状
に形成することが望ましい。更に、請求項３に記載する
如く、エアー吐出チャンバー及びエアー吸引チャンバー
からなる組をワークの幅方向に沿って複数配置すること
により、幅広のワークに対応させることもできる。
載するように、エアー吐出チャンバー及びエアー吸引チ
ャンバーを、ワークの走行方向から見てほぼ等脚台形状
に形成することが望ましい。更に、請求項３に記載する
如く、エアー吐出チャンバー及びエアー吸引チャンバー
からなる組をワークの幅方向に沿って複数配置すること
により、幅広のワークに対応させることもできる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は、この実施形態の主要部を示す斜
視図、図２は図１の中央縦断面図である。これらの図に
おいて、側面（ワークの走行方向Ｆ）から見てほぼ等脚
台形状のエアー吐出チャンバー４及びエアー吸引チャン
バー５が、ワークの走行方向Ｆに沿って一体的に並設さ
れている。
態を説明する。図１は、この実施形態の主要部を示す斜
視図、図２は図１の中央縦断面図である。これらの図に
おいて、側面（ワークの走行方向Ｆ）から見てほぼ等脚
台形状のエアー吐出チャンバー４及びエアー吸引チャン
バー５が、ワークの走行方向Ｆに沿って一体的に並設さ
れている。
【０００８】両チャンバー４，５の下端部の幅は、ワー
クの幅Ｗにほぼ等しくなっているとともに、両チャンバ
ー４，５は、図２から明らかなように隔壁６によって等
容積に分離されている。チャンバー４，５の上端中央部
には、図示されていないブロワーの吐出口及び吸引口に
それぞれ接続される直径約１００ｍｍの配管孔２，３が
形成されており、ブロワーの吐出口と配管孔２との間に
は、清浄なエアーを供給するためにＨＥＰＡフィルター
（図示せず）が取付けられる。
クの幅Ｗにほぼ等しくなっているとともに、両チャンバ
ー４，５は、図２から明らかなように隔壁６によって等
容積に分離されている。チャンバー４，５の上端中央部
には、図示されていないブロワーの吐出口及び吸引口に
それぞれ接続される直径約１００ｍｍの配管孔２，３が
形成されており、ブロワーの吐出口と配管孔２との間に
は、清浄なエアーを供給するためにＨＥＰＡフィルター
（図示せず）が取付けられる。
【０００９】また、図１に示すように、両チャンバー
４，５の下端部両端はエンドプレート９，１０によって
終端されている。１１，１２はこの除塵装置を周囲の支
持部材に取付けるための取付孔である。
４，５の下端部両端はエンドプレート９，１０によって
終端されている。１１，１２はこの除塵装置を周囲の支
持部材に取付けるための取付孔である。
【００１０】更に、図２において、両チャンバー４，５
の下端部には、ワークの幅Ｗにほぼ等しい幅を有する底
板７が形成されている。この底板７とワーク２０の表面
との間隔は、ほぼ２ｍｍに保たれる。エアー吐出チャン
バー４の底板７には、その幅方向の全長にわたってエア
ー吐出口４Ａが形成され、エアー吸引チャンバー５の底
板７には、同じく幅方向の全長にわたってエアー吸引口
５Ａが形成されている。図２から明らかなように、両チ
ャンバー４，５は下端部の断面積が上端部よりも小さく
なるような形状となっている。
の下端部には、ワークの幅Ｗにほぼ等しい幅を有する底
板７が形成されている。この底板７とワーク２０の表面
との間隔は、ほぼ２ｍｍに保たれる。エアー吐出チャン
バー４の底板７には、その幅方向の全長にわたってエア
ー吐出口４Ａが形成され、エアー吸引チャンバー５の底
板７には、同じく幅方向の全長にわたってエアー吸引口
５Ａが形成されている。図２から明らかなように、両チ
ャンバー４，５は下端部の断面積が上端部よりも小さく
なるような形状となっている。
【００１１】エアー吐出チャンバー４の内部において、
エアー吐出口４Ａの上方には、吐出エアーに超音波周波
数の振動を与えるための超音波発生器８が配置されてい
る。この超音波発生器８は、エアー吐出口４Ａの全長に
わたる長さを有している。ここで、両チャンバー４，
５、配管孔２，３、底板７等は、アルミニウムにより一
体的に形成されている。なお、１３は両チャンバー４，
５の外側に取り付けられた消音カバーであり、図１では
便宜上、その図示を省略してある。
エアー吐出口４Ａの上方には、吐出エアーに超音波周波
数の振動を与えるための超音波発生器８が配置されてい
る。この超音波発生器８は、エアー吐出口４Ａの全長に
わたる長さを有している。ここで、両チャンバー４，
５、配管孔２，３、底板７等は、アルミニウムにより一
体的に形成されている。なお、１３は両チャンバー４，
５の外側に取り付けられた消音カバーであり、図１では
便宜上、その図示を省略してある。
【００１２】この実施形態において、ワーク２０の走行
方向Ｆから見てほぼ等脚台形状の両チャンバー４，５の
底角は４５度に設定されているが、この角度は、ワーク
２０の幅やワーク２０の上方空間の広狭に応じて任意に
設定可能である。例えば、ワーク２０の上方空間が狭い
