JPH02165540A - プラズマディスプレイパネル用の障壁形成法 - Google Patents

プラズマディスプレイパネル用の障壁形成法

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JPH02165540A
JPH02165540A JP63321592A JP32159288A JPH02165540A JP H02165540 A JPH02165540 A JP H02165540A JP 63321592 A JP63321592 A JP 63321592A JP 32159288 A JP32159288 A JP 32159288A JP H02165540 A JPH02165540 A JP H02165540A
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JP
Japan
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layer
barrier
insulating paste
openings
soluble resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP63321592A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazunari Tanaka
一成 田中
Shozo Otomo
大友　省三
Rikiya Kamimura
力也 上村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Narumi China Corp
Original Assignee
Narumi China Corp
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Publication date
Application filed by Narumi China Corp filed Critical Narumi China Corp
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Priority to KR1019890018922A priority patent/KR940006293B1/ko
Publication of JPH02165540A publication Critical patent/JPH02165540A/ja
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Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ１発明の目的 この発明は、プラズマディスプレイパネル用の障壁の製
造法に関し、従来より細い幅の障壁を可能とし、かつ大
画面に対応できる製造方法に関する。
に】１ケＩＮ プラズマディスプレイパネルは第２図に示すように、ア
ノード７用基板（前面板）８とカソード９用基板（背面
板）１０および障壁１１からなり、各々ｔｉは直角に対
向しこの交点間の空間に放電を起こすことにより発光さ
せる。このとき光のクロストーク〈混線）を防ぐため、
また画面のコントラストを作るため、黒色の障壁１１が
設けられている。このＩＩＩ壁の形状は、幅約１００μ
ｍ、高さ約１００μ−以上であり、Ａ４サイズのパネル
の場合、約６４０本の障壁が形成されている。従来この
障壁は、セラミック粉末を有機バインダー溶媒等と混合
したペーストを厚膜印刷法でパターン形成した後、乾燥
、焼成して形成されている。
が　　しようと　る　題 しかしながら、このような製造方法は一般的に以下に示
すような問題点がある。
（１）厚膜印刷法で形成するため（こ、−回の印刷では
形成可能な厚みはせいぜい十数μ−であり、必要な１０
０μ冒以上の高さをつけるために約１０回以上の繰り返
し印刷が必要であった。このため、゛１回毎の位置合わ
せが非常に重要であり、歩留を悪くする要因であった。
（２）厚膜印刷の繰り返しによる製造であるために、障
壁の幅は１００μ■程度が限界であり、将来の６４０本
以上のファインパターン化（障壁１００μ−以下）に対
応し難い。
（３）ステンレスメツシュを用いた厚膜印刷による製造
であるために印刷面積はメツシュ原版により制約されＡ
４サイズを越えるの大画面に対応するのが難しくなる。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決すること
であって、即ち、細い幅の障壁が確実に形成可能でかつ
、今後の大画面化にも対応できるプラズマデイスプレィ
用障壁の形成方法を提供することにある。
口１発明の構成 課題を　　　るための手段 本発明は、ガラス板上に障壁と同等もしくはそれ以上の
厚みの完溶解性樹脂を用いた層を形成する工程と、前記
完溶解性樹脂を用いた層を露光および現像により所望す
る部分を取り除き開口部を形成する工程と、前記開口部
に障壁となる絶縁ペーストを埋め込み開口部が絶縁ペー
ストで満たされた層を形成する工程と、前記開口部が絶
縁ペーストで満たされた層を焼成し絶縁層とする工程か
らなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用
の１１［ｇ１形成法である。
以下本発明に係る障壁の形成法を、第１図の図（ａ）〜
（ｅ）に基づき説明する。
火焦」− 図（ａ）は、ガラス板１上にドクターブレード法もしく
はロールコータ−法により完溶解性樹脂を用いた１００
〜２５０μ−の厚みの層２を形成する。完溶解性樹脂と
して例えばヘキストジャパン社製のＡ２４９０３フオト
レジストがある。この層の厚みが１００μｍ以下のとき
は、乾燥、焼成の際の収縮等により障壁厚み１００μ園
以上が形成できない、また２５０μ園以上のときは、形
成されたアスペクト比（高さ７幅）が高くなり、成形性
および保形性が悪くなるためである。この発明の完溶解
性樹脂を用いた層２は、光溶解性樹脂単味でもよいが、
光透過性、光反応性を損なわない程度にセラミックス等
の無機粉末、有機粉末、有機溶液等を選択し、混合させ
てもよいのでこれらを総称している。
図（ｂ）は、上記完溶解性樹脂を用いた層に１リベーク
を行い、ガラスマスク３を用いて障壁となる所４に紫外
線が照射するよう選択的に露光する。
図（ｃ）は、上記露光部を現像液を用いて現像し、開口
部４をもつ完溶解性樹脂を用いた層のパターニングが完
了する。
図（ｄ＞は、上記開口部４を持った屑に、例えば重量２
で８１０２１５１ＡＩ含Ｏｓ　２０％　、Ｆｅａｒｓ　
ｌｏｇ、Ｃｒ２Ｏ３３％、１４ｎ０１％、Ｃｏｏ　２％
、ＰｂＯ３５％　−８２０３８％からなるセラミック粉
末を含む絶縁ペースト５ａで満たされた層５ｂを形成す
る。なお絶縁ペーストは、焼成後黒色化し、絶縁物とな
るセラミックス粉末を含むものであればよい。
図（ｅ）は、前記開口部が絶縁ペースト５ａで満たされ
た層５ｂを５８０℃の焼成温度で厚膜ペースト用の焼成
プロセス（図示せず）により処理する。有機バインダー
および完溶解性樹脂は燃焼し、絶縁ペースト中のガラス
セラミックス材料は焼結し、黒色絶縁層化し約８Ｑ　Ｂ
　ｖｒ幅、約１５０μ羨高さの障壁６が形成される。焼
成は、絶縁ペーストが黒色化しかつ十分緻密化する温度
であればよい。
焼成の際、完溶解性樹脂を用いた層が、光消解性単味で
あったり、有機粉末、有機溶液を用いた場合、焼成の際
、この完溶解性樹脂を用いた部分が収縮し、障壁となる
絶縁ペーストの側面が引っ張られ、所望の障壁が得にく
く焼成プロセスの制御が必要となる。このため光溶解性
層を用いた層に、絶縁ペーストの焼成プロセスに安定な
無機粉末を混合するとその収縮を抑え、かつ樹脂の揮散
が容易となるため所望の形状を得ることができた。得ら
れた障壁の間に残存する無機粉末は、超音波洗浄等によ
り、簡単に除去できる。このとき無機粉末の量が少なす
ぎると上記効果がなく、多すぎると図（ｂ）の紫外線照
射の際、光が層中で散乱、回折し解像度が悪くなるため
考慮が必要である０本実施例では、アルミナセラミック
スを用いた場合光溶解性樹脂１００重量部に対してアル
ミナ５〜２０重量部が適当であった。
ハ０発明の詳細 な説明したように、本発明に係る障壁の製造方法によれ
ば、従来の印刷法に比べ少ない工程数で製造できるため
歩留が向上する。また本発明の方法は、ライン形成にフ
ォトリソグラフィー法を用いるため印刷法のようなメツ
シュ原版の制約を受けないため、大画面化に対応できる
等の優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の製造法を図示した一例である。第２
図は、プラズマデイスプレィの精造の一例である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　ガラス板上に障壁と同等もしくはそれ以上の厚みの光
    溶解性樹脂を用いた層を形成する工程と、前記光溶解性
    樹脂を用いた層を露光および現像により所望する部分を
    取り除き開口部を形成する工程と、前記開口部に障壁と
    なる絶縁ペーストを埋め込み開口部が絶縁ペーストで満
    たされた層を形成する工程と、前記開口部が絶縁ペース
    トで満たされた層を焼成し絶縁層とする工程からなるこ
    とを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の障壁形
    成法。
JP63321592A 1988-12-19 1988-12-19 プラズマディスプレイパネル用の障壁形成法 Pending JPH02165540A (ja)

