TW414946B - Substrate treatment apparatus and substrate treatment method - Google Patents

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經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 414946 Α7 一 Β7 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 本發明’係關於基板處理裝置及基板處理方法。 〔習知技藝〕 為了抑制半導體晶片（以下簡稱為晶片）的粒子污染， 已被檢討密閉型之晶片卡匣（以下稱為密閉型卡匣）（參照 月刊Semiconductor World 1997年1月號等）。該密閉型卡 E1，係如第1〇圖所示，備有將晶片W收容例如13張的卡 E本體10,和為了將形成在該卡匣本體10的晶片取出口氣 密地封閉之蓋體11 ’該蓋體11，係構成例如由插入未圖示 的鍵鎖圖，而被固定在卡匣本體10。 關於如此的密閉型卡匣1之利用法，例如以熱處理裝 置為例說明。由壁部13被區畫為操作員或自動搬送機器人 把密閉型卡匣1搬送的作業領域S1，和清潔度比該作業領 域S1高之裝載區S2，密閉型卡匣1將從作業領域si側，著 裝在壁部13所形成的開口部14 ^圖中15係載置台。前述開 口部14係經常由門部16被關閉，蓋體11將由設在該門部16 之開閉裝置17使開啟》 被拆卸的蓋體II，將使門部16升降，由使之向水平方 向移動的門開閉機構18，和門部16—起被搬入裝載區S2 内’此後將從裝載區S2側由未圖示的移載裝置取出密閉 型卡匣1内之晶片W。 在裝載區S2，晶片W將被移載至未圖示的晶片艇，該 晶片艇將被搬入熱處理爐内，而被進行所定之熱處理。如 此地被進行熱處理的晶片W，將再度被收容在密閉型卡匣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） I.--\------參II (請先閲讀背面之注意事項再本頁) 訂· -線| 〇 -4- 經濟部宁夬標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2 ) 1内，以被密閉的狀態，被搬送至下一步雜之站，例如洗 淨站。然後在該站被開啟蓋體11，把晶片W取出，而被進 行洗淨β 在上述熱處理裝置，裝載區S2將被設定為比作業領 域S1為高壓，俾裝載區S2的清潔空氣向作業領域流出， 使之防止粒子從作業領域侧侵入裝載區S2，因此，裝載 區S2係對大氣壓設定成IPa以上，以成為500Pa程度高壓 為理想。 一方面，密閉型卡匣1，係内部已由清潔空氣或|_(凡） 氣被清除，卡匣1内的壓力為约1氣壓（大氣壓）。如此地， 因密閉型卡匣1内的壓力比裝載區S2稍小，故將密閉型卡 匣1著裝在開口部14想要將蓋體11開啟時，基體11將由於 兩者之壓力差而變成不易開啟，為了把蓋體11和門部16— 起拆卸的門開閉機構18之驅動，將需要大的動力。 並且熱處理後之晶片W的溫度係例如為1 〇(TC程度， 可是把此狀態之晶片w收容在密閉型卡匣1内，冷卻至例 如室溫程度時，卡匣1内的氣壓會比大氣壓略減少。因此 ’把冷卻後之密閉型卡匣1搬送至下一步驟的洗淨站，在 該步驟想要把晶片w取出時，因洗淨站係大氣壓，故在開 啟蓋嫂11時將需要大之動力。 更且如上述地，在密閉型卡匣1内和把卡匣開放的環 境之間有壓力差時，因將蓋體11開啟時，氣體會急激地流 入低壓側的卡匣I内，也有由此發生粒子之虞。 