場合には、上記底角を３０度にすれば除塵装置の高さを
低く保つことができる。
方向Ｆから見てほぼ等脚台形状の両チャンバー４，５の
底角は４５度に設定されているが、この角度は、ワーク
２０の幅やワーク２０の上方空間の広狭に応じて任意に
設定可能である。例えば、ワーク２０の上方空間が狭い
場合には、上記底角を３０度にすれば除塵装置の高さを
低く保つことができる。
【００１３】次に、本実施形態の作用を説明すると、ブ
ロワーから送られた清浄なエアーはＨＥＰＡフィルタを
経てエアー吐出チャンバー４内に導入され、超音波発生
器８により超音波振動を与えられてエアー吐出口４Ａか
らワーク２０方向へ吐出される。ワーク２０の表面に付
着している塵埃はこの吐出エアーによって除去され、隣
接しているエアー吸引口５Ａから、負圧状態のエアー吸
引チャンバー５内に吸引されて配管孔３から排気され
る。
ロワーから送られた清浄なエアーはＨＥＰＡフィルタを
経てエアー吐出チャンバー４内に導入され、超音波発生
器８により超音波振動を与えられてエアー吐出口４Ａか
らワーク２０方向へ吐出される。ワーク２０の表面に付
着している塵埃はこの吐出エアーによって除去され、隣
接しているエアー吸引口５Ａから、負圧状態のエアー吸
引チャンバー５内に吸引されて配管孔３から排気され
る。
【００１４】その際、本実施形態では、エアー吐出チャ
ンバー４及びエアー吸引チャンバー５の上端中央部に配
管孔２，３を配置してエアーを吐出、吸引するため、エ
アー吐出口４Ａ及びエアー吸引口５Ａではそれぞれのほ
ぼ全長（すなわち、ワーク２０の幅Ｗ）にわたって均一
な吐出力、吸引力を得ることができる。発明者の実験に
よれば、幅Ｗが６ｍのワーク２０に対し、本発明の除塵
装置をワーク２０の幅方向に沿って２ｍごとに３個所設
置した結果、均一な除塵効果が得られることが確認され
た。
ンバー４及びエアー吸引チャンバー５の上端中央部に配
管孔２，３を配置してエアーを吐出、吸引するため、エ
アー吐出口４Ａ及びエアー吸引口５Ａではそれぞれのほ
ぼ全長（すなわち、ワーク２０の幅Ｗ）にわたって均一
な吐出力、吸引力を得ることができる。発明者の実験に
よれば、幅Ｗが６ｍのワーク２０に対し、本発明の除塵
装置をワーク２０の幅方向に沿って２ｍごとに３個所設
置した結果、均一な除塵効果が得られることが確認され
た。
【００１５】図３は、本発明の他の実施形態を示してい
る。図において、１Ａは、前述の両チャンバー４，５及
び配管孔２，３の組をワーク２０の幅方向に沿って複数
（この実施形態では４つ）配置した除塵装置であり、他
の構成要素には図１、図２と同一の番号を付してある。
このように両チャンバー４，５を複数組設置する場合に
は、ブロワーの負荷条件から偶数組を設置することが望
ましい。この実施形態によれば、幅Ｗが６ｍのワーク２
０に対しても、単一の除塵装置により均一かつ安定した
除塵効果が得られることが確認された。
る。図において、１Ａは、前述の両チャンバー４，５及
び配管孔２，３の組をワーク２０の幅方向に沿って複数
（この実施形態では４つ）配置した除塵装置であり、他
の構成要素には図１、図２と同一の番号を付してある。
このように両チャンバー４，５を複数組設置する場合に
は、ブロワーの負荷条件から偶数組を設置することが望
ましい。この実施形態によれば、幅Ｗが６ｍのワーク２
０に対しても、単一の除塵装置により均一かつ安定した
除塵効果が得られることが確認された。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、エア
ー吐出チャンバー及びエアー吸引チャンバーの上端中央
部にブロワー接続用の配管孔を配置し、各チャンバーの
上端中央部からエアーを供給して排出するようにしたの
で、ワークの幅方向に沿ったエアーの吐出力及び吸引力
をほぼ均一にすることができる。このため、ＰＤＰ表示
装置用ガラス基板等の幅広のワークに対しても、均一で
安定した除塵力を得ることができる。また、配管構造を
各チャンバーの中央部上方にまとめることができるの
で、フットプリントを小さくでき、占有スペースの狭小
化が可能になる。
ー吐出チャンバー及びエアー吸引チャンバーの上端中央
部にブロワー接続用の配管孔を配置し、各チャンバーの
上端中央部からエアーを供給して排出するようにしたの
で、ワークの幅方向に沿ったエアーの吐出力及び吸引力
をほぼ均一にすることができる。このため、ＰＤＰ表示
装置用ガラス基板等の幅広のワークに対しても、均一で
安定した除塵力を得ることができる。また、配管構造を
各チャンバーの中央部上方にまとめることができるの
で、フットプリントを小さくでき、占有スペースの狭小
化が可能になる。
【図１】本発明の実施形態の主要部を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】図１の縦断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態の主要部を示す側面図で
