TW396288B - Process for forming spacers for large area displays - Google Patents
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Description
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明(1 ) 本發明係有鼷於平板顴示器裝置*特別是有η用以1 生間隔物结構,該等間隔物结構可μ提供對抗在該平板顯 示器上之大氣壓力的支持而不破壤彩像解析度。 在電埸導致的發射陰極型平板顯示器中一被抽真空之 凹洞被保持在該険極電子發射表面與其相對應颺極顯示表 面(亦稱爲一囁極、跚極發光费幕、鑭示器瑩幕、面板、 或顋示器霣棰 > 之間是重要的》 在該陰極發射表面(也被稱為基《極、基板、發射表 面、陰極表面)與該顯示黌幕之間有相笛高的霣壓差(例如 ,大致离於300伏特>,防止在該霄子發射表面輿該隱極顯 示面板之間的突發電崩潰是重要的,同時,在該等板之間 的狭窄間距必須保持結構性的薄度並且得到离解析度。 該間距也必須一致Μ得到一致的彩像解析度,Μ及亮 度,並且防止顯示扭曲等。不一致的間距比在某些其他種 顯示罌中更可能發生在場致發射除極、矩陣定址雇平真空 型顯示器,因爲存在外部大氣及在位於該基板與面板 之藺之孩真空室内之壓力之間有离壓差。在該真空室中之 壓力係典型地小於10_6。 小面稹顯示器 <對角鎳大約是Γ者)並不痛要間晡物* 因為厚度大約為0·040”的玻璃可Κ支持大氣之負載而會有 明顯的彎曲*但是當該顯示器面積增加時,間隔物支持變 得很重要。例如,一具有30”對角線之酱幕上将有數噶之 大氣壓力施加其上。由於有逋麽大的Κ力,間隔物將在該 大面積、輕霣、顯示器之結構中扮演一偏重要的角色。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) ---1--^----^裝------訂------{ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 五、發明説明( A7 B7 間隔物係加入在該願示器面板與該發射器尖端被製迨 於其上之該基板之問,該等間隔物與薄、輕之基霣一同支 持該大氣E力,使該顧示器面積增加而基質之厚度中稍微 或不增加。 間隔物結構必須符合某些參數*該等支持物必須υ雖 然有相酋接近的霣極間距(可為20〇μ·>Μ及相當高的霣極 間«Κ差(可Μ大於或等於300伏特>,但是充份地不具有 導«性Μ防止在険極矩陣舆該隈棰之間的突發電崩潰;2) 具有的機械強度使它們可以讓該平板顯示器在大氣應下不 會被破壞;3>可Μ承受必須用來在該顯示器之面抿與該基 板之間產生高度真空之大約400TC的"退火”溫度;以及 5>具有足夠小的寬度而不致於視覺地干擬顏示器操作。 目前之間嗝物舆方法有數艟缺點,使用婿板印刷、模 版印刷、或玻癘球之方法的缺酤是無法提供一具有一足夠 离之長寬比,由逋些方法所形成的間隔物不是短得無法支 持該高霣壓*就是太宽而無法避免輿該顯示器彩像產生干 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 " 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 沈積材料之活性離子蝕刻U.I.E.)與電槳蝕刻的缺酤 是處理速度緩慢(即>_造時間長)、拽刻速度慢、以及對 蝕刻單造成破壞。光刻照相形成光活化有檐化合物產生間 隔物,該等間隔物無法酡合在製迪場致發射平板鑕示器時 之离度真空之條件或高溫特性。 本發明之一特撖為一種用Μ形成使用在大面積顯示器 中之多數間隔物的方法,該方法包括Μ下步骤:形成具有 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4规格(210Χ297公釐) 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(3 ) 被一结合劑固定在一起之鐵維條的多數鐵維束;将該等繼 鎌束切成薄片;將該等薄片黏著在該願示器之一霣極板上 ;以及除去該結合繭。 本發明之另一特擞是一種製迪撖支柱的方法,該方法 包括下列步a:形成一被一结合_固定在一起的多數玻璃 鑛維束以及將該等玻璃编維束切成薄片。該等玻璃鐵雒具 有被打光之末端,在被打光之後靠近該等玻璃鐵維之末端 的該结合_被反蝕刻,將該等薄片放置在一支持對抗在一 平板_示器中之大氣壓的板上,該结合劑接著被除去,因 此產生撤支柱。 本發明之又一特檄是一種用以製谊离長宽比支持结構 之方法,該方法包括:在一真空顯示器之一«極板上印刷 黏著劑;將多數薄片放在該黏著爾上,其中該等薄片包括 多数雄錐;κ及接着使用某些鑛維做為在一真空顯示器凹 洞中的物理支持。 本發明將可由閲纊下列非限制性實施例之銳明並且配 合附_而更淸楚地了解,其中: _式籣單說明 第ι_是一壜致發射顯示器之一代表性像素的示意截 面園,包括一面板*該面板具有一真空密封於一基板之螢 光屏,該基板被依據本發明之方法所形成的間«物所支持 ♦ > 第2A國是一依*本發明之方法所ϋ造之繼鱷束的示意 截面國; (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作衽印製 A7 B7__五、發明説明(4 ) 第2B_是一依據本發明之方法所製造並且沿著直線 2-2所取之第2·之鑛鎗束的薄片的示意截面圔; 第3國是一依據本發明之方法所製造之第2A騮之纖維 束之薄片的示意截面_; 第4是一平板顯示器之霣極板的示意截面鼷,並且 其上並未放置第3園的薄片; 第5_是一平板顯示器之霣極板的示意截面画,並且 其上放置第3_的薄片;Μ及 第6園是一依據本發明之方法所製造之藺隔物支持結 構的示意截面園。 元件檷號對照如下:11. . ·.基質 13.. ..發射酤/陰棰 14.. ..絕錄層 15.. ..柵極 16.. ..螢光屏/面板 17·...電子滾 18.. ..間隔物支持結構 請參閲第1鼸,其中顯示使用一願示器匾段22的場致 發射鑭示器,各願示器匾段22可以顧示一資訊之像素,或 一像素之一部份做爲,例如,一紅/嫌/麓全色彩三色像 索之一綠》。 較佳地,一矽層做為一在玻璃基質上之發射黏,或者 另一種可Μ傅導電滾的材料可以被用於一基霣之表面,使 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 21.. ..基板22.. ..顋示器匾段 25.. ..黑矩陣 26.. ..黏著阐點 27.. ..有機纖維 28----鰌維束 29.. ..薄片 、?! 」 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7__五、發明説明(5 ) 得它可Μ被用來形成該發射點13。 詼場致發射》13已經被設置在該基質11之頂部,該發 射點13是一可爲各種形狀,例如,角錐形、國錐形、或具 有一供發射鬣子之細小撤點之其他幾何形狀的突出物,環 嬈該微陰極的是一機極结構15»當一經過霣源20之霣壓差 加在該陰極13舆該檷極15之間時,一電子滚17朝向一螢光 屏16發射。該蠆光屏16是一《極。 該電子發射黏13舆該基霣11形成一體,並且做爲一陰 極,栖極15做备一用Μ在其各除極13上施加一霣壜霣位的 檷结構。 一絕緣靥14被沈積在該導電陰槿13上,該陰極13可Μ 由該基質或由一或多籲沈積導霄膜,例如一鉻非晶霣矽層 所構成。該絕錄層14在該場致發射點位置處具有一開孔。 在該面板16與該基板21之閜設置的是用來支持施加在 該霣極面板16輿基板21之間之大氣壓力的定位間隔物支持 结構18,因此在該基板21與該面板16之間產生出一真空俥 便使該發射黏適當地作用。 本發明之基板21包括一冷陰極發射酤13、該發射點13 產生於其上的該基質11、該絕緣層14、Μ及該噶棰檷極15 的矩陣可定址陣列。 本發明之製程提供一用以製造高長寬比之支持結構來 做爲間隔物18的方法。簡言之,本發明之製程是一繼維方 法,由粗鑛雄到組合好的間隔物18有許多步»。 在一實施例中,直徑25μ·之玻璃鰌維輿有機雄維27如 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. '1Τ