〔發明之揭示〕 本紙張尺度適财賴家轉（CNS)从祕（2iGx297公资） ---------i-- - W (請先閲讀背面之注意事項再.VC4-本頁) 訂 -線| Θ -5- 414946 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) 本發明係在如此的情況被開發者，其目的，係提供由 消除密閉型的被處理基板卡匣内和開放該卡匣的清淨環境 之間的壓力差，使蓋體容易開啟之基板處理裝置及其方法 〇 本發明，係一種基板處理裝置，其特徵為，具備收容 被處理基板並且在侧面有取出口的卡匣本體，和有將卡匣 本體之取出口密閉的蓋體之被處理基板卡匣，和被載置被 處理基板卡匣，而且位於區畫清淨環境與作業環境的作業 環境側之卡匣載置部，和被安裝在卡匣本體或蓋體的其中 之一所設的連通孔，平常時將關閉該連通孔之閥，及被處 理基板卡匣被載置在卡匣載置部時，將把閥貫通而連通被 處理基板卡匣内與清淨環境之連通管者。 並且本發明，係一種基板處理裝置，其特徵為，在壁 部中對應於卡匣載置部上的對應被處理基板卡匣之位置設 有開口部，在該開口部設定有門部者.。 而且本發明，係一種基板處理裝置，其特徵為，連通 孔和閥係被設在卡匣本體的底部，連通管之一端係設成促 下匣載置部向上方突出。 更且本發明，係一種基板處理裝置，其特徵為，連通 孔和閥係被設在卡匣本體的侧面或蓋體，通氧管之一端係 從壁部向側入突出而被設置者。 並且本發明，係一種基板處理裝置，其特徵為，在通 氣管安裝控制閥並且在卡匣載置部設置檢知已被載置處理 基板卡匣的檢知開關，設置根據從檢知開關之信號檢知已 (請先閱讀背面之注意事項再f本頁) -裝- 訂 線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祝格（210 X 297公釐） -6 - A7 B7 414946 五、發明説明（4 ) 被載置處理基板卡匣之檢知開關，設置由從檢知開關的信 號將控制閥控制之控制部者。 而且本發明，係一種基板處理裝置，其特徵，係在卡 匣本體的底部，被設置包圍連通孔和閥之接合腳，在卡匣 載置部，被設置將和該接合腳卡合的突起，通氣管之一端 係由該突起被保持者。 更且，本發明係一種基板處理方法，其特徵為，具備-將準備把被處理基板收容並且右側面有取出口的卡匣本體 ，和有將卡匣本體之取出口密閉的蓋體之被處理基板卡匣 的步驟，和把該被處理卡匣，載置在位於將清淨環境與作 業環境區晝而有開口部的壁部之作業環境側的卡匣載置部 上之步驟，和使被處理基板卡匣與清淨環境連通的步驟， 及開啟被處理卡匣之蓋體從取出口把被處理基板取出，將 該被處理基板從開口部移載至清淨環境側之步驟者。 並且本發明，係一種基板處理裝置，其特徵為具備將 收容被處理基板而且右侧®有取出口的卡匣本體，和有將 卡匣本體之取出口密閉的蓋體之被處理基板卡匣，和將被 載置被處理基板卡匣的卡匣載置部，和被安裝在卡匣本體 或蓋體之其中一方的氣體導入孔，平常時將關閉該氣體導 入孔之導入閥，和被安裝在卡匣本體或蓋體的其中之一方 所設的氣體排出孔，平常時將關閉該氣體排出孔之排出閥 ，和在被處理基板卡匣被載置在卡匣載置部時，將被連接 至貫通導入閥及排出閥的導入管及排出管，及導入管之惰 氣導入源者。 本紙張尺度適用t國國家梯準（CNS )八妨見格（210X297公釐） I.--^-------^-- _ - (請先閲讀背面之注意事項再本頁) 訂 -線丨 經濟部t夬標準局員工消費合作社印製 經濟部4-央標準局員工消費合作社印製 414946 Α7 _____ Β7 五、發明説明（5 ) 〔為1實施發明之最佳形態〕 本發明的實施形態，係將密閉型之被處理基板卡匣如 晶片卡11 ’在和該被處理基板卡匣内的壓力不同壓力之清 淨環境内開放時，在把該被處理基板卡匣的蓋體開啟之前 ’由使卡匣的内部和前述清淨環境連通，而消被處理基板 卡E内和前述清淨環境之壓力差者。 第1圖係顯示將本發明的基板處理裝置適用在熱處理 裝置之實施例的圖。該裝置，係由壁部2的作業領域81和 裝載區S2區晝·»雖然作業領域S1，裝載區S2皆在清潔室 内’可是裝載區S2的清淨度被設定為比作業領域81高， 清淨環境在本例係相當於裝載區S2，而作業環境係相當 於作業領域S1。在壁部2形成有晶片交接用之開口部21， 而在該開口部21的作業領域S1側，有成密閉型之被處理 基板卡匣之密閉型卡匣3(以下簡稱為卡匣3)，密接在壁部 2 ° 關於卡匣3由第2〜5圖說明時，該卡匣3，具備將例如 13張的被處理基板之晶片保持成棚架狀地，晶片保持部 被形成多段的卡匣本體31，和為了把設在該卡匣本體31的 侧面之晶片取出口的取出口 33氣密地封閉之蓋體32，該蓋 體32係被設成將進入卡便本體31的取出口 33之内側。