經濟部中央樣準局員工消費合作杜印装 __407294 37_ 五、發明説明（1 ) 發明背景： 本發明係相關於使用於在拉晶裝置之超導磁裝置，作 爲產生半導體裝置之結晶，特別是，相關於可減少溢漏磁 場之拉晶裝置之超導磁裝置。 在以半導體之拉晶裝置而自熔化的半導體結晶中拉晶 時，超導磁裝置係被使用作爲靜態磁場產生裝置，以藉由 使用靜態磁場至熔化半導體結晶材質而避免熱對流之移動 〇 圖一係展示習知拉晶裝置之超導磁裝置組態之立體圖 。圖二係以圖一箭頭I I 一 I I.所示方向而觀測之橫切面 圖。如圖一所示，該超導磁裝置經設置而使兩個超導磁圈 2a ，2b在C形低溫保持器1中相互面對面地建構，而 該由超導磁圈2 a ，2 b所產生之磁場方向3係與拉晶方 向4護正交。 進一步地，如圖二所示，該低溫保持器1在氨容器 4 0中具有超導磁圈2 a，使得該磁圈2 a浸泡在例如液 態氦等之冷卻劑中。而且，照射遮蔽4 2係爲在氦容器 4 0之外側，且整個氮容器4 0以及照射遮蔽4 2係儲存 在真空容器4 3以整體包含低溫保持器。 雖然具有單個照射遮蔽4 2的情形展示在上述例子中 ，雙重照射遮蔽如果需要亦可被提供。 進一步地，位在氦容器4 0中之超導磁圈2a ，2b 以冷凍器而不使用像是液態氦的冷卻劑而冷卻至超導狀態 之系統亦被使用。在此情形下，展示在圖二之該氦容器以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ----------^------ίτ-------I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · · -4- ^07294 A7 B7________ 五、發明説明（2 ) 及冷卻劑並不提供。 此係將拉晶裝置設在C形低溫保持器1之中心部份的 內徑5，以將水平磁場應用至拉晶裝置中之磁裝置的例子 〇 圖三展示作爲拉晶裝置之習知超導磁裝置之另一個組 態。該超導磁裝置經設置以使兩個超導磁圈2 a ，2 b被 設置成相互面對面，而由超導磁圈2a ，2b所產生之磁 場方向3係與圖一之拉晶方向4正交在含有內圓柱以及外 圓柱之雙重圓柱低溫保持器11之處。 此係爲將拉晶裝置設在內徑.1 2，該內徑係爲一般溫 度空間，而在低溫保持器1 1之內圓柱之內側以將水平磁 場應用至拉晶裝置之磁裝置的例子。 圖四展示拉晶裝置之習知超導磁裝置之另一種組態。 該超導磁裝置，係經設置以使兩個超導磁圈2 a ，2 b以 相關於位在雙重圓柱低溫保持器31中之低溫保持器31 之軸方向之間的最佳距離而相互面對面，使得磁場3 0 a ，30b在該方向上產生，而磁圈2a ，2b係相對的， 以產生尖點（cusp )磁場。在此情形下，該拉晶裝置係置 於內徑3 2，且該拉晶方向4係展示在圖中。一位磁場在 圖中尖點磁場之線6中變成零，因此可說與圖一以及圖三 相較的高品質結晶可藉由位在該線上之拉晶而獲得。 因爲例如不鏽鋼以及鋁之非磁性材質可被使用在上述 拉晶裝置之習知超導磁裝置以作爲低溫保持器之真空容器 ，所以由超導磁圈所產生之磁場會溢漏至磁鐵的外側，如 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---^--------农------訂丨：-------|旅 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ' ' 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 -5- 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 ⑽綱 A7 —_B7_五、發明説明（3 ) 此將影響存在於真空容器四周而由磁性物質所製之馬達後 構成要件。在此情形下，因爲磁性物質以及超導磁圈係相 互吸引，且該引力正比於磁性物質之體積、重量以及磁場 量度，該磁性構成要件或磁鐵越大的話，該引力亦變得越 大。 因此，其牽涉到該構成要件應該由昂貴得非磁性材質 所製，否則作爲支撐磁圈而位在低溫保持器之支持物的橫 切面將變大，因此，該低溫保持器之滲透量變大。 