U 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) —8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7_五、發明説明(6 ) 尼龍或PMMA涯合*並且形成一繼維束28,如第2A,2B,與 3 _中所示。該PMMA鑛維有助於在該等玻璃鑛維18之間保 持一大致一致的®離。 在男一_實施例中,一可分離的繼雄間结合爾(園未 示),如一丙酮可溶纖被加入律便將該等鑛維18圃定在一 起。在本發明之逋實嫌例中,該鑛雄束28具有一可溶解基 霣。某些可溶解基質的例子包括,但不限於: a. 在一丙酮/甲苯溶爾中之丙烯酸樹脂溶爾丙烯酸塑 膠溶ϋ ; b. ZeU™,在ΙΡΑ/水条溶_中之玉米蛋白質,是一 種食器與莆器的塗層; c. 丙烯醵樹脂溶劑/Zein™*,是一種雙層粂統; d. 不溶於水中的聚乙烯酵(PVA); e. 在水中輿重絡酸銨(ADC)的聚乙烯酵(PVA> ; K及 f. 一蠘,如由Kindt-Collins公司所製造者。 在場致發射顯示器中有鼷間隔物18的一重要事項是雜 散電子之霣位使一完全絕錄之間«物支持18之支持充電» 久,最後造成一_烈之電彍放霣而破壤該板。 由於本發明之製程是以鐵維為基礎,因此具有使用塗 層鐵嫌(鼷未示 >,或在结成繼維束之前具有一被處理過之 表面的好處。一暫時塗層可被使用,使得在該等鑛維18之 間提供間距的該可分離塗層可Μ在结成纖雄束之前塗佈在 各鑛維上,或者在同時塗佈於一鑛維束28中或緊靠著之數 繼維18上。因此,在包含該錐維束28之該等鐵鎗18之間的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· -5 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨0 X 297公釐) 9 五、發明説明(7 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 間距係經由使用一可分離塗層而達成。 該等纖維18也可Μ使用一永久塗層而在該表面上提供 一高霣阻,但不是完全絕緣的,因此,該等具有塗觸之鐵 維18只會孃非常少的漏霣發生,鶫由防止破壤性的霣弧發 生。离霣阻矽是一在該鑛嫌18上很有用之薄塗蹰的例子。 在另一健實施例中,該等玻璃纖雄18, Μ及該丙酮可 溶性ΡΜΜΑ鐵維27係在一混合繼雄束28中一起使用。該等 ΡΜΜΑ纖維27在該等玻璃鑛雒18之間提供一物理性之分離, 並且可Μ在該等繼維束薄片29被放置在該顯示器板16, 21 之後被溶解。 一在活化觀看匾域輿該第一邊緣之間之具有一較用邊 的6"X 8”場致發射顯示器(FED)必須承受施加於其上,大 約910 lb的大氣壓力。值得注意的是以一直徑25μ·,离度 爲200μ·之單一石英柱,膨脹爽載爲0.006 lb。 如果沒有該玻滴面板16之彎曲阻抗,該顯示器將需要 151,900支,25μx 200μ柱i8M避免達到該膨脹&。由於 有大致1百萬黑矩陣25行列交叉酤在一彩色VGA顯示器上 ,黏著多數儀维18之靜《力對於提供一可製造之製程窗口 是很有幫助的。 第2A·之混合鑛維束28接著被切成薄的國片,如第2B 典3園中所示,該成束之繼鍮28被切成大約所需之厚度, 大約為0.008”到0.13”。在本發明之方法中,一鋸片被用 來將該纖維束28切割成_片或薄片。 多黠黏着_ 26係位於該等閬醑物18所欲座落的位置處 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·
、1T 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 10 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A 7 B7五、發明説明(8 ) ,塗佈該等黏箸_酤26的較佳匾域係在該黑矩陣區域25中 0 一網板印刷条统被用來在該顯示器板16,21之數千鴒 位置上產生預定黏著蕹黏26,或者,該等黏着劑點26係由 光刻照相術所形成,或具有一XY分配条统。第4 _願示一 願示器板16, 21,在該願示器板16, 21上有位於詼黑矩陣 匾域25中之黏替劑點26,該黑矩陣匾域25係沒有發射器13 或躉光酤之B域。在逋些黏25上,該等支持柱18不會使該 顯示器彩像扭曲。 Dupont vacrel是一棰可Μ適用於一玻璃基質的乾膜 *該乾膜在大約400η·波長下暴露於一園案,並且在1 % 的KBC〇3溶掖中顯影。逭製程產生一可Μ被用來形成該等 黏著劑點26的棋板。在去除多蝕的黏着Μ之後*該膜脫落 。逭方法之優點是可Μ精確地對準投射器/校準器。 可Μ用來形成黏著_黏的兩種材料是·· 1)兩份環氧樹 胞由室溫到大約20〇υ被熱硬化,該等環氧樹躕在一短時 間内由3001C-4001C是穩定的,數籲在500t!-540t:之範園 内良好;Μ及2)—由氧化矽、氧化鋁、Μ及一磷酸*结合 _所構成的腰结材料。逋材料對玻璃具有相當之黏性,並 且在室瀑時硬化。 该等薄Η 29係放置在該顯示器板16, 21四邇,但是該 等徵柱18俤只形成在該等黏替蕹點26之位置處。與該等黏 箸劑》26接觸的該等纖維18仍然留在該板16, 21上*並且 _下的繼維18被隨後的步篇除去。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 11 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 A7 B7___五、發明説明(9 ) 黏著_點26之數目比該顯示器所霈要之微柱18的數目 多得多,因此,將該等薄片29放在該板16,21上並不需要 髙度的放置精確性。該等酤26之數目與面積Μ及在該等薄 片中之纖雒18密度係可產生一合理產量之黏著微柱18»只 有在一繼維18輿一黏著雨黏26重疊時,該纖维18會结合在 該願示器板16, 21上,如第6圓中所示。 第5圈願示該等薄國Η 29舆在該面板16上該黑矩陣區 域25上或在一沿孩基板21射醮該黑矩陣之位置的預定黏着 劑酤26接觸的情形》 平面化可Μ在此時進行,視先前的步骤實施的好壞, 該赛繼維18係均具有正確的离度或稍微不一致,大多數將 是不一致的,一以500-600砂紙所進行的打光步朦通常将 所结合之塾29平面化而不會造成破裂或黏瞽損失。 其上放置在該等薄片29之顴示器板16, 21(第4圈)可 Μ被夾合或被迫靠抵於一表面21,俥便加強黏著性以及該 等鑛維18對於該板16, 21之垂直配置性。