A7 B7 A18453 五、發明說明（1 ) 〔發明背景〕 〔發明領域〕 (請先閱讀背面之注意事項Γ^.寫本頁) 本發明是關於陶瓷積體板或半導體晶圓等工件的切割 裝置。 〔先行技術〕 於日本特開昭6 0 — 2 1 4 9 1 1號公報揭示有將半 導體晶圓或積體電路晶圓切割爲各個晶片的切割裝置。 此切割裝置是備有；將所供應的晶圓預先對準位置的 第1位置，與在台上搭載晶圓的第2位置，與洗淨切割後 的晶圓的第3位置，與保管洗淨後的晶圓的第4位置，與 將從第2位置離開的切割領域將台上的晶圓切割爲各個晶 片的切割機構。上述第1位置〜第4位置是配置於正方形 的頂點上。又，相鄰位置間的晶圓運送，是由在上述正方 形中心具有旋轉軸的十字狀旋轉臂所進行。因在十字狀的 旋轉臂的4個先端部分別裝設有固持晶圓所用的吸引夾具 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 但是，在此切割裝置，其機能上只能進行從第1位置 到第2位置的晶圓運送，與從第2位置到第3位置的晶圓 運送，與從第3位置到第4位置的晶圓運送，所以，換言 之，由於不進行從第4位置到第1位置的晶圓運送，同時 運送最多晶圓狀態下只有使用3個吸引夾具而已，不至於 同時使用所有4個吸引夾具。也就是說，由於4個吸引夾 具的1個爲不需要所以沒有使用十字狀.旋轉臂的必然性， -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Α7 Β7 418Α53 五、發明說明θ ) 因採用不需要的吸引夾具在成本上不僅增加負擔，由於構 成會複雜化也會增加維修的負擔。 〔發明的槪要〕 本發明的目的.，是提供一種不至於降低晶圓等工件等 的運送效率，可將構成簡化減輕成本上的負擔或工件的新 穎切割裝置。 爲了達成此目的，本發明的切割裝置，是備有；供應 切割前的工件所需的第1位置，與可得固持工件的可移動 的加工台，與在加工台上搭載切割前的工件所需的第2位 置，洗淨切割後的工件所需的第3位置，與保管洗淨後的 所需的第4位置，與將從第2位置離開的切割領域將加工 台上的工件切割所需的切割機構，與可將從第1位置將工 件運送至第2位置，與將從第2位置將工件運送至第3位 置，從第3位置將工件運送至第4位置的工件運送機構， 上述第1位置〜第4位置的位置，是在同一圓周上以9 0 度間·隔配置，上述工件運送機構，是在上述圓周的中心具 有旋轉軸，並且，將3個吸附頭沿著上述圓周以9 0度間 隔具有旋轉臂。 這切割裝置，是由上述的工件運送機構，從第1位置 運送工件至第2位置，從第2位置運送工件至第3位置， 從第3位置運送工件至第4位置，以個別，或2個同時， 並且可3個同時進行。也就是說，於這裝置，因沒有進行 將工件從第4位置運送至第1位置，所以，利用3個工件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 -----Γ---;------裝--- . 「y (請先閱讀背面之注意事項r4寫本頁) 訂· 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418453 A7 __ B7 五、發明說明（？) 吸附頭實現取有效率的工件運送。又，因省略不需要的吸 附頭就可確保最佳的臂構成。藉此，可簡化構成來減輕成 本上的負擔或維修的負擔。 本發明的上述目的，與特徵，與利益是由下面的說明 與附圖就可更加淸楚。 〔較佳實施例的說明〕 茲參照第1圖〜第1 4圖就本發明的一實施形態說明 如下。 第1圖是表示切割裝置的槪略上視圖。第1圖中符號 P 1是供應切割前的工件W所用的第1位置，符號P 2是 在台上搭載切割前的工件W所用的第2位置，符號P 3是 洗爭切割後的工件W所用的第3位置，符號P 4是保管洗 淨後的工件W所用的第4位置。又，第1圖中的符號1是 運送工件的旋轉臂，符號1 1是工件供應器 '符號2 1是 ，工件保管器，符號31是台，符號51是切割頭’符號 9 1是工件洗淨器。 因，於所圖示是表示裝置作爲上述工件W使用矩形狀 的陶瓷積體板，詳言之，成爲積體電容器或積體電感器或 積體複合零件等的積體型電子零件的陶瓷積體板°此陶瓷 積體板是在具有黏著層的樹脂薄膜上積體多數陶瓷薄膜加 以壓著者，藉切割分開爲各個晶片後’將所分開的晶片從 樹脂薄膜取出加以烘烤，藉在烘烤後的晶片形成外部電極 就可變成所需的積體層電子零件。 本紙張尺度適用中囤國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6- ： . I I-----訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項^-^-寫本頁> 418453 A7 ___ __B7__ 五、發明說叼6 ) 第1位置P 1〜P4的位置P4是在同一圓周上向順 時針方向以9 0度間隔加以配置，在此圓周的中心，裝設 有旋轉臂1.的軸1 b。旋轉臂1是將長度相等的3個臂部 1 a把軸1 b作爲中心沿著上述圓周具有9 〇度間隔成爲 T字狀。在各臂部1 a先端部分別裝設有工件固持用的吸 附頭2。 如第2 (A)圖所示，在旋轉臂1的軸lb連結有連 桿1 c的一端，在連桿1 c他端連結有旋轉臂驅動用的壓 缸3的桿3 a。旋轉臂1是藉壓缸3的稈伸縮可使迴轉 9 0度，藉此迴轉往復迴轉於如第2 ( A )圖所示與第2 (B )圖所示位置之間。在第2 ( A )圖所示位置有3個 吸附頭2分別對峙於第1位置P 1〜第3位置P 3，在第 2 ( B )圖所示位置有3個吸附頭2分別對峙於第2位置 P2〜第4位置P4。當然，也可以在旋轉臂1的軸lb 連結馬達，藉此馬達的動作將由旋轉臂1進行往復迴轉。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 吸附頭2是下面形狀呈矩形狀，在下面具有由軟質樹 脂或合成橡膠等所構成的彈性墊2 a »雖然省略了圖示， 但是，在此彈性墊2 a形成有十字形溝或平行溝，在溝內 面設有吸引孔。