ある。
ある。
１，１Ａ 除塵装置 ２，３ 配管孔 ４ エアー吐出チャンバー ４Ａ エアー吐出口 ５ エアー吸引チャンバー ５Ａ エアー吸引口 ６ 隔壁 ７ 底板 ８ 超音波発生器 ９，１０ エンドプレート １１，１２ 取付孔 １３ 消音カバー ２０ ワーク
Claims (3)
- 【請求項１】 超音波発生器が内蔵され、かつエアー吐
出口を備えたエアー吐出チャンバーと、このエアー吐出
チャンバーに隣接され、かつエアー吸引口を備えたエア
ー吸引チャンバーとを有し、前記エアー吐出チャンバー
及びエアー吸引チャンバーがワークの走行方向に沿って
配置されると共に、前記エアー吐出口及びエアー吸引口
と前記ワークとの間に所定の間隔を保有してなる除塵装
置において、 前記ワークの走行方向から見た前記エアー吐出チャンバ
ーのほぼ上端中央部にエアー吐出用の配管孔を配置し、
かつ、前記エアー吸引チャンバーのほぼ上端中央部にエ
アー吸引用の配管孔を配置したことを特徴とする除塵装
置。 - 【請求項２】 請求項１記載の除塵装置において、 エアー吐出チャンバー及びエアー吸引チャンバーを、ワ
ークの走行方向から見てほぼ等脚台形状に形成したこと
を特徴とする除塵装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の除塵装置におい
て、 エアー吐出チャンバー及びエアー吸引チャンバーからな
る組を、ワークの幅方向に沿って複数配置したことを特
徴とする除塵装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17824598A JP2000005715A (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 除塵装置 |
| TW088115382A TW442342B (en) | 1998-06-25 | 1999-09-07 | Dust collector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17824598A JP2000005715A (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 除塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000005715A true JP2000005715A (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=16045134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17824598A Pending JP2000005715A (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 除塵装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000005715A (ja) |
| TW (1) | TW442342B (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004069438A1 (fr) * | 2003-02-08 | 2004-08-19 | Quanta Display Inc. | Appareil de nettoyage a bain d'air automatique et procede d'assemblage d'un dispositif d'affichage a cristaux liquides |
| WO2007007407A1 (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-18 | Hugle Electronics Inc. | スポットクリーナ |
| JP2008000659A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Hugle Electronics Inc | クリーニングヘッド |
| CN102693921A (zh) * | 2011-03-23 | 2012-09-26 | 株式会社日立高新技术仪器 | 异物除去装置以及具备该装置的芯片接合机 |
| WO2012132347A1 (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | シャープ株式会社 | 偏光板貼り付け装置 |
| US20130074281A1 (en) * | 2011-09-28 | 2013-03-28 | Tokyo Electron Limited | Particle collecting apparatus and particle collecting method |