進一步地，假如易受磁場影響之馬達或測量裝置存在 於低溫保持器之周圍，可能導致該裝置之損害。 進一步地，因爲相互相鄰的超導磁鐵係受到每個溢漏 磁場之影響，假如溢流磁場大到干擾在內徑所需的磁場強 度或磁場分佈，該相鄰磁鐵以及拉晶裝置之裝設空間將要 更寬，且因此該裝設空間不可有效使用。 本發明之目的在提供一種拉晶裝置之超導磁裝置，具 有相對低花費而減少溢漏磁場，以及最理想地達成最小尺 寸以及輕質的功能。 發明槪述： 爲了達成上述目的，本發明包含一種以下述方式所製 之拉晶裝置之超導磁裝置。 本發明提供一種拉晶裝置之超導磁裝置，含有一對環 狀超導磁圈且兩面對面，而以拉晶裝置夾置其間，一環繞 該超導磁圏之照射遮蔽，以及環繞該照射遮蔽的真空容器 --..-------.衣------iT—·^------>· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 經濟部中央樣準局員工消費合作社印袋 407294 ^ 五、發明説明（4 ) ，其中該位在面對拉晶裝置一側的真空容器構件係以非磁 性材質所製，且位在另一側之真空構件係以磁性材質所製 〇 因爲位在面對拉晶裝置之一側的真空容器的部份係以 習知上使用在拉晶裝置，之超導磁裝置之非磁性材質，根據 本發明，該所必須的磁場強度以及磁場分佈可如以往般被 確保，且因爲非相鄰於該拉晶裝置的另一個構件係由磁性 材質所製，該所溢漏之磁場可被磁性材質所吸收，使得溢 漏磁場可被減少。 在本發明中，位在面對該拉.晶裝置側之真空容器構件 的部份係以磁性材質所製。因此，因爲相互面對之真空容 器構件係以磁性材質所製，該位在拉晶裝置之軸的溢漏磁 場可被減少。 在本發明中，位在磁圈外直徑側以及相對於超導磁圈 係相對於拉晶裝置之一側的真空容器構件之至少一個磁性 材質可較另一個另一側者爲厚。 本發明中，只有最近於超導磁圈之磁性材質較厚。因 此，因爲較近於超導磁圈之真空容器部份之厚度係較厚， 因此，溢漏磁場可更有效地被吸收。 本發明提供一種拉晶裝置之超導磁裝置，含有一對環 狀超導磁圈而分別以軸方向以及環繞超導磁圈之環狀照射 遮蔽而兩面對面，以及以位在磁圈內直徑部份之空間而環 繞該環狀照射遮蔽之雙重圓柱真空容器，使得該拉晶裝置 置於其間，其中投射在至少磁鐵內直徑側或外直徑側中至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I--_-------上衣------訂--^--.---" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) > . 經濟部中央樣準局員工消費合作社印装 407294 at B7五、發明説明（5 ) 少之一側的磁性構件係位在磁圈中心部份的真空容器外直 徑構件上。因此，因爲較多量的磁性材質係位在具有最大 溢漏磁場之對稱平面之真空容器，可提供具有整體小溢漏 磁場之磁鐵。 本發明係一種真空容器之磁性材質構件，包含具有間 隙多層板之聚合（aggregate )。因此，一位溢漏自內側磁 性板之磁場可進一步因爲本發明之多層板而由位在外側之 磁性材質所吸收，因此，溢漏磁場可被進一步地減少。 在本發明中，上側以及下側磁圈中任一個係爲電子是 短路電路。因此，在本發明中，_因爲互相面對之主要磁圈 相對於軸方向，藉由激勵另一個主要磁圈而非短路回路， 而短路回路，使得另一個主要磁圈可以相對於受激勵之主 要磁圈而在相反方向產生該磁場。亦即，只要藉由激勵兩 個磁圈中之一個，該短路電流在另一個磁圈被導通，以在 相反方向產生磁場（尖點磁場）。 本發明提供一種拉晶裝置之超導磁裝置，含有一對環 狀超導磁圈且以相對於軸方向而兩面對面，而以拉晶裝置 夾置其間，一環繞該超導磁圈之照射遮蔽，以及環繞該照 射遮蔽的真空容器，其中在相對於主要磁圈之相反相反方 向產生磁場之輔助磁圈係位在延展自主要超導磁圈之對稱 軸以及面對主要超導磁圈之超導磁圈之中心軸之交界點角 度內。因此，因爲輔助磁圈在相對於主要磁圈之相反方向 上產生磁場，因此產生自該主要磁圈之該溢漏磁場可藉由 扶助磁圈而被抵銷。