而且 卡ϋ本體31的取出口 33之周緣部’係向外側彎曲而做為彦 部3U被形成^ 在前述蓋體32，例如在2處被形成有錄匙孔34，由在 該鑰匙孔34插入被設在後述的開閉裝置之鑰匙35而旋轉， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4祝格（210Χ297公龙） ------Λ------ - I (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 訂 線I 0 -8 - 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 414946 A7 〜_B7 __ 五、發明説明（6 ) 未圖示的鎖固銷將從蓋體32之上端和下端突出’構成蓋體 32將被固定在卡匣本體31。 在前述卡匣3的底部，如第3圖及第4圖所示，在卡匣 本體31之下方側設有和卡E本體31的下面略同形狀之基板 41。該基板41係在卡匣本體31，經由圓筒狀的接合腳42a 〜42c隔著間隔被安裝，其中接合腳42a，42c係被設在卡 匣本體31的底壁之長方向的略中央之兩侧緣部，而接合腳 42b係被設在卡匣本體31的底壁之略中央部》 接合腳42a〜42c中，接合腳42a，42c的上端侧係被閉 鎖，在下部侧（基板41侧）形成有凹部43。並且接合腳42b 之上端側係向卡匣本體31内開口，下端侧也經由基板41向. 卡匣的外部開口。該接合腳42b之内部空間44，在本例係 相當於卡匣3的連通内部和外部之連通孔44。 在接合腳42b的内部之例如上部侧，如在第5圖的接合 腳42b之底面圖所示，嵌合有閥5»該閥5係由例如加上十 字型的切入5a之橡膠等的彈性板而成，周緣部被固定在接 合腳42b之内面。該閥5在平常時係切入面被接合而成為被 封閉的狀態，而保持卡匣3内之氣密性。 如此的卡匣3，係被載置在作業領域si成載置部的卡 E載置部6之台階61上’卡匣3將由該卡匣載置部6,被保 持在適合前述開口部21的位置》台階61係由台階支持台62 被支持’而台階支持台62，係被構成能夠由向卡匣3的裝 卸方向設在基台64上之導軌63，向前述裝卸方向移動。 在前述台階61的上面，使之能適合前連接合腳42a，42c 表紙張尺度適财國國家辟（CNS ) A4祕（210X297公楚) ---- -9- ----------裝-- J r (請先閲讀背面之注意事項再ί本頁) '1Τ 線I ο 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414946 AV __B7 五、發明説明（7 ) 的凹部43和接合腳42b之内部空間44地，例如被形成有3個 突起61a，構成突起61 a將卡合在卡匣3的凹部43及内部空 間44，能夠進行卡匣3在台階61之對位。並且在接腳42b， 在不會和突起61a干擾之位置設有閥5。 而且此等突起61a中在和接合腳42b適合的突起61a， 有外徑比接合腳42b之内徑小的成為連通路之通氣管51， 被設成從突起61 a的上面突出。該通氣管51，係構成上端 侧在卡匣3被載置在台階61上時，將進入閥5的切入5a之間 在卡匣3的内部開口，他端侧將貫通壁部5在裝載區S2開 口，成為台階支持台62向裝卸方向移動時，前述上端側和 他端侧也不會從被設定之位置脫落〇 在前述通氣管51介設有通常關閉的控制閥52，該控制 閥52，係成為卡匣3被載置在卡匣載置部6時，檢知開關53a 將成為閉合，而由從控制部53所輸出的控制信號，被控制 成逐漸開啟。在本實施例，係由通氣管51和閥52構成連通 裝置。並且，在第1圖係為了方便，將壁部2及卡匣载置部 6畫成比通常位置在前面侧，實際上等係在靠近後述的移 載機構侧之位置。 ’ 在前述開口部21的裝載邊S2側，設有為了將前述開 口部21封閉成氣密的壁部2用之鬥部71。該門部71，係形 成覆蓋開口部21的周緣部之大小，構成由門開閉機構7被 開閉。該門開閉機構7，備有將門部71由升降軸72a使之升 降用的升降基台72，和為了使該升降基台72向水平方向移 動之水平基台73。在前述門部71，組合設置有為了將卡匣 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 裝· 訂 -線