當該玻璃繼雒18 被暫時黏著時,該等有機纖維27舆該鐵維間結合劑被化學 地除去。 在第2Β舆3·中所示且被放置於一顯示器板16, 21上 ,如第5鼷中所示的該等國薄片29接著被短蔔地暴《在一 有檐溶麵或其他適用於該等玻璃雄維18之化學牲刻薄中。 Ki ndt-Col lins型Κ定型«可被當做一在一钃缝束28中 使用的结合劑,用Μ在切片時将該等繼維18保持在它們的 相對位置上,並且接蓿放置在一頋示器板16, 21上,在該 I n- n n I I I I I; I 訂 ^ Λ? -,, - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 12 - 五、發明説明(10 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 等薄片29已被放置在該顯示器板16, 21之後,己烷被用來 溶解該Kindt-Collins型K定型臟。在該薄片29被放置在該 顧示器板16, 21之前,己烷也被用來使該蟠凹陷到一在該 等薄片29中該等玻篇纖雄18兩端之下方Λ,侔便有肋於有 更多剩餘自由度以及對於該顯示器板16, 21有更大的黏着 性。 當在該等玻璃鑛维18之間的结合蕹被溶解時,不與一 黏着蕹》26接_之該等玻璃鐵維18接著也被物理地分離, 藉此產生一离長宽比微柱18之分佈。逋使得該等玻璃玀维 18在由詼願示器板16, 21向外凸出之預定位置上,如第6 _中所示,該等間痛物18最好是被放置在大致輿該願示器 板16,21垂直的表面上。 本發明使用成束薄片29對於使该等間物18垂直放直 具有明顯的幫肋。 所有在此提到的美國専利中的完全内容在此一併做為 參考。 醮然在此所示輿詳细掲露之特別II程可Μ完全遽到在 疑所述之目的舆好處,但是在此*了解的是它只是本發明 之較佳實施例之銳明並且不受限於在此所示之结構或設計 的細節而只受限於在下列申請専利範圍中所述者。 熟習此項技蓊者將可了解醮然一場致發射顧示器被用 來翥做一實施例*該方法也可以適用於其他的真空顯示器 (例如平板顯示器>,Μ及在一真空凹洞中霱要物理支持的 其他裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?τ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 13
Claims (1)
- β 89. 1. 六、申請專\ 第84105622號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正曰期:89年03月 一種用以形成使用在大面積顯示器中之多數間隔物的 方法,該方法包括以下步驟: 形成具有多數纖維條的多個纖維束,該等纖維條 係被一結合劑固定在一起; 將該等纖維束切成薄片,源自於該薄片的纖維條 係作為間隔物; 將該等薄片放在該大面積顯示器之一板上;以及 除去該結合劑, 其中該結合劑包括下列至少其中之一者:在一丙 網/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑; Zein™ ’在ΙΡΑ/水系溶劑中之玉米蛋白質;丙烯酸樹 脂溶劑/ Zein™ ;不溶於水中的聚乙烯醇(pvA);在水 中與重鉻酸銨(ADC)的聚己烯醇(pva);以及一蠟。 2. —種用以製造高長寬比支持結構之方法,該方法包括 下列步驟: .在一真空顯示器之一電極板上施用一黏著劑; 將多數圓薄片放在該黏著劑上,該等圓薄片包括 多數纖維及結合劑;以及 去除該結合劑’藉此暴露該等纖維, 其中該結合劑包括下列至少其中之一者:在一丙 明/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑; Zein™ ’在IPA/水系溶劑中之玉米蛋白質;丙烯酸樹 本紙張尺度適用中B國家標準(CNS〉A4規格(21Q x 297公釐· -I I I--^ ^-------^« — — — — — — 1—^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I H · β 89. 1. 六、申請專\ 第84105622號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正曰期:89年03月 一種用以形成使用在大面積顯示器中之多數間隔物的 方法,該方法包括以下步驟: 形成具有多數纖維條的多個纖維束,該等纖維條 係被一結合劑固定在一起; 將該等纖維束切成薄片,源自於該薄片的纖維條 係作為間隔物; 將該等薄片放在該大面積顯示器之一板上;以及 除去該結合劑, 其中該結合劑包括下列至少其中之一者:在一丙 網/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑; Zein™ ’在ΙΡΑ/水系溶劑中之玉米蛋白質;丙烯酸樹 脂溶劑/ Zein™ ;不溶於水中的聚乙烯醇(pvA);在水 中與重鉻酸銨(ADC)的聚己烯醇(pva);以及一蠟。 2. —種用以製造高長寬比支持結構之方法,該方法包括 下列步驟: .在一真空顯示器之一電極板上施用一黏著劑; 將多數圓薄片放在該黏著劑上,該等圓薄片包括 多數纖維及結合劑;以及 去除該結合劑’藉此暴露該等纖維, 其中該結合劑包括下列至少其中之一者:在一丙 明/甲苯溶劑中之丙烯酸樹脂溶劑丙烯酸塑膠溶劑; Zein™ ’在IPA/水系溶劑中之玉米蛋白質;丙烯酸樹 本紙張尺度適用中B國家標準(CNS〉A4規格(21Q x 297公釐· -I I I--^ ^-------^« — — — — — — 1—^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I H · 058 8 99 ABCS 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 六'申請專利範圍 脂溶劑/ Zein™ ;不溶於水中的聚乙烯醇(pvA);在水 中與重鉻酸按(ADC)的聚乙稀醇(pva);以及一蝶。 3. —種用以形成使用在真空顯示器中之多數間隔物的方 法’該方法包括以下步驟: 形成具有多數纖維條的多個纖維束; 將該等纖維束切成薄片,源自於該薄片的纖維條 係作為間隔物;以及 將該等薄片放在該顯示器之一板上, 其中該等纖維條包括玻璃與PMMA之至少其中之 — , 其中該等纖維條具有一塗層,該塗層係可用於在 該等纖維條之間保持一大致一致的鉅離並且用以進行 電泄漏》 4. 如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法,其 中各織維條之長度是宽度的至少5倍。 5_如申請專利範圍第4項之形成多數間隔物的方法,其 中各纖維條之寬度小於50私m。 6. 如申請專利範圍第4項之形成多數間隔物的方法,其 中各纖維條之長度大於〇.005”》 7. 如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法,其 中該纖維束的截面長度為在〇.25"-2.0"之範圍内。 8·如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,其 中該等織維條具有一實質在〇·〇〇1"-〇.002*之範圍内的直 徑。 -2- 本紙張尺度適用中0國家標準(CNS〉A4規格(210 * 297公4 ) — ill----I I--> I---I---訂! (請先閱讀背面之注意事項再埴寫本頁) ϋ al· I 磚 A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 六、申請專利範圍 9·如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,其 中該等纖維條包含玻璃》 1〇.如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,其 中該板包含有基板與陽極板中至少一者。 11. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,其 中該纖維東Θ截面長度為在0.25#-2.0_·之範圍内。 12. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,其 中該板包含有像素位置,該方法進一步包含: 將至少一部分該等纖維條黏附至在該等像素位置 外的該板上》 13. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,其 中該薄片高度為在0.008"-0.013,'之範圍内》 14_如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,該 纖維條具有端部,該方法進一步包含: 在該纖維條之端部分作回蝕刻。 15. 如申請專利範圍第1項之形成多數間隔物的方法,該 纖維條具有端部,該方法進一步包含: .乎面化該纖維條之端部分上。 16. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法,其中該纖維包含玻璃。 17·如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’其中該纖維束的截面長度為在0.25"-2.0"之範 圍内。 18.如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) — — — —— — — ! — i - I II I I I I ^ « — — Ιιιιι — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買>A8B8C8D8 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製方法’其中該薄片高度為在0 008"_0 013"之範圍内β 19. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法,其中該黏著劑包含有環氧化物、氧化矽、氡 化鋁與碌酸中之至少_者。 20. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’該纖維條具有端部,該方法進一步包含: 在該纖維條之端部分作回蝕刻。 21. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法,該纖維條具有端部,該方法進一步包含: 平面化該纖維條之端部分上。 22. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法,其中該黏著劑在300至50001範圍内之溫度下 是安定的。 23. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’其中該纖維包含有矽。 24. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法,其中該去除步驟包含以一溶液去除該結合劑。 25. 如申請專利範圍第2項之用以製造高長寬比支持結構 之方法’其_該組合劑係為堪。 26_如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法,其 中該薄片高度為在0.008--0.013”之範圍内。 27.如申請專利範圍第3項之形成多數間隔物的方法,該 纖維條具有端部,該方法進一步包含: 在該纖維條之端部分作回蝕刻》 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS>A4規格(210 * 297公爱> ----^---.---^--W ^ ^-------^---------1 (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 396288 as C8 ————__ D8 — .----- - _— 六、申請專利範圍 28. 如申請專利範圍第3之形成多數間隔物的方法,該纖 維條具有端部’該方法進一步包含: 平面化該纖維條之端部分上。 29. —種製造微柱的方法,其包含下列步驟: 形成玻璃纖維束,該等玻璃織維係被一結合劑固 定在一起; 將該等玻璃纖維切成薄片,該等玻璃纖維具有端 部份; 在該玻璃纖維之端部分作回蝕刻; 除去該結合劑’以生成微柱;及 平面化該纖維條之端部分上, 其中該玻璃纖維在該纖維束中以實質上呈彼此平 行的方式放置, 該纖雉束具有一長度,其中該纖維速係以一實質 上垂直於該維束長度的方向的角度切片, 其中該切成薄片步驟包-含將該織維束被切成一具 有在0.008”至0.013”範圍内之高度者, .其中該纖維束的截面長度為在0.25--2.0-之範圍 内。 30. 如申請專利範圍第29項之製造微柱的方法,其中該纖 維速包含1000-2000的玻璃纖維》 31. 如申請專利範圍第29項之製造微柱的方法,其中該等 玻璃纖維具有一實質在0_00Γ-0.002”之範圍内的直徑β 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐〉 | · r— ^ 裝 -----II 訂 ---!„^. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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US5916004A (en) * | 1996-01-11 | 1999-06-29 | Micron Technology, Inc. | Photolithographically produced flat panel display surface plate support structure |
US5705079A (en) * | 1996-01-19 | 1998-01-06 | Micron Display Technology, Inc. | Method for forming spacers in flat panel displays using photo-etching |
US5720640A (en) * | 1996-02-15 | 1998-02-24 | Industrial Technology Research Institute | Invisible spacers for field emission displays |
US5733160A (en) * | 1996-03-01 | 1998-03-31 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming spacers for a flat display apparatus |
