TW396288B - Process for forming spacers for large area displays - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（1 ) 本發明係有鼷於平板顴示器裝置*特別是有η用以1 生間隔物结構，該等間隔物结構可μ提供對抗在該平板顯 示器上之大氣壓力的支持而不破壤彩像解析度。 在電埸導致的發射陰極型平板顯示器中一被抽真空之 凹洞被保持在該険極電子發射表面與其相對應颺極顯示表 面（亦稱爲一囁極、跚極發光费幕、鑭示器瑩幕、面板、 或顋示器霣棰 > 之間是重要的》 在該陰極發射表面（也被稱為基《極、基板、發射表 面、陰極表面）與該顯示黌幕之間有相笛高的霣壓差（例如 ，大致离於300伏特>，防止在該霄子發射表面輿該隱極顯 示面板之間的突發電崩潰是重要的，同時，在該等板之間 的狭窄間距必須保持結構性的薄度並且得到离解析度。 該間距也必須一致Μ得到一致的彩像解析度，Μ及亮 度，並且防止顯示扭曲等。不一致的間距比在某些其他種 顯示罌中更可能發生在場致發射除極、矩陣定址雇平真空 型顯示器，因爲存在外部大氣及在位於該基板與面板 之藺之孩真空室内之壓力之間有离壓差。在該真空室中之 壓力係典型地小於10_6。 小面稹顯示器 <對角鎳大約是Γ者）並不痛要間晡物* 因為厚度大約為0·040”的玻璃可Κ支持大氣之負載而會有 明顯的彎曲*但是當該顯示器面積增加時，間隔物支持變 得很重要。例如，一具有30”對角線之酱幕上将有數噶之 大氣壓力施加其上。由於有逋麽大的Κ力，間隔物將在該 大面積、輕霣、顯示器之結構中扮演一偏重要的角色。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ---1--^----^裝------訂------{ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 五、發明説明（ A7 B7 間隔物係加入在該願示器面板與該發射器尖端被製迨 於其上之該基板之問，該等間隔物與薄、輕之基霣一同支 持該大氣E力，使該顧示器面積增加而基質之厚度中稍微 或不增加。 間隔物結構必須符合某些參數*該等支持物必須υ雖 然有相酋接近的霣極間距（可為20〇μ·>Μ及相當高的霣極 間«Κ差（可Μ大於或等於300伏特>，但是充份地不具有 導«性Μ防止在険極矩陣舆該隈棰之間的突發電崩潰；2) 具有的機械強度使它們可以讓該平板顯示器在大氣應下不 會被破壞；3>可Μ承受必須用來在該顯示器之面抿與該基 板之間產生高度真空之大約400TC的"退火”溫度；以及 5>具有足夠小的寬度而不致於視覺地干擬顏示器操作。 目前之間嗝物舆方法有數艟缺點，使用婿板印刷、模 版印刷、或玻癘球之方法的缺酤是無法提供一具有一足夠 离之長寬比，由逋些方法所形成的間隔物不是短得無法支 持該高霣壓*就是太宽而無法避免輿該顯示器彩像產生干 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 " 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 沈積材料之活性離子蝕刻U.I.E.)與電槳蝕刻的缺酤 是處理速度緩慢（即>_造時間長）、拽刻速度慢、以及對 蝕刻單造成破壞。光刻照相形成光活化有檐化合物產生間 隔物，該等間隔物無法酡合在製迪場致發射平板鑕示器時 之离度真空之條件或高溫特性。 本發明之一特撖為一種用Μ形成使用在大面積顯示器 中之多數間隔物的方法，該方法包括Μ下步骤：形成具有 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（3 ) 被一结合劑固定在一起之鐵維條的多數鐵維束；将該等繼 鎌束切成薄片；將該等薄片黏著在該願示器之一霣極板上 ;以及除去該結合繭。 本發明之另一特擞是一種製迪撖支柱的方法，該方法 包括下列步a:形成一被一结合_固定在一起的多數玻璃 鑛維束以及將該等玻璃编維束切成薄片。該等玻璃鐵雒具 有被打光之末端，在被打光之後靠近該等玻璃鐵維之末端 的該结合_被反蝕刻，將該等薄片放置在一支持對抗在一 平板_示器中之大氣壓的板上，該结合劑接著被除去，因 此產生撤支柱。 本發明之又一特檄是一種用以製谊离長宽比支持结構 之方法，該方法包括：在一真空顯示器之一«極板上印刷 黏著劑；將多數薄片放在該黏著爾上，其中該等薄片包括 多数雄錐；κ及接着使用某些鑛維做為在一真空顯示器凹 洞中的物理支持。 