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 -10 - A7 B7 414946 五、發明説明（8 ) 3的蓋體32開閉之開閉裝置74 ,該開閉裝置74，具有使鍵乃 進退，旋轉之鍵操作機構75。 在裝載區S2内’設有為了對晶片進行熱處理的熱處 理爐81 ’在該熱處理爐81之下方侧’設有將例如15〇張的 晶片w保持成棚架狀’由未圖示之艇升降機向熱處理爐81 搬出入用的晶片艇82。並且設有為了在卡匣3和晶片艇以 之間進行移載晶片用的移載機構83 ,該移載機構83，能把 BB片多數張例如5張總括起來移載’而且也能各一張地移 載’備有例如5片之移載臂83a ’該移載臂83a，係構成自 由造退，自由升降，自由旋轉。 接者說明上述實施例的作用。前述卡匿3，係將晶片 W收容後，以清潔空氣或氮氣被沖洗，卡匣3内係被雄持 大氣壓程度之歷力。一方面，裝載區S2内，為了防止發 生自然氧化膜或把大氣捲入熱處理爐81内，為了防止只捲 入氮氣’或大氣，已由清潔空氣被沖洗，而且為了防止粒 子從作業領域S1侵入裝載區S2 ’被設定成比作業領域si 高壓’例如對大氣壓被維持成為例如ipa以上，而以成為 500Pa程度高壓為理想。 如第6(a)圖所示，首先將卡匣3配置成卡匣載置部6的 台階61上之突起61a，會嵌合在接合腳42b之内部空間44内 ，接著使突起61a卡合在接合腳42b的内部空間44。此時在 接合腳42b，將如第6(b)圖所示，通氣管51之突出端會擠 入閥5的楔入5a之間。然後以未圖示的推壓機構將台階支 持台62推壓，而把卡匣3著裝在開口部21。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M祝格（2!ox297公釐} ----;---_----批衣-- (請先閲讀背面之注意事項再Ϊ本頁) 訂· -線| 0 經濟部t央標準局員工消費合作社印裝 -11 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414946 at B7 五、發明説明（9 ) 將卡匣3載置在卡匣載置部6上時，閥5將由通氣管51 被開啟’通氣管51的前端部將在卡匣3内開口 .並且檢知 開關53a將成為閉合’控制部53將控制信號向控制閥52輸 出，而使控制閥52成為開。由此，卡匣3内部和裝載邊S2 内將經由通氣管51連通，高壓側的裝載區S2内之氮氣， 或清潔空氣將向低壓側的卡匣3之内部，以將通氣量由控 制閥52被控制的狀態流出》由於該氧氣，或清潔空氣之流 出’裝載區S2和卡匣3的壓力差將逐漸變小，不久兩者之 壓力將成為略相同。 接著使卡匣3位於卡匣載置部6後經過所定時間（卡匣3 和裝載區S2之間無壓力差為止的時間）後，將開閉裝置74 之鍵操作機構75的鍵35，插入卡匣3之蓋體32的鍵孔34轉 動’由此解除鎖固銷。然後使門部71從門開閉機構7之水 平基台73退後，再由升降基台72使之降低，把蓋體32和門 部71 —齊從開口部21拆卸。 然後使移載機構83的移載臂83a進入卡匣3内，將卡匣 3之5張晶片W總括撈起而保持，移載至晶片艇82。如此地 把例如150張的晶片W移載至晶片艇82後，由未圖示之艇 升降機使晶片艇82上升，搬入熱處理爐S1内，對晶片W進 行所定之熱處理》 在如此的基板處理裝置，係在開啟卡匣3的蓋體32之 前’使卡匣3内部和裝載區S2内連通，清除卡匣3内和裝 載區S2内的壓力差，然後再把蓋體32開啟❶因此，蓋體32 將不受從外部之推壓力而能順利地開啟，據此為了把蓋體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祝格（210X297公釐） -----------装 I- „ 1 (請先聞讀背面之注意事項再f本頁 -訂 線— -12- Α7 Β7 414946 i、發明説明（10 ) ---^---_----襄— <請先閎讀背面之注意事項再t本頁) 32拆卸的門開閉機構7之驅動力只要很小即可。