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） -8- 經濟部中央樣準局員工消費合作社印裝 A7 £Z_ΑΠ7294 五、發明説明（6 ) 在本發明中，該夾置於相互面對面的磁圈間之真空容 器構件係以磁性材質所製。進一步地，藉由加入磁性遮蔽 至輔助磁圈，更多的遮蔽效果可在本發明中產生。 在本發明中，該輔助磁圈係爲電子短路回路。因此， 因爲該輔助磁圈在相對於本發明之主要磁圈之相反方向上 導出磁場，因此，該由輔助磁圈所產生之磁場只需藉由激 勵該主要磁圈而獲得。此可藉由具有側面（lateral )磁場 、垂直磁場、或尖點磁場中任一個之磁鐵而得。 在本發明中，兩面對面之主外磁圏中之任一個係爲電 子式的短路回路。因此，在本發.明中，只要藉由激勵一個 主要磁圈，該位在相反方向之磁場（尖點磁場）可在另一 個主要磁圏中導出，且進一步地，該磁場可在個別地相反 於主要磁圈之方向上的扶助磁圈中產生以得到磁場。 圖形的簡單敘述： 圖一係展示拉晶裝置之習知超導磁裝置的立體圖； 圖二係以圖一之線I I 一 I I線之箭頭方向所觀測之 橫切面圖； 圖三係展示拉晶裝置之習知超導磁裝置之另一組態； 圖四係展示拉晶裝置之習知超導磁裝置之另一組態； 圖五係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之第 一實施例部份的縱切面圖； 圖六係以圖五之V I —V I線之箭頭方向所觀測之橫 切面圖， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） --：---------^------、订------,Α (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . -9 - 經濟部中央樣準局員工消費合作社印裝 407294 at B7 五、發明説明（7 ) 圖七係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之第 二實施例部份的縱切面圖； 圖八係以圖七之V I I _ V I I線之箭頭方向所觀測 之橫切面圖； 圖九係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之第 三實施例部份的縱切面圖； 圖十係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之第 四實施例部份的縱切面圖； 圖十一係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之 第五實施例部份的縱切面圖； 圖十二係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之 第六實施例部份的縱切面圖； 圖十三係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之 第七實施例部份的縱切面圖； 圖十四係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之 第八實施例部份的縱切面圖； 圖十五係展示根據本發明，位在拉晶裝置之超導磁裝 置之第九實施例中之磁圈連接之組態； 圖十六係展示根據本發明，位在拉晶裝置之超導磁裝 置之第十實施例中之磁圏連接之組態；以及 圖十七係展示根據本發明，位在拉晶裝置之超導磁裝 置之第十一實施例中之磁圈連接之組態。 主要元件對照表： 本紙張尺度適用中國國家標準（〇奶>八4規格（2丨0\297公董） -I 1^ 1·1 In I 1-n 1^1 I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T Λ. -10- A7 B7 五、發明説明（8 ) 51-50 氦容器 5 2 後板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 3 側板 5 4 框 5 5 內板 5 6 、* -刖 板 5 7 上 板 5 8 下板 4 0 氦 容 器 4 1 冷 卻 劑 4 2 .照 射 遮 蔽 6 0 磁 性材 質 7 1 上 輔 助 板 7 2 下 輔 助 板 7 3 側 輔 助板 1-12 3 低溫狀態器 la 外圓柱構件 lb 內圓柱構件 1 c 上板