又，此吸引孔爲連接於備有真空泵及閥等 的空氣迴路。也就是說，對於吸引孔作用負壓以接觸於彈 性墊2 a的狀態下被吸附保持，藉解除負壓來解除其保持 。按，3個吸附頭2也可以爲具有上述以外的構造。又， 也可以採用將切割前的工件w從工件供應器11在運送至 台3 1所用的吸附頭2，與將切割後的工件W從台3 1運 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 ____ B7 五、發明說明) -------------^裝 i — (請先閱讀背面之注意事項广k寫本頁) 送至工件洗淨器9 1所用的吸附頭2，與將洗淨後的工件 W將工件洗淨器9 1運送至工件保管器2 1所用的吸附頭 2 ’而是分別配合被運送的工件w表面形狀的構造。 又，如第3 A圖所示，咯吸附頭2是在上面中央具有 升降軸2 b，設於各臂部1 a先端部的襯套1 d將升降軸 2 b插通成可上下移動。在各臂部1 a先端部，使用托架 4配置馬達5成向下，上述升降軸2 b上端部，爲被插入 於形成爲中空的馬達軸5 a內。又，在托架4向下配置有 壓缸6，此壓缸6的桿6 a ，是在設於上述升降軸2 b的 軸承2 c經由構件7連結。吸附頭2的升降軸2 b因是對 於馬達軸5 a只能上下移動，所以，吸附頭2是藉馬達5 的動作而迴轉，並且，由壓缸6的動作而升降。 --線. 對於吸附頭2賦與迴轉與升降動作的機構，是可採用 第3 (A)圖所示以外的機構，第3 B圖是表示其一例， 對於吸附頭2的升降軸2 b連結有馬達5的軸5 a ，豎設 於臂部1 a的壓缸6的桿6 a爲經由構件7連結於馬達5 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述第1位置P1，如第4(A)所示配置有工件 供應器1 1。此工件供應器1 1是具有；切割前的工件w 重疊複數片的升降板1 2，與連結於升降板1 2的導板 1 3，與支持2支導桿1 4與球螺旋1 5與支持板1 6 ’ 與在滾珠螺桿1 5 —端連結其軸1 7 a的馬達1 7。在導 板1 3設有插通導桿1 4的2個襯套1 3 a ’與螺合於滾 珠螺桿1 5的螺帽1 3 b。此工件供應器1 1是由馬達 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 B7 五、發明說明（p ) 1 7迴轉滾珠螺桿1 5藉將升降板1 2間歇性地上升把最 高位的工件W的供應高度調整爲一定，可從取出口 1 8取 出工件。雖然省略了圖示，在升降板1 2周圍配置有重疊 於升降板12上的工件W爲於上升時或待機狀態下防止崩 落或位置偏移的複數支導桿。 在上述第4位置P 4，配置有如第4 ( B )圖的工件 保管器21。此工件保管器21是具有與上述工件供應器 1 1相同構成，而備有；重疊洗淨後的工件w的升降板 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 2，與連結於升降板2 2的導板2 3，與支持2支導桿 2 4的滾珠螺桿2 5的支持板2 6，與在滾珠螺桿2 5 — W連結其軸2 7 a的馬達2 7。在導板2 3設有插通有導 桿2 4的2個襯套2 3 a，與螺合於滾珠螺桿.2 5的螺帽 2 3 b。此工件保管器2 1是將洗淨後的工件w透過保管 口 2 8由升降板2 2承接，將第2個以後的工件w在其上 可依序重疊加以保管。又’將升降板2 2藉由馬達2 7迴 轉滾珠螺桿2 5使其間歇性地下降，可將升降板2 2的承 接商度調整爲一定°雖然省略了圖示，但是在升降板2 2 周圍’防止重疊於升降板2 2上的工件W在下降時或待機 狀態下發生崩落或偏移所需的複數支導桿。 在上述第2位置P 2配置有台3 1 °如第5圖及第6 圖所示’備有；可向0方向迴轉的矩形狀工件支持板3 2 ，與將工件支持板3 2迴轉自如地支持的滑動台3 3，與 將工件支持板3 2向0方向迴轉驅動的馬達（省略圖示） 。雖然省略了圖示，在工件支持板3 2設有多數吸引孔， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公^ Γ9Τ 418453 A7 __B7___ 五、發明說明《) 這些吸引孔是連接於具有真空泵及閥等的空氣迴路。亦即 ，工件W是藉對於吸引孔作用負壓成爲接觸於工件支持板 3 2狀態所吸附固持，藉解除負壓作用來解除其固持。 ‘這台3 1 ，是可從第2位置P 2向離開X方间（參照 第1圖）的切割領域的移動，從此切割領域向第2位置 P2移動。將台3 1向X方向（參照第1圖）.移動的機構 ，是如第5圖及第6圖所示，備有；台板41，與支持於 台板4 1上的X方向的一對導板4 2，與在台板4 1上迴 轉自如地支持的X方向的滾珠螺桿4 3，與在滾珠螺桿 4 3 —端連結其軸4 4 a的馬達4 4，與卡合於可移動於 一對導板4 2設於上述台3 1下面的二對滑動導件4 5， 與設於上述台3 1下面而螺合滾珠螺桿4 3的螺帽4 6。 亦即，上述台3 1 ，是馬達4 4藉迴轉滾珠螺桿4 3，而 沿著導板4 2向X方向移動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述切割領域配置有切割頭5 1。此切割頭5 1是 如第5圖及第6圖所示，備有；圓筒形的心軸馬達5 2， 與裝卸自如地固定於心軸馬達5 2軸5 2 a的鑽石刀片等 的刀片5 3，與使刀片5 3下部露出覆蓋其外側的刀片蓋 板5 4，與從刀片蓋扳5 4內面向刀片5 3供應水等冷卻 液的冷卻液噴射口（省略圖示）。心軸馬達5 2的方向是 與上述台3 1的工件支持板3 2表面平行，並且’與台 3 1的移動方向成直交，刀片5 3的方向是與台3 1的移 動方向平行。’ 