US5834891A (en) * | 1996-06-18 | 1998-11-10 | Ppg Industries, Inc. | Spacers, spacer units, image display panels and methods for making and using the same |
US5811926A (en) * | 1996-06-18 | 1998-09-22 | Ppg Industries, Inc. | Spacer units, image display panels and methods for making and using the same |
US6049165A (en) * | 1996-07-17 | 2000-04-11 | Candescent Technologies Corporation | Structure and fabrication of flat panel display with specially arranged spacer |
US5859502A (en) * | 1996-07-17 | 1999-01-12 | Candescent Technologies Corporation | Spacer locator design for three-dimensional focusing structures in a flat panel display |
EP0827181A3 (en) * | 1996-08-29 | 1998-10-14 | Motorola, Inc. | Method for affixing spacers in a flat panel display |
US6054807A (en) * | 1996-11-05 | 2000-04-25 | Micron Display Technology, Inc. | Planarized base assembly and flat panel display device using the planarized base assembly |
US5984746A (en) | 1996-12-12 | 1999-11-16 | Micron Technology, Inc. | Attaching spacers in a display device |
US5851133A (en) | 1996-12-24 | 1998-12-22 | Micron Display Technology, Inc. | FED spacer fibers grown by laser drive CVD |
US5888112A (en) * | 1996-12-31 | 1999-03-30 | Micron Technology, Inc. | Method for forming spacers on a display substrate |
US6101846A (en) * | 1997-02-06 | 2000-08-15 | Micron Technology, Inc. | Differential pressure process for fabricating a flat-panel display face plate with integral spacer support structures |
JPH10233587A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-02 | Futaba Corp | 気密容器 |
US5996376A (en) * | 1997-04-11 | 1999-12-07 | Digital Optics Corporation | Methods of forming optical rods including three-dimensional patterns on end faces thereof |
US6554671B1 (en) * | 1997-05-14 | 2003-04-29 | Micron Technology, Inc. | Method of anodically bonding elements for flat panel displays |
US5980349A (en) | 1997-05-14 | 1999-11-09 | Micron Technology, Inc. | Anodically-bonded elements for flat panel displays |
US6465268B2 (en) * | 1997-05-22 | 2002-10-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing an electro-optical device |
US5903099A (en) * | 1997-05-23 | 1999-05-11 | Tini Alloy Company | Fabrication system, method and apparatus for microelectromechanical devices |
US20020155495A1 (en) * | 2000-04-17 | 2002-10-24 | Millstein Larry S. | Method for producing arrays and devices relating thereto |
US6249083B1 (en) * | 1998-01-12 | 2001-06-19 | Samsung Display Devices Co., Ltd. | Electric field emission display (FED) and method of manufacturing spacer thereof |
US6168737B1 (en) | 1998-02-23 | 2001-01-02 | The Regents Of The University Of California | Method of casting patterned dielectric structures |
US6153075A (en) | 1998-02-26 | 2000-11-28 | Micron Technology, Inc. | Methods using electrophoretically deposited patternable material |
US6255772B1 (en) * | 1998-02-27 | 2001-07-03 | Micron Technology, Inc. | Large-area FED apparatus and method for making same |
US6152796A (en) * | 1998-04-30 | 2000-11-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an image forming apparatus |
US6083767A (en) * | 1998-05-26 | 2000-07-04 | Micron Technology, Inc. | Method of patterning a semiconductor device |