而且因在 兩者之間無Μ力差’故能抑制將蓋趙32開啟時，氣體急激 地流入卡匣3内，而防止發生粒子》 並且由通氣管51的卡匣3內部和裝載區§2之間的連通 時’也能夠以控制閥52，使氮氣’或清潔空氣在一開始緩 和地通氣，而逐漸增加通氣量。因此，將抑制氮氣，或清 潔空氣急激地流入卡S3内，而防止發生粒子。 而且通氣管51和接合腳42b兼做為對位用的機構，只 需將卡匣3對位在卡匣載置部6而載置，閥5—定會由通氣 管51被開啟，故能簡單地使通氣管51和閥5適合。 -線| 0 在此為了防止發生粒子，也可以代替設置控制閥52， 如第7圖所示，在卡匣3被載置在台階61時，將閥5設在不 會和接合腳42b的内部之突起61a干擾的位置，在該閥5之 上方侧設置為了去除粒子的過濾器54，使通氣管51之上端 部，在閥5和過遽器54之間的位置開口。而且，該過渡器54 ，也可以設在通氣管51在卡匣3内開口側之前端部》 經濟部t央榛率局員工消費合作杜印製 接著說明本發明的處理裝置之其他實施例。本實施例 和上述實施例不同之處，係如第8(a)圊所示，將閥55設在 卡匣3的蓋體32，並且在門部71設置通氣管56之點》通氣 管56，係在門部71中和閥55適合的位置，設成從門部71向 作業領域S1垂直地延伸，前端側係向壁部2之作業領域S1 側突出，而後端侧在裝載區S2内開口 β閥55的構成和其 他構成係和上述實施例相同。並且在通氣管56，也可以設 置控制閥52和過濾器54。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS M4祝格（210X297公釐} -13- 414946 經濟部中央標隼局舅工消費合作社印策 A7 B7 五、發明説明（11 ) 在本實施例’係如第8(b)圖所示，將卡匣3著裝在壁 部2時，通氣管56將擠入設在蓋體32的閥55之切入5a間， 如此地把閥55開啟，通氣管56的前端部將在卡匣3内開口 。然後卡匣3之内部和裝載區S2内的環境將連通，兩者之 壓力變成相同，其後把蓋鳢32從卡匣3開啟時，能夠獲得 和上述實施例相同之效果》 接著由第9(a)圖及第9(b)圖說明本發明的基板裝置之 更其他實施例。在本實施例中密閉型卡匣36(以下簡稱卡 匣36)，具有一對和上述第1實施例相同構造的接合腳42b »其中一方的接合腳42b之内部空間91成為氣體導入孔91 ，而他方的接合腳42b之内部空間92成為氣體排出孔92。 在載置台93，有外徑比接合腳42b的内徑小之將成氣 體導入裝置的氣體導入管94和將成氣體排出裝置之氣體排 出管95，分別設在適合氣體導入孔91和氣體排出孔92的位 置。氣體導入管94和氣體排出管95之前端部係形成在載置 台93上，並且從和接合腳42b卡合的突起93a之上面突出。 在氣體導入管94的他端侧，連接有惰氣等置換氣體導 入源’例如氮（N2)氣源96，而氣體排出管95之他端側，係 連接在排氣裝置97。並且在氣體導入孔91設有導入閥91a ，而在氣體排出孔92設有排出閥92a。此等導入閥91a及排 出閥92a，係成為和閥5相同之構成。 關於如此的卡匣36之利用法說明時，首先在卡匣36内 以大氣環境中把晶片W收容。接著將該卡匣36在載置台93 上，載置成氣體導入管94的前端部和氣遨排出管95之前端 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4祝格（210Χ297公釐） I ^-- -” (請先閲讀背面之注意事項再本頁)