此切割頭5 1是可移動於與X方向直交的Y方向（參 10· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 B7 五、發明說明) 照第1圖）與碰及上下方向的 切割頭51向Y方向與Z方向 第6圖所示，備有；支柱61 的Y方向的一對導軌6 2，與 自如的滾珠螺桿6 J，與在滾 馬達6 4，與對於一對導軌6 導件6 5，與螺合於滾珠螺桿 滑動導件6 5及螺帽6 6的第 1滑動板6 7側面的Z方向的 地支持於第1滑動板6 7側面 Z方向（參 移動的機構 ，與，支持 在支持6 1 珠螺桿6 3 2卡合成可 6 3的螺帽 照第1圖）。將 ，是如第5圖及 於支柱6 1側面 側面支持成迴轉 一端連結其軸的 移動的二對滑動 6 6，與連結有 1滑動板6 7，與支持於第 一對導軌6 8，與迴轉自如 的滾珠螺桿6 9，與在滾珠 請 先 閱 讀 背 面 之 注· 意 事 項 寫 本 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印？ 螺桿6 9 —端連結其軸的馬達7 0，與卡合成可移動於一 對導軌6 8的二對滑動導件7 2，與螺合於滾珠螺桿6 9 的螺帽7 2，與連結滑動導件7 1及螺帽7 2的第二滑動 板7 3，與在第二滑動板7 3下部連結上述切割頭5 1的 心軸馬達5 2前部及後部所用的2個連結構件7 4。亦即 ，上述切割頭5 1，是由馬達6 4迴轉滾珠螺桿6 3將第 一滑動板6 7沿著導軌6 2移動而向Y方向移動。又，由 馬達7 0迴轉滾珠螺桿6 9將第二滑動板7 3沿著導軌 6 8移動而向Z方向移動。 又’在上述第一滑動板6 7的台側向Y方向配置有內 藏C C D等2維攝像元件的2個照相機8 1、8 2。此2 個照相機8 1、8 2是攝像台3 1上的工件W用來檢測工 件W的位置者，於圖示例，作爲近於第一滑動板6 7的照 相機8 1使用高倍率者，作爲他方的照相機8 2使用低倍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） "11- 厶 53 A7 _ B7 五、發明說明<P ) 率者。 ί請先閱讀背面之注意事項Γ1寫本頁) 在上述第3位置p 3，如第7圖所示，配置有工件洗 淨器9 1。.此工件洗淨器9 1是備有；上端開口的固定筒 9 2，與配置於固定筒9 2內的轉盤9 3，_與迴轉轉盤 9 3所用的馬達9 4，與向馬達9 4供應水等洗淨液所用 的洗淨噴射口 9 5，與向轉盤9 3供應空氣等乾燥用氣體 所用的氣體噴射口 9 6，與防止洗淨液浸入於馬達9 4側 所用的防水蓋9 7。雖然省略了圖示，但是在轉盤9 3設 有多數的吸引孔，這些吸引孔爲連接於備有真空泵及閥等 的空氣迴路。亦即，工件W是藉對於吸引孔作用負壓成爲 接觸於工件支持板3 2的狀態被吸附保持，藉解除負壓作 用解除其保持。 . 茲就上述的切割裝置的動作說明如下。 於開始動作前旋轉臂1是位於第1圖所示的位置，此 旋轉臂1的3個吸附頭2是分別對峙於第1位置P 1〜第 3位置P 3。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 動作開始後，首先，於第1狀態下降旋轉臂1的圖中 右下的吸附頭2，藉此吸附頭2吸附保持於工件供應器 1 1的第1片工件W，在工件保持後將此吸附頭2.上升復 原。 接著，如第8圖所示，將旋轉臂1向圖中順時針方向 迴轉9 0度，在此，將保持第1片的工件W吸附頭2下降 將此工件W搭載於台3 1。搭載後是解除工件保持之後， 將此吸附頭2上升復原。搭載於台3 1上的工件W將被吸 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公爱） r 41845。 A7 B7 五、發明說明0〇 ) 附保持於工件支持板3 2。 t請先閱讀背面之注意事項r4寫本頁) 接著，如第9圖所示，將旋轉臂1圖中向反時針方向 迴轉9 0度.。與此約略同時，將搭載工件W的台3 1從第 2位置P 3移動至切割領域。 當台3 1移動於切割領域時，藉低倍率的照相機8.2 (參照第6圖）攝像台3 1上的工件W，依據此攝像資料 進行檢測領域的縮小。並且，藉由高倍率的照相機8 1 ( 參照第6圖）攝像工件W的檢測領域，依據此攝像資料就 可檢出工件W的正確位置。檢出此位置後，就依據檢測資 料對於台3 1上的工件W實施切割。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具體上，首先，將可向X方向移動的台3 1，與可自 Y、Z方向移動的切割割5 1做適當移動，來決定對於工 件W的刀片5 3的起始位置。並且，邊迴轉切割頭5 1的 刀片5 3將台3 1向X方向以一定速度移動，對於工件W 實施第一線的切斷。結束第一線的切斷之後，將切割頭 5 1向Z方向上側移動既定距離將刀片5 3從工件W離開 並且，將台3 1與上述相反方向移動，並且，將切割頭 5 1向Y方向移動既定距離進行換行。並且，將切割頭 5 1向Z方向移動既定距離對準高度位置，與上述同樣將 台3 1向X方向以一定速度移動，對於工件W實施第二線 的切斷。此後也反復與上述同樣的動作將相同方向的切斷 反復所需線數。接著，將台3 1向Θ方向轉動9 0度改變 工件W的方向之後，將與先前所形成的線成直交方向的切 斷與上述同樣反復進行所需線數的切斷。當然，也可以結 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) -13- Α7 Β7 五、發明說明Ο1 ) 先 閱 讀 背- 面 之 注 意 事 項 寫 頁 束一條線的切斷之後，就將台3 1向相反方向移動時當將 台3 1向相反移動時進行下一條線的切斷°藉此，台3 1 的工件W就被切斷成格子狀而切斷成各個晶片。如上述， 在工件W下面，經由黏著層張貼樹脂薄膜，所以，被切斷 的晶片將維持張貼於樹脂薄膜的狀態。按，於上述的切割 時，從設於刀片蓋板5 4的冷卻液噴射口向刀片5 3供應 冷卻液，藉此就進行由刀片5 3的冷卻與切斷所發生的加 工渣（陶瓷微細粉等）的去除。 結束切割後，就如第1 0圖所示，將台3 1返回第2 位置P 2。而後，降下旋轉臂1的圖中左下的吸附頭2， 吸附保持由此吸附頭2切割已完台3 1上的工件W，固持 工件後將此吸附頭2復原爲上升位置。