JP3689598B2 (ja) * | 1998-09-21 | 2005-08-31 | キヤノン株式会社 | スペーサの製造方法および前記スペーサを用いた画像形成装置の製造方法 |
US6004179A (en) * | 1998-10-26 | 1999-12-21 | Micron Technology, Inc. | Methods of fabricating flat panel evacuated displays |
US6235638B1 (en) * | 1999-02-16 | 2001-05-22 | Micron Technology, Inc. | Simplified etching technique for producing multiple undercut profiles |
JP3466981B2 (ja) * | 1999-02-17 | 2003-11-17 | キヤノン株式会社 | 電子線装置およびスペーサの製造方法 |
US6229325B1 (en) | 1999-02-26 | 2001-05-08 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for burn-in and test of field emission displays |
ATE431848T1 (de) * | 1999-03-05 | 2009-06-15 | Mitsubishi Rayon Co | Microarray mit einer biologischen substanz |
US6843697B2 (en) * | 1999-06-25 | 2005-01-18 | Micron Display Technology, Inc. | Black matrix for flat panel field emission displays |
US6155900A (en) | 1999-10-12 | 2000-12-05 | Micron Technology, Inc. | Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture |
AU2001250787A1 (en) * | 2000-03-01 | 2001-09-12 | Chad Moore | Fiber-based field emission display |
US7449081B2 (en) * | 2000-06-21 | 2008-11-11 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for improving the emission of electron field emitters |
US6894665B1 (en) | 2000-07-20 | 2005-05-17 | Micron Technology, Inc. | Driver circuit and matrix type display device using driver circuit |
US6914380B2 (en) * | 2000-08-23 | 2005-07-05 | Noritake Co., Ltd, | Vacuum fluorescent display having x-ray shielding cap |
US6733354B1 (en) | 2000-08-31 | 2004-05-11 | Micron Technology, Inc. | Spacers for field emission displays |
JP2002157959A (ja) | 2000-09-08 | 2002-05-31 | Canon Inc | スペーサの製造法およびこのスペーサを用いた画像形成装置の製造方法 |
EP1254732B1 (en) * | 2001-01-11 | 2011-10-05 | Shiga Yamashita Co., Ltd. | Cutting-off apparatus |
US20020185963A1 (en) * | 2001-06-07 | 2002-12-12 | Pixtech S.A | Spacer arrangement for flat panel display |
KR100416761B1 (ko) * | 2001-06-12 | 2004-01-31 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판 표시 소자의 스페이서 형성방법 |
US6742257B1 (en) * | 2001-10-02 | 2004-06-01 | Candescent Technologies Corporation | Method of forming powder metal phosphor matrix and gripper structures in wall support |
FR2855644A1 (fr) * | 2003-05-27 | 2004-12-03 | Thomson Plasma | Panneau a plasma dont les barrieres de partionnement sont en ciment |
US7221837B2 (en) * | 2003-06-20 | 2007-05-22 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Device and method for reducing glass flow during the manufacture of microchannel plates |
US7251302B2 (en) * | 2003-12-05 | 2007-07-31 | Dell Products L.P. | Method, system and apparatus for quantifying the contribution of inter-symbol interference jitter on timing skew budget |
KR20060014523A (ko) * | 2004-08-11 | 2006-02-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 스페이서 제작방법 및 설치방법 |
KR20060059616A (ko) * | 2004-11-29 | 2006-06-02 | 삼성에스디아이 주식회사 | 스페이서를 구비하는 전자방출 표시장치 |
TWI331885B (en) * | 2006-01-12 | 2010-10-11 | Ind Tech Res Inst | Fabricating method of organic electronic device |
US8524092B2 (en) * | 2006-12-14 | 2013-09-03 | Carnegie Mellon University | Dry adhesives and methods for making dry adhesives |
US8391659B2 (en) * | 2008-09-30 | 2013-03-05 | Schott Corporation | Method of coating and handling multiple optical components simultaneously |