Id 下板 2 直徑空間 1 上板 2 下板 3 外板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） -11 - 經濟部中央樣準局員工消費合作杜印製 407294 A7 B7 _五、發明説明（9 ) 100，131a，131b 輔助磁圈 2 0 0，2 0 4，2 0 5 側角落部份 120，121，130a，130b 主要磁圈 12 4 電源 較佳實施例之詳細描述： 此後，本發明之較佳實施例將根.據附圖而被解釋。 圖五係展示根據本發明之拉晶裝置之超導磁裝置之第 一實施例部份的縱切面圖，而圖六係整體裝置之側面橫切 面圖。 在圖五以及圖六中，一種真空容器5 1含有具有後板 5 2以及一對側板5 3而以C形而成形之框5 4，一U形 內板5 5，在框5 4內形成孔洞，前板5 6以使得內板 5 5以及框5 4之前端間之空間較接近，以及上板5 7以 及下板5 8以使框5 4以及內側板5 5之上開口端以及下 開口端接近。 在真空容器5 1中，係提供一種氦容器4 0 ，其中兩 個環狀超導磁圈2a ，2b (其中之一，該超導磁圈2a ，係展示在圖五之中），係在容器中心軸方向而兩相面對 面，且沈浸在像是液態氦之冷卻劑中，且一照射遮蔽4 2 係環繞氮容器4 0而位在氦容器之外側，以整體含有低溫 狀態器。 在第一實施例之低溫狀態器，在真空容器5 1、後板 52、側板53、前板56、上板57以及下板58之構 I ~ —— — — — I 装— —I I I I 訂 I I I I —^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · 本紙張尺度適用中國囷家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 407294 g77五、發明説明（1〇 ) 成元件係以磁性材質所製’而面對拉晶裝置（未顯示）而 插入在孔洞之內板5 5係以非磁性材質所製。 因此，根據該低溫狀態器’因爲構成真空容器5 0之 後板52、側板53、前板56、上板57以及下板58 係以磁性材質所製，且只有內板5 5係以非磁性材質所製 ，因此產生超導磁圈2 a ’ 2 b之磁場係由磁性材質所吸 收，而不溢漏至外側，且因此馬達或以相鄰之磁性材質不 會相互影像。 進一步地，因爲真空容器5 1中，除了內板5 5之外 的構件包含磁性材質，亦作爲磁·性遮蔽，小尺寸以及輕質 可被整體實現，且與習知含有非磁性材質之真空容器實體 相比具有相對較低之價格。 而且，因爲該磁場之部分係由該磁性遮蔽所包含，因 此孔洞中心之該磁場強度變高。亦即，與沒有磁性遮蔽之 磁圈相比，該磁動力（magnetomotive force )(安培轉數 )可變小，使得具有低電流値之低容量電源可被使用，且 具有較小轉數之超導磁圈可被使用。 儘管，經由上述實施例而使得C形框5 4以及含有真 空容器之內板5 5都被解釋，但是在藉由具有面對以非磁 性構件所製之拉晶裝置之真空容器以及以磁性材質所製之 其他真空容器構件之圓柱或尖端磁場形低溫狀態器中亦可 達到相同的效果。 圖七係展示本發明拉晶裝置之超導磁裝置之第二實施 例的部份之縱切面圖，而圖八係整個裝置之橫切面圖。對 ---------養------ΪΤ------1 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 經濟部中央樣準局負工消费合作社印装 407294五、發明説明（11 ) 於圖五以及圖六相同的部份，係使用相同的數目，而不在 此處多作解釋。只解釋該不同處。 在第二實施例中，如圖七以及圖八所示，作爲真空容 器5 1之構成構件部份的U形內板5 5之前端開口部份係 具有磁性材質6 0。 