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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5116271A (en) * 1990-08-29 1992-05-26 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method for making a plasma display
US5205770A (en) * 1992-03-12 1993-04-27 Micron Technology, Inc. Method to form high aspect ratio supports (spacers) for field emission display using micro-saw technology
US5484314A (en) * 1994-10-13 1996-01-16 Micron Semiconductor, Inc. Micro-pillar fabrication utilizing a stereolithographic printing process
US5492234A (en) * 1994-10-13 1996-02-20 Micron Technology, Inc. Method for fabricating spacer support structures useful in flat panel displays
US5705079A (en) * 1996-01-19 1998-01-06 Micron Display Technology, Inc. Method for forming spacers in flat panel displays using photo-etching
US5716251A (en) * 1995-09-15 1998-02-10 Micron Display Technology, Inc. Sacrificial spacers for large area displays
US5730636A (en) * 1995-09-29 1998-03-24 Micron Display Technology, Inc. Self-dimensioning support member for use in a field emission display
US5795206A (en) * 1994-11-18 1998-08-18 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture of same
US5851133A (en) * 1996-12-24 1998-12-22 Micron Display Technology, Inc. FED spacer fibers grown by laser drive CVD
US5888112A (en) * 1996-12-31 1999-03-30 Micron Technology, Inc. Method for forming spacers on a display substrate
US5916004A (en) * 1996-01-11 1999-06-29 Micron Technology, Inc. Photolithographically produced flat panel display surface plate support structure
US6155900A (en) * 1999-10-12 2000-12-05 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture
US6491559B1 (en) 1996-12-12 2002-12-10 Micron Technology, Inc. Attaching spacers in a display device