US8135253B2 (en) * | 2009-01-22 | 2012-03-13 | Exelis, Inc. | Microchannel plate (MCP) having an asymmetric packing pattern for higher open area ratio (OAR) |
KR20160032221A (ko) * | 2013-07-18 | 2016-03-23 | 코닌클리케 필립스 엔.브이. | 발광 디바이스들의 웨이퍼의 다이싱 |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1414748B2 (de) * | 1960-09-27 | 1970-04-16 | Corning Glass Works, Corning, N.Y. (V.St.A.) | Verfahren zum Herstellen von Frontplatten für Kathodenstrahlröhren |
NL6603797A (zh) * | 1965-03-24 | 1967-01-25 | ||
US3990874A (en) * | 1965-09-24 | 1976-11-09 | Ni-Tec, Inc. | Process of manufacturing a fiber bundle |
DE1301021B (de) * | 1965-11-12 | 1969-08-14 | American Optical Corp | Verfahren zur Herstellung einer Kathodenstrahlroehre, deren Abschlussscheibe aus parallelen Glasfasern besteht |
US3979621A (en) * | 1969-06-04 | 1976-09-07 | American Optical Corporation | Microchannel plates |
US3900305A (en) * | 1973-05-07 | 1975-08-19 | Corning Glass Works | Method of forming conductive layer on oxide-containing surfaces |
GB1509487A (en) * | 1976-01-08 | 1978-05-04 | Ibm | Gas panel display devices |
US4183125A (en) * | 1976-10-06 | 1980-01-15 | Zenith Radio Corporation | Method of making an insulator-support for luminescent display panels and the like |
DE3036671A1 (de) * | 1980-09-29 | 1982-05-13 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Flacher bildschirm, verfahren zu seiner herstellung und seine verwendung |
JPS59111225A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極スペ−サ構造体 |
JPS59112531A (ja) * | 1982-12-17 | 1984-06-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極スペーサ装置の製造方法 |
US4705205A (en) * | 1983-06-30 | 1987-11-10 | Raychem Corporation | Chip carrier mounting device |
US5175287A (en) * | 1986-09-25 | 1992-12-29 | S R I International | Process for preparing 1,2,4-benzotriazine oxides |
FR2623013A1 (fr) * | 1987-11-06 | 1989-05-12 | Commissariat Energie Atomique | Source d'electrons a cathodes emissives a micropointes et dispositif de visualisation par cathodoluminescence excitee par emission de champ,utilisant cette source |
US4923421A (en) * | 1988-07-06 | 1990-05-08 | Innovative Display Development Partners | Method for providing polyimide spacers in a field emission panel display |
JPH02165540A (ja) * | 1988-12-19 | 1990-06-26 | Narumi China Corp | プラズマディスプレイパネル用の障壁形成法 |
FR2641412B1 (fr) * | 1988-12-30 | 1991-02-15 | Thomson Tubes Electroniques | Source d'electrons du type a emission de champ |
JP3035983B2 (ja) * | 1989-11-09 | 2000-04-24 | ソニー株式会社 | 陰極線管の製造方法 |
JPH03179630A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-05 | Nec Corp | プラズマディスプレイパネルのスペーサーの製造方法 |
DE4016967C1 (en) * | 1990-05-25 | 1991-09-19 | Msg Marine- Und Sondertechnik Gmbh, 2800 Bremen, De | Monitor presenting large image - comprises VDUs having edge regions of display connected by glass optical fibres for gapless large area presentation |
US5136764A (en) * | 1990-09-27 | 1992-08-11 | Motorola, Inc. | Method for forming a field emission device |
NL9100122A (nl) * | 1991-01-25 | 1992-08-17 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US5229691A (en) * | 1991-02-25 | 1993-07-20 | Panocorp Display Systems | Electronic fluorescent display |