又，下降旋轉臂1 的圖中右下的吸附頭2，藉此吸附頭2吸附固持於工件供 應器1 1的第2片工件W，固持工件W後上升復原此吸附 頭2。 經濟部智慧財產局員工消費合作社.印製 接著，如第1 1圖所示，將旋轉臂1向圖中順時針方 向迴轉9 0度，在此，下降保持已切割完的工件W的吸附 頭2將此工件W搭載於工件洗淨器9 1的轉盤9 2。_搭載 後是解除工件固持後，上升復原此吸附頭2，將搭載工件 W吸附固持於轉盤9 2。又，降低將保持第二片的工件W 的吸附頭2，將此工件W搭載於台5 1上。搭載後解除工 件品持之後使此吸附頭2上升復原，將搭載工件W吸附固 持於工件支持板3 2。 接著，如第1 2圖所示，不僅將旋轉臂1向圖中反時 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 B7 五、發明說明（12 ) c請先閱讀背面之注意事項rt寫本頁) 針方向迴轉9 0度，並且，將搭載工件W的台3 1從第2 位置P 2移動至切割領域。當台3 1移動至切割領域後， 實施與上述同樣的位置檢測與切割，並且，利用切割的時 間’在工件洗淨器9 1，對於轉盤9 2上的已切割的工件 W實施洗淨。 具體上，爲向轉盤9 2上的工件W從洗淨噴射口 9 5 邊供應洗淨液將轉盤9 2迴轉既定數的洗淨製程，與向轉 盤9 2上的工件W從氣體噴射口 9 6邊供應乾燥用氣體將 轉盤9 2迴轉既定轉數的乾燥製程每各既定時間反復一周 期以上’對於已切割的工件W實施洗淨。因，洗淨後的洗 淨液’是從設於固定筒9 2或防水蓋9 7的排水口（省略 圖.不）排出於外部。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 結束切割與洗淨之後，是如第1 3圖所示，將台3 1 迴回第2位置P 2。並且，下降旋轉臂1的圖中左上的吸 附頭2 ’藉此吸附頭2將工件洗淨器9 1的轉盤9 2上的 己洗淨完的工件W吸附固持，固持工件後使此吸附頭2上 升復原。又下降旋轉臂1的中左下的吸附頭2，藉此吸附 頭2吸附固持台3 1上的已切割工件W，固持工件後將此 吸附頭2上升復原。並且，下降旋轉臂1的圖中右下吸附 頭2，藉此吸附頭2吸附固持於工件供應器1 1的第三片 工件W，固持工件後上升復原此吸附頭2。接著，如第 1 4圖所示，將旋轉臂1向圖中順時針方向迴轉9 0度， 於此，下降固持已洗淨的工件W的吸附頭2將此工件W搭 載於工件保管器2 1的升降板2 2。搭載後解除工件固持 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418 厶 53 A7 B7 五、發明說明（13 ) 後，上升復原此吸附頭2。又，下降固持已切割的工件W 的吸附頭2，將此工件W搭載於工件洗淨器9 1的轉盤 9 2。搭載後解除固持工件後上升復原此吸附頭2，將搭 載工件W吸附固持於轉盤9 2。並且，下降固持第三片工 件W將此工件W搭載於台3 。搭載後解除固持工件後上 升復原此吸附頭2，將搭載工件W吸附固持工件支持板 3 2° 此後，是反復第1 2圖〜第1 4圖所說明步驟，連續 進行對於工件W的切割與洗淨保管。 像這樣，若依據上述切割裝置，將供應切割前的工件 W的第1位置P 1，於在加工台3 1上搭載切割前次工件 W的第2位置，洗淨切割後的工件W的第3位置，與保管 洗淨後的工件的第4位置P 4在同一圓周上以9 0度間隔 向順時針方向配置，並且，在上述圓周中心具有旋轉臂 1 b的旋轉臂1沿著上述圓周以9 0度間隔配置有3個吸 附頭2，所以，藉將旋轉臂1以9 0度角度往復迴轉，就 可正確地進行從第1位置P 1向第2位置P 2的工件運送 ，與從第2位置P 2向第3位置P 3的工件運送，與從第 3位置P3向第4位置P4的工件運送。 也就是說，旋轉臂1因只在第1位置P 1〜第3位置 P 3分別對峙3個吸附頭2的位置，與在第2位置P 2〜 第4位置P 4分別對峙3個吸附頭2的位置之間反復迴轉 ，所以，不需嬖將旋轉臂1較9 0度更大角度範圍迴轉， 藉由儘量小的角度範圍的反復迴轉就可將所需的工件運送 ------I ---ί ----裝 i 1 J * ' . 「， (請先閱讀背面之注意事項ί寫本頁) Ή · .線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公釐） -16 - B7 五、發明說明〇4 ) 以高效率安定地進行。 (請先閱讀背面之注意事項ft寫本頁) 又，上述的切割裝置，是其機能上，因爲不進行從第 4位置對於第1位置的工件運送，所以，在旋轉臂1向沿 著上述圓周以9 0度間隔裝設3個吸附頭2時，可同時運 送最多的工件W的狀態，亦即，即使從第1位置p 1對於 第2位置P 2的工件運送，與從第2位置P 2對於第3位 置P 3的工件運送，與從第3位置P 3對於第4位置P 4 的工件運送同時進行的狀態，也可良好地進行此時的工件 運送。換言之，不需要裝設旋轉臂1不需要的吸附頭2 = 並且’作爲旋轉臂1也可採用T字狀者，所以，可簡化旋 轉臂本身構成減輕在成本上的負擔或維修的負擔。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，於上述的切割裝置，在旋轉臂1裝設有將三個 吸附頭2個別升降及迴轉所需的致動器，所以，第1位置 P 1與第2位置P 2間，第2位置P 2與第3位置P 3間 1或從第3位置到第4位置間即使具有高低差或障礙物時 藉適當升降吸附頭2可毫無障礙良好地進行所需的工件運 送。又，被運送的工件W方向即使包含運送途中發生變化 時’藉適當迴轉吸附頭2就可簡單地矯正運送工件W的方 向。 