本發明將可由閲纊下列非限制性實施例之銳明並且配 合附_而更淸楚地了解，其中： _式籣單說明 第ι_是一壜致發射顯示器之一代表性像素的示意截 面園，包括一面板*該面板具有一真空密封於一基板之螢 光屏，該基板被依據本發明之方法所形成的間«物所支持 ♦ > 第2A國是一依*本發明之方法所ϋ造之繼鱷束的示意 截面國； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作衽印製 A7 B7__五、發明説明（4 ) 第2B_是一依據本發明之方法所製造並且沿著直線 2-2所取之第2·之鑛鎗束的薄片的示意截面圔； 第3國是一依據本發明之方法所製造之第2A騮之纖維 束之薄片的示意截面_; 第4是一平板顯示器之霣極板的示意截面鼷，並且 其上並未放置第3園的薄片； 第5_是一平板顯示器之霣極板的示意截面画，並且 其上放置第3_的薄片；Μ及 第6園是一依據本發明之方法所製造之藺隔物支持結 構的示意截面園。 元件檷號對照如下：11. . ·.基質 13.. ..發射酤/陰棰 14.. ..絕錄層 15.. ..柵極 16.. ..螢光屏/面板 17·...電子滾 18.. ..間隔物支持結構 請參閲第1鼸，其中顯示使用一願示器匾段22的場致 發射鑭示器，各願示器匾段22可以顧示一資訊之像素，或 一像素之一部份做爲，例如，一紅/嫌/麓全色彩三色像 索之一綠》。 較佳地，一矽層做為一在玻璃基質上之發射黏，或者 另一種可Μ傅導電滾的材料可以被用於一基霣之表面，使 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 21.. ..基板22.. ..顋示器匾段 25.. ..黑矩陣 26.. ..黏著阐點 27.. ..有機纖維 28----鰌維束 29.. ..薄片 、?! 」 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7__五、發明説明（5 ) 得它可Μ被用來形成該發射點13。 詼場致發射》13已經被設置在該基質11之頂部，該發 射點13是一可爲各種形狀，例如，角錐形、國錐形、或具 有一供發射鬣子之細小撤點之其他幾何形狀的突出物，環 嬈該微陰極的是一機極结構15»當一經過霣源20之霣壓差 加在該陰極13舆該檷極15之間時，一電子滚17朝向一螢光 屏16發射。該蠆光屏16是一《極。 該電子發射黏13舆該基霣11形成一體，並且做爲一陰 極，栖極15做备一用Μ在其各除極13上施加一霣壜霣位的 檷结構。 一絕緣靥14被沈積在該導電陰槿13上，該陰極13可Μ 由該基質或由一或多籲沈積導霄膜，例如一鉻非晶霣矽層 所構成。該絕錄層14在該場致發射點位置處具有一開孔。 在該面板16與該基板21之閜設置的是用來支持施加在 該霣極面板16輿基板21之間之大氣壓力的定位間隔物支持 结構18,因此在該基板21與該面板16之間產生出一真空俥 便使該發射黏適當地作用。 本發明之基板21包括一冷陰極發射酤13、該發射點13 產生於其上的該基質11、該絕緣層14、Μ及該噶棰檷極15 的矩陣可定址陣列。 本發明之製程提供一用以製造高長寬比之支持結構來 做爲間隔物18的方法。簡言之，本發明之製程是一繼維方 法，由粗鑛雄到組合好的間隔物18有許多步»。 在一實施例中，直徑25μ·之玻璃鰌維輿有機雄維27如 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. '1Τ

U 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） —8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7_五、發明説明（6 ) 尼龍或PMMA涯合*並且形成一繼維束28,如第2A，2B，與 3 _中所示。該PMMA鑛維有助於在該等玻璃鑛維18之間保 持一大致一致的®離。 在男一_實施例中，一可分離的繼雄間结合爾（園未 示），如一丙酮可溶纖被加入律便將該等鑛維18圃定在一 起。在本發明之逋實嫌例中，該鑛雄束28具有一可溶解基 霣。某些可溶解基質的例子包括，但不限於： a. 在一丙酮/甲苯溶爾中之丙烯酸樹脂溶爾丙烯酸塑 膠溶ϋ ; b. ZeU™，在ΙΡΑ/水条溶_中之玉米蛋白質，是一 種食器與莆器的塗層； c. 丙烯醵樹脂溶劑/Zein™*，是一種雙層粂統； d. 不溶於水中的聚乙烯酵（PVA); e. 在水中輿重絡酸銨（ADC)的聚乙烯酵（PVA> ; K及 f. 一蠘，如由Kindt-Collins公司所製造者。 在場致發射顯示器中有鼷間隔物18的一重要事項是雜 散電子之霣位使一完全絕錄之間«物支持18之支持充電» 久，最後造成一_烈之電彍放霣而破壤該板。 由於本發明之製程是以鐵維為基礎，因此具有使用塗 層鐵嫌（鼷未示 >，或在结成繼維束之前具有一被處理過之 表面的好處。