US5151061A (en) * | 1992-02-21 | 1992-09-29 | Micron Technology, Inc. | Method to form self-aligned tips for flat panel displays |
US5205770A (en) * | 1992-03-12 | 1993-04-27 | Micron Technology, Inc. | Method to form high aspect ratio supports (spacers) for field emission display using micro-saw technology |
US5449970A (en) * | 1992-03-16 | 1995-09-12 | Microelectronics And Computer Technology Corporation | Diode structure flat panel display |
US5532548A (en) * | 1992-04-10 | 1996-07-02 | Silicon Video Corporation | Field forming electrodes on high voltage spacers |
US5232549A (en) * | 1992-04-14 | 1993-08-03 | Micron Technology, Inc. | Spacers for field emission display fabricated via self-aligned high energy ablation |
US5342737A (en) * | 1992-04-27 | 1994-08-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | High aspect ratio metal microstructures and method for preparing the same |
US5329207A (en) * | 1992-05-13 | 1994-07-12 | Micron Technology, Inc. | Field emission structures produced on macro-grain polysilicon substrates |
US5391259A (en) * | 1992-05-15 | 1995-02-21 | Micron Technology, Inc. | Method for forming a substantially uniform array of sharp tips |
US5374868A (en) * | 1992-09-11 | 1994-12-20 | Micron Display Technology, Inc. | Method for formation of a trench accessible cold-cathode field emission device |
US5347292A (en) * | 1992-10-28 | 1994-09-13 | Panocorp Display Systems | Super high resolution cold cathode fluorescent display |
GB2276270A (en) * | 1993-03-18 | 1994-09-21 | Ibm | Spacers for flat panel displays |
US5342477A (en) * | 1993-07-14 | 1994-08-30 | Micron Display Technology, Inc. | Low resistance electrodes useful in flat panel displays |
US5445550A (en) * | 1993-12-22 | 1995-08-29 | Xie; Chenggang | Lateral field emitter device and method of manufacturing same |
US5448131A (en) * | 1994-04-13 | 1995-09-05 | Texas Instruments Incorporated | Spacer for flat panel display |
CN1271675C (zh) * | 1994-06-27 | 2006-08-23 | 佳能株式会社 | 电子束设备 |
US5486126A (en) * | 1994-11-18 | 1996-01-23 | Micron Display Technology, Inc. | Spacers for large area displays |
US5716251A (en) * | 1995-09-15 | 1998-02-10 | Micron Display Technology, Inc. | Sacrificial spacers for large area displays |
-
1994
- 1994-11-18 US US08/349,091 patent/US5486126A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-06-05 TW TW084105622A patent/TW396288B/zh not_active IP Right Cessation
- 1995-08-15 JP JP7208120A patent/JP3042671B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-13 DE DE19533952A patent/DE19533952A1/de not_active Withdrawn
- 1995-09-15 FR FR9510857A patent/FR2727241B1/fr not_active Expired - Lifetime
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-
1998
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-
2001
- 2001-02-02 US US09/775,457 patent/US6361391B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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SG34273A1 (en) | 1996-12-06 |
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FR2727241B1 (fr) | 1997-11-14 |
US6183329B1 (en) | 2001-02-06 |
JP3042671B2 (ja) | 2000-05-15 |
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