因，如第1 5圖所示，在第2位置P 3與第3位置 P 4間，可能衝突運送途中的工件w及吸附頭2的障礙物 OB ’例如，存在有將切割頭5 1與Y、Z方向移動所用 的致動器一部分時，藉由吸附頭2吸附固持台3 1上的已 切割的工件W後，將此吸附頭2向順時針方向或反時針方 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17- 4^453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明Ο5 ) 向迴轉4 5度後’將旋轉臂1向圖中順時針方向迴轉9 〇 度就可以。若這樣做時’當工件W及吸附頭2從第2位置 P 3移動至第4位置P 4時就可防範工件w及吸附頭2衝 突於障礙物Ο B於未然。但是 ' 若在第2位置P 2向順時 針方向或反時針方向迴轉4 5度時，於第3位置P 3的工 件W及吸附頭2的方向由於仍保持迴轉4 5度的迴轉位置 ，所以將已切割的工件W搭載於工件洗淨器9 1的轉盤 9 2的前階段將吸附頭2向順時針方向或反時針方向迴轉 4 5度，或，洗淨後將轉盤9 2迴轉±4 5度時，就;可將 工件W及吸附頭2方向恢復爲原本狀態。 按，於上述的切割裝置，作爲工件W表示了陶瓷積體 板，但是對於陶瓷積體板以外的工件W，例如，半導體晶 圓或積體電路晶圓切割爲各個晶片時也可使用上述的裝置 ，可獲得與上述同樣的作用效果。 又，於上述切割裝置，作爲旋轉臂1表示了 T字狀者 ，但是，只要是將3個吸附頭在同一圓周上具有9 0度間 隔時，旋轉臂不一定需要成爲T字狀。 並且，於上述切割裝置，是在成T字狀的旋轉臂1的 各臂部1 a先端部，裝設了吸附頭2，但是將各臂部1 a 至少以二階段成爲可伸縮的構造，或，將各臂部1 a於鉸 鏈部成爲可折彎的構造時，將臂部1 a適當伸縮或折彎使 吸附頭2迴避，就可將在各位置P 1〜P 4的維修更簡單 地進行。 第1 6圖及第1 7圖是表示，在切割時向刀片5 3供 I— -'!-----1裝 i I ..ΛΡ/ (請先閲讀背面之ii意事項IWiL寫本頁) 訂·
I --線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -18- 418453 A7 _____B7____ 五、發明說明〇6 ) 應後的冷卻液，防止進入於台3 1向X方向移動所用的機 構的有用構造。 圖中的.符號1 0 1是在台3 1的滑動台3 3周圍安裝 成水密的橫剖面呈=1字形的防水蓋，符號1 〇 2是在防水 蓋1 0 1的X方向兩端將其一端水密地連結的橫剖面呈3 字形的一對伸縮蓋。此伸縮蓋1 0 2是對於氯丁橡膠或矽 等的合成橡膠或芯布施加樹脂塗層者作爲其材料形成爲伸 縮囊狀，當台3 1向X方向移動時配合此會適當伸縮。又 ，符號1 0 3是一對的伸縮蓋1 0 2他端連結成水密的一 對支持板，符號1 0 4是將兩端水密地連結於支持板 1 〇 3的橫剖面U字形的排水構件，一對的支持板1 〇 3 是安裝於台板4 1。又，一對排水構件1 0 4是在台3 1 兩端配置成互相平行，橫剖面3字形的防水蓋1 〇 1的垂 直部分是進入於防水蓋1 〇 1。 符號1 0 5是分別配置於一對排水構件1 〇 4內側的 螺旋狀刷子。各刷子1 〇 5的中心軸是由一對支持板 1 〇 3支持成迴轉自如，將其下側部分接觸於排水構件 1 0 4的內底。在二支螺旋狀刷子1 〇 5的軸一端，分別 安裝有帶輪1 0 6，在此帶輪1 0 6捲繞有皮帶1 0 7。 又’在一方的螺旋狀刷子1 〇 5的軸一端安裝有上述另外 的帶輪1 0 6，此帶輪1 〇 6與安於馬達1 0 8軸的帶輪 106捲繞有皮帶1〇7。二支螺旋狀刷子105，是由 馬達1 0 8的動作將其軸作爲中心向同一方向迴轉。因， 一對排水構件1 〇 4是裝設帶輪側爲能夠較他方側更高， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 X 2矽公爱） -----：----------裝--- • 「：/ (請先閲讀背面之注意事項?--1寫本頁> si· --線. 經濟部智慧財產局員工消費合惟社印製 •19- 418453 A7 ______B7______ 五、發明說明07 ) ----τ---.-----^裝--- <請先閱讀背面之注意事項t寫本頁> 或相反地呈傾斜，在低位側的底或端設有省略圖示的排水 口。又，二支螺旋狀刷子1 0 5，並非妨礙傾斜的排水構 件1 0 4的自然排水，並且，向可促進排水的方向迴轉。 如上述，對於台3 1上的工件W實施切割時，從設於 刀片蓋板5 4的冷卻液噴射口向刀片5 3供應冷卻液，藉 此，進行由刀片5 3的冷卻與切斷所發生的加工渣的去除 。包含有加工渣的冷卻液，是如第1 7圖以箭頭所示流動 從防水蓋1 Ο 1及伸縮蓋1 0 2流入於排水構件1 0 4內 。此冷卻液是沿著排水構件1 0 4的傾斜流動而從排水.口 排水。又，此時是由馬達1 0 8的二個螺旋狀刷子1 0 5 迴轉，將留在排水構件1 0 4內底的加工渣向排水口方向 移動。 ;線. 也就是說，若沒有如上述螺旋狀刷子1 0 5時，包含 在冷卻液的加工渣將成爲停留於排水構件1 0 4內底的狀 態，但是，但是若使用如上述的螺旋狀刷子1 0 5將此迴 轉時，將停留於排水構件1 0 4內底的加工渣可向排水口 方向移動加以排出，藉此由停留於內底的加工渣可防範其 從排水構件1 0 4的冷卻液溢流於未然。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，防水蓋1 Ο 1與伸縮蓋1 0 2都成爲橫剖面呈3 字形，並且*防水蓋1 0 1的垂直部分進入於防水蓋 1 ◦ 1內側，所以從台3 1上流入於防水蓋1 〇 1內的冷 卻液不至於進入於包含導板4 2或滾珠螺桿4 3等的台移 動機構。欲進行更確實防水時，如第1 8圖所示，將上述 防水蓋1 Ο 1具有同樣形狀的第2防水蓋1 1 0在滑動台 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 I______B7__ 五、發明說明(18 ) 3 3周圍安裝成水密’並且，在此第2防水蓋1 1 〇的χ 方向兩端將與上述伸縮蓋1 〇 2具有同樣形狀的一對第2 伸縮蓋（省.略圖示）一端連結成水密將他端水密地連結於 支持板1 0 3就可以。