一暫時塗層可被使用，使得在該等鑛維18之 間提供間距的該可分離塗層可Μ在结成纖雄束之前塗佈在 各鑛維上，或者在同時塗佈於一鑛維束28中或緊靠著之數 繼維18上。因此，在包含該錐維束28之該等鐵鎗18之間的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· -5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） 9 五、發明説明（7 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 間距係經由使用一可分離塗層而達成。 該等纖維18也可Μ使用一永久塗層而在該表面上提供 一高霣阻，但不是完全絕緣的，因此，該等具有塗觸之鐵 維18只會孃非常少的漏霣發生，鶫由防止破壤性的霣弧發 生。离霣阻矽是一在該鑛嫌18上很有用之薄塗蹰的例子。 在另一健實施例中，該等玻璃纖雄18, Μ及該丙酮可 溶性ΡΜΜΑ鐵維27係在一混合繼雄束28中一起使用。該等 ΡΜΜΑ纖維27在該等玻璃鑛雒18之間提供一物理性之分離， 並且可Μ在該等繼維束薄片29被放置在該顯示器板16, 21 之後被溶解。 一在活化觀看匾域輿該第一邊緣之間之具有一較用邊 的6"X 8”場致發射顯示器（FED)必須承受施加於其上，大 約910 lb的大氣壓力。值得注意的是以一直徑25μ·，离度 爲200μ·之單一石英柱，膨脹爽載爲0.006 lb。 如果沒有該玻滴面板16之彎曲阻抗，該顯示器將需要 151,900支，25μx 200μ柱i8M避免達到該膨脹&。由於 有大致1百萬黑矩陣25行列交叉酤在一彩色VGA顯示器上 ，黏著多數儀维18之靜《力對於提供一可製造之製程窗口 是很有幫助的。 第2A·之混合鑛維束28接著被切成薄的國片，如第2B 典3園中所示，該成束之繼鍮28被切成大約所需之厚度， 大約為0.008”到0.13”。在本發明之方法中，一鋸片被用 來將該纖維束28切割成_片或薄片。 多黠黏着_ 26係位於該等閬醑物18所欲座落的位置處 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·

、1T 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 10 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A 7 B7五、發明説明（8 ) ，塗佈該等黏箸_酤26的較佳匾域係在該黑矩陣區域25中 0 一網板印刷条统被用來在該顯示器板16，21之數千鴒 位置上產生預定黏著蕹黏26,或者，該等黏着劑點26係由 光刻照相術所形成，或具有一XY分配条统。第4 _願示一 願示器板16, 21，在該願示器板16, 21上有位於詼黑矩陣 匾域25中之黏替劑點26,該黑矩陣匾域25係沒有發射器13 或躉光酤之B域。在逋些黏25上，該等支持柱18不會使該 顯示器彩像扭曲。 Dupont vacrel是一棰可Μ適用於一玻璃基質的乾膜 *該乾膜在大約400η·波長下暴露於一園案，並且在1 % 的KBC〇3溶掖中顯影。逭製程產生一可Μ被用來形成該等 黏著劑點26的棋板。在去除多蝕的黏着Μ之後*該膜脫落 。逭方法之優點是可Μ精確地對準投射器/校準器。 可Μ用來形成黏著_黏的兩種材料是·· 1)兩份環氧樹 胞由室溫到大約20〇υ被熱硬化，該等環氧樹躕在一短時 間内由3001C-4001C是穩定的，數籲在500t!-540t：之範園 内良好；Μ及2)—由氧化矽、氧化鋁、Μ及一磷酸*结合 _所構成的腰结材料。逋材料對玻璃具有相當之黏性，並 且在室瀑時硬化。 该等薄Η 29係放置在該顯示器板16, 21四邇，但是該 等徵柱18俤只形成在該等黏替蕹點26之位置處。與該等黏 箸劑》26接觸的該等纖維18仍然留在該板16, 21上*並且 _下的繼維18被隨後的步篇除去。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 11 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 A7 B7___五、發明説明（9 ) 黏著_點26之數目比該顯示器所霈要之微柱18的數目 多得多，因此，將該等薄片29放在該板16，21上並不需要 髙度的放置精確性。該等酤26之數目與面積Μ及在該等薄 片中之纖雒18密度係可產生一合理產量之黏著微柱18»只 有在一繼維18輿一黏著雨黏26重疊時，該纖维18會结合在 該願示器板16, 21上，如第6圓中所示。 