因此，根據該低溫狀態器，因爲內板55之前端開口 部份係以磁性材質6 0所製，自上板5 7以及下板5 8之 內板側端部份所溢漏之磁力線可被內側吸收，使得在磁鐵 上表面以及下表面之溢漏磁場可被進一步地減少。進一步 地，在真空容器5 1開口部份之溢漏磁場可被磁性材質 6 0所吸收而減少。 圖九係係展示本發明拉晶裝置之超導磁裝置之第三實 施例的部份之縱切面圖。對於圖五相同的部份，係使用相 同的數目，而不在此處多作解釋。只解釋該不同處。 在第三實施例中，如圖九所示，當介於真空容器5 1 之上板5 7與磁圈2 a之間之距離較介於側板5 3以及磁 圈2 a之距離爲小時，該上板5 7之板厚度t 2將較側板 53之板厚度tl之厚度爲厚。 未顯示之前板以及後板與第一實施例相同。 因此，根據該低溫狀態器，因爲具有相關於磁圈2 a 之較短距離之板厚度係較具有較長距離之板厚度爲厚，因 此在近於磁場較強磁圏側之溢漏磁場可被進一步地吸收。 於是，因爲所有磁性真空容器構件不需作得較厚’而使整 體變得輕質。 ----------^------，訂------A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 407294五、發明説明（12 ) 圖十係展示本發明拉晶裝置之超導磁裝置之第四實施 例的部份之縱切面圖。對於圖五相同的部份，係使用相同 的數目，而不在此處多作解釋。只解釋該不同處。 在第四實施例中，如圖十所示，預設厚度之上輔助板 7 1 、下輔助板7 2以及側輔助板7 3被裝設在個別對應 於磁圈之上板57、下板58以及側板5 3之內表面。在 此情形下，輔助板7 1至7 3係以磁性材質所製且機械或 冶金地鍵合。 因此，根據該低溫狀態器，因位在最強磁場之磁圈附 近之溢漏磁場可被吸收，使得其-他構件變薄，因此可使得 真空容器變輕。 雖然輔助板在上述實施例中，係位在板之內表面上， 但是亦可設在外表面上。 圖十一係展示本發明拉晶裝置之超導磁裝置之第五實 施例的部份之縱切面圖。對於圖四相同的部份，係使用相 同的數目。 圖十一所示之拉晶裝置之超導磁裝置藉由兩相在低溫 狀態器3 1之軸方向上，而以兩倍圓柱低溫狀態器3 1之 適當距離而相面對之兩個超導磁圈2 a ，2b ，而行程尖 端磁場，使產生如圖十一所示之方向之磁場3 0 a， 3 0 b ° 在第五實施例中，外側圓柱構件3 1 a以及上板 3 1 c以及設置於外側圓柱構件3 1 a以及內側圓柱構件 3 1 b之間的係板3 1 d係以磁性材質所製（圖中半門扉 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 40729,-^- 五、發明説明（13 ) 部份），該內圓柱構件3 1 b係以非磁性材質所製’且以 磁性材質所製之輔助環8 0係連接至對應於介於超導磁裝 置之兩個超導磁圈2 a ’ 2 b間部份之外圓柱構件3 1 a 之內表面之架構。在此圖中，標號3 2表示插入拉晶裝置 空間部份（孔洞）之直徑。 因此，根據此架構之低溫狀態器，因爲磁性材質被加 入對應於以大溢漏磁場之軸方向之一對上、下超導磁圈 2a ，2b之中心部份的外圓柱構件3 la之表面上，所 以溢漏磁場之吸收能力可被進一步地改進，且磁圈之磁動 力可被進一步地降低。 . 圖十二係展示本發明拉晶裝置之超導磁裝置之第六實 施例的部份之縱切面圖。對於圖五相同的部份’係使用相 同的數目，而不在此處多作解釋。只解釋該不同處。 在第六實施例中，如圖十二所示，含有真空容器之C 形框後板（未顯示），兩側板5 3、上板5 7以及下板 5 8係多層地以由磁性材質所製之上板9 1、下板9 2、 以及外板9 3，以及由非磁性材質所製之U形內板5 5所 構成。 因此，根據低溫狀態器，來自於內磁性材質之溢漏磁 場可進一步地藉由外磁性材質而減少。 圖十三展示位在本發明拉晶裝置之超導磁裝置之第七 實施例的真空容器中之磁圈的組態。 