| CN105127167A (zh) * | 2015-09-29 | 2015-12-09 | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 | 清洁组件及具有其的光伏组件清洁装置 |
| CN115050235A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-09-13 | 山东法尔消防科技服务有限公司 | 消防火灾模拟评估展示仪及操作方法 |
-
1998
- 1998-06-25 JP JP17824598A patent/JP2000005715A/ja active Pending
-
1999
- 1999-09-07 TW TW088115382A patent/TW442342B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPWO2007007407A1 (ja) * | 2005-07-07 | 2009-01-29 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | スポットクリーナ |
| JP4653169B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2011-03-16 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | スポットクリーナ |
| JP2008000659A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Hugle Electronics Inc | クリーニングヘッド |
| US20120241096A1 (en) * | 2011-03-23 | 2012-09-27 | Hitachi High-Tech Instruments Co., Ltd. | Foreign Substance Removing Device and Die Bonder Equipped with the Same |
| CN102693921A (zh) * | 2011-03-23 | 2012-09-26 | 株式会社日立高新技术仪器 | 异物除去装置以及具备该装置的芯片接合机 |
| JP2012199458A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-18 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 異物除去装置及びそれを備えたダイボンダ |
| US8783319B2 (en) * | 2011-03-23 | 2014-07-22 | Hitachi High-Tech Instruments Co., Ltd. | Foreign substance removing device and die bonder equipped with the same |
| WO2012132347A1 (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | シャープ株式会社 | 偏光板貼り付け装置 |
| US20130074281A1 (en) * | 2011-09-28 | 2013-03-28 | Tokyo Electron Limited | Particle collecting apparatus and particle collecting method |
| US10213076B2 (en) * | 2011-09-28 | 2019-02-26 | Tokyo Electron Limited | Particle collecting apparatus and particle collecting method |
| CN105127167A (zh) * | 2015-09-29 | 2015-12-09 | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 | 清洁组件及具有其的光伏组件清洁装置 |
| CN115050235A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-09-13 | 山东法尔消防科技服务有限公司 | 消防火灾模拟评估展示仪及操作方法 |
| CN115050235B (zh) * | 2022-06-20 | 2024-02-09 | 山东法尔消防科技服务有限公司 | 消防火灾模拟评估展示仪及操作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW442342B (en) | 2001-06-23 |
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