第5圈願示該等薄國Η 29舆在該面板16上該黑矩陣區 域25上或在一沿孩基板21射醮該黑矩陣之位置的預定黏着 劑酤26接觸的情形》 平面化可Μ在此時進行，視先前的步骤實施的好壞， 該赛繼維18係均具有正確的离度或稍微不一致，大多數將 是不一致的，一以500-600砂紙所進行的打光步朦通常将 所结合之塾29平面化而不會造成破裂或黏瞽損失。 其上放置在該等薄片29之顴示器板16, 21(第4圈）可 Μ被夾合或被迫靠抵於一表面21，俥便加強黏著性以及該 等鑛維18對於該板16, 21之垂直配置性。當該玻璃繼雒18 被暫時黏著時，該等有機纖維27舆該鐵維間結合劑被化學 地除去。 在第2Β舆3·中所示且被放置於一顯示器板16, 21上 ，如第5鼷中所示的該等國薄片29接著被短蔔地暴《在一 有檐溶麵或其他適用於該等玻璃雄維18之化學牲刻薄中。 Ki ndt-Col lins型Κ定型«可被當做一在一钃缝束28中 使用的结合劑，用Μ在切片時将該等繼維18保持在它們的 相對位置上，並且接蓿放置在一頋示器板16, 21上，在該 I n- n n I I I I I; I 訂 ^ Λ? -,, - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 12 - 五、發明説明（10 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 等薄片29已被放置在該顯示器板16, 21之後，己烷被用來 溶解該Kindt-Collins型K定型臟。在該薄片29被放置在該 顧示器板16, 21之前，己烷也被用來使該蟠凹陷到一在該 等薄片29中該等玻篇纖雄18兩端之下方Λ，侔便有肋於有 更多剩餘自由度以及對於該顯示器板16, 21有更大的黏着 性。 當在該等玻璃鑛维18之間的结合蕹被溶解時，不與一 黏着蕹》26接_之該等玻璃鐵維18接著也被物理地分離， 藉此產生一离長宽比微柱18之分佈。逋使得該等玻璃玀维 18在由詼願示器板16, 21向外凸出之預定位置上，如第6 _中所示，該等間痛物18最好是被放置在大致輿該願示器 板16，21垂直的表面上。 本發明使用成束薄片29對於使该等間物18垂直放直 具有明顯的幫肋。 所有在此提到的美國専利中的完全内容在此一併做為 參考。 醮然在此所示輿詳细掲露之特別II程可Μ完全遽到在 疑所述之目的舆好處，但是在此*了解的是它只是本發明 之較佳實施例之銳明並且不受限於在此所示之结構或設計 的細節而只受限於在下列申請専利範圍中所述者。 熟習此項技蓊者將可了解醮然一場致發射顧示器被用 來翥做一實施例*該方法也可以適用於其他的真空顯示器 (例如平板顯示器>，Μ及在一真空凹洞中霱要物理支持的 其他裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 13

Claims (1)

1. β 89. 1. 六、申請專\ 第84105622號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正曰期：89年03月 一種用以形成使用在大面積顯示器中之多數間隔物的 方法，該方法包括以下步驟： 形成具有多數纖維條的多個纖維束，該等纖維條 係被一結合劑固定在一起； 將該等纖維束切成薄片，源自於該薄片的纖維條 係作為間隔物； 將該等薄片放在該大面積顯示器之一板上；以及 除去該結合劑， 其中該結合劑包括下列至少其中之一者：在一丙 網/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑； Zein™ ’在ΙΡΑ/水系溶劑中之玉米蛋白質；丙烯酸樹 脂溶劑/ Zein™ ;不溶於水中的聚乙烯醇（pvA);在水 中與重鉻酸銨（ADC)的聚己烯醇（pva);以及一蠟。 2. —種用以製造高長寬比支持結構之方法，該方法包括 下列步驟： .在一真空顯示器之一電極板上施用一黏著劑； 將多數圓薄片放在該黏著劑上，該等圓薄片包括 多數纖維及結合劑；以及 去除該結合劑’藉此暴露該等纖維， 其中該結合劑包括下列至少其中之一者：在一丙 明/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑； Zein™ ’在IPA/水系溶劑中之玉米蛋白質；丙烯酸樹 本紙張尺度適用中B國家標準（CNS〉A4規格（21Q x 297公釐· -I I I--^ ^-------^« — — — — — — 1—^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I H · β 89. 1. 