在第七實施例中，如圖十三所示，除了超導磁圈2 a 之外，設有具有較超導磁圈之直徑爲大之輔助磁圈1 0 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（210X297公釐） ----------^------1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) - ‘ -16 - 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 407294 A7 B7 五、發明説明（14 ) ，以產生相對於超導磁圈2 a之相反方向之磁場。 在此情形下，假如輔助磁圈之導體中心P存在於角度 g的範圍外側，該角度g係藉由交界點N與超導磁圈2 a 外直徑部份對稱軸側角落部份2 0 0與相反側角落部份 20 1連接之線202 ，203 ，以及將交界點N與內直 徑部份對稱軸側角落部份2 0 4與相反側角落部份2 0 5 相交界之線2 0 6，2 0 7而形成*該交界點係連接超導 磁圈2 a以及反向磁圈之對稱軸與磁圈之中心軸Μ而成， 例如，假如該輔助磁圈1 0 0之導體中心Ρ存在於角度h 的範圍內，該角度h係由連結交.界點N與相關於超導磁圈 2 a之磁圈內直徑部份對稱軸L的相反側之中心部份 204，205以及磁圈纏繞中心軸Μ之線206， 2 0 7而形成，則對於減少中心軸Μ之溢漏磁場係爲有效 ，但是對於減少位在對稱軸L之溢漏磁場並不有效。 進一步地，假如輔助磁圈1 0 0之導體中心Ρ係位在 較角度（g + h)的範圍之外，相反於上述情形，亦即， 可有效減少在對稱軸L之溢漏磁場，但是無法有效減少在 中心軸Μ之磁場。 在此實施例中，該輔助磁圈1 0 0之導體中心Ρ經設 置以位在該角度g之中，該角度g係藉由延長自主要超導 磁圈2 a之對稱軸之交界點N所延長之線以及面向超導磁 圈2 a之橫切面緣之磁圈纏繞中心軸Μ而形成，該P點係 輔助磁圈10 0之橫切面所面對·的。 因此，根據上述組態之具有磁圈之低溫狀態器，由該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐）~ ' -17- ----------! ^------ir----- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) . . 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 407294 $五、發明説明（15 ) 主要磁圈所產生之溢漏磁場可藉由輔助磁圈1 〇 0而在外 直徑方向（對稱軸L方向）以及中心軸Μ方向兩者而被有 效地抵銷，使得具有小磁動力之有效磁鐵可整體地設置， 且因此相較於使用磁性材質之磁性遮蔽方法可達成進一步 地輕質化。 圖十四展示設置在根據本發明拉晶裝置之超導磁裝置 之第八實施例的真空容器中的磁圈組態。對於與圖十三相 同的部份，係使用相同的數目，而不作進一步的解釋，只 描述不同處。 在第八十實施例中，以磁性方質所製之外板1 1 0係 除了第七實施例之組態之外，另外設置的真空容器的部份 0 因此，根據上述組態的真空容器，溢漏磁場可進一步 地減少，且主要磁圈以及輔助磁圈之磁動力可以較小。儘 管以磁性材質所製外板係設置成圖中實施例之真空容器的 部份，藉由設置成不同於設置在真空容器內側或外側之真 空容器之另一構件可達成相同的效果。 圖十五展示設置在本發明拉晶裝置超導磁裝置之第九 實施例之真空容器中的磁圈的連接的組態。 在第九實施例中，兩面對設置在低溫狀態器1 2 3中 之一對主要磁圈1 2 Ο，1 2 1係以序列而連接，而主要 磁圏係與激勵電源1 2 4連接，而主要磁圏1 2 1之兩個 端點係短路回路，且與激勵電源1 2 4之一端相連接。 在具有磁圈連接組態之低溫狀態器中，單個主要磁圈 ----------<------iT------I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · > 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 _ 407294 b7__五、發明説明（16 ) 1 2 0係由外部激勵電源1 2 4所激勵，以產生該磁場。 