<1T -線— ο -14- 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 414946 A7 B7 五、發明説明（12 ) 部，會分別擠入氣體導入孔91的導入閥91a和氣體排出孔92 之排出閥92a的切入之間，由此使氣體導入管94和氣體排 出管95，在卡匣36内開口。 然後如第9(b)圖所示，一面以排氣裝置97將卡匣36内 排氣，而從氮氣源96將氮氣供給卡匣36内時，卡匣36内的 大氣將向卡匣36之外部排出，卡匣36内將逐漸被以氮氣取 代大氣。 如此地將卡匣36内以氮氣取代後，把該卡匣36從氣體 置換用載置台93抬起，搬運至下一步驟例如熱處理步驟。 此時，氣體導入孔91的導入閥91a和氣體排出孔92之排出 閥92a，係由抬起卡匣36使氣體導入管94及氣體排出管95 脫落時，切入面將被接合而關閉，故卡匣36將以被保持氣 密性的狀態被搬運至下一步驟。接著在下一步驟之熱處理 步驟，把該卡匣36載置在卡匣載置部6上，在此氣體導入 孔91及氣體排出孔92，將做為連通孔而作用。 如此地由於使用氣體導入孔91及氣體排出孔92，將能 進行卡匣36内和裝載區S2的連通，並且能順利地進行氣 體置換。而且，也可以在蓋體32設置氣體導入孔91及氣體 排出孔92。 在上述各實施例，閥5，55也可以代替加上切入5a， 而分割為2以上。例如，也可以使用經常係被加熱成關閉 ，當卡匣被載置在台階61時，會由通氣管51被推壓而開啟 的構成者。並且，也可以做為在通氣管51，56，不設置控 制閥52和過濾器53之構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祝格（210X297公釐> ---------裝-- *-Λ (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 訂- 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 414946 B7 五、發明説明〇3 ) 根據本發明時，由於消除密閉型的被處理基板卡匣内 和將該卡匣開放的清淨環境之間的壓力差，被處理基板卡 S之蓋體將成為容易開啟。而且能夠順利地進行氣體的置 換。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係顯示根據本發明的基板處理裝置之一例的斜 視圖， 第2圖係顯示密閉型卡匣之一例的斜視圖； 第3圖係顯示著裝在壁部之密閉型卡匣的一例之斷面 圖； 第4圖係顯示密閉型卡匣的一例之斜視圖； 第5圓係顯示第4圖的密閉型卡匣之接合腳的底面圖； 第6(a)圖係為了說明連通閥之作用的斷面圖； 第6(b)圖係為了說明連通閥之作用的斷面圖； 第7圖係顯示密閉型卡匣之其他例的斷面圖； 第8(a)圖係顯示關於本發明之其他實施例的基板處理 裝置之一例的斷面圖； 第8(b)圖係顯示關於本發明之其他實施例的基板處理 裝置之一例的斷面圖； 第9(a)圖係顯示關於本發明之其他實施例的基板處理 裝置之一例的斷面圖； 第9(b)圖係顯示關於本發明之其他實施例的基板處理 裝置之一例的斷面圖； 第10圖係顯示密閉型卡匣之斷面圖； 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A#見格（210X 297公釐） 裝-- I' (請先閱讀背面之注意事續再ί本頁) -訂 線I 〇 -16- 414946 A7 B7 五、發明説明（Μ ) 元件標號對照 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1...密閉型卡匣 33…取出σ 2...壁部 34...鍵孔 3...卡匣 35."鍵 5…閥 36…卡匣 5a··.切入 41...基板 6...卡匣載置部 42a〜42c...接合腳 7...門開閉機構 43…凹部 10...卡匣本體 44…内部空間 11...蓋體 51...連通管 14...開口部 52…閥（控制閥） 15.··載置台 94...氣體導入管 16…門部 95...氣體排出管 17...閗閉裝置 96...氣體源 18...開閉機構 97...排氣裝置 31...卡E本體 S1...作業領域 31a...簷部 S2...裝載區 32…蓋體 W...晶片 ——.--------裝-- J V (諳先閱讀背面之注意事項再^r本頁) 訂 線I 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -17-