六、申請專\ 第84105622號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正曰期：89年03月 一種用以形成使用在大面積顯示器中之多數間隔物的 方法，該方法包括以下步驟： 形成具有多數纖維條的多個纖維束，該等纖維條 係被一結合劑固定在一起； 將該等纖維束切成薄片，源自於該薄片的纖維條 係作為間隔物； 將該等薄片放在該大面積顯示器之一板上；以及 除去該結合劑， 其中該結合劑包括下列至少其中之一者：在一丙 網/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑； Zein™ ’在ΙΡΑ/水系溶劑中之玉米蛋白質；丙烯酸樹 脂溶劑/ Zein™ ;不溶於水中的聚乙烯醇（pvA);在水 中與重鉻酸銨（ADC)的聚己烯醇（pva);以及一蠟。 2. —種用以製造高長寬比支持結構之方法，該方法包括 下列步驟： .在一真空顯示器之一電極板上施用一黏著劑； 將多數圓薄片放在該黏著劑上，該等圓薄片包括 多數纖維及結合劑；以及 去除該結合劑’藉此暴露該等纖維， 其中該結合劑包括下列至少其中之一者：在一丙 明/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑； Zein™ ’在IPA/水系溶劑中之玉米蛋白質；丙烯酸樹 本紙張尺度適用中B國家標準（CNS〉A4規格（21Q x 297公釐· -I I I--^ ^-------^« — — — — — — 1—^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I H · 058 8 99 ABCS 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 六'申請專利範圍 脂溶劑/ Zein™ ;不溶於水中的聚乙烯醇（pvA);在水 中與重鉻酸按（ADC)的聚乙稀醇（pva);以及一蝶。 3. —種用以形成使用在真空顯示器中之多數間隔物的方 法’該方法包括以下步驟： 形成具有多數纖維條的多個纖維束； 將該等纖維束切成薄片，源自於該薄片的纖維條 係作為間隔物；以及 將該等薄片放在該顯示器之一板上， 其中該等纖維條包括玻璃與PMMA之至少其中之 — , 其中該等纖維條具有一塗層，該塗層係可用於在 該等纖維條之間保持一大致一致的鉅離並且用以進行 電泄漏》 4. 如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法，其 中各織維條之長度是宽度的至少5倍。 5_如申請專利範圍第4項之形成多數間隔物的方法，其 中各纖維條之寬度小於50私m。 6. 如申請專利範圍第4項之形成多數間隔物的方法，其 中各纖維條之長度大於〇.005”》 7. 如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法，其 中該纖維束的截面長度為在〇.25"-2.0"之範圍内。 8·如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，其 中該等織維條具有一實質在〇·〇〇1"-〇.002*之範圍内的直 徑。 -2- 本紙張尺度適用中0國家標準（CNS〉A4規格（210 * 297公4 ) — ill----I I--> I---I---訂！ (請先閱讀背面之注意事項再埴寫本頁) ϋ al· I 磚 A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 六、申請專利範圍 9·如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，其 中該等纖維條包含玻璃》 1〇.如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，其 中該板包含有基板與陽極板中至少一者。 11. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，其 中該纖維東Θ截面長度為在0.25#-2.0_·之範圍内。 12. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，其 中該板包含有像素位置，該方法進一步包含： 將至少一部分該等纖維條黏附至在該等像素位置 外的該板上》 13. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，其 中該薄片高度為在0.008"-0.013，'之範圍内》 14_如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，該 纖維條具有端部，該方法進一步包含： 在該纖維條之端部分作回蝕刻。 15. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法，該 纖維條具有端部，該方法進一步包含： .乎面化該纖維條之端部分上。 16. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法，其中該纖維包含玻璃。 17·如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’其中該纖維束的截面長度為在0.25"-2.0"之範 圍内。 18.如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — — — —— — — ！ — i - I II I I I I ^ « — — Ιιιιι — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買>

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   方法’其中該薄片高度為在0 008"_0 013"之範圍内β 19. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法，其中該黏著劑包含有環氧化物、氧化矽、氡 化鋁與碌酸中之至少_者。 20. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’該纖維條具有端部，該方法進一步包含： 在該纖維條之端部分作回蝕刻。 21. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法，該纖維條具有端部，該方法進一步包含： 平面化該纖維條之端部分上。 22. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法，其中該黏著劑在300至50001範圍内之溫度下 是安定的。 23. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’其中該纖維包含有矽。 24. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法，其中該去除步驟包含以一溶液去除該結合劑。 25. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’其_該組合劑係為堪。 26_如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法，其 中該薄片高度為在0.008--0.013”之範圍内。 27.如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法，該 纖維條具有端部，該方法進一步包含： 在該纖維條之端部分作回蝕刻》 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 * 297公爱> ----^---.---^--W ^ ^-------^---------1 (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 396288 as C8 ————__ D8 — .----- - _— 六、申請專利範圍 28. 如申請專利範圍第3之形成多數間隔物的方法，該纖 維條具有端部’該方法進一步包含： 平面化該纖維條之端部分上。 29. —種製造微柱的方法，其包含下列步驟： 形成玻璃纖維束，該等玻璃織維係被一結合劑固 定在一起； 將該等玻璃纖維切成薄片，該等玻璃纖維具有端 部份； 在該玻璃纖維之端部分作回蝕刻； 除去該結合劑’以生成微柱；及 平面化該纖維條之端部分上， 其中該玻璃纖維在該纖維束中以實質上呈彼此平 行的方式放置， 該纖雉束具有一長度，其中該纖維速係以一實質 上垂直於該維束長度的方向的角度切片， 其中該切成薄片步驟包-含將該織維束被切成一具 有在0.008”至0.013”範圍内之高度者， .其中該纖維束的截面長度為在0.25--2.0-之範圍 内。 30. 如申請專利範圍第29項之製造微柱的方法，其中該纖 維速包含1000-2000的玻璃纖維》 31. 如申請專利範圍第29項之製造微柱的方法，其中該等 玻璃纖維具有一實質在0_00Γ-0.002”之範圍内的直徑β 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 | · r— ^ 裝 -----II 訂 ---!„^. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)