藉成爲這些，就可將台對於移動機 構的冷卻液的進入成二重地加以防止。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 按’將停留於排水構件1 0 4內底的加工渣移動於排 水口方向爲即使不使用上述的螺旋狀刷子1 〇 5也可進行 。例如，如第1 9圖所示，將其下側部分接觸於排水構件 1 〇 4內底較佳爲將可撓性刮取板1 1 1經由桿1 1 1 a 安裝於防水蓋1 〇 1時，當台3 1向X方向移動時同時移 動刮取板1 1 1，將停留於排水構件1 〇 4內底加工渣可 向排水口方向移動。在此時，將由刮取板1 1. 1的加工渣 的移動不能限制成單向，所以配合刮取板1 1 1的移動範 圍將複數的排水口裝設於排水構件1 〇 4的內底就可以。 當然’如第2 0圖所示，將與上述同樣的刮取板1 1 2安 裝於壓缸1 1 3的桿1 1 3 a使其可升降時，藉將刮取板 1 1 2向下狀態移動，就可將由刮取板1 1 2的加工渣的 移動限制成朝單向。又，如第2 1圖所示，將上述同樣的 刮取板1 1 4上端經由桿1 1 4 a迴轉自如地安裝於防水 蓋1 〇 1 ，將此刮取板1 1 4的迴轉方向由擋止銷S P加 以限制時，就可將刮取板1 1 4的加工渣的移動限制成單 向。又，如第2 2圖所示，在安裝於防水蓋1 Ο 1的支持 構件1 1 5安裝馬有防水機構的馬達1 1 6，在此馬達 1 1 6安裝圓筒狀刷子1 1 7將其下側部分接觸於排水構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） _ 21 - 418453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（19 ) 件1 0 4內底時’當台3 1向X方向移動時藉同時將刷子 1 1 7向既定方向迴轉就可將停留於排水構件1 〇 4內底 的加工渣向.排水口方向移動。 並且’如第2 3圖所示，在安裝於防水蓋1 〇 1的支 持構ί牛1 1 8迴轉自如地安裝桿1 1 9，對此桿1 1 9裝 設滾輪1 2 0將此滾輪1 2 0接觸於設在排水構件1 〇 4 內面或設在內面的軌道1 2 1 ，並且，在桿1 1 9卞端安 裝球狀刷子1 2 2將其下側部分接觸於排水構件ί 〇 4內 底時，當台3 1向X方向移動時藉同時迴轉的滾輪ί 2 0 就可迴轉刷子1 1 7，藉此就可將停留於排水構件1 〇 4 內底的加工渣向排水口方向移動。此時，作爲上述滾輪1 2 0使用小齒輪，作爲軌道1 2 1使用齒條時，可時隨著 台移動的刷子117的迴轉更正確地進行。 於第2 4圖，是表示用來防止切割時向刀片5 3供應 的冷卻液或所供應後的冷卻液由於刀片5 3的飛濺而沾附 於照相機8 1、8 2的物鏡發生攝像不良的有用構造。 圖中的符號81、 82爲照相機，符號81a、 8 2 a是物鏡’符號8 1 b、8 2 b是安裝於照相機8 1 ' 8 2下部的筒狀，8 1 c、8 2 c是安裝於透鏡遮光罩 8 1 b、8 2 b下部的照明器。照明器8 1 c、8 2 c是 透過光纖等所導入的光線向圖中粗線箭頭方向傳播而從其 下面成環狀照射，在攝像時照明工件W。在8 1 b、 82b周圍設有吸氣口 8 1 b 1、8 2b 1 ，在此吸氣口 8lbl、 82b1連接有備有空氣壓縮機及閥等的空氣 (請先Μ讀背面之注意事項 --裝— 寫本頁) Ή 讀'- 線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -22- 418453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明¢0 ) 迴路。 如上述，對於台3 1上的工件w欲實施切割時，從設 在刀片蓋板5 4的冷卻液噴射口向刀片5 3供應冷卻液’ 藉此去除由於刀片5 3的冷卻與切割所發生的加工渣的去 除。向刀片5 3所供應的冷卻液或所供應後的冷卻液是藉 刀片5 3的迴轉雖然會飛濺於周圍，但是此時從吸氣口 8 1 b 1，8 2 b 1 對於透鏡遮光罩（lens hood ) 8 1 b 、82b內供應空氣，將此空氣從透鏡遮光罩81b、 8 2 b下面開口噴出於外部。 也就是說，向刀片5 3所供應的冷卻液或所供應後的 冷卻液是藉刀片5 3的迴轉即使會飛濺於周圍的情形下， 可由上述空氣噴出確實地防止此飛濺物進入於透鏡遮光罩 8 1b、8 2 b內，或，飛濺物沾附於物鏡8 1 a、 82 a，可良好地實施攝像。 第2 5圖是於第2 4圖所示構造裝設開閉擋門者，圖 中的符號1 2 5是壓缸，符號1 2 6是設在壓缸1 2 5的 桿Γ 2 5 a的擋門。壓缸1 2 5是固定於支持照相機8 1 、82的構件。當對於台31上的工件W實施切割時，藉 由擋門126堵住透鏡遮光罩81b、82b的下面開口 時就可更加確實防止冷卻液的飛濺物進入於透鏡遮光罩 8 1 b、8 2 b 內。 按，將冷卻液的飛濺物沾附爲原因的攝像不良的問題 ，是上述以外的構造也可以加以防止。例如，第2 6圖所 示，在透鏡遮光罩8 1 b、8 2 b的下面開口安裝親水性 I — — — — —---II I I · I I Ϊ 身 . (請先閱讀背面之注意事項r"寫本頁) 議2 --線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 B7 五、發明說明θ ) 的透明濾光器1 3 1，積極地將液體的膜，較佳爲均均地 沾附時，較水滴分散吸附時相比可抑制對於攝像的影響。 又，如第27圖所示，在透鏡遮光罩81b、82b 的下面開口安裝撥水性的透明濾光器1 3 2，並且，在透 鏡遮光罩81b、 82b設吸氣口81b2、 82b2與 向遮光罩下面的通氣.路81b3、82b3，在通氣路 81b3、 82b3下端裝設向濾光器131下面的噴嘴 133時，從吸氣口81b2、 82b2經由通氣路 81b3、 82b3從噴嘴133向濾光器131噴出空 氣，將沾附於濾光器1 3 1的冷卻液將此飛濺物藉此噴出 加以去除，就可消除攝像不良的問題。