Claims (1)

1. 經濟部中央榇準局貝工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 DS 六、申請專利範園 I 一種基板處理裝置，其特徵為，具備： 具有將收容被處理基板且在側面有取出口的卡g 本體及將卡匣本體之取出口密閉的蓋體之被處理基板 卡匣； 用以載置被處理基板卡S，並且位於區晝清淨環 境與作業環境的壁部之作業環境側的卡匣載置部； 安裝在卡匣本體或蓋體中的一方所設之連通孔， 而於平時封閉該連通孔的閥；及 當被處理基板卡匣被載置在卡匣載置部時，可將 閥貫通而將被處理基板卡匣内與清淨環境連通的通氣 管。 2.如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中在壁部中 和卡匣載置部上的被處理基板卡匣對應之位置設有開 口部，而在該開口部設定有門部者。 3·如申請蓴利範園第1項之基板處理裝置，其中連通孔及 閥係被設在卡s本體的底部而連通管之·端係設成 從卡匣載置部向上方突出》 4. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中連通孔及 閥係設在卡匿本體的侧面或蓋體，而通氣管之一端係 從壁部向側方突出地設置。 5. 如申請專利範園第1項之基板處理裝置，其係將控制閥 安裝在通氣管，並設置一可檢知被處理基板卡匣已被 載置在卡匣載置部之檢知開關； 此外又設置一可根據檢知開關之信號而控制控制 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格{ 210X2?7公釐） ---------裝— (請先聞讀背面之注意事項再ί'本頁) 訂. 線— ® 18 414946 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 閥之控制部。 6. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中該卡匣本 體之底部並設有包圍連通孔及閥之接合腳，而卡匣載 置部則設有和該接合腳卡合的突起； 而通氣管之一端則由該突起所保持。 7. —種基板處理方法，其特徵為，具備： 準備一具有可收容被處理基板且在側面具有取出 口之卡匣本體，與一可將該卡匣本體之取出口密閉之 蓋體的被處理基板卡匣之步驟； 將該被處理基板卡度載置在位於將清淨環境與作 業環境加以區畫且具有開口部的壁部之作業環境侧的 卡匣載置部上之步驟； 將被處理基板卡匣與清淨環境連通之步驟； 把被處理卡匣的蓋體開啟而從取出口取出被處理 基板，且將該被處理基板從開口部移載至清淨環境側 之步騍。 8- —種基板處理裝置，其特徵為具備； 經濟部中央標隼局員工消f合作社印製 具有將收容被處理基板並且在側面有取出口之匣 本體，與把卡匣本體的取出口密閉之蓋體的被處理基 板卡匣； 用以載置被處理基板卡匣之卡匣載置部： 安裝在卡匣本體或蓋體的其中一方所設之氣體導 入孔，而於平常封閉該氣體導入孔之導入閥； 安裝在卡匣本體或蓋體的其中一方所設之氣體排 -19- Ί--f,----裝-- (請先閱讀背面之注意事項再^^本頁) 線— © 本紙張尺度逋用中國國家揉隼（CNS > A4規格（210X：297公釐） 414946 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 出孔，而於平常封閉該氣體排出孔之排出閥； 當被處理基板卡匣被載置在卡匣載置部時，可將 把導入閥及排出閥貫通之導入管與排出管； 連接在導入管的惰氣導入源。 9.如申請專利範圍第8項之基板處理裝置，其排出裝置係 連接在排出管者。 請 先 閲 % 背 Sr. 之 注 意 事 項 再ΪΓ 驚· 本 1 裝 訂

   經濟部中央標牟局負工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20-