同時，一電流，作爲產生磁場而具有相同於主要磁圈 1 2 1相反方向流之主要磁圏1 2 1相同的電流値，將在 主要磁圈1 2 0之激勵時，根據磁場時間流通之改變而在 低溫狀態機1 2 3中電子電路回路。 因此，藉由指激勵單個主要磁圈，另一個主要磁圈亦 被激勵。 因爲在低溫狀態機中之兩個主要磁圈係以習知連接組 態而電子序列式地共通連接，因此磁圈之電導係較此實施 例爲大，且因此，具有需要大激_勵電壓的電源。根據本實 施例，可使用低容量之電源。 圖十六展示根據本發明拉晶裝置超導磁裝置之第十個 實施例中的真空容器中的磁圈連接的組態。 在該第十個實施例如圖十六所示，位在主要狀態機 1 2 3中之主要磁圈1 3 0，1 3 1係以序列式地電子連 接，且其兩個端點係與激勵電源1 2 4連接，使得該磁圈 可產生相同方向或相反方向的磁場，且具有兩端短路回路 之輔助磁圈1 3 1 a，1 3 lb係個別設置。 因此，根據上述組態，因爲作爲在相反於主要磁圈 1 3 1 a ，1 3 l b之方向的磁場的電流可藉由激勵該主 要磁圈130a，130b而在輔助磁圈131a， 1 3 1 b中被電導，因此，不需要輔助磁圈的電源。 圖十七展示根據本發明拉晶裝置超導磁裝置之第十一 個實施例中的真空容器中的磁圈連接的組態。 --.--------茱------ΪΤ------,λ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4規格（210X297公董） -19- 經濟部中央標隼局負工消費合作社印製 407294 ；； _五、發明説明（17 ) 在第十一個實施例中，除了展示在圖十五之磁圈連接 組態之外，輔助磁圈1 3 1 a ’ 1 3 1 b係如圖十六所設 0 因此，根據上述組態，因爲主要忠圈1 2 1經設置而 使得相對於主要磁圈的磁圈產生尖端磁場’而進一步地’ 輔助磁圈1 3 1 a ，1 3 1 b在相反於由每個主要磁圈所 產生之磁場方向中產生磁場，而可達成第九實施例以及第 十實施例相同的效果。 如前述，根據本發明拉晶裝置之超導磁裝置’可達成 以下效果。 - (1 )因爲面對拉晶裝置的真空容器構件係爲非磁性 構件，且面對該構件之另一構件係爲磁性構件’該溢漏至 外側之磁場可與習知相同在重量以及大小上減少。且’藉 由較厚的磁性構件，磁性遮蔽效果可進一步地被改進。 (2 )因爲磁場係藉由磁性遮蔽而含在真空容器之內 側，且使內側所生的磁場強度變大，使得磁圈因爲如此而 使磁動力減少。 (3 )因爲面對該拉晶裝置之內側部份係以磁性材質 所製，因此可改進該磁性遮蔽效應。 (4 )因爲作爲在相反方向產生磁場的輔助磁圈設置 在預設角度，因此溢漏磁場可被有效地減少。進一步地， 藉由加入磁性材質於其中，可達成進一步地的效果。 (5 )因爲彼此相鄰設置的磁鐵的磁性干擾可藉由該 磁場而避免，因此該磁性可以較小的間隙而設置，因此可 ---------乂衣------tr------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） 20- 40' (、： A7 B7 五、發明説明（18 ) 有效地使用設置空間。 (6 )因爲溢漏磁場變得較小’介於相鄰之磁鐵以及 磁性構件間之吸力變得較小，且因此該構件不需以非磁性 材質所製。 (7 )因爲位在相鄰磁鐵中’例如馬達以及測量裝置 之裝置的影響力變小，該影響力可輕易地由磁場所改變， 使得該裝置可接合在較習知裝置可近於磁鐵的位置’且因 此，造成整體拉晶裝置有效小的尺寸。 (8)因爲至少主要磁圈或輔助磁圈兩者之一係電子 連接在低溫狀態機中，一大的磁.鐵可藉由小容量激勵電源 而激勵。且，藉由採用此種連接，該電導變小’且因此該 激勵改變，且磁力之變化更快。 ----------4衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}
、1T 經濟部中央樣準局員工消«合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -21 -