作爲濾光器1 3 1 因使用撥水性者，所以由上述噴出空氣的沾附物的去除也 變成容易。. 並且，如第2 8圖所示，在透鏡遮光罩8 1 b、 8 2 b的下面開口內面以不妨礙攝像視野的範圍將吸水性 構件1 3 4，例如設吸水性樹脂層時，將冷卻液飛濺物由 此吸水性構件1 3 4積極地吸收以防止飛濺物進入於透鏡 方向，就可消除攝像不良的問題。 並且又，如第2 9圖所示，在透鏡遮光罩8 1, b、 8 2 b下面側配置送出透明軟片1 3 5所用的帶輪1 3 6 與捲繞所用的帶輪1 37，若將捲繞帶輪_1 37由馬達 13 8加以迴轉時，每當覆蓋透鏡遮光罩8 lb、82b 下面開口的透明軟片1 3 5由於冷卻液的飛濺物汙染時藉 捲取此透明軟片1 3 5的既定長度，就可消除攝像不良的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 閱 讀 背 £ 之 注 項 i 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418453 A7 ---- B7 五、發明說明θ ) 問題。此時，.若將取除被捲取的透明軟片1 3 5的汙染吸 水墊等設於捲取側時，也可再利用使用完的透明軟片 1 3 5，若在送出帶輪1 3 6側也裝設馬達時也可以將透 明軟片1 3 5倒轉移動反復使用。 並且又，如第3 0圖所示，將複數的過濾器1 3 9 a 將在同一圓周上具有以等角度問隔的過濾板1 3 9中心安 裝於馬達1 4 0的軸1 4 0 a時，每當覆蓋透鏡遮光罩 81b、 82b下面開口的過濾器139a由於冷卻液的 飛濺汙染時將濾光板1 3 9迴轉既定角度將此濾光器 1 3 9 a轉換爲另外濾光器1 3 9 a，也可消除攝像不良 的問題。 並且又，在切割頭5 1與照相機8 1、8 2之間即使 配置冷卻液的飛濺物遮住從切割頭5 1向照相機8 1、 8 2流動所用的遮蔽物（省略圖示），也可防止飛濺物沾 附於照相機8 1、8 2。此遮蔽物也可以安裝於第一滑動 板6 7與第二滑動板7 3的至少一方而加以一起移，或也 可以固定配置於裝置本體。 在第3 1圖表示，於切割時向刀片5 3所供應後的冷 卻液中所含有的加工渣進入於分割頭5 1的心軸馬達5 2 側而轉動接觸於軸5 2 a，防止發生所謂咬住有助益的構 造。 圖中的符號5 1爲切割頭，符號5 2是心軸馬達，符 號5 2 a是心軸馬達5 2的軸，符號5 2 b是刀片押壓構 造，符號5 2 c是將刀片押壓構件5 2 b固定於軸5 g a 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） _ 25 - -----^—------裝— . 、^y (請先閱讀背面之注意事項广"-寫本頁) 訂· · --線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418453 A7 _____ B7 五、發明說明P3 ) 所用的鎖固構件’符號5 3是圓盤狀的刀片，符號5 4是 刀片蓋板5 4。軸5 2 a是在心軸馬達5 2的機殼內轉動 自如地配置使用止推軸承與徑向軸承。在心軸馬達5 2的 機殼與軸5 2 a的間具有約1 m m的間隙，又，在軸 5 2 a與刀片蓋板5 4間也具有同樣的間隙。亦即，在心 軸馬達5 2的機殼及刀片蓋板5 4，與軸5 2 a間，形成 有如圖所示的彎曲間隙G。又，心軸馬達5 2的機殻設有 吸氣口（省略圖不），在此吸氣口連接於備有空氣壓縮機 及閥等的空氣迴路。亦即，從吸氣’口向機殻備供應空氣的 狀態下，上述間隙G將具有空氣軸承的作用。 切割時，當從吸氣口供應空氣於機殼內時，此空氣是 流經上述間隙G從軸5 2 a周圍噴出於刀片側。切割時向 刀片5 3供應後的冷卻液的飛濺物擬欲進入軸5 2 a與刀 片蓋板5 4之間，但是由於上述的噴出空氣就可排除此飛 濺物，又，同時防止含在飛濺物的加工渣進入於上述間隙 G來防止上述軸的咬住。 按，由於間隙G開啓端的空氣壓力降低爲原因，在此 開啓端附近部分沾附加工渣而堆積的情形時，就如第3 2 圖所示，也可以在該部分設間隙G的旁通通路5 4 a，積 極地防止於該部分的加工查的沾附。又，將容易沾附加工 查的部分由多孔質構件構成，使其從該構件全體可流出空 氣也可得到同樣的效果。 在第3 3圖是表示，從重疊於工件供應器1 1的升降 板1 2上的工件W由吸附頭2取出最上位的工件W時’爲 本紙張尺度適用ΐ國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) -26 - ~ ----I---------裝 i· (靖先閱讀背面之注意事項iLj寫本頁} 訂 --線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社，印製 418453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（?4 ) 了防止工件互相的密貼爲原因而取出2片以上工件W有益 的構造。 圖中的符號Γ2是工件供應器1 1的升降板，符號 1 8是取出口，符號W是堆積於升降板1 _2上的工件W。 符號1 5是安裝於升降板1 2的微振動發生用的振動源。 由吸附頭2取出最上位的工件W時，當吸附頭2接觸於工 件W時啓動振動源給與全部工件W微振動。即使最上位的 工件W與其下側的工件W密貼時，也由於上述微振動可分 開兩者，藉此就可防止由吸附頭2取出2片以上的工件W c 按，欲防止由吸附頭2取出2片以上的工件W也可採 用上述以外的方法。例如，第3 4圖所示，在吸附頭2外 周緣配置複數的壓缸_1 5 2，使其桿1 5 2 a可從吸附頭 2下面（墊2 a的下面）突出，當吸附頭2取出最上位的 工件W時預先使桿1 5 2 a從吸附頭2下面稍爲突出，在 此狀態下將吸附頭2接觸於最上位工件W進行吸附時，將 最上位的工件W由吸引力撓變成如圖中以虛線所示，就可 與下側的工件W分開。