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5116271A (en) * 1990-08-29 1992-05-26 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method for making a plasma display
US5205770A (en) * 1992-03-12 1993-04-27 Micron Technology, Inc. Method to form high aspect ratio supports (spacers) for field emission display using micro-saw technology
US5484314A (en) * 1994-10-13 1996-01-16 Micron Semiconductor, Inc. Micro-pillar fabrication utilizing a stereolithographic printing process
US5492234A (en) * 1994-10-13 1996-02-20 Micron Technology, Inc. Method for fabricating spacer support structures useful in flat panel displays
US6183329B1 (en) 1994-11-18 2001-02-06 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture of same
US5795206A (en) * 1994-11-18 1998-08-18 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture of same
US5962969A (en) * 1995-09-15 1999-10-05 Micron Technology, Inc. Sacrificial spacers for large area displays
US5716251A (en) * 1995-09-15 1998-02-10 Micron Display Technology, Inc. Sacrificial spacers for large area displays
US6083070A (en) * 1995-09-15 2000-07-04 Micron Technology, Inc. Sacrificial spacers for large area displays
US5730636A (en) * 1995-09-29 1998-03-24 Micron Display Technology, Inc. Self-dimensioning support member for use in a field emission display
US6077142A (en) * 1995-09-29 2000-06-20 Micron Technology, Inc. Self-dimensioning support member for use in a field emission display
US5916004A (en) * 1996-01-11 1999-06-29 Micron Technology, Inc. Photolithographically produced flat panel display surface plate support structure
US5840201A (en) * 1996-01-19 1998-11-24 Micron Display Technology, Inc. Method for forming spacers in flat panel displays using photo-etching
US5705079A (en) * 1996-01-19 1998-01-06 Micron Display Technology, Inc. Method for forming spacers in flat panel displays using photo-etching
US6696783B2 (en) 1996-12-12 2004-02-24 Micron Technology, Inc. Attaching spacers in a display device on desired locations of a conductive layer
US6491559B1 (en) 1996-12-12 2002-12-10 Micron Technology, Inc. Attaching spacers in a display device
US6172454B1 (en) 1996-12-24 2001-01-09 Micron Technology, Inc. FED spacer fibers grown by laser drive CVD
US5851133A (en) * 1996-12-24 1998-12-22 Micron Display Technology, Inc. FED spacer fibers grown by laser drive CVD
US6010385A (en) * 1996-12-31 2000-01-04 Micron Technology, Inc. Method for forming a spacer for a display
US6121721A (en) * 1996-12-31 2000-09-19 Micron Technology, Inc. Unitary spacers for a display device
US5888112A (en) * 1996-12-31 1999-03-30 Micron Technology, Inc. Method for forming spacers on a display substrate
US6155900A (en) * 1999-10-12 2000-12-05 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture
US6280274B1 (en) 1999-10-12 2001-08-28 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture
US6447354B1 (en) 1999-10-12 2002-09-10 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture
US6561864B2 (en) 1999-10-12 2003-05-13 Micron Technology, Inc. Methods for fabricating spacer support structures and flat panel displays

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