此後，拉入桿1 5 2 a時，就可解 除上述的撓變將工件W以適當狀態由吸附頭2吸附固持。 這樣做，也可防止由吸附頭2取出2片以上的工件W。 第3 5圖是表示用來檢測被取出2片以上的工件W的 構造，於此1將由發光器1 5 3與受光器1 5 4所構成的 光線開關設於取出口，依據此光線開關的檢測訊號來判斷 工件的的取出情形的良否。亦即，若將光線開關的檢測光 τ 請先吼讀背面之注意事項0 --- 寫本頁) -iJ· •線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- Α7 Α\βΑ53 Β7____ 五、發明說明Ρ ) <請先閱讀背面之注意事項rv寫本頁) 線設定成只與最上位的工件W碰觸時，取出2片以上的工 件W時，在此後即使將升降板1 2上升工件1片分量因光 線開關不會變成0 F F，所以，利用此訊號就可判斷取出 2片以上的工件W被取出的情形》當判斷2片以上的工件 W被取出時若使裝置的動作暫停時，就可利用此停止期間 修正工件取出不良的情形。 ^ 本說明書所記載的態樣爲例示性者並非限定性着。發 明的範圍由所附的申請專利範圍所揭示，含在其等申請專 利範圍的意義中的所有變形例應包括在本發明。 圖式的簡單說明 第1圖是表示本發明的一實施態樣的切割裝置的槪略 上視圖。 第2 ( A )圖是表示使旋轉臂往復迴轉所用的機構的 圖。 第2 (B)圖是第2 (A)圖所示機構的動作說明圖 〇 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 第3 ( A )圖是表示將吸附頭升降及迴轉所用的機構 的圖。 第3' ( B )圖是第3 ( A )圖所示機構的變例的圖。 第4 ( A )圖是工件供應器的詳細圖。 第4 ( B )圖是工伶保管器的詳細圖。 第5圖是表示將台向X方向移動所用的機構，與將切 割頭向Y、Z方向移動的機構的圖。 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） r 41^^453 A7 B7 五、發明說明（?6 ) 第6圖是第5圖的部分側面圖。 第7圖是工件洗淨器的詳細圖= 第8圖是第1圖所示切割裝置的動作說明圖。 閲 讀 背 之 注 意 事 項 r 寫 本 頁 第9圖是第1圖所示切割裝置的動作說明圖》 第1 0圖是第_1圖所示切割裝置的動作說明圖。 第1 1圖是第1圖所示切割裝置的動作說明圖。 第1 2圖是第1圖所示切割裝置的動作說明圖。 第1 3圖是第1圖所示切割裝置的動作說明圖。 第14圖是第1圖所示切割裝置的動作說明圖。 第1 5圖是第1圖所示切割裝置的動作說明圖。 第1 6圖是表示防止冷卻液侵入於台移動機構所需構 造的圖。 第1 7圖是第1 6圖的A — A線剖面圖。 第1 8圖是表示第1 6圖所不構造的變形例的圖。 第1 9圖是表示第1 6圖所示構造的其他例的變形例 的圖。 第2 0圖是表示第1 6圖所示構造的另外其他例的變 形例的圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2 1圖是表示第1 6圖所示構造的另外其他例的變 形例的圖。 第2 2圖是表示第1 6圖所示構造的另外其他例的變 形例的圖。 第2 3圖是表示第1 6圖所示構造的另外其他例的變 形例的圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · 29 - A7 Α\8453 ___B7__ 五、發明說明（27 ) 第2 4圖是表示用來防止冷卻液的飛濺物浸入於照相 機所需構造的圖。 第2 5圖是表示第2 4圖所示構造的變形例的圖。 第2 6圖是表示第2 4圖所示構造的其他變形例的圖 〇 第2 7圖是表示第2 4圖所示構造的再另外其他變形 例的圖。 第2 8圖是表示第2 4圖所示構造的再另外其他變形 例的圖。 第2 9圖是表示第2 4圖所示構造的再另外其他變形 例的圖。 第3 0圖是表示第2 4圖.所示構造的再另外其他變形 例的圖。 第31圖是表示用來防止由包含在冷卻液的飛濺物的 加工渣所發生軸咬住所需構造的圖。 第3 2圖是表示第3 1圖所示構造的變形例的圖。 第3 3圖是表示用來防止2片以上的工件由吸附頭取 出所需構造的圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第3 4圖是表示第3 3圖所示構造的變形例的圖。 第3 5圖是表示欲檢測由吸附頭取出2片以上工件所 需構造的圖。 主要元件對照表 1 旋轉臂 -30 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明f8 ) 2 吸附頭 3 壓缸 4 托架 11 工件供應器 12 升降板 13 導板 14 導桿 15 滾珠螺桿 2 1 工件保管器 32 工件支持板 3 3 滑動台 45 滑動導件 5 1 分割頭 5 2 心軸馬達 5 3 刀片 5 4 刀片蓋板 91 工件洗淨器 81.82 照相機 9 2 轉盤 9 5 洗淨液噴射口 9 6 氣體噴射口 101 防水蓋 102 伸縮蓋 111 刮取板 -----—------裝— (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 訂，. .線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418453 A7 B7 五、發明說明（?9 ) 8 1b、82b 117 刷子 8 1a、 82 a 透鏡遮光罩 物鏡 -----：---,------裝—— . -)_ (請先閱讀背面之注意事項C寫本